KR102114028B1

KR102114028B1 - 기판 가공 장치

Info

Publication number: KR102114028B1
Application number: KR1020180059112A
Authority: KR
Inventors: 김종상; 노광석
Original assignee: 주식회사 탑 엔지니어링
Priority date: 2018-05-24
Filing date: 2018-05-24
Publication date: 2020-05-25
Also published as: CN209567995U; KR20190134008A

Abstract

본 발명의 실시예에 따른 기판 가공 장치는, 기판의 유효부 및 더미부 사이의 경계를 따라 연장되며 기판의 중심을 향하여 내입되는 노치를 포함하는 제1 스크라이빙 라인과, 노치의 내부에서 기판의 중심으로부터 방사상으로 연장되는 복수의 제2 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 유닛; 및 제2 스크라이빙 라인에 의해 구획되는 복수의 분할부를 각각 가압하여 노치 내의 더미부를 유효부로부터 분리하는 브레이킹 유닛을 포함할 수 있다.

Description

기판 가공 장치{SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS}

본 발명은 기판을 가공하는 장치에 관한 것이다.

일반적으로, 평판 디스플레이에 사용되는 액정 디스플레이 패널, 유기 전계 발광 디스플레이 패널, 무기 전계 발광 디스플레이 패널, 투과형 프로젝터 기판, 반사형 프로젝터 기판 등은 유리와 같은 취성의 머더 글라스 패널로부터 소정의 크기로 절단된 단위 글라스 패널(이하, '기판'이라 함)을 사용한다.

기판의 주위에는 실제로 제품에 사용되지 않고 제거되는 비유효 영역(이하, '더미부'라 함)이 존재한다. 특히, 기판이 디스플레이로 사용되는 경우 더미부는 베젤(bezel)의 크기를 결정하는 요인이 된다. 따라서, 기판의 제조 공정 상 더미부를 최소화하기 위해 더미부를 제거하는 공정이 수행된다.

종래 기술에 따른 더미부를 제거하는 공정은 일반적으로 기판의 둘레를 연삭기를 사용하여 연삭하여 기판으로부터 더미부를 제거하는 공정과, 더미부가 제거된 부위를 세정제로 세척하는 공정을 포함한다.

그러나, 기판의 둘레를 연삭기를 사용하여 연삭하는 공정에서 미세한 파티클이 발생하여 기판 및 기판 주위를 오염시키는 문제가 있다.

또한, 기판을 세척하는 공정이 요구되므로, 기판 가공 공정이 복잡하고 기판 가공에 소요되는 비용이 증가하는 문제가 있다. 특히, 기판이 OLED 패널인 경우, 기판을 세척하는 데 사용되는 세정액이 기판에 악영향을 미칠 수 있는 문제가 있다.

본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 기판으로부터 더미부를 효율적으로 제거할 수 있는 기판 가공 장치를 제공하는 데에 있다.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 기판 가공 장치는, 기판의 유효부 및 더미부 사이의 경계를 따라 연장되며 기판의 중심을 향하여 내입되는 노치를 포함하는 제1 스크라이빙 라인과, 노치의 내부에서 기판의 중심으로부터 방사상으로 연장되는 복수의 제2 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 유닛; 및 제2 스크라이빙 라인에 의해 구획되는 복수의 분할부를 각각 가압하여 노치 내의 더미부를 유효부로부터 분리하는 브레이킹 유닛을 포함할 수 있다.

노치 내에서 제1 스크라이빙 라인은 복수의 곡선부를 포함할 수 있고, 노치 내에서 복수의 제2 스크라이빙 라인은 제1 스크라이빙 라인의 복수의 곡선부에 각각 대응되게 형성될 수 있으며, 노치 내의 더미부는, 복수의 제2 스크라이빙 라인에 의해, 노치의 중심에 배치되는 제1 분할부와, 제1 분할부의 양측에 배치되는 한 쌍의 제2 분할부와, 한 쌍의 제2 분할부의 외측에 배치되는 복수의 제3 분할부로 구획될 수 있다. 브레이킹 유닛은, 기판이 안착되는 기판 안착부를 구비하는 테이블; 제1 분할부, 제2 분할부 및 제3 분할부를 각각 가압하도록 배치되는 복수의 가압부를 포함하는 가압 부재; 및 가압 부재를 테이블에 안착된 기판으로 이동시키는 이동 모듈을 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따른 기판 가공 장치는, 기판의 유효부 및 더미부 사이의 경계를 따라 연장되며 기판의 내부를 향하여 내입되는 노치를 포함하는 제1 스크라이빙 라인을 형성하고, 노치의 내부에 복수의 제2 스크라이빙 라인을 형성하는 기판 가공 장치로서, 노치 내에서 제1 스크라이빙 라인은 복수의 곡선부를 포함하고, 노치 내에서 복수의 제2 스크라이빙 라인은 제1 스크라이빙 라인의 복수의 곡선부에 각각 대응되게 형성되며, 더미부는, 복수의 제2 스크라이빙 라인에 의해, 노치의 중심에 배치되는 제1 분할부와, 제1 분할부의 양측에 배치되는 한 쌍의 제2 분할부와, 한 쌍의 제2 분할부의 외측에 배치되는 복수의 제3 분할부로 구획되고, 제1 분할부에는 한 쌍의 제3 스크라이빙 라인이 형성되고, 제1 분할부는 제3 스크라이빙 라인에 의해 노치의 중심에 배치되는 제1 하위 분할부와, 제1 하위 분할부의 양측에 배치되는 한 쌍의 제2 하위 분할부로 구획되며, 제2 스크라이빙 라인의 가상의 연장선과 제3 스크라이빙 라인의 가상의 연장선은 기판의 외부에서 교차할 수 있다.

