KR100966168B1 - 접착막 테이프 이송기구 - Google Patents

접착막 테이프 이송기구 Download PDF

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KR100966168B1
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마사히로 스즈키
토시오 타카하시
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시바우라 메카트로닉스 가부시키가이샤
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Abstract

ACF 테이프의 위치결정 정밀도를 향상시키고, ACF 테이프의 반송, 압착 후의 커버 테이프의 박리 및, ACF 테이프의 자동접합 등에 수반해서 생기는 각종 문제를 회피할 수 있는 접착막 첩부장치를 제공한다. 테이프 반송기구의 반송경로 상에는 공급측 텐션기구(31) 및 회수측 텐션기구(32)가 배치되어 있고, 테이프 반송기구에 의해 반송되는 ACF 테이프(51)에 텐션을 가할 수 있도록 되어 있다. 텐션기구(31, 32)는 모두 가동롤러 안내기구(31a, 32a)에 의해 안내된 가동롤러(23, 26)에 대해 구동력을 부여하는 구동력 부여장치(61)와, ACF 부재의 첩부과정의 각 단계에서 필요로 하는 ACF 테이프(51)의 텐션에 대응해서 가동롤러(23, 26)에 대해 부여되는 구동력을 조정하도록 구동력 부여장치(61)를 제어하는 제어장치(67)를 갖고 있다. 한편, 구동력 부여장치(61)는 가동롤러(23, 26)에 접속된 구동력전달용 벨트(64)와, 구동력전달용 벨트(64) 걸려지는 종동롤러(62) 및 구동롤러(63)와, 구동롤러(63)에 토크를 부여해서 구동하는 토크 부여장치(65) 및 구동모터(66: 제어장치(67)에 의해 제어되는 구동모터)를 갖고 있다.

Description

접착막 테이프 이송기구{Adhesive film tape feeding mechanism}
본 발명은, 부품실장장치에 쓰이는 접착막 첩부장치(接着膜貼付裝置)에 관한 것으로, 특히 패널기판이나 전자부품 등의 접착대상부재(接着對象部材) 상에 이방성 도전막(ACF) 등의 접착막을 첩부하는 접착막 첩부장치 및, 첩부대상으로 되는 테이프형상의 접착막을 포함한 접착막 테이프를 반송하는 접착막 테이프 이송기구에 관한 것이다.
종래부터, 이런 종류의 접착막 첩부장치로서, ACF 부재와 커버 테이프로 이루어진 이방성 도전막 테이프가 수용된 공급 릴로부터 ACF 테이프를 소요의 길이(접착대상부재 상에 첩부되어야 할 길이)만큼 인출하고, 이와 같이 해서 인출된 소요 길이 분의 ACF 테이프 중 첩부대상으로 되는 ACF 부재의 일부를 접착대상부재인 패널기판 또는 전자부품상에 위치시켜 압착하는 ACF 첩부장치가 알려져 있다(일본국 특개 2003-103499호 공보 참조).
이와 같은 종래의 ACF 첩부장치의 한 예를 도 13에 나타내었다.
도 13에 도시된 ACF 첩부장치(360)에서, ACF 테이프(51)는, 공급측 구동축(312)에 의해 회전구동되는 공급 릴(311)에서 풀려나와, 공급측 가동롤러(313) 및 고정롤러(314)를 경유해서 백업(320) 상에 설치된 접착대상부재(52) 상에 위치되도록 반송된다. 한편, ACF 테이프(51)는, 도 14에 도시된 것과 같이, ACF 부재(51a)와 커버 테이프(51b)로 되어 있는바, 접착대상부재(52) 상에 위치하게 된 ACF 테이프(51) 중 테이프 절단기구(도시되지 않음)에 의해 절단되어 들어간 ACF 부재(51a)의 일부만 가압기구(319)에 의해 접착대상부재(52) 상에 압착되고, 커버 테이프(51b)는 그대로 남겨 진다. 그리고, ACF 부재(51a)가 압착됨으로써 커버 테이프(51b)만 남겨진 사용이 끝난 ACF 테이프(51)는, 고정롤러(315) 및 회수측 가동롤러(316)를 경유해서 반송되고, 최종적으로 회수측 구동축(318)에 의해 회전구동되는 회수 릴(317)에 권취되어 회수된다.
도 13에 나타나 있는 것과 같은 종래의 ACF 첩부장치(360)에서는, ACF 테이프(51)의 반송경로 상에 텐션기구가 배치되어, ACF 테이프(51)에 일정한 텐션을 건 상태에서 ACF 부재(51a)의 첩부과정의 각 단계의 동작(ACF 테이프(51)의 반송, ACF 테이프(51)의 위치결정, 압착 후의 커버 테이프(51b)의 박리 및, ACF 테이프(51)의 자동접합이라고 하는 동작)이 이루어진다.
한편, 도 13에 도시되어 있는 것과 같은 종래의 ACF 첩부장치(360)에서의 텐션기구로는, 예컨대 도 15에 도시되어 있는 것과 같은 기구가 쓰이고 있다. 도 15에 도시된 텐션기구(370)에서, ACF 테이프(51)는 가동롤러(371)에 걸쳐져 이 가동롤러(371)에 의해 회전접촉상태로 지지되어 있다. 또, 가동롤러(371)는 안내기 구(372)에 의해 상하방향으로 자유로이 이동하게 안내되어 있다. 여기서, 가동롤러(371)에는, 고정롤러(373, 374)에 걸쳐진 구동력전달용 로프(375)를 매개로 추(376)가 연결되어 있어서, 가동롤러(371)가 항상 일정한 방향(도 15에서는 위쪽 방향)으로 당겨짐으로써, 가동롤러(371)에 걸쳐진 ACF 테이프(51)에 대해 항상 일정한 크기의 텐션이 부여되게 된다.
또, 종래의 텐션기구로는, 예컨대 도 16에 도시되어 있는 것과 같은 기구도 쓰이고 있다. 도 16에 도시된 텐션기구(380)에서, 고정롤러(391, 392) 등에 걸쳐져 반송되는 ACF 테이프(51)는 가동롤러(381)에 걸쳐져 이 가동롤러(381)에 의해 회전접촉상태로 지지되어 있다. 여기서, 가동롤러(381)는 연결봉(382)을 매개로 추(383)에 연결되어 있어서, 가동롤러(381)가 회전축(384)을 매개로 일정한 방향(도 16에서는 반시계 회전)으로 회전함으로써, 가동롤러(381)에 걸쳐진 ACF 테이프(51)에 대해 항상 일정한 크기의 텐션을 부여하고 있다.
