KR100996702B1 - 기판의 냉각 장치 및 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판의 냉각 장치 및 방법에 관한 것으로서, 컨베이어의 상부에 제공되며, 팬을 구비한 팬 하우징; 상기 팬 하우징의 상부에, 상기 팬 하우징으로 유입되는 공기의 냉각을 위해 제공되는 냉각 코일; 및 상기 팬 하우징의 하부에 마련되어 상기 팬 하우징으로부터 토출되는 공기를 여과하기 위한 필터;를 포함하여, 상기 컨베이어의 상부에 놓인 글래스 기판(1)을 냉각하는 냉기를 토출하도록 제공되는 기판의 냉각 장치 및 그 방법에 대하여 개시한다.

Description

기판의 냉각 장치 및 방법{APPARATUS FOR COOLING A SUBSTRATE AND METHOD THEREOF}

본 발명은 기판의 냉각 장치 및 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 LCD 제조 공정 등의 진행 중에 고온으로 가열된 글래스 기판(Glass)을 냉각하는 장치 및 방법을 제공하는, 기판의 냉각 장치 및 방법에 관한 것이다.

일반적으로 LCD 제조 공정 중에서는 PR(photo resist) 등에 포함되어 있는 수분 제거를 목적으로 하는 베이크(Bake) 등과 같이 글래스(glass) 기판을 고온으로 가열하는 여러 공정을 가지고 있다. 통상의 공정에서는 가열된 글래스 기판을 다음 공정을 위해 냉각시킬 필요가 있을 때, 글래스 기판을 컨베이어를 통해 냉각 챔버로 이송시켜, 냉각 챔버에서 소정의 온도로 냉각한 후 다음 공정으로 이송시킨다. 그러나 글래스 기판을 냉각하기 위한 이러한 일련의 공정은 작업 시간을 추가적으로 소요하므로 공정 시간을 늘리는 문제점이 있다. 따라서 생산성 향상을 위하여 냉각 공정을 보다 단순화하고 시간을 단축하려는 연구가 진행되고 있다.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 고온으로 가열된 글래스 기판을 컨베이어를 통한 이동 공정 중에 냉각이 가능하게 하는 기판의 냉각 장치 및 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 고온의 글래스 기판을 이동 공정 중에 냉각시킴으로써 냉각에 소요되는 시간을 단축하여 생산성 향상을 이룰 수 있는 기판의 냉각 장치 및 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 상기 목적을 달성하기 위해, 컨베이어의 상부에 제공되며, 팬을 구비한 팬 하우징; 상기 팬 하우징의 상부에, 상기 팬 하우징으로 유입되는 공기의 냉각을 위해 제공되는 냉각 코일; 및 상기 팬 하우징의 하부에 마련되어 상기 팬 하우징으로부터 토출되는 공기를 여과하기 위한 필터;를 포함하여, 상기 컨베이어의 상부에 놓인 글래스 기판(1)을 냉각하는 냉기를 토출하도록 제공되는 기판의 냉각 장치를 제공한다.

본 발명의 실시예에 의하면, 상기 필터의 하부에는 냉각 공기 챔버가 제공되고, 상기 냉각 공기 챔버에는 청정 냉각 공기가 토출되는 개구가 형성된 하부벽이 구비되어, 상기 개구를 통해 배출된 청정 냉각 공기가 컨베이어에 놓인 글래스 기판과 상기 냉각 공기 챔버 사이의 갭(gap)을 통해 유동하면서 냉각이 이루어진다. 이때, 상기 냉각 공기 챔버의 개구는 글래스 기판의 이동 방향을 따라 연장 형성되 며 서로 이격되어 위치하는 적어도 2개의 슬릿으로 이루어진다.

