KR20090071380A - 방진 기구를 구비한 기판 반송 장치 및 시스템, 이들을 이용한 반도체 제조 장치 - Google Patents

방진 기구를 구비한 기판 반송 장치 및 시스템, 이들을 이용한 반도체 제조 장치 Download PDF

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KR20090071380A
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Abstract

<과제>
방진 효과가 높고, 암부가 복수로 이루어져도 대응할 수 있는 방진 기구를 제공한다.
<해결 수단>
기판을 탑재하는 암부(6)를 지지함과 아울러 지주(9) 외면에 설치된 직선형의 개구부(12)를 통해 상기 지주(9) 내에 설치된 안내 기구(22)에 접속되고, 상기 안내 기구(22)에 따라 상기 개구부(12)의 통로를 이동하는 지지 부재(4)와, 상기 개구부(12)를 봉하고, 상기 지주(9) 내부와 외부를 격리하는 씰 벨트(5)를 구비하고, 상기 안내 기구(22)에 의해 상기 지지 부재(4)가 이동하여도 상기 씰 벨트(5)에 의해 상기 지주(9)의 내부가 외부에 노출하지 않게 구성되고, 상기 씰 벨트(5)가 그 양단을 상기 지주(9) 내부에 고정시킴과 아울러 상기 지지 부재(4)에 회전 가능하게 지지된 롤러(35∼42)에 권장(卷裝)되고, 상기 개구부(12)를 봉하도록 장가(張架)된 것이다.
기판 반송 장치, 리니어 가이드(linear guide), 리니어 블록(linear block), 암(arm), 씰 벨트(seal belt)

Description

방진 기구를 구비한 기판 반송 장치 및 시스템, 이들을 이용한 반도체 제조 장치{SUBSTRATE TRANSFER DEVICE AND SYSTEM COMPRISING DUST-PROOF MECHANISM, SEMICONDUCTOR PRODUCTION DEVICE USING THESE}
본 발명은 방진을 위한 기구를 구비한 기판용 반송 시스템 및 반도체 제조 장치에 관한 것이다.
액정 기판이나 웨이퍼 기판(wafer substrate)이라고 하는 피작업물(work)에 대해서 소정의 처리를 행하여 반도체를 제조하는 반도체 제조 장치에는, 그 처리를 위해 기판을 목적의 위치에 반송하는 기판 반송 장치가 이용된다. 기판 반송 장치는 반송 로봇이라고도 불리고 있다. 기판 반송 장치에는 여러 가지 형태가 있지만, 특히 청정한 클린룸(clean room) 등 청정한 환경하에서 기판을 반송하는 것에는 링크(link)로 구성된 신축 가능한 암(arm)에 기판을 재치하기 위한 핸드(hand)를 장착하여 암의 신축에 의해 기판을 소망한 위치까지 반송하는 것을 많이 볼 수 있다. 그리고 근년, 기판의 대형화와 기판 반송 장치의 소형 풋프린트(footprint)화에 대응하면서 최적으로 기판을 반송하기 위해서 기판 반송 장치가 개발되어 있다(예를 들면, 특허 문헌 1, 특허 문헌 2). 이들 종래의 기판 반송 장치의 주된 특징의 하 나는, 핸드와 암을 지지하는 암 지지 부재를 지주에 지지시키고, 핸드, 암, 암 지지 부재의 이들 암부가 지주를 따라 상하 이동하도록 구성하고 있는 것이다. 이와 같이, 지주를 따라 암부가 상하 이동하는 구성에서는, 그 지주의 내부에 소위, 랙 앤드 피니언(rack and pinion)(또는 볼나사(ball screw))이나 리니어 가이드(linear guide)라고 하는 직선 안내 기구가 배치되어 있다. 또, 핸드에 설치되는 센서(sensor)나 암 내에 존재하는 모터(motor)로부터의 배선을 처리하기 위한 케이블 가이드(cable guide)도 배치되어 있다.
