KR101436749B1 - 차단장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치 - Google Patents

차단장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 기판 이송장치에 설치된 구동장치로부터 발생하는 이물질이 기판 이송장치 외부로 이동하는 것을 차단하기 위한 씰벨트, 및 상기 씰벨트를 지지하기 위한 지지기구를 포함하고, 상기 씰벨트는 상기 지지기구의 일단 및 상기 지지기구의 타단 사이에 위치되게 상기 지지기구에 지지되며, 상기 지지기구는 상기 씰벨트가 접촉되는 접촉부재를 포함하는 차단장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치에 관한 것으로,
본 발명에 따르면, 씰벨트가 기판 이송장치의 개방된 부분에 정확하게 위치됨으로써, 이물질에 대한 차단효과를 향상시키고, 기판을 위생적으로 제조함으로써 기판의 품질을 향상시킬 수 있다.

Description

차단장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치{Intercepting Apparatus and Transferring Apparatus having the same for Substrate}
본 발명은 기판을 이송하기 위한 기판 이송장치에 관한 것이다.
디스플레이 장치, 태양전지, 반도체 소자 등(이하, '전자부품'이라 함)은 여러 가지 공정을 거쳐 제조된다. 이러한 제조 공정은 상기 전자부품을 제조하기 위한 기판(Substrate, 150)을 이용하여 이루어진다. 예컨대, 상기 제조 공정은 기판 (150)상에 도전체, 반도체, 유전체 등의 박막을 증착하기 위한 증착공정, 증착된 박막을 소정 패턴으로 형성하기 위한 식각공정 등을 포함할 수 있다. 기판(150)이 이물질에 오염되는 것을 방지하기 위해, 상기 제조 공정들은 해당 공정을 수행하는 공정챔버에서 이루어진다. 기판 이송장치(100)는 상기 공정챔버들 간에 기판을 이송하기 위한 것이다.
도1은 종래 기술에 따른 기판 이송장치의 개략적인 블록도다.
도1을 참고하면, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(100)는 이송암(110), 승강부(120), 선회부(130) 및 주행부(140) 등의 구동원들을 포함한다.
상기 이송암(110)은 기판을 이송하기 위해 상기 기판을 지지하기 위한 것이다. 상기 승강부(120)는 상기 기판을 승강시키기 위해, 상기 이송암(110)을 승강시킨다. 상기 선회부(130)는 상기 기판이 이송되는 방향을 회전시키기 위해, 상기 승강부(120)를 회전시킨다. 상기 주행부(140)는 상기 기판을 주행방향을 따라 이송하기 위해, 상기 선회부(130)를 이동시키기 위한 것이다.
여기서, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(100)에는 상기 구동원들이 각각의 동작을 수행하기 위한 랙과 피니언기어, 볼스크류 및 모터 등의 구동장치들이 설치된다. 이러한 구동장치들은 작동하면서 마찰에 의한 먼지 등의 이물질을 발생시킨다. 이에 따라, 종래 기술에 따른 기판 이송장치(100)는 상기 구동장치로부터 발생한 이물질이 외부로 이동하여 상기 기판(150)을 오염시키는 것을 방지하기 위해, 거의 모든 부분이 밀폐된다. 그러나 종래 기술에 따른 기판 이송장치(100)는 각각의 부위가 상대운동을 원활하게 하기 위해 개방된 부분을 일부 가지게 된다. 이러한 종래 기술에 따른 기판 이송장치(100)에는 각각의 부위가 수행하는 동작이 방해되지 않는 영역 내에서 개방된 부분을 차단하기 위해, 차단장치가 설치된다.
도2는 종래 기술에 따른 차단장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이다.
도2를 참고하면, 종래 기술에 따른 차단장치(200)는 이물질이 기판 이송장치(100) 외부로 이동하는 것을 차단하기 위한 씰벨트(210) 및 상기 씰벨트(210)를 지지하기 위한 지지기구(220)를 포함한다. 상기 지지기구(220)는 원통형으로 형성된다. 종래 기술에 따른 차단장치(200)는 상기 지지기구(220)가 양단이 고정된 상기 씰벨트(210)의 일부분을 가압하여 회전하는 상태로 상기 씰벨트(210)를 따라 이동하는 회피방식, 또는 양단이 서로 연결된 상기 씰벨트(210)를 상기 지지기구(220)가 양쪽에서 서로 반대되는 방향으로 가압하여 회전하는 상태로 상기 씰벨트(210)를 이동시키는 회전방식으로 구현된다.
