JP5406041B2 - 多層被覆切削工具 - Google Patents

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Description

本発明は、被膜が（Ｔｉ，Ａｌ，Ｃｒ，Ｓｉ）Ｎからなる非周期的多層構造を有する被覆切削工具に関する。
工具の最近の開発は、より鋭い切刃に向かってきた。鋭い切刃を維持するためには、より薄い被膜を要するが、それは、被膜が厚いと切削性に不利益なより大きい刃先丸みを生み出すからである。より厚い被膜は、より高い界面剪断力の結果として刃先の剥落（spall off）も起こしやすく、この事実は刃先が鋭いほどより重大になる。より薄い被膜が堆積する場合、工具の耐摩耗性を維持するために、より高い硬度、すなわち耐アブレシブ摩耗性が必要とされる。
薄く硬い被膜を得る一つの方法は、ナノコンポジット多層被膜の使用である。そのようなナノコンポジット多層被膜の通常の被膜組成は、（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎである。
ＰＶＤ被膜の硬さおよび耐酸化性などの性質を向上させる他の方法は、Ｃｒ、Ｓｉ、Ｂなどの元素の添加による。
Ａｌ含有窒化物ＰＶＤ被膜では、４０原子％を超えるＡｌ高含有量が、高い逃げ面摩耗および酸化耐性を得るために有利であることが周知である。しかし、アルミニウム含有量が高すぎると、準安定で硬い立方相からより安定で柔らかいＡｌＮの六方相への相変態により、クレータ摩耗の上昇にもつながる。
鋭い刃先は、例えばドリル加工など多くの切削操作に重要である。ドリル加工の際、摩耗は切刃にのみ見いだされるのではない。しばしば、相当な摩耗がドリルの外周にも見いだされる。深刻な外周摩耗は、ドリルが元の状態に戻される、すなわち再研磨および再被覆される時摩耗した領域全体が除去されなければならないため、問題となる。通常、ドリルの再被覆の際、各再被覆に対して全体の被覆厚さが増す。外周での被覆厚さの増加は、角から少し離れた外周での摩耗を増すであろう。また、被覆厚さが増すと刃先の丸みが増すであろう。したがって、より薄く耐摩耗性の高い被覆は大きな利点である。
切削工具上の（Ｔｉ，Ａｌ，Ｃｒ，Ｓｉ）Ｎ被膜は当分野に公知である。
欧州公開特許ＥＰ１２１９７２３Ａは、０．５＜ａ＜０．８、ｂ＞０．０６、０≦ｃ＜０．１、０≦ｄ＜０．１、０＜ｃ＋ｄ＜０．１および０．５＜ｅ＜１であるＴｉ1-a-b-c-dＡｌaＣｒbＳｉcＢd（Ｃ1-eＮe）から構成される切削工具用の硬質膜を開示している。この硬質膜は、多層構造の形態でもよい。
米国公開特許２００６／０２２２８９３は、少なくとも１層の５０−１５０ｎｍの（Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ層および／または少なくとも１層の７５−２００ｎｍの（Ｔｉ，Ｓｉ）Ｎ層および少なくとも１つの（Ａｌ，Ｃｒ，Ｔｉ，Ｓｉ）Ｎ＋（Ｔｉ，Ｓｉ）Ｎ＋（Ａｌ，Ｃｒ，Ｔｉ，Ｓｉ）Ｎ＋（Ａｌ，Ｃｒ）Ｎの層の積み重ねを含む反復する層の積み重ねを含む多層被膜を開示している。混合（Ａｌ，Ｃｒ，Ｔｉ，Ｓｉ）Ｎ層は多層構造を有し、全てのターゲットを同時に運転することにより得られる。これは、数ナノメートルの範囲の非常に微細な層を持つ被膜を生み出すであろう。（Ａｌ，Ｃｒ，Ｔｉ，Ｓｉ）Ｎ層は、厚さが２０±１０ｎｍである。
本発明の目的は、高い耐クレータ摩耗性および高い耐逃げ面摩耗性の両方を持つ被覆切削工具の提供である。
本発明の他の目的は、硬さが向上した被膜の提供である。
本発明の他の目的は、鋭い刃先に好適な被膜の提供である。
本発明の他の目的は、外周で経験する摩耗が少ない被覆ドリルの提供である。
驚くべきことに、本発明の組成を持つ非周期的な多層被膜で切削工具を被覆することによりこれらの目的が達せられることが見いだされた。
図１は、２００穴をドリル加工した後の、従来技術による（Ｔｉ，Ａｌ，Ｃｒ，Ｓｉ）Ｎ被膜により被覆されたドリル上の外周摩耗を示す。
図２は、２００穴をドリル加工した後の、本発明による（Ｔｉ，Ａｌ，Ｃｒ，Ｓｉ）Ｎ被膜により被覆されたドリル上の外周摩耗を示す。
本発明によると、超硬合金、サーメット、セラミックス、立方晶窒化ホウ素または高速度鋼の硬質合金の基材と、（Ｔｉ，Ａｌ，Ｃｒ，Ｓｉ）Ｎの組成を持つ金属窒化物の個別層ＸおよびＹが交互積層した非周期的な多層構造を有する被膜とを含む被覆切削工具が提供される。
