KR101188425B1 - 식각 테이프 및 이를 이용한 액정 표시 장치용 어레이기판의 제조 방법 - Google Patents

식각 테이프 및 이를 이용한 액정 표시 장치용 어레이기판의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

식각 테이프 및 이를 이용한 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조 방법이 제공된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 식각 테이프는 베이스 시트 및 베이스 시트 상에 젤(gel) 상태로 식각 물질이 도포되어 있는 식각 물질층을 포함한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 식각 테이프를 이용한 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조 방법은 투명 절연 기판상의 박막 트랜지스터 영역에 게이트 전극, 스토리지 커패시터 영역에 스토리지 커패시터의 제 1 전극, 및 게이트 패드부 영역에 게이트 배선을 형성하는 단계, 상기 게이트 전극 상에 게이트 절연막, 액티브층, 오믹 접촉층, 소스 전극 및 드레인 전극을 형성하고, 상기 스토리지 커패시터의 제 1 전극 상에 유전체층과 스토리지 커패시터의 제 2 전극을 형성하며, 데이터 패드부 영역에 데이터 배선을 형성하는 단계, 상기 드레인 전극과 상기 스토리지 커패시터의 제 2 전극 상에 화소 전극을 형성하고, 상기 게이트 배선 상에 게이트 패드 전극을 형성하며, 상기 데이터 배선 상에 데이터 패드 전극을 형성하는 단계, 상기 박막 트랜지스터 영역, 스토리지 커패시터 영역, 게이트 패드부 영역, 및 데이터 패드부 영역의 전면에 보호층을 형성하는 단계, 및 상기 게이트 패드 전극 상에 형성된 보호층과 상기 데이터 패드 전극 상에 형성된 보호층을 식각 테이프를 이용하여 식각함으로써 콘택홀을 형성하는 단계를 포함한다.
액정 표시 장치, 식각 테이프, 어레이 기판

Description

식각 테이프 및 이를 이용한 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조 방법{Etching tape and method for fabricating array substrate of liquid crystal display using the etching tape}
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 식각 테이프의 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 식각 테이프를 이용하여 식각 공정을 수행하는 예시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 식각 테이프를 이용한 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조 방법을 설명하기 위한 액정 표시 장치용 어레이 기판의 평면 구조의 예시도이다.
도 4a 내지 도 4g는 본 발명의 일 실시예에 따른 식각 테이프를 이용한 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조 공정 단계별 각각의 단면도들이다.
(도면의 주요부분에 대한 부호의 설명)
110: 베이스 시트 120: 식각 물질층
130: 보호 시트
본 발명은 식각 테이프 및 이를 이용한 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display; LCD)용 어레이 기판의 제조 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 젤(gel) 상태의 식각 물질이 도포되어 있는 식각 테이프를 이용하여 용이하고 저렴하게 식각 공정을 수행할 수 있는 식각 테이프 및 이를 이용한 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조 방법에 관한 것이다.
오늘날과 같은 정보화 사회에 있어서 전자 표시 장치의 역할은 매우 중요해지고 있으며, 각종의 전자 표시 장치가 다양한 산업 분야에 광범위하게 사용되고 있다. 이러한 전자 표시 장치 분야는 발전을 거듭하여 다양화하는 정보화 사회의 요구에 적합한 새로운 기능을 갖는 전자 표시 장치가 계속 개발되고 있다. 일반적으로 전자 표시 장치란 다양한 정보를 시각을 통하여 인간에게 전달하는 장치를 말한다. 즉, 전자 표시 장치란 각종의 전자 기기로부터 출력되는 전자적 정보 신호를 인간의 시각으로 인식할 수 있는 광 정보 신호로 변화하는 전자 장치를 말하며, 인간과 전자 기기를 연결하는 가교적인 역할을 담당하는 장치라고 할 수 있다.
이러한 전자 표시 장치에 있어서, 광 정보 신호가 발광 현상에 의해서 표시되는 경우에는 발광형 표시 장치로 일컬어지며, 반사, 산란, 간섭 현상 등에 의하여 광 변조로 표시되는 경우에는 수광형 표시 장치로 일컬어진다. 능동형 표시 장치로도 불리는 발광형 표시 장치로는 음극선관 표시 장치(Cathode Ray Tube; CRT), 플라즈마 표시 장치(Plasma Display Panel; PDP), 유기 이엘 표시 장치(Organic ElectroLuminiscent Display; OELD), 발광 다이오드(Light Emitting Diode; LED) 등을 들 수 있다. 그리고 수동형 표시 장치로 불리는 수광형 표시 장치로는 액정 표시 장치(LCD), 전자 영동 표시 장치(ElectroPhoretic Image Display; EPID) 등을 들 수 있다.
