JP7226688B2 - 切削工具 - Google Patents
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Description
基材と、上記基材上に設けられている硬質層と、を備える切削工具であって、
上記硬質層は、第一単位層と第二単位層とを含み、
上記硬質層は、上記第一単位層と上記第二単位層とが交互にそれぞれ一層以上積層されており、
上記第一単位層の厚さは、2nm以上100nm以下であり、
上記第二単位層の厚さは、2nm以上100nm以下であり、
上記第一単位層は、TiaAlbBcNで表される化合物からなり、
上記第二単位層は、TidAleBfNで表される化合物からなり、
上記TiaAlbBcNにおけるチタン元素の原子比aは、0.25以上0.45未満であり、
上記TiaAlbBcNにおけるアルミニウム元素の原子比bは、0.55以上0.75未満であり、
上記TiaAlbBcNにおけるホウ素元素の原子比cは、0を超えて0.1以下であり、
上記原子比a、上記原子比b及び上記原子比cの合計は、1であり、
上記TidAleBfNにおけるチタン元素の原子比dは、0.35以上0.55未満であり、
上記TidAleBfNにおけるアルミニウム元素の原子比eは、0.45以上0.65未満であり、
上記TidAleBfNにおけるホウ素元素の原子比fは、0を超えて0.1以下であり、
上記原子比d、上記原子比e及び上記原子比fの合計は、1であり、
上記原子比a及び上記原子比dは、0.05≦d-a≦0.2を満たし、
上記原子比b及び上記原子比eは、0.05≦b-e≦0.2を満たす。
特許文献1に記載の表面被覆切削工具では、上記のような構成の硬質被覆層を有することにより、耐摩耗性が向上し、以って切削工具の寿命が長くなることが期待されている。特許文献2に記載の表面被覆切削工具では、上記のような構成の被膜を有することにより、層間剥離及び亀裂伝播が抑制され、以って切削工具の寿命が長くなることが期待されている。しかしながら、近年の切削加工においては、高速化及び高能率化が進行し、切削工具にかかる負荷が増大し、切削工具の寿命が短期化する傾向があった。このため、切削工具の被膜の機械特性(例えば、耐摩耗性、耐欠損性、耐熱性等)を更に向上させることが求められている。
上記によれば、耐欠損性に優れる切削工具を提供することが可能になる。
最初に本開示の実施態様を列記して説明する。
[1]本開示に係る切削工具は、
基材と、上記基材上に設けられている硬質層と、を備える切削工具であって、
上記硬質層は、第一単位層と第二単位層とを含み、
上記硬質層は、上記第一単位層と上記第二単位層とが交互にそれぞれ一層以上積層されており、
上記第一単位層の厚さは、2nm以上100nm以下であり、
上記第二単位層の厚さは、2nm以上100nm以下であり、
上記第一単位層は、TiaAlbBcNで表される化合物からなり、
上記第二単位層は、TidAleBfNで表される化合物からなり、
上記TiaAlbBcNにおけるチタン元素の原子比aは、0.25以上0.45未満であり、
上記TiaAlbBcNにおけるアルミニウム元素の原子比bは、0.55以上0.75未満であり、
上記TiaAlbBcNにおけるホウ素元素の原子比cは、0を超えて0.1以下であり、
上記原子比a、上記原子比b及び上記原子比cの合計は、1であり、
上記TidAleBfNにおけるチタン元素の原子比dは、0.35以上0.55未満であり、
上記TidAleBfNにおけるアルミニウム元素の原子比eは、0.45以上0.65未満であり、
上記TidAleBfNにおけるホウ素元素の原子比fは、0を超えて0.1以下であり、
上記原子比d、上記原子比e及び上記原子比fの合計は、1であり、
上記原子比a及び上記原子比dは、0.05≦d-a≦0.2を満たし、
上記原子比b及び上記原子比eは、0.05≦b-e≦0.2を満たす。
上記(002)面のX線回折ピークの半価幅が2度以上であることが好ましい。このように規定することで、上記切削工具は更に優れた耐欠損性を有することが可能になる。また、上記切削工具は更に優れた耐熱性を有することが可能になる。