본 발명의 다른 실시예에 의하면, 상기 필터의 하부에는 냉각 공기 챔버가 제공되고, 상기 냉각 공기 챔버에는 청정 냉각 공기가 토출되는 개구가 바닥면에 형성된 하부벽이 구비되되, 상기 하부벽은 글래스 기판과의 사이에 상대적으로 좁은 갭을 형성하도록 아래로 위치하는 제 1 바닥면과, 상기 제 1 바닥면에 의한 글래스 기판과의 갭 보다 상대적으로 큰 갭을 형성하도록 상기 제 1 바닥면 보다 위에 위치하는 제 2 바닥면 및 상기 제 1 바닥면과 제 2 바닥면을 연결하는 면을 구비한 형태로 형성된다. 그리고, 상기 제 1 바닥면과 상기 제 2 바닥면을 연결하는 면은 경사진 형태의 경사진 바닥면으로 형성되되, 상기 개구는 상기 경사진 바닥면에 형성되되, 글래스 기판의 이동 방향과 교차진 방향으로 연장되는 적어도 하나의 슬릿을 포함한다.

본 발명에 따르면, 상기 냉각 공기 챔버의 내부에는 측벽으로부터 하부벽을 향하여 하향으로 경사진 경사면이 구비된다.

본 발명에 따르면, 상기 냉각 코일은 상단이 막힌 박스형의 케이스의 측면으로 설치되어, 공기가 측면으로부터 상기 냉각 코일의 통과하여 내부로 유입된다. 그리고 냉각 코일의 하부에는 드레인 수단으로서 드레인 물받이가 구비된다.

본 발명에 의하면, 냉기의 온도를 감지하기 위한 온도 센서와, 글래스 기판의 이동을 감지하기 위한 광센서가 제공된다.

본 발명의 다른 측면에 의하면, 본 발명은, 글래스 기판의 이송을 위한 컨베이어와, 상기 컨베이어의 상부로 구비되며, 컨베이어 상부로 공기를 제공하기 위 한, 팬이 설치된 팬 하우징; 상기 팬의 구동압에 의해 글래스 기판에 제공되는 공기의 냉각을 위해 제공되는 냉각 코일; 상기 팬 하우징의 하부에 마련되어 상기 팬 하우징으로부터 토출되는 공기를 여과하기 위한 필터; 상기 필터의 하부에 설치되는 이오나이저; 및 상기 필터의 하부에 제공되며, 상기 컨베이어에 놓인 글래스 기판의 표면과의 사이에 소정의 갭이 형성되도록 하부벽이 구비되고, 상기 하부벽에는 냉각 공기가 토출되는 개구가 형성된 냉각 공기 챔버; 를 포함하는 냉각 청정 팬 필터 유닛과, 상기 냉각 공기 챔버로부터 컨베이어를 향해 공급되는 냉기의 온도를 감지하기 위한 온도감지수단과, 및 상기 컨베이어를 따른 글래스 기판의 이동을 감지하기 위한 글래스기판이동감지수단;을 포함하는 기판의 냉각 장치를 제공한다.

본 발명의 또 다른 다른 측면에 의하면, 글래스 기판을 컨베이어를 통해 이송 중에 냉각하기 위한 기판의 냉각 방법으로서, 글래스 기판이 이동하는 컨베이어 라인의 소정 위치에 상부로부터 청정 냉각 공기가 공급될 수 있는 냉각 위치를 마련하고, 상기 글래스 기판이 냉각 위치에 위치할 때, 컨베이어의 구동을 정지시켜 글래스 기판을 정지시키는 단계; 미리 설정된 시간 동안 정지된 글래스 기판의 상부로부터 청정 냉각 공기를 공급하여 글래스 기판을 냉각시키는 단계; 및 미리 설정된 시간이 경과하면 글래스 기판을 다음 공정으로 이송시키는 단계를 포함하는 기판의 냉각 방법을 제공한다.

본 발명에 의하면, 고온으로 가열된 글래스 기판이 컨베이어 라인을 따라 이 동하는 중에 기판의 냉각이 이루어진다. 따라서 별도의 냉각 챔버와 관련된 설비를 삭제할 수 있게 되며, 고온의 글래스 기판이 이동 공정 중에 냉각됨으로 냉각에 소요되는 시간을 단축되어 생산성 향상을 이룰 수 있게 된다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 보다 상세하게 설명한다.

도 1 은 본 발명에 따른 기판의 냉각 장치를 설명하기 위한 개략도이고, 도 2 는 본 발명에 따른 냉각 청정 팬 필터 유닛의 정면도이며, 도 3 은 도 2 에 도시된 냉각 청정 팬 필터 유닛의 측면도이고, 도 4는 본 발명에 따른 냉각 청정 팬 필터 유닛의 평면도이다.