텔레비전이나 컴퓨터 모니터 등에 사용되고 있으며, 가장 오랜 역사를 갖는 표시 장치인 음극선관 표시 장치는 경제성 등의 면에서 가장 높은 시장 점유율을 차지하고 있으나, 무거운 중량, 큰 부피 및 높은 소비 전력 등과 같은 단점을 많이 가지고 있다.
최근에, 반도체 기술의 급속한 진보에 의하여 각종 전자 장치의 저전압화 및 저전력화와 함께 전자 기기의 소형화, 박형화 및 경량화의 추세에 따라 새로운 환경에 적합한 전자 표시 장치로서 평판 패널형 표시 장치에 대한 요구가 급격히 증대되고 있다. 이에 따라 액정 표시 장치(LCD), 플라즈마 표시 장치(PDP), 유기 이엘 표시 장치(OELD) 등과 같은 평판 패널형 표시 장치가 개발되고 있으며, 이러한 평판 패널형 표시 장치 중에서 소형화, 경량화 및 박형화가 용이하며, 낮은 소비 전력 및 낮은 구동 전압을 갖는 액정 표시 장치가 특히 주목 받고 있다.
액정 표시 장치는 공통 전극, 컬러 필터, 블랙 매트릭스 등이 형성되어 있는 컬러 필터 기판과 스위칭 소자, 화소 전극 등이 형성되어 있는 어레이 기판 사이에 이방성 유전율을 갖는 액정 물질을 주입해 놓고, 화소 전극과 공통 전극에 서로 다른 전위를 인가함으로써 액정 물질에 형성되는 전계의 세기를 조정하여 액정 물질의 분자 배열을 변경시키고, 이를 통하여 어레이 기판에 투과되는 빛의 양을 조절함으로써 원하는 화상을 표현하는 표시 장치이다. 이러한 액정 표시 장치는 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor; TFT) 소자를 스위칭 소자로 이용하는 박막 트랜 지스터 액정 표시 장치(TFT LCD)가 주로 사용되고 있다.
종래의 액정 표시 장치용 어레이 기판은 4 개의 마스크를 적용하여 4 번의 사진 공정 및 식각 공정을 통해서 제조되거나, 5 개의 마스크를 적용하여 5 번의 사진 공정 및 식각 공정을 통해서 제조되고 있다.
그런데, 종래의 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조에 소요되는 시간 및 비용에서 마스크를 이용한 사진 공정이 차지하는 비율은 매우 크므로, 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조 시간과 제조 비용을 보다 효과적으로 절감시키기 위해서는 마스크를 이용한 사진 공정의 단계들을 줄일 수 있는 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조 방법이 절실히 요구되고 있다.
따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 젤(gel) 상태의 식각 물질이 도포되어 있는 식각 테이프를 이용하여 식각 공정을 수행함으로써, 마스크를 이용하는 사진 공정을 수행하지 않고, 용이하고 저렴하게 식각 공정을 수행할 수 있는 식각 테이프를 제공하고자 하는 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 다른 기술적 과제는 상기 식각 테이프를 이용하여 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display; LCD)용 어레이 기판의 제조 방법을 제공하고자 하는 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 식각 테이프는 베이스 시트 및 상기 베이스 시트 상에 젤(gel) 상태로 식각 물질이 도포되어 있는 식각 물질층을 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 식각 테이프는 상기 식각 물질층의 상부에 위치하는 보호 시트를 더 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 식각 테이프는 상기 보호 시트가 PET(Poly Ethylene Terephthalate) 필름, PVC(Poly Vinyl Chloride) 필름, PE(Poly Ethylene) 필름 또는 PP(Poly Propylene) 필름인 것이 바람직하다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 식각 테이프는 상기 베이스 시트가 셀로판 필름, 고분자 수지 필름 또는 서스(SUS; Steel Use Stainless) 필름인 것이 바람직하다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 식각 테이프는 상기 식각 물질이 질화실리콘(SiNx)을 식각시키는 식각 물질인 것이 바람직하다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 식각 테이프는 상기 식각 물질이 NH4HF 또는 KOH인 것이 바람직하다.
