KR100991367B1 - 표시장치용 검사 모듈 - Google Patents

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KR100991367B1
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김영선
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(주)아테코
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Abstract

표시장치용 검사 모듈은 영상을 표시하는 표시장치의 각 신호선들과 접촉되는 복수개의 프로브 핀들을 포함하는 프로브 블럭; 상기 신호선들로 테스트 신호를 입력 및 상기 신호선들으로부터 테스트 결과 신호를 피드백 받기 위해 상기 프로브 핀들의 개수와 동일한 개수로 형성된 배선들을 포함하는 적어도 하나의 플랙시블 회로 기판; 및 기판 및 상기 기판 상에 배치되며 상기 각 프로브 핀들 및 상기 각 프로브 핀들과 대응하는 상기 각 배선들을 전기적으로 연결하는 연결 패턴들을 포함하는 패턴 기판을 포함한다.

Description

표시장치용 검사 모듈{MODULE FOR TESTING DISPLAY DEVICE}
본 발명은 표시장치용 검사 모듈에 관한 것이다.
일반적으로 디지털 표시장치의 개발이 활발히 진행되고 있으며, 디지털 표시장치는 데스크톱 컴퓨터, 노트북 컴퓨터, 게임기와 같은 정보 처리장치 및 디지털 TV 등에 널리 적용되고 있다.
대표적인 디지털 표시장치로는 액정을 이용하는 액정표시장치, 플라즈마를 이용하는 플라즈마 표시장치 및 유기발광물질을 이용하는 OLED 표시장치 등을 들 수 있다.
이들 디지털 표시장치는 아날로그 표시장치와 다르게 신호선들에 디지털 영상 신호가 입력되고 디지털 영상 신호에 의하여 액정, 플라즈마, 유기발광 물질을 이용하여 영상이 표시된다.
디지털 표시장치의 신호선들은 주로 금속막 증착 공정, 금속막 패터닝 공정과 같은 박막 처리 공정에 의하여 형성된다.
디지털 영상 신호가 입력되는 신호선들을 갖는 디지털 표시장치들은 조립이 완료된 후 테스트 공정이 수행되는데, 디지털 표시장치의 테스트 공정은 신호선들에 테스트 신호를 인가하여 디지털 표시장치에 테스트 영상을 구현한 후 테스트 영상을 작업자가 비주얼 방식으로 검사하여 디지털 표시장치의 양부를 판별한다.
그러나, 종래 디지털 표시장치를 비주얼 방식으로 테스트할 경우, 작업자의 숙련도 및 작업자의 피로도에 따라서 테스트가 정확하게 이루어지지 않는 문제점을 갖는다.
또한, 종래 디지털 표시장치의 테스트 공정은 디지털 표시장치가 완전히 조립된 후 수행되기 때문에 테스트 공정에서 불량으로 판정된 디지털 표시장치는 리페어가 불가하여 폐기되고 이로 인해 수율이 감소 되는 문제점을 갖는다.
특히, 디지털 표시장치가 완전히 조립된 후 테스트 공정이 수행될 경우, 디지털 표시장치의 신호선들을 형성하는 공정 중 발생 된 신호선의 단선과 같은 치명적인 불량을 조기에 발견하기 어려운 문제점을 갖는다.
본 발명은 디지털 표시장치를 완전히 조립하지 않은 상태에서 디지털 표시장치의 신호선들에 테스트 신호를 인가 및 신호선들로부터 출력되는 피드백 신호를 이용하여 테스트 공정을 수행하는 양방향 테스트 장치에서 필수적으로 요구되는 표시장치 검사 모듈을 제공한다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
일실시예로서, 표시장치용 검사 모듈은 영상을 표시하는 표시장치의 각 신호선들과 접촉되는 복수개의 프로브 핀들을 포함하는 프로브 블럭; 상기 신호선들로 테스트 신호를 입력 및 상기 신호선들으로부터 테스트 결과 신호를 피드백 받기 위해 상기 프로브 핀들의 개수와 동일한 개수로 형성된 배선들을 포함하는 적어도 하나의 플랙시블 회로 기판; 및 기판 및 상기 기판 상에 배치되며 상기 각 프로브 핀들 및 상기 각 프로브 핀들과 대응하는 상기 각 배선들을 전기적으로 연결하는 연결 패턴들을 포함하는 패턴 기판을 포함한다.
