KR101521463B1 - 판상체 냉각장치 및 열처리 시스템 - Google Patents

Abstract

본 발명은 열처리된 판상체를 매끄럽게 냉각 가능한 판상체 냉각장치 및 상기 판상체 냉각장치를 구비한 열처리 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.

판상체 배치수단(20)은, 기판(W)을 향하여 송풍 가능한 송풍수단(40)이 소정의 간격마다 형성된 송풍수단 배치부(30)를 복수개 갖는다. 냉각 대상인 기판(W)을 출납할 때는 송풍수단 배치부(30)의 측방에 형성된 작동영역(25)에 이동적재 장치(11)의 포크 폴(13)을 끼워 넣어 작동시킬 수 있다. 이 때문에, 기판(W)의 지지용 지지핀(23)은 송풍수단(40)의 높이분만큼 낮게 하고, 그 분만큼 기판(W)과 송풍수단(40)의 틈을 작게 할 수 있다. 또 이것에 의해 기판(W)을 따라 흐르는 공기의 유속을 높여, 기판(W)의 냉각 효율을 올릴 수 있다.

판상체 배치수단, 송풍수단, 판상체 냉각장치, 지지수단

Description

판상체 냉각장치 및 열처리 시스템{Device for cooling a board-shaped body, and heat treatment system}

본 발명은 유리기판 등의 판상체를 열처리한 후에 냉각하기 위한 판상체 냉각장치나, 상기 판상체 냉각장치를 채용한 열처리 시스템에 관한 것이다.

종래부터, 유리기판 등의 판상체를 열처리하기 위한 열처리장치와, 열처리된 판상체를 냉각하기 위한 판상체 냉각장치를 갖는 열처리 시스템이 액정 디스플레이(LCD : Liquid Crystal Display)나 플라스마 디스플레이(PDP : Plasma Display), 유기 EL 디스플레이 등과 같은 플랫 패널 디스플레이(FPD : Flat Panel Display)의 제작에 사용되고 있다. 이러한 열처리 시스템에서 채용되는 판상체 냉각장치의 일례로서, 하기 특허문헌 1에 개시되어 있는 것이 있다.

특허문헌 1에 개시되어 있는 종래 기술에서는 판상체를 가열하여 열처리를 하는 열 처리조와, 냉각하는 냉각조를 별도로 하여, 열처리가 끝난 판상체를 열 처리조로부터 냉각조로 반송하여 냉각이 행하여진다. 이러한 장치로 연속하여 열처리를 하는 경우, 열 처리조의 온도를 거의 저하시키지 않고 냉각할 수 있기 때문에, 열 처리조에서 사용되는 에너지를 저감시킬 수 있다.

[특허문헌 1] 일본 공개특허공보 2002-71936호

상기한 종래 기술과 같이 열 처리조와 냉각조를 별도로 한 장치의 경우, 각각의 조에서의 공정의 처리 능력을 거의 같은 정도로 하지 않으면, 한쪽의 능력이 남아 효율적인 처리를 할 수 없다. 그리고, 냉각조에서의 냉각시간이 길면, 단위시간당 냉각할 수 있는 판상체의 매수가 적어져 버린다. 이 때문에, 종래 기술과 같은 구성을 채용한 경우는, 냉각조에서의 처리 능력을 확보하기 위해서, 냉각조가 대형화된다는 문제가 있었다.

또, 판상체의 냉각은 특허문헌 1에도 개시되어 있는 바와 같이, 일반적으로, 간격을 두고 판상체를 나열하여, 판상체의 사이에 냉각을 위한 공기를 한쪽으로부터 공급하여, 다른쪽으로 흘려 행하여진다. 이 때문에, 이러한 구성으로 한 경우는, 공기의 흐름방향 하류측 근방에서의 공기류가 완만해져, 판상체의 냉각에 시간을 요하고, 판상체의 냉각이 부위에 따라서 불균일해지거나, 하류측의 온도가 상류측보다도 높아진다고 하는 문제가 있었다.

그래서, 본 발명은 열처리된 판상체를 매끄럽게 냉각 가능한 판상체 냉각장치, 및 상기 판상체 냉각장치를 구비한 열처리 시스템의 제공을 목적으로 하였다.

상기 과제를 해결하기 위해서 제공되는 본 발명의 판상체 냉각장치의 제 1 형태는 냉각 대상인 판상체가 배치되는 판상체 배치수단과, 송풍수단을 갖고, 상기 판상체를 상기 판상체 배치수단에 대하여 측방으로부터 출납하여, 상기 판상체 배치수단 상에 배치 가능한 판상체 냉각장치로서, 상기 판상체 배치수단이 상기 판상체를 하방으로부터 지지하는 지지수단을 갖고, 상기 송풍수단이 상기 판상체에 대하여 상하방향에 근접한 위치로부터 상기 판상체를 향하여 송풍 가능한 것을 특징으로 하고 있다.

본 발명의 판상체 냉각장치에서는, 송풍수단이 판상체 배치수단 상에 배치된 판상체에 대하여 근접하는 위치로부터 판상체를 향하여 송풍 가능하게 되어 있다. 이 때문에, 본 발명의 판상체 냉각장치에서는, 송풍수단으로부터 나온 바람이 판상체와 송풍수단과의 사이에 형성된 좁은 공간을 지난다. 따라서, 본 발명의 판상체 냉각장치에서는, 판상체와 송풍수단과의 사이를 차례차례로 저온의 공기가 흐르게 되고, 그 만큼 판상체가 매끄럽게 냉각된다.

상술한 바와 같이, 본 발명의 판상체 냉각장치에서는, 판상체를 차례차례로 매끄럽게 냉각할 수 있다. 이 때문에, 상기한 구성으로 하면, 판상체의 냉각처리 능력을 확보하기 위해서 판상체 냉각장치를 필요 이상으로 대형화할 필요가 없고, 판상체 냉각장치를 컴팩트하게 제공할 수 있다.

상술한 본 발명의 판상체 냉각장치는 송풍수단의 측방에, 판상체의 출납용 이동적재 장치(移載裝置)가 작동 가능한 작동영역을 갖고, 지지수단에 의해서 지지된 판상체와 송풍수단의 빈틈의 높이가 상기 작동영역의 높이보다도 낮은 것이 바람직하다.

또한, 같은 과제를 해결하기 위해서 제공되는 본 발명의 판상체 냉각장치의 제 2 형태는 냉각 대상인 판상체가 배치되는 판상체 배치수단과, 상기 판상체 배치수단에 배치된 판상체를 향하여 송풍 가능한 송풍수단을 갖고, 상기 판상체를 상기 판상체 배치수단에 대하여 측방으로부터 출납하고, 상기 송풍수단의 상방에 배치 가능한 판상체 냉각장치로서, 상기 판상체 배치수단이 상기 판상체를 하방으로부터 지지하는 지지수단과, 상기 지지수단에 의해서 지지되어 있는 상기 판상체를 향하여 하방으로부터 송풍 가능하도록 상기 송풍수단이 배치된 송풍수단 배치부와, 상기 송풍수단 배치부의 측방에 설치된 작동영역을 갖고, 상기 작동영역에서 상기 판상체의 출납용 이동적재 장치가 작동 가능한 것을 특징으로 하고 있다.

