KR101520962B1 - 다층 피복 절삭 공구 - Google Patents

다층 피복 절삭 공구 Download PDF

Info

Publication number
KR101520962B1
KR101520962B1 KR1020070138782A KR20070138782A KR101520962B1 KR 101520962 B1 KR101520962 B1 KR 101520962B1 KR 1020070138782 A KR1020070138782 A KR 1020070138782A KR 20070138782 A KR20070138782 A KR 20070138782A KR 101520962 B1 KR101520962 B1 KR 101520962B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
layer
coating
cutting tool
homogeneous
multilayer
Prior art date
Application number
KR1020070138782A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20080061323A (ko
Inventor
마리아 오스트란드
Original Assignee
산드빅 인터렉츄얼 프로퍼티 에이비
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 산드빅 인터렉츄얼 프로퍼티 에이비 filed Critical 산드빅 인터렉츄얼 프로퍼티 에이비
Publication of KR20080061323A publication Critical patent/KR20080061323A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101520962B1 publication Critical patent/KR101520962B1/ko

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23BTURNING; BORING
    • B23B27/00Tools for turning or boring machines; Tools of a similar kind in general; Accessories therefor
    • B23B27/14Cutting tools of which the bits or tips or cutting inserts are of special material
    • B23B27/148Composition of the cutting inserts
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/45Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
    • C04B41/50Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials
    • C04B41/5053Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials non-oxide ceramics
    • C04B41/5062Borides, Nitrides or Silicides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/80After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
    • C04B41/81Coating or impregnation
    • C04B41/85Coating or impregnation with inorganic materials
    • C04B41/87Ceramics
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0635Carbides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0641Nitrides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0664Carbonitrides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/04Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
    • C23C28/044Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material coatings specially adapted for cutting tools or wear applications
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/40Coatings including alternating layers following a pattern, a periodic or defined repetition
    • C23C28/42Coatings including alternating layers following a pattern, a periodic or defined repetition characterized by the composition of the alternating layers
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C30/00Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process
    • C23C30/005Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process on hard metal substrates
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/12All metal or with adjacent metals
    • Y10T428/12389All metal or with adjacent metals having variation in thickness
    • Y10T428/12403Longitudinally smooth and symmetrical
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/12All metal or with adjacent metals
    • Y10T428/12493Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, joint, etc.]
    • Y10T428/12632Four or more distinct components with alternate recurrence of each type component
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24942Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including components having same physical characteristic in differing degree
    • Y10T428/2495Thickness [relative or absolute]
    • Y10T428/24967Absolute thicknesses specified
    • Y10T428/24975No layer or component greater than 5 mils thick
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/26Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
    • Y10T428/263Coating layer not in excess of 5 mils thick or equivalent
    • Y10T428/264Up to 3 mils
    • Y10T428/2651 mil or less

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Drilling Tools (AREA)

Abstract

본 발명은, 기재가 접착성, 경질 및 내마모성의 얇은 코팅으로 피복되어 있는 피복 절삭 공구에 관한 것이고, 상기 코팅은 금속 질화물, 금속 탄화물 또는 금속 탄질화물로 이루어진 교대로 배치된 층의 다층 구조를 포함하고 있다. 상기 코팅에서, 개별 층 두께의 시퀀스 (sequence) 가 반복 주기를 갖기 않고 다층 구조 전체에서 본질적으로 비주기적이다. 상기 코팅의 평균 화학 조성은 AlaTibSicCrd(CeN1-e) 이고, 여기서 0<a<0.5, 바람직하게는 0.05<a<0.4, 0.1<b<0.9, 바람직하게는 0.3<b<0.9, 0.01<c<0.17, 바람직하게는 0.02<c<0.1, 0≤d<0.06, 및 a+b+c+d = 1, 0≤e<1, 바람직하게는 0≤e<0.2 이다.
피복 절삭 공구