여기서, 종래 기술에 따른 차단장치(200)는 상기 지지기구(220) 및 상기 씰벨트(210)가 밀착되어 작동하는 과정에서, 상기 씰벨트(210)가 상기 지지기구(220)의 한쪽으로 치우치게 위치된다. 이에 따라, 종래 기술에 따른 차단장치(200)는 다음과 같은 문제를 야기한다.
종래 기술에 따른 차단장치(200)는 상기 씰벨트(210)가 상기 지지기구(220)의 한쪽으로 치우치게 위치됨으로써, 상기 씰벨트(210)를 기판 이송장치(100)의 개방된 부분으로부터 이격되게 위치시킨다. 이에 따라, 종래 기술에 따른 차단장치(200)는 기판 이송장치(100)의 개방된 부분으로 이물질이 이동하도록 함으로써, 기판 이송장치(100) 이송하는 기판에 이물질 등의 오염물질이 접촉된다. 따라서, 종래 기술에 따른 차단장치(200)는 기판의 품질을 저하시키는 문제가 있다.
본 발명은 상술한 바와 같은 문제를 해결하고자 안출된 것으로, 씰벨트가 한쪽으로 치우치는 것을 방지하기 위한 차단장치 및 이를 포함하는 기판 이송장치를 제공하기 위한 것이다.
상술한 바와 같은 과제를 해결하기 위해, 본 발명은 하기와 같은 구성을 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치용 차단장치는 기판 이송장치에 설치된 구동장치로부터 발생하는 이물질이 기판 이송장치 외부로 이동하는 것을 차단하기 위한 씰벨트, 및 상기 씰벨트를 지지하기 위한 지지기구를 포함하고, 상기 씰벨트는 상기 지지기구의 일단 및 상기 지지기구의 타단 사이에 위치되게 상기 지지기구에 지지될 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치용 차단장치에 있어서, 상기 지지기구는 상기 씰벨트가 접촉되는 접촉부재를 포함하고, 상기 접촉부재는 상기 지지기구의 일단 및 상기 지지기구의 타단이 갖는 직경 각각에 대해 상이(相異)한 직경을 갖도록 형성될 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치용 차단장치에 있어서, 상기 지지기구는 일단에서 상기 접촉부재를 향할수록 직경이 증가되고, 타단에서 상기 접촉부재를 향할수록 직경이 증가되게 형성될 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치용 차단장치에 있어서, 상기 지지기구는 접촉부재의 중간(中間)을 기준으로 하여 양쪽이 서로 대칭(對稱)되는 형태로 형성될 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치용 차단장치에 있어서, 상기 접촉부재는 상기 씰벨트가 접촉되는 외면이 곡면을 이루며 형성될 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치용 차단장치에 있어서, 상기 지지기구는 일단 및 타단 각각이 상기 접촉부재에 연결되는 외면이 곡면을 이루며 형성될 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치는 기판을 이송하기 위한 이송암, 상기 이송암을 승강시키기 위한 승강부, 상기 승강부를 회전시키기 위한 선회부, 상기 선회부를 주행방향을 따라 이동시키기 위한 주행부, 및 구동장치로부터 발생하는 이물질이 외부로 이동하는 것을 차단하기 위한 차단장치를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치에 있어서, 상기 차단장치는 상기 이송암에 설치된 구동장치로부터 발생하는 이물질이 상기 이송암의 외부로 이동하는 것을 차단하기 위해 상기 이송암에 설치될 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치에 있어서, 상기 차단장치는 상기 승강부에 설치된 구동장치로부터 발생하는 이물질이 상기 승강부 외부로 이동하는 것을 차단하기 위해 상기 승강부에 설치될 수 있다.