以下、本開示の一実施形態(以下「本実施形態」と記す。)について説明する。ただし、本実施形態はこれに限定されるものではない。本明細書において「A~Z」という形式の表記は、範囲の上限下限(すなわちA以上Z以下)を意味し、Aにおいて単位の記載がなく、Zにおいてのみ単位が記載されている場合、Aの単位とZの単位とは同じである。さらに、本明細書において、例えば「TiN」等のように、構成元素の組成比が限定されていない化学式によって化合物が表された場合には、その化学式は従来公知のあらゆる組成比(元素比)を含むものとする。このとき上記化学式は、化学量論組成のみならず、非化学量論組成も含むものとする。例えば「TiN」の化学式には、化学量論組成「Ti1N1」のみならず、例えば「Ti1N0.8」のような非化学量論組成も含まれる。このことは、「TiN」以外の化合物の記載についても同様である。
基材と、上記基材上に設けられている硬質層と、を備える切削工具であって、
上記硬質層は、第一単位層と第二単位層とを含み、
上記硬質層は、上記第一単位層と上記第二単位層とが交互にそれぞれ一層以上積層されており、
上記第一単位層の厚さは、2nm以上100nm以下であり、
上記第二単位層の厚さは、2nm以上100nm以下であり、
上記第一単位層は、TiaAlbBcNで表される化合物からなり、
上記第二単位層は、TidAleBfNで表される化合物からなり、
上記TiaAlbBcNにおけるチタン元素の原子比aは、0.25以上0.45未満であり、
上記TiaAlbBcNにおけるアルミニウム元素の原子比bは、0.55以上0.75未満であり、
上記TiaAlbBcNにおけるホウ素元素の原子比cは、0を超えて0.1以下であり、
上記原子比a、上記原子比b及び上記原子比cの合計は、1であり、
上記TidAleBfNにおけるチタン元素の原子比dは、0.35以上0.55未満であり、
上記TidAleBfNにおけるアルミニウム元素の原子比eは、0.45以上0.65未満であり、
上記TidAleBfNにおけるホウ素元素の原子比fは、0を超えて0.1以下であり、
上記原子比d、上記原子比e及び上記原子比fの合計は、1であり、
上記原子比a及び上記原子比dは、0.05≦d-a≦0.2を満たし、
上記原子比b及び上記原子比eは、0.05≦b-e≦0.2を満たす。
本実施形態の基材は、この種の基材として従来公知のものであればいずれのものも使用することができる。例えば、上記基材は、超硬合金(例えば、炭化タングステン(WC)基超硬合金、WCの他にCoを含む超硬合金、WCの他にCr、Ti、Ta、Nb等の炭窒化物を添加した超硬合金等)、サーメット(TiC、TiN、TiCN等を主成分とするもの)、高速度鋼、セラミックス(炭化チタン、炭化珪素、窒化珪素、窒化アルミニウム、酸化アルミニウム等)、立方晶型窒化硼素焼結体(cBN焼結体)及びダイヤモンド焼結体からなる群から選ばれる1種を含むことが好ましい。
本実施形態に係る被膜は、上記基材上に設けられている。「被膜」は、上記基材の少なくとも一部(例えば、すくい面の一部)を被覆することで、切削工具における耐熱性、耐欠損性、耐摩耗性等の諸特性を向上させる作用を有するものである。上記被膜は、上記基材の全面を被覆することが好ましい。しかしながら、上記基材の一部が上記被膜で被覆されていなかったり被膜の構成が部分的に異なっていたりしていたとしても本実施形態の範囲を逸脱するものではない。上記被膜は、第一単位層と第二単位層とを有する硬質層を含む。
本実施形態に係る硬質層20は、第一単位層21と、第二単位層22とを含む(図2)。上記硬質層20は、上記第一単位層21と上記第二単位層22とが交互にそれぞれ一層以上積層されている(図2、図3、図6)。上記硬質層は、上記第一単位層21から始まっていてもよいし、上記第二単位層から始まっていてもよい。上記硬質層20は、本実施形態に係る切削工具が奏する効果を維持する限り、上記基材11の直上に設けられていてもよいし(図2、図3)、下地層31等の他の層を介して上記基材11の上に設けられていてもよい(図6)。上記硬質層20は、切削工具が奏する効果を維持する限り、その上に表面層32等の他の層が設けられていてもよい(図6)。また、上記硬質層20は、上記被膜40の表面に設けられていてもよい。
