JP2008128618A

JP2008128618A - クリーンルーム装置

Info

Publication number: JP2008128618A
Application number: JP2006317075A
Authority: JP
Inventors: Toru Maemura; 亨前村; Yasuhiro Uchida; 康博内田
Original assignee: Sanki Engineering Co Ltd
Current assignee: Sanki Engineering Co Ltd
Priority date: 2006-11-24
Filing date: 2006-11-24
Publication date: 2008-06-05
Anticipated expiration: 2026-11-24
Also published as: JP4863850B2

Abstract

【課題】クリーンルーム１内の温度ムラを抑制する。
【解決手段】ファンコイルユニット１２の空気流出口１６を密閉状に覆った空気溜まりチャンバ１９を設け、該空気溜まりチャンバ１９はこれの内方に溜まった空気を横向きへ流出させるための開口２０を有するものとなされおり、また外気供給ダクト１７の上面又は下面の何れかに形成された透口１７ａに連通され上下方向へ突出された密閉状の外気溜まりチャンバ２１Ａを設け、該外気溜まりチャンバ２１Ａはこれの内方に溜まった外気を横向きへ流出させるための外気用開口２２を有している構成とする。
【選択図】図１

Description

本発明は、半導体集積回路や液晶などの製造や検査などに用いられるクリーンルーム内の空気を清浄に且つ適当な温度に保持するものとしたクリーンルーム装置に関する。

従来より存在しているクリーンルーム装置は、クリーンルームの天井側に設置したファンフィルタユニットのフィルタで循環気体中の塵埃を捕捉除去することにより清浄域を高清浄度に保ち、また、ファンコイルユニットによる循環気体の温度調整により清浄域を所望の温度状態に調整するものである。

図７は、その一例を示す。クリーンルーム１は、建物の屋内に形成された清浄空間であって、天井面部２に空気導入孔３が形成され、床面部４に空気導出部５としての多数の比較的小さい透孔が形成されている。このクリーンルーム１の天井面部２の上側には、天井上空間６が形成されており、また床面部４の下側には、床下空間７が形成されている。

そして、クリーンルーム１の天井面部２には、高性能エアフィルタ９と送風ファン１０とが一体になったファンフィルタユニット８が配置されている。ここで、高性能エアフィルタ９としては、例えば、ＵＬＰＡ（Ultra Low Penetration Air）フィルタや、ＨＥＰＡ（High Efficiency Particle Air）フィルタがある。また、下側空間７の下面と上側空間６の上面との距離Ｌは、通常６〜１０ｍ程度となされる。

天井上空間６と床下空間７は、リターンシャフト１１を介して連通されている。このリターンシャフト１１内の下寄り箇所には、空調顕熱負荷除去用のファンコイルユニット１２が設置されている。ファンコイルユニット１２には、内部を密閉状となされた箱形ケーシング１２ａを備え、該ケーシング１２ａの内部に冷水コイル１３と空調用送風ファン１４を配置し、下部に空気吸引口１５を設けるとともに上部に空気流出口１６を設けている。また、ファンコイルユニット１２は、適用される空気調和領域の熱負荷の大小に応じて必要数並べられる。

リターンシャフト１１内には、図示しない中性能フィルタ及び空気調和装置によって粗塵を除去され且つ適温適湿に処理された状態の外気（フレッシュ空気）が、リターンシャフト１１の上側に水平状に設置された外気供給ダクト１７の外気供給口１７ａから図７中の左方向へ向け供給されるようになっている。

なお、外気供給ダクト１７は図８に示すようにリターンシャフト１１の下側に水平状に設けることも差し支えないのであるが、クリーンルーム１内の機器の関連設備などを設置したり保守管理を行うためのスペースを広く確保する上では、上側に設ける方が好ましい。

