KR101021187B1 - 포지티브형 감광성 수지 조성물 및 그것을 사용한 경화막 형성 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
(1) (A1) 산해리성기를 갖는 하기 일반식(1)로 나타내어지는 구성 단위를 함유하고, 알칼리 불용성 또는 알칼리 난용성이며, 또한 상기 산해리성기가 해리되었을 때에 알칼리 가용성이 되는 수지, (A3) 카르복실기와 반응하여 공유 결합을 형성할 수 있는 관능기로서 에폭시기 또는 옥세탄기를 갖는 구성 단위와 하기 일반식(1)로 나타내어지는 구성 단위를 함유하는 수지, 및 (B) 활성 광선 또는 방사선의 조사에 의해 산을 발생시키는 화합물을 함유하는 것을 특징으로 하는 포지티브형 감광성 수지 조성물.
[일반식(1)에 있어서,
R1은 수소 원자, 메틸기, 할로겐 원자 또는 시아노기를 나타낸다.
R2 및 R3은 각각 독립적으로 수소 원자, 직쇄상 또는 분기상 알킬기 또는 시클로알킬기를 나타낸다. 단, R2 및 R3 중 1개 이상은 직쇄상 또는 분기상 알킬기 또는 시클로알킬기를 나타낸다.
R4는 치환되어도 좋은 직쇄상 또는 분기상 알킬기, 시클로알킬기 또는 아랄킬기를 나타낸다.
R2 또는 R3과 R4가 연결되어 환상 에테르를 형성해도 좋다.]
(2) (1)에 있어서, 상기 카르복실기와 반응해서 공유 결합을 형성할 수 있는 관능기를 갖는 구성 단위는 하기 일반식(4), 일반식(5) 또는 일반식(6)으로 나타내어지는 라디칼 중합성 단량체를 이용하여 형성되는, 관능기로서 에폭시기를 함유하는 구성 단위인 것을 특징으로 하는 포지티브형 감광성 수지 조성물.
[일반식 (4)∼(6) 중, X는 2가의 연결기를 나타내며, R7은 수소 원자, 메틸기 또는 할로겐 원자를 나타내며, R8, R9, R10, R11, R12, R13, R14 및 R15는 각각 독립적으로 수소 원자 또는 알킬기를 나타낸다. n은 1∼10의 정수이다.]
(3) (2)에 있어서, 상기 카르복실기와 반응해서 공유 결합을 형성할 수 있는 관능기를 갖는 구성 단위는 3,4-에폭시시클로헥실메틸아크릴레이트 또는 3,4-에폭시시클로헥실메틸메타크릴레이트를 이용하여 형성되는 구성 단위인 것을 특징으로 하는 포지티브형 감광성 수지 조성물.
(4) (1)에 있어서, 상기 (B) 성분은 파장 300nm 이상의 활성 광선의 조사에 의해 산을 발생시키는 화합물인 것을 특징으로 하는 포지티브형 감광성 수지 조성물.
(5) (1)에 있어서, 상기 (B) 성분은 하기 일반식(2)로 나타내어지는 옥심술포네이트기를 함유하는 화합물인 것을 특징으로 하는 포지티브형 감광성 수지 조성물.
[일반식(2)에 있어서,
R5는 치환되어도 좋은 직쇄상 또는 분기상 알킬기, 시클로알킬기 또는 아릴 기를 나타낸다.]
(6) (5)에 있어서, 상기 (B) 성분은 하기 일반식(3)으로 나타내어지는 화합물인 것을 특징으로 하는 포지티브형 감광성 수지 조성물.
[일반식(3)에 있어서,
R5는 일반식(2)에 있어서의 R5와 동일하다. X는 직쇄상 또는 분기상 알킬기, 알콕시기 또는 할로겐 원자를 나타낸다.
m은 0~3의 정수를 나타낸다. m이 2 또는 3일 때 복수의 X는 동일해도 달라도 좋다.]
(7) (1)에 있어서, (C) 밀착 조제를 더 함유하는 것을 특징으로 하는 포지티브형 감광성 수지 조성물.
