KR101441737B1 - 유기 증기 인쇄용 장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

한 구체 예에서, 본 명세서는 증기화된 물질을 운반하는 제1 기체 스트림을 제공하고, 상기 증기화된 물질을 함유하는 다수의 기체 스트림을 기판으로 유도하여 상기 증기화된 물질을 기판상에 증착하고, 상기 스트림 주변에 기체 커튼을 형성하여 목표 인쇄 구역을 벗어나는 유포를 방지하는 것과 관련된다. 또 다른 구체 예에서, 물질의 흐름 및 증착된 층의 두께를 조절하기 위한 열이 사용된다.

Description

유기 증기 인쇄용 장치 및 방법{METHOD AND APPARATUS FOR ORGANIC VAPOR PRINTING}
배경
본 출원은 2009.05.01. 출원된 가출원 제61/174,943호에 대한 우선권을 주장하며, 상기 문헌은 그 전체가 본 명세서에 수록된다.
발명의 분야
본 명세서는 프로파일 엣지(profiled edge)를 가지며 목표 인쇄 구역 상부에 실질적으로 균일한 유기 필름을 인쇄하기 위한 장치 및 방법에 관한 것이다. 더욱 상세하게는, 본 명세서는 증기화된 물질을 제공하고, 상기 증기화된 물질을 목표 구역 상부에 배포하고 상기 증기화된 물질을 응축시켜 목표 구역에 실질적으로 균일한 필름을 형성하는 유기 필름(film)[층(layer)과 상호교환가능]을 인쇄하기 위한 신규한 장치 및 방법에 관한 것이다.
관련 선행 기술의 설명
유기발광소자(OLED)의 제조에는 하나 이상의 유기 필름을 기판에 증착시키고 필름 스택(film stack)의 상단 및 하단을 전극에 연결시키는 것이 요구된다. 필름 두께가 주된 관심대상이다. 전체 층 스택 두께는 약 100 nm이며 각각의 층은 ±2%보다 우수한 정밀성으로 균일하게 선택적으로 증착된다. 필름 순도가 또한 중요하다. 종래 소자는 다음 두 가지 방법 중 어느 하나를 사용하여 필름 스택을 형성한다: (1) 비교적 진공 환경에서 유기 물질을 열적 증발시키고 후속하여 유기 증기를 기판상에 응축시킴; 또는, (2) 유기 물질을 용매에 용해시키고, 생성물인 용액을 기판에 코팅시키고, 후속하여 용매를 제거함.
OLED의 유기 박막을 증착시키는데 있어서 또 다른 고려사항은 필름을 원하는 위치에 정확하게 놓는 것이다. 필름 증착 방법에 따라, 이러한 임무를 위한 두 가지 종래 기술이 있다. 열적 증발법(thermal evaporation)에 있어서, 원하는 구조의 OLED 필름을 형성하기 위하여 섀도 마스킹(shadow masking)이 사용된다. 섀도 마스킹 기술에는 잘-정의된 물리 마스크를 기판의 구역 위에 위치시키고 후속하여 필름을 전체 기판 구역에 증착시키는 것이 요구된다. 일단 증착이 완결되면, 섀도 마스크를 제거한다. 마스크를 통하여 노출된 구역이 기판상에 증착된 물질의 패턴을 정의한다. 이러한 과정은 비효율적인데, 왜냐하면 단지 섀도 마스크를 통하여 노출된 구역만이 필름을 요구함에도 불구하고 전체 기판이 코팅되어야 하기 때문이다. 또한, 섀도 마스크는 매 사용시마다 점점 더 많이 코팅되며, 결국 버려지거나 세척되어야 한다. 마지막으로, 상기 마스크를 구조적으로 불안정하게 하는 매우 얇은 마스크(작은 피처 사이즈(feature size)를 달성하기 위하여)을 사용할 필요성으로 인하여, 넓은 구역에 걸친 섀도 마스크의 이용은 어렵다. 그렇지만, 기상 증착 기술(vapor deposition technique)은 높은 균일성 및 순도 그리고 적절한 두께 제어를 수반하는 OLED 필름을 산출한다.
용매 증착법에 있어서, 잉크 제트 인쇄법(ink jet printing)이 OLED 필름의 패턴을 증착하기 위하여 사용될 수 있다. 잉크 제트 인쇄법에는 유기 물질을 인쇄가능한 잉크로 만드는 용매에 용해시키는 것이 요구된다. 또한, 잉크 제트 인쇄법은 전통적으로 하나 또는 두 층의 OLED 필름 스택의 사용에 제한되며, 이는 기상 증착된 소자에서 사용되는 넷 내지 다섯 층 필름 스택과 비교하여 저조한 성능을 나타낸다. 스택 제한이 발생하는데 이는 인쇄가 전형적으로 하위 유기층의 파괴적인 용해를 야기하기 때문이다. 따라서, 각각의 층이 후속하는 각 층의 습식 증착에 의해 손상을 입지 않도록 각각의 층을 설계해야 하며, 이는 물질 및 스택 선택사항을 매우 제한한다. 마지막으로, 필름이 증착될 구역 내에 잉크를 함유하는 정의된 구역이 먼저 기판에 제공되지 않은 경우, 코팅 및 공정의 복잡성을 증가시키는 단계인 잉크 제트 인쇄법은 기상 증착된 필름에 비하여 매우 나쁜 두께 균일성을 가진다. 물질 품질 또한 전형적으로 낮은데, 이는 건식 공정 동안 일어나는 물질 내 구조적인 변화 및 잉크에 존재하는 불순물 때문이다. 그렇지만, 잉크 제트 인쇄 기법은 OLED 필름의 패턴을 우수한 물질 효율성을 수반하면서 매우 넓은 구역에 제공할 수 있다.
어떠한 종래 기술도 잉크 제트 인쇄법의 넓은 구역 패턴화 능력과 유기 박막(organic thin film)에 대한 기상 증착에 의해 달성되는 높은 균일성, 순도, 및 두께 조절을 결합하지 못한다. 잉크 제트 처리된 OLED 소자는 광범위한 상업화에 대한 부적절한 품질을 가지며, 열적 증발은 너무 고가이며 넓은 구역에 대한 스케일링에 대하여는 실용적이지 않기 때문에, 높은 필름 품질 및 비용-효과적인 넓은 구역의 스케일링능력 둘 모두를 제공할 수 있는 기술을 개발하는 것이 OLED 산업에서 주된 기술적 도전과제이다.
