KR100977330B1 - 태양 전지를 위한 반사방지층 또는 패시베이션층을 제조하기 위한 방법 - Google Patents

태양 전지를 위한 반사방지층 또는 패시베이션층을 제조하기 위한 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은, 증착 챔버 내에 실리콘 웨이퍼를 제공하는 단계와, 실리콘 웨이퍼를 400℃를 초과하는 온도로 예열하는 단계와, 스퍼터 프로세스에 의해 수소를 함유하는 반사방지 또는 패시베이션 코팅을 증착하는 단계를 포함하는, 태양 전지를 위한 반사방지 및/또는 패시베이션 코팅을 제조하는 방법에 관한 것이며, 또한, 태양 전지를 제조하기 위한, 특히, 반사방지 및/또는 패시베이션 코팅을 제조하기 위한, 특히 전술한 방법을 실행하기 위한 코팅 장치에 관한 것으로서, 이 코팅 장치는, 제1 진공 챔버, 제2 진공 챔버(2), 제1 및 제2 진공 챔버를 기재된 순서대로 통과하여 기판(5)을 전달하기 위한 전달 수단(4)을 포함하고, 여기서, 제1 진공 챔버는, 가열기 필라멘트가 1800℃ 내지 3000℃의 온도 범위를 갖도록 가열될 수 있는 적어도 하나의 적외선 방사 가열기(16)를 포함하며, 제2 진공 챔버는, 수소를 비롯한 반응성 가스를 도입하기 위한 가스 입구 뿐만 아니라 타겟을 기화하기 위한 스퍼터 수단(12)을 포함한다.
진공 챔버, 전달 수단, 예열, 반사방지, 패시베이션, 태양 전지

Description

태양 전지를 위한 반사방지층 또는 패시베이션층을 제조하기 위한 방법{METHOD FOR PRODUCING AN ANTI-REFLECTION OR PASSIVATION LAYER FOR SOLAR CELLS}
본 발명은 태양 전지용 반사방지(anti-reflection) 코팅 또는 패시베이션 코팅을 제조하는 방법, 및 특히 이 방법을 이용하여 태양 전지를 제조하기 위한 코팅 장치에 관한 것이다.
실리콘 웨이퍼에 기초하는 태양 전지의 제조는, 일반적으로, 기본적으로 미리 도핑되어 있는 실리콘 웨이퍼를, 이 실리콘 웨이퍼에 미리 도핑되어 있는 물질과 다른 p- 또는 n- 도전성의 성질을 갖는 도펀트로 도핑함으로써, 실행된다. 예를 들어, p형 도전성을 나타내는 붕소 도핑 실리콘 웨이퍼는, 예를 들어, 인을 포함시키고 n형 층을 형성하기 위해 POCl3를 이용하는 확산 프로세스에 의해 처리될 수 있다. 이러한 p-n 접합을 형성한 후에는, 기판의 표면 상에 반사방지 코팅 또는 패시베이션층을 형성해야 한다. 이것은 일반적으로 플라즈마 향상 화학 기상 증착(PECVD) 프로세스에 의해 실행된다.
PECVD 프로세스에서 고 폭발성 실란을 이용하는 것을 피하고 코팅 영역을 확대하기 위해, 2004년 프랑스 파리의 제19회 유럽 광전 태양 에너지 회의에서 Winfried Wolke 등에 의해, 수소를 함유하는 반사방지 또는 패시베이션 코팅을 도포하는 데 반응성 스퍼터 프로세스를 이용할 수 있다고 보고되었다("SiN:H anti-reflection coating for C-Si solar cells by large scale inline sputtering"). 이를 위해, ATON 시리즈의 수평 동작 인라인 코팅 장치를 이용하였다(ATON은, 이전 회사명이 Applied Films 이었으나 현재는 Applied Materials인 회사의 상표임). Winfried Wolke 등의 문헌에 그 상세가 설명되어 있으며, 이것은 본 발명의 명세서에 참고로 모두 포함된다.
이러한 종래 기술에 의하면, 반사방지 또는 패시베이션 코팅을 실리콘 웨이퍼 상으로 도포하기 전에, 그 웨이퍼를 200℃ 내지 400℃의 온도로 예열하였다.
