SE533884C2 - Nanolaminerat belagt skärverktyg - Google Patents

Nanolaminerat belagt skärverktyg Download PDF

Info

Publication number
SE533884C2
SE533884C2 SE0900739A SE0900739A SE533884C2 SE 533884 C2 SE533884 C2 SE 533884C2 SE 0900739 A SE0900739 A SE 0900739A SE 0900739 A SE0900739 A SE 0900739A SE 533884 C2 SE533884 C2 SE 533884C2
Authority
SE
Sweden
Prior art keywords
cutting tool
coating
layers
layer
thickness
Prior art date
Application number
SE0900739A
Other languages
English (en)
Other versions
SE0900739A1 (sv
Inventor
Jon Andersson
Rachid M Saoubi
Hindrik Engstroem
Mats Johansson
Original Assignee
Seco Tools Ab
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seco Tools Ab filed Critical Seco Tools Ab
Priority to SE0900739A priority Critical patent/SE533884C2/sv
Priority to PCT/SE2010/050580 priority patent/WO2010140958A1/en
Priority to US13/375,570 priority patent/US8852305B2/en
Priority to KR1020117028852A priority patent/KR101764101B1/ko
Priority to EP10783656.1A priority patent/EP2438209B1/en
Priority to CN2010800242000A priority patent/CN102449194B/zh
Priority to JP2012513903A priority patent/JP2012528732A/ja
Publication of SE0900739A1 publication Critical patent/SE0900739A1/sv
Publication of SE533884C2 publication Critical patent/SE533884C2/sv

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23B—TURNING; BORING
    • B23B27/00—Tools for turning or boring machines; Tools of a similar kind in general; Accessories therefor
    • B23B27/14—Cutting tools of which the bits or tips or cutting inserts are of special material
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23B—TURNING; BORING
    • B23B27/00—Tools for turning or boring machines; Tools of a similar kind in general; Accessories therefor
    • B23B27/14—Cutting tools of which the bits or tips or cutting inserts are of special material
    • B23B27/148—Composition of the cutting inserts
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/009—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone characterised by the material treated
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
    • C04B41/50—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials
    • C04B41/5053—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements with inorganic materials non-oxide ceramics
    • C04B41/5062—Borides, Nitrides or Silicides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
    • C04B41/52—Multiple coating or impregnating multiple coating or impregnating with the same composition or with compositions only differing in the concentration of the constituents, is classified as single coating or impregnation
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/80—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
    • C04B41/81—Coating or impregnation
    • C04B41/85—Coating or impregnation with inorganic materials
    • C04B41/87—Ceramics
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
    • C04B41/80—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone of only ceramics
    • C04B41/81—Coating or impregnation
    • C04B41/89—Coating or impregnation for obtaining at least two superposed coatings having different compositions
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0641—Nitrides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation
    • C23C14/32—Vacuum evaporation by explosion; by evaporation and subsequent ionisation of the vapours, e.g. ion-plating
    • C23C14/325—Electric arc evaporation
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/02—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings only including layers of metallic material
    • C23C28/027—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings only including layers of metallic material including at least one metal matrix material comprising a mixture of at least two metals or metal phases or metal matrix composites, e.g. metal matrix with embedded inorganic hard particles, CERMET, MMC.
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/04—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
    • C23C28/042—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material including a refractory ceramic layer, e.g. refractory metal oxides, ZrO2, rare earth oxides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/04—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
    • C23C28/044—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material coatings specially adapted for cutting tools or wear applications
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
    • C23C28/40—Coatings including alternating layers following a pattern, a periodic or defined repetition
    • C23C28/42—Coatings including alternating layers following a pattern, a periodic or defined repetition characterized by the composition of the alternating layers
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C30/00—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process
    • C23C30/005—Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process on hard metal substrates
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23B—TURNING; BORING
    • B23B2222/00—Materials of tools or workpieces composed of metals, alloys or metal matrices
    • B23B2222/36—Nickel chrome alloys, e.g. Inconel®
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23B—TURNING; BORING
    • B23B2224/00—Materials of tools or workpieces composed of a compound including a metal
    • B23B2224/24—Titanium aluminium nitride
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23B—TURNING; BORING
    • B23B2228/00—Properties of materials of tools or workpieces, materials of tools or workpieces applied in a specific manner
    • B23B2228/08—Properties of materials of tools or workpieces, materials of tools or workpieces applied in a specific manner applied by physical vapour deposition [PVD]
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23B—TURNING; BORING
    • B23B2228/00—Properties of materials of tools or workpieces, materials of tools or workpieces applied in a specific manner
    • B23B2228/10—Coatings
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49995—Shaping one-piece blank by removing material
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T407/00—Cutters, for shaping
    • Y10T407/27—Cutters, for shaping comprising tool of specific chemical composition
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24942—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including components having same physical characteristic in differing degree
    • Y10T428/2495—Thickness [relative or absolute]
    • Y10T428/24967—Absolute thicknesses specified
    • Y10T428/24975—No layer or component greater than 5 mils thick
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/26—Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
    • Y10T428/263—Coating layer not in excess of 5 mils thick or equivalent
    • Y10T428/264—Up to 3 mils
    • Y10T428/265—1 mil or less

