KR101452214B1 - 패널 검사장치 - Google Patents

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Abstract

패널 검사장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 검사장치는, 기능성 필름이 부착된 검사 대상의 패널(panel)이 이송되는 장치 테이블; 장치 테이블의 일측에 마련되어 기능성 필름과 패널의 부착정도를 검사하는 기능성 필름/패널 부착정도 검사유닛; 및 장치 테이블의 타측에 마련되며, 패널에 이물 또는 돌기 불량이 있는지의 여부를 검사하는 패널 불량 검사부를 포함한다.

Description

패널 검사장치{Apparatus for inspecting panel}
본 발명은, 패널 검사장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 기능성 필름과 패널의 부착정도를 비롯하여 패널에 이물 또는 돌기 불량이 있는지의 여부를 하나의 장치에서 효율적으로 진행할 수 있어 패널 검사에 따른 택트 타임(tact time)을 감소시켜 생산성을 향상시킬 수 있는 패널 검사장치에 관한 것이다.
최근 반도체 산업 중 전자 디스플레이 산업이 급속도로 발전하면서 평판디스플레이(Flat Panel Display, FPD) 역시 발전을 계속하고 있다. 평판디스플레이에는 LCD(liquid crystal display), PDP(Plasma Display Panel), OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등이 있다.
평판디스플레이 중에서도 특히, OLED는 구동방식에 따라 수동형인 PMOLED와, 능동형인 AMOLED로 나뉜다.
AMOLED는 자발광형 디스플레이로서 기존의 디스플레이보다 응답속도가 빠르며, 색감도 자연스럽고 전력 소모가 적다는 장점이 있다.
그리고 AMOLED는 글라스 패널(glass panel)이 아닌 얇고 쉽게 휘어질 수 있는 플렉서블 패널(flexible panel) 등에 적용하면 플렉시블 디스플레이(Flexible Display)의 기술을 구현할 수 있게 된다.
이러한 OLED를 제조하는 공정에는 패턴(Pattern) 형성 공정, 유기박막 증착 공정, 봉지 공정, 유기박막이 증착된 기판과 봉지 공정을 거친 기판을 붙이는 합착 공정, 패널에 편광필름과 같은 기능성 필름을 부착하는 기능성 필름 부착공정 등 다양한 공정이 있다.
한편, 기능성 필름 부착공정은 소위, 기능성 필름 부착장치를 통해 수행될 수 있다.
이때, 기능성 필름 부착장치에 사용되는 패널은 유리 재질로 된 비교적 두꺼운 글라스 패널(glass panel)일 수도 있고, 얇고 쉽게 휘어질 수 있는 플렉서블 패널(flexible panel)일 수도 있다.
글라스 패널은 기능성 필름이 부착되는 기능성 필름 부착면에 보호필름이 부착되어 있지 않는 경우가 대부분이다. 때문에 이러한 글라스 패널을 기능성 필름 부착장치에 적용할 때는 보호필름을 박리하는 공정 없이 예컨대 편광필름과 같은 기능성 필름을 곧바로 글라스 패널에 부착시킬 수 있다.
하지만, 플렉서블 패널의 경우에는 쉽게 휘어질 수 있는 플렉서블 패널을 보호하기 위해 비교적 두꺼운 보호필름이 일정한 점착력 이상으로 미리 부착되어 있는 경우가 대부분이다.
플렉서블 패널처럼 보호필름이 부착되어 있는 패널에 기능성 필름을 부착하기 위해서는 우선, 패널에 부착되어 있는 보호필름을 박리한 다음에 그 자리에 기능성 필름을 부착해야 한다.
이때, 기능성 필름이 패널에 부착되기 전에는 보호필름이 제거되어 기능성 필름이 부착될 기능성 필름 부착면 상에 이물이 존재하는 지의 여부를 검사해야 한다.
결과적으로, 패널에 기능성 필름을 부착시키는 일련의 작업이 진행된다는 의미는, 작업 대상의 패널이 로딩(loading)되거나 작업 완료된 패널이 언로딩(unloading)되는 패널 로딩/언로딩 공정, 패널 상의 보호필름을 박리하는 보호필름 박리 공정, 보호필름이 박리된 패널 면에 대한 이물의 존재 여부를 검사하는 패널 검사 공정, 예컨대 편광필름과 같은 기능성 필름을 패널에 부착시키는 기능성 필름 부착 공정의 총 4가지 공정을 차례로 진행하는 것을 의미한다.