본 발명의 목적은, 전술한 유형의 태양 전지를 위한 반사방지 또는 패시베이션 코팅을 제조하는 방법을 더 개선하는 것이다. 신규한 방법은, 코팅 성질들 및 태양 전지의 전체 특성들의 개선 외에도, 간단하고 신뢰성있으며 효과적인 방식으로 실행되어야 한다. 또한, 이러한 방법을 실행하기에 적합한 코팅 장치를 제공해야 한다.
이 목적은, 청구항 제1항의 특징을 갖는 방법에 의해 해결된다. 바람직한 실시예들은 종속항들의 청구 대상이다.
본 발명의 발명자들은, 스퍼터 프로세스에 의해 반사방지 또는 패시베이션층의 증착을 실행하기 전에 예열(pre-heating) 온도를 증가시키면 태양 전지의 성질 뿐만 아니라 반사방지 또는 패시베이션 코팅의 성질도 개선될 수 있다는 점을 발견하였다. 특히, 특정한 웨이퍼 유형에서는, 수소 패시베이션에 대하여 보다 높은 예열 온도가 유익하다. 이에 따라, 본 발명에 따른 예열 온도는, 종래 기술에서 사용되는 온도를 초과하여 증가되며, 즉, 400℃, 특히 450℃, 바람직하게는 500℃를 초과하는 온도로 증가된다.
본 발명의 방법은, Winfried Wolke 등의 전술한 문헌에서 설명되는 바와 같 이, 도핑된 실리콘 웨이퍼 상에 질소 및 수소의 가변 함유량을 갖는 SiNX:H 조성물로 이루어진 수소 함유 실리콘 질화물층의 증착에 유익하게 적용될 수 있다.
예열은, 바람직하게 고 가열 속도 및 저 승온 시간(low heating-up time)을 보장하는 적외선 가열기와 같은 방사 가열기에 의해 실행될 수 있다. 바람직한 승온 시간 범위는, 여러 승온 시간 범위들이 적용될 수 있지만, 100초 이하이고, 특히, 50초 이하이다. 이에 따라, 승온율은, 4K/s 이상으로, 바람직하게는, 10K/s 이상으로 선택될 수 있다.
방사 가열기에 의해 방출되는 방사를 효과적으로 흡수하기 위해서는, 1800℃ 내지 3000℃의 필라멘트 온도로 동작할 수 있는 적외선 가열기를 이용할 수 있다. 이 필라멘트 온도에서, 적외선 가열기에 의해 방출되는 방사는 1.0㎛ 내지 1.4㎛ 범위의 파장을 가질 수 있다. 이러한 적외선 방사의 파장은 실리콘 웨이퍼에 의해 매우 효과적으로 흡수된다.
예열 동안 웨이퍼 표면의 산화와 같이 불필요한 영향을 피하기 위해서는, 기술적으로 진공 상태에서 예열 단계를 실행할 수 있다. 따라서, 예열이 실행되는 증착 챔버는 증착 챔버라기 보다는 진공 챔버이다. 예열이 실행되는 증착 또는 진공 챔버 내의 압력은 100hPa 이하의 값으로 설정될 수 있고, 바람직하게 10-2hPa 미만, 또는 10-5hPa 미만의 값으로 설정될 수 있다.
예열 단계에 뒤이은 스퍼터 프로세스는 앞에서 언급한 Winfried Wolke 등의 문헌에서 설명된 바와 같이 실행될 수 있다. 특히, 반응성 스퍼터 프로세스는, 증 착 챔버 내로 도입되는 질소, 수소, 또는 암모니아를 함유하는 반응성 가스들 및 아르곤 플라즈마로부터 생성되는 아르곤 이온에 의해 스퍼터링되는 실리콘 타겟을 이용할 수 있다. 플라즈마는. 예를 들어 현재 Applied Materials사인 Applied Films사의 트윈-마그(twin-mag) 장치와 같은 이중 전극 장치에 의해 발생할 수 있으며, 이 장치는 캐소드 또는 애노드로서 교대로 동작하는 2개의 전극을 이용하며, 이에 따라 이 전극들 앞에 배치된 타겟 물질이 또는 전극 물질 자체가 이온 충돌에 의해 교대로 스퍼터링된다. AC 또는 펄스화 전원용으로 사용되는 주파수는 중간(medium) 주파수 내지 무선 주파수의 범위(kHz 내지 MHz)에서 선택될 수 있다.