본 발명의 판상체 냉각장치에서는, 판상체 배치수단에 설치된 송풍수단 배치부에 송풍수단이 배치되어 있다. 한편, 판상체 배치수단은 송풍수단 배치부의 측방에 작동영역을 갖고, 이 작동영역을, 판상체의 출납을 행하기 위해 이동적재 장치를 작동시키는 영역으로서 유효하게 이용할 수 있다. 이 때문에, 본 발명의 판상체 냉각장치는 장치 구성이 콤팩트하다.

또, 상술한 바와 같이 이동적재 장치의 작동용 작동영역을 송풍수단의 측방에 설치된 구성으로 하면, 그 만큼 지지수단의 높이를 낮게 하여도, 이동적재 장치를 작동시키는 데 충분한 크기의 작동영역을 확보할 수 있다. 따라서, 본 발명의 판상체 냉각장치에서는, 지지수단에 의해서 지지되어 있는 판상체와 송풍수단의 간격을 작게 할 수 있다. 또한, 본 발명의 판상체 냉각장치에서 채용되어 있는 송풍수단은 판상체를 향하여 하방으로부터 송풍 가능하도록 배치되어 있다. 이 때문에, 본 발명의 판상체 냉각장치에서는, 송풍수단으로부터 나온 바람이 판상체와 송풍수단과의 사이에 형성된 좁은 공간을 지나게 된다. 따라서, 본 발명의 판상체 냉각장치에서는, 판상체와 송풍수단과의 사이를 흐르는 바람의 풍속이 빠르고, 그 만큼 판상체가 매끄럽게 냉각된다.

상술한 본 발명의 판상체 냉각장치는 송풍수단으로부터 판상체를 향하여 송풍되어 판상체를 따라 흐르는 공기를 냉각 가능한 공기 냉각수단을 구비하고 있는 것이 바람직하다.

이러한 구성에 의하면, 판상체의 냉각을 위해서 송풍수단으로부터 송풍된 공기를 공기 냉각수단으로 냉각하는 것이 가능하고, 판상체를 더 한층 매끄럽게 냉각할 수 있다.

또한, 상술한 본 발명의 판상체 냉각장치는 판상체 배치수단에, 복수의 송풍수단이 간격을 두고 배치되어 있고, 상기 송풍수단에 인접하는 위치에 형성된 공간을 개재하여, 상기 송풍수단보다도 상방측의 공간과 하방측의 공간과의 사이에서 공기가 통과 가능한 것이 바람직하다.

본 발명의 판상체 냉각장치에서는, 송풍수단으로부터 판상체를 향하여 송풍되어, 열교환에 의해 가열된 공기를 송풍수단의 측방에 형성된 공간을 개재하여 송풍수단의 상방측의 공간으로부터 하방측의 공간을 향하여 통과시킬 수 있다. 이 때문에, 본 발명의 판상체 냉각장치에서는, 열교환에 의해 고온이 된 공기가 송풍수단이나 판상체 배치수단과 판상체와의 사이에 끼기 어렵다. 따라서, 본 발명에 의하면, 판상체를 매끄럽게 냉각할 수 있다.

또한, 상술한 바와 같은 구성으로 하면, 판상체에 대하여 복수의 송풍수단이 배치되기 때문에, 송풍수단이나 판상체 배치수단과 판상체와의 사이에서 국소적으로 판상체와의 열교환에 의해 고온이 된 공기가 끼는 것을 방지할 수 있다. 이 때문에, 본 발명에 의하면, 판상체를 부위에 상관없이 거의 균일하게 냉각 가능한 판상체 냉각장치를 제공할 수 있다.

상술한 판상체 냉각장치는 판상체 배치수단에 송풍수단이 복수 설치되어 있고, 판상체 배치수단의 상방에 판상체를 배치한 상태에 있어서, 상기 판상체의 외주측의 영역에서 상기 판상체를 따라 흐르는 공기의 풍속이 상기 판상체의 중앙측의 영역에서 상기 판상체를 따라 흐르는 공기의 풍속보다도 저속인 것이 바람직하다.

상술한 구성에 의하면, 통상은 방열이 크게 냉각되기 쉬운 판상체의 주변부에 대하여, 중앙측의 부분에서의 냉각 능력을 올려, 판상체 전체로서의 온도 분포를 거의 균일화할 수 있다. 따라서, 본 발명의 판상체 냉각장치에 의하면, 판상체를 부위에 상관없이 매끄럽게 냉각할 수 있다.

상술한 본 발명의 판상체 냉각장치는 판상체 배치수단이 종량(縱梁)과 횡량(橫梁)을 조합하여 구성되는 골격 구조로 되고, 인접하는 종량간에 형성된 송풍수단 배치부에는, 송풍수단이 설치되어 있고, 상기 송풍수단 배치부의 측방에는, 판상체의 출납용 이동적재 장치가 작동 가능한 작동영역이 종량을 따라 신장하도록 형성되어 있는 것으로 하는 것이 가능하다.

또, 상술한 본 발명의 판상체 냉각장치는 중공(中空)인 판상체 배치수단에 대하여 공기를 공급 가능한 공기 공급수단을 갖고, 판상체 배치수단은 송풍수단으로서 기능하는 송풍부를 구비하고 있고, 상기 송풍부가 판상체 배치수단 내에 도입된 공기를 방출하여, 판상체에 대하여 분출하는 것이 가능한 송풍구를 갖는 것으로 하는 것도 가능하다.

또한, 본 발명의 열처리 시스템은 판상체의 열처리를 하는 열처리장치와, 상술한 판상체 냉각장치와, 열처리된 판상체를 추출하여 상기 판상체 냉각장치에 반입하는 이동적재 장치를 갖는 것을 특징으로 하고 있다.

본 발명의 열처리 시스템은 상술한 판상체 냉각장치를 구비하고 있기 때문에, 열처리장치에서 열처리된 판상체를 매끄럽게 냉각할 수 있다. 이 때문에, 본 발명의 열처리 시스템에 의하면, 판상체의 열처리로부터 냉각에 이르는 일련의 작업을 효율 좋게 행할 수 있다.

본 발명에 의하면, 장치 구성이 콤팩트하고, 열처리된 판상체를 거의 균일하고 또한 매끄럽게 냉각 가능한 판상체 냉각장치, 및 상기 판상체 냉각장치를 구비한 열처리 시스템을 제공할 수 있다.

계속해서, 본 발명의 1실시형태에 관계되는 열처리 시스템(1), 및 판상체 냉각장치(10)에 관해서 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다.

도 1에 도시하는 바와 같이, 열처리 시스템(1)은 열처리장치(2)와 판상체 냉각장치(10; 이하, 단순히 냉각장치(10)라고도 함)와, 로봇 핸드로 구성된 이동적재 장치(11)를 구비하고 있다. 열처리장치(2)는 유리판 등의 기판(판상체)을 열처리장치(2)에 투입하여 열처리하는 것이다.