Description

20 25 30 35 45 50 533 884 Det är ytterligare ett ändamål av föreliggande uppfmning att förelägga ett belagt skärverktyg med förbättrad eggintegritet.
Det har visat sig att genom att kombinera skikt baserade på (Ti,Si)N respektive (Ti,A1)N i en nanolaminerad beläggningsstruktur på ett skärverktygsskär, förbättras livslängden avsevärt på grund av ökad gropslitstyrka, fasslitstyrka och eggintegritet, särskilt i bearbetningsoperationer som genererar höga verktygstemperaturer.
Kort beskrivning av ritningarna Fig. 1, svepelektronmikroskopibild (SEM-bild) som visar en brottyta i tvärsnitt av en Ti0_3gA10_52N/'f i()_93Si0_07N IIÄIIOIÅmiIICYaÖ Stfllklfllf.
Fig. 2, röntgendiffraktionsmönster från (a) TimgAloßzN singelskikt, (b) Ti0_g6Si0_14N singelskikt, och (c) Tio_3gAl0_f,2N/'Ti0_g6Si0_14N nanolaminerad struktur. Diffraktionstoppar är indexerade som kubisk fas (Ti,Si)N (märkta med l), kubisk fas (Ti,A1)N (märkta med 2) och toppar som härrör från WC el- ler Co (streckade linjer).
Fig. 3, SEM-bilder som visar exempel på skäreggar efter ll minuters svarvning i rostfritt stål som visar (a) TioßgAlogzN singelskikt, (b) Ti0,66Al0_29Si0_05N singelskikt, och (c) Ti0,3gAl0,62N/Ti0_93Si0_07N nanolaminerad struktur.
Detaljerad beskrivning av uppfinningen Enligt föreliggande uppfinning föreligger ett skärverktyg för spånforrnande bearbetning bestående av en kropp av en hård le gering av hårdmetall, cermet, keramik, kubisk bornitrid-baserade material eller snabbstål, företrädesvis hårdmetall eller ccrmet, på vilken är deponerat en hård och slitstark beläggning innefattande en polykristallin nanolaminerad struktur med en tjocklek mellan 0,5 och 20 um, företrädesvis mellan 0,5 och 10 pm, allra företrädesvis mellan 0,5 och 5 um, bestående av omväxlande A- och B-skikt och med en övergripande kolumnär struktur. Den genomsnittliga kolumnbredden är mellan 20 och 1000 nm, företrädesvis mellan 20 och 500 nm, mätt med t.ex. tvärsnittssvepelektronmikroskopi av ett mittområde i den nanolarninerade strukturen, det vill säga en region inom 30 till 70% av tjockleken i tillväxtriktningen, och den genomsnittliga kolumnbredden är då medelvärdet från mätning av bredden på minst tio intilliggande kolumner.
Skiktet A (Ti,Al,Me1)N och består av en fasblandnirig av kubiska och hexagonala strukturer, företrädesvis av bara kubisk fas, som bestäms av röntgendiffraktion (XRD), där Mel är ett eller flera av Zr, Y, V, Nb. Mo och W, företrädesvis ett eller flera av Zr, Y, V och Nb. Skiktet B (Ti,Si,Me2)N består av en fasblandning av kubiska och hexagonala strukturer, företrädesvis av bara kubisk fas, som bestärns av röntgendiffraktion, och MeZ är ett eller flera av Y, V, Nb, Mo, W och Al, företrädesvis ett eller flera av Y, V, Nb och Al. Skikt A och B har en genomsnittlig individuell skikttjocklek mellan l nm och 100 nm, företrädesvis mellan 1 nm och 50 nm, mätt med t.ex. transmissionselektronmikroskopi i tvärsnitt av ett mittområde i den nanolaminerade strukturen, det vill säga en region inom 30 till 70% av tjockleken i tillväxtriktningen, och den genomsnittliga tjockleken är då medelvärdet från mätning av tjockleken på minst tio intilliggande skikt.
Atomförhållandet (Ti+Al)/(Ti+Al+Me1) för skiktet A är >85%, och atomförhållaridet Ti/(Ti+Al) är mellan 5% and 95%. Atomförhållandet (Ti+Si)/(Ti+Si+Me2) for nämnda skikt B är >60%, och atomförhållandet Ti/(Ti+Si) är mellan 5% och 95%. 20 25 30 35 40 45 50 533 884 3 Skikt A är (Ti1_,,Al,,Mel,,)N,, där 0,3 företrädesvis 0,96 företrädesvis 0,05 I en forsta föredragen utföringsform är z = p = 0.
I en andra föredragen utföringsform är Mel ett eller flera av Zr, Y, V och Nb med 0 I en tredje föredragen utföringsforrn är Me2 Y, 0 I en fjärde töredragen utföringsforrn är Me2 ett eller båda av V och Nb med O I en femte föredragen utföringsform är Me2 Al. 0,2 Den genomsnittliga sammansättningen av nämnda nanolaminerade struktur är 45 atom% 48 atom% WDS teknik.
Inom den nanolaminerade strukturen har skikt A en spänningsnivå på -5,0< q < 0 GPa, företrädesvis -3,0< 0 <~0,5 GPa Nänmda beläggning kan innefatta en inre singel- och/eller multiskiktbeläggning av TiN, TiC, Ti(CN) eller (Ti,A1)N, företrädesvis (Ti,Al)N och/eller en yttre singel- och/eller multiskiktbeläggning av TiN, TiC, Ti(C,N), (Ti,Si)N eller (Ti,Al)N, företrädesvis (Ti,Si)N eller (T i,Al)N, enligt känd teknik, till en total skikttjocklek, inbegripet tjockleken för den nanolaminerade strukturen, på mellan 0,5 och 30 ttm, företrädesvis mellan 0,5 och 15 tim, och allra företrädesvis mellan 0,5 och 10 um.
