KR101557523B1 - 유리기판의 평탄면 형성 장치 및 방법 - Google Patents

유리기판의 평탄면 형성 장치 및 방법 Download PDF

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Abstract

유리기판의 내구성이 확보되고, 대면적 유리기판에서도 고품질의 평탄면을 얻을 수 있도록 한 유리기판의 평탄면 형성 장치 및 방법이 개시된다.
본 발명에 따른 유리기판의 평탄면 형성장치는 유리기판을 이송하는 유리기판 이송부, 일면에 평탄면이 형성되는 평탄필름을 공급하는 평탄필름 공급부 및 상기 유리기판에 상기 평탄필름을 합착시켜 상기 유리기판에 상기 평탄면이 형성되도록 하는 합착부를 포함한다.

Description

유리기판의 평탄면 형성 장치 및 방법{Apparatus and method for forming flatness of glass substrate}
본 발명은 유리기판의 평탄면 형성 장치 및 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 유리기판에 평탄면을 형성하는 유리기판의 평탄면 형성 장치 및 방법에 관한 것이다.
최근 디스플레이 장치로 각광받고 있는 PDP(Plasma Display Panel), LCD(Liquid Crystal Display), AMOLED(Active Matrix Organic Light Emitting Diodes) 등에는 유리기판이 사용된다.
이 중에서, TFT LCD(Thin film Transistor Liquid Crystal Display)에 사용되는 유리기판은 TFT 어레이와 컬러필터에 부착되는 기판으로, TFT LCD 패널의 핵심소재로 사용된다. 따라서 유리기판은 육안으로는 구분이 불가능할 정도의 평탄한 표면과 열에 의한 변형이 없어야 하는 등의 고품질의 특성이 필요하다.
하지만, 유리기판이 생산되는 과정에서 유리기판 표면에는 용융 결함이 발생되고, 용융 결함은 유리기판이 디스플레이 장치에 사용되기 곤란한 문제점으로 작용한다. 따라서 종래에는 용융 결함을 제거하기 위해 유리기판 표면을 연마하여 유리기판에 일정 수준의 평탄도가 확보되도록 한다. 이와 같이 유리기판 표면을 연마하는 장치에 대해서는 이미 "대한민국 등록특허 10-0952324호" 등에 개시된 바 있다.
한편, 유리기판의 표면을 연마하기 전에는 용융 결함을 검사하기 위해 유리기판의 표면 검사가 선행되어야 한다. 이와 같이 유리기판의 표면 검사 결과, 검출되는 용융 결함 부위를 연마하면, 원하는 유기기판의 평탄도를 확보할 수 있다.
하지만, 유리기판의 표면 검사는 수㎛ 단위로 검사가 수행되어야 하므로 검사의 정밀도가 요구될 뿐만 아니라, 유리기판을 연마 과정에서 용융 결함 부위에 국부적으로 압력이 가해지면 유리기판이 손상되거나, 유리기판의 내구성이 저하되는 문제점이 있다.
이러한 문제점은 유리기판이 점차 대면적화 됨에 따라 더욱 심화되고 있으며, 이에 따른 생산성이 저하되는 문제점으로도 연결되고 있다.
대한민국 등록특허 10-0952324호(2009. 08. 21. 공개)
본 발명의 목적은 유리기판의 내구성이 확보되고, 대면적 유리기판에서도 고품질의 평탄면을 얻을 수 있도록 한 유리기판의 평탄면 형성 장치 및 방법을 제공하기 위한 것이다.
본 발명에 따른 유리기판의 평탄면 형성장치는 유리기판을 이송하는 유리기판 이송부, 일면에 평탄면이 형성되는 평탄필름을 공급하는 평탄필름 공급부 및 상기 유리기판에 상기 평탄필름을 합착시켜 상기 유리기판에 상기 평탄면이 형성되도록 하는 합착부를 포함한다.