Description

다층 피복 절삭 공구{MULTILAYERED COATED CUTTING TOOL}
본 발명은, 초경합금, 서멧 (cermet), 세라믹, 고속도 강 또는 입방정 질화붕소의 기재를 포함하고, 그 기재상에 물리적 기상 증착 (PVD) 에 의해 경질의 내마모성, 내화성 코팅이 증착되어 있는 금속 기계가공용 절삭 공구에 관한 것이다. 코팅은 기재에 접착식으로 접합되고, 개별 층으로서 금속 질화물, 금속 탄화물 또는 금속 탄질화물이 교대로 배치되어 있는 층상의 다층 구조를 포함하고, 비주기적인 구조 및 1 ∼ 17 at% 의 평균 Si 함량을 갖는다.
예컨대 초경합금, 서멧, 세라믹, 입방정 질화붕소 또는 고속도 강의 절삭 공구에 알루미나 (Al2O3), 탄화티탄 (TiC) 및/또는 질화티탄 (TiN) 과 같은 재료로 이루어진 얇은 내화성 코팅 (1 ∼ 20 ㎛) 을 증착시키는 방법은 잘 정립되어 있는 기술이고, 피복 절삭 공구이 공구 수명은 금속 기계가공에 사용되는 경우 매우 길다. 공구의 긴 사용 수명은 특정 조건 하에서 수백 % 까지 연장될 수 있다. 현대의 상업적인 절삭 공구는 이중 또는 다층 구조와 복수의 층 조합을 특징으로 한다. 총 코팅 두께는 1 ∼ 20 ㎛ 이고, 종래 기술에서, 다층 구조는 나노미터 (㎚) 및/또는 마이크로미터 (㎛) 인 것을 특징으로 하며, 즉 개별 층의 두께는 수 나노미터 ∼ 수백 나노미터이다.
절삭 공구상에 얇은 내화성 층을 형성할 수 있는 몇몇 PVD 기술이 존재하고, 가장 잘 정립된 방법은 이온 도금, 마그네트론 스퍼터링, 아크 방전 증발 및 IBAD (이온 빔 보조 증착) 이다. 각 방법은 각각의 장점이 있으며, 미세구조/입자 크기, 경도, 응력 상태, 아래에 있는 기재에 대한 접착성 및 부착성과 같은 생성된 코팅의 본질적인 특성은 선택된 특정 PVD 법에 따라 다를 수 있다. 따라서, 상기한 특성 중 1 이상을 최적화함으로써, 특정 기계가공 작업에 사용되는 PVD 피복 절삭 공구의 내마모성 또는 날 무결성 (edge integrity) 을 달성할 수 있다.
나노복합재 질화물, 탄화물 또는 탄질화물 경질 코팅 재료의 경우, 각 개별 질화물, 탄화물 또는 탄질화물 층의 두께가 나노미터 범위인 경우의 다층 코팅은 이반적으로 100 ㎚ 미만인 것으로 알려져 있다.
최근 공구의 개발은 더 날카로운 절삭날에 대한 것이다. 이로 인해, 날카로운 절삭날을 유지하기 위해 더 얇은 코팅이 필요하다. 코팅이 두꺼워지면, 날은 더욱 용이하게 둥근 형상으로 될 수 있다. 증착되는 코팅이 얇아지면, 내마모성을 유지하기 위해 경도 증가가 요구된다. 경질의 얇은 코팅을 얻는 한 방법은 다층 나노복합재 코팅을 사용하는 것이다. 종래 기술에서, 얇은 나노복합재 코팅은 일반적으로 균질 내마모성 층상에 증착된다.
EP 1 690 959 A 에는, 두께 2 ∼ 6 ㎛ 의 TiAlSiN 으로 이루어진 단일 상 구 조의 하부 층 및 총 두께 0.5 ∼ 1.5 ㎛ 의 다층 구조 Ti1 -(A+B)AlASiBN/Ti1 -(C+D)AlCSiDN 의 상부 층을 포함하는 내마모성 코팅이 개시되어 있다. 다층 구조의 조성이 0.01 ∼ 0.06 의 A, 0.25 ∼ 0.35 의 B, 0.30 ∼ 0.45 의 C 및 0.1 ∼ 0.15 의 D 와 함께 기재되어 있다.
EP 1 702 997 A 에는, Ti1 -a-b-c- dAlaCrbSicBd(C1 - eNe) 으로 이루어진 절삭 공구용 경질의 막 (여기서, 0.5<a<0.8, b>0.06, c 는 0∼0.1, 0<d<0.1 및 0.5<e<1 임) 이 개시되어 있다. 경질의 막은 다층 구조의 형태일 수 있다.
그러나, 날카로운 절삭날을 가지면서 향상된 내마모성을 갖는 코팅을 제공할 수 있도록, 다층 코팅의 다른 개발이 여전히 요구되고 있다.
본 발명의 목적은 내마모성 코팅을 갖는 절삭 공구를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 증가된 경도를 갖는 코팅을 제공하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 날카로운 날에 적합한 코팅을 제공하는 것이다.
본 발명에 따른 코팅을 제공함으로써, 강화된 경도로 인해 절삭날의 내연삭마모성이 증가하게 되어, 날카로운 절삭날을 유지하는 것이 가능하다. 또한, 종래 기술에서 설명한 균질의 하부 층 없이 얇은 경질 코팅을 얻을 수 있다. 얻어지는 조직은 결정립계에 공극이 전혀 또는 거의 없는 미립자이다. 고배율 단면 투사 전자 현미경 (TEM) 에 의하면, 비주기적인 구조가 나타난다.
