KR101104174B1 - 진직도 측정 방법 및 진직도 측정 장치 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 19
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 87
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 59
- 230000003278 mimic effect Effects 0.000 claims abstract description 22
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims abstract description 19
- 230000002068 genetic effect Effects 0.000 claims abstract description 17
- 241001465754 Metazoa Species 0.000 claims abstract description 9
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 claims abstract description 8
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 7
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 5
- 230000003044 adaptive effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000035772 mutation Effects 0.000 description 2
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- 제1 방향으로 배열되고 상대 위치가 고정된 3개의 변위계를 측정 대상물에 대향시키고, 상기 변위계 및 상기 측정 대상물 중의 일방인 가동물을 타방인 고정물에 대해서 제1 방향으로 이동시키면서, 3개의 변위계로부터 각각 측정 대상물의 표면에서 제1 방향으로 뻗어 있는 측정 대상선을 따라 배열되는 3개의 피측정점까지의 거리를 측정하는 공정과,상기 측정 대상선을 따르는 표면 프로파일, 상기 가동물에 고정된 기준점의 궤적인 모방 곡선의 프로파일, 및 상기 가동물의 이동에 따른 피칭 성분의 프로파일 중 2개의 프로파일로 규정되는 해의 후보를 복수 개 결정하는 공정과,상기 표면 프로파일, 상기 모방 곡선의 프로파일, 및 상기 피칭 성분의 프로파일 중 상기 해의 후보로 규정되지 않은 프로파일에 기초하여 정의되는 평가 함수의 값을 적응도로 하여 상기 복수의 해의 후보에 유전적 알고리즘을 적용하여 가장 적응도가 높은 해의 후보를 추출하는 공정을 가지는 진직도 측정 방법.
- 청구항 1에 있어서,상기 모방 곡선의 프로파일 및 상기 피칭 성분의 프로파일에 의해 상기 해의 후보를 결정하고, 상기 표면 프로파일을 이용하여 상기 평가 함수를 정의하는 진직도 측정 방법.
- 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,상기 3개의 변위계에 의한 측정 결과로부터 각각 제1, 제2, 및 제3 표면 프로파일을 산출하고,상기 제1 표면 프로파일과 상기 제2 표면 프로파일의 차분을 구하고, 상기 차분으로부터 0차 성분 및 1차 성분을 제거한 후 제1 분산을 구하며,상기 제2 표면 프로파일과 상기 제3 표면 프로파일의 차분을 구하고, 그 차분으로부터 0차 성분 및 1차 성분을 제거한 후 제2 분산을 구하며,상기 제1 분산과 상기 제2 분산에 기초하여 상기 평가 함수를 정의하는 진직도 측정 방법.
- 측정 대상물을 지지하는 테이블과,제1 방향으로 배열되고 상기 측정 대상물의 표면에서 상기 제1 방향으로 배열되는 피측정점까지의 거리를 각각 측정하는 3개의 변위계를 포함한 센서 헤드와,상기 센서 헤드 및 상기 테이블 중의 일방인 가동물을 타방인 고정물에 대해서 상기 제1 방향을 따라 이동 가능하게 지지하는 안내기구와,상기 3개의 변위계로 측정된 측정 데이터에 기초하여 상기 제1 방향에 평행한 측정 대상선을 따르는 상기 표면의 프로파일을 구하는 제어장치를 가지며,상기 제어장치는,상기 가동물에 고정된 기준점의 궤적인 모방 곡선을 따라 상기 가동물을 이동시키면서, 3개의 변위계의 각각에 의해 상기 측정 대상선을 따르는 표면상의 피측정점까지의 거리를 측정해 측정 데이터를 취득하는 공정과,상기 측정 대상선을 따르는 표면 프로파일, 상기 모방 곡선의 프로파일, 및 상기 가동물의 피칭 성분의 프로파일 중 2개의 프로파일로 규정되는 해의 후보를 복수 개 정의하는 공정과,나머지 하나의 프로파일을 이용하여 정의된 평가 함수의 값을 적응도로 하여 상기 복수의 해의 후보에 유전적 알고리즘을 적용하여 가장 적응도가 높은 해의 후보를 추출하는 공정을 실행하는 진직도 측정 장치.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008277596A JP5100612B2 (ja) | 2008-10-29 | 2008-10-29 | 真直度測定方法及び真直度測定装置 |
JPJP-P-2008-277596 | 2008-10-29 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20100047800A KR20100047800A (ko) | 2010-05-10 |
KR101104174B1 true KR101104174B1 (ko) | 2012-01-12 |
Family
ID=42118328
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020090100032A KR101104174B1 (ko) | 2008-10-29 | 2009-10-21 | 진직도 측정 방법 및 진직도 측정 장치 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7827003B2 (ko) |
JP (1) | JP5100612B2 (ko) |
KR (1) | KR101104174B1 (ko) |
CN (1) | CN101726278B (ko) |
DE (1) | DE102009050664B4 (ko) |
TW (1) | TWI417511B (ko) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6199205B2 (ja) * | 2014-03-05 | 2017-09-20 | 住友重機械工業株式会社 | 真直形状測定方法及び真直形状測定装置 |
EP3154024B1 (en) * | 2014-06-03 | 2023-08-09 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Human detection system for construction machine |
JP6352833B2 (ja) * | 2015-02-26 | 2018-07-04 | 住友重機械工業株式会社 | 形状計測装置、加工装置及び形状計測方法 |
CN105937886B (zh) * | 2015-03-04 | 2020-01-10 | 住友重机械工业株式会社 | 形状测量装置、加工装置及形状测量装置的校正方法 |
JP6444783B2 (ja) * | 2015-03-18 | 2018-12-26 | 住友重機械工業株式会社 | 形状計測装置、加工装置及び形状計測装置の校正方法 |
CN109099877A (zh) * | 2018-06-29 | 2018-12-28 | 湖北汽车工业学院 | 基于天牛须搜索算法的空间圆柱度误差评定方法 |
CN114858039A (zh) * | 2022-05-30 | 2022-08-05 | 共享智能装备有限公司 | 一种导轨直线度的检测装置及方法 |