Utfállningsmetoden för beläggningar enligt denna uppfinning är baserad på ljusbågsförångning av en legerad eller sanunansatt katod under följande villkor. (T i,Al,Me1)N- och (Ti,Si,Me2)N~skikt utfálls från katoder som ger önskad skiktsammansättning. Förångningsströmmen är mellan 50 A och 200 A. Dessa skikt utfálls i en Ar+N2-atrnosfär. företrädesvis i en ren N yatmosfär, vid ett totalt tryck av 0,5 Pa till 9,0 Pa, företrädesvis 1,5 Pa till 5,0 Pa, med en substratfórspännirlg på -10 V till ~ 300 V, företrädesvis -20 V till 200V. Beläggningstemperaturen är mellan 350°C och 700°C, företrädesvis mellan 400°C och 650°C.
Uppfmningen avser också användningen av skärverktygsskär enligt ovan för bearbetning av rostfritt stål, superlegeringar och härdat stål vid skärhastighet 50 - 500 m/min, företrädesvis från 50 till 300 rn/min, vid en medelmatning av 0,08 till 0,5 min/varv, företrädesvis från 0,1 till 0,4 mm/varv, beroende på skärhastighet och skärgeometri.
Exempel 1 Beläggningar enligt Tabell 1 utfälldcs med ljusbågsförångning på följande skär: S1: Hårdmetall med (90 vikt% WC+l0 vikt% Co) S2: Hårdmetall med (94 vikt% WC+6 vikt% Co) S3: Seco Tools kommersiella cermetsort, CM 10 15 20 25 30 35 533 884 4 Före utfällningen rengjordes skären med ultralj udsbad i en alkalisk lösning och alkohol. Belägg- ningskarnrnaren evakuerades till ett bastryck på mindre än 2.0x10'3 Pa, varefter skären rensputtrades med Ar-joner. Beläggningen deponerades från le gerade eller sammansatta katoder i 99,995% ren N; atmosfär vid ett totalt tryck av 2-6 Pa, med hjälp av en substratförspärming på -20 till -60 V och en förångningsström av 60-200 A vid 450°C. Katoderna valdes ut för att ge sammansättningen av skikt A respektive skikt B och placerades på motsatta sidor av beläggningskammaren for att få den nanolaminerade strukturen genom fixturrotation. Den genomsnittliga individuella tjockleken varierades genom att förändra katodström (60-200 A) och rotationshastighet för fixturcn (1-5 varv/min). Den totala skikttjockleken var ca 2 um för alla skär, mätt på släppningssidan.
Fig 1 visar ett exempel på en SEM-bild av en T i0_3gAl0_62N/I'i0_93Si0_mN nanolaminerad struktur (beläggning 9). De enskilda skikten ses tydligt, vilket tyder på minimal blandning mellan angränsande skikt. De individuella tjocklekarna varierar på grund av Ii-faldig fixturrotation och en kolumnär rnikrostruktur sträcker sig genom hela den nanolaminerade strukturen.
Röntgendiffraktograrn av de utfällda beläggningarna erhölls med hjälp av CuKa strålning i en 6-26 - konfiguration. Fig 2 visar (a) TioggAlgbzN singelskikt (beläggning 38), (b) TiQgÖSiQMN skikt (be- läggning 40) och (c) Ti0_3gAl0_62N/Ti0_g6Si0_|4N nanolaminerad struktur (beläggning 1). Alla tre be- läggningarna visar endast NaCl-lcristallstriilcturer.
Den genomsnittliga restspänningen, o, visas i tabell 1. Spänningarna utvärderades med XRD-mät- ningar med hjälp av sinZW-metoden. Mätningarna utfördes med CuKu-strålriing på N aCl (422)-re- flexerna. Data erhölls med hjälp av sinZW-mctoden med elva Iji-vinklar (positiva och negativa), jämnt fördelade inom ett SinZW-intervall mellan 0 och 0,75 (W = 0-60 °). Restspärniingsvärdena utvärderades med hjälp av Possion's tal v = 0,22 och E-modul E = 450 GPa. För de nanolaminerade strukturerna mättes värdena för (Ti,Al)N-skikten.
Den totala genomsnittliga sammansättningen för den nanolaminerade strukturen mättes med energidispersiv röntgenspektroskopi (EDS) med hjälp av ett LEO Ultra 55 svepelektronmikroskop, med en Thermo N oran EDS-detektor, vid 10 kV. Resultaten utvärderades med hjälp av programvaran Noran System Six (NSS version 2).
I Tabell 1 sammanfattas resultaten för exempelbeläggningarna, både enligt uppfmningen och jämfö- rande beläggningar enligt känd teknik. 533 884 5 Tabell 1.
Sammansattning skikt A sammansättning skikt B Genome »hlllg sammanaättnlng Skikttioeklek o Beläggning Beskrivning (metall 61.911) (mstatl 111%) (a1.%) (nm) LGPa) Ti Al SI Me1 TI Al Si Me2"' '11 Al S1 Met Me2'*' N A B Sklkt A Enl. uppflnnlng 1 TiAlNffiSlN' 38 62 0 0 86 0 14 0 31.9 12.6 4.1 0D 0.0 51.4 5 8 -0.9 2 TiNNffiSiN' 38 62 0 0 66 0 14 0 39.1 5.7 5.6 0.0 0.0 49.6 4 17 -0.5 3 TiAINITSiN' 38 62 0 0 86 0 14 0 26.1 21.2 2.2 0.0 0.0 50.4 11 5 -1 .Q 4 TWNITISIN' 36 62 0 0 86 0 14 0 34.3 11.8 4.5 0.0 0.0 49.4 3 5 ~0.7 5 TiAIN/TISIN' 38 62 0 0 86 0 14 0 27.9 15.5 2.9 0.0 0.0 50.6 24 17 -2.3 6 '11AlNffiSiN"" 38 62 0 0 86 0 14 0 31.4 14.4 3.8 0.0 0.0 50.3 7 6 -1.1 7 TíAINITiSIN' 50 50 0 0 86 0 14 0 33.1 13.1 3.4 0.0 0.0 50.5 10 9 -1.4 8 TiAIN/T ISIN' 38 82 0 0 93 0 7 0 35.3 13.6 1 .9 0.0 0.0 49.1 6 B -1.3 9 TiAINIHSIN' 36 62 0 0 93 0 7 0 32.1 10 3 1.7 0.0 0.0 50.0 9 6 -1.4 10 TiAlNmSiN' 50 50 0 0 93 0 7 0 38.7 10.4 2.0 0.0 0.0 48.9 5 6 »1.0 11 TIAINIUSIYN' 38 62 0 0 84 0 12 4 29.5 16.1 2.8 0.0 1.0 50.1 11 10 - 12 TIAINITlSIYN' 38 62 0 0 