즉, 도 13에 나타나 있는 것과 같은 종래의 ACF 첩부장치(360)에서는, 도 15 및 도 16에 도시된 것과 같은 텐션기구(370, 380)에 의해, 추(376, 383)가 중력에 의해 끌리는 힘 등을 이용해서 ACF 테이프(51)에 대해 항상 일정한 크기의 텐션을 부여하도록 되어 있다.
그런데, 도 13에 도시된 있는 것과 같은 종래의 ACF 첩부장치(360)에서는, ACF 부재(51a)의 첩부과정의 각 단계의 동작(ACF 테이프(51)의 반송, ACF 테이프(51)의 위치결정, 압착 후의 커버 테이프(51b)의 박리 및, ACF 테이프(51)의 자동접합이라고 하는 동작)시에 필요로 하는 텐션의 크기가 상이한바, 예컨대 ACF 테 이프(51)의 위치결정시에는 비교적 높은 텐션이 필요하고, ACF 테이프(51)의 반송, 압착 후의 커버 테이프(51b)의 박리 및, ACF 테이프(51)의 자동접합시에는 비교적 낮은 텐션이 필요하다는 것이 알려져 있다.
그러나, 도 13에 나타나 있는 것과 같은 종래의 ACF 첩부장치(360)에서는, 도 15 및 도 16에 도시되어 있는 것과 같은 텐션기구(370, 380)에 의해, ACF 테이프(51)에 대해 항상 일정한 크기의 텐션이 부여되고 있기 때문에, ACF 테이프(51)에 대해, ACF 부재(51a)의 첩부과정의 각 단계의 동작(ACF 테이프(51)의 반송, ACF 테이프(51)의 위치결정, 압착 후의 커버 테이프(51b)의 박리 및, ACF 테이프(51)의 자동접합이라는 동작)에 적합한 텐션을 부여할 수가 없다고 하는 문제가 있다.
이 경우, 예컨대 ACF 테이프(51)에 대해 부여되는 텐션을 ACF 부재(51a)의 위치결정시에 필요로 하는 비교적 높은 텐션에 맞추어 설정한 경우에는, ACF 테이프(51)의 반송을 고속으로 실행하는 것이 곤란해지고, 압착 후의 커버 테이프(51b)의 박리시에 ACF 부재(51a)에 대한 커버 테이프(51b)의 박리각도가 예각으로 되어 ACF 부재(51a)의 젖혀짐이 발생하기 쉽고, ACF 테이프(51)의 자동접합시에 큰 스트레스가 걸리기 때문에 ACF 테이프(51)의 자동접합부에서 끊어지기 쉽다고 하는 문제가 있다. 또, ACF 테이프(51)에 대해 항상 높은 텐션이 부여되기 때문에, ACF 테이프(51)의 공급 및 회수가 실행되는 ACF 릴(공급 릴(311) 및 회수 릴(317))에 대해 큰 스트레스가 걸린다고 하는 문제도 있다.
이와 반대로, ACF 테이프(51)에 대해 부여되는 텐션을 ACF 테이프(51)의 반송, 압착 후의 커버 테이프(51b)의 박리 및, ACF 테이프(51)의 자동접합시에 필요 로 하는 비교적 낮은 텐션에 맞추어 설정한 경우에는, 위치결정 정밀도를 향상시킬 수가 없다고 하는 문제가 있다.
또, 도 13에 도시되어 있는 것과 같은 종래의 ACF 첩부장치(360)에서, 접착대상부재(52) 상에 ACF 부재(51a)가 압착됨으로써 커버 테이프(51b)만 남겨진 사용이 끝난 ACF 테이프(51)는 최종적으로 회수 릴(317)에 권취되어 회수된다.
그러나, 도 13에 도시되어 있는 것과 같은 종래의 ACF 첩부장치(360)에서는, 사용이 끝난 ACF 테이프(51)를 회수 릴(317)에 권취함으로써 이 ACF 테이프(51)를 회수하기 때문에, 회수 릴(317)이 가득해지게 된 시점에서 회수 릴(317)을 새로운 회수 릴(사용이 끝난 ACF 테이프가 권취되어 있지 않은 회수 릴)로 교환할 필요가 있어, 회수 릴(317)의 교환작업 때문에 장치의 가동률이 저하되어 버린다고 하는 문제가 있게 된다.
그리고, 도 13에 도시되어 있는 것과 같은 종래의 ACF 첩부장치(360)에서, 공급측 가동롤러(313)와 고정롤러(314, 315) 및 회수측 가동롤러(316)에 의해 반송되는 ACF 테이프(51)는, 접착대상부재(52)에 대한 ACF 부재(51a)의 첩부가 정밀하게 이루어지도록, 소정의 평면(접착대상부재(52)에 대한 ACF 부재(51a)의 첩부위치를 포함하는 평면) 내에서 그 폭방향으로의 이동이 규제된 상태에서 반송될 필요가 있다. 또, 이와 같이 해서 반송되는 ACF 테이프(51)는, 이 ACF 테이프(51) 중 접착면을 이루는 ACF 부재(51a)가 바깥쪽을 향한 모습으로, 즉 ACF 부재(51a)가 공급측 가동롤러(313)와 고정롤러(314, 315) 및 회수측 가동롤러(316)에 접촉하지 않는 모습으로 반송될 필요가 있다.
이 때문에, 도 13에 도시되어 있는 것과 같은 종래의 ACF 첩부장치(360)에서 반송되는 ACF 테이프(51)는, 그 취할 수 있는 반송경로에 자유도가 없고, ACF 첩부장치(360)에 대해 각종 구성변경(예비 공급 릴의 ACF 테이프를 현재 공급 릴의 ACF 테이프에 자동접합하기 위한 접합기구의 추가나, 사용이 끝난 ACF 테이프를 진공흡인 등으로 회수하기 위한 배출기구의 추가 등)이 실행된 경우에, 그와 같은 구성변경에 대해 유연하게 대응할 수가 없다고 하는 문제가 있다.