본 발명에 따르면, 코팅 장치는, 적어도 제1 진공 챔버, 제2 진공 챔버, 실리콘 웨이퍼와 같은 기판을 제1 및 제2 진공 챔버를 기재된 순서대로 통과하여 전달하기 위한 전달 수단을 포함한다. 제1 진공 챔버에서는, 적외선 방사 가열기에 의해 기판의 예열이 실행되어 특히 400℃를 넘는 고 웨이퍼 온도를 얻을 수 있다. 이에 따라, 적외선 가열기를 이용하며, 이 가열기의 필라멘트는 고 승온율 및 저 예열 시간으로 고 기판 온도를 얻기 위해 1800℃ 내지 3000℃ 범위의 온도에 도달할 수 있다.
제2 진공 챔버에서는 반응성 스퍼터링 프로세스에 의한 층의 증착이 달성된다.
코팅 장치는 수평 또는 수직으로 동작하는 인라인 코팅 장치일 수 있으며, 이것은 기판들이 예열 및 층 증착 동안 거의 수평 또는 수직 배향으로 코팅 장치를 통해 전달될 수 있음을 의미한다.
제1 및 제2 진공 챔버는 하나의 하우징만을 구비하는 하나의 장치로서 설계될 수 있지만, 분리될 수 있는 챔버들을 갖는 모듈러 설계도 고려할 수 있다.
적외선 방사 가열기들은 기판의 전달 방향을 가로질러 배치될 수 있으며 이에 따라 제1 진공 챔버를 통한 기판의 이동 동안 적외선 가열기를 통과함으로써, 기판은 자신에게 흡수되는 방사에 의해 가열된다.
기판의 완전하고도 균질한 가열을 얻기 위해, 적외선 방사 가열기의 유효 가열 길이는 기판의 폭 또는 전달 수단의 기판 홀더의 폭을 초과할 수 있다.
바람직하게, 다수의 적외선 가열기가 기판의 전달 방향으로 하나씩 배치되며, 여기서 이 적외선 가열기들은 서로 평행하게 배열될 수 있다. 따라서, 기판의 효과적이며 균질한 가열을 얻게 된다.
기판 온도를 제어할 수 있도록, 적외선 가열기들은 개별적으로 스위칭가능하고 그리고/또는 제어가능하도록 설계될 수 있다. 또한, 이것은 고장난 하나의 가열기를 나머지 가열기들 중 하나의 가열기에 의해 보상할 수 있다는 점에서 유익하다.
따라서, 적외선 가열기들의 가열 장치는 단일 가열기에 의해 필요한 기판 온도를 얻는 데 충분하도록 구성되며 이에 따라 가열기들 중 하나가 꺼지는 경우 나머지 가열기들이 버퍼로서 사용될 수 있다. 이것은, 코팅 장치 및 이에 따른 진공이 하나의 가열기의 고장시 셧다운될 필요가 없다는 점에서 유익하다.
가열기들의 반사층들의 기화(evaporation)로 인해 진공 또는 증착 챔버가 오염되는 것을 피하기 위해, 이러한 반사층들은 생략된다. 표면 상에 증착되는 반사 층들 대신에, 연마된 금속 표면의 형태인 반사 표면을 이용하여 가열기의 방사를 진공 챔버의 내부로 그리고 기판으로 반사한다.
진공 챔버의 측벽에는, 물과 같은 냉각 유체가 내부에 흐르는 냉각 코일과 같은 냉각 수단이 구비될 수 있다. 따라서, 진공 챔버의 열을 상당히 저하시킬 수 있다.
적외선 가열기들은, 진공 챔버의 밀폐(closure) 소자에, 특히, 수평으로 동작하는 코팅 장치의 경우 유지보수 및 서비스를 위해 쉽게 제거될 수 있도록 진공 챔버의 최상위 커버에 배열될 수 있다.
추가 특성들, 이점들, 특징들은 첨부 도면을 참조하여 다음에 따르는 바람직한 실시예의 상세한 설명에서 설명될 것이다. 도면은 단지 개략적인 형태로 도시된 것이다.
본 발명에 따르면, 태양 전지의 반사방지층 또는 패시베이션층의 코팅 특성이 개선된다.