본 발명은 씰벨트가 한쪽으로 치우치는 것을 방지함으로써, 씰벨트가 기판 이송장치의 개방된 부분에 정확하게 위치되도록 할 수 있다. 이에 따라, 본 발명은 씰벨트가 기판 이송장치의 개방된 부분에 대한 차단효과를 향상시킴으로써, 이물질이 기판 이송장치의 내부와 외부로 이동하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명은 기판 이송장치가 이송하는 기판에 미치는 오염물질을 감소시킴으로써 기판을 위생적으로 제조할 수 있고, 이는 제조되는 기판의 품질을 향상시킬 수 있다.
도1은 종래 기술에 따른 기판 이송장치의 개략적인 블록도
도2는 종래 기술에 따른 차단장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도
도3은 본 발명에 따른 기판 이송장치용 차단장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도
도4는 본 발명에 따른 기판 이송장치를 설명하기 위한 개략적인 사시도
본 명세서에서 각 도면의 구성요소들에 참조번호를 부가함에 있어서 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 번호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다.
한편, 본 명세서에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 정의하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "제1", "제2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로, 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다.
"포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
"적어도 하나"의 용어는 하나 이상의 관련 항목으로부터 제시 가능한 모든 조합을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 예를 들어, "제1항목, 제2항목 및 제3항목 중에서 적어도 하나"의 의미는 제1항목, 제2항목 또는 제3항목 각각 뿐만 아니라 제1항목, 제2항목 및 제3항목 중에서 2개 이상으로부터 제시될 수 있는 모든 항목의 조합을 의미한다.
도3은 본 발명에 따른 기판 이송장치용 차단장치를 설명하기 위한 개략적인 평면도이고, 도4는 본 발명에 따른 기판 이송장치를 설명하기 위한 개략적인 사시도이다.
본 발명에 따른 기판 이송장치(400)는 기판(450)을 이송하기 위한 것이다. 상기 기판(450)은 디스플레이 장치, 태양전지, 반도체 소자 등의 전자부품을 제조하기 위한 것이다. 예컨대, 상기 기판(450)은 상기 전자부품을 제조하기 위한 유리기판일 수 있다. 상기 기판(450)은 금속(Metal) 기판, 폴리이미드(Polyimide) 기판, 플라스틱(Plastic) 기판 등일 수도 있다. 상기 전자부품이 디스플레이 장치인 경우, 상기 기판(450)은 2매 이상의 기판이 서로 합착된 합착 기판일 수도 있다. 본 발명에 따른 기판 이송장치(400)는 상기 기판(450)에 대한 증착공정, 식각공정 등의 제조공정을 수행하는 공정챔버들 간에 상기 기판(450)을 이송할 수 있다. 본 발명에 따른 기판 이송장치(400)는 상기 공정챔버들 및 상기 기판(450)이 저장되는 카세트 간에 상기 기판(450)을 이송할 수도 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치용 차단장치(300)을 설명하기 이전에, 기판 이송장치(400)에 설치된 구동장치에 관해 설명한다.
기판 이송장치(400)는 다수의 부품으로 구성되어 일정한 상대운동을 함으로써 기판을 이송한다. 기판(450)을 이송하기 위해서, 기판 이송장치(400)는 기판(450)을 지지하여 이송하기 위한 이송암(410), 상기 기판(450)을 승강시키기 위해 상기 이송암(410)이 승강 가능하게 결합되는 승강부(420), 상기 기판(450)이 이송되는 방향을 회전하기 위해 상기 승강부(420)를 회전시키는 선회부(430), 및 상기 기판(450)을 공정챔버들 간 이송하기 위해 상기 선회부(430)를 이동시키는 주행부(440) 등의 각 부위가 상대운동을 한다. 이렇게 기판 이송장치(400)의 각 부위는 각각의 동작을 수행하기 위해서 볼스크류(Ball screw), 모터(Motor), 랙과 피니언 기어(Rack and pinion gear), 엘엠 가이드레일(LM Guide rail) 및 엘엠 가이드블록(LM Guide block) 등의 기계가 설치된다. 구동장치는 상기한 볼스크류(Ball screw), 모터(Motor), 랙과 피니언 기어(Rack and pinion gear), 엘엠 가이드레일(LM Guide rail) 및 엘엠 가이드블록(LM Guide block) 등의 기계를 통칭한 것을 의미한다. 상기 구동장치는 기계적인 작동을 수행하는 과정에서 마찰 등으로 인한 이물질을 발생시킬 수 있다.
