KR101485936B1 - 공기분출장치 - Google Patents

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토모유키 가키누마
타케토 스즈키
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Abstract

본 발명은 공기분출장치를 횡렬 및/또는 종렬로 하여 사용할 때, 장치와 장치 사이에 하류측을 향한 일정한 공기류를 얻을 수 있는 공기분출장치를 제공하는 것을 과제로 한다. 분출장치(1)에는 정류기구부의 하류측에 통기성 전면부(11f)가 형성되고, 통기성 전면부(11f)의 양측둘레에는 장치(1)의 상류를 향하여 넓어지는 측면부(11a)가 형성된다. 통기성 전면부(11f)에는 제 1 통기구멍(70a)이 분포하고, 측면부(11a)에는 제 2 통기구멍(70b)이 분포하고 있다.

Description

공기분출장치{Air Blowing Device}
본 발명은, 공기의 일정한 흐름을 공급할 수 있는 공기분출장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 적어도 2대를 횡렬이나 종렬로 하여 사용하기에 적합한 상기 장치에 관한 것이다.
종래, 국소적인 작업공간의 공기청정도를 향상시키기 위하여 사용하는 클린벤치나 국소적인 작업공간에서 발생하는 유해물질을 그 작업공간이나 주변 공간으로 확산시키지 않고 포집하기 위하여 사용하는 푸시·풀형 환기장치는 주지이다. 또한, 이러한 클린벤치나 환기장치에 사용할 수 있는 공기분출장치도 주지이다.
예를 들어, 일본공개특허공보 2003-004287호(특허문헌 1)에 개시된 일정한 공기류 분출장치는, 중공(中空)의 케이스체의 전면(前面)측에 공기분출면을 가진다. 공기분출면의 후방에는, 복수의 분배판이 설치되어 있다. 이러한 장치에 유입된 공기는, 분배판 사이를 빠져나간 후에 공기분출면으로부터 일정한 공기류가 되어 분출된다.
일본공개특허공보 2008-075945호(특허문헌 2)에 개시된 국소 청정화 장치는, 클린룸 안을 국소적으로 청정화하기 위하여 사용하는 것으로, 공기분출유닛이 탑재된 분출장치와, 공기흡입유닛이 탑재된 흡입장치를 구비하고 있다. 이러한 두 개의 장치는, 청정화해야 할 클린룸 안의 국소부분을 사이에 끼우도록 배치된다.
또한, 일본공개특허 2008-275266호(특허문헌 3)에 개시된 국소 공기청정화 장치에서는, 청정화된 공기의 일정한 공기류를 분출할 수 있는 한 쌍의 푸시 후드가 그 공기를 분출하기 위한 공기류 개구면을 대향시키도록 하여 사용된다. 즉, 한 쌍의 푸시 후드는 각각으로부터의 공기류가 충돌하는 상태로 사용된다.
일정한 공기류 또는 청정공기의 일정한 공기류가 흐르는 작업공간을 넓은 실내에 있어서 국소적으로 만들 수 있는 종래의 분출장치는, 그 사용을 쉽게 하거나, 이동을 쉽게 하기 위하여 비교적 소형으로 수용자에게 공급되는 경우가 많다. 한편, 작업의 종류나 작업의 진행방법에 따라서는, 1대 또는 한 쌍의 분출장치가 만드는 작업공간으로는 넓이가 부족한 경우가 있다. 하지만, 종래의 분출장치에서는, 그것을 횡렬로 하여 사용하여도, 횡렬로 된 장치가 접하는 부분과 그 근방의 하류측에는, 일정한 공기류가 공급되지 않는 공간이나, 청정공기가 얻어지지 않는 공간이 발생하는 것을 피하기 어렵다. 그러한 공간은, 그것이 비록 작업공간의 극히 일부라고 하여도 작업공간으로서 사용하기에는 부적합하다.
그래서, 본 발명에서는, 분출장치를 횡렬 및/또는 종렬로 하여 사용하였을 때, 장치와 장치 사이에도 하류측을 향한 일정한 공기류 또는 청정공기의 일정한 공기류를 얻을 수 있도록, 종래의 분출장치에 개량을 추가하는 것을 과제로 하고 있다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명은, 제 1 발명과 제 2 발명을 포함하고 있다. 제 1 발명이 대상으로 하는 것은, 상류측에서 하류측을 향하는 공기의 유로에 정류기구부가 설치되고, 상기 공기가 상기 정류기구부를 통과한 후에 상기 정류기구부의 하류측에 일정한 공기류가 되어 공급되는 것을 가능하게 하는 공기분출장치이다.
이러한 공기분출장치에 있어서, 제 1 발명이 특징으로 하는 것은 다음과 같다. 즉, 상기 장치는 상기 일정한 공기류의 흐름방향과 일치하며 상기 하류측을 전방으로 하는 전후방향과, 상기 전후방향에 직교하는 폭방향과, 상기 전후방향과 상기 폭방향에 직교하는 상하방향을 가진다. 상기 장치에는 상기 정류기구부의 하류측에 상기 폭방향과 상기 상하방향에 복수의 제 1 통기구멍이 분포하는 통기성 전면부와, 상기 통기성 전면부의 상기 폭방향 양측 각각에 있어서 상기 상하방향으로 연장되는 상기 통기성 전면부의 측둘레에서 상기 상류측을 향하여 넓어지는 측면부가 형성된다. 상기 폭방향 양측의 적어도 한쪽에서의 상기 측면부에는 복수의 제 2 통기구멍이 분포하고, 상기 제 2 통기구멍으로부터는 상기 정류기구부를 통과한 상기 공기의 일부를 상기 폭방향의 바깥측으로 분출할 수 있다.
제 1 발명의 실시형태의 하나에 있어서, 상기 통기성 전면부는 상기 정류기구부의 양측의 적어도 한쪽을 넘어서 상기 폭방향으로 연장되어 있다.
제 1 발명의 실시형태의 다른 하나에 있어서, 상기 측면부 중에서 상기 제 2 통기구멍이 분포하고 있는 부분은, 상기 통기성 전면부를 형성하고 있는 판재료가 상기 측둘레에 있어서 상기 상류측을 향하여 꺾어짐으로써 형성되어 있다.
제 1 발명의 실시형태의 다른 하나에 있어서, 상기 제 1, 제 2 통기구멍의 구멍직경이 0.5~4㎜의 범위에 있고, 상기 통기성 전면부의 면적 10㎠에 대하여 상기 제 1 통기구멍이 차지하는 면적의 비율 및 상기 측면부의 면적 10㎠에 대하여 상기 제 2 통기구멍이 차지하는 면적의 비율이 20~50%이다,
제 1 발명의 실시형태의 다른 하나에 있어서, 이웃하는 상기 제 1 통기구멍의 중심간 거리 및 이웃하는 상기 제 2 통기구멍의 중심간 거리가 1~6㎜의 범위에 있다.
제 1 발명의 실시형태의 다른 하나에 있어서, 상기 통기성 전면부가 상기 상하방향에 있어서 상기 폭방향으로 연장되는 상단둘레와 하단둘레 중 적어도 한쪽 단둘레를 가지고, 상기 적어도 한쪽 단둘레에는, 상기 통기성 전면부와 교차하여 상기 상류측을 향하여 넓어지는 단면부가 형성되며, 상기 단면부에는 복수의 제 3 통기구멍이 분포하고, 상기 제 3 통기구멍으로부터는 상기 정류기구부를 통과한 상기 공기의 일부를 상기 상하방향의 바깥측으로 분출할 수 있다.
제 1 발명의 실시형태의 다른 하나에 있어서, 상기 통기성 전면부가 상기 상하방향에 있어서 상기 폭방향으로 연장되는 상단둘레와 하단둘레 중 적어도 한쪽의 단둘레를 가지고, 상기 적어도 한쪽의 단둘레에는, 상기 통기성 전면부와 교차하여 상기 상류측을 향하여 넓어지는 단면부가 형성되며, 상기 정류기구부와 상기 통기성 전면부 사이에는, 상기 상하방향으로 연장되는 양측벽부 및 상기 양측벽부 각각의 상기 상하방향에서의 단부로 이어지는 상기 폭방향으로 연장되는 꼭대기면부와 바닥면부를 가지는 스페이서가 개재되고, 상기 양측벽부 사이에서의 상기 폭방향의 안쪽 치수는, 상기 하류측으로 갈수록 상기 정류기구부의 상기 폭방향의 치수보다 점차 커져 있으며, 상기 양측벽부 각각이 상기 측면부의 적어도 일부분을 형성하고, 상기 꼭대기면부와 상기 바닥면부가 상기 장치에서의 상기 단면부의 적어도 일부분을 형성하며, 상기 통기성 전면부는 상기 양측둘레와 상기 상하단둘레에 있어서 상기 스페이서의 상기 양측벽부와 상기 꼭대기면부와 상기 바닥면부의 각각으로 이어지고, 상기 양측벽부의 적어도 한쪽에는 복수의 상기 제 2 통기구멍이 형성되어 있다.
제 1 발명의 실시형태의 다른 하나에 있어서, 상기 스페이서가 상기 장치에 있어서 제거 가능하다.
제 1 발명의 실시형태의 다른 하나에 있어서, 상기 스페이서와 상기 통기성 전면부가 서로 제거 가능하다.
제 1 발명의 실시형태의 다른 하나에 있어서, 상기 통기성 전면부가 상기 상하방향에 있어서 상기 폭방향으로 연장되는 상단둘레와 하단둘레 중 적어도 한쪽의 단둘레를 가지고, 상기 적어도 한쪽의 단둘레에는, 상기 통기성 전면부와 교차하여 상기 상류측을 향하여 넓어지는 단면부가 형성되며, 상기 정류기구부와 상기 통기성 전면부 사이에는, 상기 상하방향으로 연장되는 양측벽부 및 상기 양측벽부 각각의 상기 상하방향에서의 단부로 이어져서 상기 폭방향으로 연장되는 꼭대기면부와 바닥면부를 가지는 스페이서가 개재되고, 상기 꼭대기면부 및 상기 바닥면부 중 적어도 한쪽에는 복수의 상기 제 3 통기구멍이 형성되어 있다.
제 1 발명의 실시형태의 다른 하나에 있어서, 상기 장치는, 상기 폭방향으로 늘어서서 이웃하는 복수의 상기 장치 중 1대로서, 상기 제 2 통기구멍으로부터는, 이웃하는 상대방의 상기 장치의 상기 측면부를 향하여 상기 정류기구부를 통과한 상기 공기의 일부를 분출하는 것이 가능하다.
제 1 발명의 실시형태의 다른 하나에 있어서, 상기 장치는, 상기 통기성 전면부가 상기 상하방향에 있어서 상기 폭방향으로 연장되는 상단둘레와 하단둘레 중 적어도 한쪽의 단둘레를 가지고, 상기 적어도 한쪽의 단둘레에는, 상기 통기성 전면부와 교차하여 상기 상류측을 향하여 넓어지는 단면부가 형성되며, 상기 단면부에는, 복수의 제 3 통기구멍이 분포하고 있고, 상기 폭방향과 상기 상하방향으로 늘어서서 이웃하는 복수의 상기 장치의 1대이며, 상기 제 2 통기구멍 및 상기 제 3 통기구멍으로부터는, 상기 폭방향에 있어서 이웃하는 상대방의 상기 장치의 상기 측면부 및 상기 상하방향에 있어서 이웃하는 상대방 상기 장치의 상기 단면부를 향하여 상기 정류기구부를 통과한 상기 공기의 일부를 분출하는 것이 가능하다.
