KR101397106B1

KR101397106B1 - 기판 정렬 시스템

Info

Publication number: KR101397106B1
Application number: KR1020140008004A
Authority: KR
Inventors: 김종만
Original assignee: (주) 인터왯테크놀러지
Priority date: 2014-01-22
Filing date: 2014-01-22
Publication date: 2014-05-28

Abstract

본 발명은 인쇄회로기판의 제조공정에서 기판(PCB)을 제조 공정별로 반송할 때, 기판을 정위치에 정렬하는 시스템에 관한 기술로서, 기판의 반송과정에서 오작동을 방지하는 한편 기판의 파손과 불량을 방지하고, 아울러 기판을 판판하게 펴서 웨이브를 없애므로 제조공정의 효율성과 생산성을 높이는 기판 정렬 시스템에 관한 기술이다.
이러한 본 발명의 실시예에 따른 주요 구성은, 모터의 구동력을 전달받아 회전하는 다수의 구동롤러가 설치되고, 프레임 위에 놓여 설치되는 유닛박스; 상기 유닛박스의 내부공간에 설치되고, 다수의 구동롤러를 통해 진입된 기판을 상승시키는 승강유닛; 상기 유닛박스에 설치되고, 기판의 단부를 밀어 전후 위치를 정렬하는 전후정렬유닛; 상기 유닛박스의 내부공간에 설치되고, 기판의 양측 단부를 밀어 좌우 위치를 정렬하는 좌우정렬유닛; 및 상기 유닛박스의 내부공간에 설치되고, 기판의 가장자리를 당겨 기판을 판판하게 펴는 플랫유닛;을 포함하여 구현된다.

Description

기판 정렬 시스템 {Circuit board alignment system}

본 발명은 인쇄회로기판의 제조공정에서 기판(PCB)을 제조 공정별로 반송할 때, 기판을 정위치에 정렬하는 시스템에 관한 기술로서, 보다 구체적으로 설명하면 구동롤러를 통해 제조공정으로 진입하는 기판을 승강유닛이 작동하여 상승시킨 다음, 전후정렬유닛과 좌우정렬유닛이 작동하여 기판의 전후 및 좌우 위치를 정렬하고, 플랫유닛이 작동하여 기판을 판판하게 펴서 정위치에 배치함으로써, 기판의 반송과정에서 오작동을 방지하는 한편 기판의 파손과 불량을 방지하고, 아울러 기판을 판판하게 펴서 웨이브를 없애므로 제조공정의 효율성과 생산성을 높이는 기판 정렬 시스템에 관한 기술이다.

일반적으로 인쇄회로기판(PCB; printed circuit board)은 보드의 일면 또는 양면에 동막을 형성한 후, 감광수지를 포함하는 드라이필름(dry film)을 도포하고, 회로패턴을 이용하여 감광시킨다. 이후 현상하여 에칭공정을 수행하면, 감광된 영역의 동막이 제거되지 않아 원하는 기능을 수행하는 회로패턴이 형성된다.

이러한 인쇄회로기판(이하 "기판"이라 칭함)의 제작공정 중에서 패턴이 형성되기 이전에 드라이필름에 이물질이 흡착될 경우, 회로패턴이 단락되거나 원하지 않는 패턴형상이 발생할 수 있으므로 기판은 드라이필름과 마이라필름(Mylar film) 등의 보호필름을 함께 라미네이팅하여 노광공정 이전에 반송과정에서 이물질이 드라이필름에 흡착되는 것을 방지한다.

아울러, 기판에 회로패턴을 형성하기 위한 노광공정이 수행되면, 기판에 부착된 보호필름을 제거하고, 이후 현상공정과 에칭공정을 수행함에 따라 현상된 회로패턴 이외의 동막층을 제거하여 원하는 기능으로 회로패턴을 갖는 기판의 제작이 완료된다.

종래 기판 제조공정에서 여러 공정을 단계적으로 수행하기 위해서는 기판을 전공정에서 후공정으로 반송 또는 이송하는 과정이 필요하며, 이러한 과정은 기판 반송장치에 의해 수행되고, 최근 기판 반송장치는 대부분 지그(Jig)에 기판을 척킹시킨 상태에서 다수개의 반송용 롤러로 지그를 전공정에서 후공정으로 이송하여 여러 제조공정이 단계적으로 수행된다.