83 0 9 8 31 .9 12.8 2.6 0.0 2.3 50.4 4 5 - 13 TIAINmSxYN' 38 62 0 0 79 0 7 14 28.7 18.7 1.8 0.0 3.3 49.8 8 7 - 14 TIAINFHSNN' 36 62 0 0 82 0 11 7 32.5 13.9 3.1 0.0 2.0 48.5 7 9 - 15 TIAINITiSNN' 38 62 0 0 76 0 9 15 27.0 17.7 2.1 0.0 3 3 50.0 10 8 - 16 TAIN/HSNN' 50 50 0 0 70 0 7 23 32.4 9 5 2.1 0.0 7.1 46.8 5 8 - 17 TlAlN/TiSlNbN' 38 62 0 0 85 0 10 5 31.1 13 6 2.9 0.0 1.4 51.0 9 12 - 18 T1AIN/TiSiNbN' 38 62 0 0 78 0 8 14 27.9 18 8 1.9 0.0 3.3 50.1 6 7 - 19 TWNITiSiNbN' 38 82 0 0 69 0 6 25 26.1 14.3 1.6 0 0 6.6 51.3 5 6 - 20 TiAlN/TISIAIN' 38 62 0 0 67 21 12 0 29 4 16.4 3.6 0.0 0.0 46.6 5 8 - 21 TtAlN/HSIAIN' 38 62 0 0 55 39 6 0 22 3 25.9 1.6 0.0 0.0 50.3 5 5 - 22 TtAlNffiSíAlN' 38 62 0 0 80 32 8 0 24 5 22.6 2.1 0 E' 0.0 50.7 6 7 - 23 TIAIYNITSiN' 38 61 0 1 86 0 14 0 33.6 11.9 4.2 0.4 0.0 49.8 8 9 - 24 TIAIYNITiSiN* 37 59 0 4 66 0 14 0 33.4 12.3 4.2 1.0 0.0 49.1 5 7 - 25 TlANN/TISIN' 36 61 0 1 86 0 14 0 32.2 11.7 4.2 0.4 0 0 51.5 5 8 - 26 TïANNlTiSIN' 37 59 0 4 86 0 14 0 33.7 12.6 3.9 1.0 0.0 48.8 6 8 - 27 'HAlNbN/TTSIN' 38 61 0 1 66 0 14 0 34 0 12.5 4.3 0.1 0.0 46.9 5 9 - 28 TiAlNbNmSlN' 37 59 0 4 66 0 14 0 33.3 11.2 4.2 1.0 0.0 50.3 5 8 - 29 11AlZrNfTiSiN' 38 61 0 1 66 0 14 0 31.2 14.4 3.9 0.5 0.0 50.1 6 7 - 30 TIAIZrN/TISIN' 37 69 0 4 86 0 14 0 31.3 13.3 4.0 1.1 0 0 50.3 7 9 »- 31 TIAIZrN/TISIVN' 38 61 0 1 76 0 9 15 26.9 13.0 2.6 0.4 4 3 50.8 5 7 - 32 TIAlZrN/TISIYN' 37 59 0 4 84 0 12 4 32.8 11.3 3.7 0.9 1 .2 49.9 5 8 - 33 TIAIVNITISIAIN' 37 59 0 4 00 32 6 0 22.6 22.9 2.1 0.9 0.0 51.3 6 7 - Jämförande 34 TINIHSiN' 100 0 0 0 66 0 14 0 45.4 0.0 4.1 0.0 0 0 50.5 9 12 -3.0 35 TMISiNIYiSiN' 61 32 7 0 93 0 7 0 36.7 9.5 3.5 0.0 0.0 50.3 10 7 -2.1 36 T1AlN/'l1SiN"“ 38 52 0 0 66 0 14 0 27.6 19.2 2.7 0.0 0 0 50.6 130 80 -2.6 37 'TlN/'TlAlSiN""' 100 0 0 0 61 32 7 0 39.3 8.7 1.9 0.0 0 0 50.1 110 130 -31/-33 38 T1AIN 37.6 62.4 0.0 0.0 0.0 0.0 0.0 0.0 - - - - ~ 504 - - -2-7 39 TIAIN 49.6 50.4 0.0 0.0 0.0 0.0 0.0 0.0 - - - - - 50.6 - - -2.3 40 TISiN 86.4 0.0 13.6 0.0 0.0 0.0 0.0 0.0 ~ - - - 49.5 - -3.1 41 TISiN 92.8 0.0 7.2 0.0 0.0 0.0 0.0 0.0 - - - - - 49.6 - -2.4 42 TiAISlN 51.1 32.0 6.9 0.0 0.0 0.0 0.0 0.0 - - - - - 50.0 - - -2.9 43 HSINHTAIN" 85.9 0.0 14.1 0.0 38.0 62.0 0.0 0.0 N (at.%): 51 .1/49.5 1080 1250 - 44 TIÅIN + TlSiN" 38.3 61.7 0.0 0.0 86.0 0.0 14.0 0.0 N (at.%): 50.1l50.5 1140 670 - *) Sammansflttnlngen för ' skikt åren - r m., från . __ ") Konstant sklkttjocklek '") NIeZ-lnnehéll exklusiveAl. som har en egen kolumn Exempel 2.
Beläggningarna 1-8, 10, 12, 22, 29, 34-44 på S1 skär testades under följande villkor: Geometri: CNMG120408~MF1 Applikation: Längdsvarvning Arbetsmaterial: AISI 316L Skärhastighet: 230 m/min Matning: 0,15 mm/varv Skärdjup: 1,5 mm Livslängdskriterium, fasförslitning (vb)> 0,3 mm Resultaten presenteras i Tabell 2.
Figur 3 visar SEM bilder av använda eggar efter 1 1 minuters svarvning med (a) jämförande belägg- ning 38, (b) jämförande beläggning 42, och (c) uppfinningsenlig beläggning 8. Det är tydligt att den uppfinningsenlíga beläggningen visar förbättrade grop- och eggförslitningsegenskaper. 10 15 20 25 30 533 884 Exempel 3.
Beläggningarna 1, 4, 6, 15, 33, 36, 38, 40, 44 på S2 skär provades under följande villkor: Geometri: CNMG120408-MF1 Applikation: Längdsvarvning Arbetsmaterial: Inconel 7 18 Skärhastighet: 70 m/min Matning: 0,2 nun/varv Skärdjup: ap = 0,5 mm Livslängdskriterium, fasförslitning (vb)> 0,3 mm Resultaten presenteras i Tabell 2.
Exempel 4.
Beläggningarna 1, 3, 9, 17, 38-44 på S3 skär testades under följande villkor: Geometri: DCMT1 1T304-F1 Applikation: Längdsvawning Arbetsmaterial: DIN 100Cr6 Skärhastighet: 250 m/min Matníng: 0,15 mm/varv Skärdjup: ap = 0,5 mm Livslängdskriterium, fasförslitning (vb)> 0,2 mm Resultaten presenteras i Tabell 2.
Tabell 2.
Beläggning EneuÉL Exempel 3 ängel 4 Grop Egg Livslflßggnin) Uvslanqd (min) Llvslångd (min) Enl. uppflnnlng 1 God God! Medium 15 8 21 2 God Medlum 14 - - 3 God/Medium God 13 ~ 18 4 God God/Medium 14 8 - 5 God/Medlum God/Medium 15 - - 8 God God/Medium 13 9 - 7 God/Medium God/Medium 12 - ~ 8 God God 16 - ~ 9 - - - - 21 10 God/Medium God 14 - ~ 12 GodIMedmm God/Medlurn 15 ~ - 15 - » - 9 ~ 17 - » - - 21 22 God God 15 ~ 29 God God/Medlwn 14 - aa - - - 10 Jämförande 34 Medlum God/Madam 10 36 God Dàllg 12 - 36 God/Medium Dallg 13 7 37 GodfMedium Dàlig 12 - ' 38 MedlumlDfillg God 11 6 14 se Daug God a - 12 40 God Den; s s 12 41 God/Medium Medium/Dålig 9 ~ 15 42 God/Medium Medium 12 - 15 43 Medlum God/Medium 7 - 17 44 eed/Medrum muevalunvtgaig 10 S 15 _ _ _. 533 884 7 Det är uppenbart från ovanstående exempel 2 till 4 att skären enligt uppfinningen visar en ökad pre- standa med förbättrade egg- och gropförslitningsegenskaper.