(8) (1)에 기재된 포지티브형 감광성 수지 조성물을 기판 상에 도포, 건조시킴으로써 도막을 형성하고, 상기 도막을 마스크를 통해 활성 광선 또는 방사선을 이용해서 노광하고, 알칼리 현상액을 이용해서 현상함으로써 패턴을 형성하고, 상기 패턴을 가열 처리하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 경화막 형성 방법.
(9) (8)에 있어서, 상기 패턴을 형성한 후, 상기 패턴을 가열 처리하기 전에 전면 노광하는 것을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 경화막 형성 방법.
(10) (8)에 기재된 경화막 형성 방법을 이용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 경화막.
(11) (10)에 기재된 경화막을 갖는 것을 특징으로 하는 액정 표시 소자.
(12) (10)에 기재된 경화막을 갖는 것을 특징으로 하는 집적 회로 소자.
(13) (10)에 기재된 경화막을 갖는 것을 특징으로 하는 고체 촬상 소자.
(14) (10)에 기재된 경화막을 갖는 것을 특징으로 하는 유기 EL 소자.
(15) (A1) 산해리성기를 갖는 하기 일반식(1)로 나타내어지는 구성 단위를 함유하고, 알칼리 불용성 또는 알칼리 난용성이며, 또한 상기 산해리성기가 해리되었을 때에 알칼리 가용성이 되는 수지, (A2) 카르복실기와 반응하여 공유 결합을 형성할 수 있는 관능기로서 에폭시기 또는 옥세탄기를 갖는 구성 단위를 함유하는 수지, 및 (B) 활성 광선 또는 방사선의 조사에 의해 산을 발생시키는 화합물을 함유하는 것을 특징으로 하는 전자 부품의 층간 절연막 형성용 포지티브형 감광성 수지 조성물.
[일반식(1)에 있어서,
R1은 수소 원자, 메틸기, 할로겐 원자 또는 시아노기를 나타낸다.
R2 및 R3은 각각 독립적으로 수소 원자, 직쇄상 또는 분기상 알킬기 또는 시클로알킬기를 나타낸다. 단, R2 및 R3 중 1개 이상은 직쇄상 또는 분기상 알킬기 또는 시클로알킬기를 나타낸다.
R4는 치환되어도 좋은 직쇄상 또는 분기상 알킬기, 시클로알킬기 또는 아랄킬기를 나타낸다.
R2 또는 R3과 R4가 연결되어 환상 에테르를 형성해도 좋다.]
(16) (15)에 있어서, 상기 카르복실기와 반응해서 공유 결합을 형성할 수 있는 관능기를 갖는 구성 단위는 하기 일반식(4), 일반식(5) 또는 일반식(6)으로 나타내어지는 라디칼 중합성 단량체를 이용하여 형성되는, 관능기로서 에폭시기를 함유하는 구성 단위인 것을 특징으로 하는 전자 부품의 층간 절연막 형성용 포지티브형 감광성 수지 조성물.
[일반식 (4)∼(6) 중, X는 2가의 연결기를 나타내며, R7은 수소 원자, 메틸기 또는 할로겐 원자를 나타내며, R8, R9, R10, R11, R12, R13, R14 및 R15는 각각 독립적으로 수소 원자 또는 알킬기를 나타낸다. n은 1∼10의 정수이다.]
(17) (16)에 있어서, 상기 카르복실기와 반응해서 공유 결합을 형성할 수 있는 관능기를 갖는 구성 단위는 3,4-에폭시시클로헥실메틸아크릴레이트 또는 3,4-에폭시시클로헥실메틸메타크릴레이트를 이용하여 형성되는 구성 단위인 것을 특징으로 하는 전자 부품의 층간 절연막 형성용 포지티브형 감광성 수지 조성물.
(18) (15)에 있어서, 상기 (B) 성분은 파장 300nm 이상의 활성 광선의 조사에 의해 산을 발생시키는 화합물인 것을 특징으로 하는 전자 부품의 층간 절연막 형성용 포지티브형 감광성 수지 조성물.