그러나, 이들 종래의 기판 반송 장치에 의한 구성에서는 암 지지 부재와 지주 내의 직선 안내 기구가 물리적으로 접속되어 있기 때문에 지주의 측면에는 암 지지 부재가 상하 이동하는 범위에서 반드시 개구부가 필요하게 되어 있다.
특허 문헌 1 : 일본국 특허공개공보 2001－274218호
특허 문헌 2 : 일본국 특허공개공보 2005－150575호
그렇지만, 반도체 제조 장치에서는 기판에 미세한 처리를 하기 때문에, 기판 반송 장치에는 기판을 목적의 위치에 정확하게 위치 결정시키는 것은 물론, 기판에 대해서 분진(파티클(particle) 이라고도 한다)을 부착시키지 않는 것이 요구된다. 그러나, 상기의 직선 안내 기구나 케이블 가이드와 같은 가동부로부터는, 다수의 발진이 있기 때문에, 상기 개구부를 적절한 구성으로 해 두지 않으면 개구부를 통해 방출되는 분진을 핸드 상의 기판에 부착시켜 버린다고 하는 문제가 발생한다.
본 발명은 이러한 문제점을 감안하여 이루어진 것으로 지주를 따라 상하 이동하는 암부를 구비하는 반송 장치에 있어서, 방진 효과가 높고, 암부가 복수로 이루어져도 대응할 수 있고, 또한 외부의 더럽힘(汚損)이 없는 방진 기구를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 문제를 해결하기 위해 본 발명은 다음과 같이 구성한 것이다.
청구항 1에 기재의 발명은, 기판을 탑재하는 암부를 지지함과 아울러 지주 외면에 설치된 직선형의 개구부를 통해 상기 지주 내에 설치된 안내 기구에 접속되고, 상기 안내 기구에 따라 상기 개구부의 개구(開口)를 이동하는 지지 부재와, 상기 개구부를 봉하고 상기 지주 내부와 외부를 격리하는 씰 벨트(seal belt)를 구비하여, 상기 안내 기구에 의해 상기 지지 부재가 이동하여도, 상기 씰 벨트에 의해 상기 지주의 내부가 외부에 노출하지 않게 구성되고, 상기 씰 벨트가 그 양단을 상기 지주 내부에 고정시킴과 아울러 상기 지지 부재에 회전 가능하게 지지된 롤러(roller)에 권장(卷裝)되고 상기 개구부를 봉하도록 장가(張架)된 것이다.
또, 청구항 2에 기재의 발명은, 상기 롤러는 상기 개구부에 대해서 대략 균일한 간극을 멀리하고, 상기 씰 벨트의 일단과 함께 상기 씰 벨트를 장가(張架)하는 위치에 배치된 제1 롤러와, 상기 개구부로부터 보아 상기 제1 롤러보다도 안쪽에 배치됨과 아울러 상기 제1 롤러에 권장(卷裝)되어 되접어 꺾인 상기 씰 벨트를 상기 씰 벨트의 일단 측에 되접어 꺾이도록 상기 씰 벨트가 권장(卷裝)되는 제2 롤러와, 상기 제2 롤러에 대해 상기 지주의 긴 방향으로 일정한 각도를 가지고, 또한 상기 제2 롤러로부터의 씰 벨트를 상기 개구부 측에 되접어 꺾이도록 배치된 제3 롤러와, 상기 제3 롤러에 대해 평행으로, 또한 상기 씰 벨트를 상기 개구부의 긴 방향에 대해 일정한 각도를 가져 되접어 꺾이도록 배치된 제4 롤러와, 상기 제4 롤러에 평행으로, 또한 상기 씰 벨트를 상기 개구부의 안쪽 측으로 되접어 꺾이도록 배치된 제5 롤러와, 상기 제5 롤러에 평행으로, 또한 상기 제5 롤러보다도 안쪽에 배치됨과 아울러 상기 씰 벨트를 상기 씰 벨트의 일단 a의 방향으로 되접어 꺾이도록 권장(卷裝)되는 제6 롤러와, 상기 제6 롤러에 대해 상기 지주의 긴 방향으로 일정한 각도를 가지고, 또한 상기 제6 롤러로부터의 상기 씰 벨트를 상기 개구부 측으로 되접어 꺾이도록 배치된 제7 롤러와, 상기 제7 롤러로부터의 상기 씰 벨트를 되접어 꺾이도록 권장(卷裝)됨과 아울러 상기 개구부에 대해서 대략 균일한 간극을 멀리하고, 상기 씰 벨트의 타단과 함께 상기 씰 벨트를 장가(張架)하는 위치에 배치된 제8 롤러로 구성된 것이다.