삭제

제1 분할부, 제2 분할부 및 제3 분할부를 미리 정해진 순서로 가압하도록 복수의 가압부의 가압면의 기판에 대한 위치가 상이하게 설정될 수 있다.

제1 분할부에는 기판을 중심으로 방사상으로 연장되는 적어도 하나의 제3 스크라이빙 라인이 형성될 수 있고, 제1 분할부는 제3 스크라이빙 라인에 의해 노치의 중심에 배치되는 제1 하위 분할부와, 제1 하위 분할부의 양측에 배치되는 한 쌍의 제2 하위 분할부로 구획될 수 있다.

브레이킹 유닛은, 기판이 안착되는 기판 안착부를 구비하는 테이블; 제1 하위 분할부, 제2 하위 분할부, 제2 분할부 및 제3 분할부를 각각 가압하도록 배치되는 복수의 가압부를 포함하는 가압 부재; 및 가압 부재를 테이블에 안착된 기판으로 이동시키는 이동 모듈을 포함할 수 있다.

제1 하위 분할부, 제2 하위 분할부, 제2 분할부 및 제3 분할부를 미리 정해진 순서로 가압하도록 복수의 가압부의 가압면의 기판에 대한 위치가 상이하게 설정될 수 있다.

테이블에는 기판의 더미부를 지지하는 지지부가 구비될 수 있다.

지지부는 스크라이빙 라인 상의 어느 한 지점에 대응하게 위치될 수 있다.

복수의 가압부는 서로로부터 이격되게 배치되어 지지부를 사이에 두고 지지부의 반대쪽에서 지지부 양측의 더미부를 가압할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따른 기판 가공 장치는, 스크라이빙 유닛 및 브레이킹 유닛 사이에 배치되어 스크라이빙 라인에 의해 제1 및 제2 스크라이빙 라인이 형성된 기판을 스크라이빙 유닛으로부터 브레이킹 유닛으로 전달하는 기판 전달 유닛을 더 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따른 기판 가공 장치에 따르면, 기판의 유효부 및 더미부의 경계를 따라 직선부 및 곡선부를 갖는 제1 스크라이빙 라인을 형성하고, 제1 스크라이빙 라인의 곡선부의 외측에 기판의 중심으로부터 방사상으로 연장되는 제2 스크라이빙 라인을 형성하고, 제2 스크라이빙 라인에 대응되게 지지부가 위치된 상태에서 지지부의 반대쪽에서 제2 스크라이빙 라인에 의해 구획되는 복수의 분할부를 각각 가압함으로써, 기판의 유효부의 크랙이나 파손을 일으키지 않고 기판의 유효부로부터 더미부를 원활하고 효율적으로 제거할 수 있다.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 기판 가공 장치에 따르면, 더미부를 제거하기 위한 연삭 및 세정을 필요로 하지 않는다. 따라서, 연삭 공정 및 세정 공정으로 인해 발생할 수 있는 종래 기술에 따른 문제를 방지할 수 있다.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 기판 가공 장치에 따르면, 기판에 노치를 형성하기 위해 노치의 내부를 이루는 더미부에 복수의 제3 스크라이빙 라인을 추가적으로 형성하고, 복수의 제3 스크라이빙 라인에 의해 구획된 복수의 하위 분할부를 노치의 중심으로부터 양측으로 순차적으로 가압하여 제거할 수 있으므로, 기판에 노치를 용이하게 형성할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 가공 장치에 의해 가공될 기판이 개략적으로 도시된 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 가공 장치가 개략적으로 도시된 도면이다.
도 3 및 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 기판 가공 장치의 스크라이빙 유닛에 의해 기판에 스크라이빙 라인이 형성된 상태가 개략적으로 도시된 도면이다.
도 5 및 도 6은 본 발명의 실시예에 따른 기판 가공 장치의 브레이킹 유닛이 개략적으로 도시된 도면이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 기판 가공 장치의 스크라이빙 유닛에 의해 기판에 스크라이빙 라인이 형성되고 브레이킹 유닛의 테이블에 형성된 지지부가 스크라이빙 라인에 대응되게 위치된 상태가 개략적으로 도시된 도면이다.
도 8 및 도 9는 본 발명의 실시예에 따른 기판 가공 장치에 의해 기판에 형성되는 노치를 설명하기 위한 개략도이다.
도 10 및 도 11은 본 발명의 실시예에 따른 기판 가공 장치의 브레이킹 유닛을 사용하여 기판에 노치를 형성하는 구성을 설명하기 위한 개략도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여, 본 발명의 실시예에 따른 기판 가공 장치에 대하여 설명한다.

기판을 가공하는 공정이 수행될 기판이 이송되는 방향을 Y축 방향이라 정의하고, 기판이 이송되는 방향(Y축 방향)에 수직인 방향을 X축 방향이라 정의한다. 그리고, 기판이 놓이는 X-Y 평면에 수직인 방향을 Z축 방향이라 정의한다.

도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 기판 가공 장치에 의해 가공될 기판(S)은 실제의 제품에 사용되는 유효 영역인 유효부(S1)와, 유효부(S1)의 둘레에 존재하며 실제의 제품에 사용되지 않은 비유효 영역인 더미부(S2)를 포함할 수 있다. 예를 들면, 기판(S)은 리지드(rigid) OLED 패널일 수 있다.