このように形成されたクリーンルーム装置では、クリーンルームを循環する清浄空気は、送風ファン１０の作用により、天井上空間６を図７中左方向へ流動し、次に高性能フィルタ９を経てクリーンルーム１内に押し込まれ、次に床下空間７内を図７中右方向へ流動し、次にリターンシャフト１１内を上方へ流動し、この流動中にその一部がファンコイルユニット１２により吸引され顕熱を除去されてその空気流出口１６から上方へ流出され、この流出された顕熱除去後の清浄空気とそれ以外の清浄空気とが空気流出口１６の上方近傍で混合され、その後、外気供給口１７ａから供給される特定温湿度となされた外気と混合されたのちに、天井上空間６内を図７中左方向へ流動し、再び、高性能フィルタ９を経てクリーンルーム１内に流入する。

このさい、送風ファン１０の作用により循環流動される清浄空気や外気供給口１７ａから供給される外気は、高性能エアフィルタ９を経てクリーンルーム１内に導入されるためクリーンルーム１内に到達した空気は塵埃などを除去されて所要の清浄度を維持されるのであり、また循環流動される清浄空気の一部は図示しない排気系を通じて大気側へ流出されるため、クリーンルーム１内の清浄空気には特定温湿度に処理された外気が絶えず確実に補給され、クリーンルーム１内の良好な作業環境が継続的に維持される。

上記したクリーンルーム装置の技術水準を示す公知資料として、例えば特許文献１〜４などが存在している。
特開２０００−２２７２４０号公報特開昭６１−７６８３７号公報特開２００２−１４７８１２号公報特開平８−１５２１７０号公報

上記した従来のクリーンルーム装置では、ファンコイルユニット１２の空気流出口１６から流出される温調済みの清浄空気が、送風ファン１４の作用によりリターンシャフト１１内の上方へ流動される清浄空気の中へこれの流れに沿って吹き出すように流出されるため、温調済みの清浄空気は空気流出口１６近傍でそれら流体の運動エネルギーなどにより他の清浄空気と激しく混合されるものの、図７又は図８中の左右方向と直交した横方へ離れた位置を上方へ流動する他の清浄空気とは効果的に混合することができず、ナノスケールレベルの精度を要求される製造や検査の実施されるクリーンルーム１内の空気に過度の温度むらを発生させることがある。

また外気供給ダクト１７の外気供給口１７ａから供給される外気が送風ファン１０の作用により図７又は図８中の左右方向へ流動される清浄空気の中へこれの流れに沿って吹き出すように供給されるため、外気は外気供給口１７ａ近傍ではそれら流体の運動エネルギーにより清浄空気と激しく混合されるものの、図７又は図８中の左右方向と直交した横方へ離れた位置を図７又は図８中の左右方向へ流動する清浄空気とは効果的に混合することができず、先と同様に、クリーンルーム１内の空気に過度の温度むらを発生させることがある。

本発明は斯かる従来の問題点を簡易な手段により解決できるものとしたクリーンルーム装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、本発明に係る第１のクリーンルーム装置は、請求項１に記載したように、クリーンルーム内の空気をリターンシャフト内に導いて該リターンシャフト内を上昇させた後に前記クリーンルーム内に環流させる送風ファンと、該リターンシャフト内の下寄り位置の空気を吸引し冷却し該リターンシャフト内に流出させるファンコイルユニットとを備えたクリーンルーム装置において、前記ファンコイルユニットの空気流出口を密閉状に覆った空気溜まりチャンバを設け、該空気溜まりチャンバはこれの内方に溜まった空気を横向きへ流出させるための開口２０を有していることを特徴とするものである。

この発明は次のように具体化するのがよいのであって、即ち、請求項２に記載したように、前記開口が前記リターンシャフトの平面視長手方向へ空気を流出させる第１開口２０ａと、該第１開口２０ａよりも小さな通路断面となされ前記平面視長手方向と直交した方向へ空気を流出させる第２開口２０ｂとからなっている構成とする。