본 발명 중 제 2 발명이 대상으로 하는 것은, 상류측에서 하류측을 향하는 공기의 유로에 정류기구부가 설치되고, 상기 공기가 상기 정류기구부를 통과한 후에 상기 정류기구부의 하류측에 일정한 공기류가 되어 공급되는 것을 가능하게 하는 공기분출장치이다.
이러한 분출장치에 있어서, 제 2 발명이 특징으로 하는 것은 다음과 같다. 즉, 상기 장치는, 상기 일정한 공기류의 흐름 방향에 일치하며 상기 하류측을 전방으로 하는 전후방향과, 상기 전후방향에 직교하는 폭방향과, 상기 전후방향과 상기 폭방향에 직교하는 상하방향을 가진다. 상기 장치에는, 상기 정류기구부의 하류측에, 상기 폭방향과 상기 상하방향에 복수의 제 1 통기구멍이 분포하는 통기성 전면부와, 상기 통기성 전면부의 상기 상하방향에 있어서 상기 폭방향으로 연장되는 상단둘레와 하단둘레 중 적어도 한쪽의 단둘레로부터 상기 통기성 전면부와 교차하여 상기 상류측을 향하여 넓어지는 상기 장치의 단면부가 형성되어 있다. 상기 단면부에는 상기 유로로 이어지는 복수의 제 3 통기구멍이 분포하고, 상기 제 3 통기구멍으로부터는 상기 정류기구부를 통과한 상기 공기의 일부를 상기 상하방향의 바깥측으로 분출하는 것이 가능하다.
제 2 발명의 실시형태의 하나에 있어서, 상기 제 1, 제 3 통기구멍의 구멍직경이 0.5~4㎜의 범위에 있고, 상기 통기성 전면부의 면적 10㎠에 대하여 상기 제 1 통기구멍이 차지하는 면적의 비율 및 상기 단면부의 면적 10㎠에 대하여 상기 제 3 통기구멍이 차지하는 면적의 비율이 20~50%의 범위에 있다.
제 2 발명의 실시형태의 다른 하나에 있어서, 이웃하는 상기 제 1 통기구멍의 중심간 거리 및 이웃하는 상기 제 3 통기구멍의 중심간 거리가 1~6㎜의 범위에 있다.
제 2 발명의 실시형태의 다른 하나에 있어서, 상기 장치에는, 상기 통기성 전면부의 상기 폭방향의 양측 각각에 있어서, 상기 상하방향으로 연장되는 상기 통기성 전면부의 측둘레에서 상기 상류측을 향하여 넓어지는 측면부가 형성되고, 상기 폭방향 양측의 적어도 한쪽에서의 상기 측면부에는 복수의 제 2 통기구멍이 분포하며, 상기 제 2 통기구멍으로부터는 상기 정류기구부를 통과한 상기 공기의 일부를 상기 폭방향의 바깥쪽으로 분출하는 것이 가능하다.
제 2 발명의 실시형태의 다른 하나에 있어서, 상기 장치는, 상기 상하방향으로 늘어서서 이웃하는 복수의 상기 장치의 1대로서, 상기 제 3 통기구멍으로부터는, 이웃하는 상대방의 상기 장치의 상기 단면부를 향하여 상기 정류기구부를 통과한 상기 공기의 일부를 분출하는 것이 가능하다.
한편, 제 1, 제 2 발명의 실시형태의 하나에 있어서, 상기 통기성 전면부가 상기 장치에 있어서 설치 제거 가능한 것이다.
본 발명 중 제 1 발명에 따른 공기분출장치에서는, 상류측에서 하류측을 향하는 공기의 유로에 설치된 정류기구부의 하류측에, 그 정류기구부에서 소요 거리만큼 이간하여 복수의 제 1 통기구멍이 분포하는 통기성 전면부가 설치된다. 통기성 전면부의 측둘레에는, 이 장치에서의 측면부가 이어져 있다. 그 측면부에는, 복수의 제 2 통기구멍이 분포하고 있다. 정류기구부를 통과한 공기는, 통기성 전면부의 제 1 통기구멍을 통과하여 일정한 공기류가 되어 분출장치의 전방에 공급되는 것 이외에, 그 공기의 일부는, 통기성 전면부에 닿아 폭방향으로 확산되고, 제 2 통기구멍으로부터 폭방향의 바깥측을 향하여 분출된다. 2대의 분출장치가 간격을 두고 횡렬로 사용되고 있으면, 2대의 장치 각각의 제 2 통기구멍으로부터 분출된 공기가 충돌하여, 2대의 장치의 후방에 있는 공기가 2대의 장치 사이를 통하여 2대의 장치 전방으로 유입되는 것을 방지할 수 있다. 이러한 2대의 분출장치에서는, 횡렬로 된 분출장치의 폭방향 전체를 일정한 공기류로 채워진 작업공간으로 하거나, 청정공기의 일정한 공기류로 채워진 작업공간으로 할 수 있다.
또한, 본 발명의 제 2 발명에 따른 공기분출장치에서는, 종렬로 된 분출장치의 세로방향의 전체를 일정한 공기류로 채워진 작업공간으로 하거나, 청정공기의 일정한 공기류로 채워진 작업공간으로 할 수 있다.
도 1은 공기분출장치의 사시도이다.
도 2는 도 1의 II-II선 단면도이다.
도 3은 도 1의 III-III선 단면도이다.
도 4는 도 2의 부분확대도이다.
도 5는 도 2의 부분확대도이다.
도 6은 도 3의 부분확대도이다.
도 7은 클리어런스에서의 공기의 흐름을 모식적으로 나타내는 도면이다.
도 8은 풍속과 청정도의 측정점을 나타내는 도면이다.
도 9는 실시형태의 일례를 나타내는 도 1과 같은 도면이다.
도 10은 도 9의 X-X선 단면도이다.
도 11은 도 9의 XI-XI선 단면도이다.
도 12는 도 11의 부분확대도이다.
도 13은 실시형태의 일례를 나타내는 도 1과 같은 도면이다.
도 14는 복합장치의 일례의 꼭대기면도이다.
도 15는 푸시·푸시형 분출장치로서의 복합장치의 형태를 예시하는 도면이다.
첨부하는 도면을 참조하여 본 발명에 따른 공기분출장치를 상세하게 설명하면 다음과 같다,
도 1, 2, 3에 있어서, 도 1은 공기분출장치(1)의 사시도이고, 도 2는 도 1의 II-II선 단면도이며, 도 3은 도 1의 III-III선 단면도이다. 이들 도면의 장치(1)에 있어서, 화살표 X는 폭방향, 화살표 Y는 상하방향, 화살표 Z는 전후방향을 나타내고 있다. 장치(1)에서 전방이라고 할 때에는, 후기하는 후부(後部)(3)에서 전부(前部)(2)를 향하는 방향을 의미하고 있다.
도 1에 예시하는 공기분출장치(1)는, 전부(2)와, 후부(3)와, 꼭대기부(4)와, 바닥부(6)와, 양측부(7)를 가진다. 장치(1)는 또한, 그것을 상하방향(Y)에서 보면, 공기분출부(22)와, 그 위쪽에 위치하는 조작부(12)와, 그 아래쪽에 위치하는 외부공기 채취부(21)를 가진다. 바닥부(6)에는 장치(1)를 이동시키기 위한 캐스터(13)가 설치되어 있다.
장치(1)에 있어서, 공기는 외부공기 채취부(21)에서의 후부(3) 측으로부터 채취되어, 공기분출부(22)에서의 분출판(11)으로부터 분출된다. 분출판(11)은, 복수의 제 1 통기구멍(70a)이 분포하는 통기성 전면부(11f)와, 복수의 제 2 통기구멍(70b)이 분포하는 꺾임부(11a)를 포함하고 있다. 제 1 통기구멍(70a)으로부터는 공기가 전방으로 분출되고, 제 2 통기구멍(70b)으로부터는 공기가 폭방향(X)의 바깥측으로 분출된다. 또한, 바람직한 장치(1)에서는, 제 1 통기구멍(70a)으로부터의 공기가 일정한 공기류가 되어 분출되고, 더욱 바람직한 장치(1)에서는, 제 1 통기구멍(70a)으로부터의 공기가 청정공기에 의하여 형성되는 일정한 공기류가 되어 분출된다. 한편, 본 발명에서는, 일정한 공기류를 공기의 일정한 흐름이라고 말하는 경우도 있다. 여기에서 말하는 일정한 공기류 및 일정한 흐름은, 하야시 타로 저작 '공장환기'(공기공조·위생공학회 1982년 발행)에 기재된 일정한 흐름과 같은 의미이다. 단, 본 발명은, 공기의 유속 및 속도분포를 엄밀하게 규정한 뒤의 공기분출장치를 제공하고자 하는 것은 아니다. 도면에서의 화살표 A, B는, 상류측에서 하류측을 향하는 공기의 흐름방향을 나타내고, 화살표 C는, 상류측에서 폭방향(X)의 바깥측을 향하는 공기의 흐름방향을 나타내고 있다. 조작부(12)에서의 전부(2)에는, 공기분출장치(1)를 시동시키거나 정지시키기 위한 온·오프 스위치(12a)나 장치(1)에서의 후기하는 필터(24, 29)(도 2를 참조)의 막힘 상태를 모니터하기 위한 표시부(12b) 등이 포함되어 있다.
도 1에는 또한, 공기분출장치(1)와 같은 것이기는 하지만, 장치(1)에 대하여 폭방향(X)에 있어서 이웃하도록 횡렬로 된 상태로 사용되는 2대째 공기분출장치(1)도 나타나 있다. 단, 본 명세서에서는 설명이 번잡해지는 것을 피하기 위하여, 2대째의 분출장치에는 참조번호 101을 붙이는 경우가 있다. 즉, 도 1에 있어서, 공기분출장치(1)와 2대째 공기분출장치(101)와의 측부(7)끼리의 사이에는, 클리어런스(CL)가 형성되어 있다. 장치(1)와 장치(101)는, 동시에 운전되었을 때, 그들 장치(1, 101)의 하류측에 일정한 공기류 또는 청정공기의 일정한 공기류가 흐르는 넓은 작업공간(미도시)을 형성할 수 있는 복합장치(201)를 형성하고 있다.
도 2에는, 장치(1)의 상하방향(Y)에서의 내부구조와 장치(1)에서의 공기의 유로가 나타나 있다. 한편, 조작부(12)의 내부에는, 장치(1)를 운전하기 위하여 필요한 전기배선이나 회로기판 등이 수납되어 있는데, 그들의 도시는 생략되어 있다.