非周期的とは、多層構造中の特定の個別層の厚さが、その特定の個別層の直下またはその直上の個別層の厚さに全く関係ないことと理解される。多層構造は、少なくとも１０の連続する個別層のシーケンス中に繰り返し周期を全く持たない。
本願での多層構造とは、少なくとも５層の個別層を含む構造を意味する。しかし、それは最高で数千層の個別層を含むことがある。
個別層の平均厚さは０．１ｎｍより大きいが１００ｎｍより小さく、好ましくは０．５ｎｍより大きいが５０ｎｍより小さく、最も好ましくは１ｎｍより大きいが３０ｎｍより小さい。多層構造中の任意の１０の連続層の和は、３００ｎｍより小さい。
被膜全体の総厚さは０．５から２０μｍ、好ましくは１から１０μｍ、最も好ましくは１から５μｍである。
前記多層構造は、基材または予備被覆された基材に密着しているが、個別層ＸおよびＹが交互積層した薄層非周期多層構造を含み、前記個別層ＸおよびＹは、好ましくは、チタン（Ｔｉ）、アルミニウム（Ａｌ）、ケイ素（Ｓｉ）、クロム（Ｃｒ）またはその混合物から選択される金属元素を含む立方晶構造を持つ金属窒化物、好ましくは多結晶金属窒化物である。個別層ＸおよびＹの化学組成は互いに異なる。
多層構造中の各個別層の組成は、薄いので隣接層の影響なしに測定することは容易でない。測定できるのは、多層構造全体の平均組成である。しかし、各個別層の組成は使用されたターゲットの組成から推定できるが、それは正確な組成を与えない。分析するに十分厚い、より厚い層が堆積した場合、堆積層の組成がターゲット材料の組成に比べ数パーセント異なることがあると示されている。この事実により、本願で以下に記載する本発明の多層構造の個別層の組成はいずれも、堆積の間に使用されたターゲットの組成からの推定値である。
多層構造の平均化学組成は、被膜の断面でＥＤＳ（エネルギー分散分光法）を利用して測定される。本発明の多層構造全体の平均組成は、（Ｔｉ(1-a-b-c)ＡｌaＣｒbＳｉc）Ｎであり、０＜ａ＜０．５、好ましくは０．０５＜ａ＜０．４、最も好ましくは０．２５＜ａ＜０．３であり、０＜ｂ＜０．１５、好ましくは０．０２＜ｂ＜０．１０、最も好ましくは０．０４＜ｂ＜０．０８であり、０．０１＜ｃ＜０．１７、好ましくは０．０２＜ｃ＜０．１０、最も好ましくは０．０４＜ｃ＜０．０８であり、ａ＋ｂ＋ｃ＜１である。
本発明の１実施形態において、基材は、厚さが０．１−１μｍ、好ましくは０．０５−０．５μｍのＴｉＮ、ＴｉＣ、ＴｉＣＮまたは（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎの薄い単層被膜または多層被膜により予備被覆される。
本発明の１実施形態において、個別層ＸおよびＹの組成は、（Ａｌ，Ｃｒ）Ｎ、（Ｔｉ，Ｓｉ）Ｎ、（Ａｌ，Ｔｉ，Ｓｉ）Ｎ、ＴｉＮ、（Ａｌ，Ｓｉ）Ｎおよび（Ａｌ，Ｔｉ，Ｃｒ，Ｓｉ）Ｎのいずれかでよい。
本発明の１実施形態において、被膜は、個別層（Ａｌ，Ｃｒ）Ｎおよび（Ｔｉ，Ｓｉ）Ｎが交互積層した多層構造を含む。
本発明の１実施形態において、基材は超硬合金、サーメット、セラミックスまたは立方晶窒化ホウ素の切削工具インサートである。
本発明の１実施形態において、基材は超硬合金または高速度鋼のドリルまたはエンドミルである。
本発明は、被覆切削工具を製造する方法にも関する。この方法は、超硬合金、サーメット、セラミックス、立方晶窒化ホウ素または高速度鋼の硬質合金の基材を準備する工程、前記基材上に、非周期的な多層構造を有する被膜をＰＶＤ技術により堆積させる工程を含む。
被膜は、チタン（Ｔｉ）、アルミニウム（Ａｌ）、ケイ素（Ｓｉ）、クロム（Ｃｒ）またはそれらの合金から選択される元素のターゲットを利用し、Ｎ2または混合Ｎ2＋Ａｒガス雰囲気中で堆積できる。
ターゲット中の金属元素の組成は多層構造全体における金属元素の平均組成とは異なることがあるが、それでも本発明の範囲内の被膜を形成する。
本発明の１実施形態において、ターゲットは、（Ａｌ，Ｃｒ）、（Ｔｉ，Ｓｉ）、（Ａｌ，Ｔｉ，Ｓｉ）、Ｔｉ、（Ａｌ，Ｓｉ）、（Ａｌ，Ｔｉ，Ｃｒ，Ｓｉ）のいずれかである。
本発明の１実施形態において、ターゲットは（Ａｌ，Ｃｒ）および（Ｔｉ，Ｓｉ）である。
