KR200462538Y1 - 리드 프레임 이송 장치 - Google Patents

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KR200462538Y1 KR2020100002757U KR20100002757U KR200462538Y1 KR 200462538 Y1 KR200462538 Y1 KR 200462538Y1 KR 2020100002757 U KR2020100002757 U KR 2020100002757U KR 20100002757 U KR20100002757 U KR 20100002757U KR 200462538 Y1 KR200462538 Y1 KR 200462538Y1
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Abstract

본 고안은 리드 프레임 이송 장치에 관한 것으로서, 리드 프레임에 반도체 칩을 어테칭하거나 본딩할 수 있도록 연속적으로 리드 프레임을 공급 및 이송하는 리드 프레임 이송 장치에 관한 것이다.
본 고안은, 리드 프레임을 가이드 하는 레일의 자중 및 기타 외력에 의한 변형을 방지하는 구조를 가지며, 각각의 그리퍼에 의한 리드 프레임의 이송 가능 범위에 제한이 없는 구조를 가지는 리드 프레임 이송 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 고안의 리드 프레임 이송 장치는, 리드 프레임 이송 장치의 구조를 개선하여 리드 프레임의 이송을 가이드하는 레일의 변형을 방지하여 리드 프레임 이송 작업의 효율을 향상시키는 효과가 있다.
또한, 본 고안의 리드 프레임 이송 장치는, 리드 프레임 이송 장치의 구조를 개선하여 그리퍼가 리드 프레임을 클램핑한 상태에서 이송할 수 있는 범위의 제한이 없으므로, 인접하는 그리퍼들 사이의 이동 범위가 서로 중첩 가능하여 리드 프레임을 더욱 효과적으로 이송할 수 있는 효과가 있다.

Description

리드 프레임 이송 장치{APPARATUS FOR TRANSFERING LEADFRAME}
본 고안은 리드 프레임 이송 장치에 관한 것으로서, 리드 프레임에 반도체 칩을 어테칭하거나 본딩할 수 있도록 연속적으로 리드 프레임을 공급 및 이송하는 리드 프레임 이송 장치에 관한 것이다.
반도체 부품을 제작하는 공정에 있어서, 이른바 후공정은 웨이퍼에서 절단된 각각의 반도체 칩을 패키지에 부착(attaching)하고 와이어 본딩하는 등의 공정으로 이루어진다.
이와 같은 반도체 후공정은 리드 프레임을 이용하여 이루어지는 것이 일반적이다. 리드 프레임은 다양한 구조가 있으나, 프레스 공정에 의해 형성된 금속 박판에 합성수지 패키지(package)가 다수 형성되는 구조인 것이 가장 흔하다. 이와 같이 형성된 리드 프레임을 연속적으로 공급하여 이송하면서, 그 리드 프레임의 각 패키지에 반도체 칩을 부착하고 와이어 본딩을 하거나 기타 다양한 후공정 작업을 하게 된다.
도 1은, 상술한 바와 같이 반도체 후공정을 수행하기 위해서 리드 프레임(10)을 연속적으로 이송하는 리드 프레임 이송 장치의 일례를 도시한 것이다. 도 1에 도시한 것과 같은 리드 프레임 이송 장치는 리드 프레임(10)을 클램핑하는 복수의 그리퍼(8)와 그 그리퍼(8)를 선형적으로 이송하는 리니어 모터를 포함하여 이루어진다. 도 1에 도시된 리드 프레임 이송 장치의 구조를 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.
리니어 모터는 고정자(2)와 이동자(7)를 구비한다. 고정자(2)는 다수의 영구자석(3)이 일렬로 배열된 구조로 되어 있으며, 이동자(7)는 그 영구자석(3)들과 마주하도록 배치되어 영구자석(3)과의 상호작용에 의해 선형적으로 이동되는 힘을 받는 코일(9)을 구비한다. 가이드 레일(4)은 이동자(7)와 나란하게 배치되고, 이동자(7)는 가이드 레일(4)에 대해 슬라이딩 가능하게 설치된다. 가이드 레일(4)은 코일(9)과 그리퍼(8)를 구비하는 이동자(7)를 지지한다.
가이드 레일(4)과 별도로, 한쌍의 이송 레일(5, 6)이 가이드 레일(4)과 나란하게 배치되어 그 이송 레일(5, 6) 사이에 배치된 리드 프레임(10)의 이송을 가이드한다.
