KR20120093333A - 회전 공급원을 사용하는 필름 증착 방법 및 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 실질적인 고체 필름을 기판상에 증착하기 위한 방법 및 장치에 관한 것이다. 고체 필름은 유기 발광 다이오드("OLED")일 수 있다. 한 구체 예에서, 본 발명은 물질 공급기, 즉 회전 또는 이동 장치를 사용하는 것에 관한 것이며, 이는 어느 한 방향에서 필름 물질이 공급되고 제2 방향에서 상기 필름 물질을 기판상으로 전달하는 최소 하나의 전이 표면을 가지며 이에 따라 기판에 전달된 필름 물질이 실질적으로 고체 필름으로서 증착한다. 기판으로의 전달은 전이 표면이 기판과 물질적인 접촉 없이 수행될 수 있다. 필름 물질은 고체 형태 또는 액체 형태(예컨대, 운송액체와 용해 또는 현탁된 필름 물질과의 혼합물) 중 어느 하나로 전이 표면에 증착될 수 있다.

Description

회전 공급원을 사용하는 필름 증착 방법 및 장치{METHOD AND APPARATUS FOR DEPOSITING A FILM USING A ROTATING SOURCE}

배경

본 발명은 2009.11.27. 출원된 가출원 61/283,011, 및 2008.06.13. 출원된 출원 일련번호 12/139,404의 우선권을 주장하며, 상기 출원 12/139,404는 2007.06.14. 출원된 가출원 60/944,000의 우선권을 주장한다. 상기 출원들은 그 전체가 본 명세서에 수록된다.

발명의 분야

본 발명은 일반적으로 실질적으로 고체 필름을 기판상에 증착하는 방법 및 장치에 관한 것이다. 더욱 상세하게는, 본 발명은 회전 공급원을 사용하여 유기 발광 다이오드(Organic Light-Emitting Diode, OLED)를 프린팅하는 신규한 방법에 관한 것이다.

관련 기술의 설명

전자 필름(electronic film) 프린팅에 있어서, 건식 필름을 표면에 증착시켜 증착되는 물질이 기판에 접촉하는 즉시 실질적인 고체 필름을 형성하는 것이 중요하다. 이는 습식 잉크를 표면에 증착하고 그 후 잉크를 건조시켜 고체 필름을 형성하는 잉크 프린팅과는 대조적이다. 잉킹 공정(inking process)이 습식 필름을 증착하기 때문에, 이는 흔히 습식 프린팅 방법이라 칭한다.

습식 프린팅 방법은 두 가지의 중대한 단점을 가진다. 첫째, 잉크가 건조하면서, 잉크의 고체 내용물이 증착 영역 전반에 균일하게 증착되지 않을 수 있다. 즉, 용매가 증발하면서, 필름 균일성 및 두께가 실질적으로 변한다. 정밀한 균일성 및 두께를 요구하는 응용분야에 대하여, 균일성 및 두께에 있어서의 이러한 변화는 허용되지 않는다. 둘째, 습식 잉크는 하부 기판과 상호작용할 수 있다. 이러한 상호작용은 특히 하부 기판이 섬세한 필름으로 사전-코팅될 때 특히 문제가 된다. 이러한 두 가지 문제 모두가 중요시되는 응용분야는 유기 발광 다이오드("OLED") 필름의 증착이다.

습식 프린팅의 문제는 건조 전이 프린팅 기술(dry transfer printing technique)을 사용하여 부분적으로 해결할 수 있다. 일반적으로 전이 프린팅 기술에서, 증착될 물질을 먼저 전이 시트에 코팅하고 그 후 상기 시트를 상기 물질이 전이될 표면에 접촉시킨다. 이는 염료 승화 프린팅(dye sublimation printing)의 원리인데, 여기서 염료는 물질이 전이될 표면과 접촉하는 리본으로부터 승화된다. 이는 또한 탄소 종이(carbon paper)의 원리이다. 그렇지만, 건식 프린팅 접근법은 새로운 문제를 야기한다. 전이 시트와 표적 표면의 접촉이 요구되기 때문에, 표적 표면이 섬세한 경우 접촉에 의해 손상을 입을 수 있다. 또한, 전이는 전이 시트 또는 표적 표면 중 어느 하나에서의 소량의 입자의 존재에 의해 해로운 영향을 받을 수 있다. 이러한 입자는 전이를 방해하는 나쁜 접촉 영역을 생성할 것이다.

입자 문제는 특히 전이 영역이, 평면 패널 텔레비전과 같은 대면적 전자기기의 공정에서 전형적으로 사용되는 대면적으로 구성되는 경우 심각하다. 더욱이, 종래의 건식 전이 기술은 전이 매질에서 물질의 단지 일부분만을 사용하며, 이는 낮은 물질 사용도 및 상당한 폐기물을 야기한다. 필름 물질 이용도는 필름 물질이 매우 고가인 경우 중요하다. 이러한 모든 문제점들이 특히 중요시되는 응용분야는 또한 OLED 필름 증착이다.

따라서, 이러한 단점 및 또 다른 단점 그리고 결함을 극복하는, OLED 필름 증착을 위한 비-접촉식, 건식 기술을 제공하는 방법 및 장치에 대한 수요가 존재한다.

개요

한 구체 예에서, 본 발명은 물질 공급기(material supply), 즉 최소 하나의 전이 표면을 갖는 회전 또는 이동 장치를 사용하는 것에 관한 것이며, 상기 최소 하나의 전이 표면에는 한 방향에서 필름 물질이 제공되며 제2 방향에서 필름 물질을 기판으로 전달하며 이에 따라 필름 물질이 실질적인 고체 상태로서 기판상에 증착한다.

한 구체 예에서, 하나 이상의 전이 표면은 회전 또는 이동 장치와 결합하여 이에 따라 전이 표면은 서플라이 공급원으로부터 필름 물질을 수령한 제1 방향과 필름 물질을 기판으로 전달한 제2 방향 사이에서 회전한다. 회전(또는 이동) 장치는 또 다른 공정 단계를 수행하면서 상기 하나 이상의 전이 표면을 또 다른 방향으로 위치시킬 수 있다. 이러한 공정 단계들은 기판으로의 전달 이전에 전이 표면을 세정하는 단계 또는 필름 물질을 컨디셔닝(conditioning)하는 단계를 포함할 수도 있다. 이러한 컨디셔닝 단계는 잉크로부터 운송 물질(carrier material)을 제거하는 단계를 포함할 수도 있다.

또 다른 구체 예에서, 회전 장치에는 최소 하나의 전이 표면이 제공되며, 이러한 전이 표면의 적어도 일부분은 마이크로-패턴 구조를 가지며, 이는 마이크로공극, 마이크로-필라, 마이크로-채널, 또는 또 다른 마이크로-패턴 구조를 포함할 수 있으며, 이러한 구조의 어레이(상호변환 가능, 마이크로-어레이)를 더욱 포함할 수 있다. 필름 물질은 예컨대 승화 또는 용융 및 후속하는 증발에 의해 기화되어서 전이 표면으로부터 기판상으로 전이(transfer)할 수 있다. 증발은 열적으로 활성화될 수 있으며, 이러한 경우 활성화 메커니즘은 열 증발(thermal evaporation)을 포함한다.

또 다른 구체 예에서, 본 발명은 접촉 없이 필름 물질을 기판상으로 전이시키는 장치에 관한 것이며, 상기 장치는 전이 표면; 소정 양의 필름 물질을 상기 전이 표면의 적어도 일부분에 공급하기 위한 필름 물질 전이 장치를 포함하며; 여기서 상기 전이 표면은 제1 평면에서 상기 필름 물질 전이 장치로부터 상기 소정 양의 필름 물질을 수령하고 제2 표면에서 전이 표면과 기판의 물질적 접촉(material contact) 없이 상기 소정 양의 필름 물질을 기판상에 증착한다. 본 발명을 제한하지 않으면서 본 명세서에서 사용되듯이, 물질적 접촉은 직접 접촉(전이 표면과 기판 사이) 또는 간접 접촉(전이 표면과 기판 사이의 갭에 함유된 물질에 의한 형성된 고체 다리 액체 다리를 통항 접촉)이 없음을 의미한다. 필름 물질은 또한 실질적인 고체 상태로 기판상에 증착할 수 있다.

필름 물질은 또한 고체 잉크, 액체 잉크, 또는 기체 증기 잉크 형태로 전이 표면으로 전달될 수 있다. 필름 물질은 필름 물질 및 운송 액체(carrier fluid)를 포함하는 액체 잉크 형태로 운반될 수 있다. 필름 물질은 전이 표면으로부터 기판상으로 전이되기 이전에 건조될 수 있다.

또 다른 구체 예에서, 본 발명은 물질적으로 비-접촉 필름-증착 장치에 관한 것이며, 상기 장치는 구별되는 양의 복수의 액체 잉크를 공급하기 위한 필름 물질 전이 장치, 여기서 상기 액체 잉크는 필름 물질을 함유하는 운송 액체를 포함함; 잉크 전달 장치로부터 상기 구별되는 양의 복수의 액체 잉크를 수령하기 위한 전이 표면; 및 기판;을 포함한다. 상기 기판은 액체 잉크 내에 함유된 필름 물질을 물질적 접촉 없이 전이 표면으로부터 수령하고, 각각의 운송 액체가 구별되는 양의 복수의 액체 잉크 각각으로부터 실질적으로 증발된 이후 전이 표면상에 건조 필름 물질을 형성한다.

또 다른 구체 예에서, 본 발명은 물질적 접촉 없이 그리고 사전-정의된 패턴으로 필름 물질을 기판상에 전달하기 위한 장치에 관한 것이다. 상기 장치는 전이 표면, 여기서 상기 전이 표면의 적어도 일부분은 마이크로-패턴 구조를 가지며, 상기 마이크로-패턴 구조는 마이크로공극, 마이크로-필라, 또는 또 다른 마이크로-패턴 구조를 포함할 수 있음; 소정 양의 필름 물질을 상기 전이 표면의 적어도 일부분에 공급하기 위한 필름 물질 전이 장치; 및 축으로서 상기 축에 대하여 상기 전이 표면이 상기 소정 양의 필름 물질을 상기 필름 물질 전이 장치로부터 수령하고 상기 필름 물질을 물질적 접촉 없이 기판상에 증착하기 이전에 회전할 수 있는 상기 축을 포함할 수 있다.

또 다른 구체 예에서, 본 발명은 필름을 기판상에 증착하기 위한 물질적으로 비-접촉 시스템에 관한 것이며, 상기 시스템은 전이 표면; 소정 양의 필름 물질을 상기 전이 표면의 적어도 일부분에 공급하기 위한 필름 물질 전이 장치; 및 제어기 회로와 통신하는 메모리 회로를 포함하며, 상기 메모리 회로는 소정 양의 필름 물질을 미리정해진 패턴으로 상기 전이 표면상에 제공하고, 상기 기판에 인접하지만 물질적 접촉 없이 상기 전이 표면을 위치시키고 배열시켜 상기 소정 양의 필름 물질을 상기 기판상에 전이시키고, 그리고 상기 전이 표면을 위치시키고 배열시켜 상기 필름 물질 전이 장치로부터 추가적인 소정 양의 필름 물질을 수령하도록 상기 제어기 회로를 지시하는 명령을 포함한다.

또 다른 구체 예에서, 본 발명은 필름을 기판상에 증착시켜 필름 물질이 실질적으로 고체 상태로 증착되는 방법에 관한 것이며, 상기 방법은 소정 양의 필름 물질을 제공하는 단계; 상기 소정 양의 필름 물질을 미리정해진 패턴으로 전이 표면에 공급하는 단계; 선택사항으로 상기 필름 물질을 컨디셔닝 하는 단계; 상기 전이 표면을 축에 대하여 회전시켜 상기 전이 표면을 기판에 인접하게 위치 및 배열시키는 단계; 및 상기 필름 물질을 상기 전이 표면으로부터 상기 기판으로 전이시켜 상기 필름 물질을 실질적으로 고체 상태로 상기 기판상에 증착시키는 단계를 포함한다. 기판상에 증착된 필름 물질은 패턴화된 형상을 가질 수 있거나 또는 증착 영역 전반에 균일한 코팅이 될 수 있으며, 이러한 것이 제어될 수 있는 방식 중 하나는 소정 양의 필름 물질을 전이 표면에 공급할 때 사용되는 패턴에 의한 것이다. 필름 물질은 필름 물질과 운송 액체를 함유하는 액체 잉크 형태로 전이 표면에 전달될 수 있으며, 운송 액체는 필름 물질을 기판에 전이시키기 이전에 실질적으로 제거되어 전이 표면상에 건조 필름 물질을 형성할 수 있다.

또 다른 구체 예에서, 본 발명은 필름을 기판상에 증착시켜 필름 물질이 실질적으로 고체 상태로 증착되는 방법에 관한 것이며, 상기 방법은 제1의 소정 양의 필름 물질 및 제2의 소정 양의 필름 물질을 제공하는 단계; 상기 제1의 소정 양의 필름 물질을 제1 전이 표면에 공급하는 단계; 선택사항으로 상기 제1의 소정 양의 필름 물질을 컨디셔닝 하는 단계; 상기 제2의 소정 양의 필름 물질을 제2 전이 표면에 공급하는 단계; 및 상기 제1의 소정 양의 필름 물질을 상기 제1 전이 표면으로부터 기판으로 전이시켜 상기 필름 물질이 실질적으로 고체 상태로 증착되는 단계;에 의해 수행되며, 여기서 상기 제1 전이 표면 및 상기 제2 전이 표면은 각각 제1 평면 및 제2 평면을 정의한다. 필름 물질은 필름 물질과 운송 액체를 함유하는 액체 잉크 형태로 전이 표면으로 전달될 수 있다. 운송 액체는 필름 물질이 기판에 전이되기 이전에 제거되어 전이 표면상에 실질적으로 건조 필름 물질을 형성할 수 있다.

