JP6352833B2 - 形状計測装置、加工装置及び形状計測方法 - Google Patents
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- G01B21/20—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring contours or curvatures, e.g. determining profile
Description
図1は、本実施形態に係る形状計測装置が搭載された加工装置200の構成を例示する図である。
図2は、加工装置200に搭載されている形状計測装置100の構成を例示する図である。図2に示されるように、形状計測装置100は、制御装置20、センサヘッド30、表示装置40を含む。
次に、形状計測装置100において物体12の表面形状を求める方法について説明する。図4は、表面形状の計測方法について説明するための図である。
図5は、実施形態における形状計測処理のフローチャートを例示する図である。
図8は、実施形態における補間処理のフローチャートを例示する図である。
20 制御装置
23 ギャップデータ算出部(ギャップ算出手段)
25 補間処理部(補間手段)
27 形状算出部(形状算出手段)
30 センサヘッド(検出器)
31a 第1変位センサ(変位計)
31b 第2変位センサ(変位計)
31c 第3変位センサ(変位計)
40 表示装置(表示手段)
100 形状計測装置
200 加工装置
Claims (5)
- 3つの変位計が一列に配設された検出器で計測対象物を走査し、前記計測対象物の表面形状を計測する形状計測装置であって、
前記3つの変位計のうち中央の変位計による測定値と他の変位計による測定値との差異からギャップデータを求めるギャップ算出手段と、
前記ギャップデータの平均値及び標準偏差を求め、前記ギャップデータにおいて前記標準偏差に基づいて設定される範囲外の値を前記平均値で補間する補間処理を、前記標準偏差の変化率が予め設定される値以下になるまで繰り返し実行する補間手段と、
前記補間処理が実行された前記ギャップデータに基づいて、前記計測対象物の表面形状を算出する形状算出手段と、を備える
ことを特徴とする形状計測装置。 - 前記補間手段は、前記補間処理が実行された前記ギャップデータにおいて、前記平均値で補間された補間データの前後を含む補間領域の値を、前記補間領域の前記補間データの前後それぞれの平均値を用いて線形補間する
ことを特徴とする請求項1に記載の形状計測装置。 - 前記ギャップデータが前記範囲外の値を含む場合に、前記計測対象物の表面に異物が存在することを表示する表示手段を備える
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の形状計測装置。 - 請求項1から3の何れか一項に記載の形状計測装置を備える
ことを特徴とする加工装置。 - 3つの変位計が一列に配設された検出器で計測対象物を走査し、前記計測対象物の表面形状を計測する形状計測方法であって、
前記3つの変位計のうち中央の変位計による測定値と他の変位計による測定値との差異からギャップデータを求めるギャップ算出ステップと、
前記ギャップデータの平均値及び標準偏差を求め、前記ギャップデータにおいて前記標準偏差に基づいて設定される範囲外の値を前記平均値で補間する補間処理を、前記標準偏差の変化率が予め設定される値以下になるまで繰り返し実行する補間ステップと、
前記補間処理が実行された前記ギャップデータに基づいて、前記計測対象物の表面形状を算出する形状算出ステップと、を備える
ことを特徴とする形状計測方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015036783A JP6352833B2 (ja) | 2015-02-26 | 2015-02-26 | 形状計測装置、加工装置及び形状計測方法 |
KR1020160018399A KR101701084B1 (ko) | 2015-02-26 | 2016-02-17 | 형상계측장치, 가공장치 및 형상계측방법 |
TW105104767A TWI600879B (zh) | 2015-02-26 | 2016-02-18 | Shape measuring device, processing device and shape measuring method |
CN201610102657.8A CN105928482B (zh) | 2015-02-26 | 2016-02-24 | 形状测量装置、加工装置及形状测量方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015036783A JP6352833B2 (ja) | 2015-02-26 | 2015-02-26 | 形状計測装置、加工装置及び形状計測方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016156793A JP2016156793A (ja) | 2016-09-01 |
JP6352833B2 true JP6352833B2 (ja) | 2018-07-04 |
Family
ID=56825819
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015036783A Active JP6352833B2 (ja) | 2015-02-26 | 2015-02-26 | 形状計測装置、加工装置及び形状計測方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6352833B2 (ja) |
KR (1) | KR101701084B1 (ja) |
CN (1) | CN105928482B (ja) |
TW (1) | TWI600879B (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7260871B2 (ja) * | 2018-10-16 | 2023-04-19 | ナブテスコ株式会社 | 変位センサ |