그리퍼(8)는 이송 레일(5, 6) 중 하나를 감싸도록 형성된다. 그리퍼(8)는 이송 레일(5, 6) 사이에 배치된 리드 프레임(10)을 클램핑한 상태에서, 고정자(2)와 이동자(7)의 상호 작용에 의해 리드 프레임(10)을 이송 레일(5, 6)을 따라 이송한다. 그리퍼(8)는 정해진 위치로 리드 프레임(10)을 이송한 후에는, 클램핑을 해제하고 원 위치로 복귀하여 다음 리드 프레임(10)을 이송할 수 있도록 준비하게 된다.
이때, 그리퍼(8)와 코일(9)을 포함한 이동자(7)의 전체적인 하중은 가이드 레일(4)이 지지하게 된다. 가이드 레일(4)은 도 1에 도시된 것과 같이, 베이스(1)의 상면에 설치되어 전체적으로 균일하게 하중을 지지할 수 있도록 형성되어 있다.
그리퍼(8)가 리드 프레임(10)을 상하에서 접촉하여 가압한 상태에서 클램핑해야 하므로, 그리퍼(8)는 이송 레일(5, 6) 중 하나를 감싸도록 배치된다. 따라서, 그리퍼(8)에 의해 리드 프레임(10)이 이송되는 범위 내에서 이송 레일(5, 6)은 공중에 떠 있는 상태가 되어야 한다. 이와 같은 이유로 도 1을 참조하면, 2개의 이송 레일(5, 6) 중 하나(5)는 양단이 지지된 상태에서 공중에 떠있는 상태이다. 이와 같이, 이송 레일(5)은 지지 구조에 제한이 있으므로, 장기간 사용하는 경우 이송 레일(5)의 자중이나 기타 외력에 의해 변형이 발생하는 경우가 종종 있다. 이와 같이 이송 레일(5)에 변형이 발생하면, 리드 프레임(10)을 이송하는 정밀도를 떨어뜨릴 수 있으며, 리드 프레임(10)과 이송 레일(5) 사이에 마찰력이 크게 작용하여 그리퍼(8) 및 이송자의 수명을 단축시킬 수 있다. 또한, 이송 레일(5)과 리드 프레임(10) 사이의 마찰로 인해 오염 물질이 발생하면, 리드 프레임(10)의 패키지나 반도체 칩을 오염시켜 작업의 전체적인 수율을 떨어뜨릴 수 있는 문제점이 있다. 리드 프레임(10) 이송 장치가 설치되어 사용되는 반도체 후공정 장비는 그 구조가 매우 복잡하고, 이송 레일(5, 6)의 주위에 복잡한 다른 기계 장치들이 설치되기 때문에, 단순히 이송 레일(5)을 굵게 형성하는 방법으로는 이와 같은 문제를 해결할 수 없다. 또한, 이송 레일(5)을 굵게 만들면 이송 레일(5)의 자중도 같이 증가하기 때문에 그에 따른 이송 레일(5)의 변형 가능성도 함께 증가하는 문제점이 있다.
이와 같은 문제점으로 인해 도 1에 도시한 것과 같이 이송 레일(5)의 중간 부분에 지지 막대(11)를 설치하여 리드 프레임(10)의 하중을 지지하고 변형을 방지하는 경우도 있다. 그런데 도 1에 도시한 것과 같이 이송 레일(5)에 지지 막대(11)를 설치하면, 그리퍼(8)는 그 지지 막대(11)를 경유하여 리드 프레임(10)을 이송할 수 없으므로, 그리퍼(8)의 이송 범위에 제한이 생긴다. 따라서, 도 1의 경우 첫번째 그리퍼(8)가 리드 프레임(10)을 지지 막대(11) 근처까지 이송하면 두번째 그리퍼(8)가 리드 프레임(10)을 전달 받아 다음 작업 위치 또는 다음 그리퍼(8)로 리드 프레임(10)을 전달하는 방법으로 작업하게 된다. 그런데, 지지 막대(11)로 인해, 첫번째 그리퍼(8)에서 두번째 그리퍼(8)로 리드 프레임(10)을 전달할 경우, 첫번째 그리퍼(8)는 리드 프레임(10)의 후단을 클램핑하여 지지 막대(11) 근처로 전달하면 두번째 그리퍼(8)는 리드 프레임(10)의 전단을 클램핑하여 리드 프레임(10)을 다음 단계로 전달하게 된다. 즉, 구조적으로 리드 프레임(10)의 중간부분을 클램핑하여 전달할 수 없는 문제가 있다. 리드 프레임(10)의 중앙부를 클램핑하지 못하는 경우 리드 프레임(10)을 정확한 위치로 이송하는 정확도가 떨어질 수 있으며, 리드 프레임(10)을 고속으로 이송하기에도 어려운 문제점이 있다.
