KR101059702B1 - 압전식 액추에이터 모듈 및 그 조립 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 적어도 하나의 압전식 구성 소자(6), 액추에이터 베이스(5) 및 액추에이터 헤드(7)를 포함하는 압전식 액추에이터 모듈에 관한 것으로서, 상기 액추에이터 모듈은 축방향으로 연장된 슬리브(9)에 의해 둘러싸인다. 압전식 액추에이터 모듈(2)을 축방향으로 밀봉하기 위해, 액추에이터 헤드(7)에는 멤브레인(21)이 연결되며, 이는 실질적으로 방사 방향으로 연장되고 슬리브(9)에 연결되며 상이한 곡률 반경의 횡단면을 갖는다.
멤브레인, 슬리브, 액추에이터 베이스, 압전식 구성 소자, 액추에이터 헤드

Description

압전식 액추에이터 모듈 및 그 조립 방법{Piezoelectirc actuator module and method for assembling a piezoelectric actuator module}
본 발명은 청구범위 제 1 항의 전제부에 자세히 정의된 기술에 따른, 특히 저장 분사 시스템, 즉 "커먼 레일" 을 구비한 자동차 분사 시스템의 고압 부분 내의 인젝터용 압전식 액추에이터 모듈 및 청구범위 제 10 항의 전제부에 자세히 정의된 기술에 따른, 액추에이터 모듈 조립 방법에 관한 것이다.
상기와 같은 액추에이터 모듈은 공지되어 있으며, 특히 디젤 내연 기관용 커먼 레일 저장 분사 시스템과 함께 사용될 수 있다. 압전식 액추에이터 모듈은 밸브형으로 형성된 밸브 제어 모듈에 할당되어 밸브 제어 모듈의 밸브 폐쇄 부재를 작동시키는데 이용된다. 밸브 제어 모듈에 의해, 분사 밸브의 노즐 모듈의 노즐 니들이 작동할 수 있다. 노즐 니들은 내연 기관의 연소 챔버로 안내되는 적어도 하나의 분사구와 상호 작용한다.
압전식 액추에이터 모듈은 일반적으로, 분사 밸브의 하우징에 지지된 액추에이터 베이스, 전압이 인가될 때 신장되는 압전식 구성 소자, 및 조절 피스톤이 축방향으로 이동하도록 압전식 구성 소자의 신장을 상기 피스톤에 전달하는 액추에이터 헤드를 포함한다. 조절 피스톤은 유압 챔버로서 형성된 유압식 커플러를 통해 작동 피스톤과 상호 작용하며, 상기 작동 피스톤은 다시 밸브 폐쇄 부재에 연결된다. 상기 구성은 DE 199 46 831에도 설명되어 있다.
DE 100 43 626은 축방향으로 연장된 슬리브에 의해 둘러싸인 압전식 액추에이터 모듈을 제시하며, 상기 슬리브는 오염, 연료 및 조립시의 손상으로부터 압전식 구성 소자를 보호하는데 이용된다. 액추에이터 헤드의 영역에서, 압전식 액추에이터 모듈은 벨로우즈에 의해 밀봉되며, 상기 벨로우즈는 한편으로 액추에이터 행정을 허용하고 다른 한편으로는 압전식 구성 소자의 네가티브 온도 팽창 계수를 보상할 수 있다.
그러나 벨로우즈는 비교적 큰 공간을 필요로 하고 비용이 많이 드는 부품인 것이 단점이다.
청구범위 제 1 항의 전제부에 따른 특징들을 갖는, 실질적으로 방사 방향으로 연장되며 슬리브에 연결되고 상이한 곡률 반경의 횡단면을 포함하는 멤브레인이 액추에이터 베이스에 연결된, 본 발명에 따른 압전식 액추에이터 모듈은, 멤브레인이 매우 낮게 구성되므로 적은 공간을 필요로 하는 장점을 갖는다. 또한, 멤브레인은 벨로우즈보다 현저히 적은 비용이 든다.
본 발명에 따른 압전식 액추에이터 모듈의 멤브레인은 바람직하게는, 상기 멤브레인이 압전식 구성 소자의 신장에 의해 일어나는 액추에이터 헤드의, 예컨대 40㎛의 이동을 따를 수 있도록 설계된다. 멤브레인이 액추에이터 모듈을 축방향으로 밀봉하면, 상기 멤브레인은 액추에이터 모듈을 방사 방향으로 제한하는 슬리브와 함께 액추에이터 모듈의 보호 케이싱을 형성한다. 이로써 액추에이터 베이스, 압전식 구성 소자, 액추에이터 헤드, 슬리브 및 멤브레인으로 이루어진 모든 부품들은 압전식 액추에이터 카트리지를 형성한다.