한편, 이와 같은 공정이 전부 진행된 이후, 다시 말해 기능성 필름을 패널에 부착시킨 후에는 패널에 대한 다양한 검사가 진행되어야 한다.
예컨대 기능성 필름이 패널에 잘 부착되었는지의 여부, 즉 기능성 필름과 패널의 부착정도, 패널에 색상이 있는 이물이 있는지의 여부, 패널에 투명한 이물이 있는지의 여부, 패널에 돌기가 있는지의 여부를 검사할 필요가 있으며, 이러한 검사 과정에 이상이 없는 경우에 후공정을 수행할 수 있다.
다만, 패널에 대한 전술한 다양한 검사를 수행함에 있어 검사가 개별적으로 진행되는 경우에는 검사 효율이 떨어져 택트 타임(tact time)이 증가하여 생산성을 떨어뜨릴 수 있으므로 이러한 점을 감안한 패널 검사장치의 구조 개선이 시급하다.
대한민국특허청 출원번호 제10-2000-0032231호
따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 기능성 필름과 패널의 부착정도를 비롯하여 패널에 이물 또는 돌기 불량이 있는지의 여부를 하나의 장치에서 효율적으로 진행할 수 있어 패널 검사에 따른 택트 타임(tact time)을 감소시켜 생산성을 향상시킬 수 있는 패널 검사장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 기능성 필름이 부착된 검사 대상의 패널(panel)이 이송되는 장치 테이블; 상기 장치 테이블의 일측에 마련되어 상기 기능성 필름과 상기 패널의 부착정도를 검사하는 기능성 필름/패널 부착정도 검사유닛; 및 상기 장치 테이블의 타측에 마련되며, 상기 패널에 이물 또는 돌기 불량이 있는지의 여부를 검사하는 패널 불량 검사부를 포함하는 것을 특징으로 하는 패널 검사장치가 제공될 수 있다.
상기 기능성 필름/패널 부착정도 검사유닛은, 상기 패널의 상부 영역에 배치되는 부착정도 검사 카메라; 및 상기 패널을 사이에 두고 상기 패널의 하부 영역에 배치되어 상기 부착정도 검사 카메라를 향해 조명을 발생시키는 부착정도 검사 조명을 포함할 수 있다.
상기 부착정도 검사 조명은 LED 조명일 수 있다.
상기 패널 불량 검사부는, 상기 패널에 색상이 있는 이물 불량이 있는지의 여부를 검사하는 패널용 색상 이물 검사유닛; 및 상기 패널에 투명한 이물 불량 또는 돌기 불량이 있는지의 여부를 검사하는 패널용 투명 이물/돌기 검사유닛을 포함할 수 있다.
상기 패널용 색상 이물 검사유닛은 투과 조명에 의해 상기 패널에 색상이 있는 이물 불량이 있는지의 여부를 검사할 수 있으며, 상기 패널용 투명 이물/돌기 검사유닛은 반사 조명에 의해 상기 패널에 투명한 이물 불량 또는 돌기 불량이 있는지의 여부를 검사할 수 있다.
상기 패널용 색상 이물 검사유닛은, 상면으로 상기 패널이 로딩되며, 상기 장치 테이블에 이송 가능하게 마련되는 패널 검사용 스테이지; 상기 패널 검사용 스테이지의 상부 영역에 배치되는 제1 패널 검사 카메라; 및 상기 패널 검사용 스테이지의 하부 영역에 배치되어 상기 투과 조명을 조사하는 투과 조명 모듈을 포함할 수 있다.
상기 패널 검사용 스테이지는 투명 스테이지일 수 있다.
상기 패널 검사용 스테이지는 스테이지 이송축에 의해 이송 가능하게 지지되며, 상기 스테이지 이송축 상에 다수 개 배치될 수 있다.
상기 패널 검사용 스테이지의 선단부에는 상기 패널을 진공으로 흡착시키는 진공 흡착부가 더 마련될 수 있다.
상기 패널용 색상 이물 검사유닛은, 상기 패널 검사용 스테이지의 상부 영역에 배치되어 상기 패널을 상기 패널 검사용 스테이지의 표면으로 누름 가압하는 누름 롤러를 더 포함할 수 있다.