상기에서 기판 반송장치는 반송용 롤러를 타고 수평상으로 이송되는 기판을 로봇암이 진공 흡착하여 지그의 클램프에 수직상으로 척킹하며, 이상태에서 지그가 제조 공정별로 이송하면서 노광공정과 현상공정 및 에칭공정 등을 단계적으로 수행하게 된다.

그러나, 종래 기판 반송장치에서 로봇암이 기판을 진공 흡착하여 지그의 클램프에 척킹할 경우, 기판이 정확한 위치에 정렬되지 않기 때문에 기판의 척킹과정에서 오동작이 발생하는 한편 이로 인하여 기판이 파손되고, 불량이 발생하는 문제점이 있었다.

즉, 기판이 정위치에 정렬된 상태에서 로봇암이 기판을 진공 흡착하여 지그의 클램프에 척킹하면, 별다른 문제가 발생하지 않으나, 로봇암이 기판을 진공 흡착할 때, 기판이 정확한 위치에 정렬되지 않으므로 척킹과정에서 오동작이 발생하는 문제점이 있었다.

대한민국 등록특허 제10-0452936호. 대한민국 등록특허 제10-0609260호. 대한민국 등록특허 제10-1284111호. 대한민국 등록실용신안 제20-0458076호.

본 발명은 종래 기판 반송장치에서 로봇암이 기판을 진공 흡착하여 지그의 클램프에 척킹할 경우, 기판이 정확한 위치에 정렬되지 않으므로 척킹과정에서 오동작이 발생하는 한편 이로 인하여 기판이 파손되고, 불량이 발생하는 문제들을 개선하고자 안출된 기술로서, 구동롤러를 통해 제조공정으로 진입하는 기판을 승강유닛이 상승시킨 다음, 전후정렬유닛과 좌우정렬유닛이 기판의 전후 및 좌우 위치를 정렬하고, 플랫유닛이 기판을 판판하게 펴서 정위치에 배치함에 따라 기판의 반송과정에서 오작동을 방지하는 한편 기판의 파손과 불량을 방지하고, 기판을 판판하게 펴서 웨이브를 없애므로 제조공정의 효율성과 생산성을 높이는 기판 정렬 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 상기와 같은 소기의 목적을 실현하고자,

모터의 구동력을 전달받아 회전하는 다수의 구동롤러가 설치되고, 프레임 위에 놓여 설치되는 유닛박스; 상기 유닛박스의 내부공간에 설치되고, 다수의 구동롤러를 통해 진입된 기판을 상승시키는 승강유닛; 상기 유닛박스에 설치되고, 기판의 단부를 밀어 전후 위치를 정렬하는 전후정렬유닛; 상기 유닛박스의 내부공간에 설치되고, 기판의 양측 단부를 밀어 좌우 위치를 정렬하는 좌우정렬유닛; 및 상기 유닛박스의 내부공간에 설치되고, 기판의 가장자리를 당겨 기판을 판판하게 펴는 플랫유닛;을 포함하여 구현된다.

또한 본 발명의 실시예로서, 승강유닛은, 유닛박스의 내부공간에 고정 설치된 실린더; 상기 실린더의 상부에 설치되고, 상하로 승강하는 승강판; 상기 승강판의 상부에 로드로 고정 설치되고, 다수개의 롤러홀이 형성되어 구동롤러의 상부에 위치하는 정렬패널;을 포함하여 구현된다.

또한 본 발명의 실시예로서, 전후정렬유닛은, 유닛박스의 일측부에 브라켓으로 고정 설치된 실린더; 상기 실린더의 구동축에 설치되고, 기판을 전후 방향으로 밀어 이송하는 이송패드;를 포함하여 구현된다.

또한 본 발명의 실시예로서, 좌우정렬유닛은, 유닛박스의 바닥 위에 설치된 베이스패널; 상기 베이스패널의 양측부에 고정 설치된 실린더; 상기 실린더의 구동축에 설치되고, 수직상으로 위치한 이송패널; 및 상기 이송패널의 상부에 수직상으로 설치된 다수개의 정렬로드;를 포함하여 구현된다.

또한 본 발명의 실시예로서, 플랫유닛은, 유닛박스의 바닥 위에 설치된 베이스패널; 상기 베이스패널의 사방 모서리 부분에 각각 고정 설치된 이송실린더; 상기 이송실린더의 구동축에 결합 설치된 승강실린더; 상기 승강실린더의 구동축에 수직상으로 설치된 작동암; 및 상기 작동암의 단부에 결합 설치된 플랫패드;를 포함하여 구현된다.