냉각장치(10)는 열처리장치(2)에서 열처리된 기판을 냉각하기 위한 것이다. 냉각장치(10)는 상하방향에 복수의 판상체 배치수단(20)이 소정의 간격을 두고 나열된 구성으로 되어 있다. 도 3이나 도 4b, 도 4c 등에 도시하는 바와 같이, 각 판상체 배치수단(20)에는 작동영역(25)이 형성되어 있다. 또, 각 판상체 배치수단(20)에는 송풍수단 배치부(30)가 형성되어 있다. 송풍수단 배치부(30)에는, 송풍수단(40)이 배치되어 있다.

또 구체적으로 설명하면, 도 3에 도시하는 바와 같이, 판상체 배치수단(20)은 10개의 종량(21)을 소정의 간격을 두고 거의 평행하게 나열하고, 이들의 양단부분에 횡량(22)을 장착한 골격 구조를 갖는다. 판상체 배치수단(20)은 종량(21)이 냉각장치(10)의 깊이 방향(도 3에 있어서 상하방향)을 향해서 신장하고, 횡량(22)이 냉각장치(10)의 폭방향(도 3에 있어서 좌우방향)을 향해서 신장하도록 배치된다.

종량(21)에는, 그 길이방향에 지지핀(23)이 소정의 간격마다 복수, 나란히 설치되어 있다. 또, 종량(21)을 판상체 배치수단(20)의 폭방향으로 나열한 순서로 종량(21a 내지 21j)으로 한 경우, 판상체 배치수단(20)의 폭방향 양단에 위치하는 종량(21a, 21j)은 판상체 배치수단(20)의 바깥 프레임을 이루고 있다. 종량(21a, 21j)과, 이들에 대하여 폭방향 내측에 인접하는 위치에 있는 종량(21b, 21i)과의 사이에는 각각 작동영역(25)이 형성되어 있다. 마찬가지로, 종량(21c, 21d)의 사이나, 종량(21e, 21f) 사이, 종량(21g, 21h) 사이에도 작동영역(25)이 형성되어 있다. 작동영역(25)은 각각 종량(21a 내지 21j)을 따라 직선적으로 신장하고 있다.

또, 판상체 배치수단(20)은 종량(21b, 21c) 사이나, 종량(21d, 21e) 사이, 종량(21f, 21g) 사이, 종량(21h, 21i) 사이에 송풍수단 배치부(30)를 갖는다. 도 3이나 도 4a에 도시하는 바와 같이, 각 송풍수단 배치부(30)에는 종량(21b 내지 21i)의 길이방향으로 소정의 간격마다 4개씩 송풍수단(40)이 설치되어 있다. 또, 각 송풍수단(40)에 대하여 종량(21b 내지 21i)의 길이방향 양편에 인접하는 위치에는 공기 냉각수단(50)이 배치되어 있다.

도 5a에 도시하는 바와 같이, 송풍수단(40)은 송풍팬(41)과 필터(43)를 구비하고 있다. 송풍팬(41)은 흡기구(45)가 하방을 향하고, 배기구(46)가 상방을 향하는 자세로 장착되어 있다. 또 필터(43)는 종래 공지의 HEPA 필터(High Effciency Particulate Air Filter)로 구성되어 있고, 송풍팬(41)의 배기구(46)의 상방에 배치되어 있다. 이 때문에, 송풍수단(40)은 하방에 위치하는 흡기구(45)로부터 흡입한 공기를 필터(43)를 통과시켜 청정화하여, 필터(43)의 상면(47)으로부터 상방을 향하여 방출하는 것이 가능하다. 또한, 필터(43)의 상면(47)은 각 종량(21)에 설치된 지지핀(23)의 선단부분보다도 약간 낮은 위치에 있다. 구체적으로는, 지지핀(23) 상에 기판(W)을 배치한 경우에, 기판(W)의 이면과 필터(43)의 상면(47)과의 빈틈(s)은 좁고, 판상체 배치부(20)의 바닥부로부터 지지핀(23)의 선단까지의 높이(h)에 대하여 충분히 낮다. 즉, 송풍수단(40)의 측방에 있는 작동영역(25)의 높이(h)와 비교하여, 빈틈(s)의 높이는 충분히 작다. 이 때문에, 도 5a에 화살표로 도시한 바와 같이, 지지핀(23) 상에 기판(W)을 배치한 상태로 송풍팬(41)을 작동시키면, 필터(43)의 상면(47)과 기판(W)과의 사이에 형성된 약간의 빈틈(s)의 사이를 공기가 기세 좋게 흐르게 된다.

공기 냉각수단(50)은 수냉식의 냉각장치로 구성되어 있다. 공기 냉각수단(50)은 도시하지 않는 급수원에 대하여 냉매 순환로(51; 도 2)를 개재하여 접속되어 있다. 공기 냉각수단(50)은 냉매 순환로(51)를 개재하여 순환하고 있는 물(냉매)과의 열교환에 의해, 공기를 냉각할 수 있다. 도 5a에 화살표로 도시한 바와 같이, 공기 냉각수단(50)에 인접하는 위치에 있는 송풍수단(40)으로부터 기판(W)을 향하여 방출된 공기는 판상체 배치수단(20)의 상측에서 기판(W)을 따라 흐른 후, 상기 공기 냉각수단(50)에 유입된다. 이 때문에, 공기 냉각수단(50)은 송풍수단(40)으로부터 방출된 공기를 냉각할 수 있다.

계속해서, 열처리 시스템(1)에 의한 기판(W)의 처리방법에 관해서, 냉각장치(10)의 동작을 중심으로 설명한다. 열처리 시스템(1)에 의해 처리되는 기판(W)은 로봇 핸드 등을 사용하여 열처리장치(2)에 투입된다. 그 후, 기판(W)은 소정시간에 걸쳐 소정의 온도(본 실시형태에서는 230℃ 내지 250℃)로 조정된 분위기하에서 노출되어 열처리 된다.

상기한 바와 같이 하여 열처리장치(2)에 의한 열처리가 완료하면, 이동적재 장치(11)에 의해 기판(W)이 열처리장치(2)로부터 추출된다. 열처리 완료의 기판(W)은 냉각장치(10)를 구성하는 복수의 판상체 배치수단(20) 중 기판(W)의 냉각처리를 하지 않은 것의 위에 배치된다. 더욱 구체적으로는, 이동적재 장치(11)는 도 1에 도시하는 바와 같이 5개의 포크 폴(fork pawl;13)을 구비한 포크부(12)를 갖고, 이 포크부(12)를 열처리장치(2) 내에 있는 기판(W)의 하방에 끼워 넣어 들어 올린 후, 열처리장치(2)로부터 끌어냄으로써 기판(W)을 열처리장치(2)로부터 추출할 수 있다.

