JP2000018829A - 炉内への被処理物の搬入出方法および熱処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 被処理物の炉内への搬入出を短時間で行うこ
とができるようにする。 【解決手段】 炉１内に設けられた熱処理室Ｒに配され
かつ複数の被処理物Ｐが上下に間隔をおいて載置される
被処理物載置位置を有する被処理物支持台３に、処理前
被処理物Ｐを載置し、支持台３から処理後被処理物Ｐを
取り出す炉内への被処理物の搬入出方法である。少なく
とも１つの載置位置が空である状態において、空の載置
位置に被処理物Ｐを載置し、次に支持台３に載置されて
いる被処理物Ｐのうち処理時間が経過した時点で被処理
物Ｐを取り出すことを繰り返す。最後の処理すべき被処
理物Ｐを支持台３に載置した後、新たな被処理物Ｐを支
持台３に載置することなく支持台３に載置されている被
処理物Ｐのうち処理時間が経過した時点のものを取り出
す。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ガラス基板などを
加熱する炉内に被処理物を搬入出する炉内への被処理物
の搬入出方法およびこの方法を実施する熱処理装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】従来、炉内に設けられた熱処理室に配さ
れかつ複数の被処理物を上下に間隔をおいて支持する被
処理物支持台に、処理前被処理物を載置し、支持台から
処理後被処理物を取り出す炉内への被処理物の搬入出方
法として以下に示すものがある。

【０００３】まず、１つめの被処理物を支持台に載置し
た後または載置する前に熱処理室の室温を所定の値に保
つ。そして、支持台に載置しうる数の被処理物を載置す
る。この後、支持台に載置されている被処理物のうち最
も先に載置された被処理物を取り出し、被処理物を取り
出した場所に新たな被処理物を載置することを繰り返し
て処理すべき数の被処理物を支持台に載置する。処理す
べき数の被処理物を支持台に載置した後は、新たな被処
理物を支持台に載置することなく支持台に載置されてい
る被処理物のうち最も先に載置された被処理物を取り出
すことを繰り返す。

【０００４】上記の方法を実施する熱処理装置として例
えば、特開平６−３１７５１４号公報に記載のものがあ
る。この熱処理装置は、炉内に熱処理室が設けられてお
り、熱処理室内に、複数の被処理物を上下に間隔をおい
て支持する被処理物支持台が上下動自在に設けられ、熱
処理室に１つの被処理物が通りうる被処理物搬入口およ
び被処理物搬出口が対向状に形成され、炉外に、被処理
物搬入口から炉内に被処理物を搬入する搬入ロボットと
被処理物搬出口から炉内の被処理物を搬出する搬出ロボ
ットとが設けられているものである。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記従来の熱処理方法
においては、被処理物の搬入出時間の短縮のために、上
記従来の熱処理装置のように、搬入ロボットおよび搬出
ロボットを備えたものを用いる必要がある。しかしなが
ら、２つのロボットを備えている熱処理装置は、装置が
大型になるとともに高価になるという問題がある。

【０００６】本発明の目的は、上記課題を解決した、ロ
ボットの数に関わらず被処理物の搬入出を短時間で行う
ことのできる炉内への被処理物の搬入出方法を提供する
ことにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段および発明の効果】上記課
題を解決するために、本発明の炉内への被処理物の搬入
出方法は、炉内に設けられた熱処理室に配されかつ複数
の被処理物が上下に間隔をおいて載置される被処理物載
置位置を有する被処理物支持台に、処理前被処理物を載
置し、支持台から処理後被処理物を取り出す炉内への被
処理物の搬入出方法であって、少なくとも１つの載置位
置が空である状態において、空の載置位置に被処理物を
載置し、次に先に支持台に載置されている被処理物うち
の処理時間が経過した時点に有るものを取り出すことを
繰り返すものである。

【０００８】この方法によれば、１つのロボットを用
い、支持台に被処理物を載置した後空になったロボット
により支持台の被処理物を搬出することができロボット
の数に関わらず被処理物の搬入出を短時間で行うことが
できる。

【０００９】また、支持台に有る被処理物のうち、最も
先に載置された被処理物を取り出す時点で処理時間が終
了するように時間調整するとよい。

【００１０】上記方法において上からまたは下から順に
支持台に被処理物を載置するようにすれば、ロボットの
移動距離を少なくすることができ、被処理物の搬入出を
さらに短時間で行うことができる。

