KR101102825B1 - Ｌｅｄ 다이 본더의 리드프레임 피딩장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 고속 LED 다이 본더(Die Bonder)에서 레일 안내면을 따라 공급되는 리드프레임을 공정별 작업 위치로 이동시키거나, 혹은 에폭시와 본딩 구간에서 피치(Pitch: 패드(Pad)와 패드 사이의 거리) 단위로 이동하는 피딩 장치에 관한 것으로, 영구 자석이 붙어 있는 고정자와 코일이 감겨 있는 이동자의 리니어 모터(Linear Motor)에 1열의 LM(Linear Motion) 가이드를 조합한 구동부, 리드프레임과 레일 안내면 사이에 마찰을 줄이기 위해 닿는 면적을 최소화한 레일부, 솔레노이드(Solenoid) 장치의 풀(Pull), 푸시(Push) 동작에 구속된 LM 가이드와 스프링을 조합한 형태로 리드프레임을 클램프 할 때 생기는 소음이나 진동을 감소시키고, 클램프 후 레일 안내면을 따라 이동시 미끄러지는 현상을 방지하는 척(Chuck)부, 다양한 리드프레임에 대응하기 위해 레일 폭을 조절하는 폭 가변부 등으로 구성된다.
본 발명에 따라 고속 LED 다이본더의 리드프레임 피딩 장치를 구성하면, 신속하고 정확하게 리드 프레임을 원하는 위치로 이동시키므로 생산성이 향상되고, 불량률이 감소된다. 또한 기존에 보편적으로 사용하던 서보모터와 볼 스크류 구동 방식에 비해 소음이 현격히 줄어 작업 환경이 개선된다.
Figure R1020090098372
다이본더, LED, 피딩장치, 리니어 모터, 리드프레임

Description

ＬＥＤ 다이 본더의 리드프레임 피딩장치{Feeding Device of Lead Frame for Light-emitting Diode Die Bonder}
본 발명은 고속 LED 다이본더의 리드프레임 피딩장치에 관한 것이다.
종래의 다이 본더에 사용된 리드프레임을 이동시키는 피딩장치의 기구적인 조합 형태를 살펴보면, 서보모터, 볼 스크류, LM 가이드 등을 조합한 형태 혹은 서보모터, 벨트, 이송롤러 등을 조합한 형태의 구동 방식이 주로 사용되고, 리드프레임을 클램프 하는 방식은 1쌍의 핑거(Finger), 핀(Pin) 삽입, 롤러(Roller) 구동 등을 이용한 형태가 거의 대부분이다.
그러나 이와 같은 기구적인 조합에 의한 구동 방식이나 클램프 방식을 사용하면 다음과 같은 문제점이 있다.
첫째, 서보모터, 볼 스크류, LM 가이드 등을 조합한 형태의 구동 방식에 의한 피딩 장치는 고속 운동을 하게 되면, 볼 스크류 하우징 내의 볼 구름(순환) 운동에 의해 심한 소음이 발생되고, 연속적으로 목표로 하는 사이클(Cycle) 타임 및 정도를 만족하기가 어렵다.
둘째, 모터를 이용한 롤러 회전 방식은 한 쌍의 롤러가 항상 동일한 속도를 유지할 수 없고, 미끄럼 등의 문제가 발생하기 때문에 정확한 위치에 반복적으로 리드프레임을 공급하기가 곤란하다.
셋째, 롤러나 핀에 의해 리드프레임을 이동시킬 때 롤러나 핀이 닿는 부분에 자국이 생기거나 심한 경우 휘어지기 때문에 원하는 위치에 정확하게 이동시킬 수 없으므로 생산성이 저하된다.
넷째, 리드프레임을 안내하는 전(Front), 후(Rear)면 레일은 각각 동일한 단면 형상의 일체 구조로 에폭시 영역이나 본딩 영역에서 별도의 보조 레일 장치가 없으므로, 공급부터 배출까지 동일한 간격으로 세팅하기가 곤란하다.
다섯째, 피딩 장치를 헤드 고정용 주물 베이스로부터 브라켓을 달아 메어 외팔보 형태로 설치함으로 인해 진동이나 변형에 대한 내구성 확보가 미흡하여, 작업성이 나빠지거나 본딩 불량을 유발한다.
여섯째, 폭 방향의 스트로크 조절 장치가 없기 때문에 리드프레임의 폭 가변뿐만 아니라, MCP(Multi Chip Package) 형태의 리드프레임에 대응할 수 없다.