상기한 바와 같이 하여 기판(W)이 열처리장치(2)로부터 추출되면, 이동적재 장치(11)의 포크부(12)는 기판(W)을 탑재한 상태로 냉각장치(10)측을 향한다. 그 후, 이동적재 장치(11)의 포크부(12)는 냉각장치(10)를 구성하는 판상체 배치수단(20) 중 기판(W)의 냉각처리 중이 아닌 것의 상방에 끼워진다. 이 때, 포크부(12)의 높이는 기판(W)이 판상체 배치수단(20)에 설치된 지지핀(23)에 간섭하지 않도록 조정된다. 또, 포크부(12)는 각 포크 폴(13)이 판상체 배치수단(20)을 구성하는 각 작동영역(25) 내에 침입 가능한 위치로 위치 조정된다. 이렇게 하여 위치 조정한 뒤에 포크부(12)가 상하에 인접하는 판상체 배치수단(20)의 앞측(한쪽의 횡량(22)측)부터 안쪽(다른쪽의 횡량(22)측)을 향하여 끼워 넣어지면, 포크부(12)의 각 포크 폴(13)이 천천히 작동영역(25) 내에서 내려진다. 이것에 의해, 포크부(12)에 탑재된 기판(W)이 판상체 배치수단(20)에 다수 설치된 지지핀(23) 상에 실린 상태가 된다. 그 후, 포크부(12)의 각 포크 폴(13)은 각 종량(21)을 따라 앞과는 역방향으로 수평 이동하여, 각 작동영역(25)으로부터 분출된다.

판상체 배치수단(20)에 기판(W)이 배치된 상태에 있어서, 판상체 배치수단(20)에 다수 설치된 송풍수단(40)의 송풍팬(41)이 작동하면, 도 5a에 화살표로 도시한 바와 같은 공기의 순환류가 발생한다. 또 상세하게 설명하면, 송풍팬(41)이 작동하면, 이 저면측에 설치된 흡기구(45)로부터 흡인된 공기가 상승류가 되어 배기구(46)로부터 필터(43)를 향하여 흐른다. 배기구(46)로부터 나온 공기는 또 필터(43)를 통하여 청정화된 후, 필터(43)의 상면(47)으로부터 상방에 있는 기판(W)을 향하여 분출된다.

여기에서, 상기한 바와 같이, 필터(43)의 상면(47)과 기판(W)의 빈틈(s)은 극히 약간이다. 이 때문에, 필터(43)로부터 방출된 공기는 상면(47)과 기판(W)의 이면과의 사이에서 밀리지 않고 차례차례로 흘러, 기판(W)을 냉각한다. 기판(W)의 이면을 통과하는 공기는 그 후, 각 송풍수단(40)의 양편에 인접하는 위치에 있는 공기 냉각수단(50)에서 냉각된다. 공기 냉각수단(50)에 유입되어 냉각된 공기는 판상체 배치수단(20)의 저면측으로 유출된다. 이렇게 하여 냉각된 공기는 각 공기 냉각수단(50)에 인접하는 위치에 있는 송풍수단(40)의 흡기구(45)로부터 흡인되어, 기판(W)의 냉각에 사용된다.

송풍팬(41)의 작동에 따라 발생한 순환류에 의해 기판(W)이 소정의 온도까지 냉각된 상태가 되면, 이동적재 장치(11)가 기판(W)의 하방에 끼워진다. 이 때, 이동적재 장치(11)는 냉각처리를 위해서 기판(W)을 판상체 배치수단(20) 상에 배치하였을 때와 같은 동작으로 하여 끼워진다. 즉, 냉각처리 완료의 기판(W)을 지지하고 있는 판상체 배치수단(20)에 설치된 각 작동영역(25)에는 이동적재 장치(11)의 각 포크 폴(13)이 판상체 배치수단(20)의 측방으로부터 각 종량(21)을 따라 끼워진다. 각 포크 폴(13)이 판상체 배치수단(20)의 안쪽까지 끼워진 상태가 되면, 각 포크 폴(13)이 각 작동영역(25) 내에서 상방으로 들어 올려진다. 그 후, 이동적재 장치(11)의 각 포크 폴(13)은 각 종량(21)을 따라 수평 이동하여, 각 작동영역(25)으로부터 분출된다. 이것에 의해, 기판(W)이 판상체 냉각장치(10)로부터 추출된 상태가 되어, 일련의 냉각처리가 완료한다.

상기한 바와 같이, 본 실시형태의 냉각장치(10)에서는, 판상체 배치수단(20)에 설치된 송풍수단 배치부(30)에 송풍수단(40)이 배치되어 있다. 또한, 판상체 배치수단(20)의 송풍수단(40)의 측방에는 작동영역(25)이 설치되어 있고, 이것을 기판(W)의 출납을 위해서 유효하게 이용할 수 있다. 따라서, 판상체 냉각장치(10)는 장치 구성이 콤팩트하다.

또한, 냉각장치(10)는 송풍수단(40)의 측방에 형성된 공간을 이동적재 장치(11)용 작동영역(25)으로서 유효하게 이용할 수 있기 때문에, 지지핀(23)의 높이를 이동적재 장치(11)의 작동에 요하는 높이(즉, 작동영역(25)의 높이)보다도 충분히 낮게 할 수 있다. 따라서, 냉각장치(10)에 있어서 기판(W)을 판상체 배치수단(20) 상에 배치하면, 송풍팬(41)의 작동에 따라 기판(W)에 분출되는 공기가 필터(43)의 상면(47)과 기판(W)과의 사이에 형성된 약간의 빈틈(s)을 고속으로 지나게 되어, 기판(W)이 매끄럽게 냉각된다.

상기한 송풍수단(40)은 송풍팬(41) 상에 필터(43)를 장착한 것이었지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니다. 구체적으로는, 복수 설치된 송풍수단(40)의 일부 또는 전부에 관해서, 필터(43)가 설치되어 있지 않아도 좋고, 필터(43)가 다른 부위에 장착되어 있어도 좋다.

상술한 냉각장치(10)는 각 송풍수단(40)과 기판(W)의 빈틈(s)의 크기를 조정함으로써, 송풍수단(40)과 기판(W)과의 사이를 흐르는 공기의 풍속을 적절하게 조정할 수 있다. 구체적으로는, 송풍수단(40)과 기판(W)과의 빈틈(s)을 작게 함으로써, 양자간에서의 공기의 풍속을 높일 수 있다. 더욱 구체적으로는, 예를 들면 필터(43)의 두께를 조정하거나, 송풍수단(40)의 높이를 조정함으로써 송풍수단(40)과 기판(W)의 빈틈(s)의 크기를 조정하여, 각 송풍수단(40)으로부터 기판(W)을 향하여 분출되어 필터(43)의 상면(47)과 기판(W)과의 사이를 흐르는 공기의 풍속을 조정하는 것도 가능하다.