【００１１】上記方法を実施するための熱処理装置とし
て、炉内に熱処理室が設けられており、熱処理室に被処
理物搬入出口が形成され、熱処理室内に複数の被処理物
を上下に間隔をおいて支持する被処理物支持台が設けら
れ、炉内に被処理物を搬入出する搬入出手段が設けら
れ、搬入出手段を制御する制御装置が設けられた熱処理
装置において、処理すべき被処理物の数、支持台におけ
る被処理物を同時に載置しうる数および支持台における
被処理物を載置すべき位置と順番を記憶する記憶装置を
備えた熱処理装置を用いるとよい。

【００１２】上記方法を実施しうるこの装置において
は、搬入出手段として１つのロボットを用い、炉内に被
処理物を搬入したロボットにより炉内の被処理物を搬出
することができ、装置が小型かつ安価になる。また、こ
の装置においては、記憶装置に記憶されたデータに基づ
き上記方法を自動で実施できる。

【００１３】必要に応じて被処理物を載置した位置と順
番とを記憶装置に記憶するようにするとよい。

【００１４】また、例えば、上から順に支持台に被処理
物を載置し、最も下の載置位置に被処理物を載置した
後、最も上の載置位置の処理後被処理物を取り出し、こ
の載置位置に処理前被処理物を載置するというように規
則正しい順番に基づいて熱処理を行う場合などは、適当
な位置検出センサにより載置位置を検出し、適当なセン
サにより載置位置に被処理物があるか否かを検出するよ
うにしてもよい。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、図１〜図７を参照して本発
明の１実施形態について説明する。なお、以下の説明に
おいて前後左右は、図２を基準とし、図２の左を前、右
を後、下を左、上を右というものとする。

【００１６】熱処理装置は、内部に熱処理室(R) が設け
られている炉(1) と、炉(1) の前方に配されて炉(1) 内
に被処理物(P) を搬入出する搬入出ロボット(2) と、熱
処理室(R) 内において複数の板状被処理物(P) が上下に
間隔をおいて水平状態で載置される複数の被処理物載置
位置を有する被処理物支持台(3) と、処理すべき被処理
物(P) の数、支持台(3) の被処理物載置位置の数および
支持台(3) における被処理物(P) を載置すべき位置と順
番を記憶する記憶装置と、制御装置とを備え、炉(1) の
前壁(1a)に熱処理室(R) と炉(1) 外とを連通する開口
(4) が形成されているものである。なお、熱処理装置の
前方には処理前の複数の被処理物(P) を上下に間隔をお
いて支持している処理前被処理物収納カセット(C) が配
され、図示は省略したが熱処理装置の後方には処理後の
被処理物(P) を収納する処理後被処理物収納カセットが
配されている。

【００１７】なお、記憶装置および制御装置の詳細な図
示は省略したが、制御装置は、記憶装置に記憶された各
種データにより図６に示したように、搬入出ロボット
(2) や後に述べる閉鎖部材(5) および戸(15)の動作を制
御するものである。

【００１８】炉(1) はベース(B) 上に載置されている。
また、熱処理室(R) 内の上部にはこれを上下に分割する
水平板(20)が設けられており、水平板(20)より上方が気
体循環路となされている。図示は省略したが水平板(20)
の左右端部において下方に突出した管路の下端に左右方
向内方を向いた気体吹出口および気体吸入口が形成さ
れ、気体吸入口から空気が気体循環路に吸い込まれ、気
体循環路中に設けられた図示しない加熱装置とフィルタ
により所定の温度に加熱かつ清浄化された空気が気体吹
出口から水平方向に吹き出され、熱処理室(R) 内におけ
る水平板(20)より下方が所定の温度に加熱されるように
なされている。

【００１９】搬入出ロボット(2) は、被処理物(P) を持
ち上げるフォーク(2a)と、フォーク(2a)を水平方向に移
動させる第１および第２アーム(2b)(2c)と、両アーム(2
b)(2c)を駆動する図示しない駆動装置とを備えたもので
ある。また、ロボット(2) は、図示しない駆動装置によ
り上下に移動させられるようになっている。この搬入出
ロボット(2) は公知のものであり詳細な説明は省略す
る。