본 고안은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 리드 프레임을 가이드 하는 레일의 자중 및 기타 외력에 의한 변형을 방지하는 구조를 가지며, 각각의 그리퍼에 의한 리드 프레임의 이송 가능 범위에 제한이 없는 구조를 가지는 리드 프레임 이송 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
이와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 고안은, 리드 프레임을 일정 구간 내에서 이송하는 리드 프레임 이송 장치에 있어서, 일렬로 배열된 복수의 영구자석들을 구비하는 고정자; 상기 고정자와 나란하게 배치된 가이드 레일; 상기 가이드 레일에 슬라이딩 가능하게 결합되어 그 가이드 레일에 의해 지지되는 가이드 블록과, 상기 고정자의 영구자석들과 마주하도록 배치되어 상기 가이드 블록에 결합되는 코일과, 상기 가이드 블록에 설치되어 리드 프레임을 클램핑하는 그리퍼를 구비하는 복수의 이동자들; 상기 가이드 레일과 서로 나란하게 배치되어 그 가이드 레일에 일체로 결합되고, 리드 프레임의 일측이 삽입되어 이동하는 제1홈이 형성된 제1레일; 및 상기 리드 프레임을 사이에 두고 상기 제1레일과 마주하도록 배치되며, 상기 리드 프레임의 타측이 삽입되어 이동하는 제2홈이 형성된 제2레일;을 포함하는 점에 특징이 있다.
본 고안의 리드 프레임 이송 장치는, 리드 프레임 이송 장치의 구조를 개선하여 리드 프레임의 이송을 가이드하는 레일의 변형을 방지하여 리드 프레임 이송 작업의 효율을 향상시키는 효과가 있다.
또한, 본 고안의 리드 프레임 이송 장치는, 리드 프레임 이송 장치의 구조를 개선하여 그리퍼가 리드 프레임을 클램핑한 상태에서 이송할 수 있는 범위의 제한이 없으므로, 인접하는 그리퍼들 사이의 이동 범위가 서로 중첩 가능하여 리드 프레임을 더욱 효과적으로 이송할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 종래의 리드 프레임 이송 장치의 사시도이다.
도 2는 본 고안의 일실시예에 따른 리드 프레임 이송 장치의 사시도다.
도 3은 도 2에 도시된 리드 프레임 이송 장치의 Ⅲ-Ⅲ선 단면도이다.
이하, 본 고안에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 2는 본 고안의 일실시예에 따른 리드 프레임 이송 장치의 사시도이고, 도 3은 도 2에 도시된 리드 프레임 이송 장치의 Ⅲ-Ⅲ선 단면도이다.
도 2와 도 3을 참조하면, 본 실시예의 리드 프레임 이송 장치는 고정자(40)와 가이드 레일(53)과 한쌍의 폭 조절 레일(20)을 포함하여 이루어진다.
베이스(100) 위에 한쌍의 폭 조절 레일(20)이 서로 나란하게 설치되고, 그 폭 조절 레일(20) 위에 이동 베이스(30)가 슬라이딩 가능하게 설치된다.
고정자(40)는 폭 조절 레일(20)과 수직한 방향으로 배치되어, 이동 베이스(30) 위에 양단이 지지되도록 설치된다. 고정자(40)는 일렬로 배열된 복수의 영구자석들(41)을 구비한다. 고정자(40)는 일반적인 리니어 모터에서 사용되는 구성으로 후술하는 이동자(60)의 코일(61)과의 상호 작용에 의해 이동자(60)를 움직이게 한다.