상기 평탄필름 공급부는 상기 유리기판을 향해 이형필름을 이송하는 이형필름 이송 유닛 및 상기 이형필름에 상기 평탄필름을 적층시키는 평탄필름 적층 유닛을 포함할 수 있다.
상기 평탄필름 공급부는 상기 평탄필름 적층 유닛의 이전에 배치되어 상기 이형필름을 클리닝하고, 상기 이형필름에 박리층을 형성하는 박리층 형성 유닛, 상기 평탄필름 적층 유닛과 상기 합착부의 사이에 배치되어 상기 박리층을 경화시키는 박리층 경화 유닛 및 상기 합착부의 이후에 배치되어 상기 평탄필름으로부터 상기 이형필름을 박리시키는 박리 유닛을 더 포함할 수 있다.
상기 이형필름 이송 유닛은 롤 형태로 마련되는 상기 이송필름을 지지하는 공급롤러, 상기 평탄필름으로부터 박리된 상기 이형필름이 권취되는 배출롤러 및 상기 공급롤러와 상기 배출롤러의 사이에 배치되어 상기 이형필름의 이송 경로를 형성하는 복수의 이송롤러를 포함할 수 있다.
상기 이형필름 이송 유닛은 상기 이형필름을 폐곡선 형태로 순환시키는 복수의 이송롤러를 포함할 수 있다.
상기 평탄필름 적층 유닛은 상기 이형필름을 구름 지지하는 지지롤러, 상기 평탄필름의 액상 원료가 수용되는 원료용기, 상기 원료용기에 수용된 상기 액상 원료가 이송필름에 도포될 수 있도록 구름 동작되는 도포롤러, 상기 액상 원료가 도포된 상기 이송필름을 압출시켜 상기 평탄필름이 형성되도록 하는 압출롤러 및 상기 압출롤러로부터 상기 평탄필름을 전달받고 상기 지지롤러에 맞물려 구름동작되어 상기 평탄필름이 상기 이형필름에 적층되도록 하는 적층롤러를 포함할 수 있다.
상기 합착부는 상기 유리기판을 향해 상기 이형필름을 가압하는 가압롤러를 포함할 수 있다.
상기 합착부는 상기 유리기판에 합착된 상기 이형필름을 향해 열 또는 광을 조사하는 제 1경화 유닛을 더 포함할 수 있다.
상기 유리기판 이송부는 이송레일 및 상기 유리기판을 지지하고 상기 이송레일을 따라 직선 이송되는 이송대차를 포함할 수 있다.
상기 유리기판의 평탄면 형성 장치는 상기 합착부 이전에 배치되어 상기 평탄필름이 상기 유리기판에 융착될 수 있도록 상기 유리기판을 가열하는 유리기판 가열 유닛을 더 포함할 수 있다.
상기 합착부는 상기 유리기판에 상기 평탄필름을 접촉시키고 상기 평탄필름을 가압시키는 가압롤러 및 상기 유리기판에 합착된 상기 평탄필름을 경화시키는 제 1경화 유닛을 포함할 수 있다.
상기 유리기판의 평탄면 형성장치는 상기 합착부 이후에 배치되어 상기 합착부로부터 배출되는 상기 평탄필름을 추가로 경화시키는 제 2경화 유닛을 더 포함할 수 있다.
한편, 본 발명에 따른 유리기판의 평탄면 형성 방법은 유리기판이 이송되는 유리기판 이송 단계, 일면에 평탄면이 형성된 평탄필름이 공급되는 평탄필름 공급 단계 및 상기 유리기판에 상기 평탄필름이 합착되어 상기 유리기판에 상기 평탄면이 형성되는 합착 단계를 포함한다.
상기 평탄필름 공급 단계는 상기 유리기판을 향해 이형필름이 이송되는 이형필름 이송 단계 및 상기 이형필름에 상기 평탄필름이 적층되는 평탄필름 적층 단계를 포함할 수 있다.