Claims (7)

10 15 20 25 30 35 40 533 884 Krav
1. Skärverktygsskär för spånavskiljande bearbetning bestående av en kropp av hårdmetall, cermet, keramik, kubisk bornitrid-baserade material eller snabbstål, på vilken deponerats en hård och slitstark PVD-beläggning k ä n n e t e c k n a t av att nämnda beläggning innefattar en kolumnär och polykristallin nanolarriinerad struktur av altemerande skikt A och B, där skikt A är (Ti1.x-pAl,,Melp)N, där 0.30 0,96 (Ti|.y.zSiyMe2z)Nb där 0,05 0,96 20 pm, företrädesvis mellan 0,5 och 10 tim, en genomsnittlig kolumnbredd mellan 20 och 1000 nm, och en medeltjocklek för skikt A och B mellan l nm och 50 nm.
2. Skärverktygsskär enligt krav l k ä n n e t e c k n at av att skikt A och B omfattar en fasblandning av kubiska och hexagonala strukturer, företrädesvis bara kubisk fas, som bestäms av röntgendiff- raktion.
3. Skärverktygsskär enligt något av krav 1 och 2 k ä n n e t e c k n a t av att z = p = 0.
4. Skärverktygsskär enligt något av föregående krav k ä n n e t e c k n a t av att nänmda beläggning innefattar en inre singel- och/eller multiskiktbeläggning av TiN, TiC, Ti (C,N) eller (Ti,Al)N, företrädesvis (Ti,Al)N och/eller en yttre singel- och/eller multiskikt beläggning av TiN, TiC, Ti (C,N), (Ti,Si)N eller (Ti,Al)N, företrädesvis (Ti,Si)N eller (Ti,Al)N, till en total skikttjocklek, inbegripet tjockleken på den nanolaminerade strukturen, på mellan 0,5 och 30 pm, företrädesvis mellan 0,5 och 15 um.
5. Skärverktygsskär enligt något av föregående krav k ä n n e t e c k n a t av att nämnda kropp är hårdmetall eller cermet.
6. Metod för att tillverka ett skärverktygsskär enligt krav l k ä n n e t e c k n a d av att nämnda beläggning utfälls med ljusbågsförångning av legerade eller sammansatta katoder som ger den önskade sammansättningen av (Ti,Al,Mel)N- och (Ti,Si,Me2)N-skikten med en förångningsström mellan 50 A och 200 A, i en Ar +N2-at:rnosfär, företrädesvis i en ren Ng-atmostär, vid ett totalt tryck av 0,5 Pa till 9,0 Pa, företrädesvis 1,5 Pa till 5,0 Pa, en substratförspärming mellan -10 V och -300 V, företrädesvis mellan -20 V och -200V, vid 350°C till 700°C, företrädesvis 400°C till 650°C.
7. Användning av skärverktygsskär enligt något av krav l-5 för bearbetning av rostfritt stål, superlegeringar och härdat stål vid skärhastighet 50 - 500 m/min, företrädesvis från 50 till 300 m/mín, vid en medelmatning av 0,08 till 0,5 mtrl/varv, företrädesvis från 0,1 till 0,4 min/varv beroende på skäroperation.
SE0900739A 2009-06-01 2009-06-01 Nanolaminerat belagt skärverktyg SE533884C2 (sv)