이하에서는 본 발명에 따른 기판 이송장치용 차단장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도3을 참고하면, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 차단장치(300)는 씰벨트가 한쪽으로 치우치는 것을 방지하기 위해, 상기 구동장치로부터 발생하는 이물질이 기판 이송장치(400) 외부로 이동하는 것을 차단하기 위한 씰벨트(310), 및 상기 씰벨트(310)를 지지하기 위한 지지기구(320)를 포함한다. 상기 씰벨트(310)는 상기 지지기구(320)의 일단(321) 및 상기 지지기구(320)의 타단(322) 사이에 위치된다. 상기 지지기구(320)는 상기 씰벨트(310)가 접촉되는 접촉부재(323)를 포함한다. 상기 접촉부재(323)는 상기 지지기구(320)의 일단(321) 및 상기 지지기구(320)의 타단(322)이 갖는 직경 각각에 대해 상이(相異)한 직경을 갖도록 형성된다.
이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 차단장치(200)는 다음과 같은 효과를 도모할 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송장치용 차단장치(200)는 상기 접촉부재(323)의 직경이 상기 지지기구(320)의 일단(321) 및 타단(322)의 직경과 상이하게 형성됨으로써, 상기 씰벨트(310)가 상기 지지기구(320)의 한쪽으로 치우치는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 차단장치(200)는 씰벨트(310)가 기판 이송장치(400)의 개방된 부분에 정확하게 위치되도록 할 수 있고, 이는 씰벨트(310)가 기판 이송장치(400)의 개방된 부분에 대한 차단효과를 향상시킬 수 있다. 나아가, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 차단장치(200)는 이물질이 기판 이송장치(400)의 내부와 외부로 이동하는 것을 방지함으로써, 기판(450)에 미치는 오염물질을 감소시킬 수 있고, 기판(450)을 위생적으로 제조함에 따라 기판(450)의 품질을 향상시킬 수 있다.
이하에서는, 상기 씰벨트(310), 상기 지지기구(320)에 관해 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도3을 참고하면, 상기 씰벨트(310)는 기판 이송장치(400)에 설치된 구동장치로부터 발생하는 이물질이 기판 이송장치(400) 외부로 이동하는 것을 차단하기 위한 것이다. 상기 씰벨트(310)는 양단이 고정되도록 기판 이송장치(400)에 설치될 수 있다. 상기 씰벨트(310)는 양단이 서로 연결되도록 기판 이송장치(400)에 설치될 수도 있다.
상기 씰벨트(310)는 상기 지지기구(320)에 지지된다. 상기 씰벨트(310)는 상기 지지기구(320)의 일단(321) 및 상기 지지기구(322)의 타단 사이에 위치된다. 상기 씰벨트(310)는 상기 지지기구(320)의 일단(321) 및 상기 지지기구(322)의 타단 사이에 접촉되어 지지된다.
상기 지지기구(320)는 상기 씰벨트(310)를 지지하기 위한 것이다. 상기 지지기구(320)는 회전할 수 있다. 상기 지지기구(320)는 상기 씰벨트(310)가 회전함에 따라 회전될 수 있다. 상기 지지기구(320)는 상기 씰벨트(310)를 따라 이동할 수도 있다. 상기 씰벨트(310)는 상기 지지기구(320)가 이동함으로써 상기 씰벨트(310)를 따라 이동되는 공간을 회피하여 위치될 수도 있다.
상기 지지기구(320)는 상기 씰벨트(310)가 접촉되는 접촉부재(323)를 포함한다. 상기 접촉부재(323)는 상기 지지기구(320)의 일단(321) 및 상기 지지기구(320)의 타단(322)이 갖는 직경 각각에 대해 상이(相異)한 직경을 갖도록 형성될 수 있다.