상기 다른 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 식각 테이프를 이용한 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조 방법은 투명 절연 기판상의 박막 트랜지스터 영역에 게이트 전극, 스토리지 커패시터 영역에 스토리지 커패시터의 제 1 전극, 및 게이트 패드부 영역에 게이트 배선을 형성하는 단계; 상기 게이트 전극 상에 게이트 절연막, 액티브층, 오믹 접촉층, 소스 전극 및 드레인 전극을 형성하고, 상기 스토리지 커패시터의 제 1 전극 상에 유전체층과 스토리지 커패시터의 제 2 전극을 형성하며, 데이터 패드부 영역에 데이터 배선을 형성하는 단계; 상기 드레인 전극과 상기 스토리지 커패시터의 제 2 전극 상에 화소 전극을 형성하고, 상기 게이트 배선 상에 게이트 패드 전극을 형성하며, 상기 데이터 배선 상에 데이터 패드 전극을 형성하는 단계; 상기 박막 트랜지스터 영역, 스토리지 커패시터 영역, 게이트 패드부 영역, 및 데이터 패드부 영역의 전면에 보호층을 형성하는 단계; 및 상기 게이트 패드 전극 상에 형성된 보호층과 상기 데이터 패드 전극 상에 형성된 보호층을 식각 테이프를 이용하여 식각함으로써 콘택홀을 형성하는 단계를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 식각 테이프를 이용한 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조 방법은 상기 콘택홀을 형성하는 단계에서, 상기 식각 테이프는 베이스 시트 및 상기 베이스 시트 상에 상태로 식각 물질이 도포되어 있는 식각 물질층을 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 식각 테이프를 이용한 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조 방법은 상기 콘택홀을 형성하는 단계에서, 상기 베이스 시트는 셀로판 필름, 고분자 수지 필름 또는 서스(SUS; Steel Use Stainless) 필름인 것이 바람직하다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 식각 테이프를 이용한 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조 방법은 상기 보호층을 형성하는 단계에서, 상기 보호층은 질화실리콘(SiNx)으로 형성되고, 상기 콘택홀을 형성하는 단계에서, 상기 식각 물질은 질화실리콘(SiNx)을 식각시키는 식각 물질인 것이 바람직하다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 식각 테이프를 이용한 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조 방법은 상기 콘택홀을 형성하는 단계에서, 상기 식각 물질은 NH4HF 또는 KOH인 것이 바람직하다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 식각 테이프를 이용한 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조 방법은 상기 콘택홀을 형성하는 단계에서, 상기 게이트 패드 전극 상에 형성된 보호층의 상부와 상기 데이터 패드 전극 상에 형성된 보호층의 상부에 상기 식각 테이프를 1 분 ~ 60 분 동안 위치시켜 상기 콘택홀을 형성하는 것이 바람직하다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
도 1을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 식각 테이프에 대해서 설명한다. 도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 식각 테이프의 단면도이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 식각 테이프(100)는, 도 1에 도시된 것처럼, 베이스 시트(110), 식각 물질층(120) 및 보호 시트(130)를 포함한다.
베이스 시트(110) 상에는 젤(gel) 상태의 식각 물질이 도포되어 있는 식각 물질층(120)이 위치하므로, 베이스 시트(110)는 화학적으로 안정적이고 젤 상태의 식각 물질이 효과적으로 도포될 수 있는 셀로판 필름, 고분자 수지 필름 또는 서스(SUS; Steel Use Stainless) 필름 등을 이용하여 구성할 수 있다.
식각 물질층(120)은 베이스 시트(110) 상에 젤 상태의 식각 물질이 도포되어 있어, 식각하고자 하는 영역의 상부에 위치시킴으로써 젤 상태의 식각 물질이 식각하고자 하는 영역 이외에는 영향을 미치지 않으면서, 식각하고자 하는 영역을 효과적으로 식각할 수 있으므로, 마스크를 이용한 사진 공정을 이용하지 않고, 효과적으로 식각 공정을 수행할 수 있다. 이러한 식각 물질층(120)으로 식각 공정을 수행할 수 있는 물질은 예컨대, 질화실리콘(SiNx) 등을 예로 들 수 있다. 따라서, 식각 물질층(120)으로는 질화실리콘 등을 식각시키는 식각 물질이 젤 상태로 도포될 수 있다. 여기에서, 질화실리콘을 식각시키는 식각 물질로는 NH4HF 또는 KOH 등을 이용할 수 있다.