도 2에 있어서, 장치(1)의 아래쪽 부분을 형성하는 외부공기 채취부(21)는, 장치(1)의 후부(3)에 통기성의 제 1 후면 패널(23)을 가진다. 제 1 후면 패널(23)의 안쪽, 즉 제 1 후면 패널(23)의 하류측에는, 전처리 필터(24)가 제거 가능한 상태로 세팅되어 있다. 전처리 필터(24)의 하류측에는 시로코 팬(sirocco fan) 등의 외부공기 채취용의 팬(26)이 세팅되어 있다. 팬(26)은 전부(2)의 일부분을 형성하고 있는 전면 패널(27)을 제거함으로써, 점검작업이나 교환작업이 가능하게 된다. 팬(26)이 회전하면, 외부공기가 제 1 후면 패널(23)과 전처리 필터(24)를 통과하여 화살표 F1로 나타내는 흐름이 되고, 더욱이 팬(26)을 경유하여 화살표 F2로 나타내는 흐름이 되어 장치(1)의 공기분출부(22)로 진행한다.
공기분출부(22)에서는, 후부(3)가 비통기성의 제 2 후면 패널(25)로 형성되어 있다. 공기분출부(22)에서의 상류측에는, 외부공기 채취부(21)로부터의 공기의 흐름(F2)을 유입하는 제 1 스페이스(28)가 형성되어 있다. 제 1 스페이스(28)의 하류측에는 HEPA 필터를 일례로 하는 고성능 필터(29)가 제거 가능한 상태로 세팅되어 있다. 고성능 필터(29)의 하류측에는, 고성능 필터(29)를 통과한 후의 공기만을 유입하고, 그 공기를 장치(1)의 상하방향(Y)과 폭방향(X)으로 확산시킬 수 있는 제 2 스페이스(32)가 형성되어 있다. 제 2 스페이스(32)의 하류측에는 장치(1)에서의 정류기구부를 형성하는 정류유닛(33)이 공기분출부(22)의 안쪽에 제거 가능한 상태로 세팅되고, 그 정류유닛(33)에서 하류측으로 소요 거리만큼 이간된 위치에는 분출판(11)의 통기성 전면부(11a)가 위치하고 있다. 통기성 전면부(11a)는, 장치(1)에 채취된 공기가 마지막으로 통과하는 통기성 부분, 바꿔 말하면 장치(1)의 가장 앞 부분에 위치하고 있는 통기성 부분이다. 공기의 흐름(F2)은 공기분출부(22)에 있어서 흐름(F3)이 되고, 그 대부분이 통기성 전면부(11f)에서 바깥으로 일정한 공기류인 흐름(F4)이 되어 나온다. 이들 흐름(F1, F2, F3, F4)은 장치(1)에서의 공기의 대부분의 유로를 나타내는 것이기도 하다.
도 3에 있어서는, 공기분출부(22)에서의 폭방향(X)의 치수가, 고성능 필터(29), 제 2 스페이스(32), 정류유닛(33), 분출판(11)의 순서로 커지고, 제 1 스페이스(28)의 폭방향(X)의 치수(W1)가, 고성능 필터(29)의 폭방향(X)의 치수보다 커져 있다. 그러한 치수(W1)는 외부공기 채취부(21)로 이어지는 개구(20)의 치수이기도 하다. 단, 본 발명은, 폭방향(X)의 치수를 이렇게 순서를 정하는 것을 필수 요건으로 하는 것은 아니고, 그 순서는 적절히 변경할 수 있다. 도 3에 있어서, 외부공기 채취부(21)의 팬(26)에서 보내진 공기는 흐름(F2)이 되고, 개구(20)를 통하여 제 1 스페이스(28)로 진입한다(도 2를 참조). 분출판(11)은 폭방향(X)의 양측 각각에 위치하는 측둘레(15)에 있어서 장치(1)의 후부(3)를 향하여 직각으로 꺾여서 측둘레(15)에서 상류측을 향하여 넓어지는 꺾임부(11a)를 형성하고, 그 꺾임부(11a)가 장치(1)의 측부(7)의 일부분이 되어 있다. 꺾임부(11a)는 장치(1)가 놓여져 있는 수평한 바닥면(100)(도 13을 참조)에 대하여 수직이 되도록 상하방향(Y)(도 1을 참조)으로 연장되어 있다. 고성능 필터(29)에서의 상류측 면에는, 제거 가능한 고정구(29a)가 눌려 접착되어 있다.
도 4는 도 2에서의 부분(IV)의 확대도이다. 조작부(12)는 전후방향(Z)으로 수평으로 연장되는 바닥판부(12c)를 가진다. 공기분출부(22)에서는, 수직으로 연장되는 분출판(11)으로 이어져서 수평으로 연장되는 꼭대기면부(11b)가 공기분출부(22)의 상단면부를 형성하고, 그 꼭대기면부(11b)에는 바닥판부(12c)가 볼트(36)에 의하여 고정되어 있다. 공기분출부(22)의 내부에서는, 정류유닛(33)이 고정용 틀부재(37)에 끼워져서 고정되어 있다. 틀부재(37)는, 둘레벽부(38)와 전방개구부(39)를 가지고, 둘레벽부(38)에서의 두께부(38a)가 꼭대기면부(11b)에 대하여 고정된 상태이다. 분출판(11)에서의 통기성 전면부(11f)와 틀부재(37) 사이에는 제 3 스페이스(41)가 형성되고, 꼭대기면부(11b)와 둘레벽부(38) 사이에는 제 4 스페이스(42)가 형성되어 있다. 제 3 스페이스(41)에서의 전후방향(Z)의 치수(D1)는 통기성 전면부(11f)와 정류유닛(33) 사이, 구체적으로는 통기성 전면부(11f)와 정류유닛(33)에서의 후기하는 제 2 허니컴(honeycomb) 플레이트(57) 사이에 소요 치수의 클리어런스를 형성할 수 있도록 설정된 거리이고, 또한 제 4 스페이스(42)에서의 상하방향(Y)의 치수(D2)는 꼭대기면부(11b)와 정류유닛(33) 사이의 거리이다. 바람직한 장치(1)에 있어서 치수(D1)는 5~100㎜의 범위에 있고, 치수(D2)는 0.5~40㎜의 범위에 있다. 치수(D2)가 0.5㎜ 또는 그것에 가까운 값이 될 수 있는 것은, 볼트(36)가 불필요하고, 꼭대기면부(11b)와 고정용 틀부재(37)를 접촉시킬 수 있는 경우이다. 도 4에는 또한, 분출판(11)의 꺾임부(11a)의 내면과, 그 꺾임부(11a)에 형성된 제 2 통기구멍(70b)이 나타나 있다.
도 5는 도 2에서의 부분(V)의 확대도이다. 공기분출부(22)에서는, 수직으로 연장되는 통기성 전면부(11f)로 이어져서 수평으로 연장되는 비통기성의 바닥면부(11c)가 공기분출부(22)의 하단면부를 형성하고, 바닥면부(11c)와 고정용 틀부재(37)의 둘레벽부(38) 사이에는 제 5 스페이스(43)가 형성되며, 그 제 5 스페이스(43)는 제 3 스페이스(41)로 이어져 있다. 바닥면부(11c)의 내면에는 고정용 틀부재(37)의 두께부(38a)가 고정되어 있다. 제 3 스페이스(41)에 나타나 있는 꺽임부(11a)의 내면에는, 제 2 통기구멍(70b)이 형성되어 있다. 공기분출부(22)의 아래쪽에 위치하는 외부공기 채취부(21)는, 전면 패널(27)과 천판부(47)를 가지고, 천판부(47)에 있어서 위쪽으로 연장되는 핀(48)이 공기분출부(22)에서의 바닥면부(11c)의 구멍부(49)로 진입하여, 외부공기 채취부(21)에 대한 공기분출부(22)의 위치결정수단으로서 작용하고 있다. 외부공기 채취부(21)의 내부는, 팬(26)(도 2를 참조)을 설치하기 위한 리브 구조부(21a)를 가지는데, 그 구조부(21a)에 대한 상세한 설명은 생략한다.
더욱이, 도 5에 있어서, 정류유닛(33)에서는, 상류측에서 하류측을 향하여 제 1 허니컴 플레이트(51), 제 1 스페이서(52), 제 1 펀칭메탈(53), 제 2 스페이서(54), 제 2 펀칭메탈(55), 제 3 스페이서(56), 제 2 허니컴 플레이트(57)가 순서대로 늘어서서, 이들 각 부재(51~57)가 고정용 틀부재(37)에 의하여 일체적으로 보유되어 있다. 고정용 틀부재(37)는 패킹(58)을 통하여 제 2 스페이스(32)를 형성하고 있는 틀부재(59)에 밀착하고 있다. 단, 본 발명에 있어서, 정류유닛(33)의 구조는, 도시예로 한정되는 것은 아니며, 허니컴 플레이트나 스페이서, 펀칭메탈의 수를 적절히 증감할 수 있다.
제 1, 제 2 허니컴 플레이트(51, 57)는, 공기의 흐름에 대한 정류효과를 가지는 것으로서, 허니컴 구조에서의 모든 통기구멍(미도시)이 상류측에서 하류측을 향하여 연장되도록 사용되고 있어, 이들 통기구멍을 통과한 공기가 하류측을 향하여 직진한다.
제 1, 제 2, 제 3 스페이서(52, 54, 56)의 각각은, 제 1 허니컴 플레이트(51)와 제 1 펀칭메탈(53) 사이의 제 6 스페이스(61), 제 1 펀칭메탈(53)과 제 2 펀칭메탈(55) 사이의 제 7 스페이스(62), 제 2 펀칭메탈(55)과 제 2 허니컴 플레이트(57) 사이의 제 8 스페이스(63)의 각각을 형성하기 위하여 사용되고 있는 틀부재이다. 제 6, 제 7, 제 8 스페이스(61, 62, 63) 각각에서는, 하류측을 향하여 흐르는 공기가 제 1 펀칭메탈(53), 제 2 펀칭메탈(55) 및 제 2 허니컴 플레이트(57) 각각의 상류측에 있어서 장치(1)의 폭방향(X)이나 상하방향(Y)으로 확산되는 것을 가능하게 하는 스페이스가 제공되어 있다.
제 1 펀칭메탈(53)과 제 2 펀칭메탈(55)은, 폭방향(X)이나 상하방향(Y)으로 확산된 공기가 제 2 허니컴 플레이트(57)를 향하여 흐르는 것을 가능하게 하고 있다.