따라서 상기 멤브레인은 다음과 같은 기능들, 즉 밀봉 기능, 가열시 네가티브하게 길이가 신장된 압전식 구성 소자와 포지티브하게 길이가 신장된 슬리브 사이의 온도 보상 기능, 및 액추에이터 행정의 전달 기능(액추에이터 헤드와 슬리브의 연결)을 갖는다.
바람직한 실시예에서 상기 멤브레인은 예컨대 스프링 강 또는 석출강화 재료로 제조될 수 있다.
멤브레인과 액추에이터 베이스는, 서로 용접될 때 특히 확실하게 연결될 수 있다.
또한, 멤브레인은 슬리브와 용접되거나 일체로 제조될 수 있다. 상기 두 경우에 멤브레인은 바람직하게, 압전식 구성 소자의 신장을 적어도 하나의 피스톤에 전달하기 위한 액추에이터 베이스의 협소(tapered) 영역을 위한 중앙 개구를 포함한다. 이 경우 멤브레인은 링형으로 형성된다.
본 발명에 따른 압전식 액추에이터 모듈의 바람직한 실시예에 따라, 링형으로 형성된 멤브레인은 아치형 횡단면을 갖는다. 상기 실시예에서, 작동시 멤브레인에 가해지는 기계적 하중은 최소이다.
사용 공간과 액추에이터 모듈의 작동시의 하중과 관련하여, 상이한 곡률 반경의 횡단면을 갖는 멤브레인의 사용이 특히 바람직한 것으로 입증되었다. 상기와 같은 멤브레인의 횡단면은 예컨대 액추에이터 베이스에 대한 연결부 영역에서 평평하게 형성되므로, 상기 영역에서 멤브레인은 원추형으로 형성되며, 원추형 영역에는 우선 제 1 곡률 반경을 갖는 영역이, 제 1 곡률 반경을 갖는 영역에는 제 1 곡률 반경 보다 작은 제 2 곡률 반경을 갖는 영역이, 제 2 곡률 반경을 갖는 영역에는 제 2 곡률 반경 보다 작은 제 3 곡률 반경을 갖는 영역이 연결된다. 제 3 곡률 반경을 갖는 영역에는 슬리브에 대해 평행하게 정렬된 원통형 영역이 연결되고, 상기 영역에 의해 멤브레인은 슬리브에 연결된다. 멤브레인의 원추형 영역과 원통형 영역 사이의 각은 45°이다. 링형 멤브레인의 외경이 예컨대 9.85 mm이고 링형 멤브레인의 내경이 예컨대 3.7 mm인 경우, 제 1 곡률 반경은 1. 9 mm, 제 2 곡률 반경은 1.5 mm, 제 3 곡률 반경은 1.0 mm이다. 상기와 같은 멤브레인 형태는 미리 주어진 조립 공간 조건 하에 FEM-최적화의 결과이다. 예컨대 80 ㎛의 멤브레인 두께를 갖는 상기 멤브레인 형태는, 액추에이터 모듈의 작동시 생기는 하중을 수용할 수 있는데, 상기 하중은 특히 멤브레인에서 발생한 최대 60 바아의 유체 압력, -40 ℃ 내지 160 ℃ 사이의 온도 변동, 및 대략 35 ㎛의 액추에이터 행정으로 구성된다. 멤브레인은 바람직하게는 레이저 용접 시임에 의해 액추에이터 헤드 또는 슬리브에 연결된다.
그러나 상기 멤브레인은 변형예에서 실질적으로 평평한 형태를 가질 수도 있다.
바람직한 실시예에서 멤브레인의 두께는 예컨대 70 ㎛ 내지 0.2 mm 이다.
또한, 본 발명은 액추에이터 모듈이 적어도 하나의 압전식 구성 소자, 액추에이터 베이스 및 액추에이터 헤드를 포함하는 압전식 액추에이터 모듈의 조립 방법에 관한 것이며, 상기 액추에이터 헤드는 압전식 구성 소자에 의해 작동될 부품과 상호 작용하고, 액추에이터 모듈은 축방향으로 연장된 슬리브에 의해 둘러싸인다. 본 발명에 따라 액추에이터 베이스의 측면에 있는 슬리브의 정면은 실질적으로 방사 방향으로 연장된 멤브레인에 의해 폐쇄된다.