【００２０】被処理物支持台(3) は、平面から見て方形
の４隅に位置するように配された４本の支柱(3a)と、４
本の支柱(3a)のうちの後に位置する２本の支柱(3a)より
後にかつ後２本の支柱(3a)の左右間隔より狭い間隔をお
いて配された２本の支柱(3b)とを備えている。先に述べ
た４本の支柱(3a)にはそれぞれ左右方向内方に突出し
た、後に述べた２本の支柱(3b)には、前方に突出した支
持爪(3c)がそれぞれ上下に等間隔をおいて固定され、こ
の支持爪(3c)に被処理物(P) が載置されるようになされ
ている。なお、支柱の数および配置位置は被処理物(P)
の大きさおよび載置したさいのひずみ量などに基づいて
定められるものであり、上記の数および配置位置に限ら
れない。この支持台(3) は最大１６枚の被処理物(P) を
載置しうるものであり、以下の説明において被処理物
(P) の載置位置を下から順に第１載置位置、第２載置位
置とよび、１番上を第１６載置位置とよぶ。また、支持
台(3)に載置される被処理物(P) の枚数は１６枚に限定
されるものではない。

【００２１】開口(4) の左右方向の幅は、被処理物(P)
の幅より広くかつ開口(4) の上縁が、第１６載置位置、
すなわち支持台(3) に載置された最も上の被処理物(P)
より上方に、開口(4) の下縁が、第１載置位置、すなわ
ち支持台(3) に載置された最も下の被処理物(P) より下
方に位置するようになされている。

【００２２】炉(1) の前方には、開口(4) を閉鎖する垂
直板状開口閉鎖部材(5) が、炉(1)に直接接触しないよ
うにかつ上下動自在に設けられている。閉鎖部材(5) は
最も下に位置した状態においても、最も上に位置した状
態においても開口(4) の全部を閉鎖しうる高さを有して
いる。開口(4) 縁と閉鎖部材(5) との間には例えばポリ
テトラフルオロエチレン製の短角筒状シール(18)が配さ
れている。シール(18)と閉鎖部材(5) との間には間隔が
あけられている。

【００２３】閉鎖部材(5) は、次に述べるようにして上
下動自在に設けられている。図３に示したように、閉鎖
部材(5) の左下縁部には、ボールナット(6) が固着され
ている。このボールナット(6) は、上端部において炉
(1) の前壁(1a)に固定された軸受装置(21)に支持されか
つ下端部においてベース(B) に固定された軸受装置(21)
に支持された回転はするが上下には移動しないボールね
じ軸(7) に、図示しないボールを介してねじ嵌められて
いる。ボールねじ軸(7) は、ボールナット(6) を貫通
し、下端がベルト伝動装置(8) を介して適当な回転駆動
装置（本実施形態においてはモータ）(9) に連結され、
回転駆動装置(9) によりボールねじ軸(7) が回転させら
れ、この回転によりボールナット(6) を介して閉鎖部材
(5) が上下に移動するようになされている。

【００２４】閉鎖部材(5) には、断面方形状の開口が形
成され、この開口縁に枠部材(16)が炉(1) 内側に突出す
るように固定されている。枠部材(16)には前後方向に伸
びる貫通孔が形成され、この貫通孔が、被処理物搬入出
口(16a) となされている。搬入出口(16a) の左右方向幅
は、被処理物(P) の幅より大きくなされている。搬入出
口(16a) の開口高さは、フォーク(2a)が熱処理室(R) 内
に位置したさいに支持台(3) において上下に隣り合う２
枚の被処理物(P) を操作しうる、すなわち例えば上の載
置位置に被処理物(P) を載置し、下の載置位置にある被
処理物(P) を取り出しうる高さである。なお、搬入出口
(16a) の中央部の高さが他部に比し高いのは、この部分
をフォーク(2a)に比し厚い第１アーム(2b)が通るまたは
この部分に位置するためである。枠部材(16)は、搬入出
口(16a) が開放しているさいに炉(1) 内外の通気抵抗を
増やして炉(1) 内外の空気の流通を押さえる役目および
炉(1) 内の高温空気に第１アーム(2b)が触れるのを防ぐ
役目もある。

【００２５】上記のように、熱処理室(R) 内にロボット
(2) のフォーク(2a)が入り、第１アーム(2b)先端部が開
口(4) 内に位置するので、フォーク(2a)の長さを短くす
ることができ、フォーク(2a)の軽量化が可能になり、こ
れを駆動する駆動装置の負荷が小さくなりかつフォーク
(2a)と第１アーム(2b)との連結部の剛性を低くすること
ができ、ロボット(2) が安くなる。また、フォーク(2a)
の長さが短いとフォーク(2a)の回転半径が小さくなり、
ロボット(2) を炉(1) の近くに設けることができ、熱処
理装置の前後長が短くなるため、熱処理装置の設置面積
を小さくすることができる。