본 발명은 이와 같은 점을 고려해서 이루어진 것으로, ACF 테이프의 위치결정 정밀도를 향상시키고, ACF 테이프의 반송, 압착 후의 커버 테이프의 박리 및, ACF 테이프의 자동접합 등에 수반해서 생기는 각종 문제를 회피할 수가 있는 접착막 첩부장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또, 본 발명은, 회수 릴의 교환작업을 불필요하게 해서 장치의 가동률을 향상시킬 수 있는 접착막 첩부장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
그리고, 본 발명은, 접착막 첩부장치에서 반송되는 접착막 테이프의 반송경로를 높은 자유도로 설정해서, 접착막 첩부장치의 구성변경 등에 유연하게 대응하는 것을 가능하게 하는 접착막 테이프 이송기구를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은, 그 제1해결수단으로서, 접착막과 커버 테이프로 이루어진 접착막 테이프를 공급하는 공급기구와, 이 공급기구로부터 공급된 접착막 테이프를 소정의 반송경로를 따라 반송하는 테이프 반송기구와, 이 테이프 반송기구에 의해 반송되는 접착막 테이프 중 첩부대상으로 되는 접착막의 일부를 접착대상부재 상에 압착하는 테이프 압착기구와, 이 테이프 압착기구에 의해 접착막의 일부가 압착됨으로써 남겨진 사용이 끝난 접착막 테이프를 회수하는 회수기구와, 상기 테이프 반송기구의 상기 소정의 반송경로 상에 배치되어 상기 테이프 반송기구에 의해 반송되는 접착막 테이프에 텐션을 거는 텐션기구를 갖추되, 이 텐션기구가, 상기 테이프 반송기구에 의해 반송되는 접착막 테이프를 회전접촉상태로 지지하는 가동롤러와, 이 가동롤러에 의해 지지된 접착막 테이프에 대해 텐션을 부여한 상태에서 상기 가동롤러를 자유로이 이동하게 안내하는 안내기구와, 이 안내기구에 의해 안내된 상기 가동롤러에 대해 구동력을 부여하는 구동력 부여장치와, 접착막 첩부과정의 각 단계에서 필요로 하는 상기 접착막 테이프의 텐션에 대응해서 상기 가동롤러에 대해 부여되는 구동력을 조정하도록 상기 구동력 부여장치를 제어하는 제어장치를 가진 것을 특징으로 하는 접착막 첩부장치를 제공한다.
한편, 본 발명의 제1해결수단에서, 상기 텐션기구의 상기 제어장치는, 상기 테이프 반송기구에 의해 상기 접착막 테이프가 반송되고 있는 단계에서, 상기 가동롤러에 대해 부여되는 구동력을 작게 해서 상기 접착막 테이프에 비교적 낮은 텐션을 부여하는 것이 좋다.
또, 본 발명의 제1해결수단에서는, 상기 테이프 반송기구에 의해 상기 테이 프 압착기구까지 반송된 접착막 테이프를 상기 접착대상부재를 향해 밀어붙여 접착막 테이프의 위치결정을 실행하는 테이프 위치결정기구를 더 갖추되, 상기 텐션기구의 상기 제어장치가, 상기 테이프 위치결정기구에 의해 상기 접착막 테이프의 위치결정이 실행되는 단계에서, 상기 가동롤러에 대해 부여되는 구동력을 크게 해서 상기 접착막 테이프에 비교적 높은 텐션을 부여하는 것이 좋다.
그리고, 본 발명의 제1해결수단에서는, 상기 테이프 압착기구에 의해 상기 접착대상부재 상에 압착된 접착막에서 커버 테이프를 박리하는 테이프 박리기구를 더 갖추되, 상기 텐션기구의 상기 제어장치가, 상기 테이프 박리기구에 의해 상기 접착막으로부터 상기 커버 테이프가 박리되는 단계에서, 상기 가동롤러에 대해 부여되는 구동력을 작게 해서 상기 접착막 테이프에 비교적 낮은 텐션을 부여하는 것이 바람직하다.
그리고, 본 발명의 제1해결수단에서는, 상기 공급기구로부터 공급되어 있는 접착막 테이프의 종단부를 예비 공급기구로부터 공급되는 접착막 테이프의 시단부(始端部)에다 자동접합시키는 테이프 자동접합기구를 더 갖추되, 상기 텐션기구의 상기 제어장치가, 상기 테이프 자동접합기구에 의해 접착막 테이프가 자동접합되는 단계에서, 상기 가동롤러에 대해 부여되는 구동력을 작게 해서 상기 접착막 테이프에 비교적 낮은 텐션을 부여하는 것이 좋다.
한편, 본 발명의 제1해결수단에서, 상기 접착막 테이프는, 테이프형상의 이방성 도전막을 상기 접착막으로 하여서 포함한 이방성 도전막 테이프인 것이 바람직하다.
본 발명의 제1해결수단에 의하면, 테이프 반송기구의 반송경로 상에 배치된 텐션기구가, 안내기구에 의해 안내된 가동롤러에 대해 구동력을 부여하는 구동력 부여장치를 갖고서, 제어장치에 의한 제어하에서, 접착막 첩부과정의 각 단계에서 필요로 하는 접착막 테이프의 텐션에 대응해서 가동롤러에 대해 부여되는 구동력을 조정하도록 하고 있다. 그 때문에, 예컨대 테이프 반송기구에 의한 접착막 테이프의 반송시, 테이프 박리기구에 의한 압착 후의 커버 테이프 박리시 및 자동접합기구에 의한 접착막 테이프의 자동접합시에는 접착막 테이프에 부여되는 텐션을 비교적 낮게 유지하는 한편, 접착막 테이프의 위치결정시에는, 접착막 테이프에 부여되는 텐션을 비교적 높게 유지할 수가 있게 된다. 이에 따라, 접착막 테이프의 위치결정 정밀도를 향상시키는 한편, 접착막 테이프의 반송, 압착 후의 커버 테이프의 박리 및, 접착막 테이프의 자동접합 등에 수반해서 생기는 각종 문제를 회피할 수가 있게 된다.
본 발명은, 그 제2해결수단으로서, 접착막과 커버 테이프로 이루어진 접착막 테이프를 공급하는 공급기구와, 이 공급기구로부터 공급된 접착막 테이프를 소정의 반송경로를 따라 반송하는 테이프 반송기구와, 이 테이프 반송기구에 의해 반송되는 접착막 테이프 중 첩부대상으로 되는 접착막의 일부를 접착대상부재 상에 압착하는 테이프 압착기구와, 이 테이프 압착기구에 의해 접착막의 일부가 압착됨으로써 남겨진 사용이 끝난 접착막 테이프를 회수하는 회수기구를 갖추되, 상기 회수기구는, 사용이 끝난 접착막 테이프가 그 외주부의 일부에 걸쳐진 상태에서 접착막 테이프를 반송하도록 회전구동되는 회수 릴로서, 이 회수 릴의 외주부에 잡아당겨 져 고정된 사용이 끝난 접착막 테이프가 소정의 분리위치에서 떼어지도록 구성된 회수 릴과, 이 회수 릴로부터 상기 외주부의 상기 분리위치에서 떼어진 사용이 끝난 접착막 테이프를 회수하는 회수상자를 가진 것을 특징으로 하는 접착막 첩부장치를 제공한다.