上記硬質層における(002)面のX線回折ピークの強度I(002)に対する(200)面のX線回折ピークの強度I(200)の比I(200)/I(002)が、2以上であり、
上記(002)面のX線回折ピークの半価幅が2度以上であることが好ましい。ここで、「(200)面のX線回折ピークの強度I(200)」とは、(200)面に由来するX線回折ピークのうち、最も高いピークにおける回折強度(ピークの高さ)を意味する。「(002)面のX線回折ピークの強度I(002)」についても同様である。
本実施形態において、室温における上記硬質層の硬度Hは、30GPa以上であることが好ましく、30GPa以上50GPa以下であることがより好ましく、35GPa以上45GPa以下であることが更に好ましい。
上記第一単位層の厚さは、2nm以上100nm以下であり、2nm以上50nm以下であることが好ましく、2nm以上10nm以下であることがより好ましい。上記第一単位層の厚さ及び後述する第二単位層の厚さは、電子エネルギー損失分光法(EELS)を用いた分析によって求められる。具体的には、まず上述の断面サンプルにおける走査透過電子顕微鏡像(STEM像)において、上記硬質層の積層方向に平行な方向に沿ってAlに対応する強度プロファイルを測定する。このとき、上記強度プロファイルは、X軸(横軸)を上記硬質層上の測定開始点からの距離とし、Y軸(縦軸)を強度(原子に起因する明るさ)とした折れ線グラフとして表される。次に得られたグラフにおいて、Alに対応する折れ線グラフの極大値を示す点と、次の極大値を示す点との距離を求める。求められた距離は、第一単位層の厚さと第二単位層の厚さとの合計厚さを意味している。このようにして求められた各合計厚さを少なくとも4カ所算出し、それの平均値を求め、求められた平均値を2で除した値を第一単位層及び第二単位層それぞれの厚さとする。
上記第二単位層の厚さは、2nm以上100nm以下であり、2nm以上50nm以下であることが好ましく、2nm以上10nm以下であることがより好ましい。
本実施形態の効果を損なわない限り、上記被膜は、他の層を更に含んでいてもよい。上記他の層としては、例えば、上記基材と上記硬質層との間に設けられている下地層及び上記硬質層上に設けられている表面層等が挙げられる。また、上記被膜が第一の硬質層と第二の硬質層とを含む場合における上記第一の硬質層と上記第二の硬質層との間に設けられている中間層が挙げられる。
本実施形態に係る切削工具の製造方法は、
上記基材を準備する工程(以下、「第1工程」という場合がある。)と、
物理的蒸着法を用いて、上記基材上に第一単位層と第二単位層とを交互にそれぞれ1層以上積層して、上記硬質層を形成する工程(以下、「第2工程」という場合がある。)と、を含む。
第1工程では基材を準備する。例えば、基材として超硬合金基材、又は立方晶窒化ホウ素焼結体が準備される。超硬合金基材及び立方晶窒化ホウ素焼結体は、市販の基材を用いてもよく、一般的な粉末冶金法で製造してもよい。例えば、一般的な粉末冶金法で超硬合金を製造する場合、まず、ボールミル等によってWC粉末とCo粉末等とを混合して混合粉末を得る。当該混合粉末を乾燥した後、所定の形状に成形して成形体を得る。さらに当該成形体を焼結することにより、WC-Co系超硬合金(焼結体)を得る。次いで当該焼結体に対して、ホーニング処理等の所定の刃先加工を施すことにより、WC-Co系超硬合金からなる基材を製造することができる。第1工程では、上記以外の基材であっても、この種の基材として従来公知のものであればいずれも準備可能である。
第2工程では、物理的蒸着法を用いて、上記基材上に第一単位層と第二単位層とを交互にそれぞれ1層以上積層して、上記硬質層を形成する。その方法としては、形成しようとする硬質層の組成に応じて、各種の方法が用いられる。例えば、チタン(Ti)、アルミニウム(Al)及びホウ素(B)等の粒径をそれぞれ変化させた合金製ターゲットを使用する方法、それぞれ組成の異なる複数のターゲットを使用する方法、成膜時に印可するバイアス電圧をパルス電圧とする方法、成膜時にガス流量を変化させる方法、又は、成膜装置において基材を保持する基材ホルダの回転速度を調整する方法等を挙げることができる。