본 발명에 따르면, 탄화물, 서멧, 세라믹, 입방정 질화붕소, 또는 고속도 강의 경질 합금으로 이루어진 기재를 포함하고, 그 기재 상에 내마모성 다층 코팅이 증착되어 있는 절삭 공구가 제공된다. 또한, 상기 기재는 두께 0.1 ∼ 1 ㎛, 바람직하게는 0.05 ∼ 0.5 ㎛ 의 TiN, TiC, TiCN 또는 (Ti, Al)N 으로 이루어진 얇은 단층 또는 다층으로 예비 피복될 수 있다.
기재 또는 예비 피복된 기재에 접착식으로 접합되는 상기 다층 코팅은 층상의 다층 구조 X+Y+X+Y+… (도 1 및 도 2 참조) 를 포함하고, 교대로 있는 층 (X 와 Y) 은 금속 질화물, 금속 탄화물, 또는 금속 탄질화물, 바람직하게는 입방정 구조를 갖는 다결정 질화물을 포함하며, 금속 원소는 티타늄 (Ti), 알루미늄 (Al), 실 리콘 (Si), 크롬 (Cr), 니오븀 (Nb), 하프늄 (Hf), 바나듐 (V), 탄탈 (Ta), 몰리브덴 (Mo), 지르코늄 (Zr), 또는 텅스텐 (W), 및 이들의 혼합물 중에서 선택된다. X 층의 화학 조성은 Y 층의 화학 조성과 상이하다.
다층 구조 중 각 개별 층의 조성은 얇은 두께로 인하여 인접한 층의 도움 없이는 측정될 수 없다. 측정할 수 있는 것은 전체 다층 구조에서의 평균 조성이다. 그러나, 각 개별 층의 조성은 사용된 목표 (target) 조성으로부터 추정될 수 있지만, 이를 통해 정확한 조성을 알 수는 없다. 층이 더 두껍게 증착되어, 분석되기에 충분한 두께가 된 경우, 증착된 층의 조성이 목표 재료의 조성에 비해 수 퍼센트 정도 상이할 수 있음이 밝혀졌다. 그러므로, 이하에서 본 발명에 따른 다층 구조 중 개별 층의 임의의 조성은 증착 동안 사용된 목표 조성으로부터 추정된 것이다.
다층 구조의 평균 화학 조성은 코팅의 단면에서 EDS (에너지 분산형 분광계) 를 이용하여 측정된다. 본 발명에 따른 전체 다층 구조의 평균 조성은 바람직하게는 AlaTibSicCrd(CeN1 -e) 이고, 여기서 0<a<0.5, 바람직하게는 0.05<a<0.4, 0.1<b<0.9, 바람직하게는 0.3<b<0.9, 0.01<c<0.17, 바람직하게는 0.02<c<0.1, 0≤d<0.06, 및 a+b+c+d = 1, 0≤e<1, 바람직하게는 0≤e<0.2 이다. 전체 다층 구조의 평균 조성이 상기 범위 내에 있더라도, 각 층의 조성, 즉 목표 조성은 상기 범위 밖에 있을 수 있다.
다층 구조는, 본질적으로 전체 다층 구조를 통해 비주기적인 개별 두께로 X 층과 Y 층이 교대로 반복되어 있다. 임의의 개별 층의 두께는 0.1 ㎚ 초과 100 ㎚ 미만, 바람직하게는 1 ㎚ 초과 50 ㎚ 미만, 가장 바람직하게는 2 ㎚ 초과 30 ㎚ 미만이다. 다층 구조 중 임의의 연속적인 10 개 층 두께의 합은 300 ㎚ 미만이다.
"비주기적인"이란 표현은, 다층 구조 중 특정 개별 층의 두께가 바로 아래에 있는 개별 층의 두께에 의존하지 않거나 특정 개별 층 위에 있는 개별 층과 어떠한 관련도 없음을 의미한다. 그러므로, 다층 구조는 개별 층 두께의 시퀀스에서 어떠한 반복 주기를 갖지 않는다. 다층 구조의 총 두께는 0.5 ∼ 20 ㎛, 바람직하게는 1 ∼ 10 ㎛, 그리고 가장 바람직하게는 1 ∼ 5 ㎛ 이다.
본 발명의 일 실시형태에서, 코팅은, 균질 층이 반복적으로 교대로 배치된 2 이상, 바람직하게는 5 이상의 다층 구조를 포함한다. 다층 구조는 개별 층의 두께와 화학 조성에 있어서는 상기한 것과 동일하다. 균질 층은 바람직하게는 TixAlySiz(CwN1-w) 포함하고, 여기서 0<x<0.7, 바람직하게는 0.05<x<0.6, 0.1<y<0.9, 바람직하게는 0.3<y<0.9, 0.01<z<0.17, 바람직하게는 0.02<z<0.1, 및 x+y+z = 1, 0≤w<1, 바람직하게는 0≤w<0.2 이다. 균질 층의 두께는 바람직하게는 25 ∼ 150 ㎚, 더욱 바람직하게는 50 ∼ 75 ㎚ 이다. 전체 코팅의 평균 조성은 AlaTibSicCrd(CeN1 -e) 이고, 여기서 0<a<0.5, 바람직하게는 0.05<a<0.4, 0.1<b<0.9, 바람직하게는 0.3<b<0.9, 0.01<c<0.17, 바람직하게는 0.02<c<0.1, 0≤d<0.06, 및 a+b+c+d = 1, 0≤e<1, 바람직하게는 0≤e<0.2 이다. 균 질 층이 반복적으로 교대로 배치된 다층 구조인 경우, 코팅의 전체 두께는 바람직하게는 0.5 ∼ 20 ㎛, 더욱 바람직하게는 0.5 ∼ 10 ㎛, 그리고 가장 바람직하게는 1 ∼ 5 ㎛ 이다.