또 다른 구체 예에서, 본 발명은 OLED 필름을 프린팅하는 방법에 관한 것이며, 상기 방법은 소정 양의 액체 잉크를 전이 표면에 제공하는 단계, 여기서 상기 액체 잉크는 용해 또는 현탁된 필름 물질을 함유하는 운송 액체에 의해 정의됨; 상기 액체 잉크를 미리정해진 패턴으로 마이크로-패턴 구조의 도움으로 상기 전이 표면상에 조직화(organizing)하는 단계, 여기서 상기 마이크로-패턴 구조는 마이크로공극, 마이크로-필라, 마이크로-채널, 마이크로-어레이, 또는 또 다른 마이크로-패턴 구조를 포함할 수 있음; 상기 전이 표면에 에너지를 공급하여 상기 운송 기체를 실질적으로 증발시켜 상기 전이 표면상에 건조 필름 물질을 형성시키는 단계; 및 상기 필름 물질을 상기 전이 표면으로부터 기판으로 전이시켜 상기 필름 물질이 실질적으로 고체 상태로 증착되는 단계를 포함한다. 기판상에 증착된 필름 물질은 패턴화된 형상을 가질 수 있거나 또는 전체 증착 영역 전반에 균일한 코팅이 될 수 있다.

또 다른 구체 예에서, 본 발명은 필름을 물질적 접촉 없이 기판상에 증착시켜 필름 물질이 실질적으로 고체 상태로 증착되는 장치에 관한 것이며, 상기 장치는 전이 표면; 소정 양의 필름 물질을 상기 전이 표면의 적어도 일부분에 공급하기 위한 필름 물질 전이 장치; 상기 전이 표면상의 필름 물질을 기판상으로 전이시켜 필름 물질이 실질적으로 고체 상태로 상기 기판상에 증착되도록 하기 위한 전이 표면 활성화 장치를 포함한다. 전이 표면은 제1 평면에서 상기 필름 물질 전이 장치로부터 상기 소정 양의 필름 물질을 수령하고, 제2 평면에서, 전이 표면이 상기 기판과 물질적 접촉을 하지 않으면서, 상기 소정 양의 필름 물질을 기판상으로 전이시킨다.

또 다른 구체 예에서, 본 발명은 필름 물질을 물질적 접촉 없이 기판상으로 전이시켜 필름 물질이 실질적으로 고체 상태로 증착되는 방법에 관한 것이며, 상기 방법은 소정 양의 필름 물질을 제1 평면에서 전이 표면에 제공하는 단계; 전이 표면 활성화 장치를 활성화시켜 상기 소정 양의 필름 물질을 상기 전이 표면으로부터 기판상으로 전이시켜 필름 물질이 실질적으로 고체 형태로 상기 기판상에 증착되는 단계를 포함한다. 필름 물질은 실질적으로 고체 형태로 기판상에 증착한다. 복수의 전이 표면이 동일 평면상에 공존하여, 예컨대 전이 평면을 공간을 통하여 하나의 평면으로부터 다른 평면으로 이동시킬 수 있는 장치의 유닛으로서 구성될 수 있는 기저 플레이트(base plate)에 탑재된 소규모 전이 표면의 어레이를 형성할 수 있다. 이동 장치는, 다른 것들 중에서, 패들(paddle)(전이 표면이 회전축으로부터 연장된 아암(arm)의 끝단에서 그 상부에 부착될 수 있는 표면을 포함하는 구조로서 정의됨), 드럼, 패싯 드럼(facetted drum) 또는 컨베이어 벨트일 수 있다.

본 발명은 습식 필름 물질을 전이 표면에 전달하는 것에 제한되지 않는다. 또 다른 구체 예에서, 건조 필름 물질이 기판상에 증착을 위하여 전이 표면으로 전달된다. 필름 물질이 액체 형태로 전이 표면에 전달되는 경우, 잉크젯 프린트 헤드 (또는 잉크젯), 슬릿 또는 슬롯 코팅(닥터 블레이드 또는 에어 나이프가 있거나 또는 없음), 습식 스탬핑, 그라비어(gravure), 및 임의 또 다른 습식 전이 메커니즘을 비롯하여, 다른 잉크 전달 메커니즘이 사용될 수 있다. 건조 필름 물질이 전이 표면에 전달되는 경우, 다른 물질 전달 메커니즘이 사용될 수 있다. 건조 물질 전달은 진공 열 증발, 스퍼터링, 전자 빔 증발(electron beam evaporation), 화학 기상 증착, 또 다른 종류의 기상 증착(예컨대, 유기 기상 증착), 건조 스탬핑 및 또 다른 고체 물질 전달 메커니즘을 포함할 수 있다.

도면의 간단한 설명
본 발명의 이러한 구체 예 및 또 다른 구체 예는 이하의 예시적이고 비-제한적인 도면을 참고하여 설명될 것이며, 유사한 요소는 유사한 도면부호가 부여된다.
도 1은 본 발명의 한 구체 예에 따르는 회전식 드럼 증착 시스템을 개략적으로 도시한다.
도 2는 본 발명의 또 다른 구체 예에 따르는 패싯 증착 시스템을 개략적으로 도시한다.
도 3은 회전, 패싯 증착 시스템의 개략도이다.
도 4A 및 4B는 제어기에 의해 수행되는 일반적 단계를 나타내는 예시적인 흐름도이다.
도 5A는 증착 시스템의 예시적인 회전식 드럼 구성요소를 나타낸다.
도 5B는 도 5A의 회전식 드럼의 외부 표면의 평면 표현이다.
도 5C는 도 5B의 회전식 드럼 표면의 일부 영역의 분해도이다.
도 6A는 증착 시스템의 예시적인 회전, 패싯 구성성분을 나타낸다.
도 6B는 도 6A의 증착 시스템의 패싯 중 하나의 전이 표면의 표면 표현이다.
도 6C는 도 6B의 전이 표면의 마이크로-패턴화된 영역의 분해도이다.
도 7A는 가열 유닛 및 마이크로-패턴화된 영역을 갖는 예시적인 전이 표면 유닛을 나타낸다.
도 7B는 본 발명의 한 구체 예에 따르는 예시적인 육각형 회전식 드럼 증착 시스템을 나타낸다.
도 7C는 도 7B의 실질적으로 공통-평면 구성(co-planar configuration)으로 복수의 전이 표면 유닛을 탑재하기 위한 예시적인 기저플레이트의 상세도이다.
도 8A-8D는 본 발명의 한 구체 예에 따르는 예시적인 마이크로-패턴화된 표면을 나타낸다.
도 9A-9C는 필름 물질을 전이 표면에 증착하기 위한 예시적인 코팅 기법을 도시한다.

상세한 설명

도 1은 본 발명의 한 구체 예에 따르는 회전식 드럼 증착 시스템을 개략적으로 나타낸다. 도 1에서, 필름 물질 전이 장치(122)는 필름 물질을 계량공급한다. 계량공급된 필름 물질(124)은 하나 이상의 액적(droplet)으로서 또는 스트림으로서 계량공급될 수 있다.

필름 물질은 순수 필름 물질 또는 필름 물질 및 비-필름(상호교환가능하게는, 운송체) 물질로 구성된 고체 잉크, 액체 잉크, 또는 기체 증기 잉크 형태로 전이 표면에 전달될 수 있다. 잉크를 사용하는 것은 도움이 되는데 왜냐하면 필름 물질을 하나 이상의 비-필름 물질이 있는 전이 표면에 제공하여, 기판상으로의 증착 이전에 필름 물질의 조작을 촉진할 수 있기 때문이다. 필름 물질은 OLED 물질로 구성될 수 있다. 필름 물질은 복수의 물질의 혼합물을 포함할 수 있다. 운송 물질은 또한 복수의 물질의 혼합물을 포함할 수 있다

액체 잉크의 예는 운송 액체 내에 용해 또는 현탁된 필름 물질이다. 액체 잉크의 또 다른 예는 액체 상태의 순수 필름 물질이며, 예를 들면 주변 시스템 온도에서 액체인 필름 물질 또는 고온에서 유지되어 액체 용융물을 형성하는 필름 물질이다. 고체 잉크의 예는 필름 물질의 고체 입자이다. 고체 잉크의 또 다른 예는 운송 고체에 분산된 필름 물질이다. 기체 증기 잉크의 예는 기화된 필름 물질이다. 기체 증기 잉크의 또 다른 예는 운송 기체 내에 분산된 기화된 필름 물질이다. 잉크는 전이 표면상에 액체 또는 고체로서 증착할 수 있으며, 이러한 상태(phase)는 운반되는 동안의 잉크의 상태와 동일하거나 또는 다를 수 있다. 한 실시예에서, 필름 물질은 기체 증기 잉크로서 전달되고 고체 상태로서 전이 표면에 증착할 수 있다. 또 다른 예에서, 필름 물질은 액체 잉크로서 전달되고 액체 상태로서 전이 표면에 증착할 수 있다. 단지 필름 물질이 증착하고 운송 물질은 증착하지 않는 방식으로 잉크가 전이 표면에 증착할 수 있으며; 또한 필름 물질뿐만 아니라 하나 이상의 운송 물질이 증착하는 방식으로 잉크가 증착할 수 있다.

한 실시예에서, 필름 물질은 기화된 필름 물질 및 운송 기체 둘 모두를 포함하는 기체 증기 잉크로서 전달되고, 단지 필름 물질만이 전이 표면상에 증착될 수 있다. 또 다른 실시예에서, 필름 물질은 필름 물질 및 운송 액체를 포함하는 액체 잉크로서 전달될 수 있으며, 필름 물질 및 운송 액체 둘 모두가 전이 표면에 증착한다. 필름 물질 전이 장치는 또한 미리정해진 패턴으로 필름 물질을 전이 표면상에 전달할 수 있다. 기판으로의 필름 물질의 전달은 전이 표면과 기판 사이의 물질적 접촉이 있던지 또는 물질적 접촉 없이 수행될 수 있다.

도 1을 다시 참조하면, 계량공급된(metered) 필름 물질(124)을 회전식 드럼(114)으로 유도한다. 필름 물질을 중력 공급방식을 통하여 회전식 드럼(114)으로 유도할 수 있다. 그 대신에, 유도 필름 물질 전달 시스템이 계량공급된 필름 물질(124)을 회전식 드럼(114)의 특정 영역에 표적화시킬 수 있다. 한 실시예에서, 필름 물질 전이 장치(122)는 액체 잉크(124)의 액적을 드럼(114)으로 전달하는 잉크젯 프린트헤드이다.

도 1의 구체 예에서, 회전식 드럼(114)은 하나 이상의 전이 표면을 정의하는 곡면(curved surface)을 가진다. 전이 표면은 계량공급된 필름 물질(124)을 제1 방향에서 수령하고 그 후 상기 계량공급된 필름 물질(124)을 제2 방향에서 증착 표면상으로 전달하는 기능을 할 수 있다. 제1 방향에서 회전식 드럼(114)의 표면상에 수령된 계량공급된 필름 물질(124)은 화살표(126)로 표시된 드럼의 회전에 의해 기판(110)을 향하여 그리고 두 번째 구성으로 이동된다. 회전식 드럼(114)은 드럼(114)의 주변부에서 연속 벨트-타입 표면을 정의하는 단일 전이 표면을 가질 수 있거나 또는 복수의 개별적인 독립된 즉 불연속 표면을 정의할 수 있다.

필름 물질(124)은 미리정해진 제1 패턴으로 전이 표면상에 전달될 수 있다. 제1, 제2, 또는 또 다른 중간 방향(intermediate orientation) (또는 평면)에서, 필름 물질(124)은 전이 표면에서 미리정해진 제2 패턴으로 조직화될 수 있다. 제2 방향(또는, 제2 평면)에서, 필름 물질(124)은 기판상으로 전이되고, 필름 물질은 미리정해진 제3 패턴으로 기판상에 증착한다. 미리정해진 제2 및 제3 패턴은 실질적으로 동일하거나, 또는 실질적으로 서로 다를 수 있다. 미리정해진 제1 및 제3 패턴은 실질적으로 동일하거나, 또는 실질적으로 서로 다를 수 있다. 미리정해진 제1 및 제2 패턴은 실질적으로 동일하거나, 또는 실질적으로 서로 다를 수 있다. 제3 패턴은 증착 영역 상부에 블랭킷 코팅(blanket coating)을 포함할 수 있다. 제3 패턴은 증착 영역 상부에서 피처의 마이크로규모 패턴을 포함할 수 있다. 제3 패턴은 증착 영역 상부에 블랭킷 코팅을 포함할 수 있다. 미리정해진 제1 패턴은 미리정해진 제2 패턴의 대략적인, 부정확한 또는 비정밀한 버전을 포함할 수 있다. 미리정해진 제1 패턴은 전이 표면 상부에 블랭킷 코팅을 포함할 수 있다. 미리정해진 제1 패턴은 미리정해진 제2 패턴과 실질적으로 동일할 수 있다. 미리정해진 제3 패턴은 미리정해진 제2 패턴의 확장된, 둥근, 및/또는 평활(smoothed) 버전을 포함할 수 있다.