Priority Applications (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE0900739A SE533884C2 (sv) 2009-06-01 2009-06-01 Nanolaminerat belagt skärverktyg
PCT/SE2010/050580 WO2010140958A1 (en) 2009-06-01 2010-05-28 Nanolaminated coated cutting tool
US13/375,570 US8852305B2 (en) 2009-06-01 2010-05-28 Nanolaminated coated cutting tool
KR1020117028852A KR101764101B1 (ko) 2009-06-01 2010-05-28 나노적층식 코팅 절삭 공구
EP10783656.1A EP2438209B1 (en) 2009-06-01 2010-05-28 Nanolaminated coated cutting tool
CN2010800242000A CN102449194B (zh) 2009-06-01 2010-05-28 纳米叠层涂覆的切削工具
JP2012513903A JP2012528732A (ja) 2009-06-01 2010-05-28 ナノ積層コーティングされた切削工具

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE0900739A SE533884C2 (sv) 2009-06-01 2009-06-01 Nanolaminerat belagt skärverktyg

Publications (2)

Publication Number Publication Date
SE0900739A1 SE0900739A1 (sv) 2010-12-02
SE533884C2 true SE533884C2 (sv) 2011-02-22

Family

ID=43297940

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SE0900739A SE533884C2 (sv) 2009-06-01 2009-06-01 Nanolaminerat belagt skärverktyg

Country Status (7)

Country Link
US (1) US8852305B2 (sv)
EP (1) EP2438209B1 (sv)
JP (1) JP2012528732A (sv)
KR (1) KR101764101B1 (sv)
CN (1) CN102449194B (sv)
SE (1) SE533884C2 (sv)
WO (1) WO2010140958A1 (sv)