도면을 참조하면, 본 발명에 따른 기판의 냉각 장치는 글래스 기판(1)이 이동되는 컨베이어(10)의 상부에 제공되는 냉각 청정 팬 필터 유닛(20)을 포함한다.

앞선 공정에서 고온으로 가열된 글래스 기판(1)은 청정도가 유지되는 작업 공간(2)에서 컨베이어(10)를 따라 이동한다. 이와 같이 글래스 기판(1)이 이동되는 컨베이어(10) 상부로 냉각 청정 팬 필터 유닛(20)이 제공된다.

냉각 청정 팬 필터 유닛(20)은 통상의 팬 필터 유닛의 기능인 청정 공기 공급과 함께 청정 공기를 청정 냉기 형태를 제공하는 기능을 함께 가져 글래스 기판(1)이 별도의 냉각 챔버로 이송되지 않고서도 컨베이어(10)에서 냉각되어 다음 공정을 위해 이송될 수 있도록 한다.

냉각 청정 팬 필터 유닛(20)은 팬(35)을 구비한 팬 하우징(30)과, 냉각 부(40) 및 필터(60)를 포함한다.

수지 또는 코팅된 금속 판재로 형성되는 팬 하우징(30)의 상부 공간은 팬 설치부(32)를 이루고 내부에 팬(35)이 설치된다. 팬 설치부(32)의 윗면에는 다수의 슬릿 개구로 형성된 공기 유입구(31)가 마련된다. 다수의 슬릿 개구 형태의 공기 유입구(31)는 이물질이 팬 하우징(30) 내부로 유입되는 것을 최소화한다. 팬 하우징(30)의 하부 공간(36)에는 팬(35)에 의해 유입된 공기가 적절한 기류 분포를 갖도록 공기 유로를 형성하는 공기 가이드(미도시) 등의 관련 설비가 구비된다. 이러한 팬 하우징은 일반적인 팬 필터 유닛의 팬 하우징과 동일하다. 팬(35)의 구동에 의해 유입된 공기는 팬 하우징 하부의 배출구(미도시)를 통해 아래로 필터(60)를 향해 토출된다.

본 발명의 실시예에 따르면, 팬 하우징(30)의 상부에는 유입되는 공기의 냉각을 위한 냉각부(40)를 포함한다. 냉각부(40)는 팬(35)에 구동에 의해 유입되는 공기가 냉각 코일(45)을 거치면서 냉각되도록 한다. 도 2 를 참조하면, 냉각부(40)는 바람직하게는 상단이 막힌 박스형의 케이스(42)를 구비하고 그 측면으로 냉각 코일(45)이 설치된다. 냉각 코일(45)에는 냉각수 또는 냉매가 유동하여 열 교환을 통해 공기를 냉각한다. 냉각 코일(45)의 하면에는 냉각 코일의 표면에 생성되는 수분이 모여지는 드레인 물받이(50)가 제공되며, 드레인 물받이(50)에 모여진 물은 드레인관(미도시)을 통해 배출된다. 드레인 물받이(50) 및 드레인관은 드레인 수단을 구성한다. 본 발명의 실시예에 따르면 냉각 코일(45)이 상단(41)이 막힌 박스형의 케이스(42)의 측면으로 설치되어, 그 측면으로 공기가 유입되면서 냉각되기 때 문에 냉각 코일(45)의 표면에 형성된 물이 팬 하우징(30) 내부로 낙하되거나 팬(35)의 구동에 의한 압력에 의하여 수분이 팬 쪽으로 끌려가는 것을 방지할 수 있다. 본 발명의 실시예에 따르면 공기 냉각을 위한 냉각부(40)는 팬 하우징(30)의 상부 외에 다른 부분에 설치되는 변형도 가능하다.