각각의 전이 표면은 마이크로-패턴화된 피처, 예컨대 마이크로공극, 마이크로-채널, 마이크로-필라, 또는 또 다른 마이크로- 또는 나노- 패턴화된 구조를 더욱 함유할 수 있으며, 이러한 구조의 어레이(상호교환적으로, 마이크로-어레이)를 더욱 포함할 수 있다. 마이크로-패턴 구조는 전달 메커니즘에 의해 전달되면서 패턴을 유지함으로써 필름 물질을 조직화할 수 있다. 또한 마이크로-패턴 구조는 필름 물질을 새로운 패턴으로 재배열시킴으로써 필름 물질을 조직화할 수 있다. 따라서, 마이크로-패턴화는 패턴을 유지함으로써 및/또는 바람직한 패턴을 획득하기 위하여 물질의 패턴을 변화시킴으로써 필름 물질을 조직화하는데 사용될 수 있다. 마이크로-패턴화는 일단 전이 표면상에 수령되면 계량공급된 필름 물질(124)을 조직화하는 것을 도울 수 있다. 이러한 조직화는 마이크로-패턴 구조와 전이 표면상에 증착된 물질 사이에서 작용하는 모세관 또는 또 다른 힘에 의해 달성될 수 있다. 전이 표면이 마이크로-패턴 구조를 가지는 경우에 있어서, 이러한 마이크로-패턴 구조는 전이 표면상의 필름 물질(124)의 조직화를 도울 수 있으며, 이러한 조직화 이후에 필름 물질(124)은 실질적으로 마이크로-패턴 구조가 있는 영역, 실질적으로 마이크로-패턴 구조가 없는 영역, 또는 실질적으로 이러한 두 영역 모두에 있을 수 있다.

마이크로-패턴 구조는 기판으로의 전이 이전에 전이 표면상에 필름 물질의 원하는 패턴을 달성하기 위해 필름 물질 전달의 패턴과 조합된 방식으로 사용되어서 기판상의 필름 물질의 원하는 패턴의 증착을 도울 수 있다. 특정 패턴의 필름 물질의 조합된 전달 및 마이크로-패턴 구조의 사용의 한 실시예에서, 필름 물질은 전이 표면으로 전달되어서 마이크로-패턴 구조에 대하여 어떤 한 패턴의 고체 증착물을 형성하고 그 후 용해되어서 상기 필름 물질은 마이크로-패턴 구조의 도움으로 제2 패턴으로 유동한다. 특정 패턴의 필름 물질의 조합된 전달 및 마이크로-패턴 구조의 사용의 또 다른 실시예에서, 필름 물질은 마이크로-패턴 구조에 대하여 어떤 한 패턴으로 필름 물질 및 운송 액체를 함유하는 액체 잉크로서 전이 표면에 전달되어 그 후 상기 액체 잉크는 마이크로-패턴 구조의 도움으로 제2 패턴으로 유동한다. 드럼(114)으로의 필름 물질(124)의 전달 이후에, 필름 물질은 컨디셔닝 되어 기판(110)으로의 전이를 준비할 수 있다. 필름 물질(124)이 필름 물질 및 운송 물질을 포함하는 잉크 형태로 전이 표면으로 전달되는 경우, 컨디셔닝 단계는 잉크로부터 운송 물질을 제거하는 단계를 포함할 수 있다. 또 다른 실시예에서, 필름 물질(124)은 필름 물질 및 운송 액체를 함유하는 액체 잉크 형태로 전이 표면으로 전달되며, 이러한 컨디셔닝 단계는 액체 운송 액체를 실질적으로 제거하기 위해 가열 또는 정화 기체(purging gas)를 도입하는 단계를 포함할 수 있으며, 이에 따라 전이 표면상의 필름 물질(124)은 실질적으로 운송 액체가 없는(상호교환적으로, 건조) 상태이다. 건조 필름 물질은 단순히 소량(즉, 50 중량% 미만) 내지 1 중량% 미만 또는 심지어 흔적 양 수준 범위의 운송 액체 농도를 갖는 필름 물질을 포함할 수 있다. 또 다른 실시예에서, 이러한 컨디셔닝 단계는 필름 물질(124) (또는 필름 물질(124)을 함유하는 잉크)을 가열하여 필름 물질(124) (또는 필름 물질(124)을 함유하는 잉크의 적어도 일부분)을 용융시켜 필름 물질(또는 잉크) 조성, 마이크로구조, 또는 전이 표면상의 패턴을 변화시키는 단계를 포함할 수 있다. 또 다른 실시예에서, 필름 물질(124)은 필름 물질 및 운송 액체를 포함하는 액체 잉크 형태로 전달되며, 운송 액체는 잉크로부터 제거되어 건조, 실질적으로 고체인 필름 물질(124)을 형성하며, 이러한 컨디셔닝 단계는 그 후 필름 물질(124)을 가열하여 용융시켜 필름 물질 조성, 마이크로구조, 또는 전이 표면상의 패턴을 변화시키는 단계를 더욱 포함할 수 있다. 한 구체 예에서, 고체 필름 물질은 최소 50 중량%의 고체 상태 물질을 포함한다. 이러한 고체 필름 물질은 고체 상태 물질 및 기체 상태 물질의 조합, 또는 고체 및 액체 상태 물질의 조합을 포함하는 필름 물질을 포함한다.

이러한 컨디셔닝은 제1 방향, 제2 방향, 중간 방향, 또는 이러한 방향들의 조합에서 일어날 수 있다. 이러한 컨디셔닝은 심지어 한 방향에서 다른 방향으로의 시스템 전이 동안 전적으로 또는 부분적으로 일어날 수 있다. 또한, 이러한 컨디셔닝은 하나 이상의 추가 컨디셔닝 장치(상호교환적으로, 컨디셔닝 유닛)를 포함하거나 포함하지 않을 수 있다. 한 실시예에서, 필름 물질 및 운송 액체를 포함하는 액체 잉크는 자연적인 운송 액체 증발을 위해 충분한 시간을 제공함으로써 수동적으로 건조될 수 있다. 컨디셔닝은 명시적 제3 방향을 요구할 필요가 없거나(왜냐하면, 예컨대 컨디셔닝이 제1 및 제2 방향 사이의 전이 동안 일어날 수 있기 때문), 또는 임의 추가적인 컨디셔닝 장치를 요구할 필요가 없다. 또 다른 실시예에서, 유사한 액체 잉크는 예를 들면 전이 표면을 가열하거나 및/또는 전이 표면 주변 영역을 기체로 정화(purging)시킴으로써 능동적으로 건조될 수 있다. 가열 및/또는 정화는 열 및/또는 기체 소스를 외부에서 공급할 수 있는 컨디셔닝 장치의 사용을 통하여 수행될 수 있다. 가열 및/또는 정화는 또한 명시적 제3 방향(explicit third orientation)에서 수행될 수 있다. 외부 열 컨디셔닝은 외부 복사선 공급원(external radiation source)을 활성화시키고 상기 복사선을 전이 프린트헤드에 유도하여 전이 표면을 가열시킴으로써 수행될 수 있다. 그 대신에, 이러한 열 컨디셔닝은 또한 전이 표면 자체에 일체화된 컨디셔닝 유닛, 예컨대 집적화된 히터의 사용에 의해 수행될 수 있으며, 이러한 경우 외부 컨디셔닝 장치는 요구되지 않는다. 컨디셔닝 유닛(외부 또는 전이 표면에 일체화된 것)은 또한 증착 시스템 내에서 또 다른 비-컨디셔닝 기능을 할 수도 있다.

선택사항인 컨디셔닝 유닛(116)이 회전식 드럼(114)의 외부 표면 근처에 위치한다. 컨디셔닝 유닛은 또한 드럼 내부에 위치할 수도 있다. 컨디셔닝 유닛(116)은, 필름 물질을 전이 표면으로부터 기판(110)으로 전이하기 이전에, 복사, 대류, 또는 전도 열을 전달하거나 유도 기체 흐름을 도입시켜, 계량공급된 필름 물질을 컨디셔닝 할 수 있다. 한 구체 예에서, 계량공급된 필름 물질(124)은 필름 물질 및 운송 액체를 함유하는 소정 양의 액체 잉크를 포함하며, 컨디셔닝 유닛(116)은 건조 유닛으로서 기능을 하여 운송 액체를 실질적으로 증발시켜 회전식 드럼(114)의 전이 표면상의 필름 물질의 실질적으로 건조된 층을 형성할 수 있다.

제2 방향으로의 드럼(114)의 회전 이후, 필름 물질(124)은 전이 표면으로부터 기판(110)으로 전이된다. 필름 물질 전이는 전이 표면과 기판 사이의 물질적 접촉 없이 일어날 수 있다. 비-접촉 전이는 접촉 전이 공정에 사용되는 경우 필름 전이를 방해할 수 있는 입자에 대한 민감성 없이 고품질의 정확하고 정밀한 필름 형성을 제공하기 위하여 바람직하다. 비-접촉 전이 공정의 또 다른 장점은 큰 반복성, 큰 물질 사용도 및 전이 표면 또는 증착 표면에 대한 적은 손상을 포함한다. 비-접촉 예에서, 필름 물질은 예를 들면 승화 또는 용융 후 후속하는 증발에 의해 증발되어서 물질적 접촉 없이 전이 표면으로부터 기판으로의 전이를 가능하게 할 수 있다. 이러한 증발은 열적으로 활성화될 수 있으며, 이러한 경우 활성화 메커니즘은 열적 증발로 구성된다. 또 다른 비-접촉 예에서, 필름 물질은 전이 표면을 기계적으로 교반시켜 전이되어서 이에 따라 필름 물질이 이격되고 일단 이격된 후 기판으로 전이된다. 이러한 기계적 교반은 고체 및 액체 상태 물질을 전이 표면으로부터 이격시키기 위해 사용될 수 있으며, 전이 표면상에 부착되거나 또는 다르게 부착된 압전 요소(piezoelectric element)를 사용하여 수행될 수 있다. 필름 물질 전이 공정은 또한 전이 표면과 기판 사이의 물질적 접촉이 수반되면서 일어날 수 있다. 이러한 한 구체 예에서, 전이 표면이 기판에 대하여 압착되어 전이가 압력의 적용을 통하여 수행되며 이에 따라 필름 물질이 전이 표면으로부터 방출되어 기판상으로 전이된다. 필름 물질은 실질적으로 고체 상태로 기판상에 증착될 수 있다. 고체 상태 증착의 한 예에서, 전이 표면은 필름 물질을 증발시키고 필름 물질 증기는 필름 물질의 용융 온도 미만의 온도를 갖는 기판상에서 응축하여 이에 따라 필름 물질 증기가 응축하여 실질적으로 고체 물질을 형성한다. 필름 물질은 그 대신에 실질적으로 액체 상태로 기판상에 증착될 수도 있다. 이러한 액체 상태 증착의 한 실시예에서, 전이 표면은 필름 물질을 증발시키고 필름 물질 증기는 필름 물질의 용융 온도보다 더 높은 온도를 갖는 기판상으로 전이되며 이에 따라 물질은 실질적으로 액체 용융물로서 기판상에 응축한다.

필름 물질은 액체 상태로서 기판상에 증착될 수도 있다. 예를 들면, 전이 표면상의 필름 물질은 전이 시간에서 액체 상태일 수 있으며, 액체 필름 물질은 교반에 의해 전이 표면으로부터 방출되어, 액체 상태 물질을 전이 표면과 기판 사이의 물질적 접촉 없이 직접적으로 전이되도록 할 수 있다. 액체 상태 증착의 또 다른 실시예에서, 전이 표면상의 필름 물질은 전이 시간에서 액체 상태일 수 있으며, 액체 필름 물질은 기판과 물리적 접촉을 하게 되어 이에 따라 액체가 전이 표면으로부터 방출되어 기판상에 증착될 수 있다. 필름 물질이 액체 상태로 증착하는 경우에 있어서, 증착된 필름 물질은 그 후 증착된 필름 물질의 수동 또는 능동 처리 중 어느 하나를 통하여, 상태 전이 및 후속하여 고체 상태로의 증착을 겪을 수 있다. 예를 들어, 필름 물질이 용융물로서 증착되는 경우 기판이 냉각되고, 증착된 필름 물질 용융물은 고체화되어 고체 상태 증착물을 형성할 수 있다.

