KR101857614B1 - 패널 스크라이빙장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 패널이 갖는 패널상면을 흡착하는 제1스테이지부; 상기 제1스테이지부에 패널상면이 흡착된 패널에 대해 패널하면에 하면스크라이빙라인을 형성하는 하면스크라이빙공정을 수행하는 하면스크라이빙부; 상기 하면스크라이빙공정을 거쳐 하면스크라이빙라인이 형성된 패널하면을 흡착하는 제2스테이지부; 및 상기 제2스테이지부에 패널하면이 흡착된 패널에 대해 패널상면에 상면스크라이빙라인을 형성하는 상면스크라이빙공정을 수행하는 상면스크라이빙부를 포함하되, 상기 제1스테이지부가 상면스크라이빙라인이 미형성된 패널상면을 흡착하도록 상기 패널의 상측에 위치하도록 배치되고, 상기 제2스테이지부가 상기 하면스크라이빙공정을 거쳐 하면스크라이빙라인이 기형성된 패널하면을 흡착하도록 상기 패널의 하측에 위치하도록 배치된 패널 스크라이빙장치에 관한 것이다.

Description

패널 스크라이빙장치{Apparatus for Scribing Panel}

본 발명은 패널에 대한 스크라이빙공정을 수행하는 패널 스크라이빙장치에 관한 것이다.

LCD(Liquid Crystal Display), OLED(Organic Light Emitting Diodes), PDP(Plasma Display Panel), EPD(Electrophoretic Display) 등의 디스플레이장치, 태양전지, 조명장치 등은 여러 가지 공정을 거쳐 제조된다. 이러한 제조공정에는 패널을 제조하는 패널 제조 공정, 및 패널을 스크라이빙하는 스크라이빙공정 등이 포함된다.

상기 패널 제조 공정은 제1기판과 제2기판을 합착하여 복수개의 단위셀을 갖는 패널을 제조하는 공정이다. 상기 스크라이빙공정은 패널이 복수개의 단위셀로 분리되도록 패널에 스크라이빙라인을 형성하는 공정이다. 상기 스크라이빙공정을 거친 패널은, 별도의 분리공정을 통해 복수개의 단위셀로 분리된다.

도 1은 종래 기술에 따른 패널 스크라이빙장치에 대한 개략적인 블록도이도, 도 2는 종래 기술에 따른 패널 스크라이빙장치가 패널에 대해 스크라이빙공정을 수행하는 과정을 나타낸 공정도이다.

도 1 및 도 2를 참고하면, 종래 기술에 따른 패널 스크라이빙장치(100)는 제1스크라이빙부(110), 반전부(120), 및 제2스크라이빙부(130)를 포함한다.

상기 제1스크라이빙부(110)는 패널(200)의 상면(上面)(210)에 대해 제1스크라이빙공정을 수행하는 것이다. 이 경우, 상기 패널(200)의 상면(210)이 상측을 향함과 동시에 상기 패널(200)의 하면(下面)(220)이 하측을 향하도록 배치된 상태에서, 상기 패널(200)의 상면(210)에 대해 상기 제1스크라이빙공정이 수행된다.

상기 반전부(120)는 상기 제1스크라이빙공정을 거친 패널(200)을 뒤집는 반전공정을 수행하는 것이다. 상기 반전공정을 통해, 상기 패널(200)은 상기 하면(220)이 상측을 향함과 동시에 상기 상면(210)이 하측을 향하도록 배치된 상태로 상기 제2스크라이빙부(130)로 이송된다.

상기 제2스크라이빙부(130)는 상기 패널(200)의 하면(220)에 대해 제2스크라이빙공정을 수행하는 것이다. 이 경우, 상기 패널(200)의 하면(220)이 상측을 향함과 동시에 상기 패널(200)의 상면(210)이 하측을 향하도록 배치된 상태에서, 상기 패널(200)의 하면(220)에 대해 상기 제2스크라이빙공정이 수행된다.

이와 같이, 종래 기술에 따른 패널 스크라이빙장치(100)는 상기 반전부(120)를 이용하여 상기 패널(200)을 반전시킴으로써, 상기 패널(200)의 상면(210) 및 하면(220) 모두에 대해 스크라이빙공정을 수행하였다. 이에 따라, 종래 기술에 따른 패널 스크라이빙장치(100)는 다음과 같은 문제가 있다.

첫째, 종래 기술에 따른 패널 스크라이빙장치(100)는 상기 패널(200)의 상면(210) 및 하면(220) 모두에 대해 스크라이빙공정을 수행하기 위해 상기 반전부(120)가 상기 패널(200)을 뒤집어야 한다. 이에 따라, 종래 기술에 따른 패널 스크라이빙장치(100)는 상기 반전부(120)가 반드시 구비되어야 할 뿐만 아니라, 상기 패널(200)에 상응하는 크기의 반전 공간이 확보되어야 한다. 따라서, 종래 기술에 따른 패널 스크라이빙장치(100)는 상기 반전부(120)로 인해 구축비용이 상승하고, 상기 반전 공간으로 인해 전체적인 공정라인이 길어져서 상기 스크라이빙공정이 이루어지는 작업장소에 대한 공간 활용도를 저하시키는 문제가 있다.

둘째, 종래 기술에 따른 패널 스크라이빙장치(100)는 상기 반전부(120)가 상기 패널(200)을 뒤집는 과정에서 상기 패널(200)이 상기 반전부(120)로부터 이격되어 낙하함에 따라 손상 내지 파손될 위험이 있다. 이에 따라, 종래 기술에 따른 패널 스크라이빙장치(100)는 상기 반전공정이 수행되는 과정에서 상기 패널(200)에 손실이 발생함에 따라 상기 스크라이빙공정이 완료된 패널(200)에 대한 수율을 저하시키는 문제가 있다.

본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하고 안출된 것으로, 패널의 상면 및 하면 모두에 대해 스크라이빙공정을 수행하기 위한 구축비용을 줄일 수 있고, 전체적인 공정라인을 단축할 수 있는 패널 스크라이빙장치를 제공하기 위한 것이다.

본 발명은 패널의 상면 및 하면 모두에 대해 스크라이빙공정을 수행하는 과정에서 패널이 낙하함에 따른 손실량을 감소시킬 수 있는 패널 스크라이빙장치를 제공하기 위한 것이다.

상술한 바와 같은 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은 하기와 같은 구성을 포함할 수 있다.

본 발명에 따른 패널 스크라이빙장치는 패널을 로딩하는 제1로딩영역 및 패널을 언로딩하는 제1언로딩영역 간에 패널을 제1이송경로를 따라 이송하고, 패널의 패널상면을 흡착하여 패널을 이송하는 제1스테이지부; 상기 제1로딩영역과 상기 제1언로딩영역 사이에서 상기 제1이송경로의 하측에 위치하도록 배치되고, 상기 제1스테이지부에 패널상면이 흡착된 패널에 대해 패널하면을 스크라이빙하는 하면스크라이빙공정을 수행하는 하면스크라이빙부; 상기 하면스크라이빙공정을 거친 패널을 로딩하는 제2로딩영역과 패널을 언로딩하는 제2언로딩영역 간에 패널을 제2이송경로를 따라 이송하고, 패널하면을 흡착하여 패널을 이송하는 제2스테이지부; 및 상기 제2로딩영역과 상기 제2언로딩영역 사이에서 상기 제2이송경로의 상측에 위치하도록 배치되고, 상기 제2스테이지부에 패널하면이 흡착된 패널에 대해 패널상면을 스크라이빙하는 상면스크라이빙공정을 수행하는 상면스크라이빙부를 포함할 수 있다. 상기 상면스크라이빙부는 상기 하면스크라이빙공정을 거쳐 패널하면에 하면스크라이빙라인이 기형성된 패널에 대해 패널상면에 상면스크라이빙라인을 형성할 수 있다.

본 발명에 따른 패널 스크라이빙장치는 패널이 갖는 패널상면을 흡착하는 제1스테이지부; 상기 제1스테이지부에 패널상면이 흡착된 패널에 대해 패널하면에 하면스크라이빙라인을 형성하는 하면스크라이빙공정을 수행하는 하면스크라이빙부; 상기 하면스크라이빙공정을 거쳐 하면스크라이빙라인이 형성된 패널하면을 흡착하는 제2스테이지부; 및 상기 제2스테이지부에 패널하면이 흡착된 패널에 대해 패널상면에 상면스크라이빙라인을 형성하는 상면스크라이빙공정을 수행하는 상면스크라이빙부를 포함할 수 있다. 상기 제1스테이지부는 상면스크라이빙라인이 미형성된 패널상면을 흡착하도록 상기 패널의 상측에 위치하도록 배치될 수 있다. 상기 제2스테이지부는 상기 하면스크라이빙공정을 거쳐 하면스크라이빙라인이 기형성된 패널하면을 흡착하도록 상기 패널의 하측에 위치하도록 배치될 수 있다.

본 발명에 따르면 다음과 같은 효과를 도모할 수 있다.

본 발명은 패널을 반전시키지 않고도 패널이 갖는 패널상면 및 패널하면 모두에 대해 스크라이빙공정을 수행할 수 있도록 구현됨으로써, 반전기의 생략을 통해 구축비용을 감소시킬 수 있을 뿐만 아니라, 패널을 반전시키는데 필요한 반전 공간의 생략을 통해 전체적인 공정라인을 단축함으로써 스크라이빙공정이 이루어지는 작업장소에 대한 공간 활용도를 향상시킬 수 있다.

본 발명은 패널이 반전되는 과정에서 낙하함에 따라 손상 내지 파손될 위험성을 제거할 수 있도록 구현됨으로써, 패널에 대한 손실량을 감소시켜서 스크라이빙공정이 완료된 패널에 대한 수율을 증대시킬 수 있다.

본 발명은 패널에 대한 스크라이빙공정이 수행되는 과정에서 흡착력 저하로 인해 패널이 낙하할 위험을 감소시킬 수 있도록 구현됨으로써, 패널에 대한 손실량을 감소시켜서 스크라이빙공정이 완료된 패널에 대한 수율을 더 증대시킬 수 있다.

도 1은 종래 기술에 따른 패널 스크라이빙장치에 대한 개략적인 블록도
도 2는 종래 기술에 따른 패널 스크라이빙장치가 패널에 대해 스크라이빙공정을 수행하는 과정을 나타낸 공정도
도 3은 본 발명에 따른 패널 스크라이빙장치에 대한 개략적인 블록도
도 4는 본 발명에 따른 패널 스크라이빙장치에 대한 개략적인 공정도
도 5는 본 발명에 따른 패널 스크라이빙장치에 있어서 제1스테이지부 및 하면스크라이빙부에 대한 개략적인 측면도
도 6은 본 발명에 따른 패널 스크라이빙장치에 있어서 하면스크라이빙부에 대한 개략적인 저면도
도 7은 본 발명에 따른 패널 스크라이빙장치에 있어서 하면스크라이빙공정이 수행된 패널의 개략적인 저면도
도 8은 본 발명에 따른 패널 스크라이빙장치에 있어서 제2스테이지부 및 상면스크라이빙부에 대한 개략적인 측면도
도 9는 본 발명에 따른 패널 스크라이빙장치에 있어서 상면스크라이빙부에 대한 개략적인 평면도
도 10은 본 발명에 따른 패널 스크라이빙장치에 있어서 상면스크라이빙공정이 수행된 패널의 개략적인 평면도
도 11은 본 발명에 따른 패널 스크라이빙장치에 있어서 마킹부가 상면스크라이빙부에 설치된 모습을 나타낸 개략적인 측면도
도 12는 본 발명에 따른 패널 스크라이빙장치에 있어서 마킹부가 하면스크라이빙부에 설치된 모습을 나타낸 개략적인 측면도

이하에서는 본 발명에 따른 패널 스크라이빙장치에 대한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 3 및 도 4를 참고하면, 본 발명에 따른 패널 스크라이빙장치(1)는 패널(10)이 갖는 패널상면(11) 및 패널하면(12) 모두에 대해 스크라이빙공정을 수행하는 것이다. 상기 패널(10)은 LCD(Liquid Crystal Display), OLED(Organic Light Emitting Diodes), PDP(Plasma Display Panel), EPD(Electrophoretic Display) 등의 디스플레이장치, 태양전지, 조명장치 등을 제조하는데 이용되는 것이다. 상기 패널(10)은 2매 이상의 기판이 합착된 합착기판일 수 있다.