상기 패널용 투명 이물/돌기 검사유닛은, 상기 패널을 파지하여 이송시키는 패널 검사용 트랜스퍼; 상기 패널 검사용 트랜스퍼에 의해 파지된 상기 패널을 향해 비스듬한 상태로 배치되어 촬영하는 제2 패널 검사 카메라; 및 상기 패널을 향해 비스듬한 반사 조명을 조사하는 반사 조명 모듈을 포함할 수 있다.
상기 패널 검사용 트랜스퍼는 트랜스퍼 이송축에 의해 이송 가능하게 지지되며, 상기 패널 검사용 트랜스퍼는 상기 트랜스퍼 이송축 상에 다수 개 배치될 수 있다.
상기 기능성 필름/패널 부착정도 검사유닛의 주변에 배치되어 상기 패널을 파지하여 이송시키는 버퍼 트랜스퍼를 더 포함할 수 있다.
상기 기능성 필름/패널 부착정도 검사유닛과 상기 패널 불량 검사부는 상기 장치 테이블 상에서 인라인(in-line)되게 마련될 수 있다.
상기 패널은 OLED(Organic Light Emitting Diodes)용 플렉서블 패널(flexible panel)일 수 있다.
본 발명에 따르면, 기능성 필름과 패널의 부착정도를 비롯하여 패널에 이물 또는 돌기 불량이 있는지의 여부를 하나의 장치에서 효율적으로 진행할 수 있어 패널 검사에 따른 택트 타임(tact time)을 감소시켜 생산성을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 검사장치의 측면 구조도이다.
도 2는 도 1의 요부 확대 사시도이다.
도 3은 기능성 필름/패널 부착정도 검사유닛의 구성도이다.
도 4는 기능성 필름과 패널의 부착정도 검사를 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 패널에 이물 또는 돌기 불량이 있는지의 여부를 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 패널용 색상 이물 검사유닛의 사시도이다.
도 7은 도 6에 도시된 패널 검사용 스테이지의 사시도이다.
도 8은 도 6의 개략적인 측면 구조도이다.
도 9는 도 8의 요부 확대도이다.
도 10은 패널 검사용 트랜스퍼의 사시도이다.
도 11은 패널용 투명 이물/돌기 검사유닛의 사시도이다.
도 12는 도 11의 측면 구조도이다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.
도면 대비 설명에 앞서, 이하에서 설명될 패널은 유리 재질로 된 비교적 두꺼운 글라스 패널(glass panel)일 수도 있고, 얇고 쉽게 휘어질 수 있는 OLED(Organic Light Emitting Diodes)용 플렉서블 패널(flexible panel)일 수도 있는데, 이하에서는 이들을 구별하지 않고 패널이라 하기로 한다.
그리고 기능성 필름이란, 빛을 최적의 조건으로 투과, 편광시키기 위해, LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 중에서 선택된 적어도 어느 한 평판디스플레이에 적용될 수 있는 다양한 종류의 광학 필름(혹은 시트(sheet)), 예컨대 EMI 필름, 프리즘 필름, 보호 필름, 확산 필름, 반사 필름, DBEF, PVA, TAC, 이형 필름, 보상 필름, 반사 방지 필름 등이 될 수 있지만 이하에서는 OLED용 플렉서블 패널(flexible panel)에 부착되어 빛을 편광시키는 편광필름을 가리키는 것으로 본다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 패널 검사장치의 측면 구조도이고, 도 2는 도 1의 요부 확대 사시도이며, 도 3은 기능성 필름/패널 부착정도 검사유닛의 구성도이고, 도 4는 기능성 필름과 패널의 부착정도 검사를 설명하기 위한 도면이며, 도 5는 패널에 이물 또는 돌기 불량이 있는지의 여부를 설명하기 위한 도면이고, 도 6은 패널용 색상 이물 검사유닛의 사시도이며, 도 7은 도 6에 도시된 패널 검사용 스테이지의 사시도이고, 도 8은 도 6의 개략적인 측면 구조도이며, 도 9는 도 8의 요부 확대도이고, 도 10은 패널 검사용 트랜스퍼의 사시도이며, 도 11은 패널용 투명 이물/돌기 검사유닛의 사시도이고, 도 12는 도 11의 측면 구조도이다.