상기 평탄필름 공급 단계는 상기 평탄필름 적층 단계 이전에 상기 이형필름이 클리닝되고, 상기 이형필름에 박리층이 형성되는 박리층 형성 단계 및 상기 평탄필름 적층 단계와 상기 합착 단계의 사이에 상기 박리층이 경화되는 박리층 경화 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 유리기판의 평탄면 형성 방법은 상기 합착 단계 이후에는 상기 평탄필름으로부터 상기 이형필름이 박리되는 박리 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 합착 단계는 상기 유리기판에 상기 평탄필름이 접촉되고 상기 평탄필름이 가압되는 가압단계 및 상기 평탄필름이 경화되는 제 1경화단계를 포함할 수 있다.
유리기판의 평탄면 형성 방법은 상기 합착 단계 이전에, 상기 평탄필름이 상기 유리기판에 융착될 수 있도록 상기 유리기판이 가열되는 유리기판 가열단계를 더 포함할 수 있다.
유리기판의 평탄면 형성 방법은 상기 합착 단계 이후에, 상기 평탄필름이 추가로 경화되는 제 2경화단계를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 유리기판의 평탄면 형성 장치 및 방법은 고품질의 유리기판을 생산할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따른 유기리판의 평탄면 형성 장치 및 방법은 생산성이 향상되는 효과가 있다.
도 1은 본 실시예에 따른 유리기판의 평탄면 형성 장치의 구성을 간략하게 나타낸 도면이다.
도 2는 본 실시에에 따른 유리기판의 평탄면 형성 장치에 의해 평탄필름과 유리기판이 합착되는 상태를 확대도시한 도면이다.
도 3은 다른 실시예에 따른 유리기판의 평탄면 형성 장치의 구성을 간략하게 나타낸 도면이다.
도 4는 본 실시예에 따른 유리기판의 평탄면 형성 방법을 나타낸 순서도이다.
이하, 본 발명에 따른 유리기판의 평탄면 형성 장치 및 방법의 실시예에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 설명하도록 한다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 이하에서 설명되는 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다.
도 1은 본 실시예에 따른 유리기판의 평탄면 형성 장치의 구성을 간략하게 나타낸 도면이며, 도 2는 본 실시에에 따른 유리기판의 평탄면 형성 장치에 의해 평탄필름과 유리기판이 합착되는 상태를 확대도시한 도면이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 실시예에 따른 유리기판의 평탄면 형성 장치(이하, '유리기판의 평탄면 형성 장치'라 함.)(100)는 유리기판 이송부(200), 평탄필름 공급부(300) 및 합착부(400)를 포함한다.
유리기판 이송부(200)는 이송레일(210) 및 이송대차(220)를 포함한다. 이송대차(220)는 유리기판(10)을 지지하고, 이송레일(210)을 따라 직선 이송된다. 유리기판 이송부(200)는 이송레일(210), 이송대차(220), 랙 앤 피니온(Rack & pinion)(미도시) 및 회전모터(미도시)의 조합으로 이루어지는 리니어 액츄에이터(Linear actuator), 또는 이송레일(210), 이송대차(220), 볼 스크류(미도시) 및 회전모터(미도시)의 조합으로 이루어지는 리니어 액츄에이터, 또는 이송레일(210), 이송대차(220) 및 유/공압실린더(미도시)의 조합으로 이루어지는 리니어 액츄에이터의 형태로 이루어 질 수 있다.
유리기판 이송부(200)에 의해 이송되는 유리기판(10)의 이송 경로에는 유리기판 가열 유닛(110)이 설치될 수 있다. 유리기판 가열 유닛(110)은 유리기판(10)이 공정온도에 도달할 수 있도록 유리기판(10)을 가열한다. 공정온도는 이후에 설명될 평탄필름(30)이 유리기판(10)에 원활하게 융착될 수 있는 온도이다. 유리기판 가열 유닛(110)은 유리기판 이송부(200)의 상측에 배치되는 히팅코일, 또는 열풍기의 형태로 이루어질 수 있다.