고성능 필터(29)를 나와 흐름(F3)(도 2를 참조)이 되어 정류유닛(33)에 진입한 공기는, 제 2 허니컴 플레이트(57)로부터 분출되어, 제 2 허니컴 플레이트(57)의 하류측에 형성된 제 3 스페이스(41)에 들어간다. 제 3 스페이스(41)에서는, 공기가 폭방향(X)과 상하방향(Y)으로 확산되어, 그 공기의 대부분이 분출판(11)에서의 통기성 전면부(11f)의 전체에서 청정공기의 일정한 공기류인 흐름(F4)(도 2를 참조)이 되어 하류방향(B)으로 분출된다. 또한, 그 공기의 일부는, 꺾임부(11a)에서의 제 2 통기구멍(70b)을 통과하여, 흐름(F5)(도 6을 참조)이 되어 도 1에 화살표(C)로 나타낸 방향인 폭방향(X)의 바깥측으로 분출된다. 제 3 스페이스(41)에서의 공기는, 제 4, 제 5 스페이스(42, 43)로도 흐르는데, 분출판(11)으로 이어지는 꼭대기면부(11b)나 바닥면부(11c)는 비통기성이므로, 공기분출부(22)에서의 공기는 분출판(11)의 통기성 전면부(11f)와 꺾임부(11a)에서만 분출된다. 한편, 제 5 스페이스(43)에서의 치수(D3)는, 바닥면부(11c)와 정류유닛(33) 사이의 거리이며, 바람직한 장치(1)에 있어서 치수(D3)는 0.5~40㎜의 범위에 있다. 치수(D3)가 0.5㎜ 또는 그것에 가까운 값이 될 수 있는 것은, 핀(48)이 제 5 스페이스(43)에 진입하고 있지 않고, 바닥면부(11c)와 정류유닛(33)을 접촉시킬 수 있는 경우이다.
도 6은, 도 3에서의 부분(VI)의 확대도로서, 통기성 전면부(11f)에서의 측둘레(15) 근방의 구조를 나타내고 있다. 도 6에 있어서, 정류유닛(33)의 하류측에 위치하는 통기성 전면부(11f)는, 정류유닛(33)에서의 제 2 허니컴 플레이트(57)를 치수(D4)만 넘어서 폭방향(X)으로 연장되고 있다. 제 2 허니컴 플레이트(57)를 통과한 공기는, 제 3 스페이스(41)에 있어서 폭방향(X)과 상하방향(Y) 중 적어도 폭방향(X)으로 확산되고, 통기성 전면부(11f)의 폭방향(X) 전체에서 분출된다. 통기성 전면부(11f)로 이어지는 꺾임부(11a)와 정류유닛(33) 사이에는 제 9 스페이스(64)가 형성되어 있으며, 그 제 9 스페이스(64)는 제 3 스페이스(41)와 제 4 스페이스(42)(도 4를 참조)와 제 5 스페이스(43)(도 5를 참조)로 이어져 있다. 측부(7)의 일부분인 꺾임부(11a)에는 치수(D5)의 범위에 제 2 통기구멍(70b)(도 4, 5를 참조)이 형성되어 있다. 제 9 스페이스(64)에 유입된 공기는 흐름(F5)이 되어 장치(1)의 외부로 나와, 이웃하는 2대째 장치(101)의 측부(7)를 향한다. 정류유닛(33)의 상류측은 패킹(58)을 통하여 틀부재(59)에 밀착하고 있다. 한편, 치수(D4)는 제 9 스페이스(64)에서의 꺾임부(11a)와 정류유닛(33) 사이의 거리이기도 하며, 바람직한 장치(1)에 있어서 치수는(D4)는 0.5~40㎜의 범위에 있다. 치수(D5)는 바람직하게는 1~40㎜의 범위에 있고, 보다 바람직하게는 3~40㎜의 범위에 있으며, 더욱 바람직하게는 5~40㎜의 범위에 있다. 치수(D5)가 3㎜ 이상일 때에는 꺾임부(11a)에 제 2 통기구멍(70b)을 형성하는 것이 용이하다.
이와 같이 형성되어 있는 장치(1)의 정류유닛(33)에 있어서, 제 1, 제 2 허니컴 플레이트(51, 57)에는, 예를 들어 허니컴 구조에서의 통기구멍의 구멍 직경이 1~10㎜의 범위에 있고, 통기구멍의 길이, 바꿔 말하면 허니컴 플레이트의 두께가 3~30㎜의 범위에 있는 것을 사용할 수 있다. 제 1, 제 2 펀칭메탈(53, 55)에는, 예를 들어 두께가 0.5~2.0㎜의 스테인리스 스틸제 플레이트나 알루미늄제 플레이트로서, 0.5~4㎜의 구멍직경을 가지는 통기구멍이 일정하게 형성되어 있고, 통기구멍이 차지하는 면적의 비율이 20~50%의 범위에 있는 것을 사용할 수 있다.
정류유닛(33)의 하류측에 위치하는 분출판(11)을 제작하기 위한 판재료의 일례에는, 0.5~2.5㎜의 두께를 가지는 스테인리스 스틸 플레이트 등의 금속 플레이트가 있다. 일반적으로 펀칭메탈이라고 불리는 금속제 개공 플레이트는, 그 금속 플레이트의 일례이다. 분출판(11)에서의 꺾임부(11a)나 꼭대기면부(11b), 바닥면부(11c)는, 분출판(11)을 제작하기 위한 금속 플레이트의 둘레부를 꺾어서 얻을 수 있는데, 분출판(11)과는 별개의 금속 플레이트를 통기성 전면부(11f)의 둘레에 용접 등에 의하여 설치함으로써 얻을 수도 있다. 또한, 분출판(11)은, 통기성 전면부(11f)만이 형성되어 있고, 꺾임부(11a)나 꼭대기면부(11b), 바닥면부(11c)가 형성되어 있지 않아도 좋다. 그때의 꺾임부(11a)나 꼭대기면부(11b), 바닥면부(11c)에 상당하는 부위는, 도 1에서의 공기분출부(22)의 측둘레부(7) 및 그 밖의 부위의 형상을 적절히 변경함으로써 보충할 수 있다.
단독으로 사용되는 장치(1) 또는 복합장치(201)로서 사용되는 장치(1)에 있서의 통기성 전면부(11f)는, 예를 들어 400×400㎜~2000×2000㎜의 크기로 만들 수 있다. 그 통기성 전면부(11f)에는, 원형의 제 1 통기구멍(70a)을 형성하고, 제 1 통기구멍(70a)의 구멍직경을 0.5~4㎜의 범위로 제한하여, 이웃하는 제 1 통기구멍(70a)의 중심간 거리를 1~6㎜의 범위로 제한하며, 통기성 전면부(11f)의 면적 10㎠에 대하여 차지하는 면적의 비율이 20~50%가 되도록 하는 것이 바람직하다. 제 1 통기구멍(70a)은, 지그재그 배열이 되도록 배치하거나, 격자 배열이 되도록 배치하면서 통기성 전면부(11f)에 대하여 일정하게 분포하게 할 수 있는데, 통기성 전면부(11f)의 부위에 따라서 구멍직경이나 중심간 거리를 바꿀 수도 있다. 또한, 제 1 통기구멍(70a)의 형상은, 원형을 일례로 하는데, 장치(1)에 있어서 일정한 공기류가 얻어지는 것이라면, 원형 이외의 형상이어도 좋다. 이러한 제 1 통기구멍(70a)을 가지는 통기성 전면부(11f)로부터의 공기의 흐름(F4, F4')의 풍속은 0.3~0.8m/sec 정도로 설정하는 것이 바람직하다.
폭방향(X)으로 공기를 분출하는 측부(7)에 있어서, 도 1의 장치(1)에 대하여 말하자면 측부(7)의 일부분인 꺾임부(11a)에 있어서, 제 2 통기구멍(70b)이 형성되는 범위의 상하방향(Y) 치수는, 통기성 전면부(11f)에 있어서 제 1 통기구멍(70a)이 형성되는 범위의 치수와 같은 것이 바람직하다. 제 2 통기구멍(70b)이 형성되는 범위의 전후방향(Z)의 치수, 즉 도 6에서의 치수(D5)는, 이미 서술한 바와 같다. 바람직한 제 2 통기구멍(70b)은, 구멍직경이 0.5~4㎜의 범위에 있고, 이웃하는 제 2 통기구멍(70b)의 중심간 거리가 1~6㎜의 범위에 있으며, 꺾임부(11a)의 면적 10㎠에 대하여 차지하는 면적의 비율이 20~50%의 범위에 있다. 복합장치(201)에 있어서 일정한 공기류가 얻어지는 것이라면, 제 2 통기구멍(70b)의 형상은, 원형이어도 좋고, 원형 이외의 형상이어도 좋다. 이와 같은 제 2 통기구멍(70b)은, 꺾임부(11a)에 있어서 일정하게 분포하고 있는 것이 바람직한데, 소요 부위에 치우치게 하는 것도 가능하다. 복합장치(201)에 있어서 서로 대향하고 있는 꺾임부(11a)끼리의 클리어런스(CL)의 폭방향(X)에서의 치수는 0.5~50㎜인 것이 바람직하다. 그 치수가 50㎜를 넘어 점차 커지면, 클리어런스(CL)의 하류측에서의 후기하는 청정도의 저하가 점차 현저해진다.
본 발명에 따른 장치(1)는, 그것을 단독으로 분출장치로서 사용할 수 있는 것은 말할 필요도 없지만, 2대의 분출장치를 대향시켜서 얻어지는 오픈 클린존을 위한 분출장치로서 사용하거나, 1대의 분출장치와 1대의 흡인장치를 대향시키는 푸시·풀형 환기장치에서의 분출장치로서 사용하는 것도 가능하다. 또한, 장치(1)는, 그것에 대하여, 장치(1)와 같은 2대째 장치(101)를 도 1, 6과 같이 횡렬로, 즉 폭방향(X)에 있어서 이웃하도록 이간 병렬시키고 있는 복합장치(201)로서 사용할 수도 있다. 그러한 복합장치(201)에서는, 장치(1)에서의 꺾임부(11a)와 그 장치(1)와 이웃하는 상대방의 장치(101)에서의 꺾임부(11a)를, 그들 두 개의 꺾임부(11a)끼리의 사이에 소요 치수의 클리어런스(CL)가 생기도록 이간 대향시킨다. 폭방향(X)에 있어서 이간 병렬시킨 장치(1)와 장치(101) 사이에서는, 폭방향(X)에 있어서 대향하고 있는 꺾임부(11a) 각각의 일부분, 즉 치수(D5)를 가지는 부분에서만 공기를 분출하면 된다.
이러한 복합장치(201)에서는, 장치(1)와 장치(101)를 동시에 운전하면, 장치(1)의 통기성 전면부(11f)와 장치(101)의 통기성 전면부(11f)로부터는, 하류를 향하는 방향(B)으로의 일정한 공기류의 흐름(F4)과 흐름(F4')(도 6을 참조)이 발생하고, 폭방향(X)으로 서로 대향하고 있는 꺾임부(11a)와 꺾임부(11a)의 각각으로부터는, 대향하는 상대방 꺾임부(11a)를 향하는 공기의 흐름(F5)과 흐름(F5')(도 6을 참조)이 발생한다. 흐름(F5)과 흐름(F5')은 클리어런스(CL)에서 충돌한다.