기판(S)의 유효부(S1)는 기판(S)의 중심을 향하여 소정의 폭으로 내입되는 노치(N)를 구비할 수 있다. 기판(S)이 스마트 폰 등의 디스플레이 장치에 사용되는 경우 노치(N)에는 카메라 모듈 등의 다양한 부품이 위치되는 부분이 될 수 있다.

본 발명의 실시예에 따른 기판 가공 장치는 기판(S)의 유효부(S1)의 둘레에 존재하는 더미부(S2)를 유효부(S1)로부터 제거하는 기능을 한다.

도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 기판 가공 장치는, 기판(S)에 스크라이빙 라인(10, 20)을 형성하는 스크라이빙 유닛(50)과, 스크라이빙 유닛(50)에 의해 형성된 스크라이빙 라인(10, 20)을 따라 유효부(S1)로부터 더미부(S2)를 분리하는 브레이킹 유닛(60)을 포함할 수 있다.

스크라이빙 유닛(50)은, 기판(S)이 탑재되는 스테이지(51)와, 스테이지(51)에 탑재된 기판(S)에 스크라이빙 라인(10, 20)을 형성하는 스크라이빙 헤드(52)를 포함할 수 있다.

스테이지(51)는 기판(S)이 이송되는 방향(Y축 방향)으로 연장되는 가이드 레일(53) 상에 설치되어 가이드 레일(53)을 따라 Y축 방향으로 이동될 수 있다. 스테이지(51)는 가이드 레일(53)을 따라 Y축 방향으로 이동하여 스크라이빙 헤드(52)의 하방에 위치될 수 있으며, 이에 따라, 스테이지(51) 상에 안착된 기판(S)에 스크라이빙 라인(10, 20)이 형성될 수 있다.

스테이지(51)가 스크라이빙 헤드(52)를 향하는 쪽의 반대쪽에는 스테이지(51)에 안착된 기판(S)의 X축 방향 및 Y축 방향으로의 위치 및 회전 위치를 정렬하는 기판 정렬 유닛(40)이 구비될 수 있다.

기판 정렬 유닛(40)은 기판(S)의 변 중 2이상의 변을 가압하여 기판(S)의 X축 방향 및 Y축 방향으로의 위치 및 회전 위치를 정렬하도록 구성될 수 있다. 기판 정렬 유닛(40)은 기판(S)의 각 변에 대응되게 배치되어 기판(S)의 각 변을 가압하는 복수의 가압 모듈(41)을 포함할 수 있다.

기판(S)이 스테이지(51)로 반입되면, 스테이지(51)는 가이드 레일(53)을 따라 이동하여 복수의 가압 모듈(41)에 사이에 위치된다. 이때, 복수의 가압 모듈(41)에 의해 기판(S)의 2이상의 변이 가압됨에 따라 기판(S)의 X축 방향 및 Y축 방향으로의 위치 및 회전 위치가 정렬될 수 있다. 기판(S)의 위치가 정렬되면, 스테이지(51)가 가이드 레일(53)을 따라 스크라이빙 헤드(52)의 하방에 위치되며, 이에 따라, 스테이지(51) 상에 탑재된 기판(S)에 스크라이빙 라인(10, 20)이 형성될 수 있다.

스크라이빙 헤드(52)는 기판(S)이 이송되는 방향(Y축 방향)에 직교하는 방향(X축 방향)으로 연장되는 지지대(56)에 X축 방향으로 이동 가능하게 설치될 수 있다.

예를 들면, 스테이지(51)가 Y축 방향으로 이동되는 것에 의해 기판(S)에는 Y축 방향으로 스크라이빙 라인(10, 20)이 형성될 수 있다. 그리고, 스크라이빙 헤드(52)가 X축 방향으로 이동되는 것에 의해 기판(S)에는 X축 방향으로 스크라이빙 라인(10, 20)이 형성될 수 있다. 그리고, 스테이지(51)가 Y축 방향으로 이동되는 것과 동시에 스크라이빙 헤드(52)가 X축 방향으로 이동되는 것에 기판(S)에는 X축 방향 및 Y축 방향에 대해 소정의 각도로 경사지거나 만곡된 스크라이빙 라인(10, 20)이 형성될 수 있다.

도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 스크라이빙 유닛(50)에 의해 기판(S)에 형성되는 스크라이빙 라인(10, 20)은, 유효부(S1) 및 더미부(S2) 사이의 경계를 따라(즉, 유효부(S1)의 윤곽을 따라) 연장되며 직선부(11)와 곡선부(12)를 갖는 제1 스크라이빙 라인(10)과, 제1 스크라이빙 라인(10)의 곡선부(12)의 외측의 더미부(S2)에 기판(S)의 중심으로부터 방사상으로 연장되는 제2 스크라이빙 라인(20)을 포함할 수 있다.

제1 스크라이빙 라인(10)은 기판(S)의 유효부(S1) 및 더미부(S2)를 구분하기 위한 것으로, 유효부(S1) 및 더미부(S2)의 경계를 따라 연장될 수 있다. 제1 스크라이빙 라인(10)은 복수의 직선부(11)와 복수의 곡선부(12)를 포함할 수 있다. 복수의 직선부(11)와 복수의 곡선부(12)가 교대로 형성될 수 있다.