이들 도면을 참조하되 우선 도 1 및 도 2를 참조하면, 본 실시예의 패널 검사장치는, 기능성 필름이 부착된 검사 대상의 패널(panel)이 이송되는 장치 테이블(110)과, 장치 테이블(110)의 일측에 마련되어 기능성 필름과 패널의 부착정도를 검사하는 기능성 필름/패널 부착정도 검사유닛(120)과, 장치 테이블(110)의 타측에 마련되며, 패널에 이물 또는 돌기 불량이 있는지의 여부를 검사하는 패널 불량 검사부(130)를 포함한다.
장치 테이블(110)은 본 실시예의 패널 검사장치의 메인 골격을 이룬다. 즉 기능성 필름/패널 부착정도 검사유닛(120), 패널 불량 검사부(130) 등의 모든 구조물, 그리고 이들을 구동시키는 구동수단 등이 장치 테이블(110) 상에 지지된다.
기능성 필름/패널 부착정도 검사유닛(120)과 패널 불량 검사부(130)는 장치 테이블(110) 상에서 인라인(in-line)되게 배치된다.
이처럼 본 실시예의 경우, 장치 테이블(110) 상에서 기능성 필름과 패널의 부착정도 검사, 패널에 색상이 있는 이물 불량이 있는지의 여부 검사, 패널에 투명한 이물 불량 또는 돌기 불량이 있는지의 여부 검사가 순차적으로 즉 인라인(in-line)되게 진행되기 때문에 검사 효율이 증가하며, 패널 검사에 따른 택트 타임(tact time)을 감소시켜 생산성을 향상시킬 수 있다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 기능성 필름/패널 부착정도 검사유닛(120)은 패널의 상부 영역에 배치되는 부착정도 검사 카메라(121)와, 패널을 사이에 두고 패널의 하부 영역에 배치되어 부착정도 검사 카메라(121)를 향해 조명을 발생시키는 부착정도 검사 조명(122)을 포함한다.
이때의 부착정도 검사 조명(122)은 LED 조명일 수 있으며, 부착정도 검사 카메라(121)의 개수만큼 배치될 수 있다.
부착정도 검사 조명(122)을 받은 부착정도 검사 카메라(121)는 도 4처럼 패널의 코너 영역을 촬영한다. 패널의 코너 영역에는 얼라인 마크(M)가 형성되어 있으므로 부착정도 검사 카메라(121)는 얼라인 마크(M)들을 촬영함으로써 얼라인 마크(M)에 대한 기능성 필름 간의 부착정도를 검사할 수 있다.
실제, 기능성 필름에도 얼라인 마크가 형성되어 있으므로 이들 간의 배치 관계를 통해 기능성 필름과 패널의 부착정도를 검사할 수 있다.
기능성 필름과 패널의 부착정도가 검사된 패널은 장치 테이블(110)을 따라 이송된 후에, 후 검사 공정, 즉 패널 불량 검사부(130)로 향하여 패널에 이물 또는 돌기 불량이 있는지의 여부가 검사된다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 기능성 필름/패널 부착정도 검사유닛(120)의 주변에는 패널을 파지하여 이송시키는 버퍼 트랜스퍼(125)가 마련된다. 버퍼 트랜스퍼(125)는 다수 개 배치될 수 있다.
한편, 패널 불량 검사부(130)는 장치 테이블(110)의 타측에 마련되며, 패널에 이물 또는 돌기 불량이 있는지의 여부를 검사하는 역할을 한다.
이러한 패널 불량 검사부(130)는, 패널에 색상이 있는 이물 불량이 있는지의 여부를 검사하는 패널용 색상 이물 검사유닛(140)과, 패널에 투명한 이물 불량 또는 돌기 불량이 있는지의 여부를 검사하는 패널용 투명 이물/돌기 검사유닛(150)을 포함한다.
패널용 색상 이물 검사유닛(140)은 투과 조명에 의해 패널에 색상이 있는 이물 불량이 있는지의 여부를 검사하고, 패널용 투명 이물/돌기 검사유닛(150)은 반사 조명에 의해 패널에 투명한 이물 불량 또는 돌기 불량이 있는지의 여부를 검사한다.
도 5를 참조하여 패널에 색상이 있는 이물 불량이 있는지의 여부, 패널에 투명한 이물 불량 또는 돌기 불량이 있는지의 여부를 검사하는 원리에 대해 간략하게 미리 설명한다.
도 5의 (a)와 (b)에서 투과 조명과 반사 조명으로 검사를 진행한 경우, 만약, 같은 위치의 이물이 발견되었다면 기능성 필름(POL)과 패널 사이의 이물로 간주될 수 있다.