본 발명의 실시예에 따르면, 팬 하우징(30)의 하부에는 필터(60)가 설치된다. 필터(60)는 HEPA 필터(고성능 미립자 제거 필터), ULPA 필터, 전처리필터 등이 장착되는 것이 가능한데, HEPA 필터는 유리 섬유 부직포를 절첩하고 다수의 주름을 형성한 필터재를 알루미늄 틀에 장착한 구조로서, 수 미크론의 파티클(particle)을 여과할 수 있는 것으로 알려져 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 필터(60)의 하부에는 이오나이저(70)가 설치된다. 이오나이저(70)는 필터(60)를 통과한 청정 공기 상의 잔여 파티클을 중화하는 기능을 한다.

바람직하게는, 본 발명의 실시예에 따르면 필터(60)의 하부에는 냉각 공기 챔버(80)가 마련된다. 냉각 공기 챔버(80)에는 냉각 코일(45)에 의해 냉각되고 필터(60)에 의해 여과된 청정 냉각 공기가 공급된다. 냉각 공기 챔버(80)는 하부벽(82)을 구비하여, 하부벽(82)과 컨베이어(10)와의 사이에 공기가 유동되는 갭(g)을 형성한다. 하부벽(82)과 컨베이어(10) 사이의 갭은 약 100mm 정도로 제안되지만 다양한 변형이 가능하다. 상기 갭(g)은 하부벽(82)과 컨베이어(10) 사이에서 일률적으로 동일한 크기로 형성될 필요는 없으며, 도 7 에서 보이는 바와 같이 글래스 기판(1) 진입 방향에서는 상대적으로 좁게 형성되고 점차로 확대된 후 다시 소정의 크기를 가지는 형태로 형성될 수 있다. 다시 도 1 내지 도 4 를 참조하면, 하부벽(82)에는 청정 냉각 공기의 토출을 위한 개구(85)가 형성된다. 컨베이어(10)에 고온의 글래스 기판(1)이 제공되는 경우, 냉각 공기 챔버(80)의 하부벽(82)에 형성된 개구(85)를 통해 청정 냉각 공기가 토출되는 데, 하부벽(82)과 컨베이어(10)에 놓인 글래스 기판(1)과의 사이의 소정의 갭(g)은 냉각 공기 챔버(80)가 없는 상태와 비교할 때 좁은 공기 통로를 형성하므로 공기의 유동 속도가 증가하여 글래스 기판(1)의 냉각 효율의 증가시킨다.

도 5 및 도 6 은 본 발명에 의한 하부벽의 개구의 형태를 도시한 도면이다. 도 5 를 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하면, 상기 개구(85)는 글래스 기판(1)의 이동 방향으로 따라 형성된 2개의 슬릿(85a, 85b)을 포함한다. 또한 도 6 을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하면, 상기 개구(85)는 글래스 기판(1)의 이동 방향으로 따라 형성된 1개의 슬릿(85c)을 포함한다. 이와 같이 상기 개구(85)는 글래스 기판(1)의 이동방향을 따라 형성된 1개 이상의 슬릿을 포함한다.

개구(85)를 통해 청정 냉각 공기가 토출되는 중에 컨베이어(10)를 따라 글래스 기판(1)이 냉각 위치로 진입하며, 글래스 기판(1)의 전방 부분에 먼저 공기의 토출압이 작용하게 되므로 휨 압력이 작용할 수 있다. 이에 따라 글래스 기판(1)이 컨베이어(10)의 롤러 등과 같은 부분과 부딪히게 되는 경우 미세하지만 흠집이 발생할 우려가 있다. 이러한 현상은 후술하는 광센서(97)와 같은 글래스기판이동감지수단을 이용하여 글래스 기판(1)의 이동에 맞추어 청정 냉각 공기의 토출압을 적절히 조절하는 것을 통해 방지할 수 있다. 또한 개구(85)의 형상 설계를 통해 토출압 을 컨베이어(10)와 글래스 기판(1)과의 관계에서 적절히 작용되도록 함으로써 이러한 현상을 최소화하는 것이 가능한데, 도 5 및 도 6 에서 보이는 바와 같이 적어도 하나의 슬릿(85a, 85b, 85c)을 컨베이어(10) 구조 및 글래스 기판(1)의 유동 경로에 맞추어 설치하여, 이러한 현상을 최소화하는 것이 가능하다.