또, 청구항 3에 기재의 발명은, 상기 제1 롤러로부터 제4 롤러 및 상기 제5 롤러로부터 제8 롤러에 있어서, 상기 씰 벨트를 나선형(spiral shape)으로 권장(卷裝)시킴으로써, 항상 상기 씰 벨트의 일면만을 상기 제1 롤러로부터 상기 제8 롤러에 접촉시키는 것이다.
또, 청구항 4에 기재의 발명은, 상기 간극이, 상기 지지 부재가 이동해도 상기 씰 벨트와 상기 개구부가 접촉하지 않게 설치된 것이다.
또, 청구항 5에 기재의 발명은, 상기 개구부가 상기 지주 외면에 서로 병행하게 설치된 3개의 개구로 이루어지고, 상기 3개의 개구 중 하나의 개구에는 상기 지지 부재를 상기 안내 기구에 따라 회전 구동하는 구동부의 출력축이 통과하고, 나머지의 2개의 개구에는 상기 안내 기구에 접속되는 상기 지지 부재가 통과하도록 구성된 것이다.
또, 청구항 6에 기재의 발명은, 상기 3개의 개구의 각각에 상기 씰 벨트가 설치된 것이다.
또, 청구항 7에 기재의 발명은, 상기 안내 기구에 대해서 상기 지지 부재가 복수 접속되고, 상기 씰 벨트가 그 양단을 상기 지주 내부에 고정시킴과 아울러 상기 복수의 지지 부재에 각각 회전 가능하게 지지된 롤러에 권장(卷裝)되고 상기 개구부를 봉하도록 장가(張架)된 것이다.
또, 청구항 8에 기재의 발명은, 청구항 1의 기판 반송 장치와, 상기 기판 반송 장치를 제어하는 컨트롤러(controller)를 구비한 것이다.
또, 청구항 9에 기재의 발명은, 청구항 8 기재의 기판 반송 시스템을 구비한 것이다.
청구항 1 내지 청구항 3에 기재의 발명에 의하면 씰 벨트가 그 양단을 지주 내부에 고정시킴과 아울러 지지 부재와 같은 이동 부재에 구비한 롤러에 권장(卷裝)되어 개구부를 봉지하도록 구성되어 있으므로 지지 부재가 이동해도 지주 내부에서 발생한 분진을 씰 벨트와 개구부의 간극으로부터 비산시키기 어렵게 할 수 있다. 또, 종래와 같이 씰 벨트 전체를 회전시키는 일이 없기 때문에 지주 내부에서 씰 벨트에 부착된 분진이 지주의 외부에 노출되어 비산하는 일이 없다. 또 씰 벨트 의 외측 면이 롤러 접촉하는 일이 없고, 또한 랙 앤드 피니언 기구의 피니언의 바로 아래로 씰 벨트가 통과하는 일이 없기 때문에 마모 및 윤활제 등에 의한 씰 벨트 외측 면의 더럽힘이 없다.
청구항 4 기재의 발명에 의하면 씰 벨트와 개구부가 접촉하지 않을 정도의 간극을 가지게 구성시킬 수가 있으므로, 종래와 같이 씰 벨트 전체가 회전하는 경우에 비해 미소한 간극이 되고, 또한 분진을 배출시키는 것을 저감할 수 있다.
청구항 5 기재의 발명에 의하면 지지 부재의 강성을 확보하면서 지지 부재의 이동 기구를 구성할 수 있다.
청구항 6 기재의 발명에 의하면 3개의 개구로 이루어져도 각각의 개구에 씰 벨트를 간단하게 설치하는 것이 가능하다.