도 7은 공기의 흐름(F5)과 흐름(F5')이 충돌하는 상태를 나타내는 모식도이다. 도 7에 있어서 흐름(F5)과 흐름(F5')이 충돌하면, 이들 흐름(F5)과 흐름(F5')을 형성하고 있던 공기가 클리어런스(CL)를 상류측과 하류측으로 이등분하는 동시에, 그 클리어런스(CL)에 있어서 상류측, 하류측, 위쪽, 아래쪽 등을 향하여 방사 형태로 확산되는 공기의 흐름(f1, f2, f3, f4) 등을 형성한다. 장치(1)와 장치(101)가 흐름(F4, F4')만을 형성하는 것인 경우에는, 이들 장치(1)와 장치(101)가 배치되어 있는 작업실 등의 공간에서의 부유입자가 먼지가 되어 실내 공기와 함께 클리어런스(CL)로 상류측으로부터 침입하고, 장치(1)와 장치(101)의 하류측으로 유출됨으로써, 장치(1)와 장치(101)의 전방에 형성되어야 할 청정공기가 흐르는 작업공간을 오염시키는 경우가 발생한다. 하지만, 클리어런스(CL)에 흐름(f1, f2, f3, f4)이 있으면, 이들 중 흐름(f1, f3, f4)이 그 부유입자를 포함하는 공기의 클리어런스(CL)로의 침입을 방지하여, 클리어런스(CL) 전방에서의 작업공간이 부유입자에 의하여 오염되는 문제를 해소한다. 또한, 고성능 필터(29)를 통과한 청정공기에 의하여 형성되어 있고, 클리어런스(CL)로부터 하류측을 향하는 흐름(f2)은 클리어런스(CL) 전방에 있어서 청정공기가 흐르는 작업공간이 형성되는 것을 가능하게 한다. 그것과 동시에 흐름(F4, F4')의 존재에 의하여, 클리어런스(CL)의 전방을 포함하는 복합장치(201)의 폭방향(X)의 전체가 청정공기가 흐르는 작업공간이 된다. 그러한 작업공간은 또한, 청정공기의 일정한 공기류가 흐르는 작업공간이 될 수도 있다.
한편, 복합장치(201)에 있어서, 복합장치(201)의 사용중에도 클리어런스(CL)의 치수를 안정시키기 위하여, 장치(1)와 장치(101) 사이에 스페이서(미도시)를 개재하고, 그 스페이서를 사용하여 장치(1)와 장치(101)를 고정해 두는 것이 바람직하다. 또한, 장치(1)와 장치(101)에 공통의 고정구를 사용하여 클리어런스(CL)의 치수를 안정시킬 수도 있다.
도 8은 복합장치(201)의 성능을 평가하기 위한 시험실(미도시)에 설치된 복합장치(201)의 부분 꼭대기면도로서, 클리어런스(CL)의 하류측에서의 공기 중의 부유입자 농도를 측정하는 복수의 측정점 중 일부의 것(P1, P4)(도 1을 함께 참조)을 나타내는 동시에, 복합장치(201)를 형성하는 장치(1)와 장치(101)의 하류측에서의 풍속 분포를 관측하기 위한 복수의 풍속 측정점 중 일부의 것(P1, P7, P10)을 나타내고 있다. 한편, 예시하는 복합장치(201)에 있어서 부유입자 농도와 풍속을 측정하기 위하여 채용한 모든 측정점(P1~P12)은 도 1에 나타나 있다.
도 8의 복합장치(201)에서의 2대의 장치(1)와 장치(101)에는, 통기성 전면부(11f)가 폭 900×높이 700㎜의 크기를 가지고, 통기성 전면부(11f)로부터의 분출 풍속이 약 0.5m/sec가 되는 능력을 가지는 팬(26)을 구비하며, 고성능 필터(29)(도 2를 참조)로서 0.3㎛의 입자에 대한 포집효율이 99.97%의 HEPA 필터를 구비한 것이 사용되고 있다. 2대의 장치(1)와 장치(101)는 서로의 통기성 전면부(11f)가 동일한 수직면 상에 위치하도록 늘어서 있다. 장치(1)와 장치(101) 사이의 클리어런스(CL)는 10㎜로 설정되어 있다. 도 1에 있어서 클리어런스(CL)의 전방에 위치하는 측정점(P1~P3)은 풍속을 측정하기 위한 점이고, 측정점(P1~P6)은 부유입자 농도를 측정하기 위한 점으로서, 어떠한 점도 클리어런스(CL)의 폭을 이등분하는 선상에 있다. 또한, 측정점(P1~P3)은 통기성 전면부(11f)로부터 하류측으로의 이간거리(L1)가 100㎜가 되는 위치에 있고, 측정점(P4~P6)은 통기성 전면부(11f)로부터 하류측으로의 이간거리(L2)가 200㎜가 되는 위치에 있다. 측정점(P1, P4)은 통기성 전면부(11f)의 꼭대기둘레(16)(도 1을 참조)로부터의 이간거리(L3)가 118㎜가 되는 위치에 있고, 측정점(P3, P6)은 통기성 전면부(11f)의 바닥둘레(17)(도 1을 참조)로부터의 이간거리(L4)가 118㎜가 되는 위치에 있다. 측정점(P1, P2, P3)의 서로의 중심간 거리(L5)와 측정점(P4, P5, P6)의 서로의 중심간 거리(L6)는 모두 232㎜로 설정되어 있다.
도 1에 나타나 있는 측정점(P7, P8, P9)과 측정점(P10, P11, P12)은, 풍속을 측정하기 위한 점으로서, 측정점(P7, P8, P9)은 측정점(P1, P2, P3)을 장치(1)의 통기성 전면부(11f)에서의 폭방향(X)의 중앙까지 평행 이동시킨 위치에 있다. 측정점(P10, P11, P12)은 측정점(P1, P2, P3)을 장치(101)의 통기성 전면부(11f)에서의 폭방향(X)의 중앙까지 평행이동시킨 위치에 있다. 풍속의 측정에는 KANOMAX 제품의 Model 1560이 사용되고, 부유입자 농도의 측정에는 RION 제품의 파티클 카운터 KC-18이 사용되고 있다.
풍속의 측정결과는 표 1과 같고, 부유입자 농도의 측정결과는 표 2, 3과 같다. 표 2에는 입자직경이 0.3㎛ 이상인 입자에 대한 측정결과가 나타나고, 표 3에는 입자직경이 0.1㎛ 이상인 입자에 대한 측정결과가 나타나 있다. 한편, 표 2, 3에 있어서 "복합장치의 상류측 부유입자 농도(CO)"란, 2대의 장치(1)와 장치(101) 중 한쪽에서의 전처리 필터(24)(도 2를 참조)의 상류측에서의 실내 공기를 1L 채취하고, 그 공기 중의 부유입자의 개수를 1㎥당 개수로 환산하여 얻어지는 농도(개/㎥)를 의미하고 있다. 또한, 청정도(Q)란, 하기 식 1에 의하여 구해지는 값이다.
청정도(Q)(%) = (CO-CP)/CO×100 (식 1)
여기에서, CO: 복합장치의 상류측 부유입자 농도(개/㎥)
CP: 측정점(P)에서의 부유입자 농도(개/㎥)
또한, 복합장치(201)와의 대비측정으로서, 장치(1)와 장치(101)에 같은 것이기는 하지만, 어떠한 꺾임부(11a)에도 제 2 통기구멍(70b)이 형성되어 있지 않은 2대의 분출장치(미도시)를 복합장치(201)와 마찬가지로 설치함으로써, 대비복합장치를 만들고, 그 대비복합장치에서의 공기 중의 부유입자 농도를 복합장치(201)와 동일한 조건으로 측정하였다. 대비복합장치에 대한 측정결과는 표 2, 3에 비교예로서 기재하고 있다.
속도(m/sec)의 분포
P7 0.58 P1 0.54 P10 0.60
P8 0.56 P2 0.51 P11 0.54
P9 0.56 P3 0.52 P12 0.57
입자직경 0.3㎛ 이상의 부유입자의 농도
측정점
(P)		 실시예 비교예
부유입자농도
(개수/㎥)		 부유입자농도
(개수/㎥)
CP 청정도(Q)
(%)		 복합장치의 상류측 부유입자 농도(CO) CP 청정도(Q)
(%)		 복합장치의 상류측 부유입자 농도(CO)
P1 0 99.97 이상


11472

 107 99.11


12044
P2 1 99.97 이상 11 99.91
P3 0 99.97 이상 418 96.53
P4 3 99.97 이상 32 99.73
P5 1 99.97 이상 15 99.88
P6 4 99.97 이상 157 98.70
입자직경 0.1㎛ 이상의 부유입자의 농도
측정점
(P)		 실시예 비교예
부유입자농도
(개수/㎥)		 부유입자농도
(개수/㎥)
CP 청정도(Q)
(%)		 복합장치의 상류측 부유입자 농도(CO) CP 청정도(Q)
(%)		 복합장치의 상류측 부유입자 농도(CO)
P1 42 99.97


161065		 2399 98.33


143990
P2 76 99.95 133 99.91
P3 89 99.95 5338 96.29
P4 79 99.95 494 99.66
P5 35 99.98 258 99.82
P6 155 99.90 2435 98.31
도 9는 실시형태의 일례를 나타내는 도 1과 같은 도면인데, 이러한 실시형태에서는, 복합장치(201)가 장치(301)와 장치(401)에 의하여 형성되어 있다. 장치(301)와 장치(401)는 같은 것으로서, 여기에는 도 1의 분출판(11) 대신에 확장형 분출유닛(301a)이 정류유닛(33)(도 10을 참조)의 하류측에 사용되고 있고, 공기분출부(22)에 대하여 제거 가능한 상태 또는 제거 불가능한 상태에 있다. 단, 도시예에서는 유닛(301a)이 후방으로 연장되는 암(102)을 통하여 공기분출부(22)의 측부(7)에 제거 가능하게 고정되어 있다. 유닛(301a)은 또한, 통기성 전면부(311f) 및, 통기성 전면부(311f)와 공기분출부(22) 사이에 위치하는 스페이서(115)를 포함하고, 통기성 전면부(311f)와 스페이서(115)가 서로 제거 가능 또는 제거 불가능한 상태로 일체화되어 있다. 그러한 스페이서(115)는 적어도 일부분이 통기성인 측벽부(311a)와, 비통기성의 꼭대기면부(311b)와, 비통기성의 바닥면부(311c)를 포함하고 있다. 장치(301)와 장치(401)에 있어서, 측벽부(311a)는 통기성 전면부(311f)의 측둘레에서 상류측을 향하여 확산되는 장치(301), 장치(401)의 측부의 일부로 여겨지는 부위이다.