【００２６】閉鎖部材(5) の左側上下端部に左方に突出
した板状部材(11)が、右側上下端部に右方に突出した板
状部材(12)がそれぞれ固定され、各板状部材(11)(12)の
先端に、前壁(1a)における閉鎖部材(5) の左右両側に固
定された垂直ガイド(10)に沿って移動するローラ(13)が
それぞれ取り付けられ、閉鎖部材(5) がガイド(10)によ
って案内されて上下に動くようになされている。

【００２７】開口(4) の前方には開口(4) を塞ぎうる大
きさの戸(15)が以下に述べるようにして上下に移動自在
に設けられている。

【００２８】閉鎖部材(5) の左側下端部に位置する板状
部材(11)は、他の板状部材(11)(12)に比し長く、先端に
上下に伸びるエアシリンダ(14)が固定されており、エア
シリンダ(14)のシリンダロッド上端が戸(15)に固定され
ている。搬入出口(16a) の周縁部には例えばポリテトラ
フルオロエチレン製の前方突出短角筒状シール(19)が固
定されている。シール(19)と戸(15)との間にはわずかな
間隔があけられている。

【００２９】戸(15)は閉鎖部材(5) より幅広く、左右両
端部が閉鎖部材(5) より左右方向外方に突出し、この左
右端部に、ガイド(10)に沿って移動するローラ(17)が取
り付けられている。そして、エアシリンダ(14)により戸
(15)が上下動させられ、搬入出口(16a) が開閉されるよ
うになされている。

【００３０】このようにして構成された熱処理装置にお
いては、以下のようにして被処理物(P) が炉(1) 内へ搬
入出されて熱処理が行われる。

【００３１】支持台(3) に被処理物(P) が全く載置され
ていない状態、すなわち処理が開始される前の状態で
は、閉鎖部材(5) は最も上方に位置し、戸(15)は搬入出
口(16a) の前にあり、搬入出口(16a) は閉鎖されてい
る。このとき、熱処理室(R) 内は所定の温度まで熱せら
れている。

【００３２】そして、搬入出ロボット(2) は複数の被処
理物(P) が上下に間隔をおいて積まれた処理前被処理物
収納カセット(C) における１番下に載置された被処理物
(P)をカセット(C) から取り出す。次に、戸(15)が下降
し、搬入出口(16a) が開放され、搬入出ロボット(2)
は、記憶装置に記憶された載置すべき位置および順番に
基づき、支持台(3) における第１６載置位置に被処理物
(P) を載置する。これは図７に示すフローチャートのＳ
１、Ｓ２のステップが実行されたことを意味する。な
お、第１６載置位置に被処理物(P) が載置されると、必
要に応じて記憶装置に被処理物(P) を第１６載置位置に
載置したことおよび最初に第１６載置位置に載置したこ
とが記憶されるようにし、クローズループ制御を行うよ
うにしてもよい。

【００３３】被処理物(P) を載置した後の、すなわち空
のフォーク(2a)は、炉(1) 外に移動し、すなわちＳ３の
ステップでＮＯの判断が下され、Ｓ７のステップ終了
後、すなわち一時待機した後、再び前記カセットから１
番下の被処理物(P) 、すなわち先に第１６載置位置に載
置された被処理物が載置されていた位置のすぐ上に位置
している被処理物(P) を取り出し、第１６載置位置の次
に被処理物(P) を載置すべき位置である第１５載置位置
に被処理物(P) を載置する。

【００３４】なお、後に詳しく述べるように、第１６載
置位置に載置された、すなわち支持台(3) に載置されて
いる被処理物(P) のうち、最も先に載置された被処理物
(P)を搬出するさいに、これの熱処理時間が経過するよ
うにＳ７のステップで所要時間待つようになされてい
る。また、先の場合と同様に、記憶装置に被処理物(P)
を第１５載置位置に載置したことおよび２番目に第１５
載置位置に載置したことが記憶されてもよい。この後、
フォーク(2a)は、炉(1) 外に移動し一時待機する。

【００３５】一方、２枚の被処理物(P) が支持台(3) に
載置され、フォーク(2a)が炉(1) 外に移動すると、戸(1
5)が上方に移動して搬入出口(16a) が閉鎖される。この
後、閉鎖部材(5) および戸(15)が一体に所定距離下降し
た後に停止する。両部材(5)(15) の下降距離は、次に搬
入出口(16a) が開放されたさいに、搬入出口(16a) から
第１４および第１３載置位置に被処理物(P) を載置しう
る位置となる距離である。