多層構造を有する被膜は、種々のＰＶＤ技術および交互に形成する種々の個別層により堆積できる。個別層厚さの非周期的シーケンスは、個別層ターゲットのシャッターをランダムに開放および閉鎖して、または前記ターゲットのスイッチをランダムに入り切りしてつくることができる。他に考えられる方法は、前記ターゲットの前で被覆すべき基材をランダムに回転または移動させることである。これは好ましくは、非周期的な構造を得るために配置された３重回転式基材テーブル（3-fold rotating substrate table）に基材を載せることにより実施される。３重回転は、回転速度および回転方向、時計回りまたは反時計回りに関して調整可能である。
多層構造は、個別層の平均厚さが、０．１ｎｍより大きいが１００ｎｍより小さく、好ましくは０．５ｎｍより大きいが５０ｎｍより小さく、最も好ましくは１ｎｍより大きいが３０ｎｍより小さいように堆積される。多層構造中の任意の１０層の連続した層の和は３００ｎｍより小さい。
被膜全体の厚さは０．５から２０μｍ、好ましくは１から１０μｍ、最も好ましくは１から５μｍである。
本発明の方法により製造された多層構造全体の平均組成は、（Ｔｉ(1-a-b-c)ＡｌaＣｒbＳｉc）Ｎであり、０＜ａ＜０．５、好ましくは０．０５＜ａ＜０．４、最も好ましくは０．２５＜ａ＜０．３であり、０＜ｂ＜０．１５、好ましくは０．０２＜ｂ＜０．１０、最も好ましくは０．０４＜ｂ＜０．０８であり、０．０１＜ｃ＜０．１７、好ましくは０．０２＜ｃ＜０．１０、最も好ましくは０．０４＜ｃ＜０．０８であり、ａ＋ｂ＋ｃ＜１である。
ほとんどのＰＶＤ技術が本発明の方法に利用できるが、好ましくは電子線蒸着、マグネトロンスパッタリングまたは陰極アーク蒸着あるいはこれらの組み合わせが利用される。
本発明の１実施形態において、前記方法に使用される基材は、超硬合金、サーメット、セラミックスまたは立方晶窒化ホウ素の切削工具インサートである。
本発明の１実施形態において、前記方法に使用される基材は超硬合金または高速度鋼のドリルまたはエンドミルである。
実施例１（本発明）
直径８ｍｍのドリル、直径１０ｍｍのボールソリッドエンドミルおよびインデキサブルインサート（indexable insert）を、１０重量％のＣｏおよび残部ＷＣの組成を持つ超硬合金から作製した。これら３の異なる種類の工具を、陰極アーク蒸着を利用して非周期的な多層（Ｔｉ，Ａｌ，Ｃｒ，Ｓｉ）Ｎ被膜で被覆した。被膜の厚さは、特定の工具およびその用途に合わせて調整した。多層構造は、非周期的構造を得るために配置された３重回転式基材テーブルに工具を載せて、２種の異なる化学組成を持つ２組のアークターゲットから堆積させた。アーク蒸着はＡｒ＋Ｎ2雰囲気中で実施した。堆積の後、ドリル表面の被膜にウェットブラスト処理を施した。
アークターゲットの組成、被膜断面でＥＤＳにより測定した被膜の平均組成ならびにドリルおよびエンドミルの周縁部およびインサートの逃げ面での光学顕微鏡観察（light optical microscopy）で測定した各工具の被膜厚さを表１に示す。
多層構造は、非周期的な、すなわち反復性でない厚さを有する個別層のシーケンスを有していた。断面透過型電子顕微鏡による観察から、個別の窒化物層の厚さが１から３０ｎｍであり、各層システム中の層の総数が１００を超えることが明らかになった。
Figure 0005406041
実施例２（比較）
比較のため、実施例１と同じ形状および組成を持つ基材を、種々の市販の被膜で被覆した。
Figure 0005406041
実施例３
実施例１により作製したドリルを、実施例２により作製したドリルと比較した。各ドリルタイプの２つのドリルを、以下の切削条件の間に、底穴ドリル加工で試験した。
被加工材： ＳＳ２５４１−０３（３４ＣｒＮｉＭｏ６）
操作： ドリル加工
Ｖc（ｍ／分） １００
送り（ｍｍ／ｒｅｖ） ０．１５
ａ、穴の深さ（ｍｍ） ２０
内部冷却剤 あり
結果は以下から分かる。結果は２回の試験の平均数である。工具寿命の基準は、ｖb＝０．３ｍｍの逃げ面摩耗、ｋb＝０．５ｍｍのすくい面摩耗／チッピング、破損または長いチップである。
Figure 0005406041
実施例４
実施例１により作製したドリルを、実施例２により作製したドリルと比較した。各ドリルタイプの３つのドリルを、以下の切削条件の間に、貫通穴ドリル加工で試験した。
被加工材： ＳＳ２２４４−０５（４２ＣｒＭｏ４）
操作： ドリル加工
Ｖc（ｍ／分） ７０
送り（ｍｍ／ｒｅｖ） ０．１５
ａ、穴の深さ（ｍｍ） １８
内部冷却剤 あり
結果は以下から分かる。結果は３回の試験の平均数である。工具寿命の基準は、ｖb＝０．３ｍｍの逃げ面摩耗、ｋb＝０．５ｍｍのすくい面摩耗またはチッピング、破損または長いチップである。