마지막으로, OLED 디스플레이 제조는 또한 금속, 무기 반도체, 및/또는 무기 절연체의 박막의 패턴화된 증착을 요구할 수도 있다. 종래에는, 기상 증착 및/또는 스퍼터링(sputtering)이 이러한 층을 증착하기 위하여 사용되었다. 패턴화는 사전 기판 제조(예를 들면 절연체를 사용한 패턴화된 코팅), 전술한 섀도 마스킹, 및 미가공 기판 또는 보호층이 사용되는 경우에는 종래의 포토리소그래피를 사용하여 달성된다. 이러한 접근법 각각은 원하는 패턴의 직접 증착법에 비하여 비효율적인데 왜냐하면 물질을 허비하거나 또는 추가 처리 단계를 요구하기 때문이다. 따라서, 높은-품질, 비용 효과적, 넓은 구역에서 스케일링 가능한 필름을 위한 물질, 및 방법과 장치가 요구된다.
개요
본 명세서에 기재된 한 구체 예를 따라 기판상에 균일-두께의 필름을 인쇄하기 위한 장치는 증기화된 유기 물질과 운반 기체 스트림의 혼합물을 전달(communicating)하기 위한 노즐; 상기 노즐로부터 나온 상기 혼합물을 전달하는 다수의 미세공극(micropore), 여기서 상기 다수의 미세공극은 다수의 오버랩핑(overlapping) 서브-스트림을 제공하도록 배치됨; 및 상기 다수의 오버랩핑 서브-스트림을 받아서 필름으로 응축시키기 위한 기판;을 포함한다. 다수의 미세공극은 각각 서로 독립적일 수 있다. 다수의 미세공극 중 최소 두 개가 공동(cavity)을 통하여 서로 연결될 수 있다.
또 다른 구체 예에서, 본 명세서는 실질적으로 균일한 두께를 갖는 필름을 인쇄하기 위한 방법을 제공한다. 상기 방법은 증기화된 물질을 운반하는 제1 기체 스트림을 제공하는 단계를 포함한다. 증기화된 물질은 유기 잉크 조성물을 포함할 수 있다. "잉크"는 일반적으로 일정 부피의 유체 성분(액체 상 또는 기체 상)을 갖는 임의 혼합물로서 정의되며; 이러한 일반화된 "잉크"의 예는 기체상태 물질의 혼합물, 운반 기체(carrier gas) 내에 현탁된 액체 입자의 혼합물, 및 운반 기체 내에 현탁된 고체 입자의 혼합물을 포함한다. 제1 기체 스트림은 제1 온도를 가진다. 제1 기체 스트림은 다수의 서브-스트림으로 분할될 수 있으며 각각의 서브-스트림은 증기화된 물질을 운반한다. 서브-스트림은 마이크로규모의 가장 짧은 횡단면 치수(cross-sectional dimension)를 가질 수 있다(즉, 일반적으로 1 μm 내지 200 μm). 서브-스트림 횡단면은 일반적으로 평균 흐름 벡터에 수직하는 평면을 통과하는 흐름 면적으로 정의된다. 예를 들면, 서브-스트림이 3 um 짧은 측면과 15 um 긴 측면을 갖는 직사각형 횡단면을 갖는 긴 튜브를 통하여 흐른다면, 서브-스트림의 횡단면은 튜브 자체의 직사각형 횡단면이며, 이러한 횡단면의 가장 짧은 치수는 약 3 um이다. 그 후 서브-스트림은 기판으로 유도된다. 동시에, 제2 기체 스트림이 기판으로 유도될 수 있다. 제2 기체 스트림은 목표 구역 내에 증기화된 물질을 함유하도록 다수의 서브-스트림에 대한 유체 커튼을 형성한다. 증기화된 물질은 상기 목표 구역 내에서 기판상에 응축하여 실질적인 고체 필름 또는 층을 형성한다. 바람직한 구체 예에서, 기판은 증기화된 물질보다 낮은 온도를 가져서 응축을 촉진한다. 서브-스트림이 실질적으로 균일한 필름 두께를 갖는 인쇄된 층의 형성을 허용하도록, 유체 커튼이 기판에 대하여 위치될 수 있다. 필름이 실질적으로 프로파일 엣지을 갖도록, 유체 커튼이 또한 기판에 대하여 위치될 수 있다.
또 다른 구체 예에서, 본 명세서는 증기화된 물질을 운반하는 제1 기체 스트림을 전달하기 위한 도관을 갖는 필름 증착 장치에 관한 것이다. 제1 기체 스트림은 잉크 조성물의 증기화된 물질을 함유한다. 다중공극 노즐은 도관과 유체 소통하면서 위치할 수 있다. 다중공극 노즐은 제1 기체 스트림을 다수의 마이크론-규모의 서브-스트림으로 분할하며 각각의 서브-스트림은 증기화된 물질을 운반한다. 보조 노즐이 다수의 서브-스트림에 대한 기체 커튼을 제공한다. 잉크 조성물의 증기화된 물질을 응축하고 그에 따라 목표 인쇄 구역에 실질적인 고체 필름을 형성하도록, 기판이 다중공극 노즐과 보조 노즐에 대하여 위치될 수 있다. 프로파일 엣지가 있는 실질적으로 균일한 필름 두께를 갖는 필름을 증착하도록, 다수의 서브-스트림이 서로에 대하여 그리고 유체 커튼에 대하여 위치될 수 있다.
또 다른 구체 예에서, 본 명세서는 기판상에 인쇄 구역을 목표하는 단계; 운반 기체와 일정량의 유기 물질을 갖는 제1 스트림을 인쇄 구역으로 유도하여 기판상에 유기 물질의 층을 증착하는 단계; 제2 스트림을 인쇄 구역으로 보내는 단계, 상기 제2 스트림은 인쇄 층의 엣지를 목표로 하며; 여기서, 상기 제1 스트림은 상기 기판보다 높은 온도를 가져서 유기 물질을 인쇄 구역 상에 응축시키는 것에 의해, 균일한 두께 프로파일의 필름을 인쇄하는 방법에 관한 것이다. 예시적인 실시에서, 서브-스트림들은 서로 오버랩된다.
또 다른 구체 예에서, 본 명세서는 인쇄 층 상에 프로파일 엣지를 형성하는 장치에 관한 것이다. 상기 장치는 다음을 포함한다: 다수의 서브-스트림 내에서 일정량의 유기 물질을 함유하는 운반 기체를 방출하기 위한 제1 방출 노즐; 상기 일정량의 유기 물질을 수령하여 엣지를 갖는 인쇄 층 상에 응축시키기 위한 기판, 상기 기판은 목표 인쇄 구역을 가짐; 상기 목표 인쇄 구역의 적어도 일부분 상부에 유체 커튼을 형성하는 제2(보조) 방출 노즐, 상기 유체 커튼은 인쇄 층의 엣지와 접촉하여 실질적인 프로파일 엣지를 형성함. 다수의 서브-스트림은 실질적으로 균일한 필름 두께 프로파일을 갖는 필름을 증착하도록 위치될 수 있다.
