JP4863850B2 - クリーンルーム装置 - Google Patents
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Description
即ち、請求項1に記載したものによれば、外気供給ダクトの透口を覆った外気溜まりチャンバの外気用開口から横方へ噴き出される温調後の清浄空気を、リターンシャフト内で上方へ流動するそれ以外の清浄空気の主流と効果的に衝突させ、これら清浄空気を効率的に混合させ、全体の温度分布を均一化させた状態でクリーンルームに環流させることができ、クリーンルーム内の温度むらを抑制することができる。
図1〜図6は、本発明に係るクリーンルーム装置の一実施形態を示している。
この実施形態において、クリーンルーム1、天井上空間6、床下空間7、ファンフィルタユニット8、リターンシャフト11及びファンコイルユニット12は、図7及び図8に示す従来例と実質的に同一であるので、同じ符号を付すものとする。
なお、図4において、13aはコイル13への冷水入口、13bはコイル13からの冷水出口、そして12bはケーシング12a内のドレン排出口である。
10 送風ファン
11 リターンシャフト
12 ファンコイルユニット
16 空気流出口
17 外気供給ダクト
17a 透口
19 空気溜まりチャンバ
20 開口
20a 第1開口
20b 第2開口
21A,B 外気溜まりチャンバ
22 外気用開口
22a 第1外気用開口
22b 第2外気用開口
Y 左右方向(長手方向)
Claims (3)
- クリーンルーム内の空気をリターンシャフト内に導いて該リターンシャフト内を上昇させた後に前記クリーンルーム内に環流させる送風ファンと、該送風ファンにより前記クリーンルーム内に環流される空気中に外気を供給するために前記リターンシャフト内に水平状に設けられた外気供給ダクトとを備えたクリーンルーム装置において、前記外気供給ダクトの上面又は下面の何れかに形成された透口に連通され上下方向へ突出された密閉状の外気溜まりチャンバを設け、該外気溜まりチャンバはこれの内方に溜まった外気を横向きへ流出させるための外気用開口を有していることを特徴とするクリーンルーム装置。
- 前記外気用開口が前記リターンシャフトの平面視長手方向へ空気を流出させる第1外気用開口と、該第1外気用開口よりも小さな通路断面となされ前記平面視長手方向と直交した方向へ空気を流出させる第2外気用開口とからなっていることを特徴とする請求項1記載のクリーンルーム装置。
- クリーンルーム内の空気をリターンシャフト内に導いて該リターンシャフト内を上昇させた後に前記クリーンルーム内に環流させる送風ファンと、該リターンシャフト内の床面に水平状に敷設された多孔板の上面箇所近傍位置の空気を吸引し冷却し前記リターンシャフト内に流出させるファンコイルユニットと、前記送風ファンにより前記クリーンルーム内に環流される空気中に外気を供給するために前記リターンシャフト内に水平状に設けられた外気供給ダクトとを備えたクリーンルーム装置において、前記ファンコイルユニットの空気流出口を密閉状に覆った空気溜まりチャンバを設け、該空気溜まりチャンバはこれの内方に溜まった空気を横向きへ流出させるための開口を有し、前記外気供給ダクトの上面又は下面の何れかに形成された透口に連通され上下方向へ突出された密閉状の外気溜まりチャンバを設け、該外気溜まりチャンバはこれの内方に溜まった外気を横向きへ流出させるための外気用開口を有していることを特徴とするクリーンルーム装置。
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