합착부(400)는 유리기판 가열 유닛(110)을 통과한 유리기판(10)의 경로에 배치된다. 합착부(400)는 가압롤러(410)와 제 1경화 유닛(430)을 포함한다.
가압롤러(410)는 이송대차(220)의 상측에 배치되어 이송대차(220)에 대하여 승강가능하게 설치될 수 있다. 가압롤러(410)는 유리기판(10)에 평탄필름(30)이 접촉되도록 하고, 평탄필름(30)을 가압하여 평탄필름(30)이 유리기판(10)에 합착되도록 한다.
제 1경화 유닛(430)은 가압롤러(410)의 전방에 배치되어 유리기판(10)에 합착된 평탄필름(30)을 경화시킨다. 여기서, 평탄필름(30)은 광 경화성 수지 또는 열 경화성 수지로 이루어질 수 있다. 따라서 제 1경화 유닛(430)으로는 광 경화장치, 또는 열 경화장치를 사용할 수 있다. 제 1경화 유닛(430)이 광 경화장치로 사용될 경우, 광 경화장치는 자외선(UV)을 방출하는 광원을 사용할 수 있다. 제 1경화 유닛(430)이 열 경화장치로 사용될 경우, 열 경화장치는 히팅코일, 또는 열풍기의 형태로 이루어질 수 있다.
이와 같이 합착부(400)에 의해 평탄필름(30)이 합착된 유리기판(10)의 이송경로에는 제 2경화 유닛(120)이 설치될 수 있다. 제 2경화 유닛(120)으로는 상술된 제 1경화 유닛(430)과 같은 광 경화장치, 또는 열 경화장치를 사용할 수 있다.
한편, 평탄필름 공급부(300)는 유리기판 이송부(200)의 상측에 배치된다.
평탄필름 공급부(300)는 이형필름 이송 유닛(310), 박리층 형성 유닛(320), 평탄필름 적층 유닛(330), 박리층 경화 유닛(340) 및 박리 유닛(350)을 포함한다.
이형필름 이송 유닛(310)은 공급롤러(311), 배출롤러(312) 및 복수의 이송롤러(313)의 조합으로 이루어질 수 있다. 공급롤러(311)는 롤(Roll) 형태로 마련되는 이송필름(31)을 지지한다. 배출롤러(312)는 합착부(400) 이후에 배치되어 평탄필름(30)이 박리된 이형필름(20)이 권취된다. 복수의 이송롤러(313)는 공급롤러(311)와 배출롤러(312)의 사이에 배치되어 이형필름(20)의 이송경로를 형성한다. 배출롤러(312)를 지지하는 축에는 이형필름(20)이 공급롤러(311)로부터 풀려나올 수 있도록 배출롤러(312)를 회전시키는 회전모터(미도시)가 연결될 수 있다. 이때, 배출롤러(312)의 회전속도에 동기화된 속도로 공급롤러(311), 복수의 이송롤러(313)를 각각 회전시킬 수 있도록 회전모터(미도시)는 복수로 마련되거나, 복수의 이송롤러(313) 및 공급롤러(311)는 배출롤러(312)에 벨트와 같은 동력전달부재로 서로 연결될 수 있다.
상술된 설명에서, 이형필름(20)은 롤 형태로 마련되어 공급롤러(311)로부터 배출롤러(312)로 이송되는 것을 설명하고 있다. 도 3에 도시된 바와 같이, 이형필름(20)은 폐곡선 형태로 마련되고, 복수의 이송롤러(313)에 의해 순환되도록 변형실시될 수 있다. 이때, 공급롤러(311)와 배출롤러(312)의 구성은 생략 가능한다.