次に本発明に係る第２のクリーンルーム装置は、請求項３に記載したように、クリーンルーム内の空気をリターンシャフト内に導いて該リターンシャフト内を上昇させた後に前記クリーンルーム内に環流させる送風ファンと、該送風ファンにより前記クリーンルーム内に環流される空気中に外気を供給するために前記リターンシャフト内に水平状に設けられた外気供給ダクトとを備えたクリーンルーム装置において、前記外気供給ダクトの上面又は下面の何れかに形成された透口に連通され上下方向へ突出された密閉状の外気溜まりチャンバを設け、該外気溜まりチャンバはこれの内方に溜まった外気を横向きへ流出させるための外気用開口２２を有していることを特徴とするものである。

この発明は次のように具体化するのがよいのであって、即ち、請求項４に記載したように、前記外気用開口２２が前記リターンシャフトの平面視長手方向へ空気を流出させる第１外気用開口２２ａと、該第１外気用開口２２ａよりも小さな通路断面となされ前記平面視長手方向と直交した方向へ空気を流出させる第２外気用開口２２ｂとからなっている構成とする。

次に本発明に係る第３のクリーンルーム装置は、請求項５に記載したように、クリーンルーム内の空気をリターンシャフト内に導いて該リターンシャフト内を上昇させた後に前記クリーンルーム内に環流させる送風ファンと、該リターンシャフト内の比較的下寄り位置の空気を吸引し冷却し該リターンシャフト内の適当高さ位置に流出させるファンコイルユニットと、該送風ファンにより前記クリーンルーム内に環流される空気中に外気を供給するために前記リターンシャフト内に水平状に設けられた外気供給ダクトとを備えたクリーンルーム装置において、前記ファンコイルユニットの空気流出口を密閉状に覆った空気溜まりチャンバを設け、該空気溜まりチャンバはこれの内方に溜まった空気を横向きへ流出させるための開口を有するものとなされおり、また前記外気供給ダクトの上面又は下面の何れかに形成された透口に連通され上下方向へ突出された密閉状の外気溜まりチャンバを設け、該外気溜まりチャンバはこれの内方に溜まった外気を横向きへ流出させるための外気用開口を有していることを特徴とするものである。

上記した本発明によれば、次のような効果が得られる。
即ち、請求項１に記載したものによれば、送風ファンがクリーンルーム内の清浄空気をリターンシャフト内に導いて該リターンシャフト内を上昇させた後に前記クリーンルーム内に環流させる過程で、リターンシャフト内を通過する清浄空気の一部がファンコイルユニットにより吸引され温調されて空気流出口から流出され空気溜まりチャンバに充満された後にその開口から横方へ噴き出されるようになるが、この横方へ噴き出される温調された清浄空気を、リターンシャフト内で上方へ流動するそれ以外の清浄空気の主流と直交するように衝突させて、これら清浄空気を効果的に混合させ全体の温度分布を均一させることにより、クリーンルーム内の温度むらを阻止することができる。

請求項２に記載したものによれば、ファンコイルユニットの空気流出口を覆った空気溜まりチャンバの開口２０が、リターンシャフトの平面視長手方向へ空気を流出させる比較的大きな通路断面の第１開口２０ａと、平面視長手方向と直交した方向へ空気を流出させる比較的小さな通路断面の第２開口２０ｂとからなっているため、第１開口２０ａから噴出される清浄空気の勢力を第２開口２０ｂから噴出される清浄空気のそれよりも大きくなって、第１開口２０ａから噴出される温調後の清浄空気がリターンシャフトの平面視長手方向へ強く噴出され、一方、第２開口２０ｂから噴出される温調後の清浄空気がリターンシャフトの平面視長手方向と直交した方向へ弱く噴出されるものとなり、したがって第１開口２０ａ及び第２開口２０ｂから横方へ噴き出される温調後の清浄空気を、リターンシャフト内で上方へ循環流動するそれ以外の清浄空気の全風量うちの、空気溜まりチャンバの前記平面視長手方向上の横側を上昇する清浄空気の風量と、空気溜まりチャンバの前記長手方向と直交した方向上の横側を上昇する清浄空気の風量との比に適合させて、リターンシャフト内を上方へ循環流動する清浄空気に効果的に衝突させ効率的に混合させることができるのであり、この結果、リターンシャフト内の清浄空気全体の温度分布が高度に均一化され、クリーンルーム内の温度むらの発生が阻止されるのである。