Families Citing this family (38)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8409695B2 (en) * 2010-05-28 2013-04-02 Kennametal Inc. Multilayer nitride hard coatings
EP2434032A1 (en) * 2010-12-08 2012-03-28 SECO TOOLS AB (publ) Coated fine grained cermet for finish turning applications
HUE047421T2 (hu) * 2011-06-30 2020-04-28 Oerlikon Surface Solutions Ag Pfaeffikon Nanoréteg bevonat nagyteljesítményû szerszámokhoz
JP6062623B2 (ja) * 2011-10-31 2017-01-18 京セラ株式会社 切削工具
EP2636764B1 (en) 2012-03-07 2014-07-09 Seco Tools Ab Nanolaminated coated cutting tool
KR101351845B1 (ko) * 2012-05-02 2014-01-16 한국야금 주식회사 절삭공구용 경질피막
EP2669401A1 (en) * 2012-05-29 2013-12-04 Seco Tools AB Method for depositing a coating and a coated cutting tool
EP2679704B1 (en) * 2012-06-29 2016-10-12 Seco Tools Ab Coated cutting insert
DE102014101266B4 (de) 2014-02-03 2022-03-10 Optotech Optikmaschinen Gmbh Linsenhaltevorrichtung zum Haltern einer Rohlinse in einer Bearbeitungsmaschine und Verfahren zur Bearbeitung von Rohlinsen
CN103774090B (zh) * 2014-02-07 2016-01-20 上海理工大学 一种含有氮化钒纳米插入层的高硬度TiSiN涂层及其制备方法
JP6842233B2 (ja) * 2014-07-29 2021-03-17 サンドビック インテレクチュアル プロパティー アクティエボラーグ コーティングされた切削工具、及びコーティングされた切削工具の製造方法
JP6634647B2 (ja) * 2014-11-27 2020-01-22 三菱マテリアル株式会社 耐チッピング性、耐摩耗性にすぐれた表面被覆切削工具
CN107636193A (zh) * 2015-04-20 2018-01-26 山高刀具公司 涂层切削刀具和对所述切削刀具进行涂覆的方法
WO2017037956A1 (ja) * 2015-09-04 2017-03-09 オーエスジー株式会社 硬質被膜および硬質被膜被覆部材
CN108138305B (zh) * 2015-09-04 2020-01-03 Osg株式会社 硬质被膜和硬质被膜被覆构件
US10837100B2 (en) * 2015-12-22 2020-11-17 Sandvik Intellectual Property Ab Method of producing a PVD layer and a coated cutting tool
EP3394312B1 (en) 2015-12-22 2020-06-17 Sandvik Intellectual Property AB A coated cutting tool and method
US9997406B2 (en) 2016-02-04 2018-06-12 International Business Machines Corporation Columnar interconnects and method of making them
EP3228726A1 (en) * 2016-04-08 2017-10-11 Seco Tools Ab Coated cutting tool
EP3263736A1 (en) * 2016-07-01 2018-01-03 Seco Tools Ab A coated cutting tool and a method for coating the cutting tool
US9748173B1 (en) 2016-07-06 2017-08-29 International Business Machines Corporation Hybrid interconnects and method of forming the same
US9875966B1 (en) 2016-08-01 2018-01-23 International Business Machines Corporation Method and structure of forming low resistance interconnects
US9793156B1 (en) 2016-09-12 2017-10-17 International Business Machines Corporation Self-aligned low resistance metallic interconnect structures
US10570501B2 (en) 2017-05-31 2020-02-25 Kennametal Inc. Multilayer nitride hard coatings
US10224242B1 (en) 2017-11-14 2019-03-05 International Business Machines Corporation Low-resistivity metallic interconnect structures
US11370033B2 (en) * 2018-03-07 2022-06-28 Sumitomo Electric Hardmetal Corp. Surface coated cutting tool and method for manufacturing the same
CN108372281A (zh) * 2018-03-28 2018-08-07 北京鼎翰科技有限公司 一种基于不锈钢和碳钢双金属混合液的管材浇铸方法
US10600686B2 (en) 2018-06-08 2020-03-24 International Business Machines Corporation Controlling grain boundaries in high aspect-ratio conductive regions
CN109735803B (zh) * 2018-12-27 2021-10-15 广东工业大学 一种TiSiYN多组元复合梯度刀具涂层及其制备方法
CN110257772B (zh) * 2019-07-16 2021-11-12 合肥永信等离子技术有限公司 一种AlTiSiCON超硬涂层及其制备方法
CN110551974B (zh) * 2019-07-30 2022-10-18 株洲钻石切削刀具股份有限公司 一种含TiAlTaN层和TiAlSiN层的多层涂层刀具及其制备方法
WO2022003014A1 (en) 2020-07-01 2022-01-06 Ab Sandvik Coromant A coated cutting tool
KR102172454B1 (ko) * 2020-08-24 2020-10-30 주식회사 와이지-원 다층 피복 절삭 소재, 그 제조 방법 및 이를 포함하는 기계가공용 절삭 공구 인서트
KR102244795B1 (ko) * 2021-03-11 2021-04-27 주식회사 와이지-원 우수한 윤활성과 내마모성을 가지는 다층 피복 절삭 소재, 그 제조 방법 및 이를 포함하는 기계가공용 절삭 공구 인서트
CN113652639B (zh) * 2021-08-24 2022-05-24 株洲索尔切削工具有限公司 梯度结构的合金涂层及其制备方法
CN114457304B (zh) * 2022-01-11 2023-12-19 厦门钨业股份有限公司 一种TiAlMeN-TiAlN纳米多层结构涂层及其制备方法与用途
CN114622161B (zh) * 2022-03-21 2024-03-22 厦门鸿鹭联创工具有限公司 一种含有周期性涂层的刀具及其制备方法
CN115595532A (zh) * 2022-10-12 2023-01-13 株洲华锐精密工具股份有限公司（Cn） 一种多层结构硬质涂层及其制备方法与应用