그러나 도 5의 (a)처럼 투과 조명에서만 이물이 발견된 경우에는 기능성 필름(POL)과 패널 밖의 이물로 판별될 수 있고, 도 5의 (b)처럼 반사 조명에서만 이물이 발견된 경우에는 패널 내부의 투명한 이물로 판별될 수 있다.
이러한 원리로서 투과 조명에 의해 패널에 색상이 있는 이물 불량이 있는지의 여부, 그리고 반사 조명에 의해 패널에 투명한 이물 불량 또는 돌기 불량이 있는지의 여부를 검사할 수 있다.
도 1, 도 2, 그리고 도 6 내지 도 9를 참조하면, 패널용 색상 이물 검사유닛(140)은, 상면으로 패널이 로딩되며, 장치 테이블(110)에 이송 가능하게 마련되는 패널 검사용 스테이지(141)와, 패널 검사용 스테이지(141)의 상부 영역에 배치되는 제1 패널 검사 카메라(142)와, 패널 검사용 스테이지(141)의 하부 영역에 배치되어 투과 조명을 조사하는 투과 조명 모듈(143)을 포함한다.
투과 조명 모듈(143)이 사용되기 위해, 본 실시예에서 패널 검사용 스테이지(141)는 투명 스테이지로 마련된다.
또한 패널 검사용 스테이지(141)는 내부가 빈 구조체로 이루어지기 때문에 투과 조명 모듈(143)이 패널 검사용 스테이지(141) 내에 배치되어 상부의 패널 쪽으로 투과 조명을 조사할 수 있다. 따라서 패널 검사용 스테이지(141)는 패널이 로딩되는 상면만 투명하면 된다.
투명 스테이지로 마련되는 패널 검사용 스테이지(141)는 도 7처럼 스테이지 이송축(145)에 의해 이송 가능하게 지지된다. 이때, 패널 검사용 스테이지(141)는 스테이지 이송축(145) 상에 다수 개 배치될 수 있다.
도 8의 그림은 극히 개념적으로 도시한 것으로서, 패널 검사용 스테이지(141)의 선단부에는 패널을 진공으로 흡착시키는 진공 흡착부(146)가 마련된다. 즉 투과 조명에 의해 패널에 색상이 있는 이물 불량이 있는지의 여부가 검사될 때에는 패널이 진공 흡착부(146)의해 견고하게 흡착된 상태에서 진행된다.
그리고 패널 검사용 스테이지(141)의 상부 영역에는 투과 조명에 의해 패널에 색상이 있는 이물 불량이 있는지의 여부가 검사될 때 패널을 패널 검사용 스테이지(141)의 표면으로 누름 가압하는 누름 롤러(147)가 마련된다. 누름 롤러(147)는 다수 개 적용되어 패널을 패널 검사용 스테이지(141)의 표면으로 누름 가압할 수 있다.
제1 패널 검사 카메라(142)는 투과 조명 모듈(143)로부터 패널을 투과하여 조사되는 광에 기초하여 패널을 촬영한다. 제1 패널 검사 카메라(142)는 별도의 컬럼(142a)에 의해 패널의 상부 높은 위치에 배치되어 있다.
이러한 제1 패널 검사 카메라(142)에 의해 촬영된 이미지를 판독했을 때, 만약 제1 패널 검사 카메라(142)의 이미지에만 이물이 발견된 경우라면 기능성 필름(POL)과 패널 밖의 이물로 판별될 수 있다.
도 1, 도 2, 그리고 도 10 내지 도 12에 도시된 바와 같이, 패널용 투명 이물/돌기 검사유닛(150)은, 패널을 파지하여 이송시키는 패널 검사용 트랜스퍼(151)와, 패널 검사용 트랜스퍼(151)에 의해 파지된 패널을 향해 비스듬한 상태로 배치되어 촬영하는 제2 패널 검사 카메라(152)와, 패널을 향해 비스듬한 반사 조명을 조사하는 반사 조명 모듈(153)을 포함한다.
패널 검사용 트랜스퍼(151)는 도 10처럼 트랜스퍼 이송축(155)에 의해 패널의 상부 영역에서 이송 가능하게 지지된다. 이때, 패널 검사용 트랜스퍼(151)는 트랜스퍼 이송축(155) 상에 다수 개 배치될 수 있다.