표시장치용 검사 모듈은 상기 프로브 블록, 상기 플랙시블 회로 기판 및 상기 패턴 기판이 배치되는 베이스 기판을 더 포함한다.
표시장치용 검사 모듈의 상기 프로브 블록의 상기 프로브 핀들은 제1 간격으로 형성되고, 상기 패턴 기판과 인접한 플랙시블 회로 기판의 상기 배선들은 상기 제1 간격보다 넓은 제2 간격으로 형성된다.
표시장치용 검사 모듈의 상기 연결 패턴들은 복수개의 상기 연결 패턴들을 포함하는 적어도 2 개의 연결 패턴 그룹을 포함하고, 상기 각 연결 패턴 그룹마다 상기 플랙시블 회로 기판의 배선들이 접속된다.
표시장치용 검사 모듈의 상기 연결 패턴 그룹마다 접속된 상기 각 플랙시블 회로 기판들은 상기 연결 패턴 그룹에 접속되며 제1 폭을 갖는 제1 회로 기판부 및 상기 제1 회로 기판부의 제1 폭보다 넓은 제2 폭을 갖는 제2 회로 기판부를 포함한다.
표시장치용 검사 모듈의 상기 각 플랙시블 회로 기판들의 각 제2 회로 기판부들은 상호 중첩된다.
표시장치용 검사 모듈의 상기 각 플랙시블 회로 기판은 노이즈를 방지하기 위해 상기 플랙시블 회로기판의 표면을 감싸는 전자파 차폐 부재를 포함한다.
표시장치용 검사 모듈은 상기 플랙시블 회로 기판과 전기적으로 연결되어 상기 테스트 신호를 상기 플랙시블 회로 기판의 상기 각 배선들로 인가 및 상기 배선으로부터 출력되는 피드백 신호를 입력받아 상기 표시장치의 양부를 판단하는 양방향 검사 장치를 더 포함한다.
본 발명에 따른 표시장치용 검사 모듈에 의하면, 표시장치의 신호선들 및 양방향 검사 장치가 표시장치용 검사 모듈에 의하여 일대일로 연결됨으로써, 양방향 검사 장치로부터 테스트 신호를 신호선들로 인가 및 신호선들로부터 피드백 신호를 양방향 검사 장치로 제공하여 각각의 신호선들을 전기적으로 검사하여 검사 정확도를 보다 향상시키고, 표시장치를 완전히 조립하기 이전에 표시장치를 단위 공정마다 검사할 수 있는 효과를 갖는다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 표시장치용 검사 모듈을 도시한 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 표시장치용 검사 모듈의 후면을 도시한 사시도이다.
도 3은 도 2에 도시된 표시장치용 검사 모듈의 분해 사시도이다.
도 4는 도 3에 도시된 패턴 기판을 도시한 사시도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치용 검사 모듈을 도시한 분해 사시도이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명한다. 이 과정에서 도면에 도시된 구성요소의 크기나 형상 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시될 수 있다. 또한, 본 발명의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의된 용어들은 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야 한다.
이하, 본 발명에서 빈번하게 사용되는 용어의 정의는 다음과 같다.
본 발명에서 빈번하게 사용되는 "표시장치"는 복수개의 신호선들 및 신호선들에 디지털 영상 신호를 인가하여 영상을 표시하는 디지털 표시장치를 의미하며, "표시장치"는 액정표시(liquid crystal display device, LCD) 장치, 플라즈마 표시 패널(plasma display panel, PDP) 장치 및 유기 광 발생 다이오드(organic light emitting diodes, OLED) 장치 등을 포함할 수 있다. 본 발명에서 빈번하게 사용되는 "표시장치"는 LCD 장치, PDP 장치, OLED 장치 이외에 신호선에 디지털 영상 신호를 제공하여 디지털 영상을 표시하는 모든 장치를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명에서 사용되는 "양방향 검사 장치"는 "표시장치"의 신호선들에 테스트 신호를 제공 및 신호선들로부터 피드백된 피드백 신호를 이용하여 "표시장치"의 신호선들을 테스트하는 장치로서 정의된다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 표시장치용 검사 모듈을 도시한 평면도이다.
본 발명의 일실시예에서, 표시장치용 검사 모듈(100)은 앞서 정의된 표시장치(200) 및 양방향 검사 장치(300)를 전기적으로 연결한다.