Figure 0005406041
実施例５
実施例１により作製した、焼入れ硬化鋼を加工するための直径１０ｍｍのボールソリッドエンドミルを、実施例２により作製したボールソリッドエンドミルと比較した。各タイプの２つのエンドミルを、以下の切削条件の間にフライス加工操作で試験した。
被加工材： １．２３７９ ５２ＨＲＣ、焼入れ硬化鋼
操作： 輪郭試験（contour test）フライス加工
ａe（ｍｍ）： ０．２
ａp（ｍｍ）： ０．２
Ｖc（ｍ／分） １９６
ｆｚ、（ｍｍ／歯） ０．１２７
冷却剤 圧縮空気
結果は以下から分かる。工具寿命の基準は、０．１５の平均逃げ面摩耗ｖbまたは０．２０ｍｍの最大逃げ面摩耗Ｖb,maxであった。
Figure 0005406041
実施例６
実施例１により作製したインデキサブルインサートを、実施例２によるインデキサブルインサートと比較した。各タイプの２つのインデキサブルインサートを、以下の切削条件の間にフライス操作で試験した。
被加工材： Ｄｉｅｖａｒ ４７ＨＲＣ、焼入れ硬化鋼
操作： フライス加工
Ｖc（ｍ／分） １２０
ａe（ｍｍ）： ２．０
ａp（ｍｍ）： ４．０
ｆｚ、（ｍｍ／歯） ０．１２
結果は以下から分かる。結果は２回の試験の平均数である。工具寿命の基準は、０．２ｍｍのｖbまたはチッピングまたは０．３ｍｍの境界摩耗であった。
Figure 0005406041

Claims (5)

  1. 基材および被膜を含み、前記被膜が、金属窒化物の個別層ＸおよびＹが交互積層して成る非周期的な多層構造を有する被覆切削工具であって、前記被膜の平均組成が、（Ｔｉ(1-a-b-c)ＡｌaＣｒbＳｉc）Ｎであり、０．０５＜ａ＜０．４、０．０２＜ｂ＜０．１０、０．０１＜ｃ＜０．１７、ａ＋ｂ＋ｃ＜１であり、
    前記個別層の平均厚さが１ｎｍより大で３０ｎｍより小であり、
    前記多層構造が交互積層した個別層（Ｔｉ，Ｓｉ）Ｎおよび（Ａｌ，Ｃｒ）Ｎを含む、
    ことを特徴とする被覆切削工具。
  2. ０．２５＜ａ＜０．３であることを特徴とする請求項１に記載の方法。
  3. ０．０２＜ｃ＜０．１０であることを特徴とする請求項１または２に記載の方法。
  4. ０．０４＜ｃ＜０．０８であることを特徴とする請求項３に記載の方法。
  5. 多層構造中の任意の１０の連続層の和が３００ｎｍより小さいことを特徴とする請求項１から４までのいずれか１項に記載の方法。
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Families Citing this family (66)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101395335B (zh) * 2006-01-26 2013-04-17 犹他大学研究基金会 多晶磨料复合切削工具
JP4440980B2 (ja) * 2008-01-31 2010-03-24 ユニオンツール株式会社 切削工具用硬質皮膜
JP5235607B2 (ja) * 2008-10-23 2013-07-10 京セラ株式会社 表面被覆工具
SE533883C2 (sv) 2009-06-01 2011-02-22 Seco Tools Ab Nanolaminerat belagt skärverktyg
SE533884C2 (sv) * 2009-06-01 2011-02-22 Seco Tools Ab Nanolaminerat belagt skärverktyg
JP5193153B2 (ja) 2009-10-02 2013-05-08 株式会社神戸製鋼所 硬質皮膜、塑性加工用金型、塑性加工方法、及び硬質皮膜用ターゲット
EP2336383A1 (en) * 2009-12-04 2011-06-22 Sandvik Intellectual Property AB Multilayered coated cutting tool
PL2524066T3 (pl) * 2010-01-11 2019-02-28 Iscar Ltd. Powleczone narzędzie tnące
JP5194306B2 (ja) * 2010-02-17 2013-05-08 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆切削工具