도 10은 도 9의 X-X선 단면도이다. 내부구조의 도시가 생략되어 있는 조작부(12)의 아래에는 공기분출부(22)가 형성되고, 공기분출부(22)의 하류측에는 확장형 분출유닛(301a)이 세팅되어 있다. 유닛(301a)에서의 스페이서(115)는 공기분출부(22)를 향한 개구(120)를 가지며, 개구(120)의 둘레부(116)와 공기분출부(22) 사이에는 비통기성 패킹(117)이 개재되어 있다. 유닛(301a)의 내부는 비어있고, 스페이서(115)의 일부분인 꼭대기면부(331b)는 정류유닛(33)보다 위쪽에 위치하고 있다. 그러한 꼭대기면부(311b)와 정류유닛(33) 사이에는 치수(D6)의 거리가 있다. 바람직한 유닛(301a)에 있어서 치수(D6)는 0~40㎜의 범위에 있다. 치수(D6)가 0㎜ 또는 그것에 가까운 값이 되는 것은, 천판부(113)와 고정용 틀부재(37)의 레벨이 거의 같아지는 경우이다. 단, 도면에 있어서 꼭대기면부(311b)가 정류유닛(33)의 꼭대기부보다 아래쪽에 있는 실시형태에서, 본 발명을 실시할 수도 있다. 스페이서(115)에 포함되는 측벽부(311a)에 대해서는, 후기하는 도 11, 12에 근거하여 설명한다. 한편, 도 10에 있어서, 정류유닛(33)에 사용되고 있는 고정용 틀부재(37)는 도 4의 틀부재와는 달리, 제 2 허니컴 플레이트(57)의 하류측의 면, 즉 전면과 접촉할 정도로 연장되지 않고, 그 하류측의 면에는 직경 0.5~3㎜의 금속제 선재(37a)의 복수개가 격자 형상으로 배치되어 있으며, 제 2 허니컴 플레이트(57)를 하류측에서 지지하고 있다. 단, 도 10의 실시형태의 고정용 틀부재(37)는, 도 4의 실시형태의 고정용 틀부재(37)로 바꿀 수도 있다.
도 11은 도 9의 XI-XI선 단면도이다. 스페이서(115)에서의 측벽부(311a)는, 정류유닛(33)의 전방에 위치하고 있으며 폭방향의 안쪽 치수(W3)가 점차 커지는 제 1 부분(321)과, 제 1 부분(321)의 전단에서 하류방향(B)을 향하여 연장되고 있으며 통기성 전면부(311f)와 직교하고 있는 제 2 부분(322)을 가진다. 제 1 부분(321)은 비통기성으로서, 상류측에 둘레부(116)를 가지고, 그 둘레부(116)는 적어도 정류유닛(33)의 전면의 폭과 같은 폭을 가지는 개구(120)를 형성하고 있다. 제 2 부분(322)에서는, 치수(D7)(도 10, 12를 참조)의 범위가 통기성으로서, 유닛(301)의 안쪽에서 폭방향(X)의 바깥쪽을 향하여 공기를 분출하여 공기의 흐름(F5)을 형성할 수 있는 복수의 제 2 통기구멍(70b)(도 10의 (b)를 참조)을 가진다. 제 2 부분(322)에서의 제 2 통기구멍(70b)은 도 1에서의 제 2 통기구멍(70b)과 같은 구멍직경과 중심간 거리와 작용을 가지는 것으로서, 제 2 부분(322)의 치수(D7)(도 10, 12를 참조)는 도 6에서의 치수(D5)와 같다.
도 12는 도 11에서의 부분(XII)의 확대도이다. 장치(301)의 유닛(301a)에서는 측벽부(311a)의 제 1 부분(321)이 폭방향(X)에 있어서 분출부(22)의 측부(7)를 넘도록 하류방향(B)으로 비스듬히 연장되고 있다. 그 때문에, 제 2 부분(322)에서의 안쪽 치수(W3)는 공기분출부(22)에서의 측부(7)와 측부(7) 사이의 치수보다 커져 있다. 이와 같이 폭방향(X)로 넓어지는 스페이서(115)를 포함하는 유닛(301a)은, 정류유닛(33)으로부터 나온 공기를 정류유닛(33)에서의 폭방향(X)과 상하방향(Y) 중 적어도 폭방향(X)으로 확산시킬 수 있다. 또한, 도시예의 안쪽 치수(W3)를 가지는 유닛(301a)이 사용되고 있는 도 9의 2대의 장치(301)와 장치(401)에서는, 서로 대향하고 있는 측벽부(311a)의 제 2 부분(322)끼리가 클리어런스(CL)를 형성하고 있다. 한편, 본 발명에 따른 장치(301)는, 제 1 부분(321)이 폭방향(X)에 있어서 공기분출부(22)의 측부(7)를 넘지 않는 실시형태의 것으로 바꿀 수도 있다.
장치(301)에서의 스페이서(115)의 제 2 부분(322)에서는, 치수(D7)의 범위에 형성된 복수의 제 2 통기구멍(70b)에 있어서, 폭방향(X)의 바깥측으로 향하는 공기의 흐름(F5)을 형성하는 공기의 분출이 있고, 장치(401)의 스페이서(115)에서의 제 2 부분(322)(도 12를 참조)에서는, 2개의 통기구멍(미도시)에 있어서 폭방향(X)의 바깥측을 향하는 공기의 흐름(F5')을 형성하는 공기의 분출이 있다. 공기의 흐름(F5)과 흐름(F5')은, 도 7에 예시하는 바와 같이 충돌하고, 장치(301)나 장치(401)의 상류측에 있어서 부유입자를 많이 포함하는 공기가 클리어런스(CL)로 침입하는 것을 방지하는 동시에, 클리어런스(CL)의 하류측에 고성능 필터(29)로 여과된 청정공기를 공급할 수 있다.
이와 같이 사용되는 유닛(301a)에 있어서, 유닛(301a)의 폭방향(X)과 상하방향(Z)의 치수가 400~2000㎜ 정도일 때의 스페이서(115)의 제 2 부분(322)끼리의 사이의 안쪽 치수(W3)는, 정류유닛(33)의 양측 각각에 있어서 정류유닛(33)의 폭보다 20~100㎜ 크게 하는 것이 바람직하다. 유닛(301a)에서의 전후방향(Z)의 치수(D8)는 20~150㎜인 것이 바람직하다.
도 13도 또한, 본 발명의 실시형태의 일례를 나타내는 도 1과 같은 도면이다. 도 13에서는, 바닥면(100) 상에 설치된 4대의 장치(1)가 폭방향(X)과 상하방향(Y)으로 늘어서서 분출장치의 복합장치(201)를 형성하고, 그 중 일부의 장치(1)는 부분적으로 절단한 상태로 나타나 있다. 단, 절단하고 있는 장치(1)에 대해서는, 꺾임부(11a)나 꼭대기면부(11b) 등의 형상의 이해를 쉽게 하기 위하여 내부구조의 도시가 생략되어 있다.
장치(1)의 각각은, 공기분출부(22)의 상류측에 외부공기 채취부(21)가 형성되어 있고, 도면에는 그 외부공기 채취부(21)에서의 공기채취구멍(21b)이 보이고 있다. 공기분출부(22)는, 제 1 통기구멍(70a)이 형성되어 있는 분출판(11)의 통기성 전면부(11f)와, 통기성 전면부(11f)의 측둘레(15)와 꼭대기 둘레(16)와 바닥 둘레(17)의 각각에 이어지는 꺾임부(11a)와 꼭대기면부(11b)와 바닥면부(11c)의 각각을 가지고, 꺾임부(11a)와, 꼭대기면부(11b)와, 바닥면부(11c)에는 제 2 통기구멍(70b)과, 제 3 통기구멍(70c)과, 제 4 통기구멍(70d)의 각각이 복수 형성되어 있다. 제 2 내지 제 4 통기구멍(70b~70d)은, 그들의 구멍직경과 통기구멍끼리의 중심간 거리가, 도 1에서의 제 2 통기구멍(70b)에 대한 구멍직경과 중심간 거리와 같다. 단, 도 13의 복합장치(201)에서는, 4대의 장치(1)에서의 꺾임부(11a) 전체, 꼭대기면부(11b) 전체, 바닥면부(11c) 전체로부터 공기를 분출하도록 장치(1)를 제작할 수 있는 것 이외에, 꺾임부(11a)와 꼭대기면부(11b)와 바닥면부(11c) 중 필요로 하는 부위에서만 공기를 분출하도록 장치(1)를 제작할 수도 있다. 예를 들어, 상하방향(Y)으로 늘어서는 2대의 장치(1)만을 사용하는 경우의 복합장치(201)에서는, 장치(1) 중 1대에서는 꼭대기면부(11b)로부터 공기를 분출하고, 또 다른 1대에서는 바닥면부(11c)로부터 공기를 분출하도록, 각각의 장치(1)를 제작하여, 꼭대기면부(11b)로부터의 공기와 바닥면부(11c)로부터의 공기를 충돌시킬 수 있다.
또한, 도 13의 4대의 장치(1)에 있어서는, 폭방향(X)에 있어서 대향하고 있는 꺾임부(11a)끼리의 사이, 및 상하방향(Y)에 있어서 대향하고 있는 꼭대기면부(11b)와 바닥면부(11c) 사이에는, 클리어런스(CL)가 형성되어 있고, 그 클리어런스(CL)의 치수는, 도 1에서의 클리어런스(CL)의 치수와 동일한 범위에 있다. 이렇게 형성되어 있는 복합장치(201)에 있어서도, 각각의 클리어런스(CL)의 전방에 일정한 공기류 또는 청정공기의 일정한 공기류가 흐르는 작업공간을 형성할 수 있다. 한편, 폭방향(X)으로 늘어서는 장치(1)와 장치(1) 사이, 및 상하방향(Y)으로 늘어서는 장치(1)와 장치(1) 사이에는, 클리어런스(CL)를 형성하기 위한 스페이서가 사용되고 있는데, 그 스페이서의 도시는 생략되어 있다. 그 스페이서는, 장치(1)와는 다른 부재의 것으로서 준비할 수 있는 것 이외에, 장치(1)의 일부분을 폭방향(X)의 바깥측이나 상하방향(Z)의 바깥측으로 돌출하게 함으로써 준비해 둘 수도 있다.
지금까지 예시한 실시형태에서의 분출장치(1, 101, 301, 401)는, HEPA 필터와 같은 고성능 필터(29)를 가지는 것으로서 설명되어 있다. 따라서, 이들 분출장치는, 폭방향(X) 및/또는 상하방향(Y)으로 늘어선 복수의 분출장치의 하류측에 청정공기의 일정한 공기류가 흐르는 작업공간을 형성할 수 있는 것이므로, 푸시·푸시형 분출장치에 의하여 클린존을 형성할 때의 분출장치로서 사용하기에 적합하다. 단, 본 발명은, 고성능 필터(29)의 사용을 필수 조건으로 하는 것은 아니며, 고성능 필터(29)를 구비하고 있지 않은 분출장치에 있어서도 실시할 수 있다. 그때의 분출장치는, 폭방향(X) 및/또는 상하방향(Y)으로 늘어선 복수의 분출장치의 하류측에 일정한 공기류가 흐르는 작업공간을 형성할 수 있다. 그 때문에, 이러한 경우의 분출장치는, 넓은 공간에 일정한 공기류를 공급하는 푸시·풀형의 환기장치에서의 분출장치로서 사용하기에 적합하다.
도 14는 성능평가를 위하여 사용한 복합장치(201)의 일례의 꼭대기면도이다. 도시예의 복합장치(201)는, 도 8과 같은 장치(1)와 장치(101)를 가지는 것인데, 장치(1)와 장치(101)의 통기성 전면부(11f)는, 폭 1050×높이 850㎜의 크기를 가진다. 클리어런스(CL)는, 복합장치(201)를 사용하는 작업공간과의 관계에 있어서 필요시 되는 임의의 치수로 설정할 수 있는데, 성능평가시에는 10, 20, 30, 40, 50㎜의 5단계로 설정하였다. 그 밖의 구성, 예를 들어 통기성 전면부(11f)의 중앙부분에서의 분출 풍속(0.5m/sec), 고성능 필터(29)(도 2를 참조)의 0.3㎛의 입자에 대한 포집효율(99.97%)은, 도 8의 장치(1), 장치(101)와 같다. 한편, 치수(D5)를 가지는 측면 부분에서의 분출 풍속은 0.8m/sec이었다. 또한, 통기성 전면부(11f)의 중앙부분에서의 분출 풍속은 통기성 전면부(11f)의 전방 25㎜에서 적어도 1500㎜까지의 범위에 있어서 0.5m/sec이었다.