또, 상술한 바와 같이 필터(43)의 두께가 다른 송풍수단(40)을 설치하는 경우는, 필터(43)의 두께의 영향에 의해, 공기의 흐름 저항이 서로 다르게 된다. 이 때문에, 이 경우는, 송풍팬(41)의 회전수를 동일하게 하면, 공기의 흐름 저항이 서로 다른분만큼 송풍수단(40)으로부터 기판(W)을 향하여 분출되는 공기의 풍속이나 기판(W)의 냉각 효율이 서로 다르게 된다. 따라서, 필터(43)의 두께에 의해서 빈틈(s)의 크기를 조정하는 경우는, 필터(43)의 두께의 차이에 의한 공기의 흐름 저항의 크기의 차이를 가미하여, 송풍팬(41)의 회전수를 조정하는 것이 바람직하다.

상기 실시형태에서 개시한 냉각장치(10)에 있어서, 판상체 배치수단(20)에 다수 설치된 송풍수단(40)은 모두 동일한 풍속으로 기판(W)을 향하여 송풍 가능한 것이어도 좋다. 그 한편, 기판(W)의 온도 격차의 발생을 더 한층 확실히 방지하고자 하는 경우는, 기판(W)의 외주측에 상당하는 위치에 있는 송풍수단(40)에서의 송풍 속도가 상기 판상체의 중앙측의 영역의 하방에 위치하는 송풍수단(40)에서의 송풍 속도보다도 저속이 되도록 조정하는 것이 바람직하다.

상기한 냉각장치(10)는 공기 냉각수단(50)을 갖고, 이것에 의해 기판(W)을 따라 흘러 고온이 된 공기를 냉각할 수 있다. 이 때문에, 본 실시형태에 의하면, 기판(W)에 대하여 항상 저온의 공기를 할당할 수 있어, 기판(W)을 신속히 냉각할 수 있다. 또, 상기 실시형태에서는, 각 송풍수단(40)의 양편에 공기 냉각수단(50)을 설치한 구성을 예시하였지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것이 아니라, 상기 실시형태에 있어서 복수 설치되어 있는 공기 냉각수단(50)의 일부를 설치하지 않는 구성으로 하거나, 도 6에 도시하는 바와 같이 공기 냉각수단(50)을 전혀 설치하지 않는 구성으로 하여도 좋다. 또한, 도 5b에 도시하는 바와 같이, 송풍수단(40)의 하방 또는 상방(도 5b에서는 하방)에 공기 냉각수단(50)을 설치한 구성으로 하거나, 도 5c와 같이 냉각수단(40)을 구성하는 필터(43) 대신에 공기 냉각수단(50)을 설치한 구성으로 하여도 좋다.

상술한 바와 같이 공기 냉각수단(50)의 일부 또는 전부를 설치하지 않는 구성으로 한 경우는, 도 6에 도시하는 바와 같이, 이 부분에 상하로 연통한 공간(55)이 형성된다. 이와 같이, 송풍수단(40)에 대하여 인접하는 위치에, 판상체 배치수단(20)의 상하방향으로 연통한 공간이 형성되면, 이것을 개재하여, 기판(W)의 냉각에 따라 가열된 공기의 일부를 송풍수단(40)의 상방측의 공간으로부터 하방측의 공간을 향하여 보낼 수 있다. 따라서, 도 6과 같은 구성을 채용한 경우에 관해서도, 기판(W)의 냉각에 따라 승온한 공기가 기판(W)의 이면에 끼기 어렵고, 기판(W)을 격차 없이 매끄럽게 냉각할 수 있다. 또, 이 경우, 냉각장치(10)의 측방에 별도 송풍장치를 설치하고, 이 송풍장치에 의해서 외기를 보내는 구성으로 하면, 더 한 층 냉각 효과를 향상시킬 수 있다.

상기한 냉각장치(10)는 각 송풍수단(40)에 의해 기판(W)을 하방측으로부터만 냉각하는 것이었지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니다. 구체적으로는, 예를 들면 냉각장치(10)에 있어서 각 판상체 배치수단(20)의 상방에 있는 다른 판상체 배치수단(20)의 저면측에 송풍수단(40)이나 송풍팬(41)에 상당하는 것을 설치한 구성으로 하여도 좋다. 이러한 구성으로 하면, 기판(W)의 하방으로부터만이 아니라, 상방으로부터도 공기를 분출하여 냉각할 수 있고, 더 한층 냉각 효율을 올릴 수 있다.

또, 예를 들면 도 7에 도시하는 바와 같이, 상하방향으로 나열하도록 설치된 판상체 배치수단(57)의 하면측에 송풍수단(40)을 설치하고, 이것에 의한 송풍을 하방측에 인접하는 위치에 있는 판상체 배치수단(57)에 설치된 지지핀(23) 상에 배치된 기판(W)에 분출하여, 냉각하는 구성으로 하여도 좋다. 도 7에 도시하는 바와 같이, 송풍수단(40)을 기판(W)에 대하여 근접하는 위치에 배치하여, 양자의 간격을 작게 하면, 송풍수단(40)의 작동에 따라 발생한 바람이 송풍수단(40)과 기판(W)과의 사이를 차례차례로 고속으로 흐르게 되어, 기판(W)이 매끄럽게 냉각되게 된다.

또, 도 7과 같이 송풍수단(40)을 기판(W)에 대하여 상방에 근접하는 위치에 설치한 경우는, 이동적재 장치(11)의 포크 폴(13)을 끼워 넣어 기판(W)을 출납할 때에 기판(W)이나 이동적재 장치(11)가 상하 동작하는 데 요하는 높이에 대하여 기판(W)과 송풍수단(40)의 간격이 좁아질 가능성이 있다. 이러한 상태가 상정되는 경우는, 지지핀(23)을 상하방향으로 신축 가능한 것으로 하거나, 상하에 인접하는 판상체 배치수단(57)끼리의 간격을 확대할 수 있는 구성으로 하는 것이 바람직하다.

상기 실시형태에서는, 종량(21)이나 횡량(22)을 조합하여 구성되는 골격 구조형의 판상체 배치수단(20)에 대하여, 개별로 송풍팬(41)을 구비한 송풍수단(40)을 복수 장착한 구성을 예시하였지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니다. 구체적으로는, 예를 들면 도 8a 및 도 8b나 도 9에 도시하는 판상체 냉각장치(60; 이하, 단지 냉각장치(60)라고도 함)와 같이 판상체 배치수단(65)과, 이것에 대하여 공기를 공급 가능한 공기 공급수단(66)을 냉각장치 본체(67) 내에 설치하는 동시에, 판상체 배치수단(65)에 송풍수단으로서 기능하는 송풍부(68; 송풍수단)나, 이동적재 장치(11)의 작동용 작동영역(70)을 형성한 것으로 하여도 좋다.