【００３６】そして、戸(15)が下方に移動して搬入出口
(16a) が開放され、第１６および第１５載置位置に被処
理物(P) を載置したのと同様にして、第１４および第１
３載置位置に被処理物(P) が載置される。この手順、す
なわちＳ１，Ｓ２，Ｓ３およびＳ７のステップが随時繰
り返され、第３載置位置まで被処理物(P) が載置され
る。

【００３７】第３載置位置に被処理物(P) が載置される
と、戸(15)が上方に移動して搬入出口(16a) が閉鎖され
る。この後、閉鎖部材(5) および戸(15)が、搬入出口(1
6a)が開放されたさいに、第２および第１載置位置に被
処理物(P) を載置しうる位置まで下降して停止する。

【００３８】そして、搬入出口(16a) が開放されると、
今までと同様にして第２載置位置に被処理物(P) が載置
される。第２載置位置に被処理物(P) を載置した搬入出
ロボット(2) は、１６枚目の被処理物(P) をカセット
(C) から取り出し、第１載置位置に被処理物(P) を載置
する。１６枚目の被処理物(P) が載置されると記憶装置
に記憶されている支持台(3) における支持台(3) の載置
位置の数のデータに基づき、フローチャートに示すＳ３
のステップでＹＥＳの判断が下される。Ｓ３においてＹ
ＥＳの判断が下されると、Ｓ４およびＳ５のステップが
実行され、搬入出ロボット(2) は記憶装置に記憶された
被処理物(P) を載置すべき位置および順番に基づき以下
に述べるようにして第１６載置位置にある被処理物(P)
を搬出する。

【００３９】フォーク(2a)は、いったん炉(1) 外に移動
し、戸(15)は搬入出口(16a) を閉鎖する。この後搬入出
ロボット(2) は、閉鎖部材(5) および戸(15)と同調して
上昇し、第１６載置位置および第１５載置位置に対応し
た位置で停止し、搬入出口(16a) が開放された後、第１
６載置位置から被処理物(P) を取り出し、図示しない被
処理物冷却場所において被処理物(P) を冷却した後、図
示しない所定の処理後被処理物用カセットの１番下の位
置にこの被処理物(P) を収納する。

【００４０】なお、上記のようにフォーク(2a)、閉鎖部
材(5) および戸(15)が同調して最も下の位置から最も上
の位置まで移動する速度は、閉鎖部材(5) および戸(15)
が下降する通常の速度より速い。

【００４１】そしてＳ６のステップにおいてはＹＥＳの
判断が下され、処理前被処理物収納カセットから被処理
物(P) を取り出し第１６載置位置に被処理物(P) を載置
した後、第１５載置位置の被処理物(P) を取り出す。

【００４２】搬入出ロボット(2) が第１５載置位置の被
処理物(P) を取り出すと、アーム(2a)は炉(1) 外に移動
する。そしてステップＳ６においてＹＥＳの判断が下さ
れ、ステップＳ７を経た後、以下のようにして第１５載
置位置に被処理物(P) が搬入され第１４載置位置の被処
理物(P) が搬出される。

【００４３】ロボット(2) は、第１５載置位置に載置す
べき被処理物(P) をカセット(C) から取り出して、この
被処理物(P) を第１５載置位置に載置する。この空のア
ーム(2a)は炉(1) 外に移動する。アーム(2a)が炉(1) に
移動すると開口閉鎖部材(5)と戸(15)は、第１６載置位
置および第１５載置位置に対応した位置から一体に下降
して第１４載置位置および第１３載置位置に対応した位
置で停止する。この後、搬入出口(16a) が開放される
と、アーム(2a)は炉(1) 内に入って第１４載置位置の被
処理物(P) を搬出する。

【００４４】この手順、すなわちＳ１〜Ｓ５のステップ
実行後、Ｓ６においてＹＥＳの判断が下され、Ｓ７のス
テップが実行されるというサイクルが順次繰り返されて
被処理物(P) の熱処理が行われる。

【００４５】最後の被処理物(P) 、すなわち記憶装置に
記憶された処理すべき被処理物(P)の数と等しい数の被
処理物(P) が熱処理室(R) 内に搬入されるとＳ６のステ
ップにおいてＮＯの判断が下される。そして、Ｓ８のス
テップが実行され、搬入出ロボット(2) は、あらたな被
処理物(P) を炉(1) 内に搬入することなく、Ｓ８のステ
ップでＹＥＳの判断が下される限り熱処理室(R) 内の被
処理物(P) のうち先に搬入されたもの、すなわち処理時
間が経過したものから順に炉(1) 外に搬出する。そして
所定の枚数の被処理物(P) の熱処理が終了するとＳ８の
ステップにおいてＮＯの判断が下される。