청구항 7 기재의 발명에 의하면 지지 부재가 복수로 이루어져도 간단하게 씰 벨트에 의한 방진 기구를 증설해 나가는 것이 가능하다.
청구항 8 및 청구항 9 기재의 발명에 의하면 기판 반송 시스템 또는 반도체 제조 장치에 본 발명에 의한 기판 반송 장치를 구비하였으므로, 발진(發塵)이 적은 기판 반송 시스템으로 할 수가 있어 반도체 제조에 있어서는 제품 수율을 향상시킬 수가 있다.
이하 본 발명의 실시의 형태에 대해서 도면을 참조하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 방진 기구를 구비한 기판 반송 장치(1)의 전체도이다. 기 판 반송 장치(1)의 개략적인 구성을 설명한다. 도면에 있어서, 2는 핸드이고, 이것에 도시하지 않은 기판이 재치된다. 암(3)은 링크식의 암이고 핸드(2)를 선단으로 지지하고 도면의 a방향(수평 방향)으로 신축할 수가 있다. 암(3)의 타단은 지지 부재(4)에 접속되어 있다. 또 핸드(2), 암(3), 지지 부재(4)를 합쳐서 암부(6)라고도 부른다. 이 예에서는, 지지 부재(4)는 도면과 같이 「コ」자 모양으로 형성되어 있고, 2개 준비한 암(3)의 각각을 「コ」자의 상단과 하단에 접속하고 있다. 지지 부재(4)는 수직 방향(천지(天地)의 방향)으로 세워 설치된 지주(9)에 지지되고, 도면의 b방향(상하 방향)으로 도시하지 않는 이동 기구에 의해 이동 가능하다. 이 예에서는, 2개의 암(3)은 지지 부재(4)에 의해 동시에 상하 이동한다. 지지 부재(4)와 지주(9)의 접속에 대해 상세하게는 후술한다. 12는 지주에 있어서의 개구부이고, 이 예에서는 3개의 개구부가 지주의 늘어트린 방향으로 설치되어 있다. 3개의 개구부 중 중앙의 통로를 12a, 그 좌우의 통로를 12b로 한다. 그리고 개구부(12)의 각각을 막도록 설치되어 있는 것이 씰 벨트(5)이다. 또, 지주(9)의 최하부에는 선회 스테이지(10)가 접속되어 있다. 선회 스테이지(10)는 대좌(pedestal)(11)에 대해서 도면의 c방향으로 회전 가능하다. 따라서, 암부(6)와 지주(9)의 전체가 선회 스테이지(10)에 의해 회전할 수가 있다. 또, 특히 도시하고 있지 않지만, 필요에 따라서, 대좌(11)를 도면의 d방향으로 이동시키는 주행 기구를 장착하는 일도 있다. 이 주행 기구에 의하면, 암부(6)와 지주(9)와 선회 스테이지(10)와 대좌(11)로 구성된 기판 반송 장치(1)의 전체를 d방향에 의해 주행시킬 수가 있고, 기판 반송 장치(1)의 근방에 설치된, 예를 들면 기판을 수납하는 다수의 카세트(cassette)에 대해서, 기판 반송 장치가 더 자유롭게 액세스(access) 할 수 있도록 된다. 또한 기판 반송 장치(1)는 도면 중 컨트롤러(13)와 케이블에 접속되어 이상의 동작을 행하고, 미리 교시된 위치를 재생하면서 소정의 반송을 행한다. 통상, 컨트롤러(13)와 기판 반송 장치(1)가 조합되어 기판 반송 시스템으로서 이용된다.