표시장치용 검사 모듈(100)은 양방향 검사 장치(300)로부터 발생된 테스트 신호(TS)를 표시장치(200)의 각 신호선(210)들로 제공하고, 표시장치(200)의 신호선(210)들로부터 피드백 신호(FS)를 양방향 검사 장치(300)로 인가한다.
양방향 검사 장치(300)는 표시장치용 검사 모듈(100)을 통해 제공된 피드백 신호(FS)를 이용하여 신호선(110)들을 표시하는 표시장치(100)가 완전히 조립되기 이전에 표시장치(100)를 테스트하여 각 신호선(110)들의 양부는 물론 표시장치(100)의 양부를 테스트한다.
도 2는 도 1에 도시된 표시장치용 검사 모듈의 후면을 도시한 사시도이다. 도 3은 도 2에 도시된 표시장치용 검사 모듈의 분해 사시도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 도 1에 도시된 표시장치(200) 및 양방향 검사 장치(300)를 전기적으로 연결하는 표시장치용 검사 모듈(100)은 프로브 블럭(110), 플랙시블 회로 기판(120) 및 패턴 기판(130)을 포함한다. 이에 더하여 표시장치용 검사 모듈(100)은 베이스 기판(140)을 더 포함할 수 있다.
프로브 블럭(110)은 블럭 몸체(112) 및 프로브 핀(116)들을 포함한다.
블럭 몸체(112)는, 예를 들어, 직육면체 형상을 갖고, 블럭 몸체(112)의 하면(112a)에는 그루브(groove) 형상을 갖는 복수개의 프로브 핀 홈(113)들이 형성된다.
각 프로브 핀(116)들은 얇은 두께를 갖는 금속판 형상을 갖고, 프로브 핀(116)들은 블럭 몸체(112)의 각 프로브 핀 홈(113)들 내에 고정된다. 프로브 핀 홈(113)들에 고정된 프로브 핀(116)들은 제1 간격으로 배치된다.
각 프로브 핀(116)들은 제1 콘택부(117) 및 제2 콘택부(118)를 포함한다.
제1 콘택부(117)는 핀(pin) 형상으로 도 1에 도시된 표시장치(100)의 신호선(210)들과 전기적으로 점 접촉되고, 제2 콘택부(118)는 후술 될 패턴 기판(130)의 연결 패턴들과 전기적으로 접속된다.
플랙시블 회로 기판(120)은 기판 몸체(122) 및 배선(124)들을 포함한다.
기판 몸체(122)는 얇은 두께를 갖는 플랙시블한 절연 플레이트를 포함하고, 배선(124)은 기판 몸체(122) 상에 배치된다. 배선(124)들은 솔더레지스트 필름 등에 의하여 절연되고, 각 배선(124) 중 커넥터 등과 접속되는 부분은 솔더레지스트 필름의 개구에 의하여 노출된다.
본 실시예에서, 플랙시블 회로 기판(120)은 적어도 하나, 바람직하게 복수개로 이루어질 수 있다. 본 실시예에서는, 예를 들어, 플랙시블 회로 기판(120)은, 예를 들어, 2 개로 이루어진다. 본 실시예에서는 비록 2 개의 플랙시블 회로 기판(120)들이 도시 및 설명되고 있지만, 플랙시블 회로 기판(120)은 프로브 핀(116)의 개수에 비례하여 적어도 3 개 이상으로 이루어질 수 있다.
예를 들어, 2 개의 플랙시블 회로 기판(120)들에 형성된 배선(124)들의 개수의 총 합은 프로브 블럭(110)의 프로브 핀(116)들의 개수와 실질적으로 동일할 수 있다. 이와 다르게, 각 플랙시블 회로 기판(120)에 형성된 배선(124)들의 개수의 총 합은 배선(124)의 단선에 따른 리페어를 위하여 프로브 핀(116)의 개수보다 다소 많게 형성될 수 있다.
본 실시예에서, 프로브 핀(116)들의 개수 및 각 플랙시블 회로 기판(120)들에 형성된 배선(124)들의 개수의 총 합은 동일하다. 예를 들어, 프로브 블럭(110)은, 예를 들어, 10 개의 프로브 핀(116)들을 포함하고, 각 플랙시블 회로 기판(120)들에 형성된 배선(124)의 개수의 총 합은 프로브 핀(116)들의 개수와 동일하게 10 개이다.