본 발명에 따른 패널 스크라이빙장치(1)는 상기 패널상면(11)을 흡착하는 제1스테이지부(2), 상기 패널하면(12)을 스크라이빙하는 하면스크라이빙공정을 수행하는 하면스크라이빙부(3), 상기 패널하면(12)을 흡착하는 제2스테이지부(4), 및 상기 패널상면(11)을 스크라이빙하는 상면스크라이빙공정을 수행하는 상면스크라이빙부(5)를 포함한다. 상기 하면스크라이빙부(3)는 상기 패널하면(12)에 대해 상기 하면스크라이빙공정을 수행하여 상기 패널하면(12)에 하면스크라이빙라인을 형성한다. 상기 상면스크라이빙부(5)는 상기 패널상면(11)에 대해 상기 상면스크라이빙공정을 수행하여 상기 패널상면(11)에 상면스크라이빙라인을 형성한다.

본 발명에 따른 패널 스크라이빙장치(1)는 상기 하면스크라이빙부(3)가 상기 패널하면(12)에 대해 상기 하면스크라이빙공정을 수행한 후에, 상기 상면스크라이빙부(5)가 상기 패널상면(11)에 대해 상기 상면스크라이빙공정을 수행하도록 구현된다. 이에 따라, 상기 제1스테이지부(2)가 상기 상면스크라이빙라인이 미형성된 패널상면(11)을 흡착한 상태에서, 상기 하면스크라이빙부(3)는 상기 패널하면(12)에 대해 상기 하면스크라이빙공정을 수행한다. 상기 하면스크라이빙공정이 완료된 후에, 상기 제2스테이지부(4)가 상기 하면스크라이빙라인이 기형성된 패널하면(12)을 흡착한 상태에서, 상기 상면스크라이빙부(5)는 상기 패널상면(11)에 대해 상기 상면스크라이빙공정을 수행한다.

따라서, 본 발명에 따른 패널 스크라이빙장치(1)는 다음과 같은 작용 효과를 도모할 수 있다.

첫째, 본 발명에 따른 패널 스크라이빙장치(1)는 상기 제1스테이지부(2)가 상기 패널상면(11)을 흡착한 상태에서 상기 하면스크라이빙공정을 수행하고, 상기 제2스테이지부(4)가 상기 패널하면(12)을 흡착한 상태에서 상기 상면스크라이빙공정을 수행하도록 구현된다. 이에 따라, 본 발명에 따른 패널 스크라이빙장치(1)는 상기 패널(10)을 반전시키지 않고도, 상기 패널(10)이 갖는 패널상면(11) 및 패널하면(12) 모두에 대해 스크라이빙공정을 수행할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 패널 스크라이빙장치(1)는 반전기의 생략을 통해 구축비용을 감소시킬 수 있을 뿐만 아니라, 상기 패널(10)을 반전시키는데 필요한 반전 공간의 생략을 통해 전체적인 공정라인을 단축함으로써 스크라이빙공정이 이루어지는 작업장소에 대한 공간 활용도를 향상시킬 수 있다.

둘째, 본 발명에 따른 패널 스크라이빙장치(1)는 상기 패널(10)을 반전시키지 않으면서 상기 패널(10)이 갖는 패널상면(11) 및 패널하면(12) 모두에 대해 스크라이빙공정을 수행할 수 있으므로, 상기 패널(10)이 반전되는 과정에서 낙하함에 따라 손상 내지 파손될 위험성을 제거할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 패널 스크라이빙장치(1)는 상기 패널(10)에 대한 손실량을 감소시킴으로써, 스크라이빙공정이 완료된 패널(10)에 대한 수율을 증대시킬 수 있다.

셋째, 본 발명에 따른 패널 스크라이빙장치(1)는 상기 제1스테이지부(2)가 상기 상면스크라이빙라인이 미형성된 패널상면(11)을 흡착한 상태에서 패널하면(12)에 대해 상기 하면스크라이빙공정을 수행하도록 구현된다. 즉, 상기 패널(10)은 상기 패널상면(11)에 상기 상면스크라이빙라인이 형성되지 않은 상태에서 상기 패널상면(11)이 상기 제1스테이지부(2)에 흡착된 상태로, 상기 패널하면(12)에 대해 상기 하면스크라이빙공정이 수행된다. 이에 따라, 본 발명에 따른 패널 스크라이빙장치(1)는 상기 하면스크라이빙공정이 수행되는 과정에서 상기 패널(10)이 상기 제1스테이지부(2)로부터 이격되어 낙하할 위험을 감소시킬 수 있다. 이를 구체적으로 살펴보면, 다음과 같다.

우선, 상기 패널상면(11)에 대해 상기 상면스크라이빙공정이 수행된 후에 상기 패널하면(12)에 대해 상기 하면스크라이빙공정이 수행되는 비교예의 경우, 상기 패널(10)은 상기 상면스크라이빙라인이 형성된 패널상면(11)이 흡착된 상태로 상기 패널하면(12)에 대해 상기 하면스크라이빙공정이 수행된다. 이에 따라, 비교예는 상기 상면스크라이빙라인에 의해 복수개로 분리된 패널상면(11)이 흡착되므로, 상기 패널상면(11)에 대한 흡착력이 저하됨에 따라 낙하할 위험이 있다. 또한, 비교예는 상기 상면스크라이빙라인에 의해 복수개로 분리된 패널상면(11)이 흡착된 상태에서 상기 패널하면(12)에 대해 상기 하면스크라이빙공정이 수행되므로, 상기 하면스크라이빙공정이 수행되는 과정에서 상기 패널(10)에 가해지는 가압력 등으로 인해 상기 패널상면(11)에 대한 흡착력이 저하됨에 따라 낙하할 위험이 증가하는 문제가 있다.

이와 달리, 본 발명에 따른 패널 스크라이빙장치(1)는 상기 패널하면(12)에 대해 상기 하면스크라이빙공정이 수행된 후에, 상기 패널상면(11)에 대해 상기 상면스크라이빙공정이 수행되도록 구현된다. 이에 따라, 상기 패널(10)은 상기 상면스크라이빙라인이 형성되지 않은 패널상면(11)이 흡착된 상태로 상기 패널하면(12)에 대해 상기 하면스크라이빙공정이 수행된다. 따라서, 본 발명에 따른 패널 스크라이빙장치(1)는 아직 복수개로 분리되지 않은 패널상면(11)이 흡착되므로, 상기 패널상면(11)에 대한 흡착력이 저하되는 것을 방지함으로써 상기 패널(10)이 낙하할 위험을 감소시킬 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 패널 스크라이빙장치(1)는 아직 복수개로 분리되지 않은 패널상면(11)이 흡착된 상태에서 상기 패널하면(12)에 대해 상기 하면스크라이빙공정이 수행되므로, 상기 하면스크라이빙공정이 수행되는 과정에서 상기 패널(10)에 가해지는 가압력 등으로 인해 상기 패널상면(11)에 대한 흡착력이 저하되는 것을 방지함으로써 상기 패널(10)이 낙하할 위험을 더 감소시킬 수 있다.

이와 같이, 본 발명에 따른 패널 스크라이빙장치(1)는 비교예와 대비할 때, 상기 하면스크라이빙공정이 수행되는 과정에서 상기 패널(10)이 상기 제1스테이지부(2)로부터 이격되어 낙하할 위험을 감소시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 패널 스크라이빙장치(1)는 비교예와 대비할 때, 상기 패널(10)에 대한 손실량을 더 감소시킴으로써, 스크라이빙공정이 완료된 패널(10)에 대한 수율을 더 증대시킬 수 있는 장점이 있다.

이하에서는 상기 제1스테이지부(2), 상기 하면스크라이빙부(3), 상기 제2스테이지부(4), 및 상기 상면스크라이빙부(5)에 대해 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다.

도 3 내지 도 7을 참고하면, 상기 제1스테이지부(2)는 상기 패널상면(11)을 흡착하는 것이다. 상기 패널상면(11)은 상기 패널(10)이 이송되면서 상기 하면스크라이빙공정 및 상기 상면스크라이빙공정이 수행되는 동안 상측을 향하는 면(面)이다. 예컨대, 디스플레이장치 중에서 LCD를 제조하기 위한 패널(10)인 경우, 상기 패널(10)은 컬러필터(Color Filter) 어레이가 형성된 상부기판 및 박막트랜지스터(Thin Film Transistor, TFT) 어레이가 형성된 하부기판이 서로 대향되도록 합착된 것일 수 있다. 이 경우, 상기 상부기판은 내면이 상기 상부기판을 향하도록 배치되고, 외면이 상기 내면에 대해 반대되는 방향을 향하도록 배치된다. 상기 상부기판의 외면이 상기 패널상면(11)에 해당할 수 있다. 이 경우, 상기 하부기판은 내면이 상기 상부기판을 향하도록 배치되고, 외면이 상기 내면에 대해 반대되는 방향을 향하도록 배치된다. 상기 하부기판의 외면이 상기 패널하면(12)에 해당할 수 있다. 즉, 상기 패널(10)은 상기 상부기판의 외면이 상기 패널상면(11)에 해당하고, 상기 하부기판의 외면이 상기 패널하면(12)에 해당하도록 배치된 상태로 이송되면서 상기 하면스크라이빙공정 및 상기 상면스크라이빙공정이 수행될 수도 있다. 이와 반대로, 상기 패널(10)은 상기 상부기판의 외면이 상기 패널하면(12)에 해당하고, 상기 하부기판의 외면이 상기 패널상면(11)에 해당하도록 배치된 상태로 이송되면서 상기 하면스크라이빙공정 및 상기 상면스크라이빙공정이 수행될 수도 있다.

상기 제1스테이지부(2)는 상기 패널상면(11)을 흡착하여 상기 패널(10)을 이송할 수 있다. 상기 제1스테이지부(2)는 상기 상면스크라이빙라인이 미형성된 패널상면(11)을 흡착할 수 있다. 이에 따라, 상기 제1스테이지부(2)는 상기 상면스크라이빙라인으로 인해 흡착력이 저하되지 않도록 구현되므로, 상기 패널상면(11)을 견고하게 흡착할 수 있다. 상기 제1스테이지부(2)는 상기 패널(10)의 상측에 위치하도록 배치될 수 있다.

상기 제1스테이지부(2)는 상기 하면스크라이빙부(3)가 상기 패널하면(12)에 대해 상기 하면스크라이빙공정이 수행하는 동안, 상기 패널상면(11)을 흡착한 상태로 유지할 수 있다. 상기 하면스크라이빙공정이 완료되면, 상기 제1스테이지부(2)는 상기 패널(10)을 상기 제2스테이지부(4)로 이송할 수 있다.

상기 제1스테이지부(2)는 제1로딩영역(LA1, 도 4에 도시됨) 및 제1언로딩영역(ULA1, 도 4에 도시됨) 간에 상기 패널(10)을 이송할 수 있다.

상기 제1로딩영역(LA1)은 상기 하면스크라이빙공정 및 상기 상면스크라이빙공정이 수행될 패널(10)이 상기 제1스테이지부(2)에 흡착되는 로딩작업이 이루어지는 영역이다. 상기 패널(10)은 공급부(300)로부터 공급될 수 있다. 상기 공급부(300)로부터 공급된 패널(10)은, 상기 패널상면(11) 및 상기 패널하면(12) 모두에 대해 스크라이빙공정이 수행되지 않은 것이다. 상기 제1로딩영역(LA1)에서 상기 제1스테이지부(2)는 상기 공급부(300)의 상측에 위치하도록 배치될 수 있다. 이 경우, 상기 공급부(300)가 상기 패널하면(12)을 흡착한 상태에서, 상기 공급부(300)의 상승 동작을 통해 상기 패널(10)이 상기 제1스테이지부(2)에 로딩될 수 있다. 상기 공급부(300)가 상기 패널하면(12)을 흡착한 상태에서, 상기 제1스테이지부(2)의 하강 동작을 통해 상기 패널(10)이 상기 제1스테이지부(2)에 로딩될 수도 있다. 상기 공급부(300)가 상기 패널하면(12)을 흡착한 상태에서, 상기 공급부(300)의 상승 동작 및 상기 제1스테이지부(2)의 하강 동작을 통해 상기 패널(10)이 상기 제1스테이지부(2)에 로딩될 수도 있다.