본 발명의 실시예에 따르면, 제조공정으로 진입하는 기판을 승강유닛이 상승시킨 다음, 전후정렬유닛과 좌우정렬유닛이 기판의 전후 및 좌우 위치를 정렬하고, 플랫유닛이 기판을 판판하게 펴서 정위치에 배치함으로써, 로봇암이 기판을 진공 흡착하여 지그의 클램프에 척킹할 경우, 오작동을 방지하는 한편 기판의 파손과 불량을 방지하는 효과가 있다.

아울러, 본 발명의 실시예는 승강유닛과 전후정렬유닛 및 좌우정렬유닛을 통해 정위치에 정렬된 기판을 플랫유닛이 판판하게 펴서 웨이브를 없애므로 척킹작동의 정밀도를 더욱 높이고, 여러 제조공정에서 효율성과 생산성을 한층 높이는 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 설치상태를 나타낸 평면도.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 설치상태를 나타낸 요부 정단면도.
도 3은 본 발명에서 기판의 진입상태를 나타낸 정단면도.
도 4는 본 발명에서 승강유닛의 작동상태를 나타낸 정단면도.
도 5는 본 발명에서 전후정렬유닛의 작동상태를 나타낸 정단면도.
도 6은 본 발명에서 전후정렬유닛의 작동상태를 나타낸 요부 평면도.
도 7은 본 발명에서 좌우정렬유닛의 작동상태를 나타낸 정단면도.
도 8은 본 발명에서 좌우정렬유닛의 작동상태를 나타낸 요부 평면도.
도 9는 본 발명에서 플랫유닛의 설치상태를 나타낸 요부 평면도.
도 10은 본 발명에서 플랫유닛의 작동상태를 나타낸 정단면도.
도 11은 본 발명에서 플랫유닛의 작동상태를 나타낸 요부 확대도.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 주요 구성을 살펴보면, 모터(12)의 구동력을 전달받아 회전하는 다수의 구동롤러(13)가 설치되고, 프레임(11) 위에 놓여 설치되는 유닛박스(10); 상기 유닛박스(10)의 내부공간에 설치되고, 다수의 구동롤러(13)를 통해 진입된 기판(P)을 상승시키는 승강유닛(20); 상기 유닛박스(10)에 설치되고, 기판(P)의 단부를 밀어 전후 위치를 정렬하는 전후정렬유닛(30); 상기 유닛박스(10)의 내부공간에 설치되고, 기판(P)의 양측 단부를 밀어 좌우 위치를 정렬하는 좌우정렬유닛(40); 및 상기 유닛박스(10)의 내부공간에 설치되고, 기판(P)의 가장자리를 당겨 기판(P)을 판판하게 펴는 플랫유닛(50);을 포함하여 이루어진다.

상기 실시예의 주요 구성에서 유닛박스(10)는 도면에서 도 1 내지 도 3과 같이, 내부공간이 구비된 장방체의 형태로 구성되어 프레임(11) 위에 놓여 설치되며, 내부공간의 상부에 일정한 간격으로 다수의 구동롤러(13)가 설치되고, 상기 구동롤러(13)는 수평상으로 배치되는 한편 내부공간의 바닥에 설치된 모터(12)의 구동력을 체인으로 전달받아 회전하도록 설치된다.

상기에서 유닛박스(10)는 내부공간과 일측부에 후술하는 승강유닛(20)ㆍ전후정렬유닛(30)ㆍ좌우정렬유닛(40)ㆍ플랫유닛(50)이 설치되며, 기판(P)이 진입하는 방향에 기판을 반송하는 기능의 로딩부(100)가 배치되고, 상기 로딩부(100)는 구동롤러(13)와 높이가 동일하게 다수의 반송롤러(110)가 설치된다.

상기 로딩부(100)는 다수의 반송롤러(110)가 일정한 간격으로 이격되어 수평상으로 배치되며, 반송롤러(110)가 모터(미도시)의 구동력을 전달받아 회전함에 따라 기판(P)을 유닛박스(10)로 이송하여 진입시킨다.