모든 코팅은, Bragg-Brentano x-선 회절을 이용하여 판정하였을 때 두드러진 (200)-조직 (pronuouned (200)-texture) 을 갖는 입방정 NaCl-구조를 나타낸다. 모든 다층 코팅은 균질 코팅보다 더 강한 XRD 피크를 나타낸다. 다층 코팅은 다층 구조로 균질 층이 교대로 배치된 코팅보다 더욱 두드러진 (200)-조직을 나타내었다.
다층 코팅이 증착된 절삭 공구로는, 예컨대 초경합금, 서멧, 세라믹, 입방정 질화붕소 또는 고속도 강으로 이루어진 엔드 밀, 드릴, 절삭 공구 인서트가 있다.
다층 구조를 포함하는 코팅은 상이한 PVD법으로 기재에 증착되거나 개별 층을 교대로 형성할 수 있다. 개별 층 두께의 비주기적인 시퀀스가 개별 층 근원의 셔터 (shutter) 를 무작위로 개방 및 폐쇄함으로써 또는 상기 근원을 무작위로 켜고 끔으로써 제조될 수 있다. 생각할 수 있는 다른 방법은, 피복되는 기재를 상기 근원 앞에서 무작위로 회전시키거나 이동시키는 것이다. 이는, 비주기적인 구조를 얻기 위해 배치된 3중 (3-fold) 회전 기재 테이블에 기재를 위치시켜서 행해지는 것이 바람직하다. 3중 회전은 회전 속도 및 회전 방향 (시계방향 또는 반시계방향) 에 있어서 조절될 수 있다.
전자 빔 증착, 마그네트론 스퍼터링 또는 음극 아크 증착 또는 이들의 조합이 코팅을 증착하기 위한 바람직한 PVD 법이다.
아크원 (arc source) 은 금속의 다른 조합으로 이루어질 수 있고, 개별 아크원의 조성은 전체 다층 구조의 평균 조성과 상이할 수 있고 또한 본 발명의 범위 내의 코팅과 상이할 수 있다. 근원의 개수는 2 이상이다.
본 발명의 일 실시형태에서, (Ti,Al,Si)N + (Ti,Si)N, (Ti,Si)N + (Ti,Al)N, (Al,Cr)N + (Ti,Si)N 또는 (Al,Ti,Si)N + (Al,Cr)N 을 포함하는 다층 코팅이 고속도 강으로 이루어진 기재, 바람직하게는 드릴 또는 엔드 밀에 증착된다.
본 발명의 다른 실시형태에서, (Ti,Al,Si)N + (Ti,Si)N, (Ti,Si)N + (Ti,Al)N, (Al,Cr)N + (Ti,Si)N 또는 (Al,Ti,Si)N + (Al,Cr)N 을 포함하는 다층 코팅이 초경합금으로 이루어진 기재에 증착된다.
상기한 코팅 외에도, 본 발명에 따른 코팅은, 내열성을 향상시키는 층과 마모 확인을 용이하게 하는 층과 같은 1 이상의 상부 층을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 다층 구조는 날카로운 절삭날을 갖는 공구 형상에 특히 적합하다. 본 발명에 따른 피복 절삭 공구는, 강 또는 스테인리스 강을 기계가공할 때 사용되는 경우 종래 공구에 비해 향상된 내마모성을 보여준다.
실시예 1
반응성 PVD 아크 방전 증발을 이용하여 10 중량% Co 및 잔부 WC 를 갖는 초경합금 선삭용 인서트에 비주기적인 다층 구조를 증착시켜서 피복 인서트를 제조하였다. 비주기적인 구조를 얻기 위해 배치된 3중 회전 기재 테이블에 설치된 인 서트에 대해, 2 개의 아크원으로부터 다층 구조를 증착시켰다. Ar + N2 분위기에서 아크 증발이 행해졌다. 얻어진 총 코팅 두께는 약 2 ㎛ 이었다. 3 개의 상이한 비주기적인 다층 구조를 증착시켰다. 2 개의 아크원의 조성과 비주기적인 다층 구조의 평균 화학 조성을 표 1 에 나타내었다. 다층 구조는 비주기적인, 즉 반복적이지 않은 두께를 갖는 개별 층의 시퀀스를 갖고 있었다. 단면 투과 전자 현미경 관찰 결과, 개별 질화물 층 두께가 2 ∼ 30 ㎚ 이고, 층의 총 개수는 100 개를 초과함이 밝혀졌다.
코팅 번호 아크원 1 아크원 2 평균 화학 조성
1 Ti0 .90Si0 .10 Al0 .60Ti0 .30Si0 .10 Al0 .19Ti0 .73Si0 .08N
2 Ti0 .90Si0 .10 Al0 .55Ti0 .40Si0 .05 Al0 .16Ti0 .78Si0 .06N
3 Ti0 .90Si0 .10 Al0 .16Ti0 .84 Al0 .06Ti0 .88Si0 .06N
실시예 2
반응성 PVD 아크 방전 증발을 이용하여 10 중량% Co 및 잔부 WC 를 갖는 선삭용 인서트에, 반복적으로 교대로 형성된 균질 층들 및 비주기적인 다층 구조로 이루어진 코팅을 증착시켰다. 비주기적인 구조를 얻기 위해 배치된 3중 회전 기재 테이블에 설치된 인서트에 대해, 2 개의 아크원으로부터 다층 구조를 증착시켰다. Ar + N2 가스 혼합물 내에서 증발이 행해졌다. 얻어진 총 코팅 두께는 약 2 ㎛ 이었다. 다층 구조는 비주기적인, 즉 반복적이지 않은 두께를 갖는 개별 층의 시퀀스를 갖고 있었다. 단면 투과 전자 현미경 관찰 결과, 개별 질화물 층 두께가 2 ∼ 30 ㎚ 임이 밝혀졌다. 균질 층의 두께는 25 ∼ 150 ㎚ 이었다. 아크원의 조성과 전체 코팅의 평균 화학 조성을 표 2 에 나타내었다. 균질 층은 표 2 의 아크원 2 로부터 형성되었다.