제1 스크라이빙 라인(10)은 스크라이빙 헤드(52)에 장착된 스크라이빙 휠(미도시)을 기판(S)의 상면에 가압한 상태에서 스크라이빙 휠 및/또는 기판(S)을 수평으로 상대 이동시키는 것에 의해 형성될 수 있다. 다만, 제1 스크라이빙 라인(10)은 복수의 곡선부(12)를 포함하므로, 복수의 곡선부(12)를 보다 미세하고 정밀하게 가공할 수 있도록, 제1 스크라이빙 라인(10)은 레이저를 사용하여 형성되는 것이 바람직할 수 있다. 이 경우, 제1 스크라이빙 라인(10)은 기판(S)의 내부에 레이저 빔의 스폿이 위치되도록 스크라이빙 헤드(52)로부터 기판(S)으로 레이저 빔을 조사하면서 스크라이빙 헤드(52) 및/또는 기판(S)을 수평으로 상대 이동시키는 것에 의해 형성될 수 있다.

제2 스크라이빙 라인(20)은 스크라이빙 휠을 사용하여 형성될 수 있거나, 레이저 빔을 사용하여 형성될 수 있다. 제1 스크라이빙 라인(10) 및 제2 스크라이빙 라인(20)이 모두 스크라이빙 휠을 사용하여 형성되거나 레이저 빔을 사용하여 형성되는 경우, 스크라이빙 유닛(50)은 하나의 타입의 스크라이빙 헤드(52)를 구비할 수 있다. 제1 스크라이빙 라인(10)이 레이저 빔을 사용하여 형성되고, 제2 스크라이빙 라인(20)이 스크라이빙 휠을 사용하여 형성되는 경우에는, 스크라이빙 유닛(50)은 2개의 타입의 스크라이빙 헤드(52)를 구비할 수 있다.

도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 제2 스크라이빙 라인(20)은 제1 스크라이빙 라인(10)의 곡선부(12)의 외측에 위치한 더미부(S2)의 일부분에 형성될 수 있다. 제2 스크라이빙 라인(20)은 기판(S)의 중심을 기준으로 대략 반경 방향(방사상)으로 연장될 수 있다. 예를 들면, 제2 스크라이빙 라인(20)은 제1 스크라이빙 라인(10)의 곡선부(12)의 중심으로부터 외측 반경 방향으로 연장될 수 있다. 제2 스크라이빙 라인(20)은 제1 스크라이빙 라인(10)의 곡선부(12)와 연결될 수 있다.

다른 예로서, 제2 스크라이빙 라인(20)은 제1 스크라이빙 라인(10)의 곡선부(12)로부터 소정의 간격으로 이격될 수 있다. 제2 스크라이빙 라인(20)이 제1 스크라이빙 라인(10)의 곡선부(12)로부터 이격되는 경우, 제2 스크라이빙 라인(20)을 기준으로 기판(S)이 파단될 때, 기판(S)의 파단이 제1 스크라이빙 라인(10)에 미치는 영향이 적을 수 있다.

복수의 제2 스크라이빙 라인(20)이 제1 스크라이빙 라인(10)의 복수의 곡선부(12)에 각각 대응하게 형성될 수 있다. 즉, 제2 스크라이빙 라인(20)의 개수는 제1 스크라이빙 라인(10)의 곡선부(12)의 개수와 일치할 수 있다.

복수의 제2 스크라이빙 라인(20)에 의해 더미부(S2)가 복수의 분할부(30)로 분할될 수 있다. 즉, 복수의 분할부(30)가 복수의 제2 스크라이빙 라인(20)에 의해 구획될 수 있다. 복수의 분할부(30)는 제1 스크라이빙 라인(10)이 연장되는 방향을 따라 배치될 수 있다.

다시 도 2를 참조하면, 브레이킹 유닛(60)은, 기판(S)이 탑재되는 테이블(61)과, 테이블(61)에 탑재된 기판(S)의 더미부(S2)를 가압하여 더미부(S2)를 유효부(S1)로부터 분리/제거하는 가압 부재(65)를 포함하는 가압 헤드(62)를 포함할 수 있다.

테이블(61)은 기판(S)이 이송되는 방향(Y축 방향)으로 연장되는 가이드 레일(63) 상에 설치되어 가이드 레일(63)을 따라 Y축 방향으로 이동될 수 있다. 테이블(61)은 가이드 레일(63)을 따라 Y축 방향으로 이동하여 가압 헤드(62)의 하방에 위치될 수 있으며, 이에 따라, 테이블(61)에 안착된 기판(S)의 더미부(S2)가 가압 부재(65)에 의해 가압되어 제거될 수 있다.

테이블(61)이 가압 헤드(62)를 향하는 쪽의 반대쪽에는 기판 전달 유닛(70)이 구비될 수 있다. 기판 전달 유닛(70)은 스크라이빙 유닛(50)의 스테이지(51) 및 브레이킹 유닛(60)의 테이블(61) 사이에서 기판(S)을 전달하는 역할을 할 수 있다. 기판 전달 유닛(70)은, X축 방향으로 연장되는 프레임(71)과, 프레임(71)에 X축 방향으로 이동되게 설치되며 기판(S)을 클램핑하거나 진공 흡착하는 픽커 헤드(72)를 포함할 수 있다. 기판 전달 유닛(70)은 스크라이빙 유닛(50)에 의해 스크라이빙 라인(10, 20)이 형성된 기판을 스크라이빙 유닛(50)의 스테이지(51)로부터 브레이킹 유닛(60)의 테이블(61)로 전달하는 역할을 수행한다.

본 발명의 실시예에 따른 기판 가공 장치에 따르면, 스크라이빙 유닛(50)과, 브레이킹 유닛(60)과, 기판 전달 유닛(70)이 하나의 장치에 함께 구비되므로, 기판(S)에 스크라이빙 라인(10, 20)을 형성하는 공정 및 스크라이빙 라인(10, 20)을 따라 기판(S)을 분할하는 공정이 하나의 장치에서 일괄적으로 수행될 수 있다.