도 2는 지주(9)의 내부 구성을 나타낸다. 도 2는 도 1에 있어서 A방향으로부터 본 측단면도이고 개구부(12a)에 있어서의 단면을 나타내고 있다. 도 2에 있어서 4는 암부(6)의 지지 부재이다. 지지 부재(4)에는 회전 모터(31) 및 감속기(32)가 설치되어 있고 감속기(32)의 출력축은 피니언(33)이 접속되어 있다. 그리고 지주(9)의 내부에 설치된 랙(34)과 피니언(33)이 맞물려 랙 앤드 피니언 기구(21)가 구성되어 회전 모터(31)의 회전과 랙 앤드 피니언 기구(21)의 작용에 의해 지지 부재(4)는 상하로 이동할 수 있다. 또, 지주(9)의 내부에는 복수 라인의 직선 접동 베어링(22)이 상하 방향으로 연재하도록 배치되어 있고, 이 직선 접동 베어링(22)을 주행 가능한 복수의 가이드 블록(22a)과 지지 부재(4)가 접속되어 있다. 따라서 직선 접동 베어링(22)의 작용에 의해 지지 부재(4)는 주행 정밀도 좋게 상하 이동이 가능하게 되어 있다.
그리고, 본 발명에서는, 도 2와 같이, 씰 벨트(5)의 양단이 지주(9) 내부의 상하(천정과 마루)에 고정되어 벨트가 쳐지도록 설치되어 있다. 또, 씰 벨트(5)와 개구부(12)의 간극(23)을 벨트가 개구부와 스치지 않을 정도로 작아지도록 설치되어 있다. 씰 벨트(5)에는 폴리우레탄(polyurethane)이나 폴리에스테르(polyester)라고 하는 소재의 것을 사용한다.
다음으로, 지지 부재(4)와 지주(9)의 접속 부분의 상세 구성에 대해서 도 3 ∼ 도 5를 사용하여 상세하게 설명한다. 도 3(a)는 도 2에 있어서 B방향으로부터 지지 부재(4)를 본 부분적인 도면이다. 도 3(b)는 도 3(a)에 있어서의 CC단면도이다. 즉, 도 3(b)는 지지 부재(4)의 바로 윗쪽에서의 지주(9)의 위로부터의 단면도를 나타내고 있다. 또, 도 (4)는 도 3(b)에 있어서의 DD단면도이다. 또, 도 5는 도 3(b)에 있어서의 EE단면도이다. 도 3 ∼ 도 5의 각 도면에 있어서, 도 1이나 도 2의 동일 부분에 대해서는 동일 번호를 붙이고 있다.
도 5가 나타내듯이, 지지 부재(4)에는 상기에서 설명한 회전 모터(31)가 설치되어 있다. 회전 모터(31)에는 감속기(32)가 접속되어 있고, 그 출력축에는 피니언(33)이 접속되어 있다. 피니언(33)은 지주(9) 내부의 랙(34)과 맞물리고 있다. 출력축은 개구부(12a)로부터 지주(9)의 내부에 삽입되어 있다. 또, 도 3(b)가 나타내듯이, 지주(9)의 내부에는 지지 부재(4)에 대해서 개구부(12a, 12b)를 통해 고정되는 안내 부재(4a)가 설치되어 있다. 안내 부재(4a)는 지지 부재(4)에 대해서 완전하게 구속되므로, 실질적으로 동일 부재이다. 상기의 감속기(32)의 출력축 및 피니언(33)은 안내 부재(4a)에 설치된 관통 홀(hole)을 통하고, 지지 부재(4)와는 반대측의 면에 돌출하여 랙(34)과 맞물리고 있다. 동일하게, 안내 부재(4a)의 지지 부재(4)와는 반대의 면에는 지주(9)의 연재 방향을 따르도록 리니어 가이드(22)가 설치되어 있고, 이 리니어 가이드(22)의 가이드 블록(22a)과 안내 부재(4a)가 접속되어 있다. 즉 이상의 구성에 의하면, 개구부(12a)가 감속기(32)나 회전 모터(31) 등의 동력을 상하 이동하기 위한 통로이고, 좌우의 12b는 지지 부재(4)가 리니어 블록(linear block)(22a)에 접속되어 지지되면서 상하 이동하기 위한 통로이다.