바람직하게 멤브레인은 슬리브의 폐쇄시 하중 없이 액추에이터 베이스와 용접된다. 이어서 멤브레인은 액추에이터 베이스와 함께 슬리브 내에 삽입될 수 있으며, 압전식 구성 소자는 예비 하중을 받을 수 있다. 40 N/㎛의 액추에이터 강성률(rigidity)일 경우, 750 N의 예비 하중은 19 ㎛의 거리에 해당한다. 이때 멤브레인 자체는 하중을 받지 않은 상태로 유지된다. 이어서 멤브레인은 압전식 구성 소자가 하중을 받은 경우 슬리브와 용접된 후에 예비 하중은 액추에이터 헤드로부터 제거되고, 이는 멤브레인을 액추에이터 베이스 방향으로 19㎛ 만큼 변위시킨다. 상기와 같은 조립 방법에서, 슬리브에 작용하는 750 N의 예비 하중으로 인해 멤브레인의 포지티브 변위가 보상된다. 압전식 구성 소자가 작동하지 않은 경우에 그리고 멤브레인에 작용하는 유체 압력이 없는 경우에 예컨대 20 ℃의 온도에서 멤브레인은 제로 위치에 있으며 하중을 받지 않는다.
본 발명의 다른 장점들 및 바람직한 실시예는 상세한 설명, 도면 및 청구항들에 제시된다.
도 1은 분사 밸브의 제어 유닛으로서 사용되는 압전식 액추에이터 모듈의 간단한 종단면도.
도 2는 도 1에 따른 액추에이터 모듈의 액추에이터 베이스 영역의 상세부의 사시도.
도 3은 도 1에 따른 분사 밸브에서 압전식 액추에이터 모듈의 제 2 실시예를 도시한 도면.
도 4는 압전식 액추에이터 모듈의 제 3 실시예의 종단면도.
도 5는 압전식 액추에이터 모듈의 제 4 실시예의 종단면도.
도 6은 도 5에서 점선으로 표시된 영역 VI을 확대 도시한 도면.
도 7은 도 6에 상응하는 도면의 제 5 실시예를 도시한 도면.
압전식 액추에이터 모듈의 5 개의 실시예들은 도면에 개략적으로 간단하게 도시되며 하기의 상세한 설명에서 자세히 설명된다.
도 1 및 도 2에 도시된 실시예는 자동차 내연 기관 내에 장착하기 위해 제공되고 바람직하게는 디젤 연료 분사용 커먼 레일 인젝터로서 형성된 연료 분사 시스템(1)의 부분 영역을 도시한다.
인젝터는 액추에이터 모듈(2)을 포함하며, 상기 액추에이터 모듈은 지지 바디(3)에 수용되며, 커플러 모듈을 통해 밸브형으로 형성된 밸브 제어 모듈에 할당되고, 상기 밸브 제어 모듈은 도시되지 않은 노즐 모듈 내에 배치된 노즐 니들의 작동에 이용된다. 또한, 지지 바디(3)에는 액추에이터 모듈(2)에 대해 평행하게 연장된 연료 공급 채널(4;고압 보어)이 형성되며, 상기 연료 공급 채널은 커먼 레일 저장 유닛으로부터 분사 밸브(1)의 노즐 모듈로 연료를 이송하는데 이용된다.
액추에이터 모듈(2)은 액추에이터 모듈(2)을 지지 바디(3)에 지지하는 소위 액추에이터 베이스(5), 상기 액추에이터 베이스(5)에 축방향으로 연결되고, 일반적으로 압전 재료로 이루어진 다수의 층들로 제조된 압전식 구성 소자(6), 및 액추에이터 베이스(5)로부터 떨어진 방향으로 압전식 구성 소자(6)에 연결된 액추에이터 헤드(7)를 포함한다. 액추에이터 헤드(7)는 압전식 구성 소자(6)의 신장 또는 수축을, 여기에 도시되지 않은 공지된 밸브 제어 유닛의 조절 피스톤에 전달하는데 이용되며, 상기 밸브 제어 유닛은 기본적으로는 바람직하게, DE 199 46 831에 설명된 유체 제어용 밸브와 마찬가지로 구성된다.