상기 제1언로딩영역(ULA1)은 상기 하면스크라이빙공정이 수행된 패널(10)이 상기 제2스테이지부(4)로 이송되는 언로딩작업이 이루어지는 영역이다. 상기 제1언로딩영역(ULA1)에서 상기 제1스테이지부(2)는 상기 제2스테이지부(4)의 상측에 위치하도록 배치될 수 있다. 이 경우, 상기 제1스테이지부(2)가 상기 패널상면(11)을 흡착한 상태에서, 상기 제2스테이지부(4)의 상승 동작을 통해 상기 패널(10)이 상기 제1스테이지부(2)로부터 언로딩됨과 아울러 상기 패널(10)이 상기 제2스테이지부(4)에 로딩될 수 있다. 상기 제1스테이지부(2)가 상기 패널상면(11)을 흡착한 상태에서, 상기 제1스테이지부(2)의 하강 동작을 통해 상기 패널(10)이 상기 제1스테이지부(2)로부터 언로딩됨과 아울러 상기 패널(10)이 상기 제2스테이지부(4)에 로딩될 수도 있다. 상기 제1스테이지부(2)가 상기 패널상면(11)을 흡착한 상태에서, 상기 제2스테이지부(4)의 상승 동작 및 상기 제1스테이지부(2)의 하강 동작을 통해 상기 패널(10)이 상기 제1스테이지부(2)로부터 언로딩됨과 아울러 상기 패널(10)이 상기 제2스테이지부(4)에 로딩될 수도 있다.

상기 제1언로딩영역(ULA1) 및 상기 제1로딩영역(LA1)은 제1축방향(X축 방향)을 따라 서로 이격된 위치에 배치될 수 있다. 도 4를 기준으로 하여 상기 패널(10)이 좌측에서 우측으로 이송되면서 공정이 진행되는 경우, 상기 제1언로딩영역(ULA1)은 상기 제1로딩영역(LA1)에 대해 우측으로 이격된 위치에 배치될 수 있다. 이 경우, 상기 제1스테이지부(2)는 상기 제2스테이지부(4)에 대해 좌측으로 이격된 위치에 배치될 수 있다.

상기 제1스테이지부(2)는 상기 패널(10)을 제1이송경로(TP1, 도 4에 도시됨)를 따라 이송할 수 있다. 상기 제1이송경로(TP1)는 상기 하면스크라이빙부(3)의 상측에 배치될 수 있다. 이 경우, 상기 패널(10)은 상기 제1스테이지부(2) 및 상기 하면스크라이빙부(3)의 사이에 배치되어서 상기 제1이송경로(TP1)를 따라 이송될 수 있다. 상기 제1이송경로(TP1)는 상기 제1축방향(X축 방향)에 대해 평행하게 배치될 수 있다.

상기 제1스테이지부(2)는 상기 패널하면(12)이 상기 하면스크라이빙부(3)의 상측을 통과하면서 스크라이빙되도록 상기 패널(10)을 상기 제1이송경로(TP1)를 따라 이송할 수 있다. 상기 패널하면(12)이 상기 하면스크라이빙부(3)의 상측을 통과함에 따라, 상기 패널하면(12)에는 하면스크라이빙라인(BL, 도 6에 도시됨)이 형성될 수 있다. 상기 패널(10)은 상기 제1이송경로(TP1)를 따라 이송되는 과정에서 상기 패널하면(12)이 상기 하면스크라이빙부(3)에 접촉될 수 있는 높이에 위치할 수 있다. 상기 패널하면(12)이 상기 하면스크라이빙부(3)에 접촉될 수 있는 높이는, 상기 패널(10)이 상기 제1로딩영역(LA1)에서 상기 제1스테이지부(2)에 로딩될 때의 높이에 비해 더 높을 수 있다. 상기 패널하면(12)이 상기 하면스크라이빙부(3)에 접촉될 수 있는 높이는, 상기 패널(10)이 상기 제1로딩영역(LA1)에서 상기 제1스테이지부(2)에 로딩될 때의 높이와 동일할 수도 있다. 이 경우, 상기 하면스크라이빙부(3)의 높이가 조절된 후에, 상기 제1스테이지부(2)가 상기 패널(10)을 상기 제1이송경로(TP1)를 따라 이송할 수 있다. 상기 제1스테이지부(2)가 상기 패널(10)의 높이를 조절한 후에 상기 패널(10)을 상기 제1이송경로(TP1)를 따라 이송할 수도 있다.

상기 제1스테이지부(2)는 상기 패널하면(12)에 상기 하면스크라이빙라인(BL)이 형성되도록, 상기 제1로딩영역(LA1) 및 상기 제1언로딩영역(ULA1) 간에 상기 제1이송경로(TP1)를 따라 상기 패널(10)을 이송할 수 있다. 상기 제1스테이지부(2)는 상기 제1로딩영역(LA1) 및 상기 제1언로딩영역(ULA1) 간에 상기 제1이송경로(TP1)를 따라 상기 패널(10)을 왕복하여 이송할 수도 있다. 이 경우, 상기 패널하면(12)에 대한 상기 하면스크라이빙공정이 반복적으로 수행됨으로써, 상기 패널하면(12)에 상기 하면스크라이빙라인(BL)이 형성될 수 있다.

상기 제1스테이지부(2)는 상기 패널하면(12)에 서로 직교하는 하면스크라이빙라인(BL, BL')(도 7에 도시됨)이 형성되도록 상기 패널(10)을 이송할 수도 있다. 이를 구체적으로 살펴보면, 다음과 같다.

우선, 상기 제1스테이지부(2)는 상기 패널하면(12)에 상기 제1축방향(X축 방향)에 대해 평행한 하면스크라이빙라인(BL)이 형성되도록 상기 패널(10)을 상기 제1이송경로(TP1)를 따라 이송한다.

다음, 상기 제1스테이지부(2)는 상기 패널(10)을 선회시킨다. 이에 따라, 상기 제1축방향(X축 방향)에 대해 평행하게 형성된 하면스크라이빙라인(BL)은, 제2축방향(Y축 방향)에 대해 평행하게 배치되도록 선회될 수 있다. 상기 제2축방향(Y축 방향) 및 상기 제1축방향(X축 방향)은 동일 평면 상에서 서로 수직한 축 방향이다. 상기 제1스테이지부(2)는 상기 패널(10)을 수평상태로 유지하면서 선회시킬 수 있다.

다음, 상기 제1스테이지부(2)는 상기 패널하면(12)에 상기 제1축방향(X축 방향)에 대해 평행한 하면스크라이빙라인(BL')이 형성되도록 상기 패널(10)을 상기 제1이송경로(TP1)를 따라 이송한다. 이에 따라, 상기 패널하면(12)에는 서로 직교하는 하면스크라이빙라인(BL, BL')이 형성될 수 있다. 예컨대, 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 패널하면(12)에는 상기 제1축방향(X축 방향)에 대해 평행한 하면스크라이빙라인(BL') 및 상기 제2축방향(Y축 방향)에 대해 평행한 하면스크라이빙라인(BL)이 형성될 수 있다. 상기 패널하면(12)에는 상기 제1축방향(X축 방향)에 대해 평행한 하면스크라이빙라인(BL')이 복수개 형성될 수도 있다. 이 경우, 상기 하면스크라이빙라인(BL')들은 상기 제2축방향(Y축 방향)으로 서로 이격된 위치에 형성될 수 있다. 상기 패널하면(12)에는 상기 제2축방향(Y축 방향)에 대해 평행한 하면스크라이빙라인(BL)이 복수개 형성될 수도 있다. 이 경우, 상기 하면스크라이빙라인(BL)들은 상기 제1축방향(X축 방향)으로 서로 이격된 위치에 형성될 수 있다.

도 3 내지 도 7을 참고하면, 상기 제1스테이지부(2)는 제1흡착기구(21, 도 5에 도시됨) 및 제1이송기구(22, 도 5에 도시됨)를 포함할 수 있다.

상기 제1흡착기구(21)는 상기 패널(10)을 흡착하는 것이다. 상기 제1흡착기구(21)는 상기 패널상면(11)에 접촉됨으로써, 상기 패널(10)을 흡착할 수 있다. 상기 제1흡착기구(21)는 진공펌프(미도시)로부터 제공된 흡입력을 이용하여 상기 패널(10)을 흡착할 수 있다. 상기 제1흡착기구(21)는 부착력, 정전기력 등을 이용하여 상기 패널(10)을 흡착할 수도 있다. 상기 제1흡착기구(21)는 제1스테이지본체(20, 도 5에 도시됨)에 설치될 수 있다. 상기 제1스테이지본체(20)는 스크라이빙공정이 이루어지는 작업장소의 바닥면에 설치될 수 있다. 상기 제1흡착기구(21)는 상기 패널(10)의 상측에서 상기 패널상면(11)을 흡착할 수 있도록 상기 제1스테이지본체(20)에 설치될 수 있다.

상기 제1이송기구(22)는 상기 제1흡착기구(21)를 이동시키는 것이다. 상기 제1이송기구(22)는 상기 제1흡착기구(21)를 상기 제1로딩영역(LA1) 및 상기 제1언로딩영역(ULA1) 간에 이동시킴으로써, 상기 패널(10)을 상기 제1로딩영역(LA1) 및 상기 제1언로딩영역(ULA1) 간에 상기 제1이송경로(TP1)를 따라 이송할 수 있다. 상기 제1이송기구(22)는 상기 제1흡착기구(21)에 연결되도록 상기 제1스테이지본체(20)에 설치될 수 있다. 이 경우, 상기 제1흡착기구(21)는 상기 제1스테이지본체(20)에 이동 가능하게 설치될 수 있다. 상기 제1이송기구(22)는 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터방식 등을 이용하여 상기 제1흡착기구(21)를 이동시킬 수 있다.

상기 제1스테이지부(2)는 제1작동기구(23, 도 5에 도시됨)를 포함할 수 있다.

상기 제1작동기구(23)는 상기 제1흡착기구(21)를 선회시킬 수 있다. 상기 제1흡착기구(21)가 상기 패널상면(11)을 흡착한 상태에서, 상기 제1작동기구(23)는 상기 제1흡착기구(21)를 선회시킴으로써 상기 패널(10)을 선회시킬 수 있다. 이 경우, 상기 제1작동기구(23)는 상기 패널하면(12)에 서로 직교하는 하면스크라이빙라인(BL, BL')이 형성되도록 상기 제1흡착기구(21)를 선회시킬 수 있다. 상기 제1작동기구(23)는 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터방식 등을 이용하여 상기 제1흡착기구(21)를 선회시킬 수 있다.

상기 제1작동기구(23)는 상기 제1스테이지본체(20)에 설치될 수 있다. 이 경우, 상기 제1흡착기구(21)는 상기 제1작동기구(23)에 설치됨으로써, 상기 제1작동기구(23)를 통해 상기 제1스테이지본체(20)에 설치될 수 있다. 상기 제1작동기구(23)는 상기 제1스테이지본체(20)에 이동 가능하게 설치될 수 있다. 이 경우, 상기 제1흡착기구(21)는 상기 제1작동기구(23)가 이동함에 따라 함께 이동하도록 상기 제1작동기구(23)에 설치될 수 있다. 상기 제1작동기구(23)는 상기 제1이송기구(22)에 의해 이동될 수 있다.

상기 제1작동기구(23)는 상기 제1흡착기구(21)를 승강시키도록 구현될 수도 있다. 상기 제1작동기구(23)는 상기 공급부(300)가 공급한 패널(10)이 상기 제1흡착기구(21)에 흡착되어서 로딩될 수 있도록 상기 제1흡착기구(21)를 승강시킬 수 있다. 상기 제1작동기구(23)는 상기 제1흡착기구(21)에 흡착된 패널(10)이 상기 제1흡착기구(21)로부터 이격되어서 언로딩될 수 있도록 상기 제1흡착기구(21)를 승강시킬 수 있다. 상기 제1흡착기구(21)로부터 이격된 패널(10)은 상기 제2스테이지부(4)에 로딩될 수 있다. 상기 제1작동기구(23)는 상기 패널하면(12)이 상기 하면스크라이빙부(3)의 상측을 통과하면서 스크라이빙되는 높이에 위치하도록 상기 제1흡착기구(21)를 승강시킬 수 있다. 상기 제1작동기구(23)는 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터방식 등을 이용하여 상기 제1흡착기구(21)를 승강시킬 수 있다.