본 발명의 또 다른 구체 예는 노즐로부터의 유기 물질 방출을 제어하는 방법에 관한 것이다. 상기 방법은 다음 단계를 포함한다: (a) 유기 물질을 갖는 운반 기체를 방출 노즐에 공급하는 단계, 상기 방출 노즐은 다중 공극을 가짐; (b) 다수의 방출 스트림을 방출 노즐에서 형성하는 단계, 각각의 방출 스트림은 일정량의 유기 물질을 가짐; (c) 방출 노즐을 가열하여 상기 일정량의 유기 물질을 방출 노즐로부터 방출하는 단계; (d) 방출 노즐로부터 열을 제거하여 방출 노즐의 다중 공극 내 유기 물질을 응축시키는 단계; (e) 단계 (a) 내지 (d)를 반복하여 인쇄 노즐로부터의 증착 비율을 제어하는 단계.
본 명세서의 또 다른 구체 예에 따른 장치는 다수의 미세공극을 갖는 방출 노즐; 일정량의 유기 물질을 갖는 운반 기체를 방출 노즐로 전달하기 위한 도관; 최소 하나의 미세공극을 가열하기 위한 히터; 및 상기 일정량의 유기 물질을 미세공극을 통하여 전달하거나 또는 상기 일정량의 유기 물질을 미세공극 내에서 응축시키기 위하여 상기 히터를 조절하기 위한 제어기를 포함한다.
또 다른 구체 예에서, 본 명세서는 증기화된 유기 물질을 함유하는 운반 기체 스트림을 운송하는 단계; 상기 기체 스트림과 상기 증기화된 물질을 다수의 서브-스트림에 분배하는 단계, 각각의 서브-스트림은 다수의 증기화된 유기 물질을 가짐; 및 상기 다수의 서브-스트림을 기판 표면으로 유도하는 단계에 의해 수행되는, 프로파일 엣지를 갖는 필름을 인쇄하는 방법에 관한 것이다. 기판 표면은 일정량의 증기화된 물질을 인쇄된 유기 물질의 층으로 응축시킨다. 프로파일 엣지는 증착된 층의 두 개의 실질적으로 직교하는 엣지를 연결하는 엣지로서 정의될 수 있다.
또 다른 구체 예에서, 다중 노즐의 어레이가 필름 증착을 위하여 형성된다. 다중-노즐 어레이는 임의 수의 노즐을 포함할 수 있다. 노즐의 수는 목표 인쇄 구역의 크기와 같은 고려사항에 의해 결정될 수 있다. 각각의 노즐은 다중공극 방출기를 가져서 오버랩핑 또는 비-오버랩핑 서브-스트림을 제공할 수도 있다.
도면의 간단한 설명
본 명세서의 상기 구체 예들 및 또 다른 구체 예들은 다음의 예시적이고 비-제한적인 도면을 참조하여 설명되며, 도면에서 동일한 요소들에 대하여 유사한 도면부호를 사용한다.
도 1은 종래의 필름 증착용 노즐을 도식적으로 나타낸다.
도 2A는 도 1의 노즐의 인쇄된 프로파일을 나타낸다.
도 2B는 바람직한 인쇄된 프로파일을 나타낸다.
도 3은 종래 기술에서 발생하는 측면 결함을 나타낸다.
도 4는 본 명세서의 한 구체 예에 따르는 다중공극 노즐을 나타낸다.
도 5A-5C는 몇 개의 예시적인 공극 패턴을 나타낸다.
도 6A-6C는 본 명세서의 또 다른 구체 예에 따르는 복합 공극 패턴을 나타낸다.
도 7은 예시적인 다중공극 노즐 어레이를 나타낸다.
도 8은 유체 커튼을 위한 보조 기체 스트림을 갖는 본 명세서의 구체 예를 나타낸다.
도 9는 본 명세서의 구체 예에 따르는 기체 커튼을 갖는 다중공극 어셈블리를 나타낸다.
도 10은 도 9의 경계면 플레이트의 횡단면도이다.
도 11은 본 명세서의 또 다른 구체 예에 따르는 열 셔터를 갖는 다중공극 노즐을 나타낸다.
도 12는 히터가 꺼진 상태인 도 11의 다중공극 노즐을 나타낸다.
도 13은 유체 커튼을 위한 다중 모세관(또는 공극)을 갖는 예시적인 노즐을 나타낸다.
도 14는 유체 커튼을 형성하기 위한 장치를 갖는 예시적인 노즐을 나타낸다.
도 15는 두 개의 유체 덕트가 있는 다중공극 노즐을 갖는 또 다른 예시적인 방출 구조물을 나타낸다.
도 16은 미세공극이 오버랩핑 증착물을 제공하는 예시적인 구체 예를 나타낸다.
상세한 설명
유기 박막의 패턴화는 발광 디스플레이의 제조를 비롯하여 다양한 분야에서 유용하다. 이는 특히 OLED 디스플레이에 대하여 중요한데 왜냐하면 이러한 디스플레이는 기판상에 많은 수의 패턴화된 층을 생성하는 것을 요구하기 때문이다. 각각의 층은 각각의 풀 컬러 픽셀에서 적색, 녹색, 및 청색인 하나의 색을 정의한다. 패턴화는 섀도 마스크 증발을 이용하여 수행된다. 섀도 마스크 공정은 고가이면서 노동 집약적이다. 또한 오류가 생기기 쉬우며 비교적 좁은 구역에서만 적용할 수 있는 것으로 여겨진다.
본 명세서에 기재된 구체 예들은 넓은 구역에서 저비용으로 수행되며, 목표 인쇄 구역에 대한 우수한 균일성을 또한 제공하며, 요구되는 경우 예리한 엣지 프로파일을 제공하는, 패턴화된 유기 박막을 증착하기 위한 방법 및 장치를 제공함으로써, 종래 기술의 단점을 극복한다. 본 명세서가 유기 증기 물질을 전달하는 운반 기체를 사용하는 문맥에서 개시되나, 개시된 원칙은 단지 유기 증기 물질에 한정되는 것은 아니며, 운반 매질은 증착 물질을 표적 기판에 운반하기 위하여 사용되는 모든 인쇄 방법에 대하여 적용될 수 있음에 유의하여야 한다.