도 1은 인라인 코팅 장치의 길이 방향의 단면을 단지 개략적으로 도시하는 도면이다. 도 1의 코팅 장치는, 서로 인접하게 배치된 2개의 진공 챔버(1, 2)를 포함한다. 진공 챔버(1, 2)들은 처리될 기판을 제1 진공 챔버(1)로부터 제2 진공 챔버(2)로 전달하기 위한 개구 또는 잠금 장치(lock; 8)를 갖는 진공 챔버 벽(3)에 의해 분리된다. 진공 챔버 벽(3)은 2개의 별도의 벽에 의해 형성될 수 있고, 이 2 개 벽의 각각은 진공 챔버(1, 2)들 중 하나의 진공 챔버에 속하며, 이에 따라 진공 챔버(1, 2)들은 분리될 수 있다. 다른 방안으로, 진공 챔버(1, 2)들은 하나의 하우징으로 제조될 수 있어서, 진공 챔버(1, 2)들이 분리될 수 없다. 이 경우, 진공 챔버 벽(3)은 따라서 단지 분리 벽으로서 설계된다.
참조 번호 4는 기판 홀더, 구동 수단 등을 포함하는 컨베이어 벨트 또는 유사한 전달 수단을 가리킨다. 컨베이어(4)는 피드인(feed-in) 개구(6)와 출력 개구(7)를 통해서뿐만 아니라 진공 챔버(1, 2) 둘 다를 통해 연장된다. 양측 개구, 즉, 피드인 개구(6) 및 출력 개구(7)는 잠금 장치(도시하지 않음)에 의해 밀폐될 수 있으며, 이 개구들은 각각 진공 챔버(1, 2)들 내부의 진공 상태를 교란시키지 않고서 기판(5)을 도입 또는 분배할 수 있게 한다.
진공 챔버(1, 2)들 내에 진공 상태를 확립하기 위해, 진공 챔버(1, 2)들에 진공 펌프(14, 15)들을 제공한다. 각 진공 챔버에 대하여 하나의 진공 펌프를 이용하지 않고, 두 개의 진공 챔버에 대하여 하나의 공통 진공 펌프 또는 각 진공 챔버에 대하여 다수 개의 진공 펌프를 제공하여도 된다. 진공 펌프(14, 15)들은 기술적으로 진공 상태를 확립할 수 있도록 설계되며, 이것은 진공 챔버 내의 압력이 100hPa 미만, 특히, 10-3hPa 미만, 특히, 10-5hPa 미만임을 의미한다.
진공 챔버(1)는 본 발명에 따른 예열 단계가 실행되는 예열 챔버이다. 이를 위해, 도 1에서 왼쪽으로부터 오른쪽으로 향하는 기판(5)의 전달 방향에 대하여 다수의 적외선 가열기(16)가 하나씩(one-by-one) 배치된다.
적외선 가열기(16)들은, 전달 방향을 가로질러 배열되어, 이미지 면에 수직으로 연장된다. 도 1에서 알 수 있듯이, 적외선 가열기(16)들은 서로 균등하게 이격될 뿐만 아니라 서로 평행하게 배열된다.
도 1의 이미지 면에 대하여 수직으로 연장되는 적외선 가열기(16)들의 길이는, 진공 챔버(1)의 최상위측으로부터 투영하여 볼 때, 적외선 가열기가 기판의 폭을 초과하고, 심지어 인라인 코팅 장치를 통한 기판의 이동 동안 기판이 위치해 있는 전달 수단의 폭도 초과하도록 선택된다. 따라서, 기판의 모든 영역에서 균질하고 효과적인 가열을 얻게 된다.
적외선 가열기(16)들의 유형은 매우 높은 온도를 허용하는 것이다. 달성가능한 온도 범위는 1800℃ 내지 3000℃이며, 이것은 필요하다면 적외선 가열기의 필라멘트가 동작 중에 그 온도에서 존재한다는 것을 의미한다. 이러한 종류의 적외선 가열기는 실리콘 웨이퍼의 가열에 특히 적합하며, 그 이유는 이러한 온도에서 적외선 가열기에 의해 방출되는 방사 파장이 실리콘에 의해 적외선 방사가 매우 양호하게 흡수될 수 있게 하기 때문이다. 이에 따라, 400℃, 특히 450℃, 특히 500℃를 초과하는 매우 높은 웨이퍼 온도를 얻을 수 있다. 또한, 고 웨이퍼 온도는, 후속하는 반사방지 또는 패시베이션층의 증착에 대하여, 특히, 수소를 함유하는 가스 및/또는 층에 의한 패시베이션에 대하여 유익하다.