예컨대, 상기 지지기구(320)는 구(Sphere)형을 양쪽에서 잡아 당긴 듯 한 타원구(?圓球, Elliptical sphere)형에서 직경이 작은 양단이 평면을 이루도록 형성될 수 있다. 상기 지지기구(320)는 두 개의 원뿔(Circular cone)이 일체로 형성되어 단면이 마름모꼴(Rhomboid)이 되도록 형성되고, 두 개의 원뿔 각각의 꼭짓점 부분이 평면을 이루도록 형성될 수도 있다. 상기 지지기구(320)는 직경이 서로 다른 다수의 원기둥이 일체로 형성되고, 중간부의 직경이 가장 크도록 계단형으로 형성될 수도 있다. 상기한 타원구형의 지지기구(320), 마름모꼴 단면의 지지기구(320) 및 계단형의 지지기구(320)인 경우, 상기 접촉부재(323)가 상기 씰벨트(310)를 지지하는 과정에서, 상기 씰벨트(310)의 중간부(311)의 장력은 상기 씰벨트(310)의 양측(312)의 장력에 비해 가장 크다.
한편, 상기 지지기구(320)는 일단(321) 및 타단(322)의 직경이 상기 접촉부재(323)의 직경에 비해 큰 아령(Dumbbell) 모양으로 형성될 수도 있다. 이 경우, 상기 접촉부재(323)가 상기 씰벨트(310)를 지지하는 과정에서, 상기 지지기구(320)의 일단(321) 및 타단(322)이 상기 씰벨트(310)가 상기 접촉부재(323)로부터 이탈되는 것을 방지할 수 있다. 또는, 상기 지지기구(320)는 원기둥형에서 상기 몸통부의 직경이 평면으로 형성된 양단에 비해 작은 모래시계와 닮은꼴 형상일 수도 있다. 이 경우, 상기 접촉부재(323)가 상기 씰벨트(310)를 지지하는 과정에서, 상기 지지기구(320)의 일단(321) 및 타단(322)이 상기 씰벨트(310)가 상기 접촉부재(323)로부터 이탈되는 것을 방지하는 것과 유사한 효과를 도모할 수 있다.
도3을 참고하면, 상기 지지기구(320)는 일단(321)에서 상기 접촉부재(323)를 향할수록 직경이 증가되고, 타단(322)에서 상기 접촉부재(323)를 향할수록 직경이 증가되게 형성될 수 있다. 이 경우, 상기 지지기구(320)는 상기 지지기구(320)의 일단(321) 및 타단(322)으로부터 상기 접촉부재(323)를 향할수록 직경이 감소되게 형성되는 것에 비해, 상기 씰벨트(310)를 안정적으로 지지할 수 있다. 이는, 상기 지지기구(320)가 상기 지지기구(320)의 일단(321) 및 타단(322)으로부터 상기 접촉부재(323)를 향할수록 직경이 감소되게 형성되면, 상기 씰벨트(310)의 양측(312)이 상기 씰벨트(310)의 중간부(311)를 향하도록 뒤집히고 이로 인해 마모되는 문제를 야기할 수 있기 때문이다.
도3을 참고하면, 상기 지지기구(320)는 접촉부재(323)의 중간(中間)을 기준으로 하여 양쪽이 서로 대칭(對稱)되는 형태로 형성될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 차단장치(300)는 상기 지지기구(320)가 상기 씰벨트(310)를 지지하는 과정에서, 상기 씰벨트(310)에 가해지는 장력이 상기 씰벨트(310)의 양측(312)에 동일하게 분배되도록 할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 차단장치(300)는 상기 씰벨트(310)에 가해지는 장력이 골고루 분산됨으로써, 상기 씰벨트(310)의 수명을 연장시킬 수 있다. 또한, 상기 지지기구(320)는 기판 이송장치(400)에 설치되는 과정에서, 양쪽을 구분하지 않고 설치될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 차단장치(300)는 기판 이송장치(400)에 용이하게 설치될 수 있다.