더욱 상세하게 설명하면, 도 9에 도시하는 냉각장치(60)는 도면 중 좌측이 냉각장치(60)의 입구측, 우측이 배면측으로 되어 있다. 냉각장치(60)는 포크 폴(13)을 입구측으로부터 깊이 방향으로 진퇴시킴으로써 기판(W)을 출납 가능하게 되어 있다. 냉각장치(60)를 구성하는 판상체 배치수단(65)은 도 8a 및 도 8b에 도시하는 바와 같이 중공(中空)으로 되어 있다. 판상체 배치수단(65)의 저면측에는, 접속구(65a)가 설치되어 있고, 이것을 개재하여 도입된 공기를 판상체 배치수단(65) 내의 전체에 넓게 퍼지게 할 수 있다. 접속구(65a)는 냉각장치(60)의 배면측에 편재되어 있다.

접속구(65a)에는 공기 공급수단(66)이 배관 접속되어 있다. 공기 공급수단(66)은 송풍기(66a)와 필터(66b)를 갖고 있다. 송풍기(66a)는 냉각장치 본체(67) 내에 있는 공기를 흡인하여 판상체 배치수단(65)측을 향하여 압송하는 것이다. 또한, 필터(66b)는 상술한 냉각장치(10)에서 채용된 필터(43)와 같이, 소위 HEPA 필터로 구성되어 있다. 필터(66b)는 송풍기(66a)와 판상체 배치수단(65)과의 사이에 배치되어 있고, 송풍기(66a)에 의해서 압송되는 공기 중에 포함되어 있는 분진을 포착 가능하게 되어 있다.

또한, 판상체 배치수단(65) 내로, 접속구(65a)에 인접하는 위치에는, 공기 냉각수단(69)이 설치되어 있다. 공기 냉각수단(69)은 접속구(65a)로부터 판상체 배치수단(65) 내에 도입된 공기를 냉각하기 위한 것이다. 공기 냉각수단(69)에는 상술한 냉각장치(10)가 구비하는 공기 냉각수단(50)과 같이 수냉식 등, 적절한 것을 채용할 수 있다.

도 8a 및 도 8b에 도시하는 바와 같이, 판상체 배치수단(65)의 저면은 접속구(65a)로부터 포크 폴(13)의 진퇴방향 앞측으로 멀어질수록 상방을 향하도록 경사져 있다. 이것에 의해, 판상체 배치수단(65)은 공기의 흐름방향 상류측으로부터 하류측을 향함에 따라, 공기 유로가 되는 판상체 배치수단(65) 내의 단면적이 좁게 되어 있다.

또, 판상체 배치수단(65)의 천면(天面)측에는, 송풍부(68)가 다수 설치되어 있다. 송풍부(68)는 도 8a 및 도 8b에 도시하는 바와 같이 판상체 배치수단(65)의 천면측으로부터 상방을 향하여 돌출한 직방체형의 부분이다. 또한, 도 9에 도시하는 바와 같이, 송풍부(68)는 판상체 배치수단(65)을 천면측으로부터 평면에서 본 상태에 있어서 종횡으로 복수(도 9에 도시하는 예에서는 종횡 각각 4개씩) 나열하도록 형성되어 있다.

각 송풍부(68)의 천면(68a)에는 작은 구멍으로 구성된 송풍구(68b)가 다수 설치되어 있다. 또한, 각 송풍부(68)의 네 코너에는 지지핀(23)이 입설되어 있고, 이 상방에 기판(W)을 배치 가능하게 되어 있다. 이 때문에, 각 송풍부(68)는 판상체 배치수단(65) 내에 도입된 공기를 송풍구(68b)로부터 상방을 향하여 방출하고, 기판(W)을 향하여 분출할 수 있는 구조로 되어 있다.

도 9에 도시하는 상태에 있어서, 가로방향에 4개의 송풍부(68)가 나열된 부분을 각각 송풍수단 배치부(71)로 상정한 경우, 각 송풍수단 배치부(71)의 양편부분은 기판(W)의 출납을 위해 이동적재 장치(11)가 진퇴하여 작동하기 위한 작동영역(70)으로서 사용되는 영역이 된다. 작동영역(70)이 형성된 부분은 송풍부(68)보다도 한층 낮게 되어 있다. 송풍부(68)에 입설된 지지핀(23) 및 송풍부(68)의 높이의 합계, 즉 지지핀(23)의 선단과 작동영역(70)의 저면의 간격은 기판(W)의 출납을 위해 이동적재 장치(11)가 작동하는 데 충분한 높이로 되어 있다.

계속해서, 냉각장치(60)를 사용한 기판(W)의 냉각처리방법에 관해서, 냉각장치(60)의 동작을 중심으로 설명한다. 냉각장치(60)는 상술한 열처리 시스템(1)에 있어서 냉각장치(10) 대신에 사용 가능한 것으로, 열처리장치(2)에 의한 열처리가 완료한 기판(W)을 냉각처리하기 위해서 사용된다. 냉각장치(60)에 의해 기판(W)을 냉각하는 경우는, 기판(W)을 탑재한 이동적재 장치(11)의 포크부(12)가 판상체 배치수단(65)의 상방에 끼워진다. 이 때, 포크부(12)의 높이는 기판(W)이 송풍부(68)에 입설된 지지핀(23)에 간섭하지 않도록 조정된다. 또한, 포크부(12)는 각 포크 폴(13)이 각 작동영역(70)에 침입 가능하도록 위치 조정된다. 그 후, 포크부(12)는 냉각장치(60)의 입구측(도 9의 좌측)으로부터 안쪽(도 9의 우측)을 향하여 끼워진다.

포크부(12)는 냉각장치(60)의 안쪽까지 침입한 상태가 되면, 천천히 작동영역(70) 내에서 내려진다. 이것에 의해, 기판(W)이 포크부(12)로부터 각 지지핀(23) 상에 이동적재된 상태가 된다. 기판(W)의 이동적재가 완료하면, 포크부(12)는 수평 이동하여, 작동영역(70)으로부터 빼내진다.

상기한 바와 같이 하여 기판(W)이 판상체 배치수단(65)에 세트된 상태에 있어서, 공기 공급수단(66)의 송풍기(66a)가 작동하면, 도 8a에 화살표로 도시한 바와 같이, 접속구(65a)로부터 공기가 도입된다. 이 공기는 필터(66b)를 통과하여 청정화된 후, 판상체 배치수단(65)의 내측에 도입된다. 판상체 배치수단(65) 내에 도입된 공기는 판상체 배치수단(65)의 천면측에 다수 설치된 송풍부(68)를 향하여 흐른다. 각 송풍부(68)에 도달한 공기는 도 8b에 화살표로 도시한 바와 같이, 천면(68a)에 설치된 송풍구(68b)로부터 상방에 있는 기판(W)을 향하여 분출된다.

기판(W)을 향하여 분출된 공기는 송풍부(68)의 주위를 향하여 흐른다. 여기에서, 상기한 바와 같이, 송풍부(68)는 판상체 배치수단(65)의 천면측에서 직방체형으로 돌출되어 있고, 작동영역(70)을 구성하는 부분이나, 송풍수단 배치부(71)에 나열하는 송풍부(68)끼리의 사이의 부분은 송풍부(68)보다도 한층 낮게 되어 있다. 이 때문에, 기판(W)을 향하여 분출된 공기는 송풍부(68)와 기판(W)과의 사이에 끼지 않고, 송풍부(68)의 측방에 형성된 한층 낮은 홈형의 영역을 통해, 판상체 배치수단(65)의 외주측을 향하여 흐른다. 그 후, 이 공기는 판상체 배치수단(65)의 외측을 향하여 배출된다.