다음으로, 씰 벨트(5)의 구성에 대해서 상세하게 설명한다. 도 3(b)가 나타내듯이 지주(9)의 3개의 개구부(12)에는 그 내부로부터 가리도록 씰 벨트(5)가 3개 존재한다. 우선, 3개의 개구부(12) 중 좌우의 개구부(12b)를 가리는 씰 벨트(5b)에 대해서 설명한다. 좌우 2개의 개구부(12b)의 씰 벨트(5b)의 구성은 동일하다. 먼저 설명한 것처럼 씰 벨트(5b)의 일단은 지주(9) 내부의 천정면에 고정되어 있고, 그곳으로부터 개구부(12b)를 가리도록 수직 낙하시킨 씰 벨트(5b)는 도 4와 동일하게 안내 부재(4a)에 회전이 자유롭게 설치된 제1 롤러(35)에 되접어 꺾이도록 권장(卷裝)된다. 그리고 씰 벨트(5b)는 제1 롤러(35)의 더 직선 접동 베어링(22) 측에 동일하게 안내 부재(4a)에 회전이 자유롭게 설치된 제2 롤러(36)에 의해 수직 상방향으로 되접어 꺾이도록 권장(卷裝)된다. 제2 롤러(36)의 수직 상방향에는 제2 롤러(36)에 대해서 일정한 각도를 가지는 제3 롤러(37)가 동일하게 안내 부재(4a)의 상부에 회전이 자유롭게 설치되어 있고, 씰 벨트(5b)는 다시 비틀리면서 제3 롤러(37)에 권장(卷裝)되어 개구부(12b)의 방향으로 되접어 꺾인다. 또는 씰 벨트(5b)는 제3 롤러(37)에 평행으로, 또는 동일하게 안내 부재(4a)에 회전이 자유롭게 설치된 제4 롤러(38)에 의해 다시 수직 하방향으로 되접어 꺾인다. 씰 벨트(5b)는 상기 제1 롤러(35) 내지 제4 롤러(38)로 각각 권장(卷裝)시킴으로써, 나선형의 경로를 취하는 구성이 되고, 안내 부재(4a)의 옆을 수직 하방향으로 통과한다. 또 이 때, 씰 벨트(5b)는 개구부(12b)에 대해 일정한 각도를 가진다. 안내 부재(4a)의 하부는 상부의 제4 롤러(38)와 대향하도록 제5 롤러(39)가 안내 부재(4a)에 회전이 자유롭게 설치되어 있고, 씰 벨트(5b)는 제5 롤러(39)에 되접어 꺾이도록 권장(卷裝)된다. 제5 롤러(39)의 더 직선 접동 베어링(22) 측에는 동일하게 안내 부재(4a)에 회전이 자유롭게 또는 제3 롤러(37)와 대향하는 제6 롤러(40)가 설치되고 있고, 씰 벨트(5a)는 제6 롤러(40)에 의해 수직 상방향으로 되접어 꺾이도록 권장(卷裝)된다. 제6 롤러의 수직 상방향에는 제2 롤러(36)와 대향하는 제7 롤러(41)가 동일하게 안내 부재(4a)에 회전이 자유롭게 설치되어 있고, 씰 벨트(5b)는 다시 비틀리면서 제7 롤러(41)에 권장(卷裝)되어 개구부(12b)에 되접어 꺾인다. 또는 씰 벨트(5b)는 제7 롤러(41)에 평행으로, 또는 제1 롤러(35)와 대향하는 제8 롤러(42)에서 되접어 꺾이도록 권장(卷裝)되고, 다시 개구부(12b)를 가리도록 수직 낙하시킨다. 씰 벨트(5b)는 상기 제5 롤러(39) 내지 제8 롤러(42)로 각각 권장(卷裝)시킴으로써, 제1 롤러(35) 내지 제4 롤러(38)에 권장(卷裝)되었을 때와 마찬가지로 나선형의 경로를 취하는 구성으로 된다. 그리고, 위에서 설명한 바와 같이, 씰 벨트(5b)의 타단은 지주(9) 내부의 바닥면에 고정된다.