가이드 레일(53)은 폭 조절 레일(20)과 수직한 방향으로 배치되어, 이동 베이스(30) 위에 양단이 지지되도록 설치된다. 가이드 레일(53)은 고정자(40)와 나란하게 배치되어 후술하는 이동자(60)가 그 가이드 레일(53)을 따라서 좌우 방향으로 이동 가능하게 지지한다. 본 실시예에서 가이드 레일(53)은 고정자(40)의 영구자석들(41)과 마주하는 방향으로 배치된다.
이동자들(60)은 각각 가이드 블록(62)과 코일(61)과 그리퍼(63)를 구비한다. 가이드 블록(62)은 가이드 레일(53)에 대해 슬라이딩 가능하게 결합되어, 이동자(60)가 가이드 레일(53)을 따라 쉽게 움직이도록 가이드 한다. 코일(61)은 가이드 블록(62)에 결합되도록 설치되며, 도 3에 도시된 것과 같이 상하로 배치된 영구자석들(41)의 사이에 배치되어 영구자석들(41)과 마주하도록 설치된다. 그리퍼(63)는 가이드 블록(62)에 설치되며, 리드 프레임(L)을 클램핑한다.
본 실시예에서 그리퍼(63)는 상측 부재(632)와 하측 부재(633)와 그리퍼 코일(631)을 구비한다. 상측 부재(632)는 가이드 레일(53)의 상측에 배치되고 하측 부재(633)는 가이드 레일(53)의 하측에 배치되어, 상측 부재(632)와 하측 부재(633)에 의해 가이드 레일(53)을 감싸도록 형성된다. 상측 부재(632)와 하측 부재(633)의 사이에는 그리퍼 코일(631)이 배치된다. 크리퍼 코일(61)에 의해 발생하는 자력에 의해 상측 부재(632)를 하측 부재(633)에 대해 근접시키거나 밀어 냄으로써, 상측 부재(632)와 하측 부재(633)의 사이에 배치된 리드 프레임(L)을 클램핑할 수 있도록 구성된다.
제1레일(51)과 제2레일(52)은 각각 가이드 레일(53)과 나란하게 배치된다. 제1레일(51)과 제2레일(52)의 서로 마주하는 면에는 각각 제1홈(511)과 제2홈(521)이 형성된다. 제1홈(511)에 리드 프레임(L)의 일측이 삽입되고 제2홈(521)에 리드 프레임(L)의 타측이 삽입되어 리드 프레임(L)이 이동됨으로써, 제1레일(51)과 제2레일(52)이 리드 프레임(L)의 이송을 가이드 하게 된다. 한편, 제1레일(51)은 가이드 레일(53)에 일체로 형성된다 즉, 가이드 레일(53)과 제1레일(51)은 서로 일체로 형성되고, 가이드 레일(53)은 고정자(40)를 마주하도록 배치되고 제1레일(51)은 가이드 레일(53)의 반대쪽에서 제2레일(52)과 서로 마주하도록 배치된다. 제2레일(52)은 폭 조절 레일(20)에 설치된다. 그에 따라, 제2레일(52)은 폭 조절 레일(20)을 통해 베이스(100)에 고정되고, 이동 베이스(30)에 설치된, 고정자(40)와 이동자(60) 및 제1레일(51)은 폭 조절 레일(20)을 따라 움직이는 것이 가능하다. 베이스(100)와 고정자(40)에 각각 양단이 고정된 볼 스크류(90)에 의해 제1레일(51)은 제2레일(52)에 대해 상대 이동하게 된다.
이하, 상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 리드 프레임 이송 장치의 작용에 대해 설명한다.
고정자(40)의 영구자석(41)와 이동자(60)의 코일(61)의 상호 작용에 의해 그리퍼(63)는 가이드 레일(53)을 따라서 선형으로 슬라이드 이동한다. 제1레일(51)의 제1홈(511)과 제2레일(52)의 제2홈(521)에 리드 프레임(L)이 끼워져 공급되면, 첫번째 그리퍼(63)의 그리퍼 코일(631)의 작동에 의해 첫번째 그리퍼(63)가 리드 프레임(L)을 클램핑하여 작업 영역으로 리드 프레임(L)을 이송한다.
예를 들어, 본 실시예의 리드 프레임 이송 장치를 다이 본더(리드 프레임(L)의 패키지에 반도체 칩을 부착하는 장치)에 사용하는 경우, 첫번째 그리퍼(63)는 리드 프레임(L)을 접착제 스템핑 위치로 이송한다. 스템퍼는 접착제를 리드 프레임(L)의 각 패키지에 스템핑한다.