한편, 테이블(61)이 가압 헤드(62)를 향하는 쪽의 반대쪽에는 브레이킹 유닛(60)에 의해 더미부(S2)가 제거된 기판(S)을 외부로 반출하는 언로딩 유닛(80)이 구비될 수 있다.

도 5 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 테이블(61)은, 몸체(611)와, 기판(S)이 안착되도록 몸체(611)로부터 돌출되는 기판 안착부(612)와, 기판 안착부(612)의 외측 둘레에 배치되며 제2 스크라이빙 라인(20)이 형성되는 위치에 대응하도록 몸체(611)로부터 돌출되는 지지부(613)를 포함할 수 있다.

기판 안착부(612)는 기판(S)의 유효부(S1)의 크기와 면적에 대응하는 크기 및 면적을 가질 수 있다. 기판(S)은 유효부(S1)가 기판 안착부(612)에 대응하도록 기판 안착부(612)에 안착될 수 있다. 기판(S)이 기판 안착부(612)에 안착된 상태에서는 기판(S)의 더미부(S2)는 기판 안착부(612)의 측면으로부터 외측으로 돌출될 수 있다. 즉, 더미부(S2) 및 테이블(61)의 몸체(611)의 상면은 서로 이격될 수 있다. 따라서, 기판(S)이 기판 안착부(612)에 안착된 상태에서 가압 부재(65)가 더미부(S2)를 가압하는 것에 의해 더미부(S2)가 스크라이빙 라인(10, 20)을 따라 유효부(S1)로부터 분리될 수 있다.

도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 복수의 지지부(613)는 복수의 제2 스크라이빙 라인(20)이 형성된 위치와 대응되는 위치에 배치될 수 있다. 지지부(613)는 핀의 형상으로 형성될 수 있다. 다만, 본 발명은 지지부(613)의 형상에 한정되지 않는다. 예를 들면, 지지부(613)는 제2 스크라이빙 라인(20)의 연장 방향을 따라 연장되는 쐐기 형상을 가질 수 있다. 기판(S)의 표면과 접촉되는 지지부(613)의 표면(지지부(613)의 상단)은 기판(S)이 안착되는 기판 안착부(612)의 표면(기판 안착부(612)의 상면)과 동일 평면을 이룰 수 있다. 따라서, 기판(S)이 기판 안착부(612)에 안착되면, 기판(S)은 지지부(613)와 안정적으로 접촉될 수 있다.

가압 헤드(62)는 가압 부재(65)와 연결 부재(66)를 통하여 연결되어 가압 부재(65)를 기판(S)에 대하여 수직 방향(Z축 방향)으로 이동시키는 이동 모듈(67)을 포함할 수 있다. 이동 모듈(67)로는 공압 또는 유압을 사용하는 액추에이터, 전자기적 상호 작용에 의해 작동되는 리니어 모터, 또는 볼 스크류 기구와 같은 직선 이동 기구가 적용될 수 있다.

도 5 내지 도 10에 도시된 바와 같이, 가압 부재(65)는, 몸체(651)와, 더미부의 형상과 대응하도록 몸체(651)로부터 돌출되는 가압부(652)를 포함할 수 있다.

가압부(652)는 더미부(S2)의 표면과 접촉하는 가압면을 가질 수 있다. 가압부(652)는 몸체(651)의 중심으로부터 둘레 방향으로 형성된다.

가압부(652)는 더미부(S2)의 형상에 대응하는 형상으로 일체로 형성될 수 있다. 예를 들어, 도시되지는 않았지만, 기판(S)에 노치(N)를 형성할 필요가 없고, 기판(S)의 더미부(S2)가 유효부(S1)를 둘러싸는 대략 사각 링의 형상으로 형성되는 경우, 가압부(652)는 더미부(S2)의 형상에 대응하는 사각 링의 형상으로 일체로 형성될 수 있다.

다른 예로서, 복수의 가압부(652)가 기판(S)의 둘레 방향으로 구획되어 형성될 수 있다.

특히, 도 6 내지 도 11에 도시된 바와 같이, 기판(S)에 노치(N)를 형성할 필요가 있는 경우에는, 기판(S)의 노치(N)에 해당하는 위치는 복수의 가압부(652)가 기판(S)의 둘레 방향으로 구획되어 형성될 수 있다. 즉, 복수의 가압부(652)가 더미부(S2)의 각 구간별로 구비될 수 있다.

또한, 복수의 가압부(652)는 서로로부터 소정의 간격으로 이격될 수 있다. 복수의 가압부(652)는 서로로부터 소정의 간격으로 이격되는 경우, 그 이격 간격은 테이블(61)의 지지부(613)의 상단의 크기(직경, 폭)에 비하여 클 수 있다. 따라서, 인접하는 한 쌍의 가압부(652)가 하나의 지지부(613)를 사이에 두고 지지부(613)의 반대쪽에서 지지부(613) 양측의 더미부(S2)를 가압할 수 있다.