상기한 바와 같이 하여, 송풍부(68)로부터 분출하는 공기류에 의해 기판(W)이 소정의 온도까지 냉각된 상태가 되면, 이동적재 장치(11)가 작동영역(70) 내에 끼워지고, 기판(W)이 들어 올려진다. 그 후, 이동적재 장치(11)에 의해 기판(W)이 냉각장치(60)로부터 방출되면, 일련의 냉각처리가 완료한다.

상기한 바와 같이, 냉각장치(60)에 있어서는, 판상체 배치수단(65)의 천면측에, 상측을 향하여 돌출한 송풍부(68)가 복수 모두 설치되어 있다. 또, 송풍부(68)가 일렬로 나열하여 형성된 송풍수단 배치부(71)의 측방에는 작동영역(70)이 있고, 이 작동영역(70)을 이동적재 장치(11)의 작동용 공간으로서 유효하게 이용할 수 있다. 이 때문에, 냉각장치(60)에서는 지지핀(23)의 높이를 최소한으로 억제할 수 있다.

또, 냉각장치(60)에서는, 지지핀(23)의 높이가 최소한이어도 되기 때문에, 지지핀(23) 상에 배치한 기판(W)과 송풍부(68)의 천면(68a)의 간격이 작다. 이 때문에, 냉각장치(60)에서는, 기판(W)과 천면(68a)과의 사이에 송풍부(68)의 송풍구(68b)로부터 나오는 저온의 공기가 차례차례로 고속으로 흐르게 된다. 따라서, 냉각장치(60)에 의하면, 기판(W)을 신속히 냉각할 수 있다.

냉각장치(60)에서는 송풍부(68)가 다른 부분보다도 한층 높아져 있기 때문에, 평면에서 본 상태로 종횡으로 인접하는 위치에 있는 송풍부(68)끼리의 사이의 부분은 공기를 통과시키기 위한 홈으로서 기능한다. 이 때문에, 냉각장치(60)에 있어서 송풍부(68)로부터 기판(W)을 향하여 분출된 공기는 송풍부(68)와 기판(W)과의 사이에 끼지 않고, 송풍부(68)의 측방에 형성된 홈형의 부분을 판상체 배치수단(65)의 외주측을 향하여 흘러 배출된다. 따라서, 냉각장치(60)에서는, 기판(W)과의 열교환에 의해서 가열된 공기가 판상체 배치수단(68)의 외측을 향하여 매끄럽게 배출된다. 또한, 냉각장치(60)에서는, 기판(W)의 냉각에 따라 가열된 공기가 기판(W)의 하방으로부터 매끄럽게 배출되기 때문에, 기판(W)이 격차 없이 거의 균일하게 냉각된다.

냉각장치(60)는 상기한 냉각장치(10)와 같이 다수의 송풍수단(40)이나 공기 냉각수단(50), 필터(43)를 설치할 필요가 없다. 또한, 냉각장치(60)와 같은 구성으로 하면, 송풍기(66a)로서 송풍수단(40)에서 채용되었던 송풍팬(41)보다도 대형의 것을 사용할 수 있다. 이 때문에, 냉각장치(60)와 같은 구성으로 하면, 제조비용을 억제할 수 있다.

냉각장치(60)에 있어서, 판상체 배치수단(65)의 저면은 공기의 흐름방향 하류측(도 8a 및 도 8b에 있어서 좌측)을 향함에 따라서 상방으로 경사져 있고, 공기가 흐르는 부분의 단면적이 서서히 작아져 있다. 이 때문에, 판상체 배치수단(65) 내를 흐르는 공기 및 각 송풍부(68)로부터 분출하는 공기의 유속은 접속구(65a)에 가까운 상류측의 부분과, 접속구(65a)로부터 떨어진 하류측의 부분에서 큰 차 없이 거의 균일하다. 따라서, 냉각장치(60)에서는, 기판(W)에 대하여 부위에 상관없이 대략 균일한 풍속으로 공기를 기판(W)을 향하여 분출할 수 있고, 기판(W)을 격차 없이 거의 균일하게 냉각할 수 있다. 또, 상기한 냉각장치(60)에서는 각 송풍부(68)로부터 분출하는 공기의 유속을 거의 균일하게 하는 것을 고려하여, 판상체 배치수단(65)의 저면을 경사시킨 구성을 예시하였지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것이 아니라, 판상체 배치수단(65)의 저면은 거의 수평인 것이어도 좋다.

상기 실시형태에서는, 판상체 배치수단(65)의 저면에 접속구(65a)를 설치한 구성을 예시하였지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것이 아니라, 판상체 배치수단(65)의 측면에 접속구(65a)를 설치한 구성으로 하여도 좋다. 또한, 도 8a 및 도 8b에 도시하는 예에서는, 접속구(65a)는 판상체 배치수단(65)의 외주측에 편재한 위치에 설치되어 있지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것이 아니라, 예를 들면 판상체 배치수단(65)의 저면의 중앙 근방에 설치한 구성으로 하여도 좋다.

상기한 냉각장치(60)에서는, 일체적으로 형성된 판상체 배치수단(65)에 작동영역(70)을 개재하여 복수열(도 9에 도시하는 예에서는 4열) 분의 송풍수단 배치부(71)를 설치한 구성을 예시하였지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니다. 구체적으로는, 예를 들면 도 10에 도시하는 판상체 배치수단(80)과 같이, 상기한 판상체 배치수단(65)에 있어서 송풍수단 배치부(71)에 상당하는 부분으로 이루어지는 송풍수단 배치부(81)를 복수, 소정의 간격을 두고 배치하여, 각 송풍수단 배치부(81)에 공기 공급수단(66)을 배관 접속하는 동시에, 각 송풍수단 배치부(81)의 양편에 있는 공간을 이동적재 장치(11)를 작동시키기 위한 작동영역(82)으로서 활용하는 것으로 하여도 좋다. 또, 도 10에 도시하는 바와 같은 구성으로 한 경우는, 도 8a 및 도 8b나 도 9에 도시한 예와 같이 공기 공급수단(66)의 하류측에 공기 냉각수단(69)을 설치하는 대신에, 공기 공급수단(66)의 상류측에 공기 냉각수단(83)을 설치하는 구성으로 하면, 각 송풍수단 배치부(81)마다 공기의 냉각용 수단을 설치할 필요가 없고, 장치 구성을 간략화할 수 있다.