도 3 내지 도 7을 참고하면, 상기 하면스크라이빙부(3)는 상기 패널하면(12)을 스크라이빙하는 하면스크라이빙공정을 수행하는 것이다. 상기 하면스크라이빙부(3)는 상기 제1스테이지부(2)에 상기 패널상면(11)이 흡착된 패널(10)에 대해 상기 패널하면(12)에 상기 하면스크라이빙라인(BL)을 형성함으로써, 상기 하면스크라이빙공정을 수행할 수 있다. 상기 하면스크라이빙부(3)는 상기 제1로딩영역(LA1)과 상기 제1언로딩영역(ULA1) 사이에서 상기 제1이송경로(TP1)의 하측에 위치하도록 배치될 수 있다. 상기 하면스크라이빙공정이 수행될 때, 상기 하면스크라이빙부(3)는 상기 제1스테이지부(2)에 상기 패널상면(11)이 흡착된 패널(10)에 대해 하측에 위치하도록 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1스테이지부(2)가 상기 패널상면(11)을 흡착한 상태에서 상기 패널(10)을 상기 제1이송경로(TP1)를 따라 이송하면, 상기 패널하면(12)은 상기 하면스크라이빙부(3)의 상측을 통과하면서 스크라이빙될 수 있다. 상기 하면스크라이빙부(3)는 상기 패널(10)이 갖는 복수개의 단위셀(13)들을 구분하는 경계선을 따라 상기 패널하면(12)을 스크라이빙할 수 있다.

상기 하면스크라이빙부(3)는 하면스크라이빙기구(31, 도 5에 도시됨)를 포함할 수 있다.

상기 하면스크라이빙기구(31)는 상기 패널하면(12)에 접촉됨으로써, 상기 패널하면(12)을 스크라이빙하는 것이다. 상기 하면스크라이빙기구(31)는 스크라이빙 휠(Scribing Wheel)을 이용하여 상기 패널하면(12)을 스크라이빙할 수 있다. 상기 하면스크라이빙기구(31)는 상기 스크라이빙 휠이 상측을 향하도록 설치될 수 있다. 상기 하면스크라이빙기구(31)는 하면스크라이빙본체(30, 도 5에 도시됨)에 설치될 수 있다. 상기 하면스크라이빙본체(30)는 스크라이빙공정이 이루어지는 작업장소의 바닥면에 설치될 수 있다. 상기 하면스크라이빙기구(31)는 상기 제1로딩영역(LA1) 및 상기 제1언로딩영역(ULA1) 사이에서 상기 제1이송경로(TP1)의 하측에 위치하도록 상기 하면스크라이빙본체(30)에 설치될 수 있다. 상기 하면스크라이빙기구(31)는 상기 패널하면(12)에 레이저(Laser)를 조사하여 상기 패널하면(12)을 스크라이빙할 수도 있다.

상기 하면스크라이빙부(3)는 상기 하면스크라이빙기구(31)를 복수개 포함할 수 있다. 이에 따라, 상기 제1스테이지부(2)가 상기 제1로딩영역(LA1)와 상기 제1언로딩영역(ULA1) 간에 상기 제1이송경로(TP1)를 따라 상기 패널(10)을 한번 이송하면, 상기 패널하면(12)에는 상기 하면스크라이빙기구(31)들에 의해 복수개의 하면스크라이빙라인(BL)이 형성될 수 있다. 상기 하면스크라이빙기구(31)들은 상기 제2축방향(Y축 방향)을 따라 서로 이격된 위치에 배치되도록 상기 하면스크라이빙본체(30)에 설치될 수 있다. 이 경우, 상기 하면스크라이빙라인(BL)들은 상기 제2축방향(Y축 방향)을 따라 서로 이격된 위치에 형성될 수 있다.

상기 하면스크라이빙부(3)는 하면이동기구(32, 도 5에 도시됨)를 포함할 수 있다.

상기 하면이동기구(32)는 상기 하면스크라이빙기구(31)를 이동시키는 것이다. 상기 하면이동기구(32)는 상기 패널(10)의 두께에 따라 상기 하면스크라이빙기구(31)의 높이가 조절되도록 상기 하면스크라이빙기구(31)를 승강시킬 수 있다. 상기 하면스크라이빙기구(31)가 상기 패널하면(12)을 스크라이빙할 때, 상기 하면이동기구(32)는 상기 하면스크라이빙기구(31)가 상기 패널하면(12)을 가압하는 가압력이 조절되도록 상기 하면스크라이빙기구(31)를 승강시킬 수도 있다. 이 경우, 상기 하면이동기구(32)는 보이스 코일 모터(VCM, Voice Coil Motor)를 포함하여 토크 제어 방식으로 상기 하면스크라이빙공정이 이루어지도록 구현될 수 있다. 상기 하면이동기구(32)는 상기 패널(10)이 갖는 복수개의 단위셀(13)들을 구분하는 경계선의 위치에 따라 상기 하면스크라이빙기구(31)를 상기 제2축방향(Y축 방향)을 따라 이동시킬 수도 있다. 상기 하면이동기구(32)는 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터방식 등을 이용하여 상기 하면스크라이빙기구(31)를 이동시킬 수 있다.

상기 하면이동기구(32)는 상기 하면스크라이빙기구(31)가 상기 패널하면(12)을 스크라이빙할 수 있는 높이에 위치하도록 상기 하면스크라이빙기구(31)를 승강시킬 수 있다. 상기 하면이동기구(32)가 상기 하면스크라이빙기구(31)의 높이를 조절한 후에, 상기 제1스테이지부(2)는 상기 패널하면(12)이 상기 하면스크라이빙부(3)의 상측을 통과하면서 스크라이빙되도록 상기 패널(10)을 상기 제1이송경로(TP1)를 따라 이송할 수 있다.

상기 하면스크라이빙부(3)가 상기 하면스크라이빙기구(31)를 복수개 포함하는 경우, 상기 하면이동기구(32)는 상기 하면스크라이빙기구(31)들을 함께 이동시킬 수 있다. 상기 하면스크라이빙부(3)는 상기 하면이동기구(32)를 복수개 포함할 수도 있다. 이 경우, 상기 하면이동기구(32)들은 각각 개별적으로 상기 하면스크라이빙기구(31)들을 이동시킬 수 있다.

도 3 내지 도 10을 참고하면, 상기 제2스테이지부(4)는 상기 패널하면(12)을 흡착하는 것이다. 상기 패널하면(12)은 상기 패널(10)이 이송되면서 상기 하면스크라이빙공정 및 상기 상면스크라이빙공정이 수행되는 동안 하측을 향하는 면(面)이다. 예컨대, 디스플레이장치 중에서 LCD를 제조하기 위한 패널(10)인 경우, 상기 패널(10)은 상기 하부기판의 외면이 상기 패널하면(12)에 해당하고, 상기 상부기판의 외면이 상기 패널상면(11)에 해당하도록 배치된 상태로 이송되면서 상기 하면스크라이빙공정 및 상기 상면스크라이빙공정이 수행될 수 있다. 이와 반대로, 상기 패널(10)은 상기 상부기판의 외면이 상기 패널하면(12)에 해당하고, 상기 하부기판의 외면이 상기 패널상면(11)에 해당하도록 배치된 상태로 이송되면서 상기 하면스크라이빙공정 및 상기 상면스크라이빙공정이 수행될 수도 있다.

상기 제2스테이지부(4)는 상기 패널하면(12)을 흡착하여 상기 패널(10)을 이송할 수 있다. 상기 제2스테이지부(4)는 상기 하면스크라이빙공정을 거쳐 상기 하면스크라이빙라인(BL)이 기형성된 패널하면(12)을 흡착할 수 있다. 상기 제2스테이지부(4)는 상기 패널(10)의 하측에 위치하도록 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제2스테이지부(4)는 상기 패널(10)을 하측에서 지지하면서 상기 패널하면(12)을 흡착할 수 있다. 이에 따라, 상기 제2스테이지부(4)는 상기 하면스크라이빙라인(BL)이 기형성된 패널하면(12)을 합착하더라도, 상기 상면스크라이빙공정이 수행되는 과정에서 상기 패널(10)이 낙하하지 않도록 상기 패널(10)을 견고하게 지지할 수 있다.

상기 제2스테이지부(4)는 상기 상면스크라이빙부(5)가 상기 패널상면(11)에 대해 상기 상면스크라이빙공정이 수행하는 동안, 상기 패널하면(12)을 흡착한 상태로 유지할 수 있다. 상기 상면스크라이빙공정이 완료되면, 상기 제2스테이지부(4)는 상기 패널(10)을 배출부(400)로 이송할 수 있다. 상기 배출부(400)는 상기 하면스크라이빙공정 및 상기 상면스크라이빙공정이 완료된 패널(400)을 후속공정을 수행하는 장비로 반출할 수 있다.

상기 제2스테이지부(4)는 제2로딩영역(LA2, 도 4에 도시됨) 및 제2언로딩영역(ULA2, 도 4에 도시됨) 간에 상기 패널(10)을 이송할 수 있다.

상기 제2로딩영역(LA2)은 상기 상면스크라이빙공정이 수행될 패널(10)이 상기 제2스테이지부(4)에 흡착되는 로딩작업이 이루어지는 영역이다. 상기 패널(10)은 상기 제1스테이지부(2)로부터 공급될 수 있다. 상기 제1스테이지부(2)로부터 공급된 패널(10)은, 상기 패널하면(12)에 대해 스크라이빙공정이 수행된 것이고, 상기 패널상면(11)에 대해 스크라이빙공정이 수행되지 않은 것이다. 상기 제2로딩영역(LA2)에서 상기 제2스테이지부(4)는 상기 제1스테이지부(2)의 하측에 위치하도록 배치될 수 있다. 이 경우, 상기 제1스테이지부(2)가 상기 패널상면(11)을 흡착한 상태에서, 상기 제1스테이지부(2)의 하강 동작을 통해 상기 패널(10)이 상기 제2스테이지부(4)에 로딩될 수 있다. 상기 제1스테이지부(2)가 상기 패널상면(11)을 흡착한 상태에서, 상기 제2스테이지부(4)의 상승 동작을 통해 상기 패널(10)이 상기 제2스테이지부(4)에 로딩될 수도 있다. 상기 제1스테이지부(2)가 상기 패널상면(11)을 흡착한 상태에서, 상기 제1스테이지부(2)의 하강 동작 및 상기 제2스테이지부(4)의 상승 동작을 통해 상기 패널(10)이 상기 제2스테이지부(4)에 로딩될 수도 있다.

상기 제2언로딩영역(ULA2)은 상기 상면스크라이빙공정이 수행된 패널(10)이 상기 배출부(400)로 이송되는 언로딩작업이 이루어지는 영역이다. 상기 제2언로딩영역(ULA2)에서 상기 제2스테이지부(4)는 상기 배출부(400)의 하측에 위치하도록 배치될 수 있다. 이 경우, 상기 제2스테이지부(4)가 상기 패널하면(12)을 흡착한 상태에서, 상기 제2스테이지부(4)의 상승 동작을 통해 상기 패널(10)이 상기 제2스테이지부(4)로부터 언로딩됨과 아울러 상기 패널(10)이 상기 배출부(400)에 로딩될 수 있다. 상기 제2스테이지부(4)가 상기 패널하면(12)을 흡착한 상태에서, 상기 배출부(400)의 하강 동작을 통해 상기 패널(10)이 상기 제2스테이지부(4)로부터 언로딩됨과 아울러 상기 패널(10)이 상기 배출부(400)에 로딩될 수도 있다. 상기 제2스테이지부(4)가 상기 패널하면(12)을 흡착한 상태에서, 상기 제2스테이지부(4)의 상승 동작 및 상기 배출부(400)의 하강 동작을 통해 상기 패널(10)이 상기 제2스테이지부(4)로부터 언로딩됨과 아울러 상기 패널(10)이 상기 배출부(400)에 로딩될 수도 있다.