請求項３に記載したものによれば、外気供給ダクトの透口を覆った空気溜まりチャンバの開口から横方へ噴き出される温調後の清浄空気を、リターンシャフト内で上方へ流動するそれ以外の清浄空気の主流と効果的に衝突させ、これら清浄空気を効率的に混合させ、全体の温度分布を均一化させた状態でクリーンルームに環流させることができ、クリーンルーム内の温度むらを抑制することができる。

請求項４に記載したものによれば、外気供給ダクト内に透口を通じて連通された空気溜まりチャンバの外気用開口２２が、リターンシャフトの平面視長手方向へ空気を流出させる比較的大きな通路断面の第１外気用開口２２ａと、平面視長手方向と直交した方向へ空気を流出させる比較的小さな通路断面の第２外気用開口２２ｂとからなっているため、請求項２に記載した効果に対応した効果が得られるのであって、即ち、第１外気用開口２２ａから噴出される清浄空気の勢力が第２外気用開口２２ｂから噴出される清浄空気のそれよりも大きくなって、第１外気用開口２２ａから噴出される温調後の清浄空気がリターンシャフトの平面視長手方向へ強く噴出され、一方、第２外気用開口２２ｂから噴出される温調後の清浄空気がリターンシャフトの平面視長手方向と直交した方向へ弱く噴出されるものとなり、したがって第１外気用開口２２ａ及び第２外気用開口２２ｂから横方へ噴き出される温調後の清浄空気を、リターンシャフト内で上方へ循環流動するそれ以外の清浄空気の全風量うちの、空気溜まりチャンバの前記平面視長手方向上の横側を上昇する清浄空気の風量と、空気溜まりチャンバの前記長手方向と直交した方向上の横側を上昇する清浄空気の風量との比に適合させて、リターンシャフト内を上方へ循環流動する清浄空気に効果的に衝突させ効率的に混合させることができるのであり、この結果、リターンシャフト内の清浄空気全体の温度分布が高度に均一化され、クリーンルーム内の温度むらの発生が阻止されるのである。

請求項５に記載したものによれば、上記請求項１〜４に記載の発明により得られる効果と同一の効果を得ることができる。

以下、本発明の実施形態を図面を参照して説明する。
図１〜図６は、本発明に係るクリーンルーム装置の一実施形態を示している。
この実施形態において、クリーンルーム１、天井上空間６、床下空間７、ファンフィルタユニット８、リターンシャフト１１及びファンコイルユニット１２は、図７及び図８に示す従来例と実質的に同一であるので、同じ符号を付すものとする。

図１において、クリーンルーム１の大きさは、前後方向Ｘの長さを例えば数十ｍ程度となされ、左右方向Ｙの長さを凡そ２０ｍ〜４０ｍ程度となされ、高さＨ１を凡そ３．０ｍ〜４．０ｍ程度なされている。そして天井上空間６の高さＨ２は凡そ１．５ｍ〜２．５ｍ程度となされ、床下空間７の高さＨ３は凡そ１．５ｍ〜３．０ｍ程度となされており、リターンシャフト１１は前後方向Ｘの長さＬ１を凡そ１ｍ〜２ｍ程度となされ、左右方向Ｙの長さを凡そ２０ｍ〜４０ｍ程度となされ、下面７ａから上面６ａまでの高さを凡そ６．０ｍ〜１０ｍ程度となされている。