도 9나 도 10에 도시한 예에 있어서, 각 송풍부(68)에 설치한 송풍구(68b)의 개구 직경이나 배치 밀도는 부위에 상관없이 동일하지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것이 아니라, 송풍구(68b)의 개구 직경이나 배치 밀도가 부위에 따라서 서로 달라도 좋다. 구체적으로는, 예를 들면 상방에 기판(W)을 배치한 상태에 있어서 기판(W)의 중앙측에 상당하는 위치에 있는 송풍부(68)에 설치한 송풍구(68b)의 개구 직경을, 기판(W)의 외주측에 상당하는 위치에 있는 송풍부(68)에 설치한 송풍구(68b)보다도 크게 하거나, 기판(W)의 중앙측에 상당하는 위치에 있는 송풍부(68)에 외주측에 상당하는 위치에 있는 송풍부(68)보다도 많은 송풍구(68b)를 설치한 구성으로 하여도 좋다. 이러한 구성으로 하면, 통상은 방열이 크게 냉각되기 쉽다고 상정되는 기판(W)의 주변부보다도, 중앙측의 부분에서의 냉각 능력을 올려, 기판(W) 전체를 격차 없이 거의 균일하게 냉각할 수 있다.

도 1은 본 발명의 1실시형태에 관계되는 열처리 시스템을 도시하는 장치 구성도.

도 2는 판상체 냉각장치의 내부 구조를 도시하는 장치 구성도.

도 3은 판상체 배치수단을 도시하는 평면도.

도 4a는 도 3의 A-A 단면도, 도 4b는 도 3의 B-B 단면도, 도 4c는 도 3의 C-C 단면도.

도 5a는 도 3에 도시하는 판상체 배치수단에서의 송풍수단 근방의 구조 및 공기의 흐름을 모식적으로 도시한 측면도이고, 도 5b 및 도 5c는 각각 송풍수단과 공기 냉각수단의 배치의 변형예를 도시하는 측면도.

도 6은 도 3에 도시하는 판상체 배치수단의 변형예를 도시하는 평면도.

도 7은 판상체 배치수단의 변형예의 요부를 확대한 측면도.

도 8a는 도 2에 도시하는 판상체 냉각장치의 변형예를 도시하는 장치 구성도이고, 도 8b는 도 8a의 A부를 확대한 단면도.

도 9는 도 8a 및 도 8b에 도시하는 판상체 냉각장치를 도시하는 평면도.

도 10은 도 8a 및 도 8b 및 도 9에 도시하는 판상체 냉각장치의 변형예를 도시하는 평면도.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *

1 : 열처리 시스템

2 : 열처리장치

10, 60 : 판상체 냉각장치(냉각장치)

11 : 이동적재 장치

20, 65, 80 : 판상체 배치수단

23 : 지지핀(지지수단)

25, 70, 82 : 작동영역

40 : 송풍수단

41 : 송풍팬

43 : 필터

50, 69, 83 : 공기 냉각수단

55 : 공간

68 : 송풍부(송풍수단)

W : 기판

Claims (10)

1. 냉각 대상인 판상체가 배치되는 판상체 배치수단과,

   송풍수단을 갖고,

   상기 판상체를 상기 판상체 배치수단에 대하여 측방으로부터 출납하고, 상기 판상체 배치수단 상에 배치 가능한 판상체 냉각장치로서,

   상기 판상체 배치수단이 상기 판상체를 하방으로부터 지지하는 지지수단을 갖고,

   상기 송풍수단이 상기 판상체에 대하여 상하방향으로 근접한 위치로부터 상기 판상체를 향하여 송풍 가능하며,

   송풍수단의 측방에, 판상체의 출납용 이동적재 장치가 작동 가능한 작동영역을 갖고,

   지지수단에 의해 지지된 판상체와 송풍수단과의 빈틈의 높이가 상기 작동영역의 높이보다도 낮은 것을 특징으로 하는 판상체 냉각장치.
2. 삭제
3. 냉각 대상인 판상체가 배치되는 판상체 배치수단과,

   상기 판상체 배치수단에 배치된 판상체를 향하여 송풍 가능한 송풍수단을 갖고,

   상기 판상체를 상기 판상체 배치수단에 대하여 측방으로부터 출납하고, 상기 송풍수단의 상방에 배치 가능한 판상체 냉각장치로서,

   상기 판상체 배치수단이,

   상기 판상체를 하방으로부터 지지하는 지지수단과,

   상기 지지수단에 의해서 지지되어 있는 상기 판상체를 향하여 하방으로부터 송풍 가능하도록 상기 송풍수단이 배치된 송풍수단 배치부와,

   상기 송풍수단 배치부의 측방에 설치된 작동영역을 갖고,

   상기 작동영역에서 상기 판상체의 출납용 이동적재 장치가 작동 가능하며,

   지지수단에 의해 지지된 판상체와 송풍수단과의 빈틈의 높이가 상기 작동영역의 높이보다도 낮은 것을 특징으로 하는 판상체 냉각장치.
4. 삭제
5. 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,

   송풍수단으로부터 판상체를 향하여 송풍되어 판상체를 따라 흐르는 공기를 냉각 가능한 공기 냉각수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 판상체 냉각장치.
6. 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,

   판상체 배치수단에, 복수의 송풍수단이 간격을 두고 배치되어 있고, 상기 송풍수단에 인접하는 위치에 형성된 공간을 개재하여, 상기 송풍수단보다도 상방측의 공간과 하방측의 공간과의 사이에서 공기가 통과 가능한 것을 특징으로 하는 판상체 냉각장치.
7. 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,

   판상체 배치수단에 송풍수단이 복수 설치되어 있고,

   판상체 배치수단의 상방에 판상체를 배치한 상태에 있어서, 상기 판상체의 외주측의 영역에서 상기 판상체를 따라 흐르는 공기의 풍속이 상기 판상체의 중앙측의 영역에서 상기 판상체를 따라 흐르는 공기의 풍속보다도 저속인 것을 특징으로 하는 판상체 냉각장치.
8. 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,

   판상체 배치수단은 종량(縱梁)과 횡량(橫梁)을 조합하여 구성되는 골격 구조로 되어 있고,

   인접하는 종량간에 형성된 송풍수단 배치부에는 송풍수단이 설치되어 있고,

   상기 송풍수단 배치부의 측방에는 판상체의 출납용 이동적재 장치가 작동 가능한 작동영역이 종량을 따라 신장하도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 판상체 냉각장치.
9. 제 1 항 또는 제 3 항에 있어서,

   중공인 판상체 배치수단에 대하여 공기를 공급 가능한 공기 공급수단을 갖고,

   판상체 배치수단은 송풍수단으로서 기능하는 송풍부를 구비하고 있고,

   상기 송풍부가 판상체 배치수단 내에 도입된 공기를 방출하고, 판상체에 대하여 분출하는 것이 가능한 송풍구를 갖는 것을 특징으로 하는 판상체 냉각장치.
10. 판상체의 열처리를 하는 열처리장치와,

    제 1 항 또는 제 3 항에 기재된 판상체 냉각장치와,

    열처리된 판상체를 추출하여 상기 판상체 냉각장치에 반입하는 이동적재 장치를 갖는 것을 특징으로 하는 열처리 시스템.

Images