코팅 번호 아크원 1 아크원 2 평균 화학 조성
4 Ti0 .90Si0 .10 Al0 .60Ti0 .30Si0 .10 Al0 .37Ti0 .55Si0 .08N
5 Ti0 .90Si0 .10 Al0 .55Ti0 .40Si0 .05 Al0 .34Ti0 .60Si0 .06N
실시예 3
다음의 절삭 조건을 갖는 선삭 작업으로 측면 마모 (flank wear) 를 시험하였다:
작업물 재료: SS0737, 두꺼운 벽을 갖는 링 (ring)
작업: 연속적인 정면절삭 (facing)
절삭 속도 (m/min) 200
이송 (㎜/r) 0.10
깊이 (㎜) 2
참고: 건식 조건.
외경 전부가 선삭 작업될 때까지 작업을 계속하였다. 그리고 나서, 인서트를 육안으로 분석하고, 불량, 중간, 그리고 양호로 분류하였다.
다층 구조를 균질 Ti0 .9Si0 .1N, 균질 Al0 .51Ti0 .45Si0 .05N, 균질 Al0 .56Ti0 .34Si0 .10N 의 코팅들, 그리고 Al0 .50Ti0 .50N 의 하부 층과 Ti0 .9Si0 .1N 의 상부 층으로 이루어진 코팅과 비교하였다. 모든 코팅은 다층과 동일한 총 두께를 갖고 있었다. 그 결과를 표 3 에 나타내었다.
코팅의 종류 측면 내마모성
다층 No 1 양호
다층 No 2 양호
다층 No 3 양호
다층 No 4 중간
다층 No 5 중간
균질 Ti0 .9Si0 .1N 불량
균질 Al0 .51Ti0 .45Si0 .05N 불량
균질 Al0 .56Ti0 .34Si0 .10N 불량
두 층
Al0 .50Ti0 .50N (하부 층) Al0 .9Si0 .1N (상부 층)
불량
실시예 4
다음의 절삭 조건으로 스테인리스 강의 선삭 작업에서의 플레이킹 저항성에 대해 본 발명에 따른 다층 코팅 1, 2 및 3 을 시험하였다:
작업물 재료: 304L, Sanmac
작업: 정면절삭, 절삭 깊이를 다르게 함.
절삭 속도 (m/min) 100/140
이송 (㎜/r) 0.35
깊이 (㎜) 4 - 0 - 4
참고: 습식 조건.
SEM (주사 전자 현미경) 으로 조사하여 플레이킹을 측정하였다.
다층 구조를 균질 Ti0 .9Si0 .1N, 균질 Al0 .51Ti0 .45Si0 .05N, 균질 Al0 .56Ti0 .34Si0 .10N 의 코팅들, 그리고 Al0 .50Ti0 .50N 의 하부 층과 Ti0 .9Si0 .1N 의 상부 층으로 이루어진 코팅과 비교하였다. 모든 코팅은 다층과 동일한 총 두께를 갖고 있었다. 그 결과를 표 4 에 나타내었다.
코팅의 종류 플레이킹 저항성
다층 No 1 양호
다층 No 2 양호
다층 No 3 양호
균질 Ti0 .9Si0 .1N 불량
균질 Al0 .51Ti0 .45Si0 .05N 불량
균질 Al0 .56Ti0 .34Si0 .10N 불량
두 층
Al0 .50Ti0 .50N (하부 층) Al0 .9Si0 .1N (상부 층)
불량
실시예 5
다음의 절삭 조건을 갖는 강의 선삭 작업으로, 본 발명에 따른 다층 구조 1 ∼ 5 로 피복된 공구의 공구 수명을 시험하였다:
작업물 재료: Ovako 825B
작업: 길이방향 선삭
절삭 속도 (m/min) 160
이송 (㎜/r) 0.35
깊이 (㎜) 2
참고: 습식 조건.
선삭 작업의 거리 (단위: m) 로 공구 수명을 측정하였다. 공구 수명 척도는 공구 파손이었다.
다층 구조를 균질 Ti0 .9Si0 .1N, 균질 Al0 .51Ti0 .45Si0 .05N 및 균질 Al0 .56Ti0 .34Si0 .10N 의 코팅들과 비교하였다. 모든 코팅은 다층과 동일한 총 두께를 갖고 있었다. 그 결과를 표 5 에 나타내었다.
코팅의 종류 공구 수명 (m)
다층 No 1 ∼ 3 20
다층 No 4 및 No 5 22
균질 Ti0 .9Si0 .1N 16
균질 Al0 .51Ti0 .45Si0 .05N 5.5
균질 Al0 .56Ti0 .34Si0 .10N 5.5
도 1 은, 본 발명에 따른 다층 질화물 구조의 TEM 사진을 보여주는데, 여기서 개별 층 두께의 시퀀스 (sequence) 는 전체 다층 코팅에서 본질적으로 비주기적이다.
도 2 는, 개별 금속 질화물 층 (X, Y) 과 예시적인 개별 층 두께 (3) 를 갖는 층상의 다층 질화물 코팅 (2) 으로 피복된 기재 (1) 의 개략도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
1 기재
2 다층 질화물 코팅
3 개별 층 두께