도 1 및 도 2 를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따르면, 바람직하게는, 냉각 공기 챔버(80)의 내부에는 측벽으로부터 하부벽을 향하여 경사진 경사면(83)이 구비된다. 이와 같은 경사면(83)은 청정 냉각 공기를 개구(85)를 향하여 청정 냉각 공기를 안내하는 가이드 기능을 하게 되며, 냉각 공기 챔버(80) 내부에서 청정 냉각 공기 정체되거나 정체 공기로 인하여 기류가 변동되는 것을 방지할 수 있다.

본 발명에 따르면, 냉각 공기 챔버(80) 내부에는 청정 냉각 공기를 온도를 감지하기 위한 온도감지수단으로 온도센서(93)가 구비된다. 온도 센서(93)에 의해 감지되는 온도에 의해 냉각 코일에 의한 냉각 성능 또는 팬 조절에 의한 공기 유동량 및 속도를 조절하여 글래스 기판(1)이 원하는 시간 내에 일정 온도로 냉각되도록 조절되도록 할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따르면, 컨베이어(10)의 하부에는 글래스 기판(1)이 이동하는 것을 감지하기 위한 글래스기판이동감지수단으로서 광센서(97)가 마련된다. 광센서(97)는 컨베이어(10)를 따른 글래스 기판(1)의 위치를 감지하여, 글래스 기판(1)이 냉각 위치로 진입하는 것과 냉각 위치로의 진입 완료 여부를 감지한다. 광센서(97)에 의해 글래스 기판(1)의 진입을 감지하여 공기 토출압 및 청정 냉각 공기의 온도가 설정된 수준으로 맞추어지도록 하며, 글래스 기판(1)이 냉각 위치로 진입 완료하는 경우 이를 감지하고, 이에 따라 컨베이어(10)가 정지된다. 글래스 기판(1)은 컨베이어(10)에서 냉각 위치에서 정지된 상태로 청정 냉각 공기에 의해 소정 시간 동안 냉각된다. 설정된 소정 시간이 경과하면 컨베이어(10)는 다시 구동하여 글래스 기판(1)이 다음 공정으로 이동한다.

본 발명에 따른 기판의 냉각 장치는 글래스 기판(1)을 향해 토출된 청정 냉각 공기를 냉각 팬 필터 유닛 내부로 순환시키기 위한 순환 장치를 별도로 구비하는 것이 가능하다. 이러한 변형예는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 당업자가 본 발명의 청구범위에 의해 정해지는 권리범위 내에서 기술 사상의 변경 없이 취할 수 있는 변형예의 하나로서 본 발명의 권리범위에 속한다.

도 7 은 본 발명에 따른 기판의 냉각 장치에서 냉각 공기 챔버(80)에서 개구 형성과 관련된 다른 예를 도시한 도면으로서, 생략된 부분은 도 1 에 도시된 실시예와 동일하다.

도 7 을 참조하면, 냉각 공기 챔버(80)의 하부벽(82)은, 하부벽(82)과 글래스 기판(1) 사이에 글래스 기판(1)의 진입방향으로 상대적으로 좁은 갭(g1)이 형성되고, 점차로 갭(g2)이 확대되며, 이후 상대적으로 큰 갭(g3)이 형성되도록 서로 다른 높이의 바닥면(82a, 82c)을 가진 구조로 형성된다. 즉, 상대적으로 아래 쪽에 위치하는 낮은 바닥면인 제 1 바닥면(82a)과 상대적으로 높은 위치에 위치하는 높은 바닥면인 제 2 바닥면(82c) 및 그 사이를 연결하는 경사진 바닥면(82c)을 가진다. 경사진 바닥면(82c)에 글래스 기판(1)의 진행 방향과 교차하는 방향으로 연장되는 적어도 하나의 슬릿 형태의 개구(85)가 형성되어 글래스 기판(1)을 향해 청정 냉각 공기가 토출된다. 이와 같은 구조는 냉각 공기 챔버(80) 하부의 컨베이어(10)의 유지 보수를 위한 공간을 확보한다는 측면에서 보다 유리하다. 제 1 바닥면(82a)과 제 2 바닥면(82c) 사이에 수직방향으로 연장되는 측벽 형태의 바닥면이 형성되는 것도 가능하며, 상기 측벽 형태의 바닥면에 개구를 형성하는 경우 슬릿 주변으로 공기 가이드를 위한 안내편을 구비한 형태로 형성하는 것이 가능하다. 본 발명은 냉각 공기 챔버(80) 내부에서의 공기 흐름을 고려할 때 경사진 바닥면(82c)에 갖는 형태를 가지는 것이 유리한 것으로 제안하고 있으나, 이에 의해 본 발명이 제한되지 않는다. 또한 개구 형태 및 개구 주변의 공기 가이드를 위한 안내편의 부착 여부에 의해서도 본 발명이 제한되지 않는다.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 기판의 냉각 장치의 동작을 간략히 설명한다.