한편, 본 발명의 제2해결수단에서, 상기 회수 릴의 상기 분리위치에서 떼어진 사용이 끝난 접착막 테이프는, 그 자중에 의해 상하방향으로 늘어진 상태로 상기 회수상자까지 반송되는 것이 바람직하다.
또, 본 발명의 제2해결수단에서, 상기 회수 릴은, 그 외주부에 복수의 진공흡인부가 설치되어 있어서, 상기 회수 릴의 회전에 연동해서 상기 각 진공흡인부의 흡인상태가 절환됨으로써 상기 외주부 중 회수 릴의 상반분(上半分)에 위치하는 부분만 항상 흡인상태로 되어 있도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
그리고, 본 발명의 제2해결수단에서, 상기 회수 릴에 감겨지는 사용이 끝난 접착막 테이프는, 이 접착막 테이프에 포함되는 커버 테이프 중 상기 접착막이 부착되지 않은 측의 면이 상기 회수 릴의 상기 외주부에 접촉한 상태로 감겨져 있는 것이 바람직하다.
한편, 본 발명의 제2해결수단에서, 상기 접착막 테이프는, 테이프형상의 이방성 도전막을 상기 접착막으로 하여서 포함한 이방성 도전막 테이프인 것이 바람직하다.
본 발명의 제2해결수단에 의하면, 회전구동된 회수 릴에 의해 사용이 끝난 접착막 테이프가 그 외주부의 일부에 걸쳐진 상태로 접착막 테이프를 운반한 후, 상기 회수 릴의 하류측 소정의 분리위치에서 접착막 테이프를 떼어, 최종적으로 회수상자에 의해 회수되도록 하고 있기 때문에, 회수 릴의 교환작업이 불필요하게 되어서 장치의 가동률을 향상시킬 수가 있다.
본 발명은, 그 제3해결수단으로서, 테이프형상의 접착막을 포함한 접착막 테이프를 반송하는 접착막 테이프 이송기구에서, 제1평면 위에서 반송되는 접착막 테이프에 비틀림을 가하면서 상기 제1평면과는 다른 제2평면을 향해 접착막 테이프를 반송하는 제1 테이프 이송기구와, 이 제1 테이프 이송기구에 의해 비틀림이 가해진 상태에서 반송되는 접착막 테이프가 상기 제2평면 위에서 반송되도록 접착막 테이프에 가해진 비틀림을 되돌리면서 접착막 테이프를 반송하는 제2 테이프 이송기구를 구비한 것을 특징으로 하는 접착막 테이프 이송기구를 제공한다.
한편, 본 발명의 제3해결수단에서, 상기 제1 테이프 이송기구는, 상기 제1평면 내에 위치하게 된 비교적 큰 직경의 큰 롤러와, 이 큰 롤러보다도 하류측에서 상기 제1평면에 대해 경사진 상태로 위치하게 된 비교적 작은 직경의 작은 롤러를 갖는 것이 바람직하다. 또, 상기 제2 테이프 이송기구는, 상기 제2평면 내에 위치하게 된 비교적 큰 직경의 큰 롤러와, 이 큰 롤러보다도 상류측에서 상기 제2평면에 대해 경사진 상태로 위치하게 된 비교적 작은 직경의 작은 롤러를 갖는 것이 바람직하다.
또, 본 발명의 제3해결수단에서, 상기 큰 롤러는, 접착막 테이프의 폭에 대응하는 크기를 가진, 단면이 4각형상의 오목형상 홈을 갖는 것이 바람직하다. 또, 상기 작은 롤러는, 접착막 테이프의 폭에 대응하는 크기를 가진, 단면이 역사다리 꼴형상의 역사다리꼴형상 홈을 갖는 것이 바람직하다.
그리고, 본 발명의 제3해결수단에서, 상기 제1 테이프 이송기구 및 상기 제2 테이프 이송기구에 의해 반송되는 접착막 테이프는, 그 상류측 부분과 하류측 부분이 상호 입체적으로 교차되어 있는 것이 바람직하다.
그리고 또, 본 발명의 제3해결수단에서, 상기 접착막 테이프는, 테이프형상의 이방성 도전막을 포함한 이방성 도전막 테이프인 것이 바람직하다.
본 발명의 제3해결수단에 의하면, 제1 테이프 이송기구에 의해, 제1평면 위에서 반송되는 접착막 테이프에 비틀림을 가하면서 제1평면과는 다른 제2평면을 향해 접착막 테이프를 운반한 후, 제2 테이프 이송기구에 의해, 제1 테이프 이송기구에 의해 비틀림이 가해진 상태에서 반송되는 접착막 테이프가 제2평면 위에서 반송되도록 접착막 테이프에 가해진 비틀림을 되돌리면서 접착막 테이프를 반송하도록 하고 있다. 따라서, 제1 테이프 이송기구 및 제2 테이프 이송기구에 의해 반송되는 접착막 테이프의 반송경로가 상호 다른 2개의 평면(제1평면 및 제2평면) 내에 위치하게 되고, 접착막 테이프는 그 상류측 부분과 하류측 부분이 상호 입체적으로 교차한 상태로 반송하는 것이 가능해진다. 그 때문에, 접착막 첩부장치 등으로 반송되는 접착막 테이프의 반송경로를 높은 자유도로 설정할 수가 있어, 접합기구나 배출기구 등이 설치되어 접착막 테이프의 반송경로에 변경이 생긴 경우라 하더라도, 그와 같은 구성변경에 대해 유연하게 대응할 수가 있다. 또, 이와 같이 배치됨으로써, 접착막 테이프를 공급하는 공급기구와, 접착막 테이프에 텐션을 거는 텐션기구를 2개의 평면에 배치할 수가 있어, 결국은 접착막 첩부장치의 각 기구를 1개의 평 면이 아니라 복수의 평면에 배치할 수가 있기 때문에, 소형화 및 기능적인 배치로 할 수가 있다.