다음으로 두번째 그리퍼(63)가 리드 프레임(L)을 클램핑하여 어테칭 위치로 이송하면, 어테처가 각 반도체 칩을 각 패키지의 접착제가 스탬핑된 위치에 부착한다. 어테칭 작업이 완료되면, 세번째 그리퍼(63)가 리드 프레임(L)을 클랭핑하여 언로더로 배출하게 된다.
작업의 대상이 되는 리드 프레임(L)의 크기가 변경되는 경우, 제1레일(51)과 제2레일(52) 사이의 거리를 조절하여 리드 프레임(L)의 폭에 맞춘 상태에서 작업하게 된다. 즉, 볼 스크류(90)의 작동에 의해 이동 베이스(30)를 폭 조절 레일(20)을 따라 이동시키면, 고정자(40)와 함께 제1레일(51)이 제2레일(52)에 대하여 멀어지거나 근접하는 방향으로 움직이게 된다. 따라서, 다양한 크기의 리드 프레임(L)에 대하여 작업을 수행할 수 있는 장점이 있다.
한편, 본 실시예의 리드 프레임 이송 장치는 제1레일(51)의 변형을 방지할 수 있는 장점이 있다. 상술한 바와 같이 제1레일(51)은 가이드 레일(53)과 일체로 형성되기 때문에, 가이드 레일(53)과 제1레일(51)이 별도로 구성되는 경우에 비해서 그 강성을 대폭 향상시키는 것이 가능하다. 또한, 가이드 레일(53)과 제1레일(51)이 일체로 형성됨으로써, 도 1을 참조하여 설명한 종래의 리드 프레임 이송 장치에 비해 이동자(60)가 차지하는 공간을 대폭 줄이는 효과가 있다. 이와 같은 구조로 인해, 본 고안에 따른 리드 프레임 이송 장치를 사용하는 반도체 후공정 장비에서 다른 기계장치를 설치할 수 있는 공간을 더욱 유연하게 확보할 수 있는 효과가 있다.
또한, 가이드 레일(53)과 제1레일(51)을 일체로 형성함으로써, 제1레일(51)의 강성을 대폭 보강하여 제1레일(51)의 휨에 의한 변경 가능성을 대폭 낮추는 효과가 있다. 그에 따라 리드 프레임(L)을 이송하는 작업의 정확도도 매우 향상되고, 장비 전체의 수명도 연장되는 효과가 있다. 이와 같이 제1레일(51)의 강성을 향상시킴으로써, 도 1을 참조하여 설명한 종래의 리드 프레임 이송 장치와 달리 제1레일(51)을 중간에서 지지할 다른 지지 막대가 필요없고, 제1레일(51)의 양단을 제외한 나머지 부분이 전체적으로 공중에 떠 있는 상태이기 때문에, 그리퍼(63)들의 이동 영역에 제한이 없다. 따라서, 이동자들(60)의 그리퍼들(63)은 인접하는 이동자들(60)의 그리퍼들(63)과 그 이동 구간이 서로 중첩(overlap) 가능하게 되는 것이다. 그에 따라, 각 그리퍼(63)들은 리드 프레임(L)의 임의의 위치를 클램핑하여 다음 작업 위치로 이송하고 원래 위치로 돌아가면, 다음 그리퍼(63)는 이전 그리퍼(63)의 이동 구간에 중첩되는 위치까지 움직인 후 리드 프레임(L)을 클램핑하여 다음 위치로 이송할 수 있다. 이와 같이 각 그리퍼(63)들이 움직이는 구간 내에 그 이동 영역을 제한하는 구성이 없으므로, 종래의 리드 프레임 이송 장치와 달리 리드 프레임(L)을 이송하는 속도 및 위치 정확도가 대폭 향상되는 효과가 있다. 또한, 본 고안에 따른 리드 프레임 이송 장치를 이용하여 리드 프레임(L)에 대해 다이 본딩, 와이어 본딩, 세정 등의 작업을 수행하는 장치를 구성할 때, 그 장치의 설계 및 구성에 있어서 종래에 비해 훨씬 다양하고 유연한 설계가 가능한 장점이 있으며, 각 그리퍼들(63)에 의해 리드 프레임(L)을 이송하고 전달하는 공정도 훨씬 다양하고 자유롭게 구성할 수 있는 장점이 있다.