ファンコイルユニット１２は図３Ａに示すようにリターンシャフト１１内に３台設けられており、リターンシャフト１１内の床面に水平状に敷設された多孔板１８の上面箇所で左右方向Ｙ上の特定間隔位置に配設され且つクリーンルーム１の前端面壁１ａに近接して立設されている。左右方向Ｙ上で隣接して配置された２つのファンコイルユニット１２、１２の間隔Ｌ２は何れも凡そ１０ｍ程度となされ、またリターンシャフト１１の左右の各側面壁１１ａ、１１ｂとこれに隣接したファンコイルユニット１２との間隔Ｌ３は何れも凡そ５ｍ程度となされている。

ファンコイルユニット１２のぞれぞれには、図４に示すように、その上面の空気流出口１６を板部材１９ａで覆った箱形状の空気溜まりチャンバ１９が形成されている。このチャンバ１９は内方に溜まった空気を横向きへ流出させるための開口２０を形成されている。

この開口２０は、空気溜まりチャンバ１９の左右側面部のそれぞれに四角状に形成され比較的大きな通路断面となされた左右一対の第１開口２０ａと、空気溜まりチャンバ１９の前面部に四角状に形成され比較的小さな通路断面となされた１つの第２開口２０ｂとからなる。このさい、第１開口２０ａのそれぞれは空気溜まりチャンバ１９内の空気をリターンシャフト１１の平面視長手方向である左右方向Ｙ外方へ流出させるものであり、第２開口２０ｂは空気溜まりチャンバ１９内の空気を平面視長手方向と直交した前方へ流出させるものである。

リターンシャフト１１内の上部には図２などに示すように、リターンシャフト１１の上面６ａ近傍に外気供給ダクト１７が左右方向Ｙの水平状に吊設されている。この外気供給ダクト１７にはこれの下面の長手方向の特定間隔位置のそれぞれに長四角状の透口１７ａが形成されると共に、この透口１７ａのそれぞれを板部材２１で覆った箱形状の比較的小さい空気溜まりチャンバ２１Ａ、２１Ｂが外気供給ダクト１７の下面から例えば１ｍ〜２ｍ程度下方へ突出した状態に形成されている。このチャンバ２１Ａ、２１Ｂは内方に溜まった空気を横向きへ流出させるための外気用開口２２を形成されている。

そして、一方の空気溜まりチャンバ２１Ａは図５に示すように、左右側面部のそれぞれに四角状に形成され比較的大きな通路断面となされた左右一対の第１外気用開口２２ａと、前面部に四角状に形成され比較的小さな通路断面となされた１つの第２外気用開口２２ｂとからなる。このさい、第１外気用開口２２ａのそれぞれは空気溜まりチャンバ２１Ａ内の空気をリターンシャフト１１の平面視長手方向である左右方向Ｙ外方へ流出させるものであり、第２外気用開口２２ｂは空気溜まりチャンバ２１Ａ内の空気を平面視長手方向と直交した後方へ流出させるものである。また他方の空気溜まりチャンバ２１Ｂは左右何れかの側面部に四角状に形成され比較的大きな通路断面となされた１つの第１外気用開口２２ａと、前面部に四角状に形成され比較的小さな通路断面となされた１つの第２外気用開口２２ｂとからなる。

このさい、各空気溜まりチャンバ２１Ａ、２１Ｂの外気用開口２２よりも上側で透口１７ａよりも下側となる箇所にはハンドル２３ａの回転操作により開度が任意に変更されるダンパ部２３が形成されている。各空気溜まりチャンバ２１Ａ、２１Ｂはファンコイルユニット１２の配列に関連して配置されるのであって、即ち、図３に示すように左右方向Ｙ上で隣接した２つのファンコイルユニット１２、１２の中間位置に、一対の外気用開口２２、２２を有する１つの空気溜まりチャンバ２１Ａが配置されるほか、左右方向Ｙ配列の各端部の１つのファンコイルユニット１２を挟む外方位置には１つの外気用開口２２を有する１つの空気溜まりチャンバ２１Ｂが配置される。