또, 본 발명의 제3해결수단에 의하면, 제1 테이프 이송기구에서, 제1평면 내에 위치하게 된 비교적 큰 직경의 큰 롤러와, 이 큰 롤러보다도 하류측에서 제1평면에 대해 경사진 상태로 위치하게 된 비교적 작은 직경의 작은 롤러를 이용해서, 제1평면 위에서 반송되는 접착막 테이프에 비틀림을 가하고, 제2 테이프 이송기구에서, 제2평면 내에 위치하게 된 비교적 큰 직경의 큰 롤러와, 이 큰 롤러보다도 상류측에서 제2평면에 대해 경사진 상태로 위치하게 된 비교적 작은 직경의 작은 롤러를 이용해서, 제1 테이프 이송기구에 의해 비틀림이 가해진 접착막 테이프의 비틀림을 되돌리도록 하면, 접착막 테이프의 반송경로의 변경을 안정적으로 실행할 수 있다.
이상과 같이 본 발명에 의하면, ACF 테이프의 위치결정 정밀도를 향상시키고, ACF 테이프의 반송, 압착 후의 커버 테이프의 박리 및, ACF 테이프의 자동접합 등에 수반해서 생기는 각종 문제를 회피할 수가 있게 된다.
또, 본 발명에 의하면, 회수 릴의 교환작업을 불필요하게 해서 장치의 가동률을 향상시킬 수 있다.
그리고, 본 발명에 의하면, 접착막 첩부장치에서 반송되는 접착막 테이프의 반송경로를 높은 자유도로 설정해서, 접착막 첩부장치의 구성변경 등에 유연하게 대응하는 것이 가능하게 된다.
이하, 도면을 참조해서 본 발명의 실시예에 대해 설명한다.
먼저, 도 1 ~ 도 9에 의해, 본 발명의 한 실시예에 관한 접착막 첩부장치에 대해 설명한다.
도 1에 도시된 것과 같이, 본 실시예에 따른 ACF 첩부장치(접착막 첩부장치: 10)는, 접착막인 이방성 도전막을 패널기판이나 전자부품 등의 접착대상부재 상에 첩부하는 것으로, ACF 부재와 커버 테이프로 이루어진 ACF 테이프(접착막 테이프: 51)를 공급하는 공급기구(11)와, 공급기구(11)로부터 공급된 ACF 테이프(51)를 소정의 반송경로를 따라 반송하는 테이프 반송기구(15)와, 테이프 반송기구(15)에 의해 반송되는 ACF 테이프(51) 중 첩부대상으로 되는 ACF 부재의 일부를 접착대상부재(52) 상에 압착하는 테이프 압착기구(33)와, 테이프 압착기구(33)에 의해 ACF 부재의 일부가 압착됨으로써 주로 커버 테이프만 남은 사용이 끝난 ACF 테이프(51)를 회수하는 자동회수기구(40)를 구비하고 있다.
이 중, 공급기구(11)는 ACF 테이프(51)가 감겨져 수용된 공급 릴(12)과, 공급 릴(12)로부터 ACF 테이프(51)가 풀려나오도록 공급 릴(12)을 회전구동하는 공급측 구동축(13)을 갖고 있다. 한편, 공급기구(11)의 공급 릴(12) 근방에는, 공급 릴(12)로부터 공급되어 있는 ACF 테이프(51)의 종단부를, 예비 공급 릴(도시되지 않음)로부터 공급되는 ACF 테이프(도시되지 않음)의 시단부에 자동접합시키는 자동 접합기구(38)가 설치되어 있다.
테이프 반송기구(15)는 ACF 테이프(51)를 회전접촉상태로 지지하는 롤러로서, 고정롤러(16, 17), 접착막 테이프 이송기구(공급측 입체 반송기구: 18), 고정롤러(24, 25) 및, 접착막 테이프 이송기구(회수측 입체 반송기구: 27)를 갖고서, 이 순서로 공급기구(11)로부터 공급된 ACF 테이프(51)가 감겨 있다.
여기서, 이와 같은 테이프 반송기구(15)의 반송경로 상에는 공급측 텐션기구(31) 및 회수측 텐션기구(32)가 배치되어, 테이프 반송기구(15)에 의해 반송되는 ACF 테이프(51)에 텐션을 걸 수 있도록 되어 있다.
구체적으로는, 도 1 및 도 2에 도시된 것과 같이, 공급측 텐션기구(31)는 테이프 반송기구(15)에 의해 반송되는 ACF 테이프(51)를 회전접촉상태로 지지하는 공급측 가동롤러(23)와, 공급측 가동롤러(23)에 의해 지지된 ACF 테이프(51)에 대해 텐션을 부여한 상태에서 공급측 가동롤러(23)를 자유로이 이동하게 안내하는 공급측 가동롤러 안내기구(31a)를 갖고 있다.
또, 회수측 텐션기구(32)는 테이프 반송기구(15)에 의해 반송되는 ACF 테이프(51)를 회전접촉상태로 지지하는 회수측 가동롤러(26)와, 회수측 가동롤러(26)에 의해 지지된 ACF 테이프(51)에 대해 텐션을 부여한 상태로 회수측 가동롤러(26)를 자유로이 이동하게 안내하는 회수측 가동롤러 안내기구(32a)를 갖고 있다.
한편, 공급측 텐션기구(31) 및 회수측 텐션기구(32)는 모두 도 21에 도시된 것과 같이, 공급측 가동롤러 안내기구(31a: 또는 회수측 가동롤러 안내기구(32a))에 의해 안내된 공급측 가동롤러(23: 또는 회수측 가동롤러(26))에 대해 구동력을 부여하는 구동력 부여장치(61)와, ACF 부재의 첩부과정의 각 단계에서 필요로 하는 ACF 테이프(51)의 텐션에 대응해서 공급측 가동롤러(23: 또는 회수측 가동롤러(26))에 대해 부여되는 구동력을 조정하도록 구동력 부여장치(61)를 제어하는 제어장치(67)를 갖고 있다. 한편, 구동력 부여장치(61)는 공급측 가동롤러(23: 또는 회수측 가동롤러(26))에 접속된 구동력전달용 벨트(64)와, 구동력전달용 벨트(64)가 걸쳐지는 종동롤러(62) 및 구동롤러(63)와, 구동롤러(63)에 토크를 부여해서 구동하는 토크 부여장치(65) 및 구동모터(66: 제어장치(67)에 의해 제어되는 구동모터)를 갖고 있다.