도 8 는 본 발명에 따른 기판의 냉각 방법을 설명하기 위한 도면이다.

글래스 기판(1)이 이동하는 컨베이어(10) 라인이 위치하는 작업공간(2)은 청정 공기가 공급되는 공간이다. 따라서 글래스 기판(1)이 냉각 공기 챔버(80) 하부의 냉각 위치에 위치하지 않는 상태에서도 본 발명에 따른 냉각 청정 팬 필터 유닛(20)은 일반적인 클린 시스템과 같이 동작하여 작업 공간 내로 청정 공기를 공급한다. 또한 생산성을 고려할 때도 글래스 기판(1)의 냉각이 짧은 작업 시간 내에 이루어져야 하므로 글래스 기판(1)이 냉각 위치에 진입하지 않은 상태에서도 저부하 운전 상태로 냉각 공기가 공급되는 것이 바람직하다.

본 발명에 따른 위한 기판의 냉각 방법은 크게, 글래스 기판이 이동하는 컨 베이어 라인의 소정 위치에 상부로부터 청정 냉각 공기가 공급될 수 있는 냉각 위치를 마련하고, 상기 글래스 기판이 냉각 위치에 위치할 때, 컨베이어의 구동을 정지시켜 글래스 기판을 정지시키는 단계; 미리 설정된 시간 동안 정지된 글래스 기판의 상부로부터 청정 냉각 공기를 공급하여 글래스 기판을 냉각시키는 단계; 미리 설정된 시간이 경과하면 글래스 기판을 다음 공정으로 이송시키는 단계를 포함하여, 글래스 기판을 별도로 마련되는 냉각 챔버로 이송함이 없이 컨베이어 라인에서 기판을 냉각하는 방법을 제공한다.

도면을 참조하여, 본 발명에 따른 기판의 냉각 방법을 보다 상세하게 살펴보면, 광센서(97)는 글래스 기판(1)이 미리 설정된 냉각 위치로 진입하는 지 여부를 감지한다(S10). 따라서 컨베이어(10)의 동작에 따라 글래스 기판(1)이 이동하는 중에 냉각 위치로 진입하기 시작하면 광센서는 이를 감지하고 전체 장치를 제어하는 제어부에 신호를 제공한다. 광센서(97)가 글래스 기판(1)이 냉각 위치로 진입하고 있는 것을 감지하게 되면 냉각 청정 팬 필터 유닛(20)은 상대적으로 청정 냉각 공기의 토출압이 낮은 상태인 제 1 기류 상태로 청정 냉각 공기를 공급하게 된다(S20). 이는 상술한 바와 같이 글래스 기판(1)이 냉각 위치로 진입하기 시작할 때 글래스 기판(1)의 전방 표면 부분이 다른 부분 보다 앞서 청정 냉각 공기와 충돌하게 되므로, 전방 부분에 휨 압력이 작용하여 글래스 기판(1)이 다른 부분과 충돌하여 흠집이 발생하는 것을 방지하기 위한 것이다. 청정 냉각 공기의 토출압 설계, 청정 냉각 공기가 글래스 기판(1)에 작용하는 압력 분포 및 관련 부품 설계 등에 따라 이러한 현상을 방지될 수 있는데, 이 경우에도 글래스 기판(1)이 냉각 위 치로 진입하는 중의 제 1 기류 상태는 집중 냉각이 이루어는 제 2 기류 상태에 비하여 저부하 운전 상태로 운전되는 것이 바람직하다. 그러나 설치 상태 및 컨베이어(10)의 운용에 따라 제 1 기류 상태는 하술하는 제 2 기류 상태와 동일하게 설정될 수 있다. 그리고 제 1 기류 상태는 글래스 기판(1)이 냉각 위치로 진입함에 따라 연속적으로 변경될 수 있다.