진공 챔버(1) 내에 다수의 적외선 가열기(16)가 도시되어 있지만, 하나의 적외선 가열기(16)만을 구비해도 충분하다. 기판이 적외선 가열기들 아래에서 이동하기 때문에, 단지 하나의 적외선 가열기(16)의 동작으로도 전체 기판(5)을 가열시 킬 수 있다. 이에 따라, 적외선 가열기(16)들은, 자신들에 접속되어 있는 스위치(17)들에 의해 표시되듯이 개별적으로 스위칭가능하다. 스위치(17)들은 전원(18)과 적외선 가열기(16)들 간에 배열되며, 이에 따라 단일 적외선 가열기의 모두가 별도로 및 독립적으로 스위칭 오프될 수 있다. 간단한 스위치들 대신에, 간단한 스위칭 오프 뿐만 아니라 모든 적외선 가열기의 전력 제어도 행할 수 있는 다른 적합한 제어 수단을 이용할 수 있다.
모든 적외선 가열기가 개별적으로 그리고 독립적으로 동작할 수 있기 때문에, 가열 장치는 하나의 적외선 가열기의 동작으로 충분하도록 설계될 수 있고, 이에 따라 하나의 적외선 가열기가 고장나는 경우에, 진공 챔버들 내의 진공 뿐만 아니라 그 장치도 셧다운될 필요가 없으며, 그 이유는 동작 준비 상태에 있는 나머지 적외선 가열기(16)들 중 하나를 사용할 수 있기 때문이다. 이것은 인라인 코팅 장치의 동작 이용가능성을 효과적으로 증가시킨다.
기판 온도를 제어하기 위해, 센서 또는 고온계의 형태인 측정 장치(20)를 제공한다. 이 장치는, 측정한 온도값에 따라 가열 장치를 제어하는 제어 시스템(19)에 접속된다.
적외선 가열기들이 배열되어 있는 진공 챔버(1)의 측벽에는, 적외선 가열기(16)들의 방사를 기판(5) 뿐만 아니라 진공 챔버(1)의 내부로 반사하는 반사면(21)이 제공된다. 적외선 가열기들의 임의의 반사 코팅 또는 반사면(21)의 기화를 피하기 위해, 이러한 반사 코팅을 생략한다. 이러한 구성 대신에, 매우 양호한 반사를 가능하게 하고 진공 챔버(10)의 임의의 오염을 피하는 연마된 금속면에 의 해 반사면(21)을 형성한다.
또한, 반사면(21)에는, 내부에 물과 냉각 유체가 전달되는 흐르는 냉각 코일이 제공된다. 냉각 유체는, 펌프(22)에 의해 구동되어, 외부 냉각 수단(23)을 통해 흘러 냉각 유체의 온도를 일정하게 유지한다.
진공 챔버(1)를 통한 기판의 이동 동안, 기판(5)은 400℃, 특히 450℃, 또는 500℃를 초과하는 온도로 가열된다. 이후, 기판(5)은 진공 챔버(2) 내로 도입되고, 여기서 코팅 프로세스가 실행된다.
이를 위해, 진공 챔버(2)는, 무선 주파수 범위에 있는 주파수로 동작하는 전원(13)에 접속되며 타겟으로서 사용되는 2개의 전극(12)을 포함한다.
또한, 진공 챔버(2)는 밸브(11)로 잠글 수 있는 2개의 가스 공급 수단(9, 10)을 포함한다.
제1 가스 공급 수단(9)은, 예를 들어 아르곤 가스 공급원과 같은 작업 가스 공급원(도시하지 않음)에 접속된다.
제2 가스 공급 수단(10)은, 예를 들어, 질소, 수소, 탄화수소 CxHy, Si 함유 가스, 또는 암모니아 가스 공급원과 같은 반응성 가스 공급원(도시하지 않음)에 접속된다.
전극면 앞에서 타겟을 포함하거나 적절한 타겟 물질로 형성된 전극(12)들에 인가되는 RF 전력으로 인해, RF 방전에 의해 플라즈마가 점화되고 이온 충돌에 의해 타겟이 스퍼터링된다. 진공 챔버(2) 내로 도입되는 반응성 가스들로 인해, 스 퍼터링되는 타겟 물질 및 반응성 가스로부터의 반응물이 기판(5) 상에 증착된다.
바람직하게, SiNX:H의 조성을 갖는 수소화된 실리콘 질화막은 기판(5)의 최상위 상에 형성된다. 진공 챔버(1)에서의 처리로부터 발생하는 기판의 고온으로 인해, 수소 함유 가스에 의해 매우 양호한 수소 패시베이션을 얻게 된다.