도 1로 되돌아가 설명을 계속하면, 테이프 반송기구(15)에 포함되는 접착막 테이프 이송기구(공급측 입체 반송기구: 18)는 제1 테이프 이송기구(121: 공급측 입체 반송용 고정롤러(123, 124)) 및 제2 테이프 이송기구(122: 공급측 입체 반송용 고정롤러(125, 126))를 갖고서, ACF 테이프(51)가 반송되는 평면을 바꿔가면서 ACF 테이프(51)를 입체적으로 반송할 수 있도록 구성되어 있다. 그리고, 접착막 테이프 이송기구(회수측 입체 반송기구: 27)는 제1 테이프 이송기구(127: 회수측 입체 반송용 고정롤러(129, 130)) 및 회수측 입체 반송용 고정롤러(131)를 갖고, ACF 테이프(51)가 반송되는 평면을 바꿔가면서 ACF 테이프(51)를 입체적으로 반송할 수 있도록 구성되어 있다. 한편, 접착막 테이프 이송기구(공급측 입체 반송기구(18) 및 회수측 입체 반송기구(27))의 상세에 대해서는 뒤에 설명한다.
테이프 압착기구(33)는 접착대상부재(52)를 재치하는 백업(34)과, 백업(34) 상에 올려놓아진 접착대상부재(52)를 향해 테이프 반송기구(15)에 의해 반송되는 ACF 테이프(51)를 밀어붙임으로써 ACF 테이프(51) 중 첩부대상으로 되는 ACF 부재(도 3의 부호 51a 참조)의 일부를 접착대상부재(52) 상에 압착하는 ACF 부착기구(35)를 갖고 있다.
여기서, 테이프 압착기구(33)의 근방에는, 도 1 및 도 3에 도시된 것과 같이, ACF 테이프(51)의 ACF 부재(51a) 중 접착대상부재(52) 상에 첩부되는 부분의 양단 위치에 절결(51c)을 넣는 테이프 절단기구(36)와, 테이프 반송기구(15)에 의해 반송되는 ACF 테이프(51)를 접착대상부재(52) 상에 첩부해야 할 소요의 길이 분만큼 인출해서, 접착대상부재(52) 상에 위치시키는 테이프 인출기구(37)가 설치되어 있다. 한편, 도 3에 도시된 것과 같이, 테이프 절단기구(36)에 의한 ACF 테이프(51)의 절단은 ACF 부재(51a)에 대해서만 행해지고, 커버 테이프(51b)에 대해서는 행해지지 않는다.
또, 테이프 압착기구(33)의 근방에는, 도 1 및 도 3에 도시된 것과 같이, 테이프 반송기구(15)에 의해 테이프 압착기구(33)까지 반송된 ACF 테이프(51)를 접착대상부재(52)를 향해 밀어붙여 ACF 테이프(51)의 위치결정을 실행하는 테이프 위치결정기구(39, 39)가 설치되어 있다.
그리고, 테이프 압착기구(33)의 근방에는, 도 4에 도시된 것과 같이, 테이프 압착기구(33)에 의해 접착대상부재(52) 상에 압착된 ACF 부재(51a)로부터 커버 테이프(51b)를 박리하는 테이프 박리기구(45)가 설치되어 있다.
도 1로 되돌아가 다시 설명을 계속하면, 자동회수기구(40)는 사용이 끝난 ACF 테이프(51)가 그 외주 홈(41a)의 일부에 걸쳐진 상태로 ACF 테이프(51)를 반송 하는 회수 릴(41)과, 회수 릴(41)을 회전구동하는 회수측 구동축(42)과, 회수 릴(41)에 의해 반송된 사용이 끝난 ACF 테이프(51)를 회수하는 회수상자(44)를 갖고 있다. 여기서, 회수 릴(41) 중 ACF 테이프(51)가 감기는 외주 홈(41a)에는 복수의 진공흡인구멍이 형성되어 있어서, 회수 릴(41)의 회전에 연동해서 각 진공흡인구멍의 흡인상태가 절환됨으로써 외주 홈(41a) 중 회수 릴(41)의 상반분에 위치하는 부분만 항상 흡인상태로 되어 있도록 구성되어 있다.
다음에는, 이와 같은 구성된 ACF 첩부장치(10)의 동작에 대해 설명한다.
도 1에 도시된 ACF 첩부장치(10)에서, ACF 테이프(51)는 공급기구(11)에서 공급측 구동축(13)에 의해 회전구동되는 공급 릴(12)에서 풀려나와, 고정롤러(16, 17), 접착막 테이프 이송기구(공급측 입체 반송기구: 18), 공급측 가동롤러(23: 공급측 텐션기구(31)) 및, 고정롤러(24)를 경유해서 테이프 압착기구(33)의 백업(34) 상에 올려놓아진 접착대상부재(52) 상에 위치되도록 반송된다.
보다 구체적으로는, 테이프 클램프기구(도시되지 않음)에 의해 ACF 테이프(51)가 클램핑된 상태에서, 공급측 구동축(13)의 회전구동에 수반해서 공급 릴(12)을 도시된 방향으로 회전시키면, 공급 릴(12)로부터 ACF 테이프(51)가 풀려나옴과 더불어 ACF 테이프(51)가 테이프 반송기구(15: 특히 고정롤러(16, 17), 접착막 테이프 이송기구(공급측 입체 반송기구: 18) 및 공급측 가동롤러(23))를 경유해서 반송되어, ACF 테이프(51)에 이완이 생기게 된다. 여기서, 공급측 텐션기구(31)에서는, 제어장치(67)에 의한 제어하에서, 구동모터(66) 및 토크 부여장치(65)에 의해 구동롤러(63)를 구동시켜, 구동력전달용 벨트(64)를 도 2의 실선의 화살표방향으로 이동시킴으로써, ACF 테이프(51)에 일정한 텐션이 주어진 상태로 공급측 가동롤러 안내기구(31a)에 의해 안내된 공급측 가동롤러(23)를 상승시킨다. 한편, 이때 공급측 텐션기구(31)의 제어장치(67)는, 공급측 가동롤러(23)에 대해 부여되는 구동력을 작아지도록 구동모터(66)를 제어하게 되고, 그에 따라 테이프 반송기구(15)에 의해 ACF 테이프(51)가 반송되고 있는 단계에서 ACF 테이프(51)에 비교적 낮은 텐션이 부여되도록 되어 있다.