다음으로 3개의 개구부(12) 중, 중앙의 개구부(12a)를 가리는 씰 벨트(5a)에 대해서 설명한다. 씰 벨트(5a)의 롤러에 대한 권장(卷裝)의 구성은 상기의 씰 벨트(5b)와 실질적으로 대략 동일하다. 그러나, 도 4, 도 5에 나타나 있듯이, 안내 부재(4a)의 대략 중앙에는 지지 부재(4)측으로부터 관통 홀(43)을 통해 회전 모터(31)의 출력축과 감속기(32)와 피니언(33)이 돌출하고 있다. 즉, 제1 롤러(35) 내지 제8 롤러(42)에 권장(卷裝)된 씰 벨트(5a)가 둘러싸는 범위에 회전 모터(31)의 출력축이 안내 부재(4a)와 마찬가지로 존재한다.
이상, 설명한 본 발명의 씰 벨트에 의한 방진 기구에 의하면, 지주(9) 내부의 상하에, 개구부(12)에 대해서 근접해 고정한 씰 벨트(5)를 수직 낙하시키고 있으므로, 개구부(12)에 대해서 큰 간극을 갖게 하는 일 없이 벨트를 수직 낙하시킬 수가 있다. 따라서, 지주(9) 내부에서 발생한 분진을 씰 벨트와 개구부의 간극으로부터 비산시키기 어렵게 할 수 있다.
또, 씰 벨트(5)가 롤러에 대해 나선형으로 권장(卷裝)되어 있기 때문에, 항상 씰 벨트의 내면(지주(9)의 안쪽으로 향한 면)이 롤러와 접촉하기 때문에, 마모 및 씰 벨트(5)의 외면에 부착된 이물을 말려들게 함으로써 발생하는 씰 벨트(5) 외면의 더럽힘을 방지할 수가 있다. 또, 지주(9)의 중앙부의 개구부(12a)를 가리는 씰 벨트(5a)가 피니언(33)의 바로 아래를 통과하는 것이 없는 구성이기 때문에, 피니언(33)과 랙(34)을 윤활하는 윤활제의 적하에 의한 씰 벨트(5a)에의 부착 등의 더럽힘을 방지할 수가 있다.
또, 도 4와 같이, 상하로 이동하는 암부를 복수 설치하고, 이들이 서로 자유롭게 상하로 이동하도록 구성하고 싶은 경우도, 본 발명에 의하면, 도 6과 같이 동일 구성의 지지 부재(4)(안내 부재(4a))를 다단으로 접속해 나가면 용이하게 구성할 수가 있다.
도 1은 본 발명의 방진 기구를 구비한 기판 반송 장치를 나타내는 외관도이다.
　 도 2는 본 발명의 지주의 내부 구성을 나타내는 단면도이다.　
　 도 3은 본 발명의 지지 부재와 지주와의 접속 구성을 나타내는 정면도 및 상 단면도이다.　
도 4는 본 발명의 지지 부재와 지주와의 접속 구성을 나타내는 단면도이다.
　 도 5는 본 발명의 지지 부재와 지주와의 접속 구성을 나타내는 단면도이다.
　 도 6은 본 발명의 다른 실시예를 나타내는 측단면도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1　기판 반송 장치 2　핸드(hand)
3　암(arm)
4　지지 부재 4a　안내 부재
5　씰 벨트(seal belt)
6　암부 9　지주
10　선회 스테이지
11　대좌(pedestal) 12　개구부
13　컨트롤러(controller)
21　직선 접동 베어링
22　리니어 가이드(linear guide)
22a　리니어 블록(linear block)
23　간극
31　회전 모터 32　감속기
33　피니언(pinion) 34　랙(rack)
35　제1 롤러 36　제2 롤러
37　제3 롤러 38　제4 롤러
39　제5 롤러 40　제6 롤러
41　제7 롤러 42　제8 롤러
43　관통 홀(hole)

Claims (9)

  1. 기판을 탑재하는 암부를 지지함과