이어서 광센서(97)는 글래스 기판(1)이 냉각 위치로 계속 진입하여 미리 설정된 냉각 위치로 완전히 진입하는지 여부를 감지한다(S30). 냉각 위치로의 진입이 완료되면 컨베이어(10)가 정지하여 글래스 기판(1)은 냉각 위치에서 머무르게 된다(S40). 글래스 기판(1)이 냉각 위치에서 정지하면 냉각 청정 팬 필터 유닛(20)은 토출압이 증대된 제 2 기류 상태를 청정 냉각 공기를 공급한다(S40). 냉각 공기는 냉각 공기 챔버(80)의 하부벽(82)의 슬릿(85a, 85b)을 통해 배출되어 하부벽(82)과 글래스 기판(1) 사이의 갭(g)을 통해 속도가 증가된 상태로 공급되면서 냉각이 이루어진다. 글래스 기판(1)을 고온 가열 공정에서 일반적으로 120℃ 상태로 컨베이어(10)로 이송되는 데 정지 상태에서 약 30초의 냉각 과정을 거치면서 30℃로 냉각된다. 설정 시간이 경과되면(S60) 컨베이어(10)가 다시 동작하여(S70) 글래스 기판(1)을 다음 공정으로 이송된다. 이때 냉각 청정 팬 필터 유닛(20)의한 기류 상태는 제 2 기류 상태보다 저부하 운전 상태인 제 3 기류 상태로 변경되고, 다음 글래스 기판(10)의 진입을 기다린다.

도 1 은 본 발명에 따른 기판의 냉각 장치를 설명하기 위한 개략도이다.

도 2 는 본 발명에 따른 냉각 청정 팬 필터 유닛의 정면도이다.

도 3 은 본 발명에 따른 냉각 청정 팬 필터 유닛의 측면도이다.

도 4는 본 발명에 따른 냉각 청정 팬 필터 유닛의 평면도이다.

도 5 는 본 발명에 의한 하부벽의 개구 형태를 도시한 도면이다.

도 6 는 본 발명에 의한 하부벽의 개구 형태의 다른 예를 도시한 도면이다.

도 7 은 본 발명에 따른 기판 냉각 장치의 냉각 공기 챔버에 형성된 개구의 다른 예를 도시한 도면이다.

도 8 는 본 발명에 따른 기판의 냉각방법을 설명하기 위한 도면이다.

Claims (16)

1. 컨베이어의 상부에 제공되며,

   팬을 구비한 팬 하우징;

   상기 팬 하우징의 상부에, 상기 팬 하우징으로 유입되는 공기의 냉각을 위해 제공되는 냉각 코일;

   상기 팬 하우징의 하부에 마련되어 상기 팬 하우징으로부터 토출되는 공기를 여과하기 위한 필터; 및

   상기 필터의 하부에 구비되는 냉각 공기 챔버를 포함하며,

   상기 냉각 공기 챔버에는 청정 냉각 공기가 토출되는 개구가 형성된 하부벽이 구비되어, 상기 개구를 통해 배출된 청정 냉각 공기가 컨베이어에 놓인 글래스 기판과 상기 냉각 공기 챔버 사이의 갭(gap)을 통해 유동하고, 그리고

   상기 냉각 공기 챔버의 개구는 서로 이격되어 위치하는 적어도 1 개의 슬릿으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판의 냉각 장치.
2. 삭제
3. 삭제
4. 제 1 항에 있어서,

   상기 냉각 공기 챔버의 내부에는 측벽으로부터 하부벽을 향하여 하향으로 경사진 경사면이 구비되는 것을 특징으로 하는 기판의 냉각 장치.
5. 제 1 항에 있어서,