광학원(118) 및 광학 통로(119)가 구성되어 전이 표면상의 영역(120)에 에너지를 공급한다. 영역(120)은 필름 물질(124)을 함유하며, 전이 표면은 제1 배치에서 필름 물질(124)을 기존에 수령하였고 지금 제2 배치로 회전한다. 전이 표면에 에너지를 공급함으로써, 전이 표면으로부터 기판상으로의 필름 물질의 전이가 수행된다. 광학 광원(118)은 에너지를 회전식 드럼(114)의 하나 이상의 개별 영역으로 집중되도록 하는 광학 트레인(렌즈, 필터 등)과 소통하는 레이저원(laser source)일 수 있다. 광학 광원(118)은 열적으로 또는 복사 가열을 통하여 전이 표면의 영역(120)에 에너지를 공급할 수 있다. 광학 광원(118)의 적용은 선택 사항이며 필름 물질의 증착 표면상으로의 전이를 수행하기 위하여 전이 표면에 에너지를 공급하기 위한 또 다른 수단이 본 발명의 범위에 포함된다. 한 구체 예에서, 전이 표면은 저항 히터와 같은 일체화된 히터(제시되지 않음)를 포함하며, 이러한 히터의 활성화가 예를 들면 필름 물질을 열적으로 증발시킴으로써 필름 물질의 기판상으로의 전이를 수행한다. 또 다른 구체 예에서, 전이 표면은, 예를 들면 교반 및 이에 따라 필름 물질을 전이 표면으로부터 이격시킴으로써, 필름 물질의 증착 표면으로의 전이를 돕기 위하여 활성화될 수 있는 일체화된 압전 물질(도시되지 않음)을 포함한다. 또 다른 구체 예에서, 예를 들면 교반 및 이에 따라 필름 물질을 전이 표면으로부터 이격시킴으로써, 필름 물질의 증착 표면으로의 전이를 돕기 위하여 외부 장치가 제공되어 전이 표면에 대한 진동 또는 압력 파동을 유도한다.

필름 물질이 회전식 드럼(114)으로부터 전이됨에 따라, 필름 물질은 기판(110)상에 증착되어 층(상호교환적으로, 필름)(112)을 형성한다. 한 예시적인 구체 예에서, 필름 물질(124)은 필름 물질과 운송 액체를 포함하는 액체 잉크 형태로 전이 표면으로 전달되며 대응하는 증착된 층(112)은 액체 잉크의 일부였던 운송 액체(상호교환적으로, 건조)가 실질적으로 없다.

전이 표면상에 전달된 필름 물질의 일부는 기판상에 증착되지 않을 수 있다. 필름 물질의 일부는 전이 표면상에 잔류하며 후속하여 필름 물질의 전이를 위하여 활성화될 수 있다. 이러한 물질은 전이 표면을 오염시킬 수 있으며 세정 작업을 통하여 전이 표면으로부터 주기적으로 제거될 것이 요구된다. 필름 물질의 일부는 전이 표면으로부터 전이될 수 있으나 기판상에 증착되지는 않을 수 있다. 한 실시예에서, 증발된 필름 물질의 일부가 기판에 접착하지 않고 그 대신에 또 다른 표면으로 이동하여 응축하는 경우, 전이 표면이 필름 물질을 기판상에 전이시키기 위해 열 증발을 사용할 때 이러한 상실된 필름 물질이 생성될 수 있다. 상실된 필름 물질은 컨디셔닝 단계 동안 필름 물질의 기판상으로의 전이 이전에 생성될 수 있다. 예를 들면, 필름 물질은 운송 액체를 액체 잉크로부터 제거하는 동안 전이 표면으로부터 제거될 수 있다. 그 결과로서, 본 명세서에 기재된 증착 장치 및 증착 방법이 고려되어 전이 표면상으로 전달된 필름 물질의 모두 또는 단지 일부분을 기판상에 증착시킬 수 있다.

드럼은 연속적으로 또는 시작-정지 모드에서 회전할 수 있다. 연속 모드에서, 잉킹(inking), 필름 증착 및 또 다른 배향은 연속 배향을 포함할 수 있다. 시작-정지 모드에서, 잉킹(inking), 필름 증착 및 또 다른 배향은 개별적인 배향을 포함한다.

회전식 드럼(114)은 본 발명의 비-제한적인 예시적인 구체 예이며 본 명세서에 기재된 원리의 실시는 드럼의 외부 표면의 전부 또는 일부분을 포함하지 않는 전이 표면에서 수행될 수 있음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 전이 표면은 난형(ovoid) 또는 구형 횡단면을 갖는 객체의 외부 표면, 또는 개별적인, 실질적으로 평면 패싯을 갖는 객체의 외부 표면을 포함할 수 있다.

도 2는 본 발명의 또 다른 구체 예에 따르는 증착 시스템을 개략적으로 도시한다. 도 2에서, 육각형 컨베이어-타입(상호교환적으로, 패싯 드럼) 증착 시스템(214)을 사용하여 필름 물질을 기판상에 증착시킨다.모든 다른 주변 부품들은 도 1과 유사하며 유사하게 도면 부호를 부여하였다. 도 2의 증착 시스템(214)은 6개의 개별적이고 독립적인 패싯(facet)을 가지며, 상기 패싯 표면 각각의 적어도 일부는 전이 표면을 포함한다. 각각의 전이 표면은 어느 한 방향에서 물질 전달 장치(122)로부터 필름 물질을 수령하고 이러한 수령된 필름 물질을 다른 방향에서 기판(110)으로 전달할 수 있다.

도 3은 회전하는, 패싯된, 증착 시스템의 또 다른 개략도이다. 도 3에서, 패싯 드럼(314)은 6개의 개별적인 표면을 가지며 이들이게 표면 1 내지 6의 번호를 부여하였다. 각각의 표면은 단일 표면 또는 복수의 독립적이고 불연속적인 전이 표면을 포함할 수 있다. 예시적이 구체 예에서, 각각의 패싯은 복수의 독립적이고 불연속적인 전이 표면을 더욱 포함하는 기저플레이트(baseplate)를 포함하며, 상기 기저플레이트는 수단을 제공하는데, 즉 (1) 하나 이상의 개별적인 전이 표면을 실질적으로 동일 평면에서 상기 기저플레이트상에 탑재하고; (2) 하나 이상의 전이 표면의 조합을 단일 유닛으로서 패싯상에 탑재하기 위한; 수단을 제공한다. 각각의 전이 표면은 미리정해진 패턴으로 전이 표면상에 필름 물질을 조직화하기 위해 배열된 하나 이상의 마이크로-패턴화된 영역을 함유하여 증착 표면상에 증착된 필름 물질의 특정 패턴을 형성할 수 있다. 전이 표면은 계량공급된 필름 물질(324)을 수령하며, 이는 운송 액체 내에 용해 또는 현탁된 필름 물질을 함유하는 액체 잉크를 포함할 수 있다.

패싯 드럼(314)의 회전 방향이 화살표(326)로 제시된다. 필름 물질 전이 장치(322)는 패싯 드럼(314)의 패싯 1에 위치한 하나 이상의 전이 표면으로 필름 물질(324)을 계량공급한다. 한 구체 예에서, 필름 물질 전이 장치(322)는 필름 물질을 액체 잉크 형태로 계량공급하기 위한 잉크젯 프린트헤드를 포함한다. 패싯 드럼(314)이 화살표(326) 방향을 따라 회전하면서, 패싯 1 상의 하나 이상의 전이 표면은 선택 사항인 컨디셔닝 유닛(316)을 지나간다. 선택 사항인 컨디셔닝 유닛(316)은 히터를 포함할 수 있으며, 계량공급된 필름 물질이 액체 잉크를 포함하는 한 구체 예에서, 히터(316)가 패싯 1 상의 하나 이상의 전이 표면으로부터 운송 액체의 증발을 도울 수 있으며, 이에 따라 필름 물질은 전이 표면상에 건조 증착물을 형성한다. 일반적으로, 하나 이상의 전이 표면은 전이 표면상에 필름 물질을 조직화하기 위한 마이크로-패턴 구조를 가질 수 있다.

패싯 1이 기판(310)에 접근함에 따라, 패싯 1 상의 하나 이상의 전이 표면의 필름 물질은 건조될 것이다. 건조 필름 물질은 그 후 패싯 1 상의 하나 이상의 전이 표면으로부터 기판(310)으로, 패싯 1 상의 하나 이상의 전이 표면과 기판(310) 사이의 물질적 접촉 없이 전이된다.

패싯으로부터 기판으로의 필름 물질의 전이는 중력 공급될 수 있거나 또는 외부 에너지원에 의해 보충될 수 있다. 예를 들어, 패싯 1 상의 하나 이상의 전이 표면에는 필름 물질을 전이 표면으로부터 이격시키고 필름 물질을 증착 표면으로 전이시킬 수 있는 압전 구동기(piezoelectric actuator)가 구비될 수 있다. 패싯 1 상의 전이 표면에는 그 대신에 열 에너지를 필름 물질에 전달하고 이에 따라 예컨대 필름 물질을 열 증발 또는 기화시켜 필름 물질을 증착 표면으로 전달할 수 있는 열 구동기(thermal actuator)가 구비될 수 있다. 도 3의 시스템에는 또한 필름 물질을 전이 표면으로부터 증착 표면으로 전이시키는 것을 돕기 위한 선택적인 장치(예컨대 도 1과 관련하여 기재된 것들)가 구비될 수 있다.

필름 물질은 실질적으로 고체 상태로 기판(310)상에 증착하여 필름(312)을 형성한다. 필름(312)의 모양(및 토포그래피)은 기판으로 전이되기 이전에 전이 표면상의 필름 물질의 위치 및 배열에 의해 부분적으로 결정되며, 이러한 모양은 필름 물질을 전이 표면으로 계량공급할 때 필름 전달 장치에 의해 사용되는 공간적 패턴에 의해 결정된다. 전이 표면상의 필름 물질의 배열은 또한 전이 표면상의 마이크로-패턴 구조(도시되지 않음)의 존재에 의해 부분적으로 결정될 수 있다. 도 3에서, 필름 물질은 패싯 1 상의 하나 이상의 전이 표면상에 배열되어 기판상에 증착된 필름 물질의 3개의 개별적이고 불연속적인 영역을 제공한다. 따라서, 필름(312)은 이러한 3개의 개별적이고 불연속적인 영역을 반사한다.

도 3의 시스템은 또한 증착 공정을 모니터링하고 제어하기 위한 제어기를 포함할 수 있다. 제어기는 메모리 회로, 필름 전달 장치 및 하나 이상의 구동기(actuator)와 소통하는 프로세서 회로를 포함할 수 있다. 프로세서 회로는 하나 이상의 마이크로프로세서를 포함할 수 있다. 메모리 회로는 제어기 회로 및 구동기와 소통하고, 예를 들어 (i) 하나 이상의 전이 표면을 필름 물질 전이 장치에 인접하거나 근접한 제1 패싯상에 위치시키기 위한 명령; (ii) 소정 양의 필름 물질을 제1 패싯 상의 하나 이상의 전이 표면상에 계량공급하기 위한 명령; (ii) 계량공급된 필름 물질이 액체 잉크인 경우 제1 패싯 상의 전이 표면을 가열하여 필름 물질을 컨디셔닝 함으로써 예컨대 운송 액체를 실질적으로 증발시키기 위한 명령; (iii) 전이 표면을 기판에 근접하게 위치시켜 필름 물질을 전이 표면으로부터 기판상으로 전이시키기 위한 명령; (iv) 제1 패싯 상의 전이 표면을 가열하여 예컨대 필름 물질을 증발 또는 기화시킴으로써 필름 물질을 기판상으로 전이시키기 위한 명령; 및 (v) 공정을 제2 패싯 상의 하나 이상의 전이 표면에서 반복하기 위한 명령;을 포함한다.

도 4A 및 4B는 예시적인 제어기에 의해 수행되는 일반적인 단계를 나타내는 예시적인 흐름도이다. 도 4A를 참고하면, 단계(410)에서 제어기는 필름 물질을 수령하도록 전이 표면을 위치시킨다. 언급한 바와 같이, 필름 물질은 임의 물질적 상태를 가질 수 있다. 도 4A의 예시적인 구체 예에서, 필름 물질은 액체 잉크이다. 단계(420)에서, 제어기는 소정 양의 액체 잉크가 전이 표면의 영역으로 계량공급되도록 한다. 이러한 양은 하나의 전이 표면으로부터 그 다름까지 일정할 수 있다. 그 대신에, 프로세서는 다른 양의 잉크가 다른 또는 후속하는 전이 표면의 영역으로 계량공급되도록 할 수 있다. 전이 표면이 각각의 패싯이 하나 이상의 마이크로-패턴화된 표면을 갖는 복수의 패싯을 포함하는 한 구체 예에서(도 5 참조), 제어기는 각각의 표면에 잉크 물질의 실질적으로 동일한 (또는 서로 다른) 양의 계량공급을 조절할 수 있다.

단계(430)에서, 잉크는 선택적으로 컨디셔닝 되어 실질적으로 건조한 필름 물질을 형성한다. 건조 필름 물질은 전이 표면에 잔류할 수 있으며 실질적으로 고체인 필름 물질을 더욱 포함할 수 있다. 이러한 단계는, 특히 잉크가 건조하거나 및/또는 추가 컨디셔닝 단계 없이 고체를 형성하는 경우, 선택 사항임에 주목하라. 단계(440)에서, 전이 표면을 기판에 인접 또는 근접하게 이동시킨다. 도 4A 및 4B의 단계들은 순차적으로 실행될 필요가 없으며 동시에 실행될 수 있음에 주목하여야 한다. 예를 들어, 단계(430) 및 단계(440)는 동시에 수행될 수 있다. 단계(450)에서, 필름 물질을 전이 표면으로부터 기판상으로 전이시킨다. 이러한 단계는 광학, 열, 전기, 기계 또는 이들의 조합을 포함하는 에너지원의 활성화에 의해 도움을 받을 수 있다. 에너지원은 전이 표면에 대하여 외부에 있을 수 있거나 또는 전이 표면 내에 또는 상부에 일체화될 수 있다. 단계(430)의 컨디셔닝으로 인하여, 필름 물질에는 실질적으로 액체가 없으며 실질적으로 건조/고체 상태이다.