JP7212559B2 (ja) * | 2019-03-18 | 2023-01-25 | 住友重機械工業株式会社 | 形状測定装置及び形状測定方法 |
CN111940843A (zh) * | 2020-07-29 | 2020-11-17 | 南京理工大学 | 基于非接触测量的大型结构件智能切削系统及方法 |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0634360A (ja) * | 1992-07-20 | 1994-02-08 | Nippon Steel Corp | 鋼板の形状測定方法 |
FI92529C (fi) * | 1993-10-19 | 1994-11-25 | Sitra Foundation | Menetelmä sylinterimäisen kappaleen mittaamiseksi |
FR2727198A1 (fr) * | 1994-11-18 | 1996-05-24 | Otis Elevator Co | Capteur de distance et notamment du positionnement des cabines d'ascenseur |
JPH0942941A (ja) * | 1995-08-03 | 1997-02-14 | Nissan Motor Co Ltd | 三次元形状測定方法および装置 |
JPH11230735A (ja) * | 1998-02-12 | 1999-08-27 | Nikon Corp | 座標測定装置のデータ処理方法 |
JP2003254747A (ja) | 2002-02-28 | 2003-09-10 | Mitsutoyo Corp | 真直度測定法 |
JP2006236031A (ja) * | 2005-02-25 | 2006-09-07 | Seiko Epson Corp | ロボット軌跡制御方法及び装置並びにロボット軌跡制御方法のプログラム |
JP2007333556A (ja) * | 2006-06-15 | 2007-12-27 | Micro Engineering Inc | 逐次多点式真直度測定法および測定装置 |
US8024068B2 (en) * | 2006-08-04 | 2011-09-20 | Hurco Companies, Inc. | Machine tool control system |
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JP2009063541A (ja) * | 2007-09-10 | 2009-03-26 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | 幾何学量計測方法及び幾何学量計測装置 |
JP5277692B2 (ja) * | 2008-03-31 | 2013-08-28 | 株式会社ジェイテクト | ポストプロセス定寸制御装置 |
JP5100612B2 (ja) * | 2008-10-29 | 2012-12-19 | 住友重機械工業株式会社 | 真直度測定方法及び真直度測定装置 |
JP5100613B2 (ja) * | 2008-10-29 | 2012-12-19 | 住友重機械工業株式会社 | 真直度測定方法及び真直度測定装置 |
CN102221354B (zh) * | 2011-04-02 | 2013-01-09 | 中南大学 | 一种多测点浮动定位表面不平顺测量方法 |
CN102495961B (zh) * | 2011-12-05 | 2014-08-27 | 山东电力研究院 | 简化的测量过程统计控制方法 |
KR101266394B1 (ko) * | 2011-12-16 | 2013-05-22 | 한국과학기술연구원 | 거리측정 센서의 입사각 영향에 따른 오차 보정방법 |
TW201326741A (zh) * | 2011-12-20 | 2013-07-01 | Metal Ind Res & Dev Ct | 探針量測補償方法 |
CN103871102B (zh) * | 2014-03-28 | 2016-11-16 | 南京大学 | 一种基于高程点和道路轮廓面的道路三维精细建模方法 |
CN103900504A (zh) * | 2014-04-10 | 2014-07-02 | 华中科技大学 | 纳米尺度下的实时三维视觉信息反馈方法 |
-
2015
- 2015-02-26 JP JP2015036783A patent/JP6352833B2/ja active Active
-
2016
- 2016-02-17 KR KR1020160018399A patent/KR101701084B1/ko active IP Right Grant
- 2016-02-18 TW TW105104767A patent/TWI600879B/zh active
- 2016-02-24 CN CN201610102657.8A patent/CN105928482B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN105928482A (zh) | 2016-09-07 |
TW201631295A (zh) | 2016-09-01 |
KR101701084B1 (ko) | 2017-01-31 |
JP2016156793A (ja) | 2016-09-01 |
TWI600879B (zh) | 2017-10-01 |
CN105928482B (zh) | 2020-09-29 |
KR20160104552A (ko) | 2016-09-05 |
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Legal Events
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A621 | Written request for application examination |
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