【００４６】搬入出口(16a) は、アーム(2a)が炉(1) 外
に位置しているときは、戸(15)により常に閉鎖されるよ
うにすることが望ましい。

【００４７】上記実施形態の熱処理装置のように搬入出
口(16a) の開口高さを支持台(3) における上下に隣り合
う２枚の被処理物(P) を操作しうる高さにすれば、１枚
の被処理物(P) を搬入または搬出するたびに戸(15)およ
び閉鎖部材(5) を動かす必要はなくなるので、被処理物
(P) の搬入出に要する時間を短くすることができる。被
処理物(P) の搬入出に要する時間を短くする必要がない
場合などは、搬入出口(16a) の開口高さを低くし、１枚
の被処理物(P) を搬入出しうる高さにすればさらに熱効
率のよい熱処理装置を得ることができる。

【００４８】また、上記実施形態においては、１６枚目
の被処理物(P) が炉(1) 内に搬入された後に１枚目の被
処理物(P) が搬出されるようになされているが、例えば
１５枚目の被処理物(P) が搬入された後に１枚目の被処
理物(P) が搬出されるようにステップＳ７の所要時間が
調整されることもある。

【００４９】なお、熱処理装置の各部構成は上記実施形
態のものに限定されるものではなく例えば、閉鎖部材と
して、上下に巻き取られうるシャッタ状のものを用いて
もよい。搬入出口(16a) にエアカーテンを形成して、炉
(1) 内外の雰囲気を遮断するようにしてもよい。

【００５０】また、上記のようにして被処理物(P) を搬
入出するようにすれば上記実施形態のように１つのフォ
ーク(2a)を有したロボット(2) を１つ設けるのみでよ
く、搬出専用および搬入専用のロボットを対向状に設け
る必要はないので熱処理装置の前後長が短くなる。

【００５１】上記搬入出を行う熱処理装置の構成は上記
の実施形態のものには限られない。また、被処理物(P)
を炉(1) 内に搬入出する順番も上記に限るものではな
く、例えば第１載置位置に最初の被処理物(P) を載置
し、次に第２載置位置に被処理物(P) を載置するように
してもよい。

【００５２】さらに、戸は上下に移動して搬入出口(16
a) を閉鎖する構成のものには限られず、例えば垂直軸
回りに回転して搬入出口(16a) を閉鎖するものであって
もよい。

【００５３】なお、閉鎖部材(5) の停止は、フォトマイ
クロスイッチ、リミットスイッチにより検出された位置
に基づいて行ってもよく、サーボモータにより所定の位
置で停止するようにしてもよい。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の１実施形態における熱処理装置の要部
の概略斜視図である。

【図２】同熱処理装置の平面図である。

【図３】同熱処理装置の正面図である。

【図４】図３におけるIV-IV 線に沿う断面図である。

【図５】図４の要部の拡大図である。

【図６】同熱処理装置におけるブロック構成図である。

【図７】同熱処理装置において熱処理が行われるさいの
炉内への被処理物の搬入出の手順を示したフローチャー
トである。

【符号の説明】

(1) 炉 (2) 搬入出手段 (3) 被処理物支持台 (P) 被処理物 (R) 熱処理室

フロントページの続き Ｆターム(参考） 4K034 AA15 BA05 DA05 DB05 DB06 EA04 EB34 EB37 4K050 AA02 BA07 CD05 CF02 CF12 EA03 4K055 AA06 BA03 BA05 HA02 4K061 AA05 BA09 CA08 DA05 GA05 GA10

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 炉内に設けられた熱処理室に配されかつ
   複数の被処理物が上下に間隔をおいて載置される被処理
   物載置位置を有する被処理物支持台に、処理前被処理物
   を載置し、支持台から処理後被処理物を取り出す炉内へ
   の被処理物の搬入出方法であって、 少なくとも１つの載置位置が空である状態において、空
   の載置位置に被処理物を載置し、次に先に支持台に載置
   されている被処理物うちの処理時間が経過した時点に有
   るものを取り出すことを繰り返す炉内への被処理物の搬
   入出方法。
2. 【請求項２】 上からまたは下から順に支持台に被処理
   物を載置することを特徴とする請求項１記載の炉内への
   被処理物の搬入出方法。