도 14에는 또한, 클리어런스(CL)의 치수를 이등분하는 선이며 통기성 전면부(11f)의 높이 방향의 중심에 있어서 복합장치(201)의 전후방향(Z)으로 연장되는 직선(F)에는, 통기성 전면부(11f)로부터의 거리가 ㎜단위로 나타나 있다. 거리 0㎜는, 전면부(11f)에 일치하는 점이고, 거리가 플러스인 것은 통기성 전면부(11f)로부터 하류측을 향한 거리인 것을 나타내고, 거리가 마이너스인 것은 통기성 전면부(11f)로부터 상류측을 향한 거리인 것을 나타내고 있다. 복합장치(201)의 성능평가에서는, 장치(1)와 장치(101)의 클리어런스(CL)를 10, 20, 30, 40, 50㎜의 각각으로 설정하였을 때의 직선(F) 상에서의 풍속을 측정하였다. 풍속(단위: m/sec)의 측정결과는 표 4와 같았다.
표 4에 있어서 명확하듯이, 장치(1)와 장치(101) 사이의 클리어런스(CL)에서는, 상류측을 향하는 공기류와 하류측을 향하는 공기류가 있는 것을 알 수 있다. 또한, 통기성 전면부(11f)에서 하류측으로 약 100㎜ 떨어졌을 때에는, 클리어런스(CL)를 20~50㎜, 보다 바람직하게는 30~50㎜로 설정하면, 통기성 전면부(11f)의 전방에서의 풍속과 거의 같은 풍속을 직선(F) 상에서도 얻을 수 있는 것을 알 수 있다. 또한, 도시예의 장치(1)와 장치(101)에서 일정한 공기류의 작업공간을 얻고자 할 때에는, 표 4의 데이터에 근거하여 클리어런스(CL)를 적절한 치수로 설정하는 것이 바람직하다는 것도 알 수 있다. 한편, 풍속의 측정기에는, KANOMAX 제품의 Model 1560을 사용하였다.
전면부로부터의 거리 ㎜ 이웃하는 후드의 클리어런스(CL)
10㎜ 20㎜ 30㎜ 40㎜ 50㎜
-57.500 -0.154 -0.688 -0.619 -0.581 -0.543
-52.500 -0.221 -0.711 -0.636 -0.596 -0.559
-47.500 -0.299 -0.733 -0.652 -0.611 -0.574
-42.500 -0.402 -0.753 -0.666 -0.623 -0.587
-37.500 -0.549 -0.769 -0.678 -0.634 -0.599
-32.500 -0.731 -0.783 -0.687 -0.642 -0.608
-27.500 -0.909 -0.793 -0.690 -0.644 -0.612
-22.500 -1.065 -0.794 -0.679 -0.632 -0.604
-17.500 -1.164 -0.759 -0.628 -0.580 -0.560
-12.500 -1.096 -0.593 -0.452 -0.408 -0.410
-9.000 -0.699 -0.339 -0.237 -0.202 -0.226
-7.000 -0.252 -0.095 -0.043 -0.025 -0.050
-5.000 0.239 0.147 0.140 0.135 0.108
-3.000 0.693 0.391 0.326 0.297 0.265
-1.000 1.113 0.650 0.529 0.474 0.434
3.570 1.163 0.778 0.678 0.637 0.609
10.710 1.121 0.780 0.697 0.668 0.652
17.860 1.078 0.765 0.688 0.664 0.652
25.000 1.041 0.749 0.676 0.652 0.640
32.140 1.009 0.733 0.663 0.638 0.626
39.290 0.982 0.719 0.650 0.625 0.611
46.400 0.957 0.706 0.639 0.613 0.597
53.600 0.936 0.694 0.627 0.602 0.584
60.700 0.917 0.682 0.617 0.590 0.571
67.900 0.900 0.672 0.607 0.580 0.559
75.000 0.884 0.662 0.597 0.569 0.547
82.100 0.870 0.653 0.588 0.559 0.535
89.300 0.858 0.644 0.579 0.550 0.524
96.400 0.846 0.636 0.571 0.540 0.513
103.600 0.835 0.629 0.563 0.531 0.503
110.700 0.825 0.622 0.556 0.523 0.493
117.900 0.815 0.616 0.549 0.515 0.484
125.000 0.806 0.610 0.543 0.508 0.475
132.100 0.798 0.605 0.537 0.501 0.467
139.300 0.790 0.599 0.531 0.494 0.460
146.400 0.783 0.595 0.526 0.488 0.453
153.600 0.776 0.590 0.521 0.482 0.447
160.700 0.770 0.586 0.516 0.477 0.441
167.900 0.763 0.582 0.512 0.472 0.435
175.000 0.757 0.578 0.508 0.467 0.430
182.100 0.752 0.575 0.504 0.463 0.426
189.300 0.747 0.572 0.501 0.459 0.421
196.400 0.741 0.569 0.498 0.455 0.418
203.600 0.737 0.566 0.495 0.451 0.414
도 15는 복합장치(201)를 푸시·푸시형의 분출장치로서 사용할 때의 복합장치(201)의 실시형태를 예시하는 도면이다. 단, 도 15의 (a)에서는 도 13에서 사용한 단독의 분출장치(1)가 대향배치되어 있는 종래형의 푸시·푸시형의 분출장치가 도시되어 있다. 도 15의 (b), (c)에서는, 한 쌍의 복합장치(201)가 배치됨으로써 푸시·푸시형의 분출장치가 형성되어 있다. 복합장치(201)에서의 각 분출장치(1)는, 도 13에서의 분출장치(1)와 동일하며, 고성능 필터(도 2를 참조)가 사용되고, 통기성 전면부(11f)의 풍속은 0.5m/sec이다. 단, 통기성 전면부(11f)는, 폭 1050×높이 850㎜, 이웃하는 분출장치(1)끼리의 사이의 클리어런스(CL)는 10㎜, 도 6에 예시하는 치수(D5)는 10㎜로 설정되어 있다. 도 15에서의 화살표(G1~G03)는, 한 쌍의 분출장치(1) 또는 한 쌍의 복합장치(201)의 이간치수를 나타내고, 그 이간치수(G1~G3)의 중심점(S1~S3)은, RION 제품 파티클 카운터 KC18에 의한 부유입자 농도의 측정점이다.
도 15의 (a)에서는, 이간치수(G1)가 2000㎜가 되도록, 한 쌍의 분출장치(1)가 세팅되어 있다. 한 쌍의 분출장치(1)의 모서리부끼리의 사이로 연장되는 가상선(H)과 통기성 전면부(11f)로 둘러싸인 가상의 작업공간의 용적은 1.8㎥이다.
도 15의 (b)에서는, 복합장치(201)의 각각이 4대의 분출장치(1)로 구성되고, 이간치수(G2)가 4000㎜가 되도록 한 쌍의 복합장치(201)가 세팅되어 있다. 한 쌍의 분출장치(201)와 가상선(H)으로 둘러싸인 가상의 작업공간의 용적은 14.3㎥이다.
도 15의 (c)에서는, 복합장치(201)의 각각이 9대의 분출장치(1)로 구성되고, 이간치수(G3)가 6000㎜가 되도록 한 쌍의 복합장치(201)가 세팅되어 있다. 한 쌍의 복합장치(201)와 가상선(H)으로 둘러싸인 가상의 작업공간의 용적은 48.2㎥이다, 복합장치(201)의 각각으로부터의 분출유량은 482㎥/분이었다.
표 5는, 도 15의 (a) 내지 (c)의 푸시·푸시형 분출장치에 대하여, 운전개시부터의 경과시간과, 운전개시 후의 중심점(S1~S3)에서의 부유입자 농도의 측정결과가 나타나 있다. 그러한 부유입자 농도는, (a)~(c)의 각각에 있어서 임의로 선택한 단독의 분출장치(1)의 상류측에서의 실내공기의 부유입자 농도에 대한 비율로서 측정되어 있다. 예를 들어, (b)의 장치에 있어서, 경과시간 1초에서의 측정값은
1.00E+00 = 1×10O = 1
로서, 이 값은 중심점(S1)에서의 부유입자 농도가 실내 공기의 부유입자 농도와 같다는 것을 의미하고 있다. 또한, 경과시간 30초에서의 측정농도는
7.56E-0.5 = 7.56×10-5
로서, 이 값은 30초간 운전에서 중심점(S2)에서의 부유입자 농도가 실내공기의 농도의 1/10000 이하가 되었다는 것을 의미하고 있다. 한편, 측정값에서의 E-0.5는 10의 제곱 지수를 의미하고 있다. 즉, E-0.5는 10-5를 의미하고 있다. 또한, 표 5에 있어서 측정값이 0인 것은 부유입자가 검출되지 않았음을 의미하고 있다.
표 5에 따르면, 부유입자 농도가 실내공기의 농도의 1/10000 이하가 될 때까지의 운전경과시간은, 도 15의 (a)에서는 19초, (b)에서는 30초, (c)에서는 43초이다. 이와 같이, 본 발명에 근거하는 복합장치(201)를 사용한 푸시·푸시형 분출장치에 따르면, 용적이 큰 작업공간을 매우 단시간으로 클린존으로 만들 수 있다.