상기 제2언로딩영역(ULA2) 및 상기 제2로딩영역(LA2)은 상기 제1축방향(X축 방향)을 따라 서로 이격된 위치에 배치될 수 있다. 도 4를 기준으로 하여 상기 패널(10)이 좌측에서 우측으로 이송되면서 공정이 진행되는 경우, 상기 제2언로딩영역(ULA2)은 상기 제2로딩영역(LA2)에 대해 우측으로 이격된 위치에 배치될 수 있다. 이 경우, 상기 제2스테이지부(4)는 상기 제1스테이지부(2)에 대해 우측으로 이격된 위치에 배치될 수 있다. 상기 제2스테이지부(4)는 상기 제2로딩영역(LA2)에서 상기 제1스테이지부(2)의 하측에 위치하고, 상기 제2언로딩영역(ULA2)에서 상기 배출부(400)의 하측에 위치하도록 배치될 수 있다. 상기 하면스크라이빙부(3)는 상기 공급부(300) 및 상기 제2로딩영역(LA2)에 위치한 제2스테이지부(4)의 사이에 위치하도록 배치될 수 있다. 상기 상면스크라이빙부(5)는 상기 제1언로딩영역(ULA1)에 위치한 제1스테이지부(2) 및 상기 배출부(400)의 사이에 위치하도록 배치될 수 있다.

상기 제2스테이지부(4)는 상기 패널(10)을 제2이송경로(TP2, 도 4에 도시됨)를 따라 이송할 수 있다. 상기 제2이송경로(TP2)는 상기 상면스크라이빙부(5)의 하측에 배치될 수 있다. 이 경우, 상기 패널(10)은 상기 제2스테이지부(4) 및 상기 상면스크라이빙부(5)의 사이에 배치되어서 상기 제2이송경로(TP2)를 따라 이송될 수 있다. 상기 제2이송경로(TP2)는 상기 제1축방향(X축 방향)에 대해 평행하게 배치될 수 있다. 상기 제2이송경로(TP2)는 상기 제1이송경로(TP1)에 비해 더 낮은 높이에 위치하도록 배치될 수 있다.

상기 제2스테이지부(4)는 상기 패널상면(11)이 상기 상면스크라이빙부(5)의 하측을 통과하면서 스크라이빙되도록 상기 패널(10)을 상기 제2이송경로(TP2)를 따라 이송할 수 있다. 상기 패널상면(11)이 상기 상면스크라이빙부(5)의 하측을 통과함에 따라, 상기 패널상면(11)에는 상면스크라이빙라인(TL, 도 9에 도시됨)이 형성될 수 있다. 상기 패널(10)은 상기 제2이송경로(TP2)를 따라 이송되는 과정에서 상기 패널상면(11)이 상기 상면스크라이빙부(5)에 접촉될 수 있는 높이에 위치할 수 있다. 상기 패널상면(11)이 상기 상면스크라이빙부(5)에 접촉될 수 있는 높이는, 상기 패널(10)이 상기 제2로딩영역(LA2)에서 상기 제2스테이지부(4)에 로딩될 때의 높이에 비해 더 낮을 수 있다. 상기 패널상면(11)이 상기 상면스크라이빙부(5)에 접촉될 수 있는 높이는, 상기 패널(10)이 상기 제2로딩영역(LA2)에서 상기 제2스테이지부(4)에 로딩될 때의 높이와 동일할 수도 있다. 이 경우, 상기 상면스크라이빙부(5)의 높이가 조절된 후에, 상기 제2스테이지부(4)가 상기 패널(10)을 상기 제2이송경로(TP2)를 따라 이송할 수 있다. 상기 제2스테이지부(4)가 상기 패널(10)의 높이를 조절한 후에 상기 패널(10)을 상기 제2이송경로(TP2)를 따라 이송할 수도 있다.

상기 제2스테이지부(4)는 상기 패널상면(11)에 상기 상면스크라이빙라인(TL)이 형성되도록, 상기 제2로딩영역(LA2) 및 상기 제2언로딩영역(ULA2) 간에 상기 제2이송경로(TP2)를 따라 상기 패널(10)을 이송할 수 있다. 상기 제2스테이지부(4)는 상기 제2로딩영역(LA2) 및 상기 제2언로딩영역(ULA2) 간에 상기 제2이송경로(TP2)를 따라 상기 패널(10)을 왕복하여 이송할 수도 있다. 이 경우, 상기 패널상면(11)에 대한 상기 상면스크라이빙공정이 반복적으로 수행됨으로써, 상기 패널상면(11)에 상기 상면스크라이빙라인(TL)이 형성될 수 있다.

상기 제2스테이지부(4)는 상기 패널상면(11)에 서로 직교하는 상면스크라이빙라인(TL, TL')(도 10에 도시됨)이 형성되도록 상기 패널(10)을 이송할 수도 있다. 이를 구체적으로 살펴보면, 다음과 같다.

우선, 상기 제2스테이지부(4)는 상기 패널상면(11)에 상기 제1축방향(X축 방향)에 대해 평행한 상면스크라이빙라인(TL)이 형성되도록 상기 패널(10)을 상기 제2이송경로(TP2)를 따라 이송한다.

다음, 상기 제2스테이지부(4)는 상기 패널(10)을 선회시킨다. 이에 따라, 상기 제1축방향(X축 방향)에 대해 평행하게 형성된 상면스크라이빙라인(TL)은, 상기 제2축방향(Y축 방향)에 대해 평행하게 배치되도록 선회될 수 있다. 상기 제2스테이지부(4)는 상기 패널(10)을 수평상태로 유지하면서 선회시킬 수 있다.

다음, 상기 제2스테이지부(4)는 상기 패널상면(11)에 상기 제1축방향(X축 방향)에 대해 평행한 상면스크라이빙라인(TL')이 형성되도록 상기 패널(10)을 상기 제2이송경로(TP2)를 따라 이송한다. 이에 따라, 상기 패널상면(11)에는 서로 직교하는 상면스크라이빙라인(TL, TL')이 형성될 수 있다. 예컨대, 도 10에 도시된 바와 같이, 상기 패널상면(11)에는 상기 제1축방향(X축 방향)에 대해 평행한 상면스크라이빙라인(TL') 및 상기 제2축방향(Y축 방향)에 대해 평행한 상면스크라이빙라인(TL)이 형성될 수 있다. 상기 패널상면(11)에는 상기 제1축방향(X축 방향)에 대해 평행한 상면스크라이빙라인(TL')이 복수개 형성될 수도 있다. 이 경우, 상기 상면스크라이빙라인(TL')들은 상기 제2축방향(Y축 방향)으로 서로 이격된 위치에 형성될 수 있다. 상기 패널상면(11)에는 상기 제2축방향(Y축 방향)에 대해 평행한 상면스크라이빙라인(TL)이 복수개 형성될 수도 있다. 이 경우, 상기 상면스크라이빙라인(TL)들은 상기 제1축방향(X축 방향)으로 서로 이격된 위치에 형성될 수 있다.

도 3 내지 도 10을 참고하면, 상기 제2스테이지부(4)는 제2흡착기구(41, 도 8에 도시됨) 및 제2이송기구(42, 도 8에 도시됨)를 포함할 수 있다.

상기 제2흡착기구(41)는 상기 패널(10)을 흡착하는 것이다. 상기 제2흡착기구(41)는 상기 패널하면(12)에 접촉됨으로써, 상기 패널(10)을 흡착할 수 있다. 상기 제2흡착기구(41)는 진공펌프(미도시)로부터 제공된 흡입력을 이용하여 상기 패널(10)을 흡착할 수 있다. 상기 제2흡착기구(41)는 부착력, 정전기력 등을 이용하여 상기 패널(10)을 흡착할 수도 있다. 상기 제2흡착기구(41)는 제2스테이지본체(40, 도 8에 도시됨)에 설치될 수 있다. 상기 제2스테이지본체(40)는 스크라이빙공정이 이루어지는 작업장소의 바닥면에 설치될 수 있다. 상기 제2흡착기구(41)는 상기 패널(10)의 하측에서 상기 패널하면(12)을 흡착할 수 있도록 상기 제2스테이지본체(40)에 설치될 수 있다.

상기 제2이송기구(42)는 상기 제2흡착기구(41)를 이동시키는 것이다. 상기 제2이송기구(42)는 상기 제2흡착기구(41)를 상기 제2로딩영역(LA2) 및 상기 제2언로딩영역(ULA2) 간에 이동시킴으로써, 상기 패널(10)을 상기 제2로딩영역(LA2) 및 상기 제2언로딩영역(ULA2) 간에 상기 제2이송경로(TP2)를 따라 이송할 수 있다. 상기 제2이송기구(42)는 상기 제2흡착기구(41)에 연결되도록 상기 제2스테이지본체(40, 도 8에 도시됨)에 설치될 수 있다. 이 경우, 상기 제2흡착기구(41)는 상기 제2스테이지본체(40)에 이동 가능하게 설치될 수 있다. 상기 제2이송기구(42)는 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터방식 등을 이용하여 상기 제2흡착기구(41)를 이동시킬 수 있다.

상기 제2스테이지부(4)는 제2작동기구(43, 도 8에 도시됨)를 포함할 수 있다.

상기 제2작동기구(43)는 상기 제2흡착기구(41)를 선회시킬 수 있다. 상기 제2흡착기구(41)가 상기 패널하면(12)을 흡착한 상태에서, 상기 제2작동기구(43)는 상기 제2흡착기구(41)를 선회시킴으로써 상기 패널(10)을 선회시킬 수 있다. 이 경우, 상기 제2작동기구(43)는 상기 패널상면(11)에 서로 직교하는 상면스크라이빙라인(TL, TL')이 형성되도록 상기 제2흡착기구(41)를 선회시킬 수 있다. 상기 제2작동기구(43)는 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터방식 등을 이용하여 상기 제2흡착기구(41)를 선회시킬 수 있다.

상기 제2작동기구(43)는 상기 제2스테이지본체(40)에 설치될 수 있다. 이 경우, 상기 제2흡착기구(41)는 상기 제2작동기구(43)에 설치됨으로써, 상기 제2작동기구(43)를 통해 상기 제2스테이지본체(40)에 설치될 수 있다. 상기 제2작동기구(43)는 상기 제2스테이지본체(40)에 이동 가능하게 설치될 수 있다. 이 경우, 상기 제2흡착기구(41)는 상기 제2작동기구(43)가 이동함에 따라 함께 이동하도록 상기 제2작동기구(43)에 설치될 수 있다. 상기 제2작동기구(43)는 상기 제2이송기구(42)에 의해 이동될 수 있다.

상기 제2작동기구(43)는 상기 제2흡착기구(41)를 승강시키도록 구현될 수도 있다. 상기 제2작동기구(43)는 상기 제1스테이지부(2)로부터 이송된 패널(10)이 상기 제2흡착기구(41)에 흡착되어서 로딩될 수 있도록 상기 제2흡착기구(41)를 승강시킬 수 있다. 상기 제2작동기구(43)는 상기 제2흡착기구(41)에 흡착된 패널(10)이 상기 제2흡착기구(41)로부터 이격되어서 언로딩될 수 있도록 상기 제2흡착기구(41)를 승강시킬 수 있다. 상기 제2흡착기구(41)로부터 이격된 패널(10)은 상기 배출부(400)에 로딩될 수 있다. 상기 제2작동기구(43)는 상기 패널상면(11)이 상기 상면스크라이빙부(5)의 하측을 통과하면서 스크라이빙되는 높이에 위치하도록 상기 제2흡착기구(41)를 승강시킬 수 있다. 상기 제2작동기구(43)는 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터방식 등을 이용하여 상기 제2흡착기구(41)를 승강시킬 수 있다.

도 3 내지 도 10을 참고하면, 상기 상면스크라이빙부(5)는 상기 패널상면(11)을 스크라이빙하는 상면스크라이빙공정을 수행하는 것이다. 상기 상면스크라이빙부(5)는 상기 제2스테이지부(4)에 상기 패널하면(12)이 흡착된 패널(10)에 대해 상기 패널상면(11)에 상기 상면스크라이빙라인(TL)을 형성함으로써, 상기 상면스크라이빙공정을 수행할 수 있다. 상기 상면스크라이빙부(5)는 상기 제2로딩영역(LA2)과 상기 제2언로딩영역(ULA2) 사이에서 상기 제2이송경로(TP2)의 상측에 위치하도록 배치될 수 있다. 상기 상면스크라이빙공정이 수행될 때, 상기 상면스크라이빙부(5)는 상기 제2스테이지부(4)에 상기 패널하면(12)이 흡착된 패널(10)에 대해 상측에 위치하도록 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 제2스테이지부(4)가 상기 패널하면(12)을 흡착한 상태에서 상기 패널(10)을 상기 제2이송경로(TP2)를 따라 이송하면, 상기 패널상면(11)은 상기 상면스크라이빙부(5)의 하측을 통과하면서 스크라이빙될 수 있다. 상기 상면스크라이빙부(5)는 상기 패널(10)이 갖는 복수개의 단위셀(13)들을 구분하는 경계선을 따라 상기 패널상면(11)을 스크라이빙할 수 있다.