한 구체 예에서, 전이 표면으로부터 기판상으로의 전이는 열 증발에 의해 일어난다. 즉, 물질은 전이 표면의 표면으로부터 증발되어 증기가 기판상에서 실질적인 고체 필름을 형성한다. 선택사항인 단계(460)가 실행되어 계량공급된 필름 물질의 또 다른 양을 수령하고 예컨대 전이 표면을 세정하기 위해 전이 표면을 준비하고 컨디셔닝 시킬 수 있다. 이러한 컨디셔닝은, 여럿 중에서, 전이 표면을 가열하거나, 전이 표면을 진공 시키거나 또는 전이 표면을 세척함으로써 달성될 수 있다. 도 3 및 4를 참조하면, 예시적인 세정 단계가 패싯 5 및 6 상에 함유된 전이 표면상에서 실행되는 동안, 패싯 4 상의 전이 표면이 필름 물질을 기판상으로 전이시킬 수 있다. 컨디셔닝 단계는 또한 잔류 물질을 전이 표면으로부터 제거하기 위하여 전기-기계적 및/또는 화학적 기술을 사용하는 것을 포함할 수 있다.

도 4B의 단계(415)에서, 필름 물질을 수령하기 위하여 전이 표면을 필름 전달 장치에 근접하게 위치시킨다. 전이 표면은 전이 표면상의 필름 물질을 수령하고 조직화하기 위하여 마이크로-패턴화된 표면을 함유할 수 있다. 단계(425)에서, 원하는 소정 양의 필름 물질을 전이 표면으로 계량공급한다. 필름 물질은 잉크젯 헤드, 슬릿 또는 슬롯 코우터(coater), 습식 스탬프, 또는 원하는 패턴으로 원하는 양을 계량공급할 수 있는 또 다른 액체 잉크 전달 장치로부터 액체 잉크 형태로 제공될 수 있다. 잉크젯 헤드가 필름 전달 장치용으로 사용되는 경우, 잉크젯 프린트 헤드에는 소정 양의 필름 물질을 계량공급할 수 있는 하나 이상의 구동기(예컨대, 압전 요소 또는 열적 요소)가 구비될 수 있다. 필름 물질은 또한 기체 상태 필름 물질에 의해 정의된 기체 증기 형태 및 열 증발, 스퍼터링, 전자 빔 증발 또는 원하는 패턴으로 원하는 양을 계량공급할 수 있는 또 다른 기체 증기 전달 메커니즘으로부터의 1종 이상의 운송 기체의 선택사항으로서의 혼합물로서 제공될 수 있다.

선택사항인 단계(435)에서, 필름 물질을 컨디셔닝 하기 위하여 전이 표면을 가열하거나 또는 또 다른 방식으로 활성화시킨다. 계량공급된 필름 물질이 액체 잉크를 포함하는 경우, 가열 또는 또 다른 활성화는 운송 액체를 증발시켜 전이 표면상에 필름 물질의 실질적인 건조 증착물을 형성할 수 있다. 열적이든 또 다른 방식이든, 활성화는 운송 액체의 전부 또는 일부를 제거하기 위해 계측될 수 있다. 한 구체 예에서, 운송 액체는 필름 물질을 전이 표면으로부터 기판상으로 전이시키기 이전에 실질적으로 제거된다. 한 실시예에서, 필름 물질을 전이 표면으로부터 기판상으로 전이시키기 직전에, 전이 표면상에 증착된 필름 물질은 40 wt.% 운송 액체를 함유할 수 있다. 또 다른 실시예에서, 필름 물질을 전이 표면으로부터 기판상으로 전이시키기 직전에, 전이 표면상에 증착된 필름 물질은 1 wt.% 미만의 운송 액체를 함유할 수 있다. 전이 표면이 마이크로-패턴화된 표면을 갖는 경우, 마이크로-패턴화된 표면은 이러한 컨디셔닝 동안 필름 물질의 미리정해진 패턴으로의 재조직화(reorganization)를 도울 수 있다. 도 4B의 단계(440-460)는 도 4A와 관련되어 기재된 것들과 유사하며, 간략화를 위해 다시 언급하지 않는다.

도 1-4의 예시적인 구체 예가 물질적 비-접촉 프린팅(즉, 전이 표면 또는 하부 지지 표면 어는 것도 직접적인 물리적 접촉 또는 계량공급된 필름 물질의 매개 액체 또는 고체 다리를 통하여도 기판에 접촉하지 않음)에 관한 것인 한편, 본 발명의 원리는 물질적 비-접촉 프린팅에 한정되는 것은 아니다. 실제로, 일부 예시적인 구체 예에서 증착 표면은 본 발명의 원리를 벗어나지 않으면서 기판과 물질적으로 접촉할 수 있다.

도 5A는 본 발명의 한 구체 예에 따르는 증착 시스템의 예시적인 회전식 드럼 구성성분을 나타낸다. 회전식 드럼(510)은 도시된 바와 같이 내부 표면 및 외부 표면을 가진다. 회전식 드럼은 금속, 합금, 폴리머, 반도체, 또는 전이 표면으로서 기능을 하도록 제조될 수 있는 또 다른 임의 적절한 물질로부터 제조될 수 있으며, 상기 전이 표면은 마이크로-패턴화된 표면 구조를 포함할 수 있다. 회전식 드럼의 외부 표면은 하나 이상의 전이 표면을 갖도록 구성될 수 있다. 전이 표면은 드럼 주변의 연속된 밴드를 형성할 수 있거나 또는 드럼 상의 개별적이고 불연속적인 영역을 정의할 수 있다. 전이 표면은 하나 이상의 마이크로-패턴화된 영역을 가질 수 있다. 마이크로-패턴화된 표면 구조는 마이크로공극, 마이크로-채널, 마이크로-필라 또는 임의 또 다른 마이크로-패턴 구조를 포함할 수 있다. 마이크로-패턴화된 영역은 전이 표면상에 전달된 필름 물질을 소정의 또는 원하는 패턴으로 조직화하는 것을 돕도록 설계된 특정 구성을 형성할 수 있다. 드럼의 크기 및 길이는 다양한 크기의 프린팅 기판을 수용하도록 조절될 수 있다. 회전식 드럼은 또한 그 회전 또는 이동을 가능하게 하는 장치로부터 제거되도록 구성될 수 있다.

곡면을 갖는 드럼에 대하여, 전이 표면은 드럼 표면의 곡률과 일치하는 곡선을 갖는 실질적인 경성 물질(rigid material)로 구성될 수 있거나 또는 드럼 표면에 맞게 성형 될 수 있는 연성 물질(flexible material)일 수 있다. 이러한 물질의 예에는 얇은 실리콘 또는 유리의 플레이트가 포함된다. 패싯된 표면(facetted surface)을 갖는 드럼에 대하여, 전이 표면은 실질적으로 평탄인 플레이트를 포함할 수 있으며 상기 플레이트는 드럼의 지지 프레임의 패싯 상의 대응하는 평탄 영역에 부착된다.

시스템은 전술한 도 3에 관하여 도입된 것과 유사한 하나 이상의 기저플레이트를 더욱 포함할 수 있다. 이러한 기저플레이트는 하나 이상의 개별적인 전이 표면을 기저플레이트상에 탑재하고 그 후 전이 표면의 조합을 단일 유닛으로서 이동 장치상에 탑재하기 위한 수단을 제공할 수 있으며, 이러한 이동 장치는 예컨대 드럼 또는 패싯 드럼을 포함한다. 기저플레이트가 패싯 드럼의 패싯에 부착되는 경우에 있어서, 기저플레이트는 하나 이상의 전이 표면을 실질적으로 동일 평면에서 더욱 탑재할 수 있다. 기저플레이트는 다양한 구조를 가질 수 있다. 한 구체 예에서, 전이 표면은 기저플레이트에 직접적으로 일체화될 수 있다. 또 다른 구체 예에서, 각각의 전이 표면은 기저 플레이트에 독립적으로 탑재된 개별적 유닛을 포함한다. 개별적인 전이 표면 유닛은 각각 금속, 합금, 폴리머, 반도체 또는 전이 표면으로서 기능을 할 수 있도록 제조될 수 있는 또 다른 임의 적절한 물질로 제조된 전이 표면 칩 및 상기 칩을 열적으로, 전기적으로 및 기계적으로 기저플레이트와 탈착가능하게 인터페이스 시키기 위한 패키지를 포함할 수 있다.

전이 표면은 다중층 구조를 갖는 개별적인 유닛을 포함할 수 있다. 예를 들어, 전이 표면은 3층 구조를 가질 수 있는데, 즉 그 상부에 선택사항인 마이크로-패턴화된 표면이 형성될 수 있는 얇은 실리콘의 외부 층, 매장된 산화물층 및 두꺼운 실리콘의 층("핸들"로 칭함)을 포함한다. 이러한 구체 예에서, 마이크로-패턴화된 표면은 마이크로-공극, 마이크로-채널, 마이크로-필라 또는 얇은 실리콘을 통하여 상기 매장된 산화물층까지 연장될 수 있는 또 다른 마이크로-패턴 구조를 포함할 수 있다. 두꺼운 실리콘은, 얇은 실리콘 및 매장된 산화물층이 두꺼운 실리콘 지지체들 사이에 고정된 막(membrane)을 형성하는 영역을 정의하는 패턴화된 구조를 가질 수 있다. 이러한 고정된 막은 마이크로-패턴화된 영역일 수 있으며, 여기서 두꺼운 실리콘 지지체는 마이크로-패턴화된 영역들 사이에 구성될 수 있다. 유닛의 단지 일부분이 필름 물질을 수령하고 전이하기 위하여 구성되고, 유닛의 다른 부분은 전이 영역을 지지하기 위해 구성되며, 이러한 두 부분은 지지 비임(beam)을 통하여 연결되도록 전이 표면 유닛이 또한 배열될 수 있다. 그 대신에 전이 표면 유닛은 매장된 산화물층 없이 전술한 동일한 구조를 포함할 수 있으며, 이에 따라 매장된 산화물층이 있는 전이 표면 유닛의 실질적으로 동일한 특징을 다른 방식으로 함유하는 실리콘의 단일층을 포함한다.

전이 표면 유닛은 또한 그 상부에 선택 사항인 마이크로-패턴화된 표면이 형성되는 얇은 실리콘의 외부 표면 및 유리 층(예컨대 파이렉스(Pyrex))을 갖는 2-층 구조를 포함할 수 있다. 유리 층은 얇은 실리콘이 유리 지지체들 사이에 고정된 막을 형성하는 영역을 정의하는 패턴화된 구조를 가질 수도 있다.

전이 표면 유닛은 일반적으로, 선택사항으로 추가적인 중간 패키지를 통하여, 회전식 또는 컨베이어 증착 시스템(예컨대, 본 명세서에 기재된 예시적인 구체 예를 따르는, 드럼 또는 패싯 드럼 또는 컨베이어 벨트) 또는 이들 상부의 기저플레이트에 부착될 수 있다. 전이 표면 유닛은 또한 열 싱크(heat sink)에 부착될 수 있으며 그 후 회전식 증착 시스템의 지지 프레임에 부착될 수 있으며, 이러한 열 싱크는 상기 중간 패키지 또는 기저플레이트에 일체화될 수 있다. 이러한 열 싱크는 실질적으로 일정한 온도를 가질 수 있는 열적으로 전도성인 물질을 포함할 수 있다. 열 제어 장치는 능동식(예컨대, 수냉식) 또는 수동식(예컨대, 복사 및/또는 전도)일 수 있다.

도 5B는 도 5A의 회전식 드럼(510)의 외부 표면의 평면 표현이다. 도 5B는 마이크로-패턴화된 영역(512)을 나타내며 이는 표면(510)에서 선으로 제시된다. 각각의 선은 표면(510)상에서 마이크로-기계처리되어 원하는 표면 구조를 생성할 수 있다. 원하는 응용분야에 따라서, 각각의 선(즉, 마이크로-패턴화된 영역)은 동일하거나 또는 서로 다른 레이아웃을 포함할 수 있다. 드럼 상의 마이크로-패턴화된 피처의 패턴은 증착 표면상에 증착될 필름 물질의 패턴에 대응할 수 있다. 액체 잉크는 드럼의 영역 상부에서 공간적으로 정의된 패턴으로 또는 균일하게 필름 물질 전이 장치에 의해 전달될 수 있다.