일곱째, 레일에 공급된 리드프레임을 얼라인(Align) 영역까지 공급하는 장치가 필요하며, 이러한 장치의 추가는 트러블(Troble)을 일으키는 요인이 된다.
상기와 같은 여러 가지 문제점들은 고속 운전 조건에서 리드프레임을 원하는 위치로 이동시키지 못함으로 인해 생산성을 떨어뜨리거나, 에폭시나 칩 본딩시 고객이 요구하는 정도를 만족시킬 수 없으므로, 불량을 초래하는 요인이 된다. 또한, 폭 가변 기능이 없어 MCP 형태의 리드프레임에 대응할 수 없는 단점이 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 고속 고정도에 적합한 리니어 모터와, 리드프레임의 마찰을 줄이는 레일부의 구조, 미끄러지는 현상을 방지하는 클램프부, 레일폭을 조절하는 폭 가변부를 LED 다이본더의 리드프레임 피딩장치에 적용하여 생산성 향상 및 불량률 감소 그리고 작업환경을 개선하는데 있다.
상기와 같은 본 발명의 목적은, 상부에 전면레일을 고정 설치한 메인베이스와;
상기 메인 베이스의 상부에 설치되며 전면레일과 평행하도록 일측에 후면레일을 구비한 베이스와;
상기 메인 베이스와 베이스 사이에 구비되어 베이스를 안내하는 제1 LM가이드와, 상기 베이스의 일측에 장착되어 제1 LM가이드의 안내방향을 따라 베이스를 이송하여 전면레일과 후면레일의 폭을 조절하는 구동부로 이루어진 레일폭 가변부와;
상기 베이스의 상부에 구비되는 리니어 모터부와, 상기 리니어 모터부에 의해 전면레일 및 후면레일의 길이방향과 평행한 방향으로 왕복이동되는 이동지지판을 포함하는 직선이송부와;
상기 이동지지판의 일측에 장착되고, 상기 직선이송부의 동작과 연동되어 전 면레일과 후면레일의 길이방향을 따라 리드프레임을 이송하도록 리드프레임을 클램프하는 클램프부;
를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 LED 다이 본더의 리드프레임 피딩장치와 이하에 서술되는 구성들을 포함하는 것에 의해 달성된다.
본 발명에 따른 LED 다이 본더의 리드프레임 피딩장치에 의하면, 리니어 모터에 엔코더와 리니어 스케일에 의해 레일을 따라 공급되는 리드프레임의 작업위치 오차가 줄어들어 불량률이 감소되고, 고속 운전에서도 소음이 적고, 반복 위치 정도가 크게 향상되어 생산성이 향상된다.
또한, 얼라인용, 에폭시용, 본딩용으로 배치된 3개의 클램프부로 인해 얼라인 영역까지 리드프레임을 공급하는 별도의 장치가 필요 없고, 에폭시 작업과 본딩 작업이 한 프레임 이상의 간격을 두고 독립적으로 진행되기 때문에 에폭시의 정도가 칩 본딩 정도에 크게 영향을 주지 않는 장점이 있다.
또한, 누름판 아래면에 엠보싱형 테사(Tesa) 테이퍼와 우측에 한 개의 파일럿(Pilot) 핀이 설치되어 있어, 1차 얼라인시에는 테사 테이퍼면이 리드프레임에 닿아 자국이나 찍힘뿐만 아니라 미끄러짐도 예방하고, 2차 이동시에는 테사 테이퍼면과 핀에 의해 리드프레임을 신속하고 정확하게 작업영역으로 이동시킴으로 위치정도 및 작업성이 향상된다.
또한, 에폭시용과 본딩용의 누름판의 아래면 좌우측에 두 개의 파일럿 핀을 설치하여 리드프레임의 틀어짐이 방지된다.
또한, 에폭시 영역과 본딩 영역에 리드프레임의 패드배열 형상을 고려하여 제작한 지그(Jig) 형태의 보조레일과 누름장치의 설치로 보다 안정적인 조건에서 에폭시 작업과 본딩 작업을 수행할 수 있다.
또한, 내구성을 확보한 일체 구조 주물 메인 베이스 위에 전면레일은 고정되어 있고, 후면레일은 폭 가변부에 의해 이동되게 함으로써 전면레일과 후면레일 사이의 폭을 가변시켜 필요한 만큼의 폭을 확보함으로써 MCP 형태의 다양한 LED 리드프레임의 폭 변화에 대응 가능한 장점이 있다.