한편, 박리층 형성 유닛(320)은 공급롤러(311)로부터 풀려나오는 이형필름(20)의 이송 경로에 배치된다. 박리층 형성 유닛(320)은 세정가스 또는 세정제를 분사하여 이형필름(20)의 이물질이 제거되도록 한다. 그리고 박리층 형성 유닛(320)은 이형필름(20)에 박리층(21)을 형성한다. 박리층(21)은 광 경화성 수지 또는 열 경화성 수지로 이루어지는 액상 원료로 마련되어 이형필름에 도포된다. 박리층(21)은 이형필름(20)에 평탄필름(30)이 원활하게 적층되도록 하고, 유리기판(10)에 평탄필름(30)이 합착된 이후에 이형필름(20)으로부터 평탄필름(30)이 원활하게 박리되도록 한다.
평탄필름 적층 유닛(330)은 박리층(21)이 형성된 이형필름(20)의 이송 경로에 배치된다. 평탄필름 적층 유닛(330)은 박리층(21)에 평탄필름(30)이 적층되도록 한다. 평탄필름 적층 유닛(330)은 원료용기(331), 도포롤러(332), 압출롤러(333), 적층롤러(334) 및 지지롤러(335)를 포함한다.
원료용기(331)에는 이송필름(31)에 점착될 수 있는 정도의 점도를 가지는 액상 원료가 수용된다. 도포롤러(332)에는 이송필름(31)이 공급되며, 도포롤러(332)는 원료용기(331)에 수용된 액상 원료에 이송필름(31)이 접촉되도록 구름 동작되어 이송필름(31)에 원료가 도포되도록 한다. 압출롤러(333)는 이송필름(31)에 도포된 액상원료를 압출시켜 평탄필름(30)을 형성한다. 이때, 평탄필름(30)은 압출롤러(333)에 의해 압출되면서 0.1~70㎛의 두께를 가지며, 일면에 평탄면이 형성된다. 평탄면은 0.01~0.2㎛ 이하의 평탄도(waviness)를 가질 수 있다. 적층롤러(334)와 지지롤러(335)는 서로 대향된다. 지지롤러(335)는 이형필름(20)을 구름 지지하며, 적층롤러(334)는 압출롤러(333)로부터 평탄필름(30)을 전달받아 지지롤러(335)에 맞물려 회전된다. 이와 같이 평탄필름(30)은 박리층(21)에 적층될 수 있다.
박리층 경화 유닛(340)은 평탄필름(30)이 적층된 이형필름(20)의 이송 경로에 배치된다. 박리층 경화 유닛(340)은 평탄필름(30)으로부터 이형필름(20)이 원활하게 박리될 수 있도록 박리층(21)을 경화시킨다. 박리층 경화 유닛(340)으로는 상술된 광 경화장치 또는 열 경화장치를 사용할 수 있다. 이때 박리층 경화 유닛(340)은 평탄필름(30)이 경화되지 않도록 상술된 제 1경화 유닛(430)보다 낮은 온도로 박리층(21)을 경화시킬 수 있다.
박리 유닛(350)은 합착부 이후에 배치된다. 박리 유닛(350)은 유리기판(10)에 평탄필름(30)이 합착된 이후, 평탄필름(30)으로부터 이형필름(20)을 박리시킨다. 박리 유닛(350)은 제 1박리롤러(351) 및 제 2박리롤러(352)를 포함할 수 있다.
제 1박리롤러(351)는 이형필름(20)와 평탄필름(30) 사이의 급격한 각도변화에 따라 평탄필름(30)이 유리기판(10)으로부터 이탈되거나 손상되는 것을 방지하기 위하여 유리기판(10)에 합착된 평탄필름(30)과 이형필름(20)이 소정각도, 예를 들어 10도 이하로 유지되도록 한다. 제 2박리롤러(352)는 제 1박리롤러(351)로부터 이형필름(20)을 전달받아 이형필름(20)이 평탄필름(30)으로부터 완전하게 박리되도록 한다.
이하, 본 실시예에 따른 유리기판의 평탄면 형성 방법에 대해 상세히 설명하도록 한다.
도 4는 본 실시예에 따른 유리기판의 평탄면 형성 방법을 나타낸 순서도이다.