上記第2工程において、第一単位層の原料は、チタン、アルミニウム、及びホウ素を含み、例えば、ホウ化チタン、金属アルミニウム、ホウ化チタンアルミニウム等が挙げられる。上記第一単位層の原料の配合組成は、目的とする第一単位層の組成に応じて適宜調整が可能である。上記第一単位層の原料は、粉末状であってもよいし、平板状であってもよい。
上記第2工程において、第二単位層の原料は、チタン、アルミニウム、及びホウ素を含例えば、金属チタン、ホウ化アルミニウム、ホウ化チタンアルミニウム等が挙げられる。上記第二単位層の原料の配合組成は、目的とする第二単位層の組成に応じて適宜調整が可能である。上記第二単位層の原料の配合組成は、上記第一単位層の原料の配合組成と異なることが好ましい。上記第二単位層の原料は、粉末状であってもよいし、平板状であってもよい。
本実施形態に係る製造方法では、上述した工程の他にも、第1工程と第2工程との間に、上記基材の表面をイオンボンバードメント処理する工程、基材と上記硬質層との間に下地層を形成する工程、上記硬質層の上に表面層を形成する工程、第一の硬質層と第二の硬質層との間に中間層を形成する工程及び、表面処理する工程等を適宜行ってもよい。
<基材の準備>
まず、被膜を形成させる対象となる基材として、転削加工用刃先交換型切削チップP(JIS規格 P30相当超硬合金、SEMT13T3AGSN)及び転削加工用刃先交換型切削チップK(JIS規格 K30相当超硬合金、SEMT13T3AGSN)を準備した(第1工程)。
後述する被膜の作製に先立って、以下の手順で上記基材の表面にイオンボンバードメント処理を行った。まず、上記基材をアークイオンプレーティング装置にセットした。次に、以下の条件によってイオンボンバードメント処理を行った。
ガス組成 : Ar(100%)
ガス圧 : 0.5Pa
バイアス電圧: 600V(直流電源)
処理時間 : 60分
イオンボンバードメント処理を行った上記基材の表面上に、表2-1~表2-3に示される硬質層(多層構造、又は単層)を形成することによって、被膜を作製した。以下、硬質層の作製方法について説明する。
試料1~22、試料102~104、及び試料106~109においては、基材(転削加工用刃先交換型切削チップP及び転削加工用刃先交換型切削チップK)をチャンバ内の中央で回転させた状態で、反応ガスとして窒素ガスを導入した。さらに、基材を温度550℃に、反応ガス圧を8Pa(窒素ガスの分圧:8Pa)に維持し、バイアス電源の電圧を35~180Vの範囲で徐々に変化させながら第一単位層形成用の蒸発源及び第二単位層形成用の蒸発源にそれぞれ90Aのアーク電流を交互に供給した。これにより、第一単位層形成用の蒸発源及び第二単位層形成用の蒸発源からそれぞれ金属イオンを発生させ、所定の時間が経過したところでアーク電流の供給を止めて、基材の表面上に表2-1~表2-3に示す組成の硬質層を形成した(第2工程)。ここで、第一単位層形成用の蒸発源及び第二単位層形成用の蒸発源は、それぞれ表1-1及び表1-2に示す原料組成のものを用いた。このとき硬質層は、表2-1~表2-3に示す組成を有する第一単位層及び第二単位層を、表2-1~表2-3に示す厚さを有するように基材の回転速度を調整しながら、それぞれ1層ずつ交互に積層することによって作製した。表2-1~表2-3における硬質層の組成は、上述したように断面サンプルをTEMに付帯のエネルギー分散型X線分光法(TEM-EDX)で、硬質層の全体を元素分析することによって求めた。このときの観察倍率は、20000倍であった。
上述のようにして作製した試料1~22及び試料101~109の切削工具を用いて、以下のように、切削工具の各特性を評価した。なお、試料1~22の切削工具は実施例に対応し、試料101~109の切削工具は比較例に対応する。