본 실시예에서는 설명의 편의상 10 개의 프로브 핀(116)들 및 플랙시블 회로 기판(120)이 도시 및 설명되고 있지만, 실제로 제품에서는 수백~수천 개의 프로브 핀(116)들 및 배선(124)들은 프로브 블럭(110) 및 플랙시블 회로 기판(120)에 각각 형성된다.
각 플랙시블 회로 기판(120)들은 각각 제1 회로 기판부(125) 및 제2 회로 기판부(126)들을 포함한다.
제1 회로 기판부(125)는 후술될 패턴 기판(130)의 연결 패턴과 전기적으로 접속되는 배선(124)의 일측 단부를 포함하며, 제1 회로 기판부(125)는 제1 폭(W1)으로 형성된다. 제1 회로 기판부(125)에 형성된 배선(124)들은 프로브 블럭(110)에 고정된 프로브 핀(116)들의 상기 제1 간격보다 넓은 제2 간격으로 형성된다.
제2 회로 기판부(126)는 제1 회로 기판부(125)와 일체로 형성되며, 제2 회로 기판부(126)는 제1 폭(W1)보다 넓은 제2 폭(W2)으로 형성된다. 제2 회로 기판부(126)는 양방향 검사 장치(300)와 전기적으로 접속되는 배선(124)의 상기 일측 단부와 대향 하는 타측 단부를 포함한다.
2 개의 플랙시블 회로 기판(120)에 각각 형성되며, 평면상에서 보았을 때, 각 플랙시블 회로 기판(120)의 일측면으로부터 돌출된 제2 회로 기판부(126)들은 상호 오버랩되도록 배치되며, 이로 인해 플랙시블 회로 기판(120)에 의하여 표시장치용 검사 모듈(100)의 평면적이 불필요하게 증가 되는 것을 방지할 수 있다.
도 3을 다시 참조하면, 프로브 블럭(110) 중 돌출된 부분(110a)에는 베이스 기판(140)이 배치될 수 있다. 베이스 기판(140)에는 후술 될 패턴 기판(130)이 배치 및 고정될 수 있다.
도 4는 도 3에 도시된 패턴 기판을 도시한 사시도이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 프로브 블럭(110)에 고정된 베이스 기판(140) 상에는 패턴 기판(130)이 배치될 수 있다.
패턴 기판(130)은 기판 몸체(130a) 및 연결 패턴(131,132)을 포함한다.
기판 몸체(130a)는 플레이트 형상을 갖는다. 기판 몸체(130a)는 투명 유리 기판, 석영 기판 또는 내열 투명 합성 수지 기판, 얇은 두께를 갖는 절연 기판 등을 포함할 수 있다.
연결 패턴(131,132)은 기판 몸체(130a) 상에 배치되며, 연결 패턴(131,132)은 프로브 블럭(110)의 프로브 핀(116) 및 플랙시블 회로 기판(120)의 배선(124)의 일측 단부를 전기적으로 연결하는 역할을 한다.
본 실시예에서, 연결 패턴(131,132)들의 개수의 합은 프로브 핀(116)들의 개수와 동일하다. 또한 연결 패턴(131,132)들의 개수의 합은 각 플랙시블 회로 기판(120)들의 배선(124)들의 개수의 총 합과 동일하다. 따라서, 각 연결 패턴(131,132)은 각 프로브 핀(116)들 및 각 배선(124)들과 일대일로 연결된다.
본 실시예에서, 플랙시블 회로 기판(120)은, 예를 들어, 2 개로 이루어지고, 따라서, 연결 패턴(131,132)들은 각 플랙시블 회로 기판(120)의 개수와 대응하는 연결 패턴 그룹(131a,132a)으로 구분된다. 이와 다르게, 플랙시블 회로 기판(120)이 8 개로 이루어질 경우, 연결 패턴(133)은 8 개의 연결 패턴 그룹들로 구분된다.
각 연결 패턴 그룹(131a,132a)에 포함된 각 연결 패턴(131,132)들은 각각 플랙시블 회로 기판(120)의 각 배선(124)들과 전기적으로 연결된다.