Family Cites Families (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5330853A (en) 1991-03-16 1994-07-19 Leybold Ag Multilayer Ti-Al-N coating for tools
JP2892231B2 (ja) 1992-09-16 1999-05-17 健 増本 Ｔｉ−Ｓｉ−Ｎ系複合硬質膜及びその製造方法
EP0592986B1 (en) 1992-10-12 1998-07-08 Sumitomo Electric Industries, Limited Ultra-thin film laminate
JP2979921B2 (ja) * 1993-09-30 1999-11-22 住友電気工業株式会社 超薄膜積層体
JP3416937B2 (ja) 1994-10-28 2003-06-16 住友電気工業株式会社 積層体
DE69526301T2 (de) 1994-10-28 2002-12-05 Sumitomo Electric Industries Mehrschichtiges Material
SE518145C2 (sv) 1997-04-18 2002-09-03 Sandvik Ab Multiskiktbelagt skärverktyg
JP4185172B2 (ja) 1997-06-19 2008-11-26 住友電工ハードメタル株式会社 被覆硬質工具
EP0972091A1 (en) 1998-02-04 2000-01-19 OSG Corporation Multilayer coated tool
JP3031907B2 (ja) 1998-03-16 2000-04-10 日立ツール株式会社 多層膜被覆部材
JP3248898B2 (ja) 1999-03-19 2002-01-21 日立ツール株式会社 硬質皮膜被覆工具
JP3248897B2 (ja) * 1999-03-19 2002-01-21 日立ツール株式会社 硬質皮膜被覆工具
JP3343727B2 (ja) 1999-05-19 2002-11-11 日立ツール株式会社 硬質皮膜被覆工具
JP3347687B2 (ja) * 1999-05-19 2002-11-20 日立ツール株式会社 硬質皮膜被覆工具
JP3417907B2 (ja) * 2000-07-13 2003-06-16 日立ツール株式会社 多層皮膜被覆工具
JP2003165003A (ja) * 2001-11-28 2003-06-10 Hitachi Tool Engineering Ltd 硬質皮膜被覆部材
SE526338C2 (sv) 2002-09-04 2005-08-23 Seco Tools Ab Skär med utskiljningshärdad slitstark refraktär beläggning
DE102006004394B4 (de) 2005-02-16 2011-01-13 Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho (Kobe Steel, Ltd.), Kobe-shi Hartfilm, Mehrschichthartfilm und Herstellungsverfahren dafür
JP4522285B2 (ja) * 2005-02-17 2010-08-11 日立ツール株式会社 耐摩耗皮膜及び耐摩耗皮膜被覆切削工具及び耐摩耗皮膜の製造方法
AT8346U1 (de) * 2005-04-29 2006-06-15 Ceratitzit Austria Ges M B H Beschichtetes werkzeug
SE529161C2 (sv) 2005-06-22 2007-05-22 Seco Tools Ab Skärverktyg med kompositbeläggning för finbearbetning av härdade stål
JP4713413B2 (ja) * 2006-06-30 2011-06-29 株式会社神戸製鋼所 硬質皮膜およびその製造方法
EP1914331B1 (en) * 2006-10-18 2019-07-24 Sandvik Intellectual Property AB Coated cutting tool
SE0602814L (sv) 2006-12-27 2008-06-28 Sandvik Intellectual Property Skärverktyg med multiskiktbeläggning
ATE520489T1 (de) * 2007-05-30 2011-09-15 Sumitomo Elec Hardmetal Corp Oberflächenbeschichtetes schneidwerkzeug
EP2098611B1 (en) * 2008-03-07 2013-02-13 Seco Tools AB Layered coated cutting tool
KR100876366B1 (ko) * 2008-04-24 2008-12-31 한국야금 주식회사 절삭공구용 다층경질 박막
JP5315527B2 (ja) * 2008-09-29 2013-10-16 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆切削工具
CN101403116B (zh) * 2008-11-17 2010-10-13 华中科技大学 一种金属陶瓷刀具上Ti-Si-N纳米涂层的制备方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN102449194B (zh) 2013-12-11
EP2438209B1 (en) 2019-07-31
CN102449194A (zh) 2012-05-09
EP2438209A4 (en) 2016-09-14
KR20120015338A (ko) 2012-02-21
SE0900739A1 (sv) 2010-12-02
JP2012528732A (ja) 2012-11-15
US8852305B2 (en) 2014-10-07
WO2010140958A1 (en) 2010-12-09
US20120114436A1 (en) 2012-05-10
EP2438209A1 (en) 2012-04-11
KR101764101B1 (ko) 2017-08-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SE533884C2 (sv) Nanolaminerat belagt skärverktyg
SE533883C2 (sv) Nanolaminerat belagt skärverktyg
JP6858347B2 (ja) 被覆切削工具
US8409696B2 (en) Multilayered coated cutting tool
JP5583224B2 (ja) 金属、超硬合金、サーメット又はセラミックスからの被覆物品並びに該物品の被覆法
CN102378831B (zh) 用于产生高温的金属切割领域的镀膜切割工具
JP6037256B1 (ja) 表面被覆切削工具およびその製造方法
KR101979041B1 (ko) 고성능 공구용 나노층 코팅
SE526339C2 (sv) Skär med slitstark refraktär beläggning med kompositstruktur
SE529161C2 (sv) Skärverktyg med kompositbeläggning för finbearbetning av härdade stål
SE526338C2 (sv) Skär med utskiljningshärdad slitstark refraktär beläggning
SE529223C2 (sv) Belagt skärverktyg innefattande hexagonal h-(Mel,Me2)Xfas
SE519921C2 (sv) PVD-belagt skärverktyg och metod för dess framställning
JP2020040175A (ja) 被覆切削工具
US7989059B2 (en) Oxide coated cutting insert
JP4960751B2 (ja) 硬質皮膜切削工具
KR101590203B1 (ko) 산화물 코팅된 절삭 인서트
SE532050C2 (sv) Oxidbelagt skärverktygsskär för spånavskiljande bearbetning av stål
JP7141022B2 (ja) 表面被覆切削工具
KR20230134593A (ko) 절삭 공구 및 그 제조 방법
CN117620238A (zh) 涂覆切削工具
JP2011156626A (ja) 表面被覆切削工具

Legal Events

Date Code Title Description
NUG Patent has lapsed