Claims (9)

  1. 소결된 초경합금, 서멧, 세라믹, 입방정 질화붕소 또는 고속도 강으로 이루어진 기재 및 상기 기재상에 접착성, 경질 및 내마모성의 얇은 코팅을 포함하는 절삭 공구이며, 상기 코팅은 내화성 화합물의 층이 반복적이지 않은 형태로 교대로 배치되어 이루어진 층상의 다층 구조 (X+Y+X+Y+X....) 를 포함하고, 교대로 배치된 층 (X, Y) 은 금속 질화물, 금속 탄화물 또는 금속 탄질화물을 포함하고, 상기 코팅에서, 개별 층 두께의 시퀀스 (sequence) 가 반복 주기를 갖지 않고 다층 구조 전체에서 비주기적인 절삭 공구에 있어서,
    개별 X 층 또는 Y 층의 두께가 0.1 ㎚ 초과 100 ㎚ 미만이며, 무작위로 변하고,
    상기 다층 코팅의 총 두께가 0.5 ㎛ ∼ 20 ㎛ 이고,
    상기 다층 구조 (X+Y+X+Y+X....) 는 (Al,Cr)N + (Ti,Si)N 또는 (Al,Ti,Si)N + (Al,Cr)N 이고,
    상기 다층 구조는 AlaTibSicCrd(CeN1-e) 의 평균 화학 조성을 갖고, 여기서 0<a<0.5, 0.1<b<0.9, 0.01<c<0.17, 0<d<0.06, 및 a+b+c+d = 1, 0≤e<1 인 것을 특징으로 하는 절삭 공구.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 개별 X 층 또는 Y 층의 두께는 2 ∼ 30 ㎚ 인 것을 특징으로 하는 절삭 공구.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 코팅은 다층 구조와 반복적으로 교대로 배치되어 있는 균질 층을 더 포함하고,
    균질 층은 금속 질화물, 금속 탄화물, 금속 탄질화물 또는 이들의 혼합물을 포함하고,
    상기 코팅 전체의 평균 화학 조성이 AlaTibSicCrd(CeN1-e) 이고, 여기서 0<a<0.5, 0.1<b<0.9, 0.01<c<0.17, 0<d<0.06, 및 a+b+c+d = 1, 0≤e<1 인 것을 특징으로 하는 절삭 공구.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 균질 층은 TixAlySiz(CwN1-w) 의 조성을 갖고, 여기서 0<x<0.7, 0.1<y<0.9, 0.01<z<0.17, 및 x+y+z = 1, 0≤w<1 인 것을 특징으로 하는 절삭 공구.
  8. 제 6 항에 있어서, 상기 균질 층은 25 ∼ 150 ㎚ 의 평균 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 절삭 공구.
  9. 제 6 항에 있어서, 상기 다층 구조와 반복적으로 교대로 배치되어 있는 균질 층의 총 두께가 0.5 ∼ 20 ㎛ 인 것을 특징으로 하는 절삭 공구.
KR1020070138782A 2006-12-27 2007-12-27 다층 피복 절삭 공구 KR101520962B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE0602814-6 2006-12-27
SE0602814A SE0602814L (sv) 2006-12-27 2006-12-27 Skärverktyg med multiskiktbeläggning