고속 LED 다이본더 공정에서 제품을 생산하는데 걸리는 시간 즉, 택트(Tact) 타임에 가장 큰 영향을 끼치는 요인은 얼마나 빠르고 정확하게 리드프레임을 원하는 위치로 이동시키는가 하는 것이다.
따라서, 본 발명에서는 이를 만족하는 아래와 같은 LED 다이 본더의 리드프레임 피딩장치를 제공한다.
즉, 본 발명에 의한 LED 다이본더의 리드프레임 피딩장치는, 상부에 전면레일(11)을 고정 설치한 메인베이스(10)와; 상기 메인 베이스(10)의 상부에 설치되며 전면레일(11)과 평행하도록 일측에 후면레일(21)을 형성한 베이스(20)와; 상기 메인 베이스(10)와 베이스(20) 사이에 구비되어 베이스(20)를 안내하는 제1 LM가이드(31,32)와, 상기 베이스(20)의 일측에 장착되어 제1 LM가이드(31,32)의 안내방향을 따라 베이스(20)를 이송하여 전면레일(11)과 후면레일(21)의 폭을 조절하는 구동부로 이루어진 레일폭 가변부와; 상기 베이스(20)의 상부에 구비되는 리니어 모 터부와, 상기 리니어 모터부에 의해 전면레일(11) 및 후면레일(21)의 길이방향과 평행한 방향으로 왕복이동되는 이동지지판(51)을 포함하는 직선이송부와; 상기 이동지지판(51)의 일측에 장착되고, 상기 직선이송부의 동작과 연동되어 전면레일과 후면레일의 길이방향을 따라 리드프레임(500)을 이송하도록 리드프레임을 클램프하는 클램프부;를 포함하여 구성되는 것이 특징이다.
여기서, 상기 리니어 모터부는, 상기 레일폭 가변부의 베이스(20)의 상부에 설치되는 리니어 모터 고정자(41)와, 상기 이동지지판(51)의 하측에 장착되어 리니어 모터 고정자(41)의 안내방향으로 이송되는 리니어 모터 이동자(42)를 포함하는 리니어 모터와; 상기 리니어 모터 고정자(41)의 양측으로부터 이격된 위치에 리니어 모터 고정자(41)와 평행하게 설치되어 이동지지판(51)의 일측과 타측을 각각 가이드 하는 제2 LM가이드(61) 및 안내홈(62a)이 형성된 가이드(62)와; 상기 이동지지판(51)의 하측에 장착되어 상기 제2 LM가이드(61)의 안내방향으로 이송되는 블록(70);을 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기와 같은 LED 다이 본더의 리드프레임 피딩장치에 있어서,
상기 후면레일(21)은 상부에 길이방향을 따라 홈(21a)을 형성한 리드프레임 이동면(21b)을 형성하고,
상기 클램프부는 상기 이동지지판(51)의 일측에 장착되는 제3 LM가이드(81)와, 상기 제3 LM가이드(81)의 안내방향을 따라 이송되며 리드프레임(500)의 길이방향측을 누르는 누름판(82)과, 상기 누름판(82)이 제3 LM가이드(81)의 안내방향으로 왕복이송되도록 구동하는 솔레노이드장치(83) 및 스프링부(84)로 구성하며,
상기 누름판의 하부측은 엠보싱형 테사 테이퍼(87)와, 적어도 하나 이상의 파일럿 핀(Pilot pin)(86)을 더 구비하는 것이 바람직하다.
또한, 상기와 같은 LED 다이 본더의 리드프레임 피딩장치에 있어서,
상기 전면레일(11)과 후면레일(21) 사이의 에폭시 영역(X)과 본딩 영역(Y)에는 리드프레임(500)의 하부를 받침하는 보조레일(92,94)과, 상기 보조레일에 리드프레임 경유시 리드프레임의 상부를 누르도록 보조레일의 상부에 구비되는 누름장치(91,93,95)가 구비되는 것이 바람직하다.
이하, 본 발명의 양호한 실시예를 도시한 첨부도면들을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.
도 1 내지 도 9에 도시한 바와 같은 LED 다이 본더의 리드프레임 피딩장치는 크게 메인베이스(10)와, 베이스(20)와, 레일폭 가변부와, 직선이송부와, 클램프부를 포함하여 구성된다.
여기서, 메인베이스(10)는 내구성을 확보하도록 주물 제조한 일체 구조이며, 상부에 전면레일(11)을 고정 설치한다.
베이스(20)는 상기 메인 베이스(10)의 상부에 설치되며 전면레일(11)과 평행하도록 일측에 후면레일(21)을 형성한 구성이다.