도 4를 참조하면, 유리기판(10)은 이송대차(220)에 안착된다. 이송대차(220)는 이송레일(210)을 따라 직선이송된다.(단계;S11)
이때, 유리기판(10)은 유리기판 가열 유닛(110)을 통과하며, 유리기판 가열 유닛(110)은 평탄필름(30)이 유리기판(10)에 원활하게 합착될 수 있는 공정온도에 도달하도록 유리기판(10)을 가열한다.(단계;S12)
한편, 이형필름(20)은 공급롤러(311)로부터 풀려나와 합착부(400)를 향해 이송된다.(단계;S13)
먼저, 이형필름(20)은 박리층 형성 유닛(320)으로 진입한다. 박리층 형성 유닛(320)은 이형필름(20)으로 세정가스 또는 세정액을 분사하여 이형필름(20)으로부터 이물질을 제거한다. 그리고 박리층 형성 유닛(320)은 박리층(21)의 액상 원료를 분사하여 이형필름(20)의 일면에 박리층(21)을 형성한다.(단계;S14)
이어, 박리층(21)이 형성된 이형필름(20)은 평탄필름 적층 유닛(330)으로 진입한다. 이때, 이형필름(20)의 이면은 지지롤러(335)에 구름지지된다. 그리고 평탄필름 적층 유닛(330)은 평탄필름(30)을 형성한다. 즉, 이송필름(31)이 도포롤러(332)로 공급되고, 도포롤러(332)는 이송필름(31)에 액상 원료가 도포되도록 구름 동작된다. 평탄필름(30)의 액상 원료가 도포된 이송필름(31)이 압출롤러(333)를 통과하면서 평탄필름(30)이 형성되며, 평탄필름(30)의 일면에 평탄면이 형성된다. 평탄필름(30)은 적층롤러(334)로 전달되며, 적층롤러(334)가 지지롤러(335)에 맞물려 구름 동작된다. 이에 따라 평탄필름(30)은 박리층(21)에 적층된다.(단계;S15)
이어, 이형필름(20)은 박리층 경화 유닛(340)으로 진입한다. 이형필름(20)은 박리층 경화 유닛(340)을 통과하면서 노광 또는 가열되어 박리층(21)이 경화된다. 이와 같이 액상 원료로 도포된 박리층(21)이 경화됨에 따라, 유리기판(10)에 합착된 평탄필름(30)은 이형필름(20)으로부터 원활하게 박리될 수 있다. (단계;S16)
이어, 이형필름(20)은 합착부(400)로 진입한다. 이형필름(20)이 합착부(400)로 진입함에 따라 이형필름(20)은 가압롤러(410)에 의해 가압되고, 평탄필름(30)은 유리기판(10)에 합착된다.(단계;S17)
이어, 평탄필름(30)이 합착된 유리기판(10)은 제 1경화 유닛(430)으로 집입하고, 유리기판(10)이 제 1경화 유닛(430)으로 진입함에 따라 평탄필름(30)이 노광 또는 가열되어 경화된다. 이와 같이 평탄필름(30)이 경화됨에 따라 평탄필름(30)은 유리기판(10)에 긴밀하게 결합될 수 있다.(단계;S18)
이어, 유리기판(10)은 박리 유닛(350)으로 진입한다. 이형필름(20)은 제 1박리롤러(351)에 의해 평탄필름(30)와 소정 각도로 이격되고, 제 2박리롤러(351)에 의해 완전히 평탄필름(30)으로부터 박리된다. 평탄필름(30)으로부터 박리된 이형필름(20)은 배출롤러(312)에 권취된다.(단계;S19)
한편, 평탄필름(30)이 합착되고 이형필름(20)이 박리된 유리기판(10)은 제 2경화 유닛(120)으로 진입한다. 평탄필름(30)은 제 2경화 유닛(120)에 의해 한번 더 노광 또는 가열되어 경화될 수 있다. 이와 같이 평탄필름(30)이 제 2경화 유닛(120)에 의해 한번 더 경화됨에 따라, 평탄필름(30)과 유리기판에 더욱더 긴밀하게 결합될 수 있다.(단계;S20)
상술된 바와 같이 본 실시예에 따른 유리기판의 평탄면 형성 장치(100) 및 방법은 평탄면이 형성된 평탄필름(30)을 유리기판(10)에 결합시킴으로써, 유리기판(10)에 평탄면이 형성되도록 한다.