보호 시트(130)는 식각 물질층(120)의 상부에 위치하여 젤 상태의 식각 물질층(120)이 외부와 접촉되는 것을 방지할 수 있다. 그러므로, 식각 공정이 수행되는 경우에는 보호 시트(130)를 제거하여, 식각하고자 하는 영역의 상부에 식각 물질층(120)을 직접 위치시킴으로써, 식각 공정을 수행할 수 있다. 이러한 보호 시트(130)는 PET(Poly Ethylene Terephthalate) 필름, PVC(Poly Vinyl Chloride) 필름, PE(Poly Ethylene) 필름 또는 PP(Poly Propylene) 필름 등을 이용하여 구성할 수 있다.
도 2를 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 식각 테이프를 이용하여 식각 공정을 수행하는 방법에 대해서 설명한다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 식각 테이프를 이용하여 식각 공정을 수행하는 예시도이다.
먼저, 도 2에 도시된 것처럼, 식각되는 물질층(200)의 상부에서 식각하고자 하는 영역(210)의 상부에 식각 테이프(100)의 보호 시트(130)를 제거하여, 식각 물질층(120)을 직접 위치시킨다. 여기에서, 식각하고자 하는 영역(210)을 충분히 식각하기 위해서 식각 테이프(100)의 식각 물질층(120)을 1 분 ~ 60 분 동안 위치시킨다.
다음으로, 식각 테이프(100)를 제거하고, 탈이온수(deionized water; DI water)를 이용하여 잔여하는 식각 물질을 세정한다. 그리고 에어 나이프(air knife)를 이용하여 탈이온수를 건조한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 식각 테이프(100)를 이용하여 식각 공정을 수행하는 경우에는, 식각하고자 하는 영역(210)의 상부에 식각 테이프(100)를 직접 위치시켜 식각 공정을 수행함으로써, 별도의 마스크를 이용하는 사진 공정을 수행하지 않아도 되므로, 식각 공정의 시간과 비용을 효과적으로 절감시킬 수 있다.
이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 식각 테이프를 이용한 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조 방법에 대하여 도 3 및 도 4a 내지 도 4g를 참조하여 상세히 설명한다. 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 식각 테이프를 이용한 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조 방법을 설명하기 위한 액정 표시 장치용 어레이 기판의 평면 구조의 예시도이다. 도 4a 내지 도 4g는 본 발명의 일 실시예에 따른 식각 테이프를 이용한 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조 공정 단계별 각각의 단면도들이다.
도 3을 참조하면, 투명 절연 기판(300) 상에 게이트 배선(311)과 데이터 배선(351)이 매트릭스 형태로 배열된다. 게이트 배선(311)의 일측의 끝단에는 게이트 패드부(Gate Pad)가 형성되고, 데이터 배선(351)의 일측의 끝단에는 데이터 패드부(Data Pad)가 형성되며, 게이트 배선(311)과 데이터 배선(351)의 교차부에는 게이트 전극(312), 액티브층(332), 소스 전극(352) 및 드레인 전극(353) 등을 포함하는 박막 트랜지스터(TFT)가 형성되고, 게이트 배선(311) 상에는 스토리지 커패시터 전극(354)을 포함하는 스토리지 커패시터(Storage)가 형성되어 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 식각 테이프를 이용한 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조 방법은 식각 테이프(101, 102)를 이용하여 게이트 패드부(Gate Pad)와 데이터 패드부(Data Pad)를 형성시킬 수 있다.
먼저, 투명 절연 기판(300) 상에 알루미늄(Al) 또는 구리(Cu) 등을 포함하는 금속 물질을 증착하고, 제 1 마스크를 이용하는 사진 공정과 식각 공정으로 패터닝함으로써, 도4a에 도시된 것처럼, 게이트 패드부(Gate Pad) 영역에는 게이트 배선(311)이 형성되고, 박막 트랜지스터(TFT) 영역에는 게이트 전극(312)이 형성되며, 스토리지 커패시터(Storage) 영역에는 스토리지 커패시터의 제 1 전극(313)이 형성된다.