따라서, 유닛박스(10)는 로딩부(100)의 반송롤러(110)와 다수의 구동롤러(13)를 통해 내부공간으로 기판(P)이 진입하며, 상기 기판(P)이 정위치에 진입하면, 감지센서(미도시)의 작동으로 모터(12)와 구동롤러(13)가 정지하는 한편 기판(P)의 진입이 정지된다.

또한 상기 실시예의 주요 구성에서 승강유닛(20)은 유닛박스(10)의 내부공간으로 진입된 기판(P)을 상승시키는 기능으로서, 상기 승강유닛(20)은 도면에서 도 2 내지 도 4와 같이, 유닛박스(10)의 내부공간에 고정 설치된 실린더(21)와; 상기 실린더(21)의 상부에 설치되고, 상하로 승강하는 승강판(22)과; 상기 승강판(22)의 상부에 로드(24)로 고정 설치되고, 다수개의 롤러홀(25)이 형성되어 구동롤러(13)의 상부에 위치하는 정렬패널(23);을 포함하여 이루어진다.

상기에서 실린더(21)는 유닛박스(10)의 내부공간 바닥에 고정 설치되고, 유압 또는 공압장치로부터 작동될 수 있으며, 상부의 구동축에 상하로 승강하는 승강판(22)이 설치되는 한편 승강판(22)의 상부에 장방형으로 구성된 정렬패널(23)이 설치된다.

상기 승강판(22)의 상부에 다수개의 로드(24)가 고정 설치되고, 상기 로드(24)의 상부에 정렬패널(23)이 고정 설치되며, 여기서 정렬패널(23)은 구동롤러(13)의 상부에 위치하고, 다수의 구동롤러(13)와 대응하게 다수개의 롤러홀(25)이 형성되어 구동롤러(13)와 간섭되지 않도록 설치되며, 상부면이 구동롤러(13)의 상단부 아래에 위치한다.

따라서, 승강유닛(20)은 구동롤러(13)의 상단부 아래에 정렬패널(23)의 상부면이 위치함에 따라 정렬패널(23) 위에 기판(P)이 위치하고, 이상태에서 실린더(21)가 작동하면, 승강판(22)과 정렬패널(23)이 상승하므로 구동롤러(13) 위에 놓였던 기판(P)이 정렬패널(23) 위에 놓이면서 상승하게 된다.

또한 상기 실시예의 주요 구성에서 전후정렬유닛(30)은 기판(P)의 전후 위치를 정렬하는 기능으로서, 상기 전후정렬유닛(30)은 도면에서 도 3 내지 도 6과 같이, 유닛박스(10)의 일측부에 브라켓(32)으로 고정 설치된 실린더(31)와; 상기 실린더(31)의 구동축에 설치되고, 기판(P)을 전후 방향으로 밀어 이송하는 이송패드(33);를 포함하여 이루어진다.

상기에서 전후정렬유닛(30)을 구성하는 실린더(31)는 유압 또는 공압장치로부터 작동될 수 있으며, 로딩부(100)의 반대 방향에 위치하도록 유닛박스(10)의 일측부에 브라켓(32)으로 고정 설치되고, 로딩부(100) 방향으로 위치한 실린더(31)의 구동축에 이송패드(33)가 설치된다.

상기에서 이송패드(33)는 가능한 실린더(31)의 폭보다 크고, 기판(P)의 폭보다 작게 구성되며, 실린더(31)가 구동할 경우, 로딩부(100) 방향으로 작동하여 기판(P)을 전후 방향으로 밀어 이송하게 된다.

따라서, 전후정렬유닛(30)은 승강유닛(20)의 작동으로 정렬패널(23) 위에 기판(P)이 놓여 상승한 상태에서 감지센서(미도시) 또는 컨트롤러의 제어로 실린더(31)가 구동하며, 상기 실린더(31)의 구동으로 이송패드(33)가 정렬패널(23) 위에 놓인 기판(P)을 전후 방향으로 밀어서 정위치에 배치한다.

또한 상기 실시예의 주요 구성에서 좌우정렬유닛(40)은 기판(P)의 좌우 위치를 정렬하는 기능으로서, 상기 좌우정렬유닛(40)은 도면에서 도 7 내지 도 8과 같이, 유닛박스(10)의 바닥 위에 설치된 베이스패널(41)과; 상기 베이스패널(41)의 양측부에 고정 설치된 실린더(42)와; 상기 실린더(42)의 구동축에 설치되고, 수직상으로 위치한 이송패널(43)과; 상기 이송패널(43)의 상부에 수직상으로 설치된 다수개의 정렬로드(44);를 포함하여 이루어진다.