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20080061323A KR20080061323A (ko) 2008-07-02
KR101520962B1 true KR101520962B1 (ko) 2015-05-15

Family

ID=39126498

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020097013256A KR101465278B1 (ko) 2006-12-27 2007-12-14 다층 피복 절삭 공구
KR1020070138782A KR101520962B1 (ko) 2006-12-27 2007-12-27 다층 피복 절삭 공구

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020097013256A KR101465278B1 (ko) 2006-12-27 2007-12-14 다층 피복 절삭 공구

Country Status (7)

Country Link
US (2) US8227098B2 (ko)
EP (2) EP1939327B1 (ko)
JP (2) JP5406041B2 (ko)
KR (2) KR101465278B1 (ko)
CN (2) CN101578396B (ko)
SE (1) SE0602814L (ko)
WO (1) WO2008079088A2 (ko)

Families Citing this family (68)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101395335B (zh) * 2006-01-26 2013-04-17 犹他大学研究基金会 多晶磨料复合切削工具
JP4440980B2 (ja) * 2008-01-31 2010-03-24 ユニオンツール株式会社 切削工具用硬質皮膜
JP5235607B2 (ja) * 2008-10-23 2013-07-10 京セラ株式会社 表面被覆工具
SE533883C2 (sv) 2009-06-01 2011-02-22 Seco Tools Ab Nanolaminerat belagt skärverktyg
SE533884C2 (sv) * 2009-06-01 2011-02-22 Seco Tools Ab Nanolaminerat belagt skärverktyg
JP5193153B2 (ja) 2009-10-02 2013-05-08 株式会社神戸製鋼所 硬質皮膜、塑性加工用金型、塑性加工方法、及び硬質皮膜用ターゲット
EP2336383A1 (en) 2009-12-04 2011-06-22 Sandvik Intellectual Property AB Multilayered coated cutting tool
RU2542185C2 (ru) * 2010-01-11 2015-02-20 Искар Лтд. Режущий инструмент с покрытием
JP5194306B2 (ja) * 2010-02-17 2013-05-08 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆切削工具
JP5093530B2 (ja) * 2010-03-31 2012-12-12 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆切削工具
US8409695B2 (en) 2010-05-28 2013-04-02 Kennametal Inc. Multilayer nitride hard coatings
KR101685450B1 (ko) * 2010-09-29 2016-12-12 쿄세라 코포레이션 절삭 공구
WO2012069475A1 (en) 2010-11-23 2012-05-31 Seco Tools Ab Coated cutting tool insert
EP2434032A1 (en) * 2010-12-08 2012-03-28 SECO TOOLS AB (publ) Coated fine grained cermet for finish turning applications
US8691374B2 (en) 2011-09-14 2014-04-08 Kennametal Inc. Multilayer coated wear-resistant member and method for making the same
US9416440B2 (en) * 2011-09-30 2016-08-16 Cemecon Ag Coating of substrates using HIPIMS
US9698229B2 (en) * 2012-01-17 2017-07-04 United Microelectronics Corp. Semiconductor structure and process thereof
KR101351843B1 (ko) * 2012-05-02 2014-01-16 한국야금 주식회사 절삭공구용 경질피막
CN103717332B (zh) * 2012-06-29 2016-02-24 住友电工硬质合金株式会社 表面被覆切削工具
RU2495960C1 (ru) * 2012-07-03 2013-10-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2494169C1 (ru) * 2012-07-03 2013-09-27 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2495957C1 (ru) * 2012-07-03 2013-10-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2503743C1 (ru) * 2012-07-03 2014-01-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
JP2014069258A (ja) * 2012-09-28 2014-04-21 Nachi Fujikoshi Corp 硬質皮膜被覆切削工具
DE102012109254A1 (de) * 2012-09-28 2014-04-03 Walter Ag Werkzeug mit TiAlCrSiN-PVD-Beschichtung
JP5883161B2 (ja) * 2012-12-27 2016-03-09 京セラ株式会社 切削工具
US9428967B2 (en) 2013-03-01 2016-08-30 Baker Hughes Incorporated Polycrystalline compact tables for cutting elements and methods of fabrication
US9103036B2 (en) 2013-03-15 2015-08-11 Kennametal Inc. Hard coatings comprising cubic phase forming compositions
JP6016271B2 (ja) * 2013-03-29 2016-10-26 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆窒化硼素焼結体工具
CN103215542B (zh) * 2013-04-15 2015-01-28 中国兵器科学研究院宁波分院 一种纳米多层涂层及其制备方法
CN103273687B (zh) * 2013-05-13 2015-02-18 山东大学 TiSiN+ZrSiN复合纳米涂层刀具及其制备方法
PL3017079T5 (pl) * 2013-07-03 2020-12-28 Oerlikon Surface Solutions Ag, Pfäffikon Sposób wytwarzania warstw tixsi1-xn
RU2548856C2 (ru) * 2013-07-19 2015-04-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
US9168664B2 (en) 2013-08-16 2015-10-27 Kennametal Inc. Low stress hard coatings and applications thereof
US9896767B2 (en) 2013-08-16 2018-02-20 Kennametal Inc Low stress hard coatings and applications thereof
KR101551963B1 (ko) 2013-09-12 2015-09-10 현대자동차주식회사 알루미늄 다이캐스팅용 코팅재 및 이의 코팅방법
JP6155204B2 (ja) * 2014-02-21 2017-06-28 株式会社神戸製鋼所 硬質皮膜およびその形成方法
CN106132603B (zh) * 2014-03-27 2018-01-26 株式会社泰珂洛 包覆工具
EP3153259B1 (en) * 2014-06-06 2020-05-06 Sumitomo Electric Hardmetal Corp. Surface-coated tool and method for manufacturing same
AT516062B1 (de) * 2015-01-15 2016-02-15 Boehlerit Gmbh & Co Kg Verfahren zum Beschichten eines Gegenstandes und damit hergestellte Beschichtung
JP6789986B2 (ja) 2015-05-21 2020-11-25 ヴァルター アーゲー 多層アークpvdコーティングを有する工具
RU2622541C1 (ru) * 2015-12-15 2017-06-16 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
CN105543780B (zh) * 2015-12-28 2018-02-09 富耐克超硬材料股份有限公司 超硬刀具表面复合硬质涂层及其制备方法
WO2017155096A1 (ja) * 2016-03-11 2017-09-14 三菱マテリアル株式会社 耐チッピング性と耐摩耗性にすぐれた表面被覆切削工具
EP3228726A1 (en) * 2016-04-08 2017-10-11 Seco Tools Ab Coated cutting tool
US11014167B2 (en) * 2016-08-01 2021-05-25 Mitsubishi Materials Corporation Multilayer hard film-coated cutting tool
JP6880463B2 (ja) * 2016-11-29 2021-06-02 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆切削工具
CN106835014A (zh) * 2016-12-29 2017-06-13 西安交通大学青岛研究院 一种多元复合硬质涂层制备方法
CN106995913A (zh) * 2016-12-29 2017-08-01 西安交通大学青岛研究院 一种CrTiAlSiN基多元复合硬质涂层
ES2767356T3 (es) * 2017-05-19 2020-06-17 Walter Ag Herramienta de corte de metal con revestimiento multicapa
US10570501B2 (en) 2017-05-31 2020-02-25 Kennametal Inc. Multilayer nitride hard coatings
JP6858347B2 (ja) * 2017-07-28 2021-04-14 株式会社タンガロイ 被覆切削工具
US20200189007A1 (en) * 2017-08-29 2020-06-18 Kyocera Corporation Coated tool and cutting tool including same
DE112018004849T5 (de) * 2017-08-29 2020-06-04 Kyocera Corporation Beschichtetes werkzeug und schneidwerkzeug, welches dieses aufweist
US11167356B2 (en) 2017-09-27 2021-11-09 Kyocera Corporation Coated tool and cutting tool including same
JP6918952B2 (ja) * 2017-09-27 2021-08-11 京セラ株式会社 被覆工具及びこれを備えた切削工具
CN107915476A (zh) * 2017-12-06 2018-04-17 王增倍 一种穿孔顶头及制备方法
CN111902231A (zh) * 2018-03-27 2020-11-06 三菱综合材料株式会社 表面包覆切削工具
CN113195139A (zh) * 2018-10-11 2021-07-30 株式会社不二越 硬质皮膜包覆钻头
KR102112084B1 (ko) * 2018-11-30 2020-05-18 한국야금 주식회사 절삭공구용 경질피막
JP7165594B2 (ja) * 2019-02-07 2022-11-04 京セラ株式会社 被覆工具及びこれを備えた切削工具
KR102074469B1 (ko) * 2019-05-13 2020-02-07 주식회사 다올플라즈마 포밍 치형공구용 다층나노 경질 코팅막
CN110144541B (zh) * 2019-06-18 2021-08-06 上海交通大学 一种高温钛合金热障涂层材料及其制备方法
JP7312382B2 (ja) * 2021-03-18 2023-07-21 株式会社タンガロイ 被覆切削工具
US11731202B2 (en) 2021-04-19 2023-08-22 Kennametal Inc. Coating, method for coating, and coated cutting tool
EP4170064A1 (en) * 2021-10-20 2023-04-26 AB Sandvik Coromant Coated cutting tool
CN114672786B (zh) * 2022-03-17 2023-04-28 赣州澳克泰工具技术有限公司 一种耐高温氧化、自润滑的多层涂层刀具及其制备方法
DE102022115550A1 (de) * 2022-06-22 2023-12-28 Rainer Cremer Beschichtetes Werkzeug, Verfahren zu dessen Herstellung sowie Verwendung des Werkzeugs

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006137982A (ja) 2004-11-11 2006-06-01 Hitachi Tool Engineering Ltd 硬質皮膜被覆部材及びその被覆方法