JP5093530B2 (ja) * 2010-03-31 2012-12-12 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆切削工具
US8409695B2 (en) 2010-05-28 2013-04-02 Kennametal Inc. Multilayer nitride hard coatings
US8945251B2 (en) * 2010-09-29 2015-02-03 Kyocera Corporation Cutting tool
EP2643498B1 (en) 2010-11-23 2018-10-10 Seco Tools AB Coated cutting tool insert for metal machining that generates high temperatures
EP2434032A1 (en) * 2010-12-08 2012-03-28 SECO TOOLS AB (publ) Coated fine grained cermet for finish turning applications
US8691374B2 (en) 2011-09-14 2014-04-08 Kennametal Inc. Multilayer coated wear-resistant member and method for making the same
US9416440B2 (en) * 2011-09-30 2016-08-16 Cemecon Ag Coating of substrates using HIPIMS
US9698229B2 (en) * 2012-01-17 2017-07-04 United Microelectronics Corp. Semiconductor structure and process thereof
KR101351843B1 (ko) 2012-05-02 2014-01-16 한국야금 주식회사 절삭공구용 경질피막
CN103717332B (zh) * 2012-06-29 2016-02-24 住友电工硬质合金株式会社 表面被覆切削工具
RU2495960C1 (ru) * 2012-07-03 2013-10-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2495957C1 (ru) * 2012-07-03 2013-10-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2494169C1 (ru) * 2012-07-03 2013-09-27 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
RU2503743C1 (ru) * 2012-07-03 2014-01-10 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
DE102012109254A1 (de) 2012-09-28 2014-04-03 Walter Ag Werkzeug mit TiAlCrSiN-PVD-Beschichtung
JP2014069258A (ja) * 2012-09-28 2014-04-21 Nachi Fujikoshi Corp 硬質皮膜被覆切削工具
EP2939770B1 (en) * 2012-12-27 2018-08-15 Kyocera Corporation Cutting tool
US9428967B2 (en) 2013-03-01 2016-08-30 Baker Hughes Incorporated Polycrystalline compact tables for cutting elements and methods of fabrication
US9103036B2 (en) 2013-03-15 2015-08-11 Kennametal Inc. Hard coatings comprising cubic phase forming compositions
JP6016271B2 (ja) * 2013-03-29 2016-10-26 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆窒化硼素焼結体工具