따라서, 본 실시예에 따른 유리기판의 평탄면 형성 장치 및 방법은 대면적 유리기판(10)에 용이하게 평탄면을 형성할 수 있으며, 인라인 방식으로 유리기판의 평탄면을 형성하므로 생산성이 향상되고, 평탄필름에 형성된 평탄도가 유리기판에 형성되므로 고품질의 유리기판을 생산할 수 있다.
또한, 본 실시예에 따른 유리기판의 평탄면 형성 장치 및 방법에 의해 제조되는 유리기판은 평탄면이 형성될 뿐만 아니라, 유리기판에 평탄필름이 긴밀하게 결합되므로내구성이 향상될 수 있다.
앞에서 설명되고, 도면에 도시된 본 발명의 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 한정하는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 발명의 보호범위는 청구범위에 기재된 사항에 의하여만 제한되고, 본 발명의 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상을 다양한 형태로 개량 변경하는 것이 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호 범위에 속하게 될 것이다.
100 : 유리기판의 평탄면 형성 장치
110 : 유리기판 가열 유닛 200 : 유리기판 이송부
210 : 이송레일 220 : 이송대차
300 : 평탄필름 공급부 310 : 이형필름 이송 유닛
320 : 박리층 형성 유닛 330 : 평탄필름 적층 유닛
340 : 박리층 경화 유닛 350 : 박리유닛
400 : 합착부 410 : 가압롤러
420 : 제 1경화 유닛

Claims (19)

  1. 유리기판을 이송하는 유리기판 이송부;
    일면에 평탄면이 형성되는 평탄필름을 공급하는 평탄필름 공급부; 및
    상기 유리기판에 상기 평탄필름을 합착시켜 상기 유리기판에 상기 평탄면이 형성되도록 하는 합착부;를 포함하되,
    상기 평탄필름 공급부는
    상기 유리기판을 향해 이송되는 이형필름을 클리닝한 후 상기 이형필름에 박리층을 형성하는 박리층 형성 유닛;
    상기 이형필름에 상기 평탄필름을 적층시키는 평탄필름 적층 유닛;
    상기 박리층을 경화시키는 박리층 경화 유닛; 및
    상기 평탄필름으로부터 상기 이형필름을 박리시키는 박리 유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 평탄면 형성 장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 이형필름은
    이형필름 이송 유닛;에 의하여 상기 유리기판으로 이송되는 것을 특징으로 하는 유리기판의 평탄면 형성 장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 박리층 형성 유닛은 상기 평탄필름 적층 유닛의 이전에 배치되고,
    상기 박리층 경화 유닛은 상기 평탄필름 적층 유닛과 상기 합착부의 사이에 배치되며,
    상기 박리 유닛은 상기 합착부의 이후에 배치되는 것을 특징으로 하는 유리기판의 평탄면 형성 장치.
  4. 제 2항에 있어서, 상기 이형필름 이송 유닛은
    롤 형태로 마련되는 이송필름을 지지하는 공급롤러;
    상기 평탄필름으로부터 박리된 상기 이형필름이 권취되는 배출롤러;및
    상기 공급롤러와 상기 배출롤러의 사이에 배치되어 상기 이형필름의 이송 경로를 형성하는 복수의 이송롤러;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 평탄면 형성 장치.
  5. 제 2항에 있어서, 상기 이형필름 이송 유닛은
    상기 이형필름을 폐곡선 형태로 순환시키는 복수의 이송롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 평탄면 형성 장치.