한 예시적인 구체 예에서, 공간적으로 정의된 액체 잉크 전달 패턴은 마이크로-패턴 구조와 관련되어 정의될 수 있으며, 이에 따라 액체 잉크가 전이 표면상으로 전달되며 마이크로-패턴 구조는 미리정해진 패턴으로 필름 물질을 추가로 조직화하는 것을 돕는다. 마이크로-패턴 타입 및 잉크 특성에 따라서, 잉크는 마이크로-패턴화의 단지 특정 타입만을 함유하는 전이 표면상의 영역으로 전달되고 마이크로-패턴화의 다른 타입을 함유하는 전이 표면의 영역으로는 전달되지 않을 수 있다. 더욱이, 또한 마이크로-패턴 타입 및 잉크 특성에 따라서, 잉크는 마이크로-패턴화를 갖지 않는 전이 표면의 영역 또는 마이크로-패턴화를 갖는 영역만으로 전달될 수 있다. 마이크로-패턴 구조는 주변 영역으로부터 마이크로-패턴화된 영역으로 잉크를 유도하는 특성을 가질 수 있으며, 이에 따라 잉크를 마이크로공극 영역의 외부에 분배할 때, 잉크는 마이크로공극 영역으로 유도될 수 있다. 그 대신에, 마이크로-패턴 구조는 잉크를 마이크로-패턴화된 영역으로부터 반말시키는 특성, 또는 마이크로-패턴화된 영역에 따른 잉크의 유동을 방지하는 특정을 가질 수 있어서, 이에 따라 잉크를 마이크로-패턴화가 없는 영역에 분배할 때, 잉크는 이러한 영역 내에 함유될 수 있으며 마이크로-패턴화된 영역으로 전달된 흩어진(stray) 잉크는 마이크로-패턴화를 갖는 이러한 영역으로 밀려질 수 있다.

드럼 표면에 전달된 잉크가 마이크로-패턴화된 표면에 의해 적절한 영역으로 유도되지 않을 수도 있으며, 필름 물질을 기판상으로 전이시키기 이전에 이러한 소위 흩어진(stray) 잉크를 제거하는 것이 바람직하다. 이는 잉크를 흡수할 수 있는 표면 구조 및 표면 구조상에 흡수되지 않은 잉크를 전이 표면으로부터 제거하여 수집 유닛으로 보내기 위한 닥터 블레이드(드럼 표면을 가로질러 유도된 기계적 블레이드)를 사용함으로써 달성될 수 있다. 공기 블레이드가 또한 동일한 방식으로 사용되어 흩어진 또는 과량의 잉크를 제거할 수 있다. 공기 블레이드는 표면을 닦아서 흩어진 잉크를 표면으로부터 이동시키는 불활성 기체의 압축되고 국지화된 영역이다.

도 5C는 도 5B의 회전식 드럼 표면 영역의 분해도 이다. 도 5C에서, 마이크로-패턴화된 영역(520)은 종횡으로 배열된 마이크로공극(522)을 포함한다. 도 5C의 예시적인 구체 예는 각각 마이크로공극 쌍의 반복된 수직 패턴을 갖는 3개의 종(column)으로 조직화된 마이크로공극을 나타낸다. 전술한 바와 같이, 마이크로공극(522)은 회전식 드럼(510)의 표면에 마이크로-기계처리되어 드럼의 전이 표면을 제공할 수 있다. 또 다른 구체 예에서, 마이크로-패턴화된 영역은 분리된 전이 표면 유닛으로 형성되고 그 후 직접적으로 또는 중간 기저플레이트 및/또는 패키지를 통하여 하부 회전 또는 컨베이어 장치에 부착 또는 접착된다.

또 다른 예시적인 구체 예에서, 전이 표면상의 마이크로-패턴 구조는 표면상에 증착될 물질의 패턴에 대응하지 않는 패턴을 정의한다. 여기서, 필름 물질은 공간적으로 정의된 패턴으로 드럼 표면으로 전달되며 전이 표면상의 마이크로-패턴 구조는 이러한 전달된 패턴을 유지하는 기능을 주로 한다. 전달된 필름 영역의 공간적으로 정의된 패턴은, 일단 마이크로-패턴화된 영역으로 전달되면, 증착 표면상에 증착될 피처의 패턴에 대응할 수 있다. 이러한 구체 예에서, 필름 전달 장치는 패턴화 기능을 수행한다. 이러한 구성의 예시적인 구체 예에서, 계량공급된 필름 물질은 액체 잉크를 포함하고 마이크로-패턴 구조는 잉크가 공급될 전체 전이 표면 영역에서 연속적인 마이크로공극 영역을 포함하며, 액체 잉크는 한 패턴으로 마이크로공극 표면으로 전달되어서 잉크가 마이크로공극 표면에 의해 흡수되며 실질적으로 동일 패턴으로 유지되며, 심지어 이후 선택사항인 컨디셔닝 단계가 후속하여 운송 액체를 제거한다. 일반적으로, 필름 전달 장치 및 전이 표면의 마이크로-패턴 구조는 함께 전이 표면상의 필름 물질을, 필름 물질 증착의 원하는 패턴을 기판상에 전달하기 위해 요구되는 미리정해진 패턴으로 조직화할 수 있다.

마이크로-패턴 전이 표면은 공극 또는 전이 표면 유닛의 외부 표면으로부터 전이 표면 유닛의 내부 표면까지 연장되는 채널 피처를 갖는 마이크로채널 또는 마이크로공극의 영역을 포함할 수 있으며, 이러한 전이 표면 유닛은 회전식 증착 시스템에 탑재되어 전이 표면 유닛의 내부 표면이 실질적으로 노출될 수 있다. 마이크로-패턴화된 영역은 주변부 물질보다 더 얇을 수 있으며, 이에 따라 주변부 물질은 더 얇은 마이크로-패턴화된 영역에 대한 기계적 지지를 제공한다.

필름 물질 전이 장치는 실질적으로 회전식 증착 시스템 내에 위치할 수 있으며, 필름 물질을 회전식 증착 시스템에 탑재된 전이 표면 유닛의 내부 표면으로 전달할 수 있으며, 이에 따라 필름 물질은 지지 물질 사이에 고정된 얇은 마이크로-패턴화된 영역의 내부 표면으로 전달되며, 후속하여 필름 물질을 컨디셔닝 하고 전이 표면에 에너지를 공급하는 즉시, 필름 물질의 적어도 일부분이 전이 표면으로부터 증착 표면으로 전달되며, 상기 증착 표면에서 필름 물질은 기판상에 실질적으로 고체 필름으로서 증착된다. 이러한 구체 예에서, 필름 물질 전달은 드럼 내에 위치한 잉크젯 프린트 헤드를 포함할 수 있다.

예시적인 전이 표면의 마이크로-패턴화된 영역은 전이 표면 유닛을 통하지 않고, 전이 표면 속으로 특정 깊이로 연장되는 구조를 갖는 물질의 영역을 포함할 수 있다. 이러한 마이크로-패턴 구조는, 전이 표면 유닛의 후면 또는 내부 표면 및 전면 또는 외부 표면 모두에 대하여 개방된 앞선 문단에 기재된 마이크로-패턴 구조와는 대조적으로, 단지 전면 또는 외부 표면에서만 개방된다. 필름 물질은 필름 물질을 전면 또는 외부 표면으로 전달하여 전이 표면으로 계량공급될 수 있으며 후속하여 전이 표면에 에너지를 공급하는 즉시, 필름 물질은 전이 표면으로부터 증착 표면으로 전달되며, 상기 증착 표면에서 필름 물질은 실질적으로 고체 필름으로서 증착된다. 이러한 구성은, 전이 표면으로 전달된 필름의 전부가 전이 표면에 에너지를 공급하는 즉시 증착 표면으로 유도되는 점에서 유리할 수 있다. 이와 대조적으로, 외부 표면으로부터 내부 표면까지 연장되는 마이크로-패턴 구조를 사용하는 구성에 있어서, 필름 물질의 일부는 전이 표면의 내부 표면을 통하여 누출되거나 또는 외부로 유도될 수 있으며(이에 따라 증착 표면으로부터 멀어짐) 이러한 필름 물질은 폐기되고 잠재적으로 회전식 증착 시스템의 조각 또는 오염원을 제공한다.

도 6A는 본 발명의 한 구체 예에 따르는 증착 시스템의 예시적인 회전, 패싯 구성성분을 나타낸다. 도 6A의 예시적인 구체 예에서, 육각 패싯 드럼(또는 컨베이어-타입) 증착 시스템(610)이 사용되어 필름 물질을 기판상에 증착시킨다. 도 6B는 도 6A의 증착 시스템의 패싯 중 어느 하나 상의 전이 표면의 표면 표현이다. 더욱 상세하게는, 도 6B는 회전식 패싯 드럼(610)의 패싯 중 어느 하나 상의 외부 표면의 평면 표현이다. 도 6C는 도 6B의 회전식 패싯 드럼의 영역의 분해도이다. 모든 다른 주변 부품들은 도 5에 제시된 것들과 유사하며 유사하게 도면부호를 부여하였다.

도 7A는 본 발명의 한 구체 예에 따르는 활성화 유닛 및 마이크로-패턴화된 영역을 갖는 예시적인 전이 표면 유닛을 나타낸다. 도 7A의 전이 표면 유닛은 전이 표면(710), 활성화 요소(720) (이는 상기 유닛에 일체화될 수 있음), 지지 구조물(730) 및 마이크로-패턴화된 표면 구조(740)를 포함한다. 활성화 요소(720)는, 전이를 위하여 필름 물질을 컨디셔닝 하기 위해 전이 표면을 가열하거나 및/또는 필름 물질을 기판상으로 전이하기 위하여 사용될 수 있는 가열 요소, 예를 들면, 저항성 가열 요소를 포함할 수 있다. 활성화 요소(720)는 또한 필름 물질을 기판상으로 전이시키기 위해 사용될 수 있는 압전 요소를 포함할 수 있다.

도 7B는 본 발명의 한 구체 예에 따르는 예시적인 육각형 회전식 드럼 증착 시스템을 나타낸다. 구체적으로, 도 7B는 본 발명의 한 구체 예에 따라, 증착 시스템의 회전, 패싯 구성성분을 나타내며, 각각의 패싯 상에 전이 표면 유닛 형태의 하나 이상의 개별적인, 실질적으로 공-평면 전이 표면을 함께 탑재하기 위한 기저플레이트를 가진다. 육각 드럼의 각각의 면은 하나 이상의 전이 표면 유닛을 탑재하기 위한 패싯 표면 기저플레이트(715)를 가진다. 각각의 기저플레이트(715)는 각각의 패싯에 결합될 수 있다.

도 7C는 공-평면 표면에 함께 탑재된 6개의 전이 표면 유닛을 갖는 예시적인 기저플레이트(715)를 나타낸다. 전이 표면 유닛은 서로 동일하거나 다를 수 있다. 각각의 전이 표면 유닛은 도 7A에 기재된 요소들을 포함할 수 있다. 더욱이, 치수 W₁ 및 H₁은 각각 실질적으로 동일한 전이 표면 유닛 각각의 전이 표면의 폭 및 높이를 정의한다. 치수 W₂ 및 H₂는 각각 기저플레이트(715) 상의 전이 표면 유닛의 탑재 결과로서 전이 표면 사이의 이격 거리의 폭 및 높이를 정의한다. 한 구체 예에서, W₁은 W₂와 동일하고 H₁은 H₂와 동일하다. 또 다른 구체 예에서, W₂는 W₁의 1 이외의 정수 배와 동일하다. 또 다른 구체 예에서, H₂는 H₁의 1 이외의 정수 배와 동일하다.

도 7A-7C는 집합적으로 다중 전이 표면상의 다중 기저플레이트의 일체화를 나타낸다. 한 구체 예에서, 일체화된 시스템이 형성되는데 여기서 각각의 패싯(또는 전이 표면)은 6개의 패싯을 갖는 패싯 드럼상의 12개의 개별적인 전이 표면을 지지한다.

도 8A-8D는 본 발명의 한 구체 예에 따르는 예시적인 마이크로-패턴화된 표면을 나타낸다. 전술한 바와 같이, 마이크로-패턴화된 표면 구조가 전이 표면상에 형성될 수 있다. 마이크로-패턴화된 표면은 서로 다른 기능으로 작용한다. 예를 들면, 마이크로-패턴화된 표면은 원하는 모양 및 텍스처의 필름 형성하기 위해 사용될 수 있다. 마이크로-패턴화된 표면은 또한 필름 두께, 전이 표면상의 필름 물질의 유동 및 표면 구성을 제어하기 위해 사용될 수 있다.

도 8A에서, 전이 표면 영역(820)은 마이크로-패턴 구조를 함유하는 직사각형 영역(830)의 격자를 함유한다. 도 8B에서, 전이 표면 영역(820)은 마이크로-패턴 구조를 함유하는 일련의 선(831)을 함유한다. 도 8C에서, 전이 표면 영역(820)은 직사각형 마이크로-패턴화된 영역(830)과 선 모양의 마이크로-패턴화된 영역(831)의 조합을 포함한다. 도 8D는 타입 (830) 및 (831)의 영역과 같은 더 큰 마이크로-패턴화된 영역을 충전하기 위해 단독으로 또는 조합된 패턴으로 사용될 수 있는 개별적인 직사각형 영역을 정의하는 개별적인 마이크로-패턴 피처의 예를 나타낸다. 즉, 마이크로-패턴 피처(832)는 일련의 개별적인 선형 마이크로-채널을 포함하며, 마이크로-패턴 피처(833)는 마이크로-필라의 어레이를 포함하며, 마이크로-패턴 피처(834)는 연속적인 뱀 모양의 마이크로-채널을 포함하며, 마이크로채널 피처(835)는 마이크로-공극의 어레이를 포함한다.