図３Ｂに示すように、外気供給ダクト１７は大気側に設けられた外気処理空気調和機２４の外気流出部２４ａに屋外ダクト２５を介して連通されている。外気処理空気調和機２４は中性能フィルタで外気中の塵埃を除去すると共に外気を特定の温湿度に処理したフレッシュ空気を外気流出部２４ａから送り出すものとなされている。
なお、図４において、１３ａはコイル１３への冷水入口、１３ｂはコイル１３からの冷水出口、そして１２ｂはケーシング１２ａ内のドレン排出口である。

上記のように構成されたクリーンルーム装置は図７及び図８に示すものに準じて作動するのであり、その作動中には送風ファン１０の作用により、清浄空気はリターンシャフト１１内の左右方向Ｙ全巾範囲を上方へ流動する。

また各ファンコイルユニット１２に設けられた空気溜まりチャンバ１９にはその対応する空気流出口１６から流出される清浄空気が充満されて、図３Ａなどに示すように左右側の第１開口２０ａ、２０ａ及び前側の第２開口２０ｂから流出されるのであり、このさい第１開口２０ａから流出された清浄空気はその左右向きの流動が凡そ５ｍを超える程度まで達し、一方、第２開口２０ｂから流出された清浄空気はその前方向きの流動がリターンシャフト１１の前壁面１１ｃに達するものとなる。

これにより第１開口２０ａ、２０ａ及び第２開口２０ｂから流出した清浄空気は図６に示すように、リターンシャフト１１内を上方へ流動する清浄空気の主流ｍの左右方向Ｙ全範囲においてこれに直交するように衝突して、これら双方の清浄空気は効果的に混合され全体の温度分布を均一化されながら外気供給ダクト１７側へ向けさらに上昇する。

また外気供給ダクト１７に設けられた空気溜まりチャンバ２１Ａ、２１Ｂにはその対応する透口１７ａから流出される特定の圧力及び温湿度に処理された外気が充満されて、図６に示すように各外気用開口２２から流出されるのであり、このさい第１外気用開口２２ａから流出される外気はその左右方向Ｙの流動が凡そ５ｍを超える位置にまで達する。これにより各外気用開口２２から流出した外気はリターンシャフト１１内を上方へ流動する清浄空気の主流ｍの左右方向Ｙ全範囲でこれに直交するように衝突して、清浄空気と外気が効果的に混合され、全体の温度分布が均一化される。一方、第２外気用開口２２ｂから流出された清浄空気はその後方向きの流動がリターンシャフト１１の前後方向の略全長に及ぶものとなる。

このように外気を混合された清浄空気は、この後、ファンフィルタユニット８を経てクリーンルーム１内に導入されるのであり、したがってクリーンルーム１内全体の温度分布は高度に均等化される。

なお上記の実施形態では、ファンフィルタユニット８の送風ファン１０がクリーンルーム１内の清浄空気を循環流動させるが、これに代えてファンフィルタユニット１２を単なる高性能フィルタとなすと共に、クリーンルーム１内の清浄空気を循環流動させるための送風ファンをその循環流動経路の任意な場所に設けることも差し支えない。

また外気供給ダクト１７はリターンシャフト１１内の上部に限らず他の適当高さ位置に設けてもよいのであり、例えば図２に仮想線ｋで示すようにリターンシャフト１１の下部に設けてもよい。さらには空気溜まりチャンバ１９と空気溜まりチャンバ２１Ａ、２１Ｂとの何れか一方のみを設け、他方は従来と同様な構成になすことも差し支えない。