상기에서 베이스패널(41)은 유닛박스(10)의 바닥면 위로 이격되게 적정한 높이로 고정 설치되고, 상기 베이스패널(41)의 양측부 위에 각각 실린더(42)가 설치되며, 상기 실린더(42)는 유압 또는 공압장치로부터 작동될 수 있고, 실린더(42)의 구동축에 수직상으로 이송패널(43)이 설치된다.

상기에서 이송패널(43)은 기판(P)의 좌우 방향에 이격되어 위치하고, 상기 이송패널(43)의 상부에 수직상으로 다수개의 정렬로드(44)가 설치되며, 여기서 정렬로드(44)는 기판(P)의 양측 단부를 안쪽 방향으로 밀어서 기판(P)의 좌우를 정위치로 배치한다.

따라서, 좌우정렬유닛(40)은 전후정렬유닛(30)이 작동하여 기판(P)의 전후 위치가 정렬된 다음, 감지센서(미도시) 또는 컨트롤러의 제어로 실린더(42)가 구동하며, 상기 실린더(42)의 구동으로 다수개의 정렬로드(44)가 안쪽 방향으로 작동하여 기판(P)의 양측 단부를 밀어서 좌우 위치를 정렬하게 된다.

이때, 양측부에 각각 위치한 실린더(42)는 어느 한쪽 실린더가 먼저 구동하여 기판(P)을 일측 방향으로 밀어 이송한 다음, 다른 한쪽 실린더가 구동하여 기판(P)을 타측 방향으로 밀어서 정위치에 정렬함이 바람직하다.

또한 상기 실시예의 주요 구성에서 플랫유닛(50)은 기판(P)을 판판하게 펴서 웨이브를 없애는 기능으로서, 상기 플랫유닛(50)은 도면에서 도 9 내지 도 11과 같이, 유닛박스(10)의 바닥 위에 설치된 베이스패널(51)과; 상기 베이스패널(51)의 사방 모서리 부분에 각각 고정 설치된 이송실린더(52)와; 상기 이송실린더(52)의 구동축에 결합 설치된 승강실린더(53)와; 상기 승강실린더(53)의 구동축에 수직상으로 설치된 작동암(54)과; 상기 작동암(54)의 단부에 결합 설치된 플랫패드(55);를 포함하여 이루어진다.

상기에서 베이스패널(51)은 유닛박스(10)의 바닥면 위로 이격되게 적정한 높이로 고정 설치되고, 가능한 장방체의 형태로 구성됨이 바람직하며, 상기 베이스패널(51)의 사방 모서리 부분 위에 각각 이송실린더(52)가 고정 설치되고, 이송실린더(52)의 구동축에 상하 수직상으로 승강실린더(53)가 결합 설치된다.

한편 승강실린더(53)의 구동축에 "ㄱ" 형태로 구성된 작동암(54)이 결합 설치되고, 상기 작동암(54)의 상단부에 도면에서 도 11과 같이, 플랫패드(55)가 결합 설치되며, 여기서 플랫패드(55)는 기판(P)의 사방 모서리 부분에 밀착하여 기판을 외측으로 당겨서 펴는 기능으로, 밀착력이 우수한 우레탄이나 고무 재질로 구성됨이 바람직하다.

따라서, 플랫유닛(50)은 좌우정렬유닛(40)이 작동하여 기판(P)의 좌우 위치가 정렬된 다음, 감지센서(미도시) 또는 컨트롤러의 제어로 사방 모서리 부분에 위치한 이송실린더(52)가 구동하며, 상기 이송실린더(52)의 구동으로 승강실린더(53)와 작동암(54)이 안쪽 방향으로 작동하고, 다음으로 승강실린더(53)가 하강 작동하여 작동암(54)을 하강시키므로 기판(P)의 모서리 부분 위에 플랫패드(55)가 밀착된다.

다음으로 사방 모서리 부분에 위치한 이송실린더(52)가 각각 외측 방향으로 작동함으로써, 플랫패드(55)에 밀착된 기판(P)의 모서리 부분을 외측 방향으로 당겨서 기판을 판판하도록 펴고, 다음으로 승강실린더(53)가 상승 작동하는 한편 이송실린더(52)가 외측 방향으로 작동하여 원위치로 복귀한다.