상기 베이스에 형성된 후면레일(21)은 도 2에 도시된 바와 같이 상부에 길이방향을 따라 홈(21a)을 형성한 리드프레임 이동면(21b)을 형성한 구성이다. 이와 같은 구성은 리드프레임(500)이 닿는 면적을 줄여주므로 마찰이 줄어드는 효과가 있다.
레일폭 가변부는 상기 메인 베이스(10)와 베이스(20) 사이에 구비되어 베이스(20)를 안내하는 제1 LM가이드(31,32)와, 상기 베이스(20)의 일측에 장착되어 제1 LM가이드(31,32)의 안내방향을 따라 베이스(20)를 이송하여 전면레일(11)과 후면레일(21)의 폭을 조절하는 구동부로 이루어진 구성이다.
직선이송부는 상기 베이스(20)의 상부에 구비되는 리니어 모터부와, 상기 리니어 모터부에 의해 전면레일(11) 및 후면레일(21)의 길이방향과 평행한 방향으로 왕복이동되는 이동지지판(51)을 포함한 구성이다.
상기 직선이송부에서의 상기 리니어 모터부는 도 1,5,7에 도시한 바와 같이 상기 레일폭 가변부의 베이스(20)의 상부에 설치되는 리니어 모터 고정자(41)와 상기 이동지지판(51)의 하측에 장착되어 리니어 모터 고정자(41)의 안내방향으로 이송되는 리니어 모터 이동자(42)를 포함하는 리니어 모터와, 상기 리니어 모터 고정자(41)의 양측으로부터 이격된 위치에 리니어 모터 고정자(41)와 평행하게 설치되어 이동지지판(51)의 일측과 타측을 각각 가이드 하는 제2 LM가이드(61) 및 안내홈(62a)이 형성된 가이드(62)와, 상기 이동지지판(51)의 하측에 장착되어 상기 제2 LM가이드(61)의 안내방향으로 이송되는 블록(70)으로 이루어진 구성이다.
여기서, 리니어 모터 고정자(41)는 영구자석이 붙어 있고, 리니어 모터 이동자(42)는 코일이 감겨져 있다. 그리고 리니어 모터부는 서보제어에서 고정도 위치결정을 할 때 많이 사용되는 리니어스케일이 구비되어 있다.
클램프부는 상기 이동지지판(51)의 일측에 장착되고, 상기 직선이송부의 동 작과 연동되어 전면레일과 후면레일의 길이방향을 따라 리드프레임(500)을 이송하도록 리드프레임을 클램프하는 구성으로, 보다 자세하게는 도 3과, 도 6에 도시한 바와 같이 상기 이동지지판(51)의 일측에 장착되는 제3 LM가이드(81)와, 상기 제3 LM가이드(81)의 안내방향을 따라 이송되며 리드프레임(500)의 길이방향측을 누르는 누름판(82)과, 상기 누름판(82)이 제3 LM가이드(81)의 안내방향으로 왕복이송되도록 구동하는 솔레노이드장치(83) 및 스프링부(84)로 구성하며, 상기 누름판의 하부측은 엠보싱형 테사 테이퍼(87)와, 적어도 하나 이상의 파일럿 핀(Pilot pin)(86)이 구비된다.
한편, 상기 전면레일(11)과 후면레일(21) 사이의 에폭시 영역(X)과 본딩 영역(Y)에는 리드프레임(500)의 하부를 받침하는 보조레일(92,94)과, 상기 보조레일에 리드프레임 경유시 리드프레임의 상부를 누르도록 보조레일의 상부에 구비되는 누름장치(91,93,95)가 구비된다.(도 8 참조)
그리고, 전면레일(11)에는 리드프레임(500)의 초기 위치를 정렬하기 위한 얼라인용 센서(102)와, 리드프레임(500)의 패드 배열 개수를 카운터(Counter)하는 카운터센서(미도시)와, 본딩 헤드부 칩 픽업에 따른 칩 유무 확인용 센서(미도시)와, 본딩 작업이 완료된 리드프레임(500)을 언로더 매거진(미도시)으로 밀어주는 실린더(110)가 설치된다.
이하에서는 상기와 같이 구성된 LED 다이 본더의 리드프레임 피딩장치의 동작관계를 설명한다.
도 1 내지 도 9에 도시된 바와 같은 LED 다이 본더의 리드프레임 피딩장치는 클램프부가 3개이다. 도 1을 기준으로 상부의 클램프부는 얼라인용, 중간부의 클램프부는 에폭시용, 하부의 클램프부는 본딩용이다.