  6. 제 1항에 있어서, 상기 평탄필름 적층 유닛은
    상기 이형필름을 구름 지지하는 지지롤러;
    상기 평탄필름의 액상 원료가 수용되는 원료용기;
    상기 원료용기에 수용된 상기 액상 원료가 이송필름에 도포될 수 있도록 구름 동작되는 도포롤러;
    상기 액상 원료가 도포된 상기 이송필름을 압출시켜 상기 평탄필름이 형성되도록 하는 압출롤러;및
    상기 압출롤러로부터 상기 평탄필름을 전달받고 상기 지지롤러에 맞물려 구름동작되어 상기 평탄필름이 상기 이형필름에 적층되도록 하는 적층롤러;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판 평탄면 형성 장치.
  7. 제 1항에 있어서, 상기 합착부는
    상기 유리기판을 향해 상기 이형필름을 가압하는 가압롤러;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 평탄면 형성 장치.
  8. 제 7항에 있어서, 상기 합착부는
    상기 유리기판에 합착된 상기 이형필름을 경화시키는 제 1경화 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 평탄면 형성 장치.
  9. 제 1항에 있어서, 상기 유리기판 이송부는
    이송레일;및
    상기 유리기판을 지지하고 상기 이송레일을 따라 직선 이송되는 이송대차;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 평탄면 형성 장치.
  10. 제 1항에 있어서,
    상기 합착부 이전에 배치되어 상기 평탄필름이 상기 유리기판에 융착될 수 있도록 상기 유리기판을 가열하는 유리기판 가열 유닛;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 평탄면 형성 장치.
  11. 제 1항에 있어서, 상기 합착부는
    상기 유리기판에 상기 평탄필름을 접촉시키고 상기 평탄필름을 가압시키는 가압롤러;및
    상기 유리기판에 합착된 상기 평탄필름을 경화시키는 제 1경화 유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 평탄면 형성 장치.
  12. 제 11항에 있어서,
    상기 합착부 이후에 배치되어 상기 합착부로부터 배출되는 상기 평탄필름을 추가로 경화시키는 제 2경화 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 평탄면 형성 장치.
  13. 유리기판이 이송되는 유리기판 이송 단계;
    일면에 평탄면이 형성된 평탄필름이 공급되는 평탄필름 공급 단계; 및
    상기 유리기판에 상기 평탄필름이 합착되어 상기 유리기판에 상기 평탄면이 형성되는 합착 단계;를 포함하되,
    상기 평탄필름 공급 단계는
    상기 유리기판을 향해 이송되는 이형필름을 클리닝한 후 상기 이형필름에 박리층을 형성하는 박리층 형성 단계;
    상기 이형필름에 상기 평탄필름이 적층되는 평탄필름 적층 단계;
    상기 박리층이 경화되는 박리층 경화 단계; 및
    상기 평탄필름으로부터 상기 이형필름이 박리되는 박리 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 평탄면 형성 방법.
  14. 삭제
  15. 제 13항에 있어서,
    상기 박리층 형성 단계는 상기 평탄필름 적층 단계 이전에 수행되고,
    상기 박리층 경화 단계는 상기 평탄필름 적층 단계와 상기 합착 단계의 사이에 수행되며,
    상기 박리 단계는 상기 합착 단계 이후에 수행되는 것을 특징으로 하는 유리기판의 평탄면 형성 방법.
  16. 삭제
  17. 제 13항에 있어서, 상기 합착 단계는
    상기 유리기판에 상기 평탄필름이 접촉되고 상기 평탄필름이 가압되는 가압단계;및
    상기 평탄필름이 경화되는 제 1경화단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 평탄면 형성 방법.
  18. 제 17항에 있어서, 상기 합착 단계 이전에,
    상기 평탄필름이 상기 유리기판에 융착될 수 있도록 상기 유리기판이 가열되는 유리기판 가열단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 평탄면 형성 방법.
  19. 제 18항에 있어서, 상기 합착 단계 이후에,
    상기 평탄필름이 추가로 경화되는 제 2경화단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판의 평탄면 형성 방법.
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