상기 상면스크라이빙부(5)는 상면스크라이빙기구(51, 도 8에 도시됨)를 포함할 수 있다.

상기 상면스크라이빙기구(51)는 상기 패널상면(11)에 접촉됨으로써, 상기 패널상면(11)을 스크라이빙하는 것이다. 상기 상면스크라이빙기구(51)는 스크라이빙 휠을 이용하여 상기 패널상면(11)을 스크라이빙할 수 있다. 상기 상면스크라이빙기구(51)는 상기 스크라이빙 휠이 하측을 향하도록 설치될 수 있다. 상기 상면스크라이빙기구(51)는 상면스크라이빙본체(50, 도 8에 도시됨)에 설치될 수 있다. 상기 상면스크라이빙본체(50)는 스크라이빙공정이 이루어지는 작업장소의 바닥면에 설치될 수 있다. 상기 상면스크라이빙본체(50)에는 상기 제2스테이지부(4)가 상기 패널(10)을 상기 제2이송경로(TP2)를 따라 이송하는데 간섭되지 않도록 회피홈(미도시)이 형성될 수 있다. 상기 제2흡착기구(41)는 상기 회피홈을 통해 상기 제2로딩영역(LA2) 및 상기 제2언로딩영역(ULA2) 간에 이동하면서 상기 패널(10)을 상기 제2이송경로(TP2)를 따라 이송할 수 있다. 상기 상면스크라이빙기구(51)는 상기 제2로딩영역(LA2) 및 상기 제2언로딩영역(ULA2) 사이에서 상기 제2이송경로(TP2)의 상측에 위치하도록 상기 상면스크라이빙본체(50)에 설치될 수 있다. 상기 상면스크라이빙기구(51)는 상기 패널상면(11)에 레이저를 조사하여 상기 패널상면(11)을 스크라이빙할 수도 있다.

상기 상면스크라이빙부(5)는 상기 상면스크라이빙기구(51)를 복수개 포함할 수 있다. 이에 따라, 상기 제2스테이지부(4)가 상기 제2로딩영역(LA2)과 상기 제2언로딩영역(ULA2) 간에 상기 제2이송경로(TP2)를 따라 상기 패널(10)을 한번 이송하면, 상기 패널상면(11)에는 상기 상면스크라이빙기구(51)들에 의해 복수개의 상면스크라이빙라인(TL)이 형성될 수 있다. 상기 상면스크라이빙기구(51)들은 상기 제2축방향(Y축 방향)을 따라 서로 이격된 위치에 배치되도록 상기 상면스크라이빙본체(50)에 설치될 수 있다. 이 경우, 상기 상면스크라이빙라인(TL)들은 상기 제2축방향(Y축 방향)을 따라 서로 이격된 위치에 형성될 수 있다.

상기 상면스크라이빙부(5)는 상면이동기구(52, 도 8에 도시됨)를 포함할 수 있다.

상기 상면이동기구(52)는 상기 상면스크라이빙기구(51)를 이동시키는 것이다. 상기 상면이동기구(52)는 상기 패널(10)의 두께에 따라 상기 상면스크라이빙기구(51)의 높이가 조절되도록 상기 상면스크라이빙기구(51)를 승강시킬 수 있다. 상기 상면스크라이빙기구(51)가 상기 패널상면(11)을 스크라이빙할 때, 상기 상면이동기구(52)는 상기 상면스크라이빙기구(51)가 상기 패널상면(11)을 가압하는 가압력이 조절되도록 상기 상면스크라이빙기구(51)를 승강시킬 수도 있다. 이 경우, 상기 상면이동기구(52)는 보이스 코일 모터(VCM)를 포함하여 토크 제어 방식으로 상기 상면스크라이빙공정이 이루어지도록 구현될 수 있다. 상기 상면이동기구(52)는 상기 패널(10)이 갖는 복수개의 단위셀(13)들을 구분하는 경계선의 위치에 따라 상기 상면스크라이빙기구(51)를 상기 제2축방향(Y축 방향)을 따라 이동시킬 수도 있다. 상기 상면이동기구(52)는 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터방식 등을 이용하여 상기 상면스크라이빙기구(51)를 이동시킬 수 있다.

상기 상면이동기구(52)는 상기 상면스크라이빙기구(51)가 상기 패널상면(11)을 스크라이빙할 수 있는 높이에 위치하도록 상기 상면스크라이빙기구(51)를 승강시킬 수 있다. 상기 상면이동기구(52)가 상기 상면스크라이빙기구(51)의 높이를 조절한 후에, 상기 제2스테이지부(4)는 상기 패널상면(11)이 상기 상면스크라이빙기구(51)의 하측을 통과하면서 스크라이빙되도록 상기 패널(10)을 상기 제2이송경로(TP2)를 따라 이송할 수 있다.

상기 상면스크라이빙부(5)가 상기 상면스크라이빙기구(51)를 복수개 포함하는 경우, 상기 상면이동기구(52)는 상기 상면스크라이빙기구(51)들을 함께 이동시킬 수 있다. 상기 상면스크라이빙부(5)는 상기 상면이동기구(52)를 복수개 포함할 수도 있다. 이 경우, 상기 상면이동기구(52)들은 각각 개별적으로 상기 상면스크라이빙기구(51)들을 이동시킬 수 있다.

도 3 내지 도 11을 참고하면, 본 발명에 따른 패널 스크라이빙장치(1)는 마킹부(6, 도 11에 도시됨)를 포함할 수 있다.

상기 마킹부(6)는 상기 패널(10)이 갖는 복수개의 단위셀(13)들 중에서 불량단위셀을 표시하는 것이다. 이에 따라, 상기 마킹부(6)는 스크라이빙공정이 완료된 패널(10)로부터 불량단위셀이 식별될 수 있도록 한다. 따라서, 본 발명에 따른 패널 스크라이빙장치(1)는 다음과 같은 작용 효과를 도모할 수 있다.

첫째, 본 발명에 따른 패널 스크라이빙장치(1)는 상기 패널(10)에 대한 스크라이빙공정 및 상기 패널(10)에 불량단위셀을 표시하는 마킹공정을 병행하여 수행할 수 있도록 구현된다. 이에 따라, 본 발명에 따른 패널 스크라이빙장치(1)는 상기 스크라이빙공정에 걸리는 시간을 연장시키지 않으면서 상기 마킹공정을 수행할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 패널 스크라이빙장치(1)는 상기 스크라이빙공정을 수행한 후에 상기 마킹공정을 별도로 수행하는 비교예와 대비할 때, 상기 패널(10)에 대한 전체 공정시간을 단축하여 상기 패널(10)에 대한 생산성을 향상시키는데 기여할 수 있다.

둘째, 본 발명에 따른 패널 스크라이빙장치(1)는 상기 스크라이빙공정이 완료된 패널(10)로부터 불량단위셀이 식별되도록 상기 마킹공정을 수행할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 패널 스크라이빙장치(1)는 불량단위셀에 대해 상기 스크라이빙공정 이후의 후속공정이 불필요하게 수행되는 것을 방지할 수 있다.

셋째, 상기 스크라이빙공정 이후의 후속공정은 작업자가 직접 스크라이빙공정이 완료된 패널(10)을 단위셀(13)들로 분리하는 분리공정을 포함할 수 있다. 이러한 분리공정의 경우, 작업자의 육안으로는 불량단위셀을 식별할 수 없기 때문에, 불량단위셀을 포함한 모든 단위셀(13)들이 상기 분리공정 이후의 후속공정에 투입될 수 있다. 이와 같이 상기 분리공정이 작업자에 의해 수행되는 경우에도, 본 발명에 따른 패널 스크라이빙장치(1)는 상기 마킹부(6)를 이용하여 불량단위셀이 작업자의 육안으로 식별될 수 있도록 상기 패널(10)에 불량단위셀을 표시함으로써, 상기 분리공정을 수행하는 작업자가 육안으로 불량단위셀을 구분하여 상기 분리공정 이후의 후속공정에 투입되지 않도록 유도할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 패널 스크라이빙장치(1)는 상기 분리공정이 작업자에 의해 수행되는 경우에도, 불량단위셀이 상기 분리공정 이후의 후속공정에 불필요하게 투입되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 상기 분리공정이 작업자에 의해 수행됨에 따라 불량단위셀을 식별하기 위해 별도의 불량 식별 장치를 구비하는 비교예와 대비할 때, 본 발명에 따른 패널 스크랑이빙장치(1)는 상기 스크라이빙공정 이후의 후속공정에서 별도의 불량 식별 장치를 필요로 하지 않으므로, 상기 패널(10)에 대한 전체 공정시간을 단축하여 상기 패널(10)에 대한 생산성을 향상시키는데 기여할 수 있다.

상기 마킹부(6)는 상기 패널(10)에 대한 스크라이빙공정 및 상기 패널(10)에 대한 마킹공정이 병행하여 수행되도록 상기 상면스크라이빙부(5) 및 상기 하면스크라이빙부(3) 중에서 적어도 하나에 설치될 수 있다. 상기 마킹부(6)가 상기 상면스크라이빙부(5)에 설치된 경우, 상기 패널상면(11)에 대한 상면스크라이빙공정 및 상기 마킹공정이 병행하여 수행될 수 있다. 상기 마킹부(6)가 상기 하면스크라이빙부(3)에 설치된 경우, 상기 패널하면(12)에 대한 하면스크라이빙공정 및 상기 마킹공정이 병행하여 수행될 수 있다.

상기 마킹부(6)는 마킹유닛(61, 도 11에 도시됨)을 포함할 수 있다.

상기 마킹유닛(61)은 상기 패널(10)에 불량단위셀을 표시하는 것이다. 상기 마킹유닛(61)은 불량단위셀이 육안으로 식별되도록 상기 패널(10)에 불량단위셀을 표시할 수 있다. 예컨대, 상기 마킹부(6)는 상기 패널(10)에서 불량단위셀이 위치한 부분에 홈을 가공함으로써, 상기 패널(10)에 불량단위셀을 표시할 수 있다. 상기 마킹부(6)는 상기 패널(10)에서 불량단위셀이 위치한 부분을 채색함으로써, 상기 패널(10)에 불량단위셀을 표시할 수도 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 패널 스크라이빙장치(1)는 상기 스크라이빙공정 이후의 후속공정에서 불량단위셀을 구별하는 구별작업에 대한 용이성을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라, 상기 후속공정에서 상기 구별작업에 걸리는 시간을 단축하여 상기 패널(10)에 대한 생산성을 향상시키는데 기여할 수 있다.

상기 마킹유닛(61)은 분사기구 및 조사기구 중에서 적어도 하나를 포함할 수 있다.

상기 분사기구는 불량단위셀에 잉크를 분사하는 것이다. 이에 따라, 상기 분사기구는 잉크에 의해 불량단위셀이 위치한 부분을 채색함으로써, 불량단위셀 및 정상단위셀이 색체에 의해 구별되도록 할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 패널 스크라이빙장치(1)는 상기 후속공정에서 불량단위셀을 색채로 구별될 수 있도록 구현됨으로써, 상기 구별작업에 대한 용이성을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라 상기 구별작업에 걸리는 시간을 단축하여 상기 패널(10)에 대한 생산성을 향상시키는데 기여할 수 있다. 상기 분사기구가 분사하는 잉크는, 상기 단위셀(13)들이 갖는 색채와 구별될 수 있는 상이한 색채로 이루어진 것일 수 있다.

상기 조사기구는 불량단위셀에 레이저를 조사하는 것이다. 이에 따라, 상기 조사기구는 레이저에 의해 불량단위셀이 위치한 부분에 홈을 가공함으로써, 불량단위셀 및 정상단위셀이 홈에 의해 구별되도록 할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 패널 스크라이빙장치(1)는 상기 후속공정에서 불량단위셀을 홈의 유무로 구별될 수 있도록 구현됨으로써, 상기 구별작업에 대한 용이성을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라 상기 구별작업에 걸리는 시간을 단축하여 상기 패널(10)에 대한 생산성을 향상시키는데 기여할 수 있다.