한 구체 예에서, 본 명세서는 유기 증기 물질을 함유하는 운반 기체 스트림을 노즐에서 수령하는 단계, 상기 운반 기체 스트림을 다수의 서브-스트림으로 마이크로규모 분배기(마이크론-규모의 샤워헤드와 호환가능)에서 분배하는 단계 및 상기 서브-스트림을 다수의 미세공극을 통하여 기판으로 유도하는 단계에 의해 수행되는, 실질적으로 균일한 두께의 필름을 증착하기 위한 구조물에 관한 것이다. 운반 기체 스트림에 비하여 낮은 온도를 갖는 기판은 유기 증기 물질의 응축을 야기한다. 각각의 미세공극으로부터 나온 증기 스트림이 유기 물질의 오버랩핑 증착물을 기판상에 동시에 운송하도록 미세공극이 구성될 수 있다. 단일의 마이크로규모 분배기로부터 나온 증착물의 횡단면은, 미세공극의 크기, 모양 및 패턴의 적절한 설계를 통하여 제어될 수 있는 연속적인, 넌-제로(non-zero) 횡단면을 가질 수 있다. 따라서, 본 발명의 구체 예에서, 다중 증기 스트림(또는 서브-스트림)은 균일한 증착 필름을 형성하기 위하여 적어도 부분적으로 합병된다.
도 1은 종래의 필름 증착용 노즐을 도식적으로 나타낸다. 종래 증착 기술에 있어서, 가열된 운반 기체의 스트림이 증기화된 유기 물질을 운송하기 위하여 사용된다. 도 1에서, 스트림(110)은 증기화된 유기 물질을 함유하는 운반 기체를 나타낸다. 스트림(110) 내에서 운송되는 증기화된 유기 물질은 기판(130)의 상단 표면에 증착되어 필름(115)의 층을 형성한다. 스트림(110)을 기판(130)으로 운송하기 위한 도관이 벽(120)에 의해 도식적으로 제시된다. 따라서, 가열된 운반 기체의 스트림을 이용함으로써, 증기화된 유기 물질이 튜브를 통하여 노즐(125) 밖으로 전달될 수 있다. 종래의 적용분야에서, 원하는 패턴을 증착하도록 기판(130)이 노즐(125)에 대하여 이동된다. OLED 분야에 적용될 때, 전형적인 증착 필름 두께는 10 nm 내지 200 nm이다; 그렇지만, 본 기술을 사용할 때 증착 필름 두께의 범위에 대한 근본적인 한계점은 없다.
도 2A에 도시된 바와 같이, 단일 모세관 노즐(125)은 대략적인 가우스 모양(Gaussian shaped) 필름 프로파일을 생성한다. 전형적으로 가우스 모양 필름 프로파일은 목표 인쇄 구역에서 균일한 두께를 갖지 않는다(목표 인쇄 구역이 증착된 구역의 중간의 매우 좁은 부분으로 한정되지 않는 한 그러하며, 이는 매우 비현실적이다). 도 2B에 도시된 바와 같이, 예리한 측면벽(프로파일 엣지)을 갖는 평탄 구역에 근접하기 위하여, 매우 좁은 인쇄 스트림에 의한 다중 오버랩핑 통로가 요구된다. 그렇지만, 단단한 기계적 정령 및 내구성이 요구되는 점을 고려하면, 오버랩핑 기술은 느리고, 고가이며 오류를 발생하기 쉽다. 또한 인쇄된 구역의 엣지에서 예리한 엣지 프로파일을 얻기 위한 충분히 좁은 인쇄 스트림을 생성하는 것이 어렵다.
또한, 운반 기체의 유량 및 고온으로 인하여, 모든 물질이 기판에 직접 증착되는 것은 아니다. 실제로, 도 3에 도시된 바와 같이, 물질들은 기판에서 튕겨져 나와 측면으로 흐르며, 결국 원하는 구역으로부터 멀리 떨어진 기판상에 증착된다. 이러한 기판의 결함은 임의 제품, 특히 대규모 제품에 대하여 종래 기술을 매력 없게 만든다.
도 4는 본 명세서의 한 구체 예에 따르는 다중공극 노즐을 나타낸다. 도 4에서, 기체 스트림(410)은 기판(430)상에 증착될 유기 증기 물질을 운반하는 뜨거운 기체이다. 기체 스트림(410)은 도관(420)을 통하여 다중공극 노즐(425)로 운송된다. 다중공극 노즐(425)은 스트림(410)을 다중 서브-스트림(412)으로 분할한다. 각각의 서브-스트림(412)은 운반 기체와 증기 유기 물질을 포함한다. 서브-스트림(412)은 필름 층(415)을 기판(430)에 증착한다. 필름 층(415)은 원하는 프로파일 엣지를 가진다. 필름(415)은 또한 실질적으로 균일한 두께를 가진다. 마지막으로, 다중공극 노즐(425)은 기판 전반에 대한 유기 증기 물질의 측면 결함을 방지한다.
다중공극 노즐은 종래 기술을 사용하여 제작될 수 있다. 본 명세서의 한 구체 예에서, 다중공극 노즐은 매우 작은 공극[모세관(orifice)] 어레이를 형성하고, 매우 작은 피처(features)를 증착하는 MEMS 제작 기술을 사용하여 제작될 수 있다. 공극 및 피처는, 최대 100 μm의 공극 크기가 가능함에도, 전형적으로 1-10 μm의 지름을 가진다. 공극의 작은, 마이크론-규모 크기는 매우 우수한 필름 증착 균일성 및 프로파일 엣지(예리한 측벽)를 가능하게 한다.
도 5A-5C는 예시적인 공극 패턴을 나타낸다. 도 5A에서, 원형 공극들이 어레이에 정렬된다. 도 5A의 다중공극 노즐은 표면(510)을 가지며, 상기 표면(510)은 그 안에 형성된 공극(512)을 가진다. 공극(512)은 원형 모양이며 노즐에 대하여 대칭적으로 정렬된다. 도 5B에서, 공극(514)은 직사각형 모양이며 도 5C에서, 직사각형 공극(516)은 각 측면에 반원형(semi-circular) 공극(518)이 부가된다. 도 5A-5C는 공극의 모양이, 서로 다르게 고안되어 증착된 패턴 및 관련된 필름 횡단면을 수용하도록 많은 모양과 방향을 포함하도록 설계될 수 있음을 제시한다. 도 5A-5C의 노즐은 MEMS와 같은 종래 제작 기술을 사용하여 제작될 수 있다.
일부 응용에서, 둘 또는 그 이상의 미세공극 사이에서 얇은 개구(opening)를 전략적으로 형성함으로써 미세공극 패턴을 단일의 연속 모세관(또는 수 개의 모세관들)로 전환시키는 것이 유리할 수도 있다. 이러한 구조는 도 6A-6C에 제시된다. 구체적으로, 도 6A-6C는 다중공극 노즐의 더욱 복잡한 공극 패턴을 나타낸다. 구체적으로, 도 6은 원형(도 6A), 직사각형(도 6B) 또는 혼성(도 6C) 모양을 갖는 연결된 공극의 패턴을 나타낸다. 모양은 서로 다른 패턴 및 원하는 필름 횡단면을 제공하도록 설계될 수 있다.
