KR20090124590A - 기판의 냉각 장치 및 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (16)
- 컨베이어의 상부에 제공되며,팬을 구비한 팬 하우징;상기 팬 하우징의 상부에, 상기 팬 하우징으로 유입되는 공기의 냉각을 위해 제공되는 냉각 코일; 및상기 팬 하우징의 하부에 마련되어 상기 팬 하우징으로부터 토출되는 공기를 여과하기 위한 필터;를 포함하여,상기 컨베이어의 상부에 놓인 글래스 기판에 토출되는 냉기에 의해 상기 글래스 기판이 냉각되는 기판의 냉각 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 필터의 하부에는 냉각 공기 챔버가 제공되고,상기 냉각 공기 챔버에는 청정 냉각 공기가 토출되는 개구가 형성된 하부벽이 구비되어, 상기 개구를 통해 배출된 청정 냉각 공기가 컨베이어에 놓인 글래스 기판과 상기 냉각 공기 챔버 사이의 갭(gap)을 통해 유동하는 기판의 냉각 장치.
- 제 2 항에 있어서,상기 냉각 공기 챔버의 개구는 글래스 기판의 이동 방향을 따라 연장 형성되고, 서로 이격되어 위치하는 적어도 1 개의 슬릿으로 이루어지는 것을 특징으로 하 는 기판의 냉각 장치.
- 제 2 항 또는 제 3 항에 있어서,상기 냉각 공기 챔버의 내부에는 측벽으로부터 하부벽을 향하여 하향으로 경사진 경사면이 구비되는 것을 특징으로 하는 기판의 냉각 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 필터의 하부에는 냉각 공기 챔버가 제공되고,상기 냉각 공기 챔버에는 청정 냉각 공기가 토출되는 개구가 바닥면에 형성된 하부벽이 구비되되,상기 하부벽은 글래스 기판과의 사이에 상대적으로 좁은 갭을 형성하도록 아래로 위치하는 제 1 바닥면과, 상기 제 1 바닥면에 의한 글래스 기판과의 갭 보다 상대적으로 큰 갭을 형성하도록 상기 제 1 바닥면 보다 위에 위치하는 제 2 바닥면 및 상기 제 1 바닥면과 제 2 바닥면을 연결하는 면을 구비한 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 기판의 냉각 장치.
- 제 5 항에 있어서,상기 제 1 바닥면과 상기 제 2 바닥면을 연결하는 면은 경사진 형태의 경사진 바닥면으로 형성되되, 상기 개구는 상기 경사진 바닥면에 형성되는 것을 특징으로 하는 기판의 냉각 장치.
- 제 6 항에 있어서,상기 경사진 바닥면에 형성된 상기 개구는 글래스 기판의 이동 방향과 교차진 방향으로 연장되는 적어도 하나의 슬릿을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 냉각 장치.
- 제 1 항 내지 제 3 항 및 제 5 항 내지 제 7 항 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 필터의 하부에는 이오나이저가 구비되는 것을 특징으로 하는 기판의 냉각 장치.
- 제 1 항 내지 제 3 항 및 제 5 항 내지 제 7항 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 냉각 코일은 상단이 막힌 박스형의 케이스의 측면으로 설치되어, 공기가 측면으로부터 상기 냉각 코일의 통과하여 내부로 유입되도록 한 기판의 냉각 장치.
- 제 9 항에 있어서,상기 냉각 코일의 하부에는 드레인 물받이가 구비되는 것을 특징으로 하는 기판의 냉각 장치.
- 제 1 항 내지 제 3 항 및 제 5 항 내지 제 7 항 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 냉각 공기 챔버에는 온도 센서가 구비되는 것을 특징으로 하는 기판의 냉각 장치.
- 제 1 항 내지 제 3 항 및 제 5 항 내지 제 7 항 중 어느 하나의 항에 있어서,상기 글래스 기판의 이동을 감지를 위한 광센서가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 기판의 냉각 장치.
- 글래스 기판의 이송을 위한 컨베이어와,상기 컨베이어의 상부로 구비되며, 컨베이어 상부로 공기를 제공하기 위한, 팬이 설치된 팬 하우징; 상기 팬의 구동압에 의해 상기 글래스 기판에 제공되는 공기의 냉각을 위해 제공되는 냉각 코일; 상기 팬 하우징의 하부에 마련되어 상기 팬 하우징으로부터 토출되는 공기를 여과하기 위한 필터; 상기 필터의 하부에 설치되는 이오나이저; 및 상기 필터의 하부에 제공되며, 상기 컨베이어에 놓인 글래스 기판의 표면과의 사이에 적어도 하나의 높이를 가진 갭이 형성되도록 하부벽이 구비되고, 상기 하부벽에는 냉각 공기가 토출되는 개구가 형성된 냉각 공기 챔버; 를 포함하는 냉각 청정 팬 필터 유닛과,상기 냉각 공기 챔버로부터 컨베이어를 향해 공급되는 냉기의 온도를 감지하 기 위한 온도감지수단과, 및상기 컨베이어를 따른 글래스 기판의 이동을 감지하기 위한 글래스기판이동감지수단을 포함하는 기판의 냉각 장치.
- 제 13 항에 있어서,상기 개구는 글래스 기판의 이동 방향으로 형성되는 2개의 슬릿을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판의 냉각 장치.
- 제 13 항에 있어서,상기 냉각 코일은 상기 팬 하우징의 상부로 설치되되, 상단이 막힌 박스형의 케이스의 측면으로 설치되어 측면을 통해 공기가 유입되면서 공기의 냉각이 이루어지도록 구성되며,상기 냉각 코일의 표면에 형성된 수분을 외부로 배출하기 드레인 수단이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 기판의 냉각 장치.
- 글래스 기판을 컨베이어를 통해 이송 중에 냉각하기 위한 기판의 냉각 방법으로서,글래스 기판이 이동하는 컨베이어 라인의 소정 위치에 상부로부터 청정 냉각 공기가 공급될 수 있는 냉각 위치를 마련하고, 상기 글래스 기판이 냉각 위치에 위치할 때, 컨베이어의 구동을 정지시켜 글래스 기판을 정지시키는 단계;미리 설정된 시간 동안 정지된 글래스 기판의 상부로부터 청정 냉각 공기를 공급하여 글래스 기판을 냉각시키는 단계;미리 설정된 시간이 경과하면 글래스 기판을 다음 공정으로 이송시키는 단계를 포함하는 기판의 냉각 방법.
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