픽업장치(미도시)에 의해 레일부(전면레일(11), 후면레일(21))에 리드프레임(500)이 안치되면, 얼라인용 센서(102)와 얼라인용 클램프부의 조합 구동에 의해 리드프레임(500)이 정렬된다. 즉, 얼라인용 센서(102)가 리드프레임(500)을 감지하면 얼라인용 클램프부가 리드프레임(500)을 클램프하여 레일부의 기준위치에 정렬하는 것이다.
클램프부의 누름판(82)은 솔레노이드장치(83)와 스프링부(84)에 의해 상,하로 이동되어 리드프레임(500)의 길이방향 일측을 누르는 구성으로 솔레노이드장치(83)에 전원이 인가되면 누름판(82)이 상승되고, 전원이 차단되면 스프링부(84)의 스프링 상수(k)의 차이(상부는 값이 크고, 하부는 값이 작다)에 의해 누름판(82)을 하강시켜 리드프레임(500)을 클램프 할 수 있게 한다. 이때 누름판(82)을 상,하로 가이드하는 구성은 제3 LM가이드(81)이고, 클램프부의 누름판(82)의 하부면에 구비된 테이퍼(87) 및 파일럿 핀(86)과(도 6참조), 리드프레임(500)의 길이방향에 형성된 기준홀(501)(도 4참조)은 리드프레임(500)에 닿는 자국이나 찍힘 뿐만아니라 미끄러짐도 예방하면서 리드프레임(500)을 신속하고 정확하게 기준위치로 이동할 수 있게 한다.
이와 같이 얼라인용 클램프부에 의해 리드프레임(500)이 기준위치로 이동되면, 에폭시용 클램프부가 리드프레임(500)을 클램프하여 에폭시 작업 기준위치로 이동시킨후 피치(Pitch: 패드(Pad)와 패드 사이의 거리)단위로 이송시킨다. 에폭시용 클램프부의 누름판(82)의 하부 양측에는 파일럿 핀(86)이 두 개로 구성된다. 이는 리드프레임(500)의 틀어짐을 방지한다. 한편, 얼라인용 클램프부는 이와 같은 과정일 때 또 다른 리드프레임을 클램프하여 기준위치로 이송시키기 위해 최초 위치로 이동된다.
에폭시 작업이 끝나면 본딩용 클램프부가 리드프레임(500)을 클램프하여 본딩 기준위치로 이송시키고, 에폭시용 클램프부와 같이 리드프레임을 피치 단위로 이송시킨다. 이때에는 본딩 헤드부 칩 픽업에 따른 칩 유무 확인용 센서(미도시)를 통해 본딩 작업에 따른 불량 여부를 체크할 수 있고, 본딩작업이 끝나면 실린더(110)가 리드프레임(500)을 언로더 매거진으로 밀어준다.
상기 에폭시 작업이나, 본딩 작업에는 도 8에 도시된 바와 같이 후면레일(21)에서 전면레일(11) 쪽으로 걸쳐지며 리드프레임(500)의 패드 배열과 형상을 고려한 지그 형태의 보조레일(92,94)과, 전면레일(11)에서 후면레일(21)쪽으로 걸쳐진 누름장치(91,93,95)가 리드프레임(500)을 평평하게 함으로써 보다 안정적인 작업환경을 만들어준다.
그리고 도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이 전면레일(11)과 후면레일(21)의 폭은 가변(L1에서 L2로)될 수 있는데 이는 M×N 배열에 맞는 MCP 형태의 다양한 리드프레임에 적용할 수 있도록 고안된 것이다.
폭 가변시에 클램프부와 직선이송부와 베이스는 같이 움직이기 때문에 폭 가변시에는 보조레일과 누름장치만 교체하면 된다.