도 7은 다중공극 노즐의 예시적인 어레이를 나타낸다. 도 7에서, 기판(730)은 스트림(710)으로부터 불연속 필름(715)을 증착하는 다중공극 노즐(725)의 어레이 전반에 위치한다. 스트림(710)은 증기화된 유기 물질을 함유하는 고온의 운반 기체를 가질 수 있다. 각각의 증착된 필름 단편(film segment)은 프로파일 엣지 및 실질적으로 균일한 두께를 가진다. 도관(720)은 다중공극 어레이에 일체화되거나 또는 별개일 수 있다. 본 명세서의 또 다른 실시에서, 도관(720)은 완전히 제거될 수도 있다. 또 다른 구체 예에서, 다중공극 노즐은 경계면 플레이트로서 설계되며 방출 도관과 착탈가능하게 연결된다. 수 개의 다중공극 노즐이 배열되어 노즐의 어레이를 형성할 수 있다. 어레이 내의 이웃하는 다중-노즐 공극은 동일한 모양을 가질 필요가 없다.
도 8은 보조 기체 스트림을 갖는 본 명세서의 구체 예를 나타낸다. 본 구체 예에서, 기체 스트림은 기상 증착의 모양을 더욱 수정하기 위하여 다중공극 노즐 근처에 위치한다. 보조 기체 스트림은 고온 기체 스트림에 대한 공기 커튼을 형성하여 유기 증기 물질의 측면 결함(lateral dissemination)을 추가로 방지한다. 보조 기체 스트림은 또한 증착된 물질의 프로파일 엣지 및 두께를 개량하는 것을 돕는다. 도 8을 참조하여, 제1 기체 스트림(810)은 그 내부에 증기화된 유기 물질을 운반하는 고온의 기체 스트림을 정의한다. 증기화된 유기 물질은 OLED 응용을 위하여 구성된 잉크일 수 있다. 기체 스트림(810)은 약 150℃ 내지 450℃ 범위, 전형적으로 300℃의 온도를 가질 수 있다.
기체 스트림(810)은 노즐(825)로 유도된다. 노즐(825)은 기체 스트림(810)을 대응하는 수의 서브-스트림으로 분할하는 수 개의 미세공극을 포함한다. 각각의 서브-스트림은 일정량의 증기화된 유기 물질을 운반한다. 그 후 서브-스트림은 기판(830)으로 유도된다. 기판(830)은 제1 기체 스트림의 온도보다 낮은 온도를 가져서 상기 증기화된 유기 물질이 자신의 표면에서 응축되도록 할 수 있다.
증착 과정과 동시에, 보조 기체 스트림(850)은 노즐(825)의 대응하는 미세공극을 통하여 유도되어 보조 서브-스트림(855)을 형성한다. 보조 서브-스트림은 기체 스트림(810)보다 낮은 온도를 가질 수 있으며 증기 유기 물질을 가지지 않을 수 있다. 예를 들어, 보조 기체 스트림은 비활성 기체일 수 있다. 미세공극의 위치에 따라서, 보조 기체 스트림(855)은 목표 증착 구역에 대한 유체(또는 기체) 커튼을 형성할 수 있다. 유체 커튼은 응축된 유기 증기 물질(815)에 대한 프로파일 엣지 및 실질적으로 균일한 두께를 형성한다. 저온 기체 커튼이 또한 유기 증기 물질의 측면 번짐을 방지할 수 있다.
도 9는 본 명세서의 구체 예에 따라 기체 커튼을 갖는 다중공극 노즐을 나타낸다. 도 9의 구체 예는 도관(920) 상부의 경계면 플레이트(970)의 추가를 제외하고는, 도 8과 실질적으로 유사하다.
도 10은 도 9의 경계면 플레이트의 횡단면도이다. 도 10에 도시된 바와 같이, 유체 커튼을 형성하는 보조 기체 유입구(1072)가 고온의 운반 기체 유입구(1074)로부터 한 쪽에 치우쳐 설정된다. 고온의 운반 기체 유입구는 유기 증기 물질을 함유하고 보조 기체보다 실질적으로 더 높은 온도를 가질 수 있다. 유입구(1072 및 1074)는 기계적 밀링 또는 화학적 에칭과 같은 기술을 사용하여 표면(1070) 상에 쉽게 제작될 수 있다. 경계면 플레이트(1070) 상의 유입구(1072 및 1074)는 다중공극 방출 노즐 또는 다중공극 방출 노즐의 어레이를 생성하기 위하여 반복되거나 구조변경될 수 있다. 경계면(1070)을 사용하여, 기체 전달 시스템은 두 개의 유입구를 갖는 단순한 공급 라인(또는 도관)으로 단순화될 수 있다. 제1 유입구는 유체 커튼을 위한 저온 보조 기체를 전달하고 제2 유입구는 유기 증기 물질을 함유하는 고온의 운반 기체를 전달한다. 경계면 플레이트는 제1 및 제2 유입구 스트림을 다중-노즐 방출 장치에 일체화시키기 위한 비용-효율적인 수단을 제공한다.
도 11은 본 명세서의 또 다른 구체 예에 따라 열 셔터를 갖는 다중공극 노즐을 나타낸다. 여기서, 요소 가열 유닛(1160)이 다중공극 노즐(1125)에 추가된다. 히터가 가동될 때, 공극들이 가열되고 고온 기체(1110)가 화살표(1155)에 의해 제시되는 바와 같이 노즐을 통하여 운송된다. 다른 한편으로, 히터가 가동중지 상태일 때, 유기 증기 물질이 공극의 내부 표면에서 응축되어 흐름이 차단된다. 이러한 상태는 도 12에 도시되는데, 고온 유기 증기가 저온 공극 내부에서 응축된 이후에 노즐(1225)의 공극들이 차단된다. 노즐(1225)의 작은 크기 때문에, 요소 히터가 시스템을 신속하게 가열하고 냉각시키는데에 효율적일 수 있다. 방열판(heat sink)(도시되지 않음)과 같은 추가적인 수단이 상기 시스템에 추가되어 더욱 신속한 냉각을 제공할 수 있다. 가열 수단은 대류, 전도 및/또는 복사 가열 중 한 가지 또는 그 이상을 제공할 수 있다.