일반적으로 조절 피스톤은 유압 챔버로서 형성된, 유압식 커플러(커플러 모듈)를 통해 소위 작동 피스톤과 작용적으로 연결되며, 하부 작동 피스톤은 바람직하게 밸브 시트와 상호 작용하는 밸브 폐쇄 부재에 연결된다.
압전식 구성 소자(6)의 신장은 여기서 보상 소자로서 사용되는 볼(8)을 통해 전달된다. 볼(8)은 예컨대 약 3 mm의 직경을 갖는다.
압전식 액추에이터 모듈(2)은, 축방향으로 연장되며 실질적으로 원통형으로형성된 박벽의 슬리브(9)에 의해 둘러싸이며, 상기 슬리브는 예컨대 저렴하면서 녹슬지 않는 강으로 제조되고 액추에이터 모듈(2)을 방사 방향으로 밀봉한다.
액추에이터 베이스(5)로부터 떨어진 측면에서 압전식 액추에이터 모듈(2)은 본 경우에 스프링 강으로 형성된 멤브레인(10)에 의해 축방향으로 밀봉되며, 상기 멤브레인은 실질적으로 방사 방향으로 연장되고, 링형으로 형성되며, 액추에이터 헤드(7)의 핀형 영역(12)을 위한 중앙 개구를 포함한다.
멤브레인은 예컨대 0.08 mm 내지 0.2 mm의 두께를 가지며, 9.5 mm의 외경과 2.5 mm의 내경을 갖는다.
여기에서, 실질적으로 평평하거나 플레이트형인 멤브레인(10)의, 핀형 영역(12)을 향한 내부 제한부는 용접 시임(13)에 의해 액추에이터 헤드(7)에 고정 연결된다. 슬리브(9)를 향한, 멤브레인(10)의 외부 제한부는 용접 시임(14)에 의해 슬리브(9)에 연결된다.
도 3에는 압전식 액추에이터 모듈(20)의 대안 실시예가 도시된다. 이 실시예에서 타원형 내지 원호형으로 만곡된 멤브레인(21)이 도 1 및 도 2에 따른 실시예와 상이하다. 이 경우, 만곡은 압전식 구성 소자(6)의 방향으로 연장된다. 실질적으로 방사 방향으로 연장된 멤브레인(21)은 마찬가지로 링형으로 형성되며, 그 내부 제한부는 용접 시임(13)에 의해 액추에이터 헤드(7)에 연결되고, 외부 제한부는 용접 시임(14)에 의해 슬리브(9)에 연결된다. 이러한 실시예에서, 작동시 멤브레인에 작용하는 기계적 하중은 작다.
도 4에는 본 발명에 따른 압전식 액추에이터 모듈(30)의 제 3 실시예가 도시된다. 이 실시예는, 슬리브(9)와 일체로 제조됨으로써 슬리브(9)와 함께 하나의 유닛을 형성하는 멤브레인(31)을 포함한다는 점에서 도 1 및 도 2에 따른 실시예와 상이하다. 멤브레인(31)은 평평한 구조를 가지며, 링형으로 형성되고 그 내부 제한부는 용접 시임(13)에 의해 액추에이터 헤드(7)에 연결된다.
본 발명은 도시된 실시예에만 국한되지 않는다. 오히려 상기 멤브레인은 경우에 따라 당업자들이 주어진 용도에 적합하다고 여기는 다른 모든 형태들을 포함할 수 있다.
도 5에는 본 발명에 따른 압전식 액추에이터 모듈(40)의 제 4 실시예가 도시된다. 액추에이터 모듈(40)의 구성은 상기 액추에이터 모듈이 상이한 곡률 반경의 횡단면을 갖는 멤브레인(41)을 포함한다는 점에서 도 1에 따른 액추에이터 모듈의 구성과 상이하다. 링형 멤브레인(41)은 압전식 구성 소자(6)의 방향으로 만곡되어 형성된다.