이상 본 발명이 양호한 실시예와 관련하여 설명되었으나, 본 발명의 기술 분야에 속하는 자들은 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위 내에 다양한 변경 및 수정을 용이하게 실시할 수 있을 것이다. 그러므로 개시된 실시예는 한정적인 관점이 아니라 설명적인 관점에서 고려되어야 하고, 본 발명의 진정한 범위는 전술한 설명이 아니라 특허청구범위에 나타나 있으며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 차이점은 본 발명에 포함된 것으로 해석되어야 할 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 LED 다이 본더의 리드프레임 피딩장치를 나타낸 도면이고,
도 2는 도 1의 A부분 확대도이고,
도 3은 도 1의 B부분 확대도이고,
도 4는 도 1의 C부분 확대도이고,
도 5는 도 1의 측면도이고,
도 6은 도 5의 D부분 확대도이고,
도 7은 도 5의 E부분 확대도이고,
도 8은 도 1의 평면도이고,
도 9는 다양한 폭을 갖는 리드프레임에 대응하기 위해 폭 가변부에 의해 전면레일과 후면레일 사이의 폭이 도 8에 비해 가변된 것을 나타낸 도면이다.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
10: 메인베이스 11: 전면레일
20: 베이스 21: 후면레일
21a: 홈 21b: 이동면
31,32: 제1 LM가이드 41: 리니어 모터 고정자
42: 리니어 모터 이동자 51: 이동지지판
61: 제2 LM가이드 62: 가이드
62a: 안내홈 70: 블록
81: 제3 LM가이드 82: 누름판
83: 솔레노이드장치 84: 스프링부
86: 파일럿 핀 87: 테이퍼
92,94: 보조레일 91,93,95: 누름장치
500: 리드프레임 X: 에폭시 영역
Y: 본딩 영역

Claims (4)

  1. 상부에 전면레일(11)을 고정 설치한 메인베이스(10)와;
    상기 메인 베이스(10)의 상부에 설치되며 전면레일(11)과 평행하도록 일측에 후면레일(21)을 형성한 베이스(20)와;
    상기 메인 베이스(10)와 베이스(20) 사이에 구비되어 베이스(20)를 안내하는 제1 LM가이드(31,32)와, 상기 베이스(20)의 일측에 장착되어 제1 LM가이드(31,32)의 안내방향을 따라 베이스(20)를 이송하여 전면레일(11)과 후면레일(21)의 폭을 조절하는 구동부로 이루어진 레일폭 가변부와;
    상기 베이스(20)의 상부에 구비되는 리니어 모터부와, 상기 리니어 모터부에 의해 전면레일(11) 및 후면레일(21)의 길이방향과 평행한 방향으로 왕복이동되는 이동지지판(51)을 포함하는 직선이송부와;
    상기 이동지지판(51)의 일측에 장착되고, 상기 직선이송부의 동작과 연동되어 전면레일과 후면레일의 길이방향을 따라 리드프레임(500)을 이송하도록 리드프레임을 클램프하는 클램프부;를 포함하되,
    상기 리니어 모터부는 상기 레일폭 가변부의 베이스(20)의 상부에 설치되는 리니어 모터 고정자(41)와, 상기 이동지지판(51)의 하측에 장착되어 리니어 모터 고정자(41)의 안내방향으로 이송되는 리니어 모터 이동자(42)를 포함하는 리니어 모터와,
    상기 리니어 모터 고정자(41)의 양측으로부터 이격된 위치에 리니어 모터 고정자(41)와 평행하게 설치되어 이동지지판(51)의 일측과 타측을 각각 가이드 하는 제2 LM가이드(61) 및 안내홈(62a)이 형성된 가이드(62)와,
    상기 이동지지판(51)의 하측에 장착되어 상기 제2 LM가이드(61)의 안내방향으로 이송되는 블록(70)을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 LED 다이 본더의 리드프레임 피딩장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 후면레일(21)은 상부에 길이방향을 따라 홈(21a)을 형성한 리드프레임 이동면(21b)을 형성하고,
    상기 클램프부는 상기 이동지지판(51)의 일측에 장착되는 제3 LM가이드(81)와, 상기 제3 LM가이드(81)의 안내방향을 따라 이송되며 리드프레임(500)의 길이방향측을 누르는 누름판(82)과, 상기 누름판(82)이 제3 LM가이드(81)의 안내방향으로 왕복이송되도록 구동하는 솔레노이드장치(83) 및 스프링부(84)로 구성하며,
    상기 누름판의 하부측은 엠보싱형 테사 테이퍼(87)와, 적어도 하나 이상의 파일럿 핀(Pilot pin)(86)을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 LED 다이 본더의 리드프레임 피딩장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 전면레일(11)과 후면레일(21) 사이의 에폭시 영역(X)과 본딩 영역(Y)에는 리드프레임(500)의 하부를 받침하는 보조레일(92,94)과, 상기 보조레일에 리드프레임 경유시 리드프레임의 상부를 누르도록 보조레일의 상부에 구비되는 누름장치(91,93,95)가 구비되는 것을 특징으로 하는 LED 다이 본더의 리드프레임 피딩장치.
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