CN115096243B (zh) * | 2022-06-14 | 2023-08-18 | 哈尔滨工业大学 | 云适应遗传算法寻找最优回转轴的标准器同轴度测量方法 |
CN117190919B (zh) * | 2023-11-07 | 2024-02-13 | 湖南科天健光电技术有限公司 | 一种管道直线度测量方法及测量系统 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07146125A (ja) * | 1993-11-26 | 1995-06-06 | Hitachi Zosen Corp | 真直度測定装置 |
JPH07260440A (ja) * | 1994-03-18 | 1995-10-13 | Ngk Insulators Ltd | 外形形状測定方法及び装置 |
JP2005121370A (ja) | 2003-10-14 | 2005-05-12 | Canon Inc | 表面形状測定装置および表面形状測定方法 |
JP2006337112A (ja) | 2005-05-31 | 2006-12-14 | Nagase Integrex Co Ltd | 逐次3点法における零点誤差補正方法及び零点誤差補正装置 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61139712A (ja) * | 1984-12-13 | 1986-06-27 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 真直度測定方法 |
JPH01107105A (ja) * | 1987-10-20 | 1989-04-25 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 真直度形状測定法 |
JP2960013B2 (ja) * | 1996-07-29 | 1999-10-06 | 慧 清野 | 移動物体の検出用目盛及びこれを用いた移動物体の検出装置 |
DE19638758A1 (de) * | 1996-09-13 | 1998-03-19 | Rubbert Ruedger | Verfahren und Vorrichtung zur dreidimensionalen Vermessung von Objekten |
US5816895A (en) * | 1997-01-17 | 1998-10-06 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Surface grinding method and apparatus |
JP2003254747A (ja) | 2002-02-28 | 2003-09-10 | Mitsutoyo Corp | 真直度測定法 |
DE102005037837A1 (de) * | 2005-08-08 | 2007-02-15 | Daimlerchrysler Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Erstellung eines Messplans zur Vermessung eines 3D-Messobjekts |
JP4909548B2 (ja) * | 2005-09-01 | 2012-04-04 | 株式会社ミツトヨ | 表面形状測定装置 |
DE102006020384B4 (de) * | 2006-04-28 | 2008-04-10 | Bundesrepublik Deutschland, vertr. durch d. Bundesministerium f. Wirtschaft und Technologie, dieses vertreten durch d. Präsidenten d. Physikalisch-Technischen Bundesanstalt | Vorrichtung zur Vermessung der Topographie einer Oberfläche |
JP2008277596A (ja) | 2007-05-01 | 2008-11-13 | Micro Engineering Inc | 表面キズ欠陥検査装置 |
-
2008
- 2008-10-29 JP JP2008277596A patent/JP5100612B2/ja active Active
-
2009
- 2009-10-20 CN CN2009101794712A patent/CN101726278B/zh active Active
- 2009-10-21 KR KR1020090100032A patent/KR101104174B1/ko active IP Right Grant
- 2009-10-26 DE DE102009050664.0A patent/DE102009050664B4/de not_active Expired - Fee Related
- 2009-10-26 TW TW098136155A patent/TWI417511B/zh active
- 2009-10-28 US US12/607,540 patent/US7827003B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07146125A (ja) * | 1993-11-26 | 1995-06-06 | Hitachi Zosen Corp | 真直度測定装置 |
JPH07260440A (ja) * | 1994-03-18 | 1995-10-13 | Ngk Insulators Ltd | 外形形状測定方法及び装置 |
JP2005121370A (ja) | 2003-10-14 | 2005-05-12 | Canon Inc | 表面形状測定装置および表面形状測定方法 |
JP2006337112A (ja) | 2005-05-31 | 2006-12-14 | Nagase Integrex Co Ltd | 逐次3点法における零点誤差補正方法及び零点誤差補正装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE102009050664B4 (de) | 2015-10-22 |
KR20100047800A (ko) | 2010-05-10 |
CN101726278B (zh) | 2012-02-01 |
TWI417511B (zh) | 2013-12-01 |
US7827003B2 (en) | 2010-11-02 |
US20100106455A1 (en) | 2010-04-29 |
CN101726278A (zh) | 2010-06-09 |
JP5100612B2 (ja) | 2012-12-19 |
TW201017095A (en) | 2010-05-01 |
DE102009050664A1 (de) | 2010-09-23 |
JP2010107262A (ja) | 2010-05-13 |
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A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
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FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20151217 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Annual fee payment |
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|
FPAY | Annual fee payment |
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FPAY | Annual fee payment |
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FPAY | Annual fee payment |
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