도3을 참고하면, 상기 접촉부재(323)는 상기 씰벨트(310)가 접촉되는 외면이 곡면을 이루며 형성될 수 있다. 이에 따라, 마름모꼴 단면의 지지기구(320) 및 계단형의 지지기구(320)인 경우와 같이, 상기 지지기구(320)는 상기 접촉부재(323)의 외면에 단턱 또는 모서리가 형성되는 것에 비해, 곡면으로 형성되는 것이 상기 씰벨트(310)를 더욱 안정적으로 지지할 수 있다. 이는, 상기 접촉부재(323)의 외면에 단턱 또는 모서리가 형성되면, 상기 지지기구(320)가 상기 씰벨트(310)를 가압하는 힘이 상기 단턱 또는 모서리 부분에 집중됨으로써, 상기 씰벨트(310)가 마모될 수 있기 때문이다.
상기 지지기구(320)는 일단(321) 및 타단(322) 각각이 상기 접촉부재(323)에 연결되는 외면이 곡면을 이루며 형성될 수 있다. 이 경우, 상기 지지기구(320)는 상기 접촉부재(323)가 상기 씰벨트(310)가 접촉되는 외면이 곡면을 이루며 형성되고, 일단(321) 및 타단(322) 각각이 상기 접촉부재(323)에 연결되는 외면이 곡면을 이루며 형성될 수 있다. 즉, 상기 지지기구(320)는 일단(321)으로부터 상기 접촉부재(323)를 지나 타단(322)으로 연결되는 외면이 모두 곡면을 이루며 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 지지기구(320)는 가공이 용이한 효과가 있다.
도4를 참고하면, 본 발명에 따른 기판 이송장치(400)는 기판(450)을 이송하기 위한 이송암(410), 상기 이송암(410)을 승강시키기 위한 승강부(420), 상기 승강부(420)를 회전시키기 위한 선회부(430), 상기 선회부(430)를 주행방향을 따라 이동시키기 위한 주행부(440), 및 구동장치로부터 발생하는 이물질이 외부로 이동하는 것을 차단하기 위한 차단장치를 포함할 수 있다. 상기 차단장치는 상술한 본 발명에 따른 기판 이송장치용 차단장치(300)와 대략 일치하므로, 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.
이하에서는 상기 이송암(410), 상기 승강부(420), 상기 선회부(430), 및 상기 주행부(440)에 관해 첨부된 도면을 참조하여 구체적으로 설명한다.
상기 이송암(410)은 상기 기판(450)을 이송한다. 상기 이송암(410)은 상기 승강부(420)에 결합된다. 이에 따라, 상기 이송암(410)은 상기 승강부(420)가 상기 선회부(430)에 의해 회전됨에 따라 함께 회전될 수 있다. 상기 이송암(410)은 암베이스(411), 암바디(412), 암유닛(413) 및 지지핸드(416)를 포함할 수 있다.
상기 암베이스(411)는 상기 승강부(420)에 승강 가능하게 결합된다. 상기 암베이스(411)는 상기 승강부(420)에 의해 승강된다. 이에 따라, 상기 이송암(410)이 위치하는 높이가 변경될 수 있다.
상기 암바디(412)는 상기 암베이스(411)에 결합된다. 상기 암베이스(411)의 일측이 상기 승강부(420)에 결합되는 경우, 상기 암바디(412)는 상기 암베이스(411)의 타측에 결합될 수 있다.
상기 암유닛(413)은 상기 암바디(412)에 이동 가능하게 결합된다. 상기 암유닛(413)이 이동함에 따라 상기 지지핸드(416)가 함께 이동할 수 있다. 상기 암유닛(413)는 상기 지지핸드(416)를 직선으로 이동시킬 수 있다. 이 경우, 상기 암유닛(413)는 직선으로 이동함으로써, 상기 지지핸드(416)를 직선으로 이동시킬 수 있다. 도시되지 않았지만, 상기 암유닛(413)은 회전 이동함으로써, 상기 지지핸드(416)를 직선으로 이동시킬 수 있다. 상기 암유닛(413)는 제1암기구(414) 및 제2암기구(415)를 포함할 수 있다.