(19) (15)에 있어서, 상기 (B) 성분은 하기 일반식(2)로 나타내어지는 옥심술포네이트기를 함유하는 화합물인 것을 특징으로 하는 전자 부품의 층간 절연막 형성용 포지티브형 감광성 수지 조성물.
[일반식(2)에 있어서,
R5는 치환되어도 좋은 직쇄상 또는 분기상 알킬기, 시클로알킬기 또는 아릴 기를 나타낸다.]
(20) (19)에 있어서, 상기 (B) 성분은 하기 일반식(3)으로 나타내어지는 화합물인 것을 특징으로 하는 전자 부품의 층간 절연막 형성용 포지티브형 감광성 수지 조성물.
[일반식(3)에 있어서,
R5는 일반식(2)에 있어서의 R5와 동일하다. X는 직쇄상 또는 분기상 알킬기, 알콕시기 또는 할로겐 원자를 나타낸다.
m은 0~3의 정수를 나타낸다. m이 2 또는 3일 때 복수의 X는 동일해도 달라도 좋다.]
(21) (15)에 있어서, (C) 밀착 조제를 더 함유하는 것을 특징으로 하는 전자 부품의 층간 절연막 형성용 포지티브형 감광성 수지 조성물.
(22) (15)에 있어서, 상기 (A2) 성분은 카르복실기와 반응해서 공유 결합을 형성할 수 있는 관능기를 갖는 구성 단위와 상기 일반식(1)로 나타내어지는 구성 단위를 함유하는 것을 특징으로 하는 전자 부품의 층간 절연막 형성용 포지티브형 감광성 수지 조성물.
(23) (15)에 있어서, 상기 전자 부품은 집적 회로 소자인 것을 특징으로 하는 전자 부품의 층간 절연막 형성용 포지티브형 감광성 수지 조성물.
(24) (15)에 기재된 전자 부품의 층간 절연막 형성용 포지티브형 감광성 수지 조성물을 기판 상에 도포, 건조시킴으로써 도막을 형성하고, 상기 도막을 마스크를 통해 활성 광선 또는 방사선을 이용해서 노광하고, 알칼리 현상액을 이용해서 현상함으로써 패턴을 형성하고, 상기 패턴을 가열 처리하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 부품의 층간 절연막 형성 방법.
(25) (24)에 있어서, 상기 패턴을 형성한 후, 상기 패턴을 가열 처리하기 전에 전면 노광하는 것을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 부품의 층간 절연막 형성 방법.
(26) (24)에 기재된 전자 부품의 층간 절연막 형성 방법을 이용해서 형성되는 것을 특징으로 하는 전자 부품의 층간 절연막.
(27) (26)에 기재된 층간 절연막을 갖는 것을 특징으로 하는 액정 표시 소자.
(28) (26)에 기재된 층간 절연막을 갖는 것을 특징으로 하는 집적 회로 소자.
(29) (26)에 기재된 층간 절연막을 갖는 것을 특징으로 하는 고체 촬상 소자.
(30) (26)에 기재된 층간 절연막을 갖는 것을 특징으로 하는 유기 EL 소자.
Claims (30)
- (A1) 산해리성기를 갖는 하기 일반식(1)로 나타내어지는 구성 단위를 함유하고, 알칼리 불용성 또는 알칼리 난용성이며, 또한 상기 산해리성기가 해리되었을 때에 알칼리 가용성이 되는 수지, (A3) 카르복실기와 반응하여 공유 결합을 형성할 수 있는 관능기로서 에폭시기 또는 옥세탄기를 갖는 구성 단위와 하기 일반식(1)로 나타내어지는 구성 단위를 함유하는 수지, 및 (B) 활성 광선 또는 방사선의 조사에 의해 산을 발생시키는 화합물을 함유하는 것을 특징으로 하는 포지티브형 감광성 수지 조성물.
[일반식(1)에 있어서,
R1은 수소 원자, 메틸기, 할로겐 원자 또는 시아노기를 나타낸다.