도 6에 확대 도시된 멤브레인(41)의 횡단면은, 원추형으로 형성되고 횡단면이 평평한 영역(42)을 포함하며, 상기 영역은 슬리브(9)와 45°의 각을 이루며, 0.7mm의 길이(d1)를 갖는다. 멤브레인(41)은 원추형 영역(42)을 통해 액추에이터 헤드(7)와 용접된다. 영역(42)에는 1.9 mm의 제 1 곡률 반경을 갖는 영역(43)이 연결되며, 상기 영역(43)에는 1.5 mm의 제 2 곡률 반경을 갖는 영역(44)이 연결되고, 상기 영역(44)에는 1.0 mm의 제 3 곡률 반경을 갖는 영역(45)이 연결된다. 제 3 곡률 반경을 갖는 상기 영역(45)에는 횡단면이 평평한 원통형 영역(46)이 연결되며, 상기 영역(46)에 의해 멤브레인(41)은 슬리브(9)와 용접된다. 멤브레인(41)의 영역(46)은 0.7 mm의 높이(d2)를 가지며 슬리브(9)에 비해 0.3 mm 만큼 돌출해 있다. 제 3 곡률 반경을 갖는 영역(45)은 1.5 mm의 멤브레인 높이로까지 연장되며, 제 2 곡률 반경을 갖는 영역(44)은 1.8 mm의 높이(d4)에서 멤브레인(41)의 정점을 통과해서 1.78 mm의 높이(d5)로 끝난다. 제 1 곡률 반경을 갖는 영역(43)은 1.25 mm의 멤브레인 높이로부터 1.78 mm의 멤브레인 높이까지 연장된다.
멤브레인(41)의 외경은 9.85 mm 이고, 멤브레인(41)의 내경은 3.7 mm이다.
도 5 및 도 6에 도시된 멤브레인은, 우선 액추에이터 헤드(7)가 하중 없이 멤브레인(41)의 영역(42)과 용접되도록 조립된다. 평균 텐션 레벨을 조정하기 위해, 액추에이터 헤드(7)는 750N의 예비 하중 - 이는 19 ㎛의 액추에이터 거리에 해당한다 - 으로 압전식 구성 소자(6)에 가압될 수 있으며, 멤브레인(41)의 영역(46)은 상기 예비 하중 하에 슬리브(9)와 용접된다.
대안으로서, 멤브레인(41)의 영역(46)은 의도한 대로 변형될 수 있으며, 슬리브(9)에 가압된 후에야 상기 슬리브(9)와 용접될 수 있다.
멤브레인의 조립시 예비 응력이 작용함으로써, 작동점에서의 텐션 레벨이 현저히 낮아질 수 있다.
도 7에는 본 발명에 따른 압전식 액추에이터 모듈(50)의 제 5 실시예가 도시된다. 액추에이터 모듈(50)의 구성은 실질적으로 도 5 및 도 6에 따른 액추에이터 모듈의 구성과 일치하지만, 변형된 구조의 멤브레인(51)은 이와 상이하다.
멤브레인(51)은 압전식 구성 소자(6)의 방향으로 만곡되게 형성되며, 압전식 구성 소자(6)의 축선에 대해 수직으로 정렬되고 액추에이터 베이스를 둘러싸는 링 영역(52)에 의해 형성된 횡단면을 포함하며, 상기 링 영역에는 원추형 영역(53)이 연결되고, 상기 원추형 영역에서 멤브레인(51)은 대략 0.3 mm의 길이(e1)에 걸쳐 액추에이터 헤드(7)와 용접된다. 원추형 영역(53)에는 1.4 mm의 제 1 곡률 반경을 갖는 영역(54)이 연결되며, 상기 영역(54)에는 2.47 mm의 제 2 곡률 반경을 갖는 영역(55)이 연결되고, 영역(55)에는 0.5 mm의 제 3 곡률 반경을 갖는 영역(56)이 연결된다. 제 3 곡률 반경을 갖는 영역(56)에는 평평한 횡단면을 갖는, 원통형 영역(57)이 연결되며, 상기 영역(57)에 의해 멤브레인(51)은 대략 0.3 mm의 길이(e2)에 걸쳐 슬리브(9)와 용접된다. 원통형 영역(57)은 압전식 구성 소자(6)의 축선에 대해 수직으로 정렬된 에이프런형 영역(58)에 의해 제한된다. 원통형 영역(57)은 1.2 mm의 높이(e3)를 가지며, 슬리브(9)에 비해서 돌출해 있다. 제 3 곡률 반경을 갖는 영역(56)은 1.75 mm의 멤브레인 높이(e4)까지 연장되며, 제 2 곡률 반경을 갖는 영역(55)은 1.85 mm의 높이(e5)에서 멤브레인(51)의 정점을 통과해서 1.62 mm의 높이(e6)로 끝난다. 제 1 곡률 반경을 갖는 영역(54)은 1.24 mm의 멤브레인 높이로부터 1.66 mm의 멤브레인 높이(e7)까지 연장된다.