CN103215542B (zh) * 2013-04-15 2015-01-28 中国兵器科学研究院宁波分院 一种纳米多层涂层及其制备方法
CN103273687B (zh) * 2013-05-13 2015-02-18 山东大学 TiSiN+ZrSiN复合纳米涂层刀具及其制备方法
PT3017079T (pt) * 2013-07-03 2017-07-19 Oerlikon Surface Solutions Ag Pfäffikon Processo de produção de camadas de tixsi1-xn
RU2548856C2 (ru) * 2013-07-19 2015-04-20 Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
US9168664B2 (en) 2013-08-16 2015-10-27 Kennametal Inc. Low stress hard coatings and applications thereof
US9896767B2 (en) 2013-08-16 2018-02-20 Kennametal Inc Low stress hard coatings and applications thereof
KR101551963B1 (ko) 2013-09-12 2015-09-10 현대자동차주식회사 알루미늄 다이캐스팅용 코팅재 및 이의 코팅방법
JP6155204B2 (ja) * 2014-02-21 2017-06-28 株式会社神戸製鋼所 硬質皮膜およびその形成方法
US10265775B2 (en) * 2014-03-27 2019-04-23 Tungaloy Corporation Coated tool
CN105473261B (zh) * 2014-06-06 2017-08-18 住友电工硬质合金株式会社 表面被覆工具及其制造方法
AT516062B1 (de) * 2015-01-15 2016-02-15 Boehlerit Gmbh & Co Kg Verfahren zum Beschichten eines Gegenstandes und damit hergestellte Beschichtung
JP6789986B2 (ja) * 2015-05-21 2020-11-25 ヴァルター アーゲー 多層アークｐｖｄコーティングを有する工具
RU2622541C1 (ru) * 2015-12-15 2017-06-16 федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Ульяновский государственный технический университет" Способ получения многослойного покрытия для режущего инструмента
CN105543780B (zh) * 2015-12-28 2018-02-09 富耐克超硬材料股份有限公司 超硬刀具表面复合硬质涂层及其制备方法
US10751806B2 (en) 2016-03-11 2020-08-25 Mitsubishi Materials Corporation Surface-coated cutting tool having excellent chipping resistance and wear resistance
EP3228726A1 (en) * 2016-04-08 2017-10-11 Seco Tools Ab Coated cutting tool
WO2018025977A1 (en) * 2016-08-01 2018-02-08 Mitsubishi Materials Corporation Multilayer hard film-coated cutting tool
WO2018100849A1 (ja) 2016-11-29 2018-06-07 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆切削工具
CN106835014A (zh) * 2016-12-29 2017-06-13 西安交通大学青岛研究院 一种多元复合硬质涂层制备方法
CN106995913A (zh) * 2016-12-29 2017-08-01 西安交通大学青岛研究院 一种CrTiAlSiN基多元复合硬质涂层