이러한 구성으로 이루어진 본 발명의 실시예는 구동롤러를 통해 유닛박스 안으로 진입한 기판을 승강유닛이 작동하여 상승시킨 다음, 전후정렬유닛과 좌우정렬유닛이 작동하여 기판의 전후 및 좌우 위치를 정렬하고, 플랫유닛이 작동하여 기판을 판판하게 펴서 정위치에 배치함으로써, 로봇암이 기판을 진공 흡착하여 지그의 클램프에 척킹할 경우, 보다 정확한 작동으로 오작동을 방지하는 한편 기판의 파손과 불량을 방지하게 된다.

아울러, 본 발명의 실시예는 기판의 전후 및 좌우 위치를 정렬하고, 플랫유닛이 기판을 판판하게 펴서 웨이브를 없애므로 척킹작동의 정밀도를 더욱 높이고, 여러 제조공정에서 효율성과 생산성을 높이게 된다.

상기에서 본 발명의 바람직한 실시예를 참고로 설명 하였으며, 상기의 실시예에 한정되지 아니하고, 상기의 실시예를 통해 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변경으로 실시할 수 있는 것이다.

10: 유닛박스 11: 프레임
12: 모터 13: 구동롤러
20: 승강유닛 21: 실린더
22: 승강판 23: 정렬패널
30: 전후정렬유닛 31: 실린더
32: 브라켓 33: 이송패드
40: 좌우정렬유닛 41: 베이스패널
42: 실린더 43: 이송패널
44: 정렬로드 50: 플랫유닛
51: 베이스패널 52: 이송실린더
53: 승강실린더 54: 작동암
55: 플랫패드 100: 로딩부
110: 반송롤러

Claims

모터(12)의 구동력을 전달받아 회전하는 다수의 구동롤러(13)가 설치되고, 프레임(11) 위에 놓여 설치되는 유닛박스(10); 상기 유닛박스(10)의 내부공간에 설치되고, 다수의 구동롤러(13)를 통해 진입된 기판(P)을 상승시키는 승강유닛(20); 상기 유닛박스(10)에 설치되고, 기판(P)의 단부를 밀어 전후 위치를 정렬하는 전후정렬유닛(30); 상기 유닛박스(10)의 내부공간에 설치되고, 기판(P)의 양측 단부를 밀어 좌우 위치를 정렬하는 좌우정렬유닛(40); 및 상기 유닛박스(10)의 내부공간에 설치되고, 기판(P)의 가장자리를 당겨 기판(P)을 판판하게 펴는 플랫유닛(50);을 포함하고,
상기 승강유닛(20)은,
유닛박스(10)의 내부공간에 고정 설치된 실린더(21); 상기 실린더(21)의 상부에 설치되고, 상하로 승강하는 승강판(22); 및 상기 승강판(22)의 상부에 로드(24)로 고정 설치되고, 다수개의 롤러홀(25)이 형성되어 구동롤러(13)의 상부에 위치하는 정렬패널(23);을 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 기판 정렬 시스템.
삭제
제1항에 있어서,
전후정렬유닛(30)은,
유닛박스(10)의 일측부에 브라켓(32)으로 고정 설치된 실린더(31); 상기 실린더(31)의 구동축에 설치되고, 기판(P)을 전후 방향으로 밀어 이송하는 이송패드(33);를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 기판 정렬 시스템.
제1항에 있어서,
좌우정렬유닛(40)은,
유닛박스(10)의 바닥 위에 설치된 베이스패널(41); 상기 베이스패널(41)의 양측부에 고정 설치된 실린더(42); 상기 실린더(42)의 구동축에 설치되고, 수직상으로 위치한 이송패널(43); 및 상기 이송패널(43)의 상부에 수직상으로 설치된 다수개의 정렬로드(44);를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 기판 정렬 시스템.
제1항에 있어서,
플랫유닛(50)은,
유닛박스(10)의 바닥 위에 설치된 베이스패널(51); 상기 베이스패널(51)의 사방 모서리 부분에 각각 고정 설치된 이송실린더(52); 상기 이송실린더(52)의 구동축에 결합 설치된 승강실린더(53); 상기 승강실린더(53)의 구동축에 수직상으로 설치된 작동암(54); 및 상기 작동암(54)의 단부에 결합 설치된 플랫패드(55);를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 기판 정렬 시스템.