R2 및 R3은 각각 독립적으로 수소 원자, 직쇄상 또는 분기상 알킬기 또는 시클로알킬기를 나타낸다. 단, R2 및 R3 중 1개 이상은 직쇄상 또는 분기상 알킬기 또는 시클로알킬기를 나타낸다.
R4는 치환되어도 좋은 직쇄상 또는 분기상 알킬기, 시클로알킬기 또는 아랄킬기를 나타낸다.
R2 또는 R3과 R4가 연결되어 환상 에테르를 형성해도 좋다.] - 제 1 항에 있어서,
상기 카르복실기와 반응해서 공유 결합을 형성할 수 있는 관능기를 갖는 구성 단위는 하기 일반식(4), 일반식(5) 또는 일반식(6)으로 나타내어지는 라디칼 중합성 단량체를 이용하여 형성되는, 관능기로서 에폭시기를 함유하는 구성 단위인 것을 특징으로 하는 포지티브형 감광성 수지 조성물.
[일반식 (4)∼(6) 중, X는 2가의 연결기를 나타내며, R7은 수소 원자, 메틸기 또는 할로겐 원자를 나타내며, R8, R9, R10, R11, R12, R13, R14 및 R15는 각각 독립적으로 수소 원자 또는 알킬기를 나타낸다. n은 1∼10의 정수이다.] - 제 2 항에 있어서,
상기 카르복실기와 반응해서 공유 결합을 형성할 수 있는 관능기를 갖는 구성 단위는 3,4-에폭시시클로헥실메틸아크릴레이트 또는 3,4-에폭시시클로헥실메틸메타크릴레이트를 이용하여 형성되는 구성 단위인 것을 특징으로 하는 포지티브형 감광성 수지 조성물. - 제 1 항에 있어서,
상기 (B) 성분은 파장 300nm 이상의 활성 광선의 조사에 의해 산을 발생시키는 화합물인 것을 특징으로 하는 포지티브형 감광성 수지 조성물. - 제 1 항에 있어서,
(C) 밀착 조제를 더 함유하는 것을 특징으로 하는 포지티브형 감광성 수지 조성물. - 제 1 항에 기재된 포지티브형 감광성 수지 조성물을 기판 상에 도포, 건조시킴으로써 도막을 형성하고, 상기 도막을 마스크를 통해 활성 광선 또는 방사선을 이용해서 노광하고, 알칼리 현상액을 이용해서 현상함으로써 패턴을 형성하고, 상기 패턴을 가열 처리하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 경화막 형성 방법.
- 제 8 항에 있어서,
상기 패턴을 형성한 후, 상기 패턴을 가열 처리하기 전에 전면 노광하는 것을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 경화막 형성 방법. - 제 8 항에 기재된 경화막 형성 방법을 이용하여 형성되는 것을 특징으로 하는 경화막.
- 제 10 항에 기재된 경화막을 갖는 것을 특징으로 하는 액정 표시 소자.
- 제 10 항에 기재된 경화막을 갖는 것을 특징으로 하는 집적 회로 소자.
- 제 10 항에 기재된 경화막을 갖는 것을 특징으로 하는 고체 촬상 소자.
- 제 10 항에 기재된 경화막을 갖는 것을 특징으로 하는 유기 EL 소자.
- (A1) 산해리성기를 갖는 하기 일반식(1)로 나타내어지는 구성 단위를 함유하고, 알칼리 불용성 또는 알칼리 난용성이며, 또한 상기 산해리성기가 해리되었을 때에 알칼리 가용성이 되는 수지, (A2) 카르복실기와 반응하여 공유 결합을 형성할 수 있는 관능기로서 에폭시기 또는 옥세탄기를 갖는 구성 단위를 함유하는 수지, 및 (B) 활성 광선 또는 방사선의 조사에 의해 산을 발생시키는 화합물을 함유하는 것을 특징으로 하는 전자 부품의 층간 절연막 형성용 포지티브형 감광성 수지 조성물.
[일반식(1)에 있어서,
R1은 수소 원자, 메틸기, 할로겐 원자 또는 시아노기를 나타낸다.