상기 제1암기구(414)는 상기 암바디(412)에 이동 가능하게 결합된다. 상기 제1암기구(414)는 모터와 볼스크류(Ball Screw) 등을 이용한 볼스크류 방식으로 이동할 수 있다. 상기 제1암기구(414)는 모터와 랙기어(Rack Gear)와 피니언기어(Pinion Gear) 등을 이용한 기어 방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트 방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터(Linear Motor) 방식으로 이동할 수도 있다. 상기 암유닛(413)이 직선으로 이동하도록 구현되는 경우, 상기 제1암기구(414)는 상기 암바디(412)에 직선으로 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 암유닛(413)이 회전 이동하도록 구현되는 경우, 상기 제1암기구(414)는 상기 암바디(412)에 회전 가능하게 결합될 수 있다.
상기 제2암기구(415)는 상기 제1암기구(414)에 이동 가능하게 결합된다. 상기 제1암기구(414)는 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트 방식으로 이동할 수 있다. 상기 제1암기구(414)는 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류 방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어 방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터 방식으로 이동할 수도 있다. 상기 암유닛(413)이 직선으로 이동하도록 구현되는 경우, 상기 제2암기구(415)는 상기 제1암기구(414)에 직선으로 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 암유닛(413)이 회전 이동하도록 구현되는 경우, 상기 제2암기구(415)는 상기 제1암기구(414)에 회전 가능하게 결합될 수 있다. 상기 제2암기구(415) 및 상기 제1암기구(414)는 서로 반대되는 방향으로 회전함으로써, 상기 지지핸드(416)를 직선으로 이동시킬 수 있다.
상기 지지핸드(416)는 상기 암유닛(413)에 결합된다. 상기 지지핸드(416)는 상기 암유닛(413)이 이동함에 따라 직선으로 이동함으로써, 기판(450)을 이송할 수 있다. 상기 지지핸드(416)는 상기 제2암기구(415)에 결합될 수 있다.
상기 이송암(410)는 복수 개의 기판(450)을 이송할 수 있도록 구현될 수 있다. 이 경우, 상기 이송암(410)은 상기 제2암기구(415) 및 상기 지지핸드(416)를 각각 복수 개 포함할 수 있다. 예컨대, 상기 이송암(410)이 2개의 기판(450)을 이송할 수 있도록 구현되는 경우, 상기 이송암(410)은 상기 제2암기구(415) 및 상기 지지핸드(416)를 각각 2개씩 포함할 수 있다. 상기 제2암기구(415)들은 각각 상기 제1암기구(414)를 기준으로 서로 반대편에 위치되게 상기 제1암기구(414)에 결합될 수 있다. 상기 지지핸드(416)들은 각각 상기 승강부(420)가 상기 이송암(410)을 승강시키는 방향을 기준으로 서로 다른 높이에 위치되게 상기 제2암기구(415)들에 결합될 수 있다.
여기서, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 차단장치(300)는 상기 이송암(410)에 설치된 구동장치로부터 발생하는 이물질이 상기 이송암(410)의 외부로 이동하는 것을 차단하기 위해 상기 이송암(410)에 설치될 수 있다. 이 경우, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 차단장치(300)는 양단이 서로 연결된 상기 씰벨트(310)를 상기 지지기구(320)가 양쪽에서 서로 반대되는 방향으로 가압하여 회전하는 상태로 상기 씰벨트(310)를 이동시키는 회전방식으로 구현된다.
본 발명에 따른 기판 이송장치용 차단장치(300)는 상기 씰벨트(310)의 양단이 서로 연결되게 기판 이송장치(400)에 설치되고, 상기 지지기구(320)가 회전하면서 상기 씰벨트(310)를 양쪽에서 서로 반대되는 방향으로 가압하여 상기 씰벨트(310)를 이동시키는 회전방식으로 구현될 수 있다.
상기 승강부(420)는 상기 이송암(410)을 승강시킨다. 이에 따라, 상기 승강부(420)는 상기 이송암(410)이 위치하는 높이를 변경시킬 수 있다. 상기 승강부(420)는 상기 선회부(430)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 승강부(420)는 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어 방식으로 상기 이송암(410)을 승강시킬 수 있다. 상기 승강부(420)는 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트 방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류 방식, 코일과 영구자석 등을 이용한 리니어모터 방식으로 상기 이송암(410)을 승강시킬 수도 있다.