공극의 신속하게 변화하는 온도를 제어하기 위하여, 제어기가 사용될 수 있다. 제어기는 하나 이상의 메모리 회로에 연결된 하나 이상의 마이크로프로세서 회로를 가질 수 있다. 또한, 흐름 조절기가 시스템 내에 포함되어 제어기와 소통할 수 있다. 흐름 조절기는 히터(1160)가 작동하거나 작동중지하는가에 따라 고온 기체 유량(도 11의 1110)을 선택적으로 증가시키거나 또는 감소시킬 수 있다. 메모리 회로는 프로세서 회로를 진행하기 위한 명령 및 히터 및/또는 조절기를 운행하거나 정지시키기 위한 명령을 가질 수 있다.
가열 요소를 일체화시키고 그 후 다중공극 노즐에 (또는 직접 공극에) 적용되는 열을 조절함으로써, 노즐을 통한 유기 증기 물질의 흐름이 조절될 수 있다. 히터가 작동중일 때, 물질은 미세공극 벽에서의 응축 없이 미세공극을 통하여 흐른다. 히터가 작동중지일 때(선택적으로 방열판으로부터의 지지를 동반하면서), 미세공극은 충분히 냉각되어서 물질은 관통하는 대신 벽에 응축한다.
개시된 구체 예들은 필름 두께, 균일성 및 프로파일 엣지를 더욱 제어하기 위하여 결합될 수 있다. 예를 들어, 노즐 히터 및 유체 커튼은 증착 두께 및 프로파일을 더욱 제어하기 위하여 결합하여 사용될 수 있다. 그 대신에, 증착 프로파일을 더욱 개선하기 위하여 유체 커튼은 단지 히터가 작동중일 때에만 활성화될 수 있다. 노즐 히터 및 유체 커튼 둘 모두는 다중공극 노즐과 결합되어 필름 증착 프로파일에 대한 훨씬 더한 정확성 및 제어를 제공할 수 있다.
도 13은 유체 커튼용 다중 모세관을 갖는 예시적인 노즐을 나타낸다. 구체적으로, 도 13은 중앙에 원형 노즐(1320)을 갖고 상기 노즐 주위에 분포된 공극(1330)을 갖는 구조물(1310)을 나타낸다. 여기서, 노즐(1320)은 하나의 유출 포트를 가지며 공극(1330)은 구조물(1310)을 통하여 증착된 유기 증기 필름에 유체 커튼을 제공한다. 히터가 선택적으로 구조물(1310)에 추가될 수 있다. 노즐(1320)은 예시적인 개시사항에 따라 다중공극 노즐로 대체될 수 있음을 양지하라. 최소 두 개의 미세공극(1330)이 공동(cavity)에 의해 연결되어 또 다른 유체 커튼 프로파일을 제공할 수 있으며 이는 도 6을 참고하여 제시된다.
도 14는 유체 커튼을 형성하기 위한 장치가 있는 또 다른 예시적인 노즐(1410)을 나타낸다. 도 14에서, 원형 노즐(1420)은 유체 덕트들(1430) 사이에 위치한다. 노즐(1420)을 통하여 운송되는 유기 증기 물질은 덕트들(1430)에 의해 제공되는 유체 커튼으로 둘러싸여 진다. 도 14에 도시된 예시적인 구조는 반복되어서 덕트들(1430)에 의해 둘러싸여 지는 다중 노즐(1420)을 갖는 대규모 어레이를 형성할 수 있다.
도 15는 다중공극 노즐(1520) 및 덕트들(1530)을 갖는 예시적인 방출 구조물(1510)을 나타낸다. 덕트들(1530)은 목표 인쇄 구역을 벗어나는 증기 유기 물질 분산을 제한하는 유체 커튼을 형성한다. 앞선 구체 예들과 같이, 방출 구조물(1510)은 어레이 형태로 형성되어서 대규모 구역 증착을 제공할 수 있다. 가열 장치가 도 15의 구체 예에 더욱 추가될 수 있다. 최종적으로, 공극(1520)이 원형일 필요는 없으며 프린팅 조건을 만족하는 어떠한 모양이나 형태일 수 있음을 양지하라.
도 16은 미세공극이 오버랩핑 증착물을 제공하는 예시적인 구체 예를 나타낸다. 도 16에서, 고온의 운반 기체 스트림(1605)은 노즐(1610)을 통하여 마이크로규모 분배기(1620)로 유도된다. 노즐(1610) 및 분배기(1620)는 하나의 유닛으로 일체화될 수 있다. 그 대신에, 이들은 별개로 구성되어서 서로 다른 분배기가 서로 다른 노즐에 조립될 수 있다. 마이크로규모 분배기(1620)는 스트림(1605)을 다수의 미세공극(1630)을 통하여 다수의 서브-스트림으로 분배한다. 미세공극(1630)은 각각의 미세공극(1630)으로부터 나온 증기 스트림이 동시에 오버랩핑 증착물(1640)을 기판(1650)에 전달하도록 구성될 수 있다. 한 구체 예에서, 단일 마이크로규모 분배기로부터 나온 증착물의 횡단면은 미세공극(1630)의 크기, 모양 및 패턴의 설계를 통하여 제어될 수 있는 연속적인 넌-제로 횡단면(1635)을 가진다. 유기 증기 스트림은 실질적으로 균일한 두께를 갖는 필름(1640)을 형성한다. 도 16의 구체 예는 단일의 연속 모세관 노즐을 다수의 마이크로규모 모세관(필수적으로 원형일 필요는 없음)으로 대체하는 종래 방법의 여러 단점들을 극복한다. 노즐에 유체 커튼을 위치시킴으로써 앞서 개시된 구체 예에 따라 증착 층(1640)의 엣지를 더욱 개량할 수 있다.
본 명세서의 원리가 본 명세서에 제시된 예시적인 구체 예와 관련하여 제시되었으나, 본 명세서의 원리는 이에 제한되지 않으며 임의의 변형, 변화 또는 변경을 포함한다.

Claims (65)

  1. 목표 인쇄 구역 상부에 균일한 두께의, 복수의 개별 필름 세그먼트를 인쇄하는 방법에 있어서,
    다중공극 노즐의 어레이를 제공하는 단계 - 각각의 다중공극 노즐은 일 패턴으로 배열되는 복수의 미세공극을 갖도록 제조되고, 각각의 다중공극 노즐은 목표 인쇄 구역 위에 개별 필름 세그먼트를 증착시키도록 구성됨 - 와,
    상기 다중공극 노즐의 어레이를 통하도록 증기화된 물질을 운반하는 운반 기체를 포함하는 기체 스트림을 지향시키는 단계 - 상기 기체 스트림은 다중공극 노즐 내 복수의 미세공극에 의해 마이크론-규모 기체 서브스트림으로 나누어지고, 각각의 기체 서브스트림은 증기화된 물질을 운반하는 운반 기체를 포함함 - 와,
    증기화된 물질을 운반하는 운반 기체를 포함하는 기체 서브스트림을 기판에게로 지향시키는 단계와,
    증기화된 물질을 기판 상에서 응축시켜서 복수의 고형 개별 필름 세그먼트를 형성하는 단계를 포함하며,
    각각의 다중공극 노즐로부터 복수의 마이크론-규모 기체 서브스트림은 목표 인쇄 구역 상부에 균일한 필름 두께 프로파일을 갖는 개별 필름 세그먼트를 증착하도록 서로에 대하여 위치함을 특징으로 하는,
    복수의 개별 필름 세그먼트 인쇄 방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 증기화된 물질은 유기 잉크를 더욱 포함함을 특징으로 하는, 복수의 개별 필름 세그먼트 인쇄 방법.