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SE518145C2 (sv) * 1997-04-18 2002-09-03 Sandvik Ab Multiskiktbelagt skärverktyg
JP4185172B2 (ja) 1997-06-19 2008-11-26 住友電工ハードメタル株式会社 被覆硬質工具
JP3343727B2 (ja) * 1999-05-19 2002-11-11 日立ツール株式会社 硬質皮膜被覆工具
JP3417907B2 (ja) * 2000-07-13 2003-06-16 日立ツール株式会社 多層皮膜被覆工具
DE60124061T2 (de) 2000-12-28 2007-04-12 Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho, Kobe Hartstoffschicht für Schneidwerkzeuge
JP3454428B2 (ja) * 2001-05-11 2003-10-06 日立ツール株式会社 耐摩耗皮膜被覆工具
JP3948013B2 (ja) * 2001-12-11 2007-07-25 三菱マテリアル株式会社 硬質被覆層がすぐれた耐熱性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具
SE526338C2 (sv) * 2002-09-04 2005-08-23 Seco Tools Ab Skär med utskiljningshärdad slitstark refraktär beläggning
SE526339C2 (sv) * 2002-09-04 2005-08-23 Seco Tools Ab Skär med slitstark refraktär beläggning med kompositstruktur
JP2005271190A (ja) * 2003-12-05 2005-10-06 Sumitomo Electric Hardmetal Corp 表面被覆切削工具
SE0402180D0 (sv) * 2004-09-10 2004-09-10 Sandvik Ab Deposition of Ti1-xAlxN using Bipolar Pulsed Dual Magnetron Sputtering
JP4373897B2 (ja) * 2004-11-25 2009-11-25 日立ツール株式会社 硬質皮膜被覆部材及びその被覆方法
WO2006070509A1 (ja) * 2004-12-28 2006-07-06 Sumitomo Electric Hardmetal Corp. 表面被覆切削工具および表面被覆切削工具の製造方法
JP4072155B2 (ja) * 2004-12-28 2008-04-09 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆切削工具およびその製造方法
SE528671C2 (sv) * 2005-01-31 2007-01-16 Sandvik Intellectual Property Hårdmetallskär för seghetskrävande korthålsborrning samt förfarande för att framställa detsamma
JP4702520B2 (ja) * 2005-02-14 2011-06-15 三菱マテリアル株式会社 高硬度鋼の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具
SE528891C2 (sv) * 2005-03-23 2007-03-06 Sandvik Intellectual Property Skär belagt med ett multiskikt av metaloxid
US7348074B2 (en) * 2005-04-01 2008-03-25 Oc Oerlikon Balzers Ag Multilayer hard coating for tools
SE0500994L (sv) * 2005-04-29 2006-10-30 Seco Tools Ab Tunt slitstarkt skikt
US7537822B2 (en) * 2005-05-26 2009-05-26 Hitachi Tool Engineering, Ltd. Hard-coated member
SE529161C2 (sv) * 2005-06-22 2007-05-22 Seco Tools Ab Skärverktyg med kompositbeläggning för finbearbetning av härdade stål
JP2007152456A (ja) * 2005-12-02 2007-06-21 Mitsubishi Materials Corp 高硬度鋼の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006137982A (ja) 2004-11-11 2006-06-01 Hitachi Tool Engineering Ltd 硬質皮膜被覆部材及びその被覆方法

Also Published As

Publication number Publication date
EP1939327A1 (en) 2008-07-02
KR20090094108A (ko) 2009-09-03
CN101209611A (zh) 2008-07-02
EP1939327B1 (en) 2018-06-27
US8227098B2 (en) 2012-07-24
EP1939328B1 (en) 2018-02-21
EP1939328A1 (en) 2008-07-02
SE0602814L (sv) 2008-06-28
US8119262B2 (en) 2012-02-21
JP2010514578A (ja) 2010-05-06
CN101578396A (zh) 2009-11-11
KR20080061323A (ko) 2008-07-02
JP2008162009A (ja) 2008-07-17
JP5406041B2 (ja) 2014-02-05
WO2008079088A2 (en) 2008-07-03
CN101578396B (zh) 2012-05-09
CN101209611B (zh) 2012-12-05
KR101465278B1 (ko) 2014-11-26
US20080166583A1 (en) 2008-07-10
JP4874947B2 (ja) 2012-02-15
WO2008079088A3 (en) 2008-08-14
US20080166588A1 (en) 2008-07-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101520962B1 (ko) 다층 피복 절삭 공구
KR101386292B1 (ko) 코팅된 드릴과 이를 제조하는 방법
US6103357A (en) Multilayered coated cutting tool
JP5593069B2 (ja) ハードコーティングを有するワークピース
KR101822810B1 (ko) 코팅된 절삭 공구
JP5382580B2 (ja) 表面被覆切削工具
US20220297196A1 (en) Method of producing a coated cutting tool and a coated cutting tool
KR20060046478A (ko) 경질 피막 및 그 제조 방법
JP6981604B2 (ja) 表面被覆切削工具
KR20220024490A (ko) 코팅된 절삭 공구
WO1998044163A1 (en) Multilayered coated cutting tool
CN116529006A (zh) 表面包覆切削工具
JP2014069297A (ja) 切削工具
CN101517126A (zh) 具有硬涂层的工件
JP2023531295A (ja) 被覆切削工具
JP2024005014A (ja) 切削工具
JP2024005015A (ja) 切削工具
JP2023144687A (ja) 表面被覆切削工具
WO2023232869A1 (en) A coated cutting tool

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
AMND Amendment
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
AMND Amendment
J201 Request for trial against refusal decision
E90F Notification of reason for final refusal
B701 Decision to grant
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180425

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190425

Year of fee payment: 5