여기서, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 차단장치(300)는 상기 승강부(420)에 설치된 구동장치로부터 발생하는 이물질이 상기 승강부(420) 외부로 이동하는 것을 차단하기 위해 상기 승강부(420)에 설치될 수 있다. 이 경우, 본 발명에 따른 기판 이송장치용 차단장치(300)는 상기 씰벨트(310)의 양단이 고정되고, 상기 지지기구(320)가 회전하면서 상기 씰벨트(310)의 일부분을 가압하는 상태로 상기 씰벨트(310)를 따라 이동하는 회피방식으로 구현될 수 있다.
상기 선회부(430)는 상기 승강부(420)를 회전시킨다. 이에 따라, 상기 선회부(430)는 상기 이송암(410)이 향하는 방향을 변경시킬 수 있다. 상기 선회부(430)는 상기 주행부(440)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 선회부(430)는 상기 주행부(440)에 결합된 상태에서 회전축을 중심으로 회전함으로써, 상기 승강부(420)를 회전시킬 수 있다.
상기 주행부(440)는 상기 선회부(430)를 주행방향을 따라 이동시킨다. 이에 따라, 상기 주행부(440)는 상기 이송암(410)에 지지된 기판(450)을 주행방향으로 이동시킬 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
300 : 기판 이송장치용 차단장치 310 : 씰벨트
311 : 씰벨트의 중간부 312 : 씰벨트의 양측
320 : 지지기구 321 : 일단
322 : 타단 323 : 접촉부재
400 : 기판 이송장치 410 : 이송암
411 : 암베이스 412 : 암바디
413 : 암유닛 414 : 제1암기구
415 : 제2암기구 416 : 지지핸드
420 : 승강부 430 : 선회부
440 : 주행부 441 : 주행베이스
442 : 주행프레임

Claims (8)

  1. 기판 이송장치에 설치된 구동장치로부터 발생하는 이물질이 기판 이송장치 외부로 이동하는 것을 차단하기 위한 씰벨트; 및
    상기 씰벨트를 지지하기 위한 지지기구를 포함하고,
    상기 씰벨트는 상기 지지기구의 일단 및 상기 지지기구의 타단 사이에 위치되게 상기 지지기구에 지지되며,
    상기 지지기구는 상기 씰벨트가 접촉되는 접촉부재를 포함하고,
    상기 접촉부재는 상기 지지기구의 일단 및 상기 지지기구의 타단이 갖는 직경 각각에 대해 상이(相異)한 직경을 갖도록 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 차단장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 지지기구는 일단에서 상기 접촉부재를 향할수록 직경이 증가되고, 타단에서 상기 접촉부재를 향할수록 직경이 증가되게 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 차단장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 지지기구는 접촉부재의 중간(中間)을 기준으로 하여 양쪽이 서로 대칭(對稱)되는 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 차단장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 접촉부재는 상기 씰벨트가 접촉되는 외면이 곡면을 이루며 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 차단장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 지지기구는 일단 및 타단 각각이 상기 접촉부재에 연결되는 외면이 곡면을 이루며 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치용 차단장치.
  6. 기판을 이송하기 위한 이송암;
    상기 이송암의 높이가 변경되도록 상기 이송암을 승강시키는 승강부;
    상기 이송암이 향하는 방향이 변경되도록 상기 승강부를 회전시키는 선회부;
    상기 선회부를 주행방향을 따라 이동시키기 위한 주행부; 및
    구동장치로부터 발생하는 이물질이 외부로 이동하는 것을 차단하기 위한 제1항 내지 제4항중 어느 한 항의 차단 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 차단장치는 상기 이송암에 설치된 구동장치로부터 발생하는 이물질이 상기 이송암의 외부로 이동하는 것을 차단하기 위해 상기 이송암에 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 차단장치는 상기 승강부에 설치된 구동장치로부터 발생하는 이물질이 상기 승강부 외부로 이동하는 것을 차단하기 위해 상기 승강부에 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.
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