  3. 삭제
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  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 제 1 항에 있어서, 상기 기판은 상기 기체 스트림의 온도보다 더 낮은 온도를 가짐을 특징으로 하는, 복수의 개별 필름 세그먼트 인쇄 방법.
  8. 제 1 항에 있어서, 상기 복수의 기체 서브스트림은 각자 서로 독립적임을 특징으로 하는, 복수의 개별 필름 세그먼트 인쇄 방법.
  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 제 1 항에 있어서, 상기 증기화된 물질은 상기 기체 스트림에 불용성(insoluble)임을 특징으로 하는, 복수의 개별 필름 세그먼트 인쇄 방법.
  12. 증기화된 물질을 운반하는 제1 기체 스트림을 전달하기 위한 도관 - 상기 제1 기체 스트림은 잉크 조성물의 증기화된 물질을 가짐 - 과,
    일 패턴으로 배열되는 복수의 미세공극을 갖는 다중공극 노즐 - 상기 다중공극 노즐은 상기 도관과 유체 연통하고, 상기 다중공극 노즐은 상기 제1 기체 스트림을 복수의 마이크론-규모 서브스트림으로 분할하며, 각각의 서브스트림은 상기 증기화된 물질을 운반함 - 과,
    상기 잉크 조성물의 증기화된 물질을 응축시켜 인쇄 구역 상에 복수의 고형 개별 필름 세그먼트를 형성하도록, 상기 다중공극 노즐에 대하여 위치하는 패턴처리 층 인쇄를 요구하는 기판을 포함하는
    필름 증착 장치.
  13. 제 12 항에 있어서, 상기 도관은 상기 다중공극 노즐과 일체화됨을 특징으로 하는, 필름 증착 장치.
  14. 제 12 항에 있어서, 복수의 서브스트림 주위에 기체 커튼을 제공하는 보조 노즐을 더욱 포함함을 특징으로 하는, 필름 증착 장치.
  15. 제 14 항에 있어서, 상기 기체 커튼은 상기 제1 기체 스트림이 목표 인쇄 구역을 벗어나 확장되는 것을 방지함을 특징으로 하는, 필름 증착 장치.
  16. 제 14 항에 있어서, 상기 보조 노즐은 목표 인쇄 구역의 엣지에 영향을 주는 단일-공극 노즐을 더욱 포함함을 특징으로 하는, 필름 증착 장치.
  17. 제 14 항에 있어서, 상기 다중공극 노즐은 상기 복수의 서브스트림을 목표 인쇄 구역으로 유도하여 복수의 고형 개별 필름 세그먼트를 형성함을 특징으로 하는, 필름 증착 장치.
  18. 제 14 항에 있어서, 상기 다중공극 노즐은 복수의 독립적인 모세관을 더욱 포함하며, 최소 두 개의 모세관이 개구를 통하여 연결됨을 특징으로 하는, 필름 증착 장치.
  19. 제 14 항에 있어서, 상기 도관 및 상기 다중공극 노즐은 하나의 구조물로 일체화됨을 특징으로 하는, 필름 증착 장치.
  20. 제 14 항에 있어서,
    노즐 어레이를 형성하도록 배열된 복수의 노즐을 더욱 포함하며,
    상기 노즐 어레이는 목표 인쇄 구역의 경계에 대하여 유체 커튼을 제공하는 최소 하나의 보조 노즐에 의해 둘러싸임을 특징으로 하는, 필름 증착 장치.
  21. 제 14 항에 있어서, 상기 서브스트림은 서로에 대하여 독립적임을 특징으로 하는, 필름 증착 장치.
  22. 제 21 항에 있어서, 상기 노즐은 상기 복수의 서브스트림 중 최소 두 개가 오버랩되도록 서로에 대하여 위치함을 특징으로 하는, 필름 증착 장치.
  23. 균일한 두께 프로파일의, 복수의 개별 필름 세그먼트를 인쇄하는 방법에 있어서, 상기 방법은,
    복수의 미세공극을 갖는 다중공극 노즐을 제공하는 단계와,
    기판 상의 목표 인쇄 구역 위에 복수의 개별 필름 세그먼트의 패턴을 형성하는 단계를 포함하고,
    상기 복수의 미세공극은 제1 세트의 미세공극 및 제2 세트의 미세공극을 포함하며,
    상기 제1 세트의 미세공극은 운반 기체 및 일정량의 유기 물질을 갖는 제1 기체 스트림과 유체 연통하고, 상기 제1 세트의 미세공극은 상기 운반 기체에 의해 운반되는 유기 물질을 운반하는 복수의 서브스트림을 형성하며,
    상기 제2 세트의 미세공극은 상기 제1 세트의 미세공극에 인접하여 위치하고, 제2 기체 스트림과 유체 연통하며,
    상기 제1 기체 스트림은 상기 제1 세트의 미세공극을 통과하도록 유도되고, 상기 제1 기체 스트림은 제1 세트의 미세공극에 의해 복수의 기체 서브스트림으로 나누어지며, 각각의 기체 서브스트림은 유기 물질을 운반하는 운반 기체를 포함하고,
    상기 기판 상의 목표 인쇄 구역 위에 복수의 개별 필름 세그먼트의 패턴을 형성하는 단계에서, 패턴 내 복수의 필름 세그먼트 각각은 OLED 디스플레이에 사용하기 위한 칼라 픽셀 내 적색, 녹색, 또는 청색 중 하나를 규정하도록 구성되고, 패턴 내 복수의 개별 필름 세그먼트 각각은,
    목표 인쇄 구격에 유기 물질을 운반하는 운반 기체를 포함하는 기체 서브스트림을 지향시킴 - 기체 서브스트림은 목표 인쇄 구역 내에 유기 물질을 응축시키도록 기판보다 높은 온도를 가짐 - 으로써, 그리고,
    유기 물질을 운반하는 복수의 서브스트림을 형성하는 제1 기체 스트림 주위로 기체 커튼을 형성하도록, 제2 세트의 미세공극을 통해 제2 기체 스트림을 지향시킴 - 상기 기체 커튼은 개별 필름 세그먼트가 날카로운 측벽과 함께 형성되도록 개별 필름 세그먼트의 에지와 접촉함 - 으로써,
    목표 인쇄 구역 내에 형성되는
    복수의 개별 필름 세그먼트 인쇄 방법.