R2 및 R3은 각각 독립적으로 수소 원자, 직쇄상 또는 분기상 알킬기 또는 시클로알킬기를 나타낸다. 단, R2 및 R3 중 1개 이상은 직쇄상 또는 분기상 알킬기 또는 시클로알킬기를 나타낸다.
R4는 치환되어도 좋은 직쇄상 또는 분기상 알킬기, 시클로알킬기 또는 아랄킬기를 나타낸다.
R2 또는 R3과 R4가 연결되어 환상 에테르를 형성해도 좋다.] - 제 15 항에 있어서,
상기 카르복실기와 반응해서 공유 결합을 형성할 수 있는 관능기를 갖는 구성 단위는 하기 일반식(4), 일반식(5) 또는 일반식(6)으로 나타내어지는 라디칼 중합성 단량체를 이용하여 형성되는, 관능기로서 에폭시기를 함유하는 구성 단위인 것을 특징으로 하는 전자 부품의 층간 절연막 형성용 포지티브형 감광성 수지 조성물.
[일반식 (4)∼(6) 중, X는 2가의 연결기를 나타내며, R7은 수소 원자, 메틸기 또는 할로겐 원자를 나타내며, R8, R9, R10, R11, R12, R13, R14 및 R15는 각각 독립적으로 수소 원자 또는 알킬기를 나타낸다. n은 1∼10의 정수이다.] - 제 16 항에 있어서,
상기 카르복실기와 반응해서 공유 결합을 형성할 수 있는 관능기를 갖는 구성 단위는 3,4-에폭시시클로헥실메틸아크릴레이트 또는 3,4-에폭시시클로헥실메틸메타크릴레이트를 이용하여 형성되는 구성 단위인 것을 특징으로 하는 전자 부품의 층간 절연막 형성용 포지티브형 감광성 수지 조성물. - 제 15 항에 있어서,
상기 (B) 성분은 파장 300nm 이상의 활성 광선의 조사에 의해 산을 발생시키는 화합물인 것을 특징으로 하는 전자 부품의 층간 절연막 형성용 포지티브형 감광성 수지 조성물. - 제 15 항에 있어서,
(C) 밀착 조제를 더 함유하는 것을 특징으로 하는 전자 부품의 층간 절연막 형성용 포지티브형 감광성 수지 조성물. - 제 15 항에 있어서,
상기 (A2) 성분은 카르복실기와 반응해서 공유 결합을 형성할 수 있는 관능기를 갖는 구성 단위와 상기 일반식(1)로 나타내어지는 구성 단위를 함유하는 것을 특징으로 하는 전자 부품의 층간 절연막 형성용 포지티브형 감광성 수지 조성물. - 제 15 항에 있어서,
상기 전자 부품은 집적 회로 소자인 것을 특징으로 하는 전자 부품의 층간 절연막 형성용 포지티브형 감광성 수지 조성물. - 제 15 항에 기재된 전자 부품의 층간 절연막 형성용 포지티브형 감광성 수지 조성물을 기판 상에 도포, 건조시킴으로써 도막을 형성하고, 상기 도막을 마스크를 통해 활성 광선 또는 방사선을 이용해서 노광하고, 알칼리 현상액을 이용해서 현상함으로써 패턴을 형성하고, 상기 패턴을 가열 처리하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 부품의 층간 절연막 형성 방법.
- 제 24 항에 있어서,
상기 패턴을 형성한 후, 상기 패턴을 가열 처리하기 전에 전면 노광하는 것을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 부품의 층간 절연막 형성 방법. - 제 24 항에 기재된 전자 부품의 층간 절연막 형성 방법을 이용해서 형성되는 것을 특징으로 하는 전자 부품의 층간 절연막.
- 제 26 항에 기재된 층간 절연막을 갖는 것을 특징으로 하는 액정 표시 소자.
- 제 26 항에 기재된 층간 절연막을 갖는 것을 특징으로 하는 집적 회로 소자.
- 제 26 항에 기재된 층간 절연막을 갖는 것을 특징으로 하는 고체 촬상 소자.
- 제 26 항에 기재된 층간 절연막을 갖는 것을 특징으로 하는 유기 EL 소자.
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