이때, 복수의 가압부(652)는 복수의 제2 스크라이빙 라인(20)에 의해 구획된 복수의 분할부(30)를 각각 가압하도록 구성될 수 있다. 복수의 가압부(652)는 복수의 제2 스크라이빙 라인(20)에 의해 구획된 복수의 분할부(30)에 각각 대응하도록 배치될 수 있다. 따라서, 한 쌍의 가압부(652)가 제2 스크라이빙 라인(20)을 사이에 두고(즉, 지지부(613)를 사이에 두고) 지지부(613)의 반대쪽에서 한 쌍의 분할부(30)를 가압할 수 있으며, 이에 따라, 한 쌍의 분할부(30)가 그 사이의 제2 스크라이빙 라인(20) 및 지지부(613)에 의해 절곡되면서 용이하기 절단될 수 있다.

한편, 기판(S)의 특성(즉, 제1 스크라이빙 라인의 직선부 및 곡선부의 길이, 더미부의 폭 및/또는 길이, 복수의 분할부(30) 각각의 길이, 폭, 크기, 형상 등)에 따라, 복수의 분할부(30)를 가압하여 유효부(S1)로부터 제거하는 순서가 설정될 수 있다.

일 예로서, 복수의 가압부(652)가 복수의 제2 스크라이빙 라인(20)에 의해 구획된 복수의 분할부(30)를 동시에 가압하여 복수의 분할부(30)를 동시에 유효부(S1)로부터 분리할 수 있다.

다른 예로서, 복수의 가압부(652)가 복수의 제2 스크라이빙 라인(20)에 의해 구획된 복수의 분할부(30)를 순차적으로 가압하여 복수의 분할부(30)를 순차적으로 유효부(S1)로부터 분리할 수 있다.

이를 위해, 기판(S)과 가압부(652)의 가압면 사이의 간격이 복수의 제2 가압부(652) 마다 다르게 설정될 수 있다. 즉, 복수의 제2 가압부(652)가 몸체(651)로부터 서로 다른 길이로 돌출될 수 있다.

이러한 구성은, 기판(S)의 중심을 향하여 소정의 폭으로 내입된 노치(N)를 기판(S)에 형성하는 공정에 적용될 수 있다.

도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 기판(S)에 노치(N)를 형성하기 위해 서로 반대되는 방향으로 만곡되는 복수의 곡선부(12)가 교대로 배치되도록 제1 스크라이빙 라인(10)이 형성될 수 있다. 그리고, 복수의 곡선부(12)에 대응되게 복수의 제2 스크라이빙 라인(20)이 형성될 수 있다. 따라서, 복수의 제2 스크라이빙 라인(20)에 의해 더미부(S2)가 노치(N)의 중심에 배치되는 제1 분할부(31)와, 제1 분할부(31)의 양측에 배치되는 한 쌍의 제2 분할부(32)와, 한 쌍의 제2 분할부(32)의 외측에 배치되는 복수의 제3 분할부(33)로 구획될 수 있다.

제1 분할부(31)는 노치(N)의 중심에 배치된다. 제1 분할부(31)가 용이하게 파단되어 분리될 수 있도록, 제1 분할부(31)의 내부에는 추가적으로 제3 스크라이빙 라인(21)이 형성될 수 있다. 제3 스크라이빙 라인(21)은 기판(S)의 중심을 기준으로 대략 반경 방향(방사상)으로 연장될 수 있다. 제1 분할부(31)의 내부에 형성되는 제3 스크라이빙 라인(21)의 개수는 제1 분할부(31)의 폭 및/또는 길이에 따라 결정될 수 있다. 제1 분할부(31)의 폭 및/또는 길이가 큰 경우 제1 분할부(31)의 내부에 형성되는 제3 스크라이빙 라인(21)의 개수가 증가할 수 있다.

제2 분할부(32)는 한 쌍의 곡선부(12)가 인접하게 위치되는 부분이므로, 제2 분할부(32)가 가압될 때 가압력이 제2 분할부(32)로 쉽게 전달되지 않으므로, 제2 분할부(32)가 쉽게 파단되지 않을 수 있다. 또한, 제2 분할부(32)는 제1 분할부(31)와 제3 분할부(33)의 사이에서 제1 분할부(31) 및 제3 분할부(33)와 각각 접촉되므로, 제2 분할부(32)가 쉽게 파단되지 않을 수 있다. 따라서, 제1 분할부(31), 제2 분할부(32), 제3 분할부(33)가 연속으로 배치된 구성에서, 제1 분할부(31), 제2 분할부(32), 제3 분할부(33)를 효율적으로 제거하기 위해서는, 제2 분할부(32)가 가장 마지막에 제거되는 것이 바람직하다.

일 예로서, 제1 분할부(31) 및 제3 분할부(33)가 동시에 가압되어 제거될 수 있다. 그런 다음, 제2 분할부(31)가 가압되어 제거될 수 있다. 이를 위해, 도 10에 도시된 바와 같이, 제1 분할부(31)를 가압하기 위한 가압부(652)의 가압면이 위치되는 평면(A1)과 제3 분할부(33)를 가압하기 위한 가압부(652)의 가압면이 위치되는 평면(A1)은 동일 평면에 위치될 수 있다. 그리고, 제1 분할부(31) 및 제3 분할부(33)를 가압하기 위한 가압부(652)의 가압면이 위치되는 평면(A1)은 제2 분할부(32)를 가압하기 위한 가압부(652)의 가압면이 위치되는 평면(A3)에 비하여 기판(S)에 더 가깝게 위치될 수 있다.