다음으로, 도 4b에 도시된 것처럼, 상기 결과물 상에 질화실리콘 등의 절연층(320), 비정질 실리콘층(330), 불순물이 도핑된 비정질 실리콘층(340) 및 크롬(Cr) 또는 몰리브덴(Mo) 등을 포함하는 금속 물질층(350)을 순차적으로 증착하고, 제 2 마스크를 이용하는 사진 공정과 식각 공정으로 포토리지스트 패턴(361, 362, 363)을 이용하여 패터닝함으로써, 도 4c에 도시된 것처럼, 데이터 패드부(Data Pad) 영역에는 절연층(321), 반도체층(331, 341) 및 데이터 배선(351)이 형성되고, 박막 트랜지스터(TFT) 영역에는 게이트 전극(312) 상에 게이트 절연막(322), 액티브층(332), 오믹 접촉층(342, 343), 소스 전극(352) 및 드레인 전극(353)이 형성되며, 스토리지 커패시터(Storage) 영역에는 스토리지 커패시터의 제 1 전극(313) 상에 유전체층(323, 333, 344)과 스토리지 커패시터의 제 2 전극(354)이 형성된다. 여기에서, 포토리지스트 패턴(362)은 회절(하프톤; half tone) 마스크를 이용하여 형성되며, 이러한 포토리지스트 패턴(362)을 이용함으로써, 게이트 절연막(322), 액티브층(332), 오믹 접촉층(342, 343), 소스 전극(352) 및 드레인 전극(353)을 동시에 형성할 수 있다. 게이트 절연막(322), 액티브층(332), 오믹 접촉층(342, 343), 소스 전극(352) 및 드레인 전극(353)은 반드시 동시에 형성될 필요는 없으며, 회절(하프톤; half tone) 마스크를 이용하지 않는 경우에는 복수의 단계로 나뉘어 형성되는 것도 가능하다.
다음으로, 상기 결과물 상에 ITO(indium tin oxide) 또는 IZO(indium zinc oxide) 등의 투명 도전 물질을 증착하고, 제 3 마스크를 이용하는 사진 공정과 식각 공정으로 패터닝함으로써, 데이터 패드부(Data Pad) 영역에는 데이터 배선(351) 상에 데이터 패드 전극(371)이 형성되고, 게이트 패드부(Gate Pad) 영역에는 게이트 배선(311) 상에 게이트 패드 전극(372)이 형성되며, 박막 트랜지스터(TFT) 영역 및 스토리지 커패시터(Storage) 영역에는 드레인 전극(353)과 스토리지 커패시터의 제 2 전극(354) 상에 화소 전극(373)이 형성된다.
다음으로, 상기 결과물 상에 질화실리콘을 증착하여, 도 4e에 도시된 것처럼, 보호층(380)을 형성한다.
다음으로, 도 4f에 도시된 것처럼, 데이터 패드부(Data Pad) 영역의 데이터 패드 전극(371) 상에 형성된 보호층(380)과 게이트 패드부(Gate Pad) 영역의 게이트 패드 전극(372) 상에 형성된 보호층(380)을 식각 테이프를 이용하여 식각한다. 즉, 데이터 패드부(Data Pad) 영역의 데이터 패드 전극(371) 상에 형성된 보호층(380)의 상부와 게이트 패드부(Gate Pad) 영역의 게이트 패드 전극(372) 상에 형성된 보호층(380)의 상부에 식각 테이프(101, 102)을 1 분 ~ 60 분 동안 위치시킨다.
여기에서, 식각 테이프(101, 102)는 상술한 것처럼, 베이스 시트 및 식각 물질층을 포함하며, 베이스 시트는 셀로판 필름, 고분자 수지 필름 또는 서스(SUS; Steel Use Stainless) 필름 등을 이용하여 구성할 수 있고, 식각 물질층의 식각 물질은 질화실리콘을 식각시키는 식각 물질이며, 구체적으로 NH4HF 또는 KOH 등을 이용할 수 있다.
다음으로, 식각 테이프(101, 102)를 제거하고, 탈이온수(deionized water; DI water)를 이용하여 잔여하는 식각 물질을 세정한다. 그리고 에어 나이프(air knife)를 이용하여 탈이온수를 건조한다. 그럼으로써, 도 4g에 도시된 것처럼, 데이터 패드부(Data Pad) 영역의 데이터 패드 전극(371) 상에 형성된 보호층(380)과 게이트 패드부(Gate Pad) 영역의 게이트 패드 전극(372) 상에 형성된 보호층(380)을 제거하여, 콘택홀(381, 382)을 형성한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 식각 테이프를 이용한 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조 방법은 식각하고자 하는 영역의 상부에 식각 테이프(101, 102)를 직접 위치시켜 식각 공정을 수행함으로써, 별도의 마스크를 이용하는 사진 공정을 수행 하지 않아도 되므로, 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조 시간과 비용을 효과적으로 절감시킬 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 따라서 이상에서 기술한 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세히 설명하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이므로, 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 하며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 일 실시예에 따른 식각 테이프를 이용하여 식각 공정을 수행하는 경우에는, 식각하고자 하는 영역의 상부에 식각 테이프를 직접 위치시켜 식각 공정을 수행함으로써, 별도의 마스크를 이용하는 사진 공정을 수행하지 않아도 되므로, 식각 공정의 시간과 비용을 효과적으로 절감시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 식각 테이프를 이용한 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조 방법은 상술한 식각 테이프를 이용하여 식각 공정을 수행함으로써, 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조 시간과 비용을 효과적으로 절감시킬 수 있다.

