JP5889704B2 - 液晶表示装置の製造方法 - Google Patents
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Description
上下基板間に電極対を有し、電極対間に基板面に平行な電界を印加することにより液晶分子の配向状態を制御する液晶表示装置を実現するために、本発明に先立って、マトリクス状に複数の画素が配置され、各画素には、画素の両端において画素の長辺方向に伸びる大きい壁と、前記大きい壁の間であって前記大きい壁と平行に伸びる、前記大きい壁よりも高さが低い小さい壁とを備え、前記小さい壁上にTFT側電極を形成し、前記大きい壁の側面に壁電極を形成した液晶表示装置を提案した。(特許文献2)
また、本発明の液晶表示装置の製造方法において、前記化学増幅型レジストとして、ポジ型のレジストを用いるのが好ましい。
また、本発明の液晶表示装置の製造方法において、前記プリ焼成の温度を150℃以下とし、前記本焼成の温度を200℃以上とするのが好ましい。
また、本発明の液晶表示装置の製造方法において、前記プリ焼成温度をレジスト材料のガラス転移点以下の80〜120℃とし、前記本焼成の温度を硬化反応が進む200〜250℃とするのがより好ましい。
また、本発明の液晶表示装置の製造方法において、形成した前記壁構造のテーパ角度が70度以上90度未満であるのが好ましい。
また、本発明の液晶表示装置の製造方法において、前記ポジ型レジストとして化学増幅ポジ型レジストを用いるのが好ましい。
また、本発明の液晶表示装置の製造方法において、前記本焼成のステップとして、200℃以上の温度で本焼成するのが好ましい。
また、本発明の液晶表示装置の製造方法において、前記レジストを露光する際に、壁の頂上の横幅と同寸法以上の開口部を有するマスクを介して露光するのが好ましい。
また、本発明の液晶表示装置の製造方法において、本焼成を5℃以上の昇温速度で実施するのが好ましい。
また、本発明の液晶表示装置の製造方法において、本焼成を10℃以上の昇温速度で実施するのがより好ましい。
さらに、壁の材料と絶縁・平坦化膜の材料を同一材料とすることができ、低コスト化を図ることができる。
そして、TFT側基板とCF側基板とが貼り合わせられ、両基板間に液晶層24が封入される。
なお、図5および図6に記載の壁電極方式の液晶表示装置は本発明が適用される液晶表示装置の一例であって、本発明は、例えば平面電極212や保持容量電極17などを備えていない液晶表示装置にも適用できるものである。
また、絶縁・平坦化膜の形成は、ポジ型レジスト、例えば化学増幅ポジ型レジストを塗布し、露光・現像後に、ポスト露光とプリ焼成を実施することなく、本焼成を行うことにより形成する。
化学増幅ポジ型レジストとしては、例えば特許文献3〜6にみられる、公知の材料を用いればよい。
(1)レジスト塗布の工程で、基板1上に化学増幅型レジスト2を一様な厚さに塗布し、乾燥する。
(2)露光工程で、壁のパターンを備えるホトマスク3を介して化学増幅型レジスト2の露光を行う。図において、ホトマスク3のハーフトーン部分は、小さい壁構造に対応している。
(3)現像工程で、露光部分のレジスト2を除去し、壁構造4の部分を残す。
(4)ポスト露光工程で、全面透過マスク5を介して、現像後の化学増幅型レジスト2に光を照射する。
(5)プリ焼成工程で、本焼成よりも低い温度、例えば150℃以下の温度、好ましくはレジスト材料のガラス転移点以下の80〜120℃、で残存した化学増幅型レジスト4の焼成を行う。
(6)本焼成工程で、プリ焼成よりも高温、例えば200℃以上の温度、好ましくは材料の硬化反応が進む200〜250℃、で残存した化学増幅ポジ型レジスト2の焼成を行う。
(7)完成状態に示すような、大きい壁構造および小さい壁構造を得ることができる。図2に、SEMにより観測した、壁構造の断面の一例を示す。図2に示されるように、壁側面のテーパ角度が大きく、アスペクト比の大きい壁を形成することができる。