제2 패널 검사 카메라(152)는 전술한 제1 패널 검사 카메라(142)와 달리 패널 검사용 트랜스퍼(151)에 의해 파지된 패널을 향해 비스듬한 상태로 배치되어 촬영한다.
이때는 반사 조명 모듈(153)이 패널을 향해 비스듬한 반사 조명을 조사하기 때문에 제2 패널 검사 카메라(152)가 이러한 반사 조명에 기초하여 패널을 촬영할 수 있다.
이러한 제2 패널 검사 카메라(152)에 의해 촬영된 이미지를 판독했을 때, 만약 제2 패널 검사 카메라(152)의 이미지에만 이물이 발견된 경우라면 패널 내부의 투명한 이물로 판별될 수 있다.
이러한 구성을 갖는 패널 검사장치의 작용을 간략하게 설명한다.
패널 상의 보호필름을 박리된 후 기능성 필름이 부착된 패널은 도 1 및 도 2의 패널 검사장치로 이송되어 기능성 필름과 패널의 부착정도 검사, 패널에 색상이 있는 이물 불량이 있는지의 여부 검사, 패널에 투명한 이물 불량 또는 돌기 불량이 있는지의 여부 검사가 순차적으로 검사된다.
기능성 필름/패널 부착정도 검사유닛(120)에 도달된 패널은 부착정도 검사 카메라(121)의 촬영 이미지를 토대로 기능성 필름과 패널의 부착정도가 검사된다. 이때는 앞서 기술한 얼라인 마크(M)를 기초로 기능성 필름과 패널의 부착정도가 검사될 수 있다.
기능성 필름과 패널의 부착정도가 검사된 패널은 장치 테이블(110)을 따라 이송된 후에, 후 검사 공정, 즉 패널 불량 검사부(130)로 향하여 패널에 이물 또는 돌기 불량이 있는지의 여부가 검사된다.
우선, 패널용 색상 이물 검사유닛(140)에 도달된 패널은 투과 조명 모듈(143)을 통한 제1 패널 검사 카메라(142)의 이미지 촬영을 통해, 즉 투과 조명에 의해 패널에 색상이 있는 이물 불량이 있는지의 여부가 검사된다.
검사 후, 제1 패널 검사 카메라(142)에 의해 촬영된 이미지를 판독했을 때, 만약 제1 패널 검사 카메라(142)의 이미지에만 이물이 발견된 경우라면 기능성 필름(POL)과 패널 밖의 이물로 판별될 수 있다(도 5 참조).
다음, 패널용 투명 이물/돌기 검사유닛(150)에 도달된 패널은 반사 조명 모듈(153)을 통한 제2 패널 검사 카메라(152)의 이미지 촬영을 통해, 즉 반사 조명에 의해 패널에 투명한 이물 불량 또는 돌기 불량이 있는지의 여부가 검사된다.
검사 후, 제2 패널 검사 카메라(152)에 의해 촬영된 이미지를 판독했을 때, 만약 제2 패널 검사 카메라(152)의 이미지에만 이물이 발견된 경우라면 패널 내부의 투명한 이물로 판별될 수 있다.
이러한 검사 과정이 완료되어 양품으로 판별된 패널은 후공정으로 이송되어 후작업을 진행하게 되나 이상이 있는 패널은 리페어되거나 폐기된다.