연결 패턴(131,132)은 기판 몸체(130a)에 스퍼터링 공정과 같은 물리적 기상 증착 공정 또는 화학 기상 증착 공정에 의하여 금속막을 형성한 후, 금속막 상에 연결 패턴(131,132)들이 형성될 부분을 선택적으로 덮는 포토레지스트 패턴을 형성한 후, 포토레지스트 패턴을 식각 마스크로 이용하여 금속막을 패터닝 한 후 포토레지스트 패턴을 제거함으로써 미세한 폭으로 형성할 수 있다.
비록 본 발명의 일실시예에서 패턴 기판(130)은 유리 기판과 같은 기판 몸체(130a) 상에 연결 패턴(131,132)들이 형성된 것이 도시 및 설명되고 있지만, 이와 다르게 플랙시블 회로 기판(120)의 배선 및 프로브 핀(116)은 얇은 두께를 갖는 합성 수지와 같은 절연 기판에 형성된 연결 패턴들에 의하여 전기적으로 연결되어도 무방하다.
이하, 도 1을 참조하여 본 발명의 일실시예에 따른 표시장치용 검사 모듈(100)의 작용을 설명하기로 한다.
도 1을 다시 참조하면, 양방향 검사 장치(300)는 표시장치(200)의 각 신호선(210)으로 제공될 복수개의 테스트 신호(TS)들을 생성하고, 각 테스트 신호(TS)들을 표시장치용 검사 모듈(100)의 각 플랙시블 회로 기판(120)의 각 배선(124)들로 동시 또는 순차적으로 제공한다.
플랙시블 회로 기판(120)의 각 배선(124)들로 동시 또는 순차적으로 제공된 테스트 신호(TS)는 배선(124), 패턴 기판(130)의 연결 배선(131,132) 및 프로브 블럭(110)의 프로브 핀(116)을 경유하여 표시장치(200)의 신호선(210)들로 각각 제공된다.
이때, 양방향 검사 장치(300)로부터 발생된 각 테스트 신호(TS)는 배선(124)들, 연결 배선(131,132)들 및 프로브 핀(116)들에 의하여 테스트 신호(TS)에 대응하는 표시장치(200)의 신호선(210)들로 각각 제공된다.
이어서, 표시장치(200)의 신호선(210)들로부터는 테스트 결과 신호인 피드백 신호(FS)가 출력되고, 피드백 신호(FS)는 각 프로브 핀(116), 각 프로브 핀(116)과 대응하는 패턴 기판(130)의 각 연결 패턴(131,132) 및 각 연결 패턴(131,132)들과 연결된 플랙시블 회로 기판(120)의 배선(124)들을 통해 양방향 검사 장치(300)로 제공되고, 양방향 검사 장치(300)는 피드백 신호(FS)를 이용하여 신호선(210)들의 양부를 판별한다.
본 발명의 일실시예에서는 각 신호선(210)들, 각 신호선(210)들과 직렬 방식으로 연결된 각 프로브 핀(116)들, 각 프로브 핀(116)들과 직렬 방식으로 연결된 연결 패턴(131,132)들, 각 연결 패턴(131,132)들과 직렬 방식으로 연결된 배선(124)들 및 각 배선(124)들과 직렬 방식으로 양방향 검사 장치(300)를 연결하여, 양방향 검사 장치(300)로부터 표시장치(200)의 각 신호선(210)으로 테스트 신호를 입력 및 각 신호선(210)으로부터 피드백 신호를 양방향 검사 장치(300)로 입력하여 표시장치(200)의 각 신호선(210)들의 개별적인 불량 여부를 신속 정확하게 테스트할 수 있다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시장치용 검사 모듈을 도시한 분해 사시도이다. 도 5에 도시된 표시장치용 검사 모듈은 전자파 차폐 부재를 제외하면 앞서 도 1 내지 도 4에 도시된 표시장치용 검사 모듈과 실질적으로 동일한 구성을 갖는다. 따라서, 동일한 구성 요소에 대한 중복된 설명은 생략하기로 하며, 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 명칭 및 동일한 참조 부호를 부여하기로 한다.
도 5를 참조하면, 표시장치용 검사 모듈(100)은 프로브 블럭(110), 플랙시블 회로 기판(120) 및 패턴 기판(130)을 포함한다.
플랙시블 회로 기판(120)의 기판 몸체(122)의 일측면 및/또는 상기 일측면과 대향 하는 타측면에는 각각 전자파 차폐 부재(128)가 배치될 수 있다.