도 15의 장치 (a) (b) (c)
운전개시로부터의
경과시간(초)		 G=2000 G=4000 G=6000
1 9.91E-01 1.00E+00 1.00E+00
2 9.31E-01 1.00E+00 1.00E+00
3 7.83E-01 9.99E-01 1.00E+00
4 5.83E-01 9.95E-01 1.00E+00
5 3.93E-01 9.83E-01 9.98E-01
6 2.48E-01 9.54E-01 9.93E-01
7 1.50E-01 9.05E-01 9.78E-01
8 8.76E-02 8.36E-01 9.47E-01
9 4.98E-02 7.52E-01 8.94E-01
10 2.77E-02 6.57E-01 8.15E-01
11 1.52E-02 5.55E-01 7.15E-01
12 8.16E-03 4.48E-01 6.04E-01
13 4.34E-03 3.44E-01 4.94E-01
14 2.28E-03 2.50E-01 3.94E-01
15 1.19E-03 1.72E-01 3.09E-01
16 6.16E-04 1.13E-01 2.40E-01
17 3.19E-04 7.06E-02 1.86E-01
18 1.65E-04 4.29E-02 1.43E-01
19 8.59E-05 2.55E-02 1.10E-01
20 4.51E-05 1.49E-02 8.52E-02
21 2.39E-05 8.64E-03 6.58E-02
22 1.28E-05 4.99E-03 5.08E-02
23 6.95E-06 2.87E-03 3.91E-02
24 3.81E-06 1.66E-03 3.01E-02
25 2.10E-06 9.62E-04 2.30E-02
26 1.17E-06 5.65E-04 1.76E-02
27 6.52E-07 3.34E-04 1.33E-02
28 3.36E-07 2.00E-04 1.01E-02
29 1.35E-07 1.22E-04 7.53E-03
30 5.65E-08 7.56E-05 5.60E-03
31 4.11E-11 4.77E-05 4.13E-03
32 0 3.05E-05 3.03E-03
33 0 1.97E-05 2.21E-03
34 0 1.29E-05 1.61E-03
35 0 7.95E-06 1.16E-03
36 0 8.76E-06 8.33E-04
37 0 6.81E-06 5.97E-04
38 0 6.85E-06 4.26E-04
39 0 3.88E-06 3.04E-04
40 0 1.14E-06 2.16E-04
41 0 0 1.54E-04
42 0 0 1.10E-04
43 0 0 7.82E-05
44 0 0 5.61E-05
45 0 0 4.04E-05
46 0 0 2.93E-05
47 0 0 2.13E-05
48 0 0 1.56E-05
49 0 0 1.15E-05
50 0 0 8.57E-06
51 0 8.66E-07 6.39E-06
52 0 2.01E-06 4.76E-06
53 0 2.90E-06 3.56E-06
54 0 3.42E-06 2.66E-06
55 0 3.59E-06 2.00E-06
56 0 3.36E-06 1.51E-06
57 0 2.87E-06 1.12E-06
58 0 2.34E-06 8.08E-07
59 0 1.80E-06 5.73E-07
60 0 1.19E-06 3.99E-07
(注) E는 10의 제곱 지수를 나타낸다. 예를 들어, E+00=100, E-01=10-1, E-05=10-5이다.
1: 분출장치
7: 측면부
11f: 통기성 전면부
11a: 측면부(꺾임부)
15: 측둘레
70a: 제 1 통기구멍
70b: 제 2 통기구멍
70c: 제 3 통기구멍
112: 측판
113: 천판
114: 바닥판
115: 스페이서
W3: 안쪽 치수
X: 폭방향
Y: 상하방향
Z: 전후방향

Claims (18)

  1. 상류측에서 하류측을 향하는 공기의 유로에 정류기구부가 설치되고, 상기 공기가 상기 정류기구부를 통과한 후에 상기 정류기구부의 하류측에 일정한 공기류가 되어 공급되는 것을 가능하게 하는 공기분출장치로서,
    상기 장치는, 상기 일정한 공기류의 흐름 방향에 일치하며 상기 하류측을 전방으로 하는 전후방향과, 상기 전후방향에 직교하는 폭방향과, 상기 전후방향과 상기 폭방향에 직교하는 상하방향을 가지고,
    상기 장치에는, 상기 정류기구부의 하류측에 상기 폭방향과 상기 상하방향에 복수의 제 1 통기구멍이 분포하는 통기성 전면부와, 상기 통기성 전면부의 상기 폭방향 양측 각각에 있어서 상기 상하방향으로 연장되는 상기 통기성 전면부의 측둘레에서 상기 상류측을 향하여 넓어지는 측면부가 형성되며,
    상기 폭방향 양측의 적어도 한쪽의 상기 측면부에는 복수의 제 2 통기구멍이 분포하고, 상기 제 2 통기구멍으로부터는 상기 정류기구부를 통과한 상기 공기의 일부를 상기 폭방향의 바깥측으로 분출할 수 있으며,
    상기 장치는, 상기 폭방향으로 늘어서서 이웃하는 복수의 상기 장치 중 1대로서, 상기 제 2 통기구멍으로부터는, 이웃하는 상대방의 상기 장치의 상기 측면부를 향하여 상기 정류기구부를 통과한 상기 공기의 일부를 분출할 수 있는 것을 특징으로 하는 공기분출장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 통기성 전면부는, 상기 정류기구부의 양측의 적어도 한쪽을 넘어서 상기 폭방향으로 연장되고 있는 공기분출장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 측면부 중에서 상기 제 2 통기구멍이 분포하고 있는 부분은, 상기 통기성 전면부를 형성하고 있는 판재료가 상기 측둘레에 있어서 상기 상류측을 향하여 꺾임으로써 형성되어 있는 공기분출장치.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1, 제 2 통기구멍의 구멍직경이 0.5~4㎜의 범위에 있고, 상기 통기성 전면부의 면적 10㎠에 대하여 상기 제 1 통기구멍이 차지하는 면적의 비율 및 상기 측면부의 면적 10㎠에 대하여 상기 제 2 통기구멍이 차지하는 면적의 비율이 20~50%인 공기분출장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    이웃하는 상기 제 1 통기구멍의 중심간 거리 및 이웃하는 상기 제 2 통기구멍의 중심간 거리가 1~6㎜의 범위에 있는 공기분출장치.
  6. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 통기성 전면부가 상기 상하방향에 있어서 상기 폭방향으로 연장되는 상단둘레와 하단둘레 중 적어도 한쪽의 단둘레를 가지고, 상기 적어도 한쪽의 단둘레에는, 상기 통기성 전면부와 교차하여 상기 상류측을 향하여 넓어지는 단면부가 형성되며, 상기 단면부에는, 복수의 제 3 통기구멍이 분포하고, 상기 제 3 통기구멍으로부터는 상기 정류기구부를 통과한 상기 공기의 일부를 상기 상하방향의 바깥측으로 분출할 수 있는 공기분출장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 정류기구부와 상기 통기성 전면부 사이에는, 상기 상하방향으로 연장되는 양측벽부 및 상기 양측벽부 각각의 상기 상하방향에서의 단부로 이어져서 상기 폭방향으로 연장되는 꼭대기면부와 바닥면부를 가지는 스페이서가 개재하며, 상기 양측벽부 사이에서의 상기 폭방향의 안쪽 치수는, 상기 하류측으로 갈수록 상기 정류기구부의 상기 폭방향의 치수보다 점차 커지고 있고, 상기 양측벽부 각각이 상기 측면부의 적어도 일부분을 형성하며, 상기 꼭대기면부와 상기 바닥면부가 상기 장치에서의 상기 단면부의 적어도 일부분을 형성하며, 상기 통기성 전면부는 상기 양 측둘레와 상기 상하 단둘레에 있어서 상기 스페이서의 상기 양측벽부와 상기 꼭대기면부와 상기 바닥면부의 각각으로 이어지고, 상기 양 측벽부의 적어도 한쪽에는 복수의 상기 제 2 통기구멍이 형성되어 있는 공기분출장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 스페이서가 상기 장치에 있어서 제거 가능한 공기분출장치.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 스페이서와 상기 통기성 전면부가 서로 제거 가능한 공기분출장치.
  10. 제 7 항에 있어서,
    상기 꼭대기면부 및 상기 바닥면부 중 적어도 한쪽에는, 복수의 상기 제 3 통기구멍이 형성되어 있는 공기분출장치.
  11. 삭제
  12. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 장치는, 상기 통기성 전면부가 상기 상하방향에 있어서 상기 폭방향으로 연장되는 상단둘레와 하단둘레 중 적어도 한쪽 단둘레를 가지고, 상기 적어도 한쪽 단둘레에는, 상기 통기성 전면부와 교차하여 상기 상류측을 향하여 넓어지는 단면부가 형성되며, 상기 단면부에는, 복수의 제 3 통기구멍이 분포하고 있고, 상기 폭방향과 상기 상하방향으로 늘어서서 이웃하는 복수의 상기 장치의 1대이며, 상기 제 2 통기구멍 및 상기 제 3 통기구멍으로부터는, 상기 폭방향에 있어서 이웃하는 상대방의 상기 장치의 상기 측면부 및 상기 상하방향에 있어서 이웃하는 상대방의 상기 장치의 상기 단면부를 향하여 상기 정류기구부를 통과한 상기 공기의 일부를 분출할 수 있는 공기분출장치.
  13. 상류측에서 하류측을 향하는 공기의 유로에 정류기구부가 설치되고, 상기 공기가 상기 정류기구부를 통과한 후에 상기 정류기구부의 하류측에 일정한 공기류가 되어 공급되는 것을 가능하게 하는 공기분출장치로서,
    상기 장치는, 상기 일정한 공기류의 흐름방향에 일치하며 상기 하류측을 전방으로 하는 전후방향과, 상기 전후방향에 직교하는 폭방향과, 상기 전후방향과 상기 폭방향에 직교하는 상하방향을 가지고,
    상기 장치에는, 상기 정류기구부의 하류측에, 상기 폭방향과 상기 상하방향에 복수의 제 1 통기구멍이 분포하는 통기성 전면부와, 상기 통기성 전면부의 상기 상하방향에 있어서 상기 폭방향으로 연장되는 상단둘레와 하단둘레 중 적어도 한쪽 단둘레로부터 상기 통기성 전면부와 교차하여 상기 상류측을 향하여 넓어지는 상기 장치의 단면부가 형성되며,
    상기 단면부에는 상기 유로로 이어지는 복수의 제 3 통기구멍이 분포하고, 상기 제 3 통기구멍으로부터는 상기 정류기구부를 통과한 상기 공기의 일부를 상기 상하방향의 바깥측으로 분출할 수 있으며,
    상기 장치는, 상기 상하방향으로 늘어서서 이웃하는 복수의 상기 장치의 1대로서, 상기 제 3 통기구멍으로부터는, 이웃하는 상대방의 상기 장치의 상기 단면부를 향하여 상기 정류기구부를 통과한 상기 공기의 일부를 분출할 수 있는 것을 특징으로 하는 공기분출장치.
  14. 제 13 항에 있어서,
    상기 제 1, 제 3 통기구멍의 구멍직경이 0.5~4㎜의 범위에 있고, 상기 통기성 전면부의 면적 10㎠에 대하여 상기 제 1 통기구멍이 차지하는 면적의 비율 및 상기 단면부의 면적 10㎠에 대하여 상기 제 3 통기구멍이 차지하는 면적의 비율이 20~50%의 범위에 있는 공기분출장치.
  15. 제 14 항에 있어서,
    이웃하는 상기 제 1 통기구멍의 중심간 거리 및 이웃하는 상기 제 3 통기구멍의 중심간 거리가 1~6㎜의 범위에 있는 공기분출장치.
  16. 제 13 항 또는 제 14 항에 있어서,
    상기 장치에는, 상기 통기성 전면부의 상기 폭방향의 양측 각각에 있어서, 상기 상하방향으로 연장되는 상기 통기성 전면부의 측둘레로부터 상기 상류측을 향하여 넓어지는 측면부가 형성되고, 상기 폭방향 양측의 적어도 한쪽에서의 상기 측면부에는 복수의 제 2 통기구멍이 분포하며, 상기 제 2 통기구멍으로부터는 상기 정류기구부를 통과한 상기 공기의 일부를 상기 폭방향의 바깥측으로 분출할 수 있는 공기분출장치.
  17. 삭제
  18. 제 1 항 또는 제 13 항에 있어서,
    상기 통기성 전면부가 상기 장치에 있어서 설치 제거 가능한 것인 공기분출장치.
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