EP3404126B1 (en) * 2017-05-19 2019-10-16 Walter Ag Metal cutting tool with multi-layer coating
US10570501B2 (en) 2017-05-31 2020-02-25 Kennametal Inc. Multilayer nitride hard coatings
JP6858347B2 (ja) * 2017-07-28 2021-04-14 株式会社タンガロイ 被覆切削工具
JPWO2019044715A1 (ja) * 2017-08-29 2020-09-17 京セラ株式会社 被覆工具及びこれを備えた切削工具
CN111032260B (zh) * 2017-08-29 2021-03-26 京瓷株式会社 涂层刀具以及具备该涂层刀具的切削刀具
DE112018004983T5 (de) 2017-09-27 2020-06-10 Kyocera Corporation Beschichtetes werkzeug und schneidwerkzeug, welches dieses aufweist
CN111148592B (zh) * 2017-09-27 2021-05-28 京瓷株式会社 涂层刀具和具备其的切削刀具
CN107915476A (zh) * 2017-12-06 2018-04-17 王增倍 一种穿孔顶头及制备方法
US20210016361A1 (en) * 2018-03-27 2021-01-21 Mitsubishi Materials Corporation Surface-coated cutting tool
KR102112084B1 (ko) * 2018-11-30 2020-05-18 한국야금 주식회사 절삭공구용 경질피막
JP7165594B2 (ja) * 2019-02-07 2022-11-04 京セラ株式会社 被覆工具及びこれを備えた切削工具
KR102074469B1 (ko) * 2019-05-13 2020-02-07 주식회사 다올플라즈마 포밍 치형공구용 다층나노 경질 코팅막
CN110144541B (zh) * 2019-06-18 2021-08-06 上海交通大学 一种高温钛合金热障涂层材料及其制备方法
US11731202B2 (en) 2021-04-19 2023-08-22 Kennametal Inc. Coating, method for coating, and coated cutting tool
EP4170064A1 (en) * 2021-10-20 2023-04-26 AB Sandvik Coromant Coated cutting tool
CN114672786B (zh) * 2022-03-17 2023-04-28 赣州澳克泰工具技术有限公司 一种耐高温氧化、自润滑的多层涂层刀具及其制备方法
DE102022115550A1 (de) * 2022-06-22 2023-12-28 Rainer Cremer Beschichtetes Werkzeug, Verfahren zu dessen Herstellung sowie Verwendung des Werkzeugs

Family Cites Families (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SE518145C2 (sv) * 1997-04-18 2002-09-03 Sandvik Ab Multiskiktbelagt skärverktyg
JP4185172B2 (ja) 1997-06-19 2008-11-26 住友電工ハードメタル株式会社 被覆硬質工具
JP3343727B2 (ja) * 1999-05-19 2002-11-11 日立ツール株式会社 硬質皮膜被覆工具
JP3417907B2 (ja) * 2000-07-13 2003-06-16 日立ツール株式会社 多層皮膜被覆工具
ATE545718T1 (de) * 2000-12-28 2012-03-15 Kobe Steel Ltd Verwendung eines targets zur lichtbogenionenplattierung für die herstellung eines hartfilms
JP3454428B2 (ja) * 2001-05-11 2003-10-06 日立ツール株式会社 耐摩耗皮膜被覆工具