전술한 방법 및 장치에 적용될 수 있는, 필름 물질을 전이 표면에 계량공급하고 전달하기 위한 많은 서로 다른 방법이 존재한다. 이들 방법 중 일부를 앞서 설명하였다. 예를 들면, 상기 물질이 액체 잉크 형태로 전달되는 경우, 액체 잉크는 잉크젯 프린팅 기술을 사용하여 전달될 수 있다. 또 다른 예시적인 액체 잉크 전달 메커니즘은 노즐 젯 프린팅, 그라비어 프린팅, 슬롯 또는 슬릿 코팅, 스프레이 코팅, 및 습식 스탬핑을 포함한다. 상기 물질이 기체 증기 잉크 형태로 전달되는 경우, 기체 증기는 열 증발 공정을 사용하여 전달될 수 있다. 또 다른 예시적인 기체 증기 전달 메커니즘은 전자 빔 증발, 스퍼터링, 원자 층 증착, 분자 비임 에픽택시 및 분자 유기 화학 기상 증착을 비롯하여, 물리 또는 화학 기상 증착 시스템을 포함할 수도 있다. 기체 증기 전달은 주변 압력, 감소된 압력, 또는 증가된 압력에서 수행될 수 있다. 필름 물질이 고체 잉크 형태로 전달되는 경우, 고체 잉크는 접촉 압력 전이를 사용하여 전달될 수 있으며, 여기서 고체 잉크 물질은 중간 시트상에 코팅되고 이는 전이 표면과 접촉하며, 중간 시트에 압력이 가해지고, 그 후 중간 시트가 제거되고, 이에 따라 압력이 가해지는 경우 고체 잉크 물질은 전이 표면으로 전이하며 중간 시트가 제거된 이후 잔류한다. 또 다른 예시적인 고체 상태 전달 메커니즘은 접촉 레이저 전이(접촉 압력 전이와 유사하나, 전이를 수행하기 위하여 압력 대신에 레이저 에너지가 사용됨), 접촉 열 전이(접촉 압력 전이와 유사하나, 전이를 수행하기 위해 압력 대신 열 에너지가 사용됨), 및 고체 입자 스프레이 코팅을 포함하며, 상기 고체 입자 스프레이 코팅에 있어서 고체 잉크 입자의 스트림이 전이 표면으로 유도되어 이에 따라 고체 잉크 입자의 적어도 일부분이 전이 표면에 부착된다.

도 9A-9C는 필름 물질을 전이 표면상에 증착시키기 위한 3가지 예시적인 습식 코팅 기술을 나타낸다. 도 9A는 액체 잉크일 수 있는 필름 물질(940)을 드럼(900)의 패싯된 표면상에 전달하기 위한 슬릿 코팅 기술을 나타낸다. 슬릿 코팅 유닛(910)은 액체 잉크 코팅(940)을 전달하기 위하여 드럼 패싯 중 하나를 횡단하면서 패싯의 한쪽 끝단에서 다른 쪽 끝단까지 이동한다. 도 9B는 또 다른 예시적인 구체 예를 나타내는데 여기서 닥터 블레이드가 있는 슬릿 코팅 기술이 패싯 드럼(900)의 패싯상으로의 잉크 전달을 위하여 사용된다. 여기서, 슬릿 코팅 유닛(910)은 드럼 패싯 중 하나를 횡단하면서 연속 방식으로 패싯의 한쪽 끝단으로부터 이동하고, 닥터 블레이드(920)가 패싯 표면을 횡단하면서 슬릿 코팅 유닛(910)을 뒤따라가서 과량의 잉크를 제거한다. 공기 나이프(도시되지 않음)가 또한 동일한 목적을 위하여 닥터 블레이드(920) 대신에 또는 이에 부가하여 사용될 수 있다.

도 9C는 또 다른 구체 예를 나타내는데 여기서 롤러 유닛(930)이 사용되어 필름 물질을 패싯 드럼(900)의 패싯에 액체 잉크 코팅(940)으로서 전달한다. 여기서, 잉크는 롤러 유닛(930) 내 롤러의 표면으로 전달되고 그 후 롤러(930)가 잉크를 롤러의 표면으로부터 드럼 패싯의 표면에 적시고 패싯을 가로질러 롤링함으로써 잉크를 전달한다. 롤러는 한 패턴으로 액체 잉크를 패싯 표면에 제공할 수 있으며 이에 따라 패턴화된 잉크 전달 장치를 제공한다. 패턴-가능 롤러의 한 예는 그라비어 드럼이다. 또 다른 예시적인 구체 예에서(도시되지 않음), 그라비어 플레이트가 잉크 전달을 위하여 사용된다. 그라비어 플레이트는 먼저 잉크로 코팅되고, 그 후 플레이트는 플레이트 표면의 잉크를 드럼 패싯의 표면에 적셔 잉크를 전달한다. 이러한 모든 구체 예에서, 회전식 전이 표면 어셈블리(예컨대 드럼 또는 패싯 드럼) 및 잉크 전달 장치는 고정식이거나 또는 서로에 대하여 이동식일 수 있다. 상대적인 이동(전이 표면 어셈블리 회전을 통하거나 잉크 전달 장치 이동을 통하거나, 또는 둘 모두를 통한 이동)이 사용되어 잉크 전달의 공간적 제어를 개선할 수 있다.

본 발명의 원리가 본 명세서에 제시된 예시적인 구체 예와 관련하여 제시되지만, 본 발명의 원리는 여기에 제한되지 않으며 임의 변형, 변화 또는 교환을 포함한다.

Claims (103)