다른 예로서, 제3 분할부(33)가 먼저 가압되어 제거된 다음, 제1 분할부(31)가 가압되어 제거되고, 제1 분할부(31)가 가압되어 제거된 다음, 제2 가압부(32)가 가압되어 제거될 수 있다. 이를 위해, 도 11에 도시된 바와 같이, 제3 분할부(33)를 가압하기 위한 가압부(652)의 가압면이 위치되는 평면(A1)은 제1 분할부(31)를 가압하기 위한 가압부(652)의 가압면이 위치되는 평면(A2)에 비하여 기판(S)에 더 가깝게 위치될 수 있다. 그리고, 제1 분할부(31)를 가압하기 위한 가압부(652)의 가압면이 위치되는 평면(A2)은 제2 분할부(32)를 가압하기 위한 가압부(652)의 가압면이 위치되는 평면(A3)에 비하여 기판(S)에 더 가깝게 위치될 수 있다.

한편, 제1 분할부(31) 내부에 복수의 제3 스크라이빙 라인(21)이 형성되는 경우, 제1 분할부(31)는 복수의 제3 스크라이빙 라인(21)에 의해 복수의 하위 분할부(311, 312)로 구획될 수 있다. 그리고, 복수의 하위 분할부(311, 312)는 노치(N)의 중심에 배치되는 제1 하위 분할부(311)와, 제1 하위 분할부(311)의 양측에 배치되는 제2 하위 분할부(312)를 포함할 수 있다. 이때, 제1 분할부(31)가 효과적으로 가압되어 제거될 수 있도록, 제1 하위 분할부(311)가 먼저 가압되어 제거된 다음, 제2 하위 분할부(312)가 후속하여 가압되어 제거되는 것이 바람직하다. 즉, 제1 분할부(31) 내부의 복수의 제3 스크라이빙 라인(21)에 의해 구획된 복수의 하위 분할부(311, 312)는 노치(N)의 중심으로부터 노치(N)의 양쪽 방향으로 순차적으로 가압되어 제거될 수 있다. 이를 위해, 제1 하위 분할부(311) 및 제2 하위 분할부(312)에 각각 대응하는 가압부(652)의 가압면의 기판(S)에 대한 위치가 서로 다르게 설정될 수 있다.

본 발명의 실시예에 따른 기판 가공 장치에 따르면, 기판(S)의 유효부(S1) 및 더미부(S2)의 경계를 따라 직선부(11) 및 곡선부(12)를 갖는 제1 스크라이빙 라인(10)을 형성하고, 제1 스크라이빙 라인(10)의 곡선부(12)의 외측에 기판(S)의 중심으로부터 방사상으로 연장되는 제2 스크라이빙 라인(20)을 형성하고, 제2 스크라이빙 라인(20)에 대응되게 지지부(613)가 위치된 상태에서 지지부(613)의 반대쪽에서 제2 스크라이빙 라인(20)에 의해 구획되는 복수의 분할부(30)를 각각 가압함으로써, 기판(S)의 유효부(S1)의 크랙이나 파손을 일으키지 않고 기판(S)의 유효부(S1)로부터 더미부(S2)를 원활하고 효율적으로 제거할 수 있다.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 기판 가공 장치에 따르면, 더미부(S2)를 제거하기 위한 연삭 및 세정을 필요로 하지 않는다. 따라서, 연삭 공정 및 세정 공정으로 인해 발생할 수 있는 종래 기술에 따른 문제를 방지할 수 있다.

또한, 본 발명의 실시예에 따른 기판 가공 장치에 따르면, 기판(S)에 노치(N)를 형성하기 위해 노치(N) 내부를 이루는 더미부(S2)에 복수의 제3 스크라이빙 라인(21)을 추가적으로 형성하고, 복수의 제3 스크라이빙 라인(21)에 의해 구획된 복수의 하위 분할부(311, 312)를 노치(N)의 중심으로부터 양측으로 순차적으로 가압하여 제거할 수 있으므로, 기판(S)에 노치(N)를 용이하게 형성할 수 있다.

본 발명의 바람직한 실시예가 예시적으로 설명되었으나, 본 발명의 범위는 이와 같은 특정 실시예에 한정되지 않으며, 특허청구범위에 기재된 범주 내에서 적절하게 변경될 수 있다.

10: 제1 스크라이빙 라인
20: 제2 스크라이빙 라인
21: 제3 스크라이빙 라인
30: 분할부
40: 기판 정렬 유닛
50: 스크라이빙 유닛
60: 브레이킹 유닛
70: 기판 전달 유닛
80: 언로딩 유닛
S: 기판
S1: 유효부
S2: 더미부