한편, 상술한 바와 같이 가이드 레일(53)이 고정자(40)와 마주하도록(즉, 측방향을 향하도록) 구성함으로써, 가이드 레일(53)이 상측을 향하도록 구성된 경우에 비해 공간을 더욱 효율적으로 사용하고 본 고안의 리드 프레임 이송 장치를 더욱 컴팩트하게 구성할 수 있는 장점이 있다.
이상, 본 고안에 따른 리드 프레임 이송 장치에 대해 바람직한 실시예를 들어 설명하였으나, 본 고안의 범위에 앞에서 설명하고 도시한 범위로 한정되는 것은 아니다.
예를 들어, 앞에서 3개의 이동자(60)를 구비한 경우를 예로 들어 설명하였으나, 이동자(60)의 개수는 필요에 따라 다양하게 조절할 수 있다.
또한, 앞에서 제2레일(52)은 고정되고 제1레일(51)이 폭 조절 레일(20)에 의해 슬라이드 이동 가능한 것으로 설명하였으나, 경우에 따라서는 제1레일과 고정자, 이동자가 고정되고, 제2레일이 폭 조절 레일 위에 슬리이딩 가능하게 설치되도록 구성할 수도 있다.
또한, 앞에서 가이드 레일(53)과 제1레일(51)이 일체로 형성되는 것으로 설명하였으나, 가이드 레일과 제1레일을 각각 별도로 마련하여 서로 결합하는 구성도 가능하다.
100: 베이스 20: 폭 조절 레일
30: 이동 베이스 40: 고정자
41: 영구자석 53: 가이드 레일
51: 제1레일 52: 제2레일
60: 이동자 61: 코일
62: 가이드 블록 63: 그리퍼
90: 볼 스크류

Claims (7)

  1. 리드 프레임을 일정 구간 내에서 이송하는 리드 프레임 이송 장치에 있어서,
    일렬로 배열된 복수의 영구자석들을 구비하는 고정자;
    상기 고정자와 나란하게 배치된 가이드 레일;
    상기 가이드 레일에 슬라이딩 가능하게 결합되어 그 가이드 레일에 의해 지지되는 가이드 블록과, 상기 고정자의 영구자석들과 마주하도록 배치되어 상기 가이드 블록에 결합되는 코일과, 상기 가이드 블록에 설치되어 리드 프레임을 클램핑하는 그리퍼를 구비하는 복수의 이동자들;
    상기 가이드 레일과 서로 나란하게 배치되어 그 가이드 레일에 일체로 결합되고, 리드 프레임의 일측이 삽입되어 이동하는 제1홈이 형성된 제1레일; 및
    상기 리드 프레임을 사이에 두고 상기 제1레일과 마주하도록 배치되며, 상기 리드 프레임의 타측이 삽입되어 이동하는 제2홈이 형성된 제2레일;을 포함하며,
    상기 가이드 레일은, 상기 제1레일의 제1홈이 형성된 면의 반대쪽 면에 배치되는 것을 특징으로 하는 리드 프레임 이송 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 이동자들의 그리퍼들은 인접하는 이동자들의 그리퍼와 그 이동 구간이 서로 중첩(overlap) 가능한 것을 특징으로 하는 리드 프레임 이송 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 가이드 레일과 제1레일은 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 리드 프레임 이송 장치.
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서,
    상기 그리퍼는, 상기 가이드 레일의 상측에 배치되는 상측 부재와, 상기 가이드 레일의 하측에 배치되는 하측 부재와, 상기 상측 부재와 하측 부재의 사이에 배치되는 그리퍼 코일을 구비하는 것을 특징으로 하는 리드 프레임 이송 장치.
  6. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제2레일에 대해 직교하는 방향으로 배치된 한쌍의 폭 조절 레일;을 더 포함하며,
    상기 고정자와 가이드 레일과 제1레일은 상기 폭 조절 레일 위에 슬라이딩 가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 리드 프레임 이송 장치.
  7. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1레일에 대해 직교하는 방향으로 배치된 한쌍의 폭 조절 레일;을 더 포함하며,
    상기 제2레일은 상기 폭 조절 레일 위에 슬라이딩 가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 리드 프레임 이송 장치.
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