被膜の厚さ(すなわち、硬質層の厚さ)は、透過型電子顕微鏡(TEM)(日本電子株式会社製、商品名:JEM-2100F)を用いて、基材の表面の法線方向に平行な断面サンプルにおける任意の10点を測定し、測定された10点の厚さの平均値をとることで求めた。結果を表2-1及び表2-2に示す。
第一単位層及び第二単位層それぞれの厚さは、EELSを用いた分析によって求めた。具体的には、上述の測定によって得られたSTEM像において、上記硬質層の積層方向に平行な方向に沿ってAlに対応する強度プロファイルを測定した。上記強度プロファイルは、X軸(横軸)を上記硬質層上の測定開始点からの距離とし、Y軸(縦軸)を強度(原子に起因する明るさ)とした折れ線グラフとして表した。得られたグラフにおいて、Alに対応する折れ線グラフの極大値を示す点と、次の極大値を示す点との距離を求めた。求められた距離は、第一単位層の厚さと第二単位層の厚さとの合計厚さを意味している。このようにして求められた各合計厚さを少なくとも4カ所算出し、それの平均値を求め、求められた平均値を2で除した値を第一単位層及び第二単位層それぞれの厚さとした。結果を表2-1及び表2-2に示す。
硬質層についてX線回折分析法(XDR分析法)による分析を行って、(200)面及び(002)面それぞれのX線回折強度I(200)、及びI(002)を求めた。X線回折分析の条件を以下に示す。求められたI(200)/I(002)、及びI(002)のピーク半価幅を表3-1及び表3-2に示す。
X線回折分析の条件
走査軸:2θ-θ
X線源:Cu-Kα線(1.541862Å)
検出器:0次元検出器(シンチレーションカウンタ)
管電圧:45kV
管電流:40mA
入射光学系:ミラーの利用
受光光学系:アナライザ結晶(PW3098/27)の利用
ステップ:0.03°
積算時間:2秒
スキャン範囲(2θ):20°~80°
「ISO 14577-1: 2015 Metallic materials-Instrumented indentation test for hardness and materials parameters-」において定められている標準手順によるナノインデンテーション法によって、各切削工具における硬質層の硬度Hとヤング率Eとを測定した。ここで、圧子の押し込み深さは100nmに設定した。圧子の押し込み荷重は、1gとした。測定温度は、室温(25℃)とした。また、サンプルは、上記硬質層の断面積が上記圧子の面積に対して10倍の広さを確保できるように鏡面加工した断面サンプルを用いた。測定装置は、株式会社エリオニクス製のENT-1100a(商品名)を用いた。上記測定は、10個の断面サンプルについて行い、それぞれのサンプルで求められた硬度及びヤング率の平均値を、当該硬質層の硬度H及びヤング率Eとした。なお、一見して異常値と思われるデータについては、除外した。また、上記ヤング率Eに対する上記硬度Hの比H/Eも求めた。結果を表3-1及び表3-2に示す。
<切削評価(1)>
得られた切削工具(転削加工用刃先交換型切削チップP)を用いて、以下に示す切削条件にて切削加工(切削距離:900mm)を行った。その後、光学顕微鏡を用いて、切削工具の刃先における破損の有無を観察した。同様の切削試験を10回行い、刃先の破損率(%)を算出した。以下の切削条件による切削加工において、切削工具の刃先には衝撃による負荷が繰り返しかかると考えられる。そのため、上記破損率が低い切削工具は、耐欠損性に優れると評価できる。結果を表4-1及び表4-2に示す。
(切削条件)
被削材:S50C(中心距離18mm間隔でΦ8の穴が存在している)
切削速度:160m/min.
送り量:0.65mm/t
切込み(軸方向):2.5mm
切込み(径方向):工具径の100%
乾式
<切削評価(2)>
得られた切削工具(転削加工用刃先交換型切削チップK)を用いて、以下に示す切削条件にて切削加工を行ない、刃先の切り込み境界付近の逃げ面欠損幅が0.5mmになるまでの切削距離を測定した。結果を表4-1及び表4-2に示す。表4-1及び表4-2において、切削距離の長い方がより耐欠損性に優れていることを示している。
(切削条件)
被削材:インコネル718(形状:角材)
切削速度:30m/min.