멤브레인(51)의 외경은 에이프런형 영역(58)에서 10.35 mm이며, 원통형 영역(57)에서 9.89 mm이다. 멤브레인(51)의 내경은 3.5 mm이다.
연료 분사 밸브에서 본 발명에 따른 압전식 액추에이터 모듈을 설명한 바와 같이 사용하는 것이 매우 바람직할지라도, 본 발명에 따라 형성된 압전식 액추에이터 모듈을 다른 사용 분야, 특히 압전식 구성 소자가 오염물 또는 침식성 매체에 으로부터 보호되어야 하는 분야에서 사용하는 것도 고려할 수 있다.

Claims (11)

  1. 적어도 하나의 압전식 구성 소자(6), 액추에이터 베이스(5) 및 액추에이터 헤드(7)를 포함하는 압전식 액추에이터 모듈로서, 상기 액추에이터 헤드는 상기 압전식 구성 소자(6)에 의해서 작동될 부품과 상호 작용하며, 상기 액추에이터 모듈(2; 20; 30)은 축방향으로 연장된 슬리브(9)에 의해 둘러싸이는 압전식 액추에이터 모듈에 있어서,
    상기 액추에이터 헤드(7)에는, 실질적으로 방사 방향으로 연장된 멤브레인(10; 21; 31; 41)이 연결되고, 상기 멤브레인은 상기 슬리브(9)에 연결되며, 상이한 곡률 반경의 횡단면을 갖고,
    상기 멤브레인은 상기 압전식 구성 소자(6)의 방향으로 아치형으로 설계되고, 상기 액추에이터 헤드(7)는 상기 멤브레인이 고정된 원추형 부분을 포함하는 것을 특징으로 하는, 압전식 액추에이터 모듈.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 멤브레인(10; 21; 31; 41)은 상기 액추에이터 헤드(7)와 용접되는 것을 특징으로 하는, 압전식 액추에이터 모듈.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 멤브레인(10; 21; 41)은 상기 슬리브(9)와 용접되는 것을 특징으로 하는, 압전식 액추에이터 모듈.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 멤브레인(31)은 상기 슬리브(9)와 일체로 제조되는 것을 특징으로 하는, 압전식 액추에이터 모듈.
  5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 멤브레인(21)은 아치형 횡단면을 갖는 것을 특징으로 하는, 압전식 액추에이터 모듈.
  6. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 멤브레인(10; 21; 31; 41)은 70㎛ 내지 200㎛의 두께를 갖는 것을 특징으로 하는, 압전식 액추에이터 모듈.
  7. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 압전식 액추에이터 모듈이 자동차의 연료 분사 밸브(1)의 제어 유닛으로서 사용되는 것을 특징으로 하는, 압전식 액추에이터 모듈.
  8. 적어도 하나의 압전식 구성 소자(6), 액추에이터 베이스(5) 및 액추에이터 헤드(7)를 포함하는 압전식 액추에이터 모듈의 조립 방법으로서, 상기 액추에이터 헤드는 상기 압전식 구성 소자(6)에 의해서 작동될 부품과 상호 작용하며, 액추에이터 모듈(2, 20, 30, 40)은 축방향으로 연장된 슬리브(9)에 의해 둘러싸이는 압전식 액추에이터 모듈 조립 방법에 있어서,
    상기 액추에이터 헤드(7)의 측면에 있는 상기 슬리브의 정면은, 실질적으로 방사 방향으로 연장된 멤브레인(10; 21; 31; 41)에 의해 폐쇄되는 것을 특징으로 하는, 압전식 액추에이터 모듈 조립 방법.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 멤브레인(41)과 상기 액추에이터 헤드(7)가 하중 없이 용접되는 것을 특징으로 하는, 압전식 액추에이터 모듈 제조 방법.
  10. 제 9 항에 있어서, 상기 멤브레인(41)에 용접된 상기 액추에이터 헤드(7)는 상기 슬리브(9) 내에 삽입되며, 상기 압전식 구성 소자(6)의 방향으로 예비 하중을 받는 것을 특징으로 하는, 압전식 액추에이터 모듈 제조 방법.
  11. 제 10 항에 있어서, 상기 액추에이터 헤드(7)가 예비 하중을 받은 경우, 상기 멤브레인(41)은 상기 슬리브(9)와 용접되는 것을 특징으로 하는, 압전식 액추에이터 모듈 제조 방법.
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