그리고, 공급측 가동롤러(23)가 상승해서 상한위치에 도달하면, 공급측 구동축(13)의 회전구동 및 구동모터(66)의 구동이 정지한다. 그에 따라, 접착대상부재(52) 상에 첩부해야 할 소요의 길이 만큼의 ACF 테이프(51)가 공급기구(11)의 공급 릴(12)로부터 임시로 풀려나와, 공급 릴(12)과 고정롤러(24) 사이에 쌓인 상태로 되어 있다.
이 상태에서, 테이프 클램프기구(도시되지 않음)를 개방함으로써 ACF 테이프(51)의 클램프를 해제하고, 공급측 구동축(13)의 회전구동이 정지한 상태에서 테이프 인출기구(37)에 의해 ACF 테이프(51)를 도시된 방향으로 인출하면, 공급측 텐션기구(31)의 공급측 가동롤러 안내기구(31a)에 의해 보유지지된 공급측 가동롤러(23)가 하강을 개시하여, 공급 릴(12)과 고정롤러(24) 사이에 쌓인 ACF 테이프(51)가 도시된 방향으로 이동한다. 여기서, 공급측 텐션기구(31)에서는, 제어장치(67)에 의한 제어하에서, 구동모터(66) 및 토크 부여장치(65)에 의해 구동롤러(63)를 구동하여 구동력전달용 벨트(64)를 도 2의 점선의 화살표방향으로 이동시켜줌으로써, ACF 테이프(51)에 일정한 텐션이 주어진 상태에서 공급측 가동롤러 안 내기구(31a)에 의해 안내된 공급측 가동롤러(23)를 하강시킨다. 한편, 이때 공급측 텐션기구(31)의 제어장치(67)는, 공급측 가동롤러(23)에 대해 부여되는 구동력을 작아지도록 구동모터(66)를 제어하고 있는바, 테이프 반송기구(15)에 의해 ACF 테이프(51)가 반송되고 있는 단계에서 ACF 테이프(51)에 비교적 낮은 텐션이 부여되도록 하고 있다. 이에 따라, 공급측 가동롤러(23)가 하강하여 하한위치에 도달한 시점에서, ACF 테이프(51) 중 접착대상부재(52) 상에 첩부해야 할 ACF 부재가 접착대상부재(52) 상에 위치되게 된다.
그 후, 테이프 압착기구(33)의 근방에 설치된 테이프 위치결정기구(39, 39)에, 도 3에 도시된 것과 같이, 테이프 반송기구(15)에 의해 테이프 압착기구(33)까지 반송된 ACF 테이프(51)를 접착대상부재(52)를 향해 밀어붙여 ACF 테이프(51)의 위치결정을 실행한다. 이때, 공급측 텐션기구(31)에서는, 제어장치(67)에 의한 제어하에서, 구동모터(66) 및 토크 부여장치(65)에 의해 구동롤러(63)를 구동시켜, 구동력전달용 벨트(64)를 도 2의 실선의 화살표방향으로 이동시켜 공급측 가동롤러(23)를 소정의 거리만큼 상승시킨다. 그에 따라, 테이프 위치결정기구(39, 39)에 의해 ACF 테이프(51)의 위치결정이 실행되는 단계에서는, 공급측 가동롤러(23)에 대해 부여되는 구동력이 커지게 되어 ACF 테이프(51)에 비교적 높은 텐션이 부여되게 된다.
그리고, 테이프 압착기구(33)에서, 백업(34) 상에 올려놓아진 접착대상부재(52)를 향해 ACF 부착기구(35)를 이동시키고, 테이프 위치결정기구(39, 39)에 의해 접착대상부재(52) 상에 위치결정된 ACF 테이프(51)를 밀어붙임으로써, ACF 테이 프(51) 중 첩부대상으로 되는 ACF 부재(도 3의 부호 51a 참조)의 일부가 접착대상 부재(52) 상에 압착된다. 한편, 이때 ACF 테이프(51)의 ACF 부재(51a) 중 접착대상부재(52) 상에 첩부되는 부분의 양단 위치에는, 테이프 절단기구(36)에 의해 소정의 타이밍으로 절결(51c)이 들어가 있게 된다.
그 후, 테이프 압착기구(33)의 근방에 설치된 테이프 박리기구(45)에 의해, 도 4에 도시된 것과 같이, 테이프 압착기구(33)에 의해 접착대상부재(52) 상에 압착된 ACF 부재(51a)로부터 커버 테이프(51b)를 박리한다. 이때, 공급측 텐션기구(31)에서는, 제어장치(67)에 의한 제어하에서, 구동모터(66) 및 토크 부여장치(65)로 구동롤러(63)를 구동시켜, 구동력전달용 벨트(64)를 도 2의 점선의 화살표방향으로 이동시켜 공급측 가동롤러(23)를 소정의 거리만큼 하강시킨다. 그에 따라, 테이프 박리기구(45)에 의해 커버 테이프(51b)의 박리가 실행되는 단계에서는, 공급측 가동롤러(23)에 대해 부여되는 구동력이 작아지게 되어 ACF 테이프(51)에 비교적 낮은 텐션이 부여된다.
그리고, 최종적으로, 이와 같이 해서 ACF 부재(51a)가 압착됨으로써, 주로 커버 테이프(51b)만 남은 사용이 끝난 ACF 테이프(51)는, 고정롤러(25), 회수측 가동롤러(26: 회수측 텐션기구(32)) 및 접착막 테이프 이송기구(회수측 입체 반송기구: 27)를 경유해서 반송되어, 최종적으로 자동회수기구(40)에 의해 회수된다.