도 2는 진공 챔버(1)에서의 예열 동안(도 2의 a) 그리고 진공 챔버(2)에서의 코팅 증착 후에(도 2의 b) Si 웨이퍼 구조의 단지 개략적인 일 예를 도시하는 것이다. 진공 챔버(1) 내로 도입된 기판(5)은, 붕소 도핑층(26) 및 인 도핑층(27)을 포함하는 2층 구조를 가질 수 있다. 일반적으로, 미가공 상태의 덩어리인 Si 물질은 미리 붕소로 도핑되며 인 도핑된 n층은 별도의 확산 프로세스(도시하지 않음)에 의해 제조된다.
SiNX:H 층(28)으로 코팅한 후, 반사방지 및 패시베이션층(28) 뿐만 아니라 p층(26) 및 n층(27)을 갖는 Si 웨이퍼의 3층 구조를 형성하게 된다.
바람직한 일실시예에 대하여 본 발명을 상세히 설명하였지만, 당업자에게는, 청구범위에 의해 한정되는 보호 범위를 벗어나지 않고서 하나의 특징을 생략할 수 있을 뿐만 아니라 특히 개시된 특징들의 서로 다른 조합에 대하여 변경 및 수정을 실행할 수 있다는 것이 자명하다.
도 1은 본 발명에 따른 인라인 코팅 장치의 길이 방향의 단면도이다.
도 2의 (a)는 본 발명의 방법에 따른 처리 전의 Si 웨이퍼의 단면도이고, 도 2의 (b)는 본 발명의 방법에 따른 도 1의 코팅 장치에서의 처리 후의 Si 웨이퍼의 단면도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *
1 진공 챔버
2 진공 챔버
3 진공 챔버 벽
4 컨베이어
6 피드인 개구
7 출력 개구
8 잠금 장치
16 적외선 가열기
17 스위치
21 반사면
26 붕소 도핑층
27 n 층
28 SiNX:H 층

Claims (23)

  1. 태양 전지를 위한 반사방지 코팅 및 패시베이션 코팅 중 적어도 하나를 제조하는 방법으로서,
    증착 챔버(1) 내에 Si 웨이퍼(5)를 제공하는 단계와,
    상기 Si 웨이퍼를 400℃를 초과하는 온도로 예열하는 단계와,
    스퍼터 프로세스에 의해, 수소를 함유하는 반사방지 또는 패시베이션 코팅(28)을 증착하는 단계
    를 포함하고,
    상기 반사방지 또는 패시베이션 코팅(28)은 SiN:H 층인 코팅 제조 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    도핑된 Si 웨이퍼(5)가 사용되는 코팅 제조 방법.
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 예열 단계 동안의 가열은 열 방사 소자(16)에 의해 실행되는 코팅 제조 방법.
  5. 제4항에 있어서,
    적외선 가열기(16)가 사용되는 코팅 제조 방법.
  6. 제4항에 있어서,
    1800℃ 내지 3000℃의 필라멘트 온도로 동작될 수 있는 적외선 가열기(16) 및 실리콘의 흡수 범위의 파장을 방출할 수 있는 적외선 가열기(16) 중 적어도 하나가 사용되는 코팅 제조 방법.
  7. 제1항에 있어서,
    100s 이하의 짧은 승온 시간 및 4K/s 이상의 승온율 중 적어도 하나를 이용하는 코팅 제조 방법.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 Si 웨이퍼는 상기 예열 동안, 450℃ 이상의 온도로 승온되는 코팅 제조 방법.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 예열 단계는 상기 Si 웨이퍼의 이동 동안 인라인 코팅 장치 내에서 실행되는 코팅 제조 방법.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 예열 단계는 기술적으로 진공 상태에서 실행되는 코팅 제조 방법.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 스퍼터 프로세스는 적어도 반응성 스퍼터 단계를 포함하는 코팅 제조 방법.
  12. 삭제
  13. 삭제
  14. 삭제
  15. 삭제
  16. 삭제
  17. 삭제
  18. 삭제
  19. 삭제
  20. 삭제
  21. 삭제
  22. 제1항에 있어서,
    50s 이하의 짧은 승온 시간 및 10K/s 이상의 승온율 중 적어도 하나를 이용하는 코팅 제조 방법.
  23. 제1항에 있어서,
    상기 Si 웨이퍼는 상기 예열 동안, 500℃ 이상의 온도로 승온되는 코팅 제조 방법.
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