化学増幅ポジ型レジストは、光が当たると光酸発生剤が分解して酸を発生し、その酸の触媒作用で樹脂の保護基が外れ、保護基が外れたところがカルボン酸に変わり現像溶解性が出現する。現像後(ポジ型なので現像後に残膜しているのは光が当たっていない部分)にポスト露光(UV全面照射)を行うと、保護基が外れ多量のカルボン酸が発生し、従来のNQD型有機PASレジストと同様に、樹脂中に含まれるカルボン酸と反応性官能基(例えばエポキシ基)の硬化反応が起こり熱リフローしにくくなる。加えて材料のガラス転移点よりも低い温度(100℃前後)でプリ焼成し、材料が全くリフローしない状態でカルボン酸と反応性官能基(例えばエポキシ基)の反応を進めておくことで、本焼成時の熱リフローを小さくすることができる。プリ焼成の効果は従来のNQD型も同様に認められるが、化学増幅型は光吸収の大きい感光剤量がNQD型の1/10以下と少ないので、塗布膜が透明で光の抜けが良く、かつ光で発生した酸が膜中を拡散し反応を進めるので、現像完了時のテーパ自体が従来のNQD型よりも急峻に仕上がる。そのため従来のNQD型有機PASレジストではポスト露光とプリ焼成を実施しても対応できなかった70度以上の高テーパが、化学増幅ポジ型レジストでは得ることができる。
(1)レジスト塗布工程で、壁構造4の間の凹部にポジ型レジスト6、例えば化学増幅ポジ型レジストを塗布し、乾燥する。図に示すように、レジスト6は、壁の近くが厚く、中央部が薄く形成される。
(2)露光工程で、壁部分および壁の近傍を開口するホトマスク7を介して、ポジ型レジスト6を露光する。ホトマスク7としては、壁の頂上の横幅と同寸法以上の開口部を有するマスクを用いる。
(3)現像工程で、露光部分のレジスト6を除去する。図に示すように、壁構造の間に凸状のレジストが残される。
(4)本焼成工程で、高温、例えば200℃以上の温度、で本焼成を行う。これによりポジ型レジスト6のリフローが行われる。
なお、本焼成は、例えば5℃以上の昇温温度で、より好ましくは10℃以上の昇温温度で実施する。
(5)完成状態に示すように、本焼成工程中に、ポジ型レジスト6がリフローし、平坦な絶縁・平坦化膜が得られる。
分子量約20000のアクリル樹脂を基材とした化学増幅ポジ型レジスト(固形分45%)を、スピンコーターで回転数2000rpmで塗布し、90℃に設定したホットプレートで5分乾燥した。このときの膜厚は7.7μmであった。(図1(1)レジスト塗布)
次に、ghi線光源の露光機で、ホトマスクを介して100mJ/cm2量の露光を行った。(図1(2)露光)ホットプレートを用い60℃/2分のPEB(Post Exposure Bake:露光後ベーク)を行った後、0.4%TMAH(Tetramethylammonium Hydroxide)でパドル現像を90秒行い、純水で60秒リンスした。(図1(3)現像)
次に、ポスト露光を行った。ghi線光源の露光機に、全面透過マスク(素板)を入れ300mJ/cm2光照射した。(図1(4)ポスト露光)この後、昇温速度約10℃のオーブンで、プリ焼成(100℃/30分保持)(図1(5)プリ焼成)、本焼成(230℃/30分保持)(図1(6)本焼成)を行い、図2に示すような膜厚6μm、幅5μm、テーパ角87度の壁を得た。(図1(7)完成)
なお、大きい壁の間にある小さい壁は、壁パターン形成マスクの小さい壁の位置に透過率20%のハーフトーン領域を設けておき、大きい壁と一括形成した。このときの小さい壁の膜厚は3μmであった。
TFT側電極16および保持容量電極層17は、アモルファスITOをスパッタした後、ポジレジストの電極パターンを塗布・露光・現像で形成し、レジストが被覆していない部分のITOを蓚酸でウェットエッチング除去し、レジスト剥離後、ITOを230℃で加熱ポリ化して形成した。
同様に層間絶縁膜20(SiN・CVD−ホトリソグラフィ−ドライエッチング)、壁電極21(ITOスパッタ−ホトリソグラフィ−ウェットエッチング−ITO焼成)を形成した。
壁形成と同様の化学増幅ポジ型レジスト(固形分約45%)を、スピンコーターで回転数3000rpmで塗布し、90℃に設定したホットプレートで2分乾燥した。このときの断面は図3((1)塗布)に示した形状であった。
次に、ghi線光源の露光機で、ホトマスクを介して100mJ/cm2量の露光を行った。このときのマスクは、壁の寸法より片側2μm大きいパターンを用いた。ホットプレートで60℃/2分のPEBを行った後、0.4%TMAHでパドル現像を90秒行い、純水で60秒リンスした。このときの断面は図3((2)露光・(3)現像)に示した形状であった。
次に壁形成で用いたポスト露光(全面露光)とプリ焼成(100℃)を加えずに、本焼成(230℃/30分保持)を行った。(図3(4)本焼成)全面露光とプリ焼成を省略したことで、樹脂の硬化反応が遅延した分リフローが進み、図3((5)完成)に示した平坦な形状を得た。
(3)絶縁・平坦化膜(PAS)の形成
従来の分子量約7000のアクリル樹脂を基材としたNQD型有機PASレジスト8(固形分32%)をスピンコーターで回転数1000rpmで塗布し、90℃に設定したホットプレートで2分乾燥した。このときの断面は図4((1)塗布)に示した形状であった。