전자파 차폐 부재(128)는, 예를 들어, 외부에서 플랙시블 회로 기판(120)의 배선(124)으로 제공되는 전자파 또는 플랙시블 회로 기판(120)의 배선(124)으로부터 발생된 전자파를 차폐 및/또는 흡수한다. 본 실시예에서, 전자파 차폐 부재(128)는 얇은 두께를 갖고 기판 몸체(122)의 표면에 부착된 알루미늄 금속막 또는 기판 몸체(122)의 표면에 증착된 알루미늄 금속막 등 일 수 있다.
전자파 차폐 부재(128)는 모든 플랙시블 회로 기판(120)의 상기 일측면 및/또는 상기 타측면에 형성될 수 있다. 이와 다르게, 전자파 차폐 부재(128)는 일부 플랙시블 회로 기판(120)의 상기 일측면 및/또는 상기 타측면에 형성될 수 있다.
이상에서 상세하게 설명한 바에 의하면, 표시장치용 검사 모듈은 표시장치의 신호선들 및 양방향 검사 장치를 일대일로 연결함으로써, 양방향 검사 장치로부터 테스트 신호를 신호선들로 인가 및 신호선들로부터 피드백 신호를 양방향 검사 장치로 제공하여 각각의 신호선들을 전기적으로 검사하여 검사 정확도를 보다 향상시키고, 표시장치를 완전히 조립하기 이전에 표시장치를 단위 공정마다 검사할 수 있는 효과를 갖는다.
이상에서 본 발명에 따른 실시예들이 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 범위의 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 다음의 특허청구범위에 의해서 정해져야 할 것이다.
100...표시장치용 검사 모듈 110...프로브 블럭
120...플랙시블 회로 기판 130...패턴 기판
140...베이스 기판

Claims (9)

  1. 영상을 표시하는 표시장치의 각 신호선들과 접촉되는 복수개의 프로브 핀들을 포함하는 프로브 블럭;
    상기 신호선들로 테스트 신호를 입력 및 상기 신호선들으로부터 테스트 결과 신호를 피드백 받기 위해 상기 프로브 핀들의 개수와 동일한 개수로 형성된 배선들을 포함하는 적어도 하나의 플랙시블 회로 기판; 및
    기판 및 상기 기판 상에 배치되며 상기 각 프로브 핀들 및 상기 각 프로브 핀들과 대응하는 상기 각 배선들을 전기적으로 연결하는 연결 패턴들을 포함하는 패턴 기판을 포함하며,
    상기 연결 패턴들은 복수개의 상기 연결 패턴들을 포함하는 적어도 2 개의 연결 패턴 그룹을 포함하고, 상기 각 연결 패턴 그룹마다 상기 플랙시블 회로 기판의 배선들이 접속되고,
    상기 연결 패턴 그룹마다 접속된 상기 각 플랙시블 회로 기판들은 상기 연결 패턴 그룹에 접속되며 제1 폭을 갖는 제1 회로 기판부 및 상기 제1 회로 기판부의 제1 폭보다 넓은 제2 폭을 갖는 제2 회로 기판부를 포함하며,
    상기 각 플랙시블 회로 기판들의 각 제2 회로 기판부들은 상호 중첩된 표시장치용 검사 모듈.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 프로브 블록, 상기 플랙시블 회로 기판 및 상기 패턴 기판 배치되는 베이스 기판을 더 포함하는 표시장치용 검사 모듈.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 프로브 블록의 상기 프로브 핀들은 제1 간격으로 형성되고, 상기 패턴 기판과 인접한 플랙시블 회로 기판의 상기 배선들은 상기 제1 간격보다 넓은 제2 간격으로 형성된 표시장치용 검사 모듈.
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 제1항에 있어서,
    상기 각 플랙시블 회로 기판은 노이즈를 방지하기 위해 상기 플랙시블 회로기판의 표면을 감싸는 전자파 차폐 부재를 포함하는 표시장치용 검사 모듈.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 플랙시블 회로 기판과 전기적으로 연결되어 상기 테스트 신호를 상기 플랙시블 회로 기판의 상기 각 배선들로 인가 및 상기 배선으로부터 출력되는 피드백 신호를 입력받아 상기 표시장치의 양부를 판단하는 양방향 검사 장치를 더 포함하는 표시장치용 검사 모듈.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 패턴 기판의 상기 기판은 석영 기판, 유리 기판, 합성수지 기판을 포함하는 표시장치용 검사 모듈.
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