상기 마킹유닛(61)은 상기 상면스크라이빙부(5)에 설치될 수 있다. 이 경우, 상기 마킹유닛(61)은 상기 패널상면(11)에 불량단위셀을 표시할 수 있다. 상기 마킹유닛(61)은 상기 제2로딩영역(LA2) 및 상기 제2언로딩영역(ULA2) 사이에서 상기 제2이송경로(TP2)의 상측에 위치하도록 배치될 수 있다. 상기 제2스테이지부(4)는 상기 패널상면(11)이 상기 마킹유닛(61)의 하측을 통과하면서 불량단위셀이 표시되도록 상기 패널(10)을 상기 제2이송경로(TP2)를 따라 이송할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 패널 스크라이빙장치(1)는 상기 제2스테이지부(4)가 상기 패널(10)을 상기 제2이송경로(TP2)를 따라 이송하는 과정에서, 상기 상면스크라이빙부(5)를 이용한 상면스크라이빙공정 및 상기 마킹유닛(61)을 이용한 마킹공정이 병행하여 이루지도록 구현될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 패널 스크라이빙장치(1)는 상기 상면스크라이빙공정에 걸리는 시간을 연장시키지 않으면서 상기 마킹공정을 수행할 수 있으므로, 상기 패널(10)에 대한 전체 공정시간을 단축하여 상기 패널(10)에 대한 생산성을 향상시키는데 기여할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 패널 스크라이빙장치(1)는 불량단위셀에 대해 상기 후속공정이 불필요하게 수행되는 것을 방지함으로써, 상기 패널(10)에 대한 전체 공정비용을 줄이는데 기여할 수 있다.

상기 마킹유닛(61)은 상기 상면스크라이빙기구(51)에 설치될 수 있다. 상기 패널상면(11)에 불량단위셀을 표시할 때, 상기 마킹유닛(61)은 상기 패널(10)의 상측에 위치하도록 상기 상면스크라이빙기구(51)에 설치될 수 있다. 상기 마킹유닛(61)은 상기 패널(10)로부터 상측으로 이격된 위치에 위치하도록 상기 상면스크라이빙기구(51)에 설치될 수 있다.

상기 제1축방향(X축 방향)을 기준으로, 상기 마킹유닛(61)은 상기 제1언로딩영역(ULA1)에 위치한 제1스테이지부(2) 및 상기 상면스크라이빙기구(51)의 사이에 위치하도록 상기 상면스크라이빙기구(51)에 설치될 수 있다. 상기 제1축방향(X축 방향)을 기준으로, 상기 마킹유닛(61)은 상기 상면스크라이빙기구(51) 및 상기 배출부(400)의 사이에 위치하도록 상기 상면스크라이빙기구(51)에 설치될 수도 있다.

상기 제2축방향(Y축 방향)을 기준으로, 상기 마킹유닛(61)은 상기 상면스크라이빙라인(TL)으로부터 이격된 위치에 불량단위셀을 표시하도록 상기 상면스크라이빙기구(51)에 설치될 수 있다. 상기 상면스크라이빙기구(51)가 스크라이빙 휠을 이용하여 상기 상면스크라이빙공정을 수행하는 경우, 상기 마킹유닛(61)은 상기 제2축방향(Y축 방향)을 기준으로 상기 스크라이빙 휠로부터 이격된 위치에 위치하도록 상기 상면스크라이빙기구(51)에 설치될 수 있다.

상기 마킹부(6)는 상기 마킹유닛(61)을 복수개 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 마킹유닛(61)들은 상기 제2축방향(Y축 방향)을 따라 서로 이격된 위치에 위치하도록 상기 상면스크라이빙부(5)에 설치될 수 있다. 상기 상면스크라이빙부(5)가 상기 상면스크라이빙기구(51)를 복수개 포함하는 경우, 상기 상면스크라이빙기구(51)들 각각에 상기 마킹유닛(61)이 설치될 수 있다. 상기 마킹부(6)는 상기 제2축방향(Y축 방향)을 기준으로 상기 단위셀(13)들의 개수에 대해 상응하는 개수의 마킹유닛(61)을 포함할 수 있다.

상기 마킹유닛(61)은 상기 하면스크라이빙부(3)에 설치될 수 있다. 이 경우, 상기 마킹유닛(61)은 상기 패널하면(12)에 불량단위셀을 표시할 수 있다. 상기 마킹유닛(61)은 상기 제1로딩영역(LA1) 및 상기 제1언로딩영역(ULA1) 사이에서 상기 제1이송경로(TP1)의 하측에 위치하도록 배치될 수 있다. 상기 제1스테이지부(2)는 상기 패널하면(12)이 상기 마킹유닛(61)의 상측을 통과하면서 불량단위셀이 표시되도록 상기 패널(10)을 상기 제1이송경로(TP1)를 따라 이송할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 패널 스크라이빙장치(1)는 상기 제1스테이지부(2)가 상기 패널(10)을 상기 제1이송경로(TP1)를 따라 이송하는 과정에서, 상기 하면스크라이빙부(3)를 이용한 하면스크라이빙공정 및 상기 마킹유닛(61)을 이용한 마킹공정이 병행하여 이루지도록 구현될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 패널 스크라이빙장치(1)는 상기 하면스크라이빙공정에 걸리는 시간을 연장시키지 않으면서 상기 마킹공정을 수행할 수 있으므로, 상기 패널(10)에 대한 전체 공정시간을 단축하여 상기 패널(10)에 대한 생산성을 향상시키는데 기여할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 패널 스크라이빙장치(1)는 불량단위셀에 대해 상기 후속공정이 불필요하게 수행되는 것을 방지함으로써, 상기 패널(10)에 대한 전체 공정비용을 줄이는데 기여할 수 있다.

상기 마킹유닛(61)은 상기 하면스크라이빙기구(31)에 설치될 수 있다. 상기 패널하면(12)에 불량단위셀을 표시할 때, 상기 마킹유닛(61)은 상기 패널(10)의 하측에 위치하도록 상기 하면스크라이빙기구(31)에 설치될 수 있다. 상기 마킹유닛(61)은 상기 패널(10)로부터 하측으로 이격된 위치에 위치하도록 상기 하면스크라이빙기구(31)에 설치될 수 있다.

상기 제1축방향(X축 방향)을 기준으로, 상기 마킹유닛(61)은 상기 공급부(300) 및 상기 하면스크라이빙기구(31)의 사이에 위치하도록 상기 하면스크라이빙기구(31)에 설치될 수 있다. 상기 제1축방향(X축 방향)을 기준으로, 상기 마킹유닛(61)은 상기 하면스크라이빙기구(31) 및 상기 제2로딩영역(ULA2)에 위치한 제2스테이지부(4)의 사이에 위치하도록 상기 하면스크라이빙기구(31)에 설치될 수도 있다.

상기 제2축방향(Y축 방향)을 기준으로, 상기 마킹유닛(61)은 상기 하면스크라이빙라인(BL)으로부터 이격된 위치에 불량단위셀을 표시하도록 상기 하면스크라이빙기구(31)에 설치될 수 있다. 상기 하면스크라이빙기구(31)가 스크라이빙 휠을 이용하여 상기 하면스크라이빙공정을 수행하는 경우, 상기 마킹유닛(61)은 상기 제2축방향(Y축 방향)을 기준으로 상기 스크라이빙 휠로부터 이격된 위치에 위치하도록 상기 하면스크라이빙기구(31)에 설치될 수 있다.

상기 마킹부(6)는 상기 마킹유닛(61)을 복수개 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 마킹유닛(61)들은 상기 제2축방향(Y축 방향)을 따라 서로 이격된 위치에 위치하도록 상기 하면스크라이빙부(3)에 설치될 수 있다. 상기 하면스크라이빙부(3)가 상기 하면스크라이빙기구(31)를 복수개 포함하는 경우, 상기 하면스크라이빙기구(31)들 각각에 상기 마킹유닛(61)이 설치될 수 있다. 상기 마킹부(6)는 상기 제2축방향(Y축 방향)을 기준으로 상기 단위셀(13)들의 개수에 대해 상응하는 개수의 마킹유닛(61)을 포함할 수 있다.

상기 마킹부(6)는 상기 상면스크라이빙부(5)에 설치된 마킹유닛(61) 및 상기 하면스크라이빙부(3)에 설치된 마킹유닛(61) 중에서 어느 하나를 포함하도록 구현될 수 있다. 상기 마킹부(6)는 상기 상면스크라이빙부(5)에 설치된 마킹유닛(61) 및 상기 하면스크라이빙부(3)에 설치된 마킹유닛(61) 모두를 포함하도록 구현될 수도 있다.

상기 마킹부(6)는 획득유닛(62, 도 11에 도시됨)을 포함할 수 있다.

상기 획득유닛(62)은 상기 패널(10)이 갖는 단위셀(13)들 각각에 대한 셀정보를 획득하는 것이다. 상기 셀정보는 상기 단위셀(13)의 불량 여부에 관한 정보를 포함할 수 있다. 상기 획득유닛(62)은 획득한 셀정보를 상기 마킹유닛(61)에 제공할 수 있다. 상기 마킹유닛(61)은 상기 획득유닛(62)이 획득한 셀정보에 따라 상기 패널(10)에 불량단위셀을 표시할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 패널 스크라이빙장치(1)는 상기 마킹유닛(61)을 이용하여 상기 패널(10)에 불량단위셀을 표시하는 마킹공정에 대한 정확성을 향상시킬 수 있다. 상기 마킹유닛(61)은 상기 패널(10)이 갖는 단위셀(13)들 중에서 상기 셀정보로부터 불량으로 확인된 단위셀(13)에만 잉크를 분사하거나 레이저를 조사함으로써, 상기 패널(10)에 불량단위셀을 표시할 수 있다.

상기 획득유닛(62)은 상기 단위셀(13)들 각각의 식별자를 이용하여 상기 단위셀(13)들에 대한 셀정보를 획득할 수 있다. 식별자는 바코드 등과 같은 형태로 상기 단위셀(13)에 표시되어 있을 수 있다. 상기 획득유닛(62)은 상기 단위셀(13)들 각각의 식별자를 촬영한 후에, 촬영한 식별자에 해당하는 단위셀의 셀정보로부터 해당 단위셀(13)이 불량인지 여부를 검출할 수 있다. 예컨대, 상기 획득유닛(62)은 비젼 카메라(Vision Camera)를 이용하여 상기 단위셀(13)들 각각의 식별자를 촬영할 수 있다. 상기 획득유닛(62)은 시스템서버(미도시)로부터 촬영한 식별자에 해당하는 단위셀의 셀정보를 수신하고, 수신한 셀정보로부터 해당 단위셀(13)이 불량인지 여부를 확인할 수 있다.

상기 획득유닛(62)은 상기 상면스크라이빙부(5)에 설치될 수 있다. 상기 획득유닛(62)은 상기 제2로딩영역(LA2) 및 상기 제2언로딩영역(ULA2) 사이에서 상기 제2이송경로(TP2)의 상측에 위치하도록 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 패널(10)은 상기 제2스테이지부(4)에 의해 상기 획득유닛(62)의 하측을 통과하도록 이송될 수 있다. 이 과정에서 상기 획득유닛(62)은 상기 단위셀(13)들 각각에 대한 셀정보를 획득할 수 있다. 상기 획득유닛(62)은 상기 상면스크라이빙기구(51)에 설치될 수 있다. 상기 상면스크라이빙기구(51)에 상기 마킹유닛(61)이 설치된 경우, 상기 획득유닛(62) 및 상기 마킹유닛(61)은 서로 다른 위치에 위치하도록 상기 상면스크라이빙기구(51)에 설치될 수 있다. 상기 상면스크라이빙기구(51)에는 상기 획득유닛(62)이 상기 셀정보를 획득한 후에 상기 마킹유닛(61)이 상기 마킹공정을 수행하도록 상기 획득유닛(62) 및 상기 마킹유닛(61)이 설치될 수 있다.