이와 같은 구조와 동작을 갖는 본 실시예에 따르면, 기능성 필름과 패널의 부착정도를 비롯하여 패널에 이물 또는 돌기 불량이 있는지의 여부를 하나의 장치에서 효율적으로 진행할 수 있어 패널 검사에 따른 택트 타임(tact time)을 감소시켜 생산성을 향상시킬 수 있게 된다.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
110 : 장치 테이블 120 : 기능성 필름/패널 부착정도 검사유닛
121 : 부착정도 검사 카메라 122 : 부착정도 검사 조명
125 : 버퍼 트랜스퍼 130 : 패널 불량 검사부
140 : 패널용 색상 이물 검사유닛 141 : 패널 검사용 스테이지
142 : 제1 패널 검사 카메라 143 : 투과 조명 모듈
145 : 스테이지 이송축 146 : 진공 흡착부
147 : 누름 롤러 150 : 패널용 투명 이물/돌기 검사유닛
151 : 패널 검사용 트랜스퍼 152 : 제2 패널 검사 카메라
153 : 반사 조명 모듈

Claims (15)

  1. 기능성 필름이 부착된 검사 대상의 패널(panel)이 이송되는 장치 테이블;
    상기 장치 테이블의 일측에 마련되어 상기 기능성 필름과 상기 패널의 부착정도를 검사하는 기능성 필름/패널 부착정도 검사유닛; 및
    상기 장치 테이블의 타측에 마련되며, 상기 패널에 이물 또는 돌기 불량이 있는지의 여부를 검사하는 패널 불량 검사부를 포함하며,
    상기 패널 불량 검사부는,
    상기 패널에 색상이 있는 이물 불량이 있는지의 여부를 검사하는 패널용 색상 이물 검사유닛; 및
    상기 패널에 투명한 이물 불량 또는 돌기 불량이 있는지의 여부를 검사하는 패널용 투명 이물/돌기 검사유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 패널 검사장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 기능성 필름/패널 부착정도 검사유닛은,
    상기 패널의 상부 영역에 배치되는 부착정도 검사 카메라; 및
    상기 패널을 사이에 두고 상기 패널의 하부 영역에 배치되어 상기 부착정도 검사 카메라를 향해 조명을 발생시키는 부착정도 검사 조명을 포함하는 것을 특징으로 하는 패널 검사장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 부착정도 검사 조명은 LED 조명인 것을 특징으로 하는 패널 검사장치.
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서,
    상기 패널용 색상 이물 검사유닛은 투과 조명에 의해 상기 패널에 색상이 있는 이물 불량이 있는지의 여부를 검사하며,
    상기 패널용 투명 이물/돌기 검사유닛은 반사 조명에 의해 상기 패널에 투명한 이물 불량 또는 돌기 불량이 있는지의 여부를 검사하는 것을 특징으로 하는 패널 검사장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 패널용 색상 이물 검사유닛은,
    상면으로 상기 패널이 로딩되며, 상기 장치 테이블에 이송 가능하게 마련되는 패널 검사용 스테이지;
    상기 패널 검사용 스테이지의 상부 영역에 배치되는 제1 패널 검사 카메라; 및
    상기 패널 검사용 스테이지의 하부 영역에 배치되어 상기 투과 조명을 조사하는 투과 조명 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 패널 검사장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 패널 검사용 스테이지는 투명 스테이지인 것을 특징으로 하는 패널 검사장치.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 패널 검사용 스테이지는 스테이지 이송축에 의해 이송 가능하게 지지되며, 상기 스테이지 이송축 상에 다수 개 배치되는 것을 특징으로 하는 패널 검사장치.
  9. 제6항에 있어서,
    상기 패널 검사용 스테이지의 선단부에는 상기 패널을 진공으로 흡착시키는 진공 흡착부가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 패널 검사장치.
  10. 제6항에 있어서,
    상기 패널용 색상 이물 검사유닛은,
    상기 패널 검사용 스테이지의 상부 영역에 배치되어 상기 패널을 상기 패널 검사용 스테이지의 표면으로 누름 가압하는 누름 롤러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 패널 검사장치.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 패널용 투명 이물/돌기 검사유닛은,
    상기 패널을 파지하여 이송시키는 패널 검사용 트랜스퍼;
    상기 패널 검사용 트랜스퍼에 의해 파지된 상기 패널을 향해 비스듬한 상태로 배치되어 촬영하는 제2 패널 검사 카메라; 및
    상기 패널을 향해 비스듬한 반사 조명을 조사하는 반사 조명 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 패널 검사장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 패널 검사용 트랜스퍼는 트랜스퍼 이송축에 의해 이송 가능하게 지지되며, 상기 패널 검사용 트랜스퍼는 상기 트랜스퍼 이송축 상에 다수 개 배치되는 것을 특징으로 하는 패널 검사장치.
  13. 제1항에 있어서,
    상기 기능성 필름/패널 부착정도 검사유닛의 주변에 배치되어 상기 패널을 파지하여 이송시키는 버퍼 트랜스퍼를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 패널 검사장치.
  14. 제1항에 있어서,
    상기 기능성 필름/패널 부착정도 검사유닛과 상기 패널 불량 검사부는 상기 장치 테이블 상에서 인라인(in-line)되게 마련되는 것을 특징으로 하는 패널 검사장치.
  15. 제1항에 있어서,
    상기 패널은 OLED(Organic Light Emitting Diodes)용 플렉서블 패널(flexible panel)인 것을 특징으로 하는 패널 검사장치.
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