Claims

기판의 유효부 및 더미부 사이의 경계를 따라 연장되며 상기 기판의 내부를 향하여 내입되는 노치를 포함하는 제1 스크라이빙 라인을 형성하고, 상기 노치의 내부에 복수의 제2 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 유닛; 및
상기 제2 스크라이빙 라인에 의해 구획되는 복수의 분할부를 각각 가압하여 상기 노치 내의 더미부를 상기 유효부로부터 분리하는 브레이킹 유닛을 포함하고,
상기 노치 내에서 상기 제1 스크라이빙 라인은 복수의 곡선부를 포함하고,
상기 노치 내에서 상기 복수의 제2 스크라이빙 라인은 상기 제1 스크라이빙 라인의 복수의 곡선부에 각각 대응되게 형성되고,
상기 더미부는, 상기 복수의 제2 스크라이빙 라인에 의해, 상기 노치의 중심에 배치되는 제1 분할부와, 상기 제1 분할부의 양측에 배치되는 한 쌍의 제2 분할부와, 상기 한 쌍의 제2 분할부의 외측에 배치되는 복수의 제3 분할부로 구획되고,
상기 브레이킹 유닛은,
상기 기판이 안착되는 테이블; 및
상기 제1 분할부, 상기 제2 분할부 및 상기 제3 분할부를 각각 가압하도록 배치되는 복수의 가압부를 포함하는 가압 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 가공 장치.
기판의 유효부 및 더미부 사이의 경계를 따라 연장되며 상기 기판의 내부를 향하여 내입되는 노치를 포함하는 제1 스크라이빙 라인을 형성하고, 상기 노치의 내부에 복수의 제2 스크라이빙 라인을 형성하는 기판 가공 장치에 있어서,
상기 노치 내에서 상기 제1 스크라이빙 라인은 복수의 곡선부를 포함하고,
상기 노치 내에서 상기 복수의 제2 스크라이빙 라인은 상기 제1 스크라이빙 라인의 복수의 곡선부에 각각 대응되게 형성되며,
상기 더미부는, 상기 복수의 제2 스크라이빙 라인에 의해, 상기 노치의 중심에 배치되는 제1 분할부와, 상기 제1 분할부의 양측에 배치되는 한 쌍의 제2 분할부와, 상기 한 쌍의 제2 분할부의 외측에 배치되는 복수의 제3 분할부로 구획되고,
상기 제1 분할부에는 한 쌍의 제3 스크라이빙 라인이 형성되고,
상기 제1 분할부는 상기 제3 스크라이빙 라인에 의해 상기 노치의 중심에 배치되는 제1 하위 분할부와, 상기 제1 하위 분할부의 양측에 배치되는 한 쌍의 제2 하위 분할부로 구획되며,
상기 제2 스크라이빙 라인의 가상의 연장선과 상기 제3 스크라이빙 라인의 가상의 연장선은 상기 기판의 외부에서 교차하는 것을 특징으로 하는 기판 가공 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 브레이킹 유닛은, 상기 가압 부재를 상기 테이블에 안착된 상기 기판으로 이동시키는 이동 모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 가공 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 제1 분할부, 상기 제2 분할부 및 상기 제3 분할부를 미리 정해진 순서로 가압하도록 상기 복수의 가압부의 가압면의 상기 기판에 대한 위치가 상이하게 설정되는 것을 특징으로 하는 기판 가공 장치.
기판의 유효부 및 더미부 사이의 경계를 따라 연장되며 상기 기판의 내부를 향하여 내입되는 노치를 포함하는 제1 스크라이빙 라인을 형성하고, 상기 노치의 내부에 복수의 제2 스크라이빙 라인을 형성하는 스크라이빙 유닛; 및
상기 제2 스크라이빙 라인에 의해 구획되는 복수의 분할부를 각각 가압하여 상기 노치 내의 더미부를 상기 유효부로부터 분리하는 브레이킹 유닛을 포함하고,
상기 노치 내에서 상기 제1 스크라이빙 라인은 복수의 곡선부를 포함하고,
상기 노치 내에서 상기 복수의 제2 스크라이빙 라인은 상기 제1 스크라이빙 라인의 복수의 곡선부에 각각 대응되게 형성되고,
상기 더미부는, 상기 복수의 제2 스크라이빙 라인에 의해, 상기 노치의 중심에 배치되는 제1 분할부와, 상기 제1 분할부의 양측에 배치되는 한 쌍의 제2 분할부와, 상기 한 쌍의 제2 분할부의 외측에 배치되는 복수의 제3 분할부로 구획되고,
상기 제1 분할부에는 한 쌍의 제3 스크라이빙 라인이 형성되고,
상기 제1 분할부는 상기 제3 스크라이빙 라인에 의해 상기 노치의 중심에 배치되는 제1 하위 분할부와, 상기 제1 하위 분할부의 양측에 배치되는 한 쌍의 제2 하위 분할부로 구획되고,
상기 브레이킹 유닛은,
상기 기판이 안착되는 테이블; 및
상기 제1 하위 분할부, 상기 제2 하위 분할부, 상기 제2 분할부 및 상기 제3 분할부를 각각 가압하도록 배치되는 복수의 가압부를 포함하는 가압 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 가공 장치.
청구항 5에 있어서,
상기 브레이킹 유닛은, 상기 가압 부재를 상기 테이블에 안착된 상기 기판으로 이동시키는 이동 모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 가공 장치.
청구항 5에 있어서,
상기 제1 하위 분할부, 상기 제2 하위 분할부, 상기 제2 분할부 및 상기 제3 분할부를 미리 정해진 순서로 가압하도록 상기 복수의 가압부의 가압면의 상기 기판에 대한 위치가 상이하게 설정되는 것을 특징으로 하는 기판 가공 장치.
청구항 1 또는 5에 있어서,
상기 테이블에는 상기 기판의 더미부를 지지하는 지지부가 구비되는 것을 특징으로 하는 기판 가공 장치.
청구항 8에 있어서,
상기 지지부는 상기 스크라이빙 라인 상의 어느 한 지점에 대응하게 위치되는 것을 특징으로 하는 기판 가공 장치.
청구항 8에 있어서,
상기 복수의 가압부는 서로로부터 이격되게 배치되어 상기 지지부를 사이에 두고 상기 지지부의 반대쪽에서 상기 지지부 양측의 더미부를 가압하는 것을 특징으로 하는 기판 가공 장치.
청구항 1 또는 5에 있어서,
상기 스크라이빙 유닛 및 상기 브레이킹 유닛 사이에 배치되어 상기 스크라이빙 라인에 의해 제1 및 제2 스크라이빙 라인이 형성된 기판을 상기 스크라이빙 유닛으로부터 상기 브레이킹 유닛으로 전달하는 기판 전달 유닛을 더 포함하는 기판 가공 장치.