1. 필름 물질을 기판에 전이시키기 위한 장치에 있어서, 상기 장치는
   소정 양의 필름 물질을 조직화하기 위하여 복수의 마이크로-패턴 구조를 갖는 전이 표면;
   상기 소정 양의 필름 물질을 상기 전이 표면에 공급하기 위한 전달 장치; 및
   축으로서 상기 축에 대하여 상기 전이 표면이 상기 소정 양의 필름 물질을 상기 전달 장치로부터 수령하고, 그 후 상기 소정 양의 필름 물질의 적어도 일부분을 분배하기 이전에 회전할 수 있는 상기 축;
   을 포함하는, 필름 물질을 기판에 전이시키기 위한 장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 전이 표면에 의해 수령된 상기 필름 물질을 컨디셔닝 하기 위한 컨디셔닝 유닛을 더욱 포함하는, 필름 물질을 기판에 전이시키기 위한 장치.
3. 제 1 항에 있어서, 상기 필름 물질을 전이 표면으로부터 기판상으로 전이하기 위한 에너지원을 더욱 포함하는, 필름 물질을 기판에 전이시키기 위한 장치.
4. 제 1 항에 있어서, 상기 필름 물질은 상기 필름 물질을 열적으로 증발시킴으로써 상기 전이 표면으로부터 전이되는, 필름 물질을 기판에 전이시키기 위한 장치.
5. 제 1 항에 있어서, 상기 전이 표면은 드럼 또는 패싯 드럼의 외부 표면의 적어도 일부분을 포함하는, 필름 물질을 기판에 전이시키기 위한 장치.
6. 제 1 항에 있어서, 상기 복수의 마이크로-패턴 구조가 상기 전이 표면 전체에 대하여 연속적인, 필름 물질을 기판에 전이시키기 위한 장치.
7. 제 1 항에 있어서, 상기 복수의 마이크로-패턴 구조 각각은 상기 전이 표면의 개별적인 영역을 정의하는, 필름 물질을 기판에 전이시키기 위한 장치.
8. 제 1 항에 있어서, 상기 마이크로-패턴 구조는 마이크로공극, 마이크로-필라, 마이크로-채널 및 마이크로-어레이로 구성된 군으로부터 선택되는, 필름 물질을 기판에 전이시키기 위한 장치.
9. 제 1 항에 있어서, 상기 마이크로-패턴 구조, 필름 물질을 기판에 전이시키기 위한 장치.
10. 제 1 항에 있어서, 상기 마이크로-패턴 구조는, 필름 물질을 기판에 전이시키기 위한 장치.
11. 제 1 항에 있어서, 상기 필름 물질은 액체 잉크, 고체 잉크 및 기체 증기 잉크 형태로 상기 전이 표면에 전달되는, 필름 물질을 기판에 전이시키기 위한 장치.
12. 제 11 항에 있어서, 상기 액체 잉크는 용해 또는 현탁된 필름 물질을 함유하는 운송 액체를 더욱 포함하는, 필름 물질을 기판에 전이시키기 위한 장치.
13. 제 12 항에 있어서, 컨디셔닝 유닛을 더욱 포함하는, 필름 물질을 기판에 전이시키기 위한 장치.
14. 제 11 항에 있어서, 상기 액체 잉크는 용융된 잉크 물질을 더욱 포함하는, 필름 물질을 기판에 전이시키기 위한 장치.
15. 제 1 항에 있어서, 상기 필름 물질은 실질적인 액체 상태 또는 실질적인 고체 상태 중 어느 하나로 상기 전이 표면상에 증착되는, 필름 물질을 기판에 전이시키기 위한 장치.
16. 제 1 항에 있어서, 상기 전달 장치는 잉크젯, 슬롯 코우터, 닥터 블레이드, 공기 나이프, 습식 스탬프 및 그라비어로 구성된 군으로부터 선택되는, 필름 물질을 기판에 전이시키기 위한 장치.
17. 제 1 항에 있어서, 제1 전이 표면 및 제2 전이 표면을 더욱 포함하며, 상기 제1 전이 표면은 제1 마이크로-패턴 구조를 포함하며 상기 제2 전이 표면은 제2 마이크로-패턴 구조를 포함하는, 필름 물질을 기판에 전이시키기 위한 장치.
18. 제 1 항에 있어서, 상기 필름 물질이 분배된 이후 상기 전이 표면을 세정하기 위한 세정 소스를 더욱 포함하는, 필름 물질을 기판에 전이시키기 위한 장치.
19. 비-접촉식 필름 증착 장치에 있어서, 상기 장치는
    소정 양의 필름 물질을 공급하기 위한 전달 장치;
    상기 소정 양의 필름 물질을 상기 전달 장치로부터 수령하고 상기 소정 양의 필름 물질의 적어도 일부분을 제2 패턴으로 기판과 물질적 접촉 없이 기판상에 전이시키기 위한 전이 표면; 및
    상기 전이 표면상의 마이크로-패턴 구조, 여기서 상기 마이크로-패턴 구조는 수령된 상기 필름 물질을 제1 패턴으로 조직화함;
    을 포함하는, 비-접촉식 필름 증착 장치.
20. 제 19 항에 있어서, 상기 제1 패턴과 상기 제2 패턴은 실질적으로 동일한, 비-접촉식 필름 증착 장치.
21. 제 19 항에 있어서, 상기 전이 표면은 상기 소정 양의 필름 물질을 제1 평면에서 수령하고 상기 필름 물질을 제2 평면에서 상기 기판상에 전이시키는, 비-접촉식 필름 증착 장치.
22. 제 19 항에 있어서, 상기 필름 물질은 상기 필름 물질을 열적으로 증발시킴으로써 상기 전이 표면으로부터 전이되는, 비-접촉식 필름 증착 장치.
23. 제 19 항에 있어서, 상기 필름 물질은 실질적으로 고체 상태로 상기 기판상에 증착하는, 비-접촉식 필름 증착 장치.
24. 제 19 항에 있어서, 상기 전이 표면은 제1 평면에서 소정 양의 필름 물질을 수령하고 상기 소정 양의 필름 물질의 적어도 일부분을 제2 평면에서 상기 기판상으로 전이시키는, 비-접촉식 필름 증착 장치.
25. 제 24 항에 있어서, 상기 제1 평면과 상기 제2 평면은 서로 직교하거나 평행한, 비-접촉식 필름 증착 장치.
26. 제 19 항에 있어서, 상기 전이 표면에 의해 수령된 상기 필름 물질을 컨디셔닝 하기 위한 컨디셔닝 유닛을 더욱 포함하는, 비-접촉식 필름 증착 장치.
27. 제 19 항에 있어서, 상기 마이크로-패턴 구조는, 비-접촉식 필름 증착 장치.
28. 28. 제 19 항에 있어서, 상기 전이 표면은 드럼 또는 패싯 드럼의 외부 표면의 적어도 일부분을 포함하는, 비-접촉식 필름 증착 장치.
29. 제 19 항에 있어서, 상기 전달 장치는 잉크젯, 슬롯 코우터, 닥터 블레이드, 공기 나이프, 습식 스탬프 및 그라비어로 구성된 군으로부터 선택되는, 비-접촉식 필름 증착 장치.
30. 제 19 항에 있어서, 상기 필름 물질은, 비-접촉식 필름 증착 장치.
31. 제 30 항에 있어서, 상기 액체 잉크는, 비-접촉식 필름 증착 장치.
32. 제 31 항에 있어서, 컨디셔닝 유닛을 더욱 포함하는, 비-접촉식 필름 증착 장치.
33. 제 19 항에 있어서, 상기 필름 물질은 OLED 물질을 함유하는, 비-접촉식 필름 증착 장치.
34. 필름 증착 장치에 있어서, 상기 장치는
    비-접촉식 필름 증착 장치에 있어서, 상기 장치는
    소정 양의 필름 물질을 공급하기 위한 전달 장치;
    상기 소정 양의 필름 물질을 상기 전달 장치로부터 수령하고 상기 소정 양의 필름 물질의 적어도 일부분을 제2 패턴으로 기판과 물질적 접촉 없이 기판상에 전이시키기 위한 전이 표면; 및
    상기 전이 표면상의 마이크로-패턴 구조, 여기서 상기 마이크로-패턴 구조는 수령된 상기 필름 물질을 제1 패턴으로 조직화함;
    을 포함하는, 필름 증착 장치.
35. 제 34 항에 있어서, 컨디셔닝 유닛을 더욱 포함하는, 필름 증착 장치.
36. 제 34 항에 있어서, 상기 전달 장치는, 필름 증착 장치.
37. 제 34 항에 있어서, 상기 필름 물질은, 필름 증착 장치.
38. 제 34 항에 있어서, 상기 제1 전이 표면은, 필름 증착 장치.
39. 제 38 항에 있어서, 상기 제1 영역은, 필름 증착 장치.
40. 제 38 항에 있어서, 상기 제1 영역은, 필름 증착 장치.
41. 제 38 항에 있어서, 상기 제1 영역은, 필름 증착 장치.
42. 제 38 항에 있어서, 상기 제1 영역은, 필름 증착 장치.
43. 제 34 항에 있어서, 필름 물질 전이 단계는, 필름 증착 장치.
44. 제 43 항에 있어서, 활성 소스는, 필름 증착 장치.
45. 제 43 항에 있어서, 활성 소스는, 필름 증착 장치.
46. 제 34 항에 있어서, 상기 제1 전이 표면은, 필름 증착 장치.
47. 제 34 항에 있어서, 제2 전이 표면을 더욱 포함하는, 필름 증착 장치.
48. 제 47 항에 있어서, 상기 제1 전이 표면은, 필름 증착 장치.
49. 제 47 항에 있어서, 상기 제1 전이 표면은, 필름 증착 장치.
50. 제 47 항에 있어서, 상기 제1 전이 표면은, 필름 증착 장치.
51. 제 47 항에 있어서, 상기 제1 전이 표면은, 필름 증착 장치.
52. 필름을 기판상에 증착시키기 위한 시스템에 있어서, 상기 시스템은
    소정 양의 필름 물질을 공급하기 위한 전달 장치;
    소정 양의 필름 물질을 수령하고 상기 소정 양의 필름 물질의 적어도 일부분을 기판상에 전이시켜 상기 필름 물질이 실질적으로 고체 필름으로서 상기 기판상에 증착하도록 구성된 제1 전이 표면;
    상기 제1 전이 표면을 축에 대하여 서로 다른 평면 사이를 회전시키기 위한 회전 장치; 및
    제어기 회로와 소통하는 메모리 회로;
    를 포함하며, 상기 메모리 회로는 상기 제어기 회로로 하여금
    상기 전달 장치로부터 제1의 소정 양의 필름 물질을 수령하도록 상기 제1 전이 표면을 제1 평면에 위치시키도록 하는 명령,
    상기 제1의 소정 양의 필름 물질을 제1 패턴으로 상기 평면 내 상기 제1 전이 표면에 제공하도록 하는 명령,
    제2 평면 내 상기 제1 전이 표면을 상기 기판에 근접하게 위치시켜서 상기 제1의 소정 양의 필름 물질의 적어도 일부분을 상기 기판상에 전이시키도록 하는 명령,
    제2 평면 내 상기 제1 전이 표면을 활성화시켜 상기 제1의 소정 양의 필름 물질의 적어도 일부분을 상기 기판상에 전이시켜 이에 따라 상기 필름 물질이 제2 패턴으로 실질적으로 고체 필름으로서 상기 기판상에 증착하도록 하는 명령
    을 포함하는, 필름을 기판상에 증착시키기 위한 시스템.
53. 제 52 항에 있어서, 상기 제1 패턴 및 상기 제2 패턴은, 필름을 기판상에 증착시키기 위한 시스템.
54. 제 52 항에 있어서, 상기 메모리 회로는, 상기 전달 장치로부터 제2의 소정 양의 필름 물질을 수령하도록 상기 제2 전이 표면을 위치시키는 한편 상기 제1 전이 표면이 기판에 근접하게 위치하지만 물질적으로 접촉하지 않으면서 상기 제1의 소정 양의 필름 물질의 적어도 일부분을 상기 기판상에 전이시키는 명령을 더욱 포함하는, 필름을 기판상에 증착시키기 위한 시스템.
55. 제 54 항에 있어서, 상기 메모리 회로는 상기 제2의 소정 양의 필름 물질을 제2 영역에 제공하는 한편 제1 영역은 제1의 소정 양의 필름 물질의 적어도 일부분을 상기 기판상에 전이시키는 명령을 더욱 포함하는, 필름을 기판상에 증착시키기 위한 시스템.
56. 제 52 항에 있어서, 상기 제1 전이 표면에 전달된 상기 소정 양의 필름 물질은 운송 액체 내에 용해되거나 현탁된 필름 물질을 포함하는 액체 잉크를 포함하는, 필름을 기판상에 증착시키기 위한 시스템.
57. 제 56 항에 있어서, 상기 제1 전이 표면에 의해 수령된 제1의 소정 양의 액체 잉크로부터 상기 운송 액체를 제거하여 실질적으로 상기 운송 액체가 없는 필름 물질을 제2 평면 내에 제공하기 위한 컨디셔닝 시스템을 더욱 포함하는, 필름을 기판상에 증착시키기 위한 시스템.
58. 제 52 항에 있어서, 상기 필름 물질의 적어도 일부분을 상기 기판과의 물질적인 접촉 없이 상기 기판상의 상기 제1 전이 표면으로 전이시키기 위한 에너지원을 더욱 포함하는, 필름을 기판상에 증착시키기 위한 시스템.
59. 제 52 항에 있어서, 상기 제1 전이 표면의 적어도 일부분은 마이크로공극, 마이크로-필라, 마이크로-채널 및 마이크로-어레이로 구성된 군으로부터 선택되는 마이크로-패턴 구조를 가지는 영역을 포함하는, 필름을 기판상에 증착시키기 위한 시스템.
60. 제 52 항에 있어서, 상기 필름 물질은 OLED 물질을 함유하는, 필름을 기판상에 증착시키기 위한 시스템.
61. 제 52 항에 있어서, 상기 필름 물질은, 필름을 기판상에 증착시키기 위한 시스템.
62. 실질적인 고체 필름을 기판상에 프린트하는 방법에 있어서, 상기 방법은
    제1 전이 표면을 제공하는 단계;
    소정 양의 필름 물질을 제1 평면에서 상기 제1 전이 표면에 전달하는 단계, 여기서 상기 제1 전이 표면은 그 상부에 복수의 마이크로-패턴 구조를 가짐;
    상기 제1 전이 표면상의 상기 소정 양의 필름 물질을 상기 복수의 마이크로-패턴 구조를 통하여 조직화하는 단계;
    상기 제1 전이 표면을 축에 대하여 회전시켜 상기 제1 전이 표면을 제2 평면에 위치시키는 단계; 및
    상기 소정 양의 필름 물질의 적어도 일부분을 상기 제1 전이 표면으로부터 상기 제2 평면 내 기판상으로 전이시켜 이에 따라 필름 물질이 실질적인 고체 상태로 상기 기판상에 증착하는 단계;
    를 포함하는, 실질적인 고체 필름을 기판상에 프린트하는 방법.
63. 제 62 항에 있어서, 상기 필름 물질은, 실질적인 고체 필름을 기판상에 프린트하는 방법.
64. 제 62 항에 있어서, 상기 필름 물질을 상기 제1 전이 표면으로부터 상기 기판상으로 전이시키기 이전에, 상기 제1 전이 표면상에 수령된 상기 필름 물질을 컨디셔닝 하는 단계를 더욱 포함하는, 실질적인 고체 필름을 기판상에 프린트하는 방법.
65. 제 62 항에 있어서, 소정 양의 필름 물질을 제1 전이 표면으로 전달하는 단계는 운송 액체 내에 용해되거나 현탁된 필름 물질을 포함하는 소정 양의 액체 잉크를 전달하는 단계를 더욱 포함하는, 실질적인 고체 필름을 기판상에 프린트하는 방법.
66. 제 65 항에 있어서, 실질적인 고체 필름을 기판상에 프린트하는 방법.
67. 제 62 항에 있어서, 실질적인 고체 필름을 기판상에 프린트하는 방법.
68. 제 67 항에 있어서, 실질적인 고체 필름을 기판상에 프린트하는 방법.
69. 제 67 항에 있어서, 실질적인 고체 필름을 기판상에 프린트하는 방법.
70. 제 67 항에 있어서, 실질적인 고체 필름을 기판상에 프린트하는 방법.
71. 제 62 항에 있어서, 상기 제1 전이 표면에 에너지공급하여 상기 필름 물질을 분배시키는 단계를 더욱 포함하는, 실질적인 고체 필름을 기판상에 프린트하는 방법.
72. 제 71 항에 있어서, 실질적인 고체 필름을 기판상에 프린트하는 방법.
73. 제 62 항에 있어서, 실질적인 고체 필름을 기판상에 프린트하는 방법.
74. 제 62 항에 있어서, 실질적인 고체 필름을 기판상에 프린트하는 방법.
75. 제 62 항에 있어서, 제2 전이 표면을 제공하는 단계, 제1의 소정 양의 필름 물질을 제1 전이 표면에 그리고 제2의 소정 양의 필름 물질을 제2 전이 표면에 동시에 또는 순차적으로 전달하는 단계, 및 상기 제1 및 제2의 소정 양의 필름 물질의 적어도 일부분을 동시에 또는 순차적으로 상기 기판상에 전이시키는 단계를 더욱 포함하는, 실질적인 고체 필름을 기판상에 프린트하는 방법.
76. 제 62 항에 있어서, 제1 및 제2 영역을 전이 표면상에 제공하는 단계; 제1의 소정 양의 필름 물질을 상기 제1 영역에 그리고 제2의 소정 양의 필름 물질을 상기 제2 영역에 동시에 또는 순차적으로 전달하는 단계, 그리고 상기 제1 및 제2의 소정 양의 필름 물질의 적어도 일부분을 상기 제1 및 제2 영역으로부터 동시에 또는 순차적으로 상기 기판상에 전이시키는 단계를 더욱 포함하는, 실질적인 고체 필름을 기판상에 프린트하는 방법.
77. 실질적인 고체 필름을 기판상에 프린트하는 방법에 있어서, 상기 방법은
    제1 소정양의 액체 잉크 및 제2 소정 양의 액체 잉크를 제공하는 단계;
    제1의 소정 양의 액체 잉크를 공급하는 단계;
    운송 액체를 제거하는 단계;
    제2 소정 양의 액체 잉크를 공급하는 단계;
    제1의 소정 양의 필름 물질을 전이시키는 단계;
    제2의 소정 양의 필름 물질을 제거하는 단계;
    제2의 소정 양의 필름 물질을 전이시키는 단계; 및
    필름 물질을 수령하는 단계;
    를 포함하는, 실질적인 고체 필름을 기판상에 프린트하는 방법.
78. 제 77 항에 있어서, 실질적인 고체 필름을 기판상에 프린트하는 방법.
79. 제 77 항에 있어서, 실질적인 고체 필름을 기판상에 프린트하는 방법.
80. 제 77 항에 있어서, 실질적인 고체 필름을 기판상에 프린트하는 방법.
81. 제 77 항에 있어서, 실질적인 고체 필름을 기판상에 프린트하는 방법.
82. 제 77 항에 있어서, 실질적인 고체 필름을 기판상에 프린트하는 방법.
83. 제 77 항에 있어서, 실질적인 고체 필름을 기판상에 프린트하는 방법.
84. 제 77 항에 있어서, 실질적인 고체 필름을 기판상에 프린트하는 방법.
85. 제 77 항에 있어서, 실질적인 고체 필름을 기판상에 프린트하는 방법.
86. 제 77 항에 있어서, 실질적인 고체 필름을 기판상에 프린트하는 방법.
87. 제 77 항에 있어서, 실질적인 고체 필름을 기판상에 프린트하는 방법.
88. 제 77 항에 있어서, 실질적인 고체 필름을 기판상에 프린트하는 방법.
89. 제 77 항에 있어서, 실질적인 고체 필름을 기판상에 프린트하는 방법.
90. 제 77 항에 있어서, 실질적인 고체 필름을 기판상에 프린트하는 방법.
91. 제 77 항에 있어서, 실질적인 고체 필름을 기판상에 프린트하는 방법.
92. 필름 증착을 위한 비-접촉식 방법에 있어서, 상기 방법은
    전이 표면을 제공하는 단계;
    전이 표면을 이동시키는 단계; 및
    제1의 소정 양의 필름 물질을 전이시키는 단계를 포함하는, 필름 증착을 위한 비-접촉식 방법.
93. 제 92 항에 있어서, 필름 증착을 위한 비-접촉식 방법.
94. 제 92 항에 있어서, 필름 증착을 위한 비-접촉식 방법.
95. 제 92 항에 있어서, 필름 증착을 위한 비-접촉식 방법.
96. 제 92 항에 있어서, 필름 증착을 위한 비-접촉식 방법.
97. 제 96 항에 있어서, 필름 증착을 위한 비-접촉식 방법.
98. 제 92 항에 있어서, 필름 증착을 위한 비-접촉식 방법.
99. 제 92 항에 있어서, 필름 증착을 위한 비-접촉식 방법.
100. 제 99 항에 있어서, 필름 증착을 위한 비-접촉식 방법.
101. 제 92 항에 있어서, 필름 증착을 위한 비-접촉식 방법.
102. 제 92 항에 있어서, 필름 증착을 위한 비-접촉식 방법.
103. 제 92 항에 있어서, 필름 증착을 위한 비-접촉식 방법.

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