   상기 필터의 하부에는 냉각 공기 챔버가 제공되고,

   상기 냉각 공기 챔버에는 청정 냉각 공기가 토출되는 개구가 바닥면에 형성된 하부벽이 구비되되,

   상기 하부벽은 글래스 기판과의 사이에 상대적으로 좁은 갭을 형성하도록 아래로 위치하는 제 1 바닥면과, 상기 제 1 바닥면에 의한 글래스 기판과의 갭 보다 상대적으로 큰 갭을 형성하도록 상기 제 1 바닥면 보다 위에 위치하는 제 2 바닥면 및 상기 제 1 바닥면과 제 2 바닥면을 연결하는 면을 구비한 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 기판의 냉각 장치.
6. 제 5 항에 있어서,

   상기 제 1 바닥면과 상기 제 2 바닥면을 연결하는 면은 경사진 형태의 경사진 바닥면으로 형성되되, 상기 개구는 상기 경사진 바닥면에 형성되는 것을 특징으로 하는 기판의 냉각 장치.
7. 제 6 항에 있어서,

   상기 경사진 바닥면에 형성된 상기 개구는 글래스 기판의 이동 방향과 교차진 방향으로 연장되는 적어도 하나의 슬릿을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 냉각 장치.
8. 제 1 항, 제 5 항 내지 제 7 항 중 어느 하나의 항에 있어서,

   상기 필터의 하부에는 이오나이저가 구비되는 것을 특징으로 하는 기판의 냉각 장치.
9. 제 1 항, 제 5 항 내지 제 7항 중 어느 하나의 항에 있어서,

   상기 냉각 코일은 상단이 막힌 박스형의 케이스의 측면으로 설치되어, 공기가 측면으로부터 상기 냉각 코일의 통과하여 내부로 유입되도록 한 기판의 냉각 장치.
10. 제 9 항에 있어서,

    상기 냉각 코일의 하부에는 드레인 물받이가 구비되는 것을 특징으로 하는 기판의 냉각 장치.
11. 제 1 항, 제 5 항 내지 제 7 항 중 어느 하나의 항에 있어서,

    상기 냉각 공기 챔버에는 온도 센서가 구비되는 것을 특징으로 하는 기판의 냉각 장치.
12. 제 1 항, 제 5 항 내지 제 7 항 중 어느 하나의 항에 있어서,

    상기 글래스 기판의 이동을 감지를 위한 광센서가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 기판의 냉각 장치.
13. 글래스 기판의 이송을 위한 컨베이어와,

    상기 컨베이어의 상부로 구비되며, 컨베이어 상부로 공기를 제공하기 위한, 팬이 설치된 팬 하우징; 상기 팬의 구동압에 의해 상기 글래스 기판에 제공되는 공기의 냉각을 위해 제공되는 냉각 코일; 상기 팬 하우징의 하부에 마련되어 상기 팬 하우징으로부터 토출되는 공기를 여과하기 위한 필터; 상기 필터의 하부에 설치되는 이오나이저; 및 상기 필터의 하부에 제공되며, 상기 컨베이어에 놓인 글래스 기판의 표면과의 사이에 적어도 하나의 높이를 가진 갭이 형성되도록 하부벽이 구비되고, 상기 하부벽에는 냉각 공기가 토출되는 개구가 형성된 냉각 공기 챔버; 를 포함하는 냉각 청정 팬 필터 유닛과,

    상기 냉각 공기 챔버로부터 컨베이어를 향해 공급되는 냉기의 온도를 감지하 기 위한 온도감지수단과, 및

    상기 컨베이어를 따른 글래스 기판의 이동을 감지하기 위한 글래스기판이동감지수단을 포함하는 기판의 냉각 장치.
14. 제 13 항에 있어서,

    상기 개구는 글래스 기판의 이동 방향으로 형성되는 2개의 슬릿을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 냉각 장치.
15. 제 13 항에 있어서,

    상기 냉각 코일은 상기 팬 하우징의 상부로 설치되되, 상단이 막힌 박스형의 케이스의 측면으로 설치되어 측면을 통해 공기가 유입되면서 공기의 냉각이 이루어지도록 구성되며,

    상기 냉각 코일의 표면에 형성된 수분을 외부로 배출하기 드레인 수단이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 기판의 냉각 장치.
16. 삭제

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