送り量:0.35mm/t
切込み(軸方向):2mm
切込み(径方向):工具径の70%
湿式
切削評価(1)の結果から、試料1~22の切削工具は、破損率が80%以下であり、良好な結果が得られた。一方、試料101~109の切削工具は、破損率が90%以上であった。以上の結果から、実施例に係る試料1~22の切削工具は、耐欠損性に優れることが分かった(表4-1及び表4-2)。
Claims (4)
- 基材と、前記基材上に設けられている硬質層と、を備える切削工具であって、
前記硬質層は、第一単位層と第二単位層とを含み、
前記硬質層は、前記第一単位層と前記第二単位層とが交互にそれぞれ一層以上積層されており、
前記第一単位層の厚さは、2nm以上100nm以下であり、
前記第二単位層の厚さは、2nm以上100nm以下であり、
前記第一単位層は、TiaAlbBcNで表される化合物からなり、
前記第二単位層は、TidAleBfNで表される化合物からなり、
前記TiaAlbBcNにおけるチタン元素の原子比aは、0.25以上0.45未満であり、
前記TiaAlbBcNにおけるアルミニウム元素の原子比bは、0.55以上0.75未満であり、
前記TiaAlbBcNにおけるホウ素元素の原子比cは、0を超えて0.1以下であり、
前記原子比a、前記原子比b及び前記原子比cの合計は、1であり、
前記TidAleBfNにおけるチタン元素の原子比dは、0.35以上0.55未満であり、
前記TidAleBfNにおけるアルミニウム元素の原子比eは、0.45以上0.65未満であり、
前記TidAleBfNにおけるホウ素元素の原子比fは、0を超えて0.1以下であり、
前記原子比d、前記原子比e及び前記原子比fの合計は、1であり、
前記原子比a及び前記原子比dは、0.05≦d-a≦0.2を満たし、
前記原子比b及び前記原子比eは、0.05≦b-e≦0.2を満たし、
前記硬質層における(002)面のX線回折ピークの強度I(002)に対する(200)面のX線回折ピークの強度I(200)の比I(200)/I(002)が、2以上10以下であり、
前記(002)面のX線回折ピークの半価幅が2度以上であり、
前記(002)面のX線回折ピークの強度I (002) は、前記硬質層における六方晶の結晶に由来し、
前記(200)面のX線回折ピークの強度I (200) は、前記硬質層における立方晶の結晶に由来し、
前記硬質層において前記立方晶の柱状晶と前記六方晶の柱状晶との混晶が形成されている、切削工具。 - 室温における前記硬質層の硬度Hは、30GPa以上である、請求項1に記載の切削工具。
- 室温における前記硬質層のヤング率Eに対する前記硬質層の硬度Hの比H/Eは、0.07以上である、請求項2に記載の切削工具。
- 前記硬質層の厚さは、1μm以上20μm以下である、請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の切削工具。
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007038378A (ja) | 2005-08-05 | 2007-02-15 | Mitsubishi Materials Corp | 難削材の高速切削加工で硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具 |
JP2011224717A (ja) | 2010-04-20 | 2011-11-10 | Mitsubishi Materials Corp | 表面被覆切削工具 |
JP2019005867A (ja) | 2017-06-26 | 2019-01-17 | 三菱マテリアル株式会社 | 硬質被覆層がすぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具 |
WO2019035220A1 (ja) | 2017-08-15 | 2019-02-21 | 三菱日立ツール株式会社 | 被覆切削工具 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4720989B2 (ja) * | 2005-07-29 | 2011-07-13 | 三菱マテリアル株式会社 | 合金鋼の高速歯切加工で硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆超硬合金製歯切工具 |
JP5594575B2 (ja) | 2010-04-20 | 2014-09-24 | 三菱マテリアル株式会社 | 硬質被覆層がすぐれた耐摩耗性を発揮する表面被覆切削工具 |
US9103036B2 (en) * | 2013-03-15 | 2015-08-11 | Kennametal Inc. | Hard coatings comprising cubic phase forming compositions |
US9849532B2 (en) * | 2014-06-12 | 2017-12-26 | Kennametal Inc. | Composite wear pad and methods of making the same |
CN107530786B (zh) * | 2015-04-27 | 2020-05-05 | 株式会社泰珂洛 | 被覆切削工具 |
JP6222675B2 (ja) * | 2016-03-28 | 2017-11-01 | 住友電工ハードメタル株式会社 | 表面被覆切削工具、およびその製造方法 |
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