Claims (12)

  1. 베이스 시트; 및
    상기 베이스 시트 상에 젤(gel) 상태로 식각 물질이 도포되어 있는 식각 물질층을 포함하는 것을 특징으로 하는 식각 테이프.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 식각 물질층의 상부에 위치하는 보호 시트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 식각 테이프.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 보호 시트는 PET(Poly Ethylene Terephthalate) 필름, PVC(Poly Vinyl Chloride) 필름, PE(Poly Ethylene) 필름 또는 PP(Poly Propylene) 필름인 것을 특징으로 하는 식각 테이프.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 베이스 시트는 셀로판 필름, 고분자 수지 필름 또는 서스(SUS; Steel Use Stainless) 필름인 것을 특징으로 하는 식각 테이프.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 식각 물질은 질화실리콘(SiNx)을 식각시키는 식각 물질인 것을 특징으로 하는 식각 테이프.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 식각 물질은 NH4HF 또는 KOH인 것을 특징으로 하는 식각 테이프.
  7. 투명 절연 기판상의 박막 트랜지스터 영역에 게이트 전극, 스토리지 커패시터 영역에 스토리지 커패시터의 제 1 전극, 및 게이트 패드부 영역에 게이트 배선을 형성하는 단계;
    상기 게이트 전극 상에 게이트 절연막, 액티브층, 오믹 접촉층, 소스 전극 및 드레인 전극을 형성하고, 상기 스토리지 커패시터의 제 1 전극 상에 유전체층과 스토리지 커패시터의 제 2 전극을 형성하며, 데이터 패드부 영역에 데이터 배선을 형성하는 단계;
    상기 드레인 전극과 상기 스토리지 커패시터의 제 2 전극 상에 화소 전극을 형성하고, 상기 게이트 배선 상에 게이트 패드 전극을 형성하며, 상기 데이터 배선 상에 데이터 패드 전극을 형성하는 단계;
    상기 박막 트랜지스터 영역, 스토리지 커패시터 영역, 게이트 패드부 영역, 및 데이터 패드부 영역의 전면에 보호층을 형성하는 단계; 및
    상기 게이트 패드 전극 상에 형성된 보호층과 상기 데이터 패드 전극 상에 형성된 보호층을 식각 테이프를 이용하여 식각함으로써 콘택홀을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 식각 테이프를 이용한 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조 방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 콘택홀을 형성하는 단계에서,
    상기 식각 테이프는 베이스 시트 및 상기 베이스 시트 상에 상태로 식각 물질이 도포되어 있는 식각 물질층을 포함하는 것을 특징으로 하는 식각 테이프를 이용한 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조 방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 콘택홀을 형성하는 단계에서,
    상기 베이스 시트는 셀로판 필름, 고분자 수지 필름 또는 서스(SUS; Steel Use Stainless) 필름인 것을 특징으로 하는 식각 테이프를 이용한 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조 방법.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 보호층을 형성하는 단계에서,
    상기 보호층은 질화실리콘(SiNx)으로 형성되고,
    상기 콘택홀을 형성하는 단계에서,
    상기 식각 물질은 질화실리콘(SiNx)을 식각시키는 식각 물질인 것을 특징으로 하는 식각 테이프를 이용한 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조 방법.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 콘택홀을 형성하는 단계에서,
    상기 식각 물질은 NH4HF 또는 KOH인 것을 특징으로 하는 식각 테이프를 이용한 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조 방법.
  12. 제8항에 있어서,
    상기 콘택홀을 형성하는 단계에서,
    상기 게이트 패드 전극 상에 형성된 보호층의 상부와 상기 데이터 패드 전극 상에 형성된 보호층의 상부에 상기 식각 테이프를 1 분 ~ 60 분 동안 위치시켜 상기 콘택홀을 형성하는 것을 특징으로 하는 식각 테이프를 이용한 액정 표시 장치용 어레이 기판의 제조 방법.
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