  24. 제 23 항에 있어서, 상기 제2 스트림은 상기 유기 물질을 운반하는 운반 기체를 포함하는 기체 서브스트림에 평행함을 특징으로 하는, 복수의 개별 필름 세그먼트 인쇄 방법.
  25. 삭제
  26. 제 23 항에 있어서, 상기 제2 스트림은 상기 제1 스트림보다 저온임을 특징으로 하는, 복수의 개별 필름 세그먼트 인쇄 방법.
  27. 제 23 항에 있어서, 상기 제2 스트림은 비활성 조성물을 가짐을 특징으로 하는, 복수의 개별 필름 세그먼트 인쇄 방법.
  28. 제 23 항에 있어서, 상기 목표 인쇄 구역은 상기 제1 스트림에 대하여 이동함을 특징으로 하는, 복수의 개별 필름 세그먼트 인쇄 방법.
  29. 제 23 항에 있어서, 상기 유기 물질은 상기 제1 스트림 또는 상기 제2 스트림에서 불용성(insoluble)임을 특징으로 하는, 복수의 개별 필름 세그먼트 인쇄 방법.
  30. 삭제
  31. 삭제
  32. 복수의 마이크론-규모 서브스트림 내에서 일정량의 유기 물질을 함유하는 운반 기체를 방출하기 위한 제1 방출 노즐 - 상기 제1 방출 노즐은 복수의 미세공극을 더 포함하고, 인접한 미세공극들은 파티션에 의해 분리됨 - 과,
    상기 일정량의 유기 물질을 수령하여 엣지를 갖는 인쇄 층 상에 응축시키기 위한 기판 - 상기 기판은 목표 인쇄 구역을 가짐 - 과,
    상기 목표 인쇄 구역의 적어도 일부분 상부에 유체 커튼을 형성하는 제2 방출 노즐 - 상기 유체 커튼은 상기 인쇄 층의 엣지와 접촉하여 프로파일 엣지를 형성함 - 을 포함하며,
    상기 복수의 서브스트림은 균일한 필름 두께 프로파일을 갖는 필름을 증착하도록 서로에 대하여 그리고 유체 커튼에 대하여 위치함을 특징으로 하는,
    인쇄 층에 프로파일 엣지를 형성하기 위한 장치.
  33. 제 32 항에 있어서, 상기 제1 방출 노즐 및 제2 방출 노즐 각각은 기체 스트림을 다중 평행 기체 스트림으로 분할하기 위한 다중공극 노즐임을 특징으로 하는, 인쇄 층에 프로파일 엣지를 형성하기 위한 장치.
  34. 제 32 항에 있어서, 상기 제1 방출 노즐 및 제2 방출 노즐 각각은 다중 서브-노즐을 포함하며, 각 서브-노즐은 기체 스트림을 다중 평행 기체 스트림으로 분할하기 위한 다중공극 노즐을 포함함을 특징으로 하는, 인쇄 층에 프로파일 엣지를 형성하기 위한 장치.
  35. 제 32 항에 있어서, 상기 운반 기체를 상기 제1 방출 노즐에 전달하기 위한 도관을 더욱 포함하는, 인쇄 층에 프로파일 엣지를 형성하기 위한 장치.
  36. 삭제
  37. 제 32 항에 있어서, 상기 제1 방출 노즐은 복수의 미세공극을 더욱 포함하며, 상기 제2 방출 노즐은 목표 인쇄 구역 주위로 유체 커튼을 형성하여서 상기 목표 인쇄 구역에 형성된 상기 인쇄 층이 평탄한(flat) 표면을 형성함을 특징으로 하는, 인쇄 층에 프로파일 엣지를 형성하기 위한 장치.
  38. 제 32 항에 있어서, 상기 제1 방출 노즐은 복수의 미세공극을 더욱 포함하며, 상기 제2 방출 노즐은 목표 인쇄 구역 주위로 유체 커튼을 형성하여서 상기 목표 인쇄 구역에 형성된 상기 인쇄 층이 프로파일 엣지를 형성함을 특징으로 하는, 인쇄 층에 프로파일 엣지를 형성하기 위한 장치.
  39. 제 32 항에 있어서, 상기 유체 커튼은 운반 기체 유량보다 더 큰 유량을 갖는 제2 기체 흐름에 의해 형성됨을 특징으로 하는, 인쇄 층에 프로파일 엣지를 형성하기 위한 장치.
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  59. 증기화된 유기 물질과 운반 기체 스트림의 혼합물을 전달하기 위한 노즐;
    상기 노즐로부터 상기 혼합물을 전달하는 복수의 미세공극 - 상기 복수의 미세공극은 복수의 오버랩핑 서브스트림을 제공하도록 배열되고, 상기 미세공극 중 적어도 2개가 공동(cavity)에 의해 서로 연결됨 - 과,
    상기 복수의 오버랩핑 서브스트림을 수령하고 필름으로 응축하기 위한 기판을 포함하며,
    상기 복수의 미세공극은 서로에 대하여 독립적임을 특징으로 하는, 기판상에 필름을 인쇄하기 위한 장치.
  60. 삭제
  61. 제 59 항에 있어서, 상기 노즐 또는 상기 복수의 미세공극 중 적어도 하나를 가열하기 위한 히터를 더욱 포함함을 특징으로 하는, 기판상에 필름을 인쇄하기 위한 장치.
  62. 제 59 항에 있어서, 최소 하나의 미세공극 주위로 유체 커튼을 형성하기 위한 보조 미세공극을 더욱 포함함을 특징으로 하는, 기판상에 필름을 인쇄하기 위한 장치.
  63. 제 59 항에 있어서, 상기 노즐을 둘러싸는 유체 커튼을 형성하기 위한 복수의 보조 미세공극을 더욱 포함함을 특징으로 하는, 기판상에 필름을 인쇄하기 위한 장치.
  64. 제 59 항에 있어서, 상기 증기화된 유기 물질은 유기 잉크를 형성함을 특징으로 하는, 기판상에 필름을 인쇄하기 위한 장치.
  65. 제 59 항에 있어서, 상기 증기화된 유기 물질과 운반 기체의 혼합물은 기판에 비해 높은 온도에 놓임을 특징으로 하는, 기판상에 필름을 인쇄하기 위한 장치.
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