次に、ghi線光源の露光機で、ホトマスク7を介して200mJ/cm2量の露光を行った。このときのマスクは、壁の寸法より片側2μm大きいパターンを用いた。この後0.4%TMAHでパドル現像を60秒行い、純水で60秒リンスした。このときの断面は図4((2)露光・現像)に示した形状であった。
次に、ポスト露光(全面300mJ/cm2)を行った後、本焼成(230℃/30分保持)を行った。従来のNQD型材料は、ポスト露光を省略するとNQDの強い着色が残るため、画素部に用いるときはポスト露光によるNQDの透明化が必要である。実施例と同様にプリ焼成を省略しても、樹脂の硬化反応が早く、リフローが不十分となり、図4((3)焼成)に示したような段差が残る膜になった。
(1)化学増幅ポジ型レジストを用い、ポスト露光、プリ焼成、本焼成のプロセスを行うことで、膜厚4μm以上でテーパ角70度以上の壁を形成することができる。
2 化学増幅型レジスト
3 ホトマスク
4 壁構造
5 全面透過マスク
6 ポジ型レジスト
7 ホトマスク
8 従来の有機PASレジスト
12 信号配線
13 絶縁膜
14 壁構造
15 小さい壁構造
16 TFT側電極
17 保持容量電極
20 層間絶縁膜
21 壁電極
211 壁状電極
212 平面電極
22 絶縁・平坦化膜
23 配向膜
24 液晶層
25 OC(オーバーコート)
26 CF(カラーフィルタ)
27 BM(ブラックマトリクス)
Claims (11)
- マトリクス状に複数の画素が配置され、各画素は、画素境界に絶縁体の壁構造を備え、少なくとも前記壁構造の側面に壁電極を有する液晶表示装置の製造方法において、
前記壁構造の材料として化学増幅型レジストを用い、
化学増幅型レジストを塗布するステップ、および前記化学増幅型レジストを露光・現像するステップにより壁構造を形成し、さらに、
前記壁構造の間に設ける絶縁・平坦化膜の材料としてポジ型レジストを用い、
ポジ型レジストを塗布するステップ、前記ポジ型レジストを露光・現像するステップ、および前記ポジ型レジストを本焼成するステップにより絶縁・平坦化膜を形成し、
前記ポジ型レジストを露光する際に、前記壁構造の頂上の横幅と同寸法以上の開口部を有するマスクを介して露光することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。 - 請求項1に記載の液晶表示装置の製造方法において、
前記化学増幅型レジストとして、ポジ型のレジストを用いた液晶表示装置の製造方法。 - 請求項1または請求項2に記載の液晶表示装置の製造方法において、
前記化学増幅型レジストを露光・現像するステップの後に、
残存する化学増幅型レジストに、光を全面照射しポスト露光するステップと、
本焼成の温度より低い温度でプリ焼成するステップと、
プリ焼成の温度よりも高い温度で本焼成するステップを含む液晶表示装置の製造方法。 - 請求項3に記載の液晶表示装置の製造方法において、
前記プリ焼成の温度を150℃以下とし、前記本焼成の温度を200℃以上とした液晶表示装置の製造方法。 - 請求項4に記載の液晶表示装置の製造方法において、
前記プリ焼成温度をレジスト材料のガラス転移点以下の80〜120℃とし、前記本焼成の温度を硬化反応が進む200〜250℃とした液晶表示装置の製造方法。 - 請求項1〜5の何れか1つに記載の液晶表示装置の製造方法において、
形成した前記壁構造のテーパ角度が70度以上90度未満である液晶表示装置の製造方法。 - 請求項1に記載の液晶表示装置の製造方法において、
前記ポジ型レジストとして化学増幅ポジ型レジストを用いた液晶表示装置の製造方法。 - 請求項7に記載の液晶表示装置の製造方法において、
前記本焼成のステップとして、200℃以上の温度で本焼成する液晶表示装置の製造方法。 - 請求項7に記載の液晶表示装置の製造方法において、
本焼成を5℃以上の昇温速度で実施する液晶表示装置の製造方法。 - 請求項7に記載の液晶表示装置の製造方法において、
本焼成を10℃以上の昇温速度で実施することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。 - 請求項7に記載の液晶表示装置の製造方法において、
前記壁構造のレジスト材料と前記絶縁・平坦化膜のレジスト材料として、同一材料を用いた液晶表示装置の製造方法。
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