    아울러 지주 외면에 설치된 직선형의 개구부를 통해 상기 지주 내에 설치된 안내 기구에 접속되고, 상기 안내 기구에 따라 상기 개구부의 개구를 이동하는 지지 부재와, 상기 개구부를 봉하고, 상기 지주 내부와 외부를 격리하는 씰 벨트를 구비하고 상기 안내 기구에 의해 상기 지지 부재가 이동하여도, 상기 씰 벨트에 의해 상기 지주의 내부가 외부에 노출하지 않게 구성되고, 상기 씰 벨트가 그 양단을 상기 지주 내부에 고정시킴과 아울러 상기 지지 부재에 회전 가능하게 지지된 롤러에 권장(卷裝)되고 상기 개구부를 봉하도록 장가(張架)된 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 롤러는, 상기 개구부에 대해서 대략 균일한 간극을 멀리하고, 상기 씰 벨트의 일단과 함께 상기 씰 벨트를 장가(張架)하는 위치에 배치된 제1 롤러와, 상기 개구부로부터 보아 상기 제1 롤러보다도 안쪽에 배치됨과 아울러 상기 제1 롤러에 권장(卷裝)되어 되접어 꺾인 상기 씰 벨트를 상기 씰 벨트의 일단 측에 되접어 꺾이도록 상기 씰 벨트가 권장(卷裝)되는 제2 롤러와, 상기 제2 롤러에 대해 상기 지주의 긴 방향으로 일정한 각도를 가지고, 또한 상기 제2 롤러로부터의 씰 벨트를 상기 개구부 측에 되접어 꺾이도록 배치된 제3 롤러와, 상기 제3 롤러에 대해 평행 으로, 또한 상기 씰 벨트를 상기 개구부의 긴 방향에 대해 일정한 각도를 가져 되접어 꺾이도록 배치된 제4 롤러와, 상기 제4 롤러에 평행으로, 또한 상기 씰 벨트를 상기 개구부의 안쪽 측으로 되접어 꺾이도록 배치된 제5 롤러와, 상기 제5 롤러에 평행으로, 또한 상기 제5 롤러보다도 안쪽에 배치됨과 아울러 상기 씰 벨트를 상기 씰 벨트의 일단 a의 방향으로 되접어 꺾이도록 권장(卷裝)되는 제6 롤러와, 상기 제6 롤러에 대해 상기 지주의 긴 방향으로 일정한 각도를 가지고, 또한 상기 제6 롤러로부터의 상기 씰 벨트를 상기 개구부 측으로 되접어 꺾이도록 배치된 제7 롤러와, 상기 제7 롤러로부터의 상기 씰 벨트를 되접어 꺾이도록 권장(卷裝)됨과 아울러 상기 개구부에 대해서 대략 균일한 간극을 멀리하고, 상기 씰 벨트의 타단과 함께 상기 씰 벨트를 장가(張架)하는 위치에 배치된 제8 롤러로 구성된 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1 롤러로부터 제4 롤러 및 상기 제5 롤러로부터 제8 롤러에 있어서, 상기 씰 벨트를 나선형으로 권장(卷裝)시킴으로써, 항상 상기 씰 벨트의 일면만을 상기 제1 롤러로부터 상기 제8 롤러에 접촉시키는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 간극은, 상기 지지 부재가 이동해도 상기 씰 벨트와 상기 개구부가 접 촉하지 않게 설치된 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 개구부는, 상기 지주 외면에 서로 병행하게 설치된 3개의 개구로 이루어지고, 상기 3개의 개구 중 1개의 개구에는 상기 지지 부재를 상기 안내 기구에 따라 회전 구동하는 구동부의 출력축이 통과하고, 나머지의 2개의 개구에는 상기 안내 기구에 접속되는 상기 지지 부재가 통과하도록 구성된 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 3개의 개구의 각각에 상기 씰 벨트가 설치된 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  7. 제1항 기재의 기판 반송 장치에 있어서,
    상기 안내 기구에 대해서 상기 지지 부재가 복수 접속되고, 상기 씰 벨트가 그 양단을 상기 지주 내부에 고정시킴과 아울러 상기 복수의 지지 부재에 각각 회전 가능하게 지지된 롤러에 권장(卷裝)되고 상기 개구부를 봉하도록 장가(張架)된 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  8. 제1항의 기판 반송 장치와, 상기 기판 반송 장치를 제어하는 컨트롤러를 구 비한 것을 특징으로 하는 기판 반송 시스템.
  9. 제8항 기재의 기판 반송 시스템을 구비한 것을 특징으로 하는 반도체 제조 장치.
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