本発明に係るクリーンルーム装置の要部を示す斜視図である。上記クリーンルーム装置の側面視断面図である。上記クリーンルーム装置のリターンシャフト周辺を示す平面視説明図で、Ａはファンコイルユニットなどをその上側近傍から見た図で、Ｂは外気供給手段や空気溜まりチャンバなどの関係を示す図である。上記ファンコイルユニット及びその空気溜まりチャンバを示す斜視図である。上記空気溜まりチャンバ周辺を示す斜視図である。上記リターンシャフト内での清浄空気や外気の流れ状態を示す正面視説明図である。従来例を示す側面視断面図である。他の従来例を示す側面視断面図である。

符号の説明

１クリーンルーム
１０送風ファン
１１リターンシャフト
１２ファンコイルユニット
１６空気流出口
１７外気供給ダクト
１７ａ透口
１９空気溜まりチャンバ
２０開口
２０ａ第１開口
２０ｂ第２開口
２１外気溜まりチャンバ
２２外気用開口
２２ａ第１外気用開口
２２ｂ第２外気用開口
Ｙ左右方向（長手方向）

Claims

クリーンルーム内の空気をリターンシャフト内に導いて該リターンシャフト内を上昇させた後に前記クリーンルーム内に環流させる送風ファンと、該リターンシャフト内の下寄り位置の空気を吸引し冷却し該リターンシャフト内に流出させるファンコイルユニットとを備えたクリーンルーム装置において、前記ファンコイルユニットの空気流出口を密閉状に覆った空気溜まりチャンバを設け、該空気溜まりチャンバはこれの内方に溜まった空気を横向きへ流出させるための開口を有していることを特徴とするクリーンルーム装置。
前記開口が前記リターンシャフトの平面視長手方向へ空気を流出させる第１開口と、該第１開口よりも小さな通路断面となされ前記平面視長手方向と直交した方向へ空気を流出させる第２開口とからなっていることを特徴とする請求項１記載のクリーンルーム装置。
クリーンルーム内の空気をリターンシャフト内に導いて該リターンシャフト内を上昇させた後に前記クリーンルーム内に環流させる送風ファンと、該送風ファンにより前記クリーンルーム内に環流される空気中に外気を供給するために前記リターンシャフト内に水平状に設けられた外気供給ダクトとを備えたクリーンルーム装置において、前記外気供給ダクトの上面又は下面の何れかに形成された透口に連通され上下方向へ突出された密閉状の外気溜まりチャンバを設け、該外気溜まりチャンバはこれの内方に溜まった外気を横向きへ流出させるための外気用開口を有していることを特徴とするクリーンルーム装置。
前記外気用開口が前記リターンシャフトの平面視長手方向へ空気を流出させる第１外気用開口と、該第１外気用開口よりも小さな通路断面となされ前記平面視長手方向と直交した方向へ空気を流出させる第２外気用開口とからなっていることを特徴とする請求項３記載のクリーンルーム装置。
クリーンルーム内の空気をリターンシャフト内に導いて該リターンシャフト内を上昇させた後に前記クリーンルーム内に環流させる送風ファンと、該リターンシャフト内の比較的下寄り位置の空気を吸引し冷却し該リターンシャフト内の適当高さ位置に流出させるファンコイルユニットと、該送風ファンにより前記クリーンルーム内に環流される空気中に外気を供給するために前記リターンシャフト内に水平状に設けられた外気供給ダクトとを備えたクリーンルーム装置において、前記ファンコイルユニットの空気流出口を密閉状に覆った空気溜まりチャンバを設け、該空気溜まりチャンバはこれの内方に溜まった空気を横向きへ流出させるための開口を有するものとなされおり、また前記外気供給ダクトの上面又は下面の何れかに形成された透口に連通され上下方向へ突出された密閉状の外気溜まりチャンバを設け、該外気溜まりチャンバはこれの内方に溜まった外気を横向きへ流出させるための外気用開口を有していることを特徴とするクリーンルーム装置。