JP3948013B2 (ja) * 2001-12-11 2007-07-25 三菱マテリアル株式会社 硬質被覆層がすぐれた耐熱性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具
SE526338C2 (sv) * 2002-09-04 2005-08-23 Seco Tools Ab Skär med utskiljningshärdad slitstark refraktär beläggning
SE526339C2 (sv) * 2002-09-04 2005-08-23 Seco Tools Ab Skär med slitstark refraktär beläggning med kompositstruktur
JP2005271190A (ja) * 2003-12-05 2005-10-06 Sumitomo Electric Hardmetal Corp 表面被覆切削工具
SE0402180D0 (sv) * 2004-09-10 2004-09-10 Sandvik Ab Deposition of Ti1-xAlxN using Bipolar Pulsed Dual Magnetron Sputtering
JP3934136B2 (ja) 2004-11-11 2007-06-20 日立ツール株式会社 硬質皮膜被覆部材及びその被覆方法
JP4373897B2 (ja) * 2004-11-25 2009-11-25 日立ツール株式会社 硬質皮膜被覆部材及びその被覆方法
JP4072155B2 (ja) * 2004-12-28 2008-04-09 住友電工ハードメタル株式会社 表面被覆切削工具およびその製造方法
WO2006070509A1 (ja) * 2004-12-28 2006-07-06 Sumitomo Electric Hardmetal Corp. 表面被覆切削工具および表面被覆切削工具の製造方法
SE528671C2 (sv) * 2005-01-31 2007-01-16 Sandvik Intellectual Property Hårdmetallskär för seghetskrävande korthålsborrning samt förfarande för att framställa detsamma
JP4702520B2 (ja) 2005-02-14 2011-06-15 三菱マテリアル株式会社 高硬度鋼の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具
SE528891C2 (sv) * 2005-03-23 2007-03-06 Sandvik Intellectual Property Skär belagt med ett multiskikt av metaloxid
US7348074B2 (en) * 2005-04-01 2008-03-25 Oc Oerlikon Balzers Ag Multilayer hard coating for tools
SE0500994L (sv) * 2005-04-29 2006-10-30 Seco Tools Ab Tunt slitstarkt skikt
US7537822B2 (en) * 2005-05-26 2009-05-26 Hitachi Tool Engineering, Ltd. Hard-coated member
SE529161C2 (sv) * 2005-06-22 2007-05-22 Seco Tools Ab Skärverktyg med kompositbeläggning för finbearbetning av härdade stål
JP2007152456A (ja) * 2005-12-02 2007-06-21 Mitsubishi Materials Corp 高硬度鋼の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具

Also Published As

Publication number Publication date
CN101209611A (zh) 2008-07-02
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