상기 마킹부(6)는 상기 획득유닛(62)을 복수개 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 획득유닛(62)은 상기 제2축방향(Y축 방향)을 따라 서로 이격된 위치에 위치하도록 상기 상면스크라이빙부(5)에 설치될 수 있다. 상기 상면스크라이빙부(5)가 상기 상면스크라이빙기구(51)를 복수개 포함하는 경우, 상기 상면스크라이빙기구(51)들 각각에 상기 획득유닛(62)이 설치될 수 있다. 상기 마킹부(6)는 상기 제2축방향(Y축 방향)을 기준으로 상기 단위셀(13)들의 개수에 대해 상응하는 개수의 획득유닛(62)을 포함할 수 있다.

상기 마킹부(6)는 상기 상면스크라이빙부(5)가 갖는 비젼 카메라를 이용하여 상기 패널(10)이 갖는 단위셀(13)들 각각에 대한 셀정보를 획득하도록 구현될 수도 있다. 상기 상면스크라이빙부(5)가 갖는 비젼 카메라는, 상기 패널상면(11)을 스크라이빙하는데 이용되는 것이다. 이에 따라, 본 발명에 따른 패널 스크라이빙장치(1)는 상기 마킹부(6) 및 상기 상면스크라이빙부(5)가 비젼 카메라를 공용으로 이용하도록 구현됨으로써, 구축비용을 더 줄일 수 있다.

상기 획득유닛(62)은 상기 하면스크라이빙부(3)에 설치될 수 있다. 상기 획득유닛(62)은 상기 제1로딩영역(LA1) 및 상기 제1언로딩영역(ULA1) 사이에서 상기 제1이송경로(TP1)의 하측에 위치하도록 배치될 수 있다. 이에 따라, 상기 패널(10)은 상기 제1스테이지부(2)에 의해 상기 획득유닛(62)의 상측을 통과하도록 이송될 수 있다. 이 과정에서 상기 획득유닛(62)은 상기 단위셀(13)들 각각에 대한 셀정보를 획득할 수 있다. 상기 획득유닛(62)은 상기 하면스크라이빙기구(31)에 설치될 수 있다. 상기 하면스크라이빙기구(31)에 상기 마킹유닛(61)이 설치된 경우, 상기 획득유닛(62) 및 상기 마킹유닛(61)은 서로 다른 위치에 위치하도록 상기 하면스크라이빙기구(31)에 설치될 수 있다. 상기 하면스크라이빙기구(31)에는 상기 획득유닛(62)이 상기 셀정보를 획득한 후에 상기 마킹유닛(61)이 상기 마킹공정을 수행하도록 상기 획득유닛(62) 및 상기 마킹유닛(61)이 설치될 수 있다.

상기 마킹부(6)는 상기 획득유닛(62)을 복수개 포함할 수 있다. 이 경우, 상기 획득유닛(62)은 상기 제2축방향(Y축 방향)을 따라 서로 이격된 위치에 위치하도록 상기 하면스크라이빙부(3)에 설치될 수 있다. 상기 하면스크라이빙부(3)가 상기 하면스크라이빙기구(31)를 복수개 포함하는 경우, 상기 하면스크라이빙기구(31)들 각각에 상기 획득유닛(62)이 설치될 수 있다. 상기 마킹부(6)는 상기 제2축방향(Y축 방향)을 기준으로 상기 단위셀(13)들의 개수에 대해 상응하는 개수의 획득유닛(62)을 포함할 수 있다.

상기 마킹부(6)는 상기 하면스크라이빙부(3)가 갖는 비젼 카메라를 이용하여 상기 패널(10)이 갖는 단위셀(13)들 각각에 대한 셀정보를 획득하도록 구현될 수도 있다. 상기 하면스크라이빙부(3)가 갖는 비젼 카메라는, 상기 패널하면(12)을 스크라이빙하는데 이용되는 것이다. 이에 따라, 본 발명에 따른 패널 스크라이빙장치(1)는 상기 마킹부(6) 및 상기 하면스크라이빙부(3)가 비젼 카메라를 공용으로 이용하도록 구현됨으로써, 구축비용을 더 줄일 수 있다.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.

1 : 패널 스크라이빙장치 2 : 제1스테이지부
3 : 하면스크라이빙부 4 : 제2스테이지부
5 : 상면스크라이빙부 6 : 마킹부
21 : 제1흡착기구 22 : 제1이송기구
23 : 제1작동기구 31 : 하면스크라이빙기구
32 : 하면이동기구 41 : 제2흡착기구
42 : 제2이송기구 43 : 제2작동기구
51 : 상면스크라이빙부 52 : 상면이동기구
61 : 마킹유닛 62 : 획득유닛

Claims (12)

1. 패널을 로딩하는 제1로딩영역 및 패널을 언로딩하는 제1언로딩영역 간에 패널을 제1이송경로를 따라 이송하고, 패널의 패널상면을 흡착하여 패널을 이송하는 제1스테이지부;
   상기 제1로딩영역과 상기 제1언로딩영역 사이에서 상기 제1이송경로의 하측에 위치하도록 배치되고, 상기 제1스테이지부에 패널상면이 흡착된 패널에 대해 패널하면을 스크라이빙하는 하면스크라이빙공정을 수행하는 하면스크라이빙부;
   상기 하면스크라이빙공정을 거친 패널을 로딩하는 제2로딩영역과 패널을 언로딩하는 제2언로딩영역 간에 패널을 제2이송경로를 따라 이송하고, 패널하면을 흡착하여 패널을 이송하는 제2스테이지부;
   상기 제2로딩영역과 상기 제2언로딩영역 사이에서 상기 제2이송경로의 상측에 위치하도록 배치되고, 상기 제2스테이지부에 패널하면이 흡착된 패널에 대해 패널상면을 스크라이빙하는 상면스크라이빙공정을 수행하는 상면스크라이빙부; 및
   패널이 갖는 복수개의 단위셀들 중에서 불량단위셀이 식별되도록 패널에 불량단위셀을 표시하는 마킹공정을 수행하는 마킹부를 포함하고,
   상기 상면스크라이빙부는 상기 하면스크라이빙공정을 거쳐 패널하면에 하면스크라이빙라인이 기형성된 패널에 대해 패널상면에 상면스크라이빙라인을 형성하며,
   상기 마킹부는 패널에 대한 스크라이빙공정 및 패널에 대한 마킹공정이 병행하여 수행되도록 상기 상면스크라이빙부 및 상기 하면스크라이빙부 중에서 적어도 하나에 설치된 것을 특징으로 하는 패널 스크라이빙장치.
2. 제1항에 있어서,
   상기 제1스테이지부는 상면스크라이빙라인이 미형성된 패널상면을 흡착하도록 패널의 상측에 위치하도록 배치되고,
   상기 제2스테이지부는 상기 하면스크라이빙공정을 거쳐 하면스크라이빙라인이 기형성된 패널하면을 흡착하도록 패널의 하측에 위치하도록 배치되는 것을 특징으로 하는 패널 스크라이빙장치.
3. 제1항에 있어서,
   상기 제1스테이지부는 상기 제1로딩영역에서 패널을 공급하는 공급부의 상측에 위치하도록 배치되고,
   상기 하면스크라이빙부는 상기 공급부 및 상기 제2로딩영역에 위치한 제2스테이지부의 사이에 위치하도록 배치되며,
   상기 제2스테이지부는 상기 제2로딩영역에서 상기 제1스테이지부의 하측에 위치하고, 상기 제2언로딩영역에서 패널을 배출하는 배출부의 하측에 위치하도록 배치되고,
   상기 상면스크라이빙부는 상기 제1언로딩영역에 위치한 제1스테이지부 및 상기 배출부의 사이에 위치하도록 배치된 것을 특징으로 하는 패널 스크라이빙장치.
4. 제1항에 있어서,
   상기 제1스테이지부는 패널하면이 상기 하면스크라이빙부의 상측을 통과하면서 스크라이빙되도록 패널을 상기 제1이송경로를 따라 이송하고,
   상기 제2스테이지부는 패널상면이 상기 상면스크라이빙부의 하측을 통과하면서 스크라이빙되도록 패널을 상기 제2이송경로를 따라 이송하는 것을 특징으로 하는 패널 스크라이빙장치.
5. 삭제
6. 제1항에 있어서,
   상기 마킹부는 패널에 불량단위셀을 표시하는 마킹유닛을 포함하고,
   상기 마킹유닛은 패널에 잉크를 분사하는 분사기구 및 패널에 레이저를 조사하는 조사기구 중에서 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 패널 스크라이빙장치.
7. 제1항에 있어서,
   상기 마킹부는 패널에 불량단위셀을 표시하는 마킹유닛, 및 패널이 갖는 복수개의 단위셀들 각각에 대한 셀정보를 획득하는 획득유닛을 포함하고,
   상기 마킹유닛은 상기 획득유닛이 획득한 셀정보에 따라 패널에 불량단위셀을 표시하는 것을 특징으로 하는 패널 스크라이빙장치.
8. 제1항에 있어서,
   상기 마킹부는 패널상면에 불량단위셀을 표시하도록 상기 상면스크라이빙부에 설치되는 마킹유닛을 포함하고,
   상기 마킹유닛은 상기 제2로딩영역과 상기 제2언로딩영역 사이에서 상기 제2이송경로의 상측에 위치하도록 배치되며,
   상기 제2스테이지부는 패널상면이 상기 마킹유닛의 하측을 통과하면서 패널상면에 불량단위셀이 표시되도록 패널을 상기 제2이송경로를 따라 이송하는 것을 특징으로 하는 패널 스크라이빙장치.
9. 제1항에 있어서,
   상기 마킹부는 패널에 불량단위셀을 표시하는 마킹유닛을 복수개 포함하고,
   상기 제2스테이지부는 제1축방향에 대해 평행한 제2이송경로를 따라 패널을 이송하며,
   상기 마킹유닛들은 상기 제1축방향에 대해 수직한 제2축방향을 따라 서로 이격된 위치에 위치하도록 상기 상면스크라이빙부에 설치된 것을 특징으로 하는 패널 스크라이빙장치.
10. 제1항에 있어서,
    상기 마킹부는 패널하면에 불량단위셀을 표시하도록 상기 하면스크라이빙부에 설치되는 마킹유닛을 포함하고,
    상기 마킹유닛은 상기 제1로딩영역과 상기 제1언로딩영역 사이에서 상기 제1이송경로의 하측에 위치하도록 배치되며,
    상기 제1스테이지부는 패널하면이 상기 마킹유닛의 상측을 통과하면서 패널하면에 불량단위셀이 표시되도록 패널을 상기 제1이송경로를 따라 이송하는 것을 특징으로 하는 패널 스크라이빙장치.
11. 제1항에 있어서,
    상기 마킹부는 불량단위셀을 표시하는 마킹유닛을 복수개 포함하고,
    상기 제1스테이지부는 제1축방향에 대해 평행한 제1이송경로를 따라 패널을 이송하며,
    상기 마킹유닛들은 상기 제1축방향에 대해 수직한 제2축방향을 따라 서로 이격된 위치에 위치하도록 상기 하면스크라이빙부에 설치된 것을 특징으로 하는 패널 스크라이빙장치.
12. 패널이 갖는 패널상면을 흡착하는 제1스테이지부;
    상기 제1스테이지부에 패널상면이 흡착된 패널에 대해 패널하면에 하면스크라이빙라인을 형성하는 하면스크라이빙공정을 수행하는 하면스크라이빙부;
    상기 하면스크라이빙공정을 거쳐 하면스크라이빙라인이 형성된 패널하면을 흡착하는 제2스테이지부;
    상기 제2스테이지부에 패널하면이 흡착된 패널에 대해 패널상면에 상면스크라이빙라인을 형성하는 상면스크라이빙공정을 수행하는 상면스크라이빙부; 및
    패널이 갖는 복수개의 단위셀들 중에서 불량단위셀이 식별되도록 패널에 불량단위셀을 표시하는 마킹공정을 수행하는 마킹부를 포함하고,
    상기 제1스테이지부는 상면스크라이빙라인이 미형성된 패널상면을 흡착하도록 상기 패널의 상측에 위치하도록 배치되며,
    상기 제2스테이지부는 상기 하면스크라이빙공정을 거쳐 하면스크라이빙라인이 기형성된 패널하면을 흡착하도록 상기 패널의 하측에 위치하도록 배치되고,
    상기 마킹부는 패널에 대한 스크라이빙공정 및 패널에 대한 마킹공정이 병행하여 수행되도록 상기 상면스크라이빙부 및 상기 하면스크라이빙부 중에서 적어도 하나에 설치된 것을 특징으로 하는 패널 스크라이빙장치.

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