보다 구체적으로는, 테이프 클램프기구(도시되지 않음)에 의해 ACF 테이프(51)가 클램핑된 상태에서, 회수측 구동축(42)의 회전구동에 수반해서 회수 릴(41)을 도시된 방향으로 회전시키면, 회수 릴(41)은 사용이 끝난 ACF 테이프(51) 가 그 외주 홈(41a)의 일부에 걸쳐진 상태에서 ACF 테이프(51)를 반송한다. 즉, 회수 릴(41)은, 그 회전에 연동해서 각 진공흡인구멍의 흡인상태가 절환됨으로써 외주 홈(41a) 중 회수 릴(41)의 상반분에 위치하는 부분만 항상 흡인상태에 있도록 되어 있고, 회수 릴(41)의 외주 홈(41a)에 상류측에서 잡아당겨져 고정된 사용이 끝난 ACF 테이프(51)가 한바퀴에 못 미친 소정의 길이만큼 반송된 후에 하류측 소정의 분리위치에서 떼어지게 된다. 그에 따라, 회수 릴(41)로부터 외주 홈(41a)의 분리위치에서 떼어진 사용이 끝난 ACF 테이프(51)는, 그 자중에 의해 상하방향(가동롤러(26)의 이동방향)으로 늘어진 상태로 반송되어, 최종적으로 회수상자(44)에 의해 회수된다. 한편, 회수 릴(41)에 감긴 사용이 끝난 ACF 테이프(51)는, 이 ACF 테이프(51)에 포함되는 커버 테이프(51b) 중 ACF 부재(51a)가 부착되지 않은 쪽의 면(도 3에 도시된 커버 테이프(51b)라면 그의 상부면)이 회수 릴(41)의 외주 홈(41a)에 접촉한 상태로 감겨 있다.
한편, 이상과 같이 해서 사용이 끝난 ACF 테이프(51)가 자동회수기구(40)에 의해 회수되는 과정에서, 회수측 텐션기구(32)에서는 사용이 끝난 ACF 테이프(51)에 아래쪽 방향으로의 인장력이 생기게 된다. 여기서, 회수측 텐션기구(32)에서는, 제어장치(67)에 의한 제어하에서 구동모터(66) 및 토크 부여장치(65)로 구동롤러(63)를 구동시켜, 구동력전달용 벨트(64)를 도 2의 점선의 화살표방향으로 이동시켜줌으로써, ACF 테이프(51)에 일정한 텐션이 주어진 상태에서 회수측 가동롤러 안내기구(32a)에 의해 안내된 공급측 가동롤러(26)를 하강시킨다. 한편, 이때 회수측 텐션기구(32)의 제어장치(67)는 회수측 가동롤러(26)에 대해 부여되는 구동력이 작아지도록 구동모터(66)를 제어하고 있는바, 이와 같이 해서 테이프 반송기구(15)에 의해 ACF 테이프(51)가 반송되고 있는 단계에서, ACF 테이프(51)에 비교적 낮은 텐션이 부여되도록 하고 있다.
그리고, 회수측 가동롤러(26)가 하강해서 하한위치에 도달하면, 회수측 구동축(42)의 회전구동 및 구동모터(66)의 구동이 정지된다.
이 상태에서, 테이프 클램프기구(도시되지 않음)를 개방함으로써 ACF 테이프(51)의 클램핑을 해제하고, 회수측 구동축(42)의 회전구동을 정지한 상태에서 테이프 인출기구(37)에 의해 ACF 테이프(51)를 도시된 방향으로 인출하면, 자동회수기구(40)에 의해 회수해야 할 사용이 끝난 ACF 테이프(51)에 이완이 생기게 된다. 여기서, 회수측 텐션기구(32)에서는, 제어장치(67)에 의한 제어하에서, 구동모터(66) 및 토크 부여장치(65)에 의해 구동롤러(63)를 구동시켜, 구동력전달용 벨트(64)를 도 2의 실선의 화살표방향으로 이동시켜줌으로써, ACF 테이프(51)에 일정한 텐션이 주어진 상태에서 회수측 가동롤러 안내기구(32a)에 의해 안내된 공급측 가동롤러(23)를 상승시킨다. 한편, 이때 회수측 텐션기구(32)의 제어장치(67)는 회수측 가동롤러(26)에 대해 부여되는 구동력을 작아지도록 구동모터(66)를 제어하고 있는바, 이와 같이 해서 테이프 반송기구(15)에 의해 ACF 테이프(51)가 반송되어 있는 단계에서 ACF 테이프(51)에 비교적 낮은 텐션이 부여되도록 하고 있다. 그리고, 테이프 인출기구(37)에 의해 접착대상부재(52) 상에 첩부해야 할 소요의 길이 분의 ACF 테이프(51)가 인출되면, 회수측 가동롤러(26)가 상승해서 상한위치에 도달하기 때문에, 이 시점에서 회수측 구동축(42)의 회전구동 및 구동모터(66)의 구 동이 정지하게 된다.
접착막 테이프 이송기구
여기서, 도 1과 도 6a 및 도 6b에 기해, ACF 첩부장치(10)의 공급측에 설치된 접착막 테이프 이송기구(공급측 입체 반송기구: 18)의 상세에 대해 설명한다. 한편, 도 6a는 도 1에 도시된 접착막 테이프 이송기구(18)의 상세를 나타낸 평면도이고, 도 6b는 도 1 및 도 6a에 도시된 접착막 테이프 이송기구(18)에서의 ACF 테이프(51)의 반송경로를 나타낸 개략도이다.
도 1과 도 6a 및 도 6b에 도시된 것과 같이, 접착막 테이프 이송기구(18)는 제1평면(P1)위에서 반송되는 ACF 테이프(51)에 비틀림을 가하면서 제1평면(P1)과는 다른 제2평면(P2)을 향해 ACF 테이프(51)를 반송하는 제1 테이프 이송기구(121)와, 제1 테이프 이송기구(121)에 의해 비틀림이 가해진 상태에서 반송되는 ACF 테이프(51)가 제2평면(P2) 위에서 반송되도록 ACF 테이프(51)에 가해진 비틀림을 되돌리면서 ACF 테이프(51)를 반송하는 제2 테이프 이송기구(122)를 구비하고 있다.
이 중, 제1 테이프 이송기구(121)는 제1평면(P1) 내에 위치하게 된 비교적 큰 직경의 큰 롤러(123)와, 이 큰 롤러(123)보다 하류측에서 제1평면(P1)에 대해 경사진 상태로 위치하게 된 비교적 작은 직경의 작은 롤러(124)를 갖고 있다. 또, 제2 테이프 이송기구(122)는 제2평면(P2) 내에 위치하게 된 비교적 큰 직경의 큰 롤러(126)와, 이 큰 롤러(126)보다 상류측에서 제2평면(P2)에 대해 경사진 상태로 위 치하게 된 비교적 작은 직경의 작은 롤러(125)를 갖고 있다. 한편, 제1 테이프 이송기구(121)의 큰 롤러(123) 및 작은 롤러(124)는 각각 지지체(137)에 고정된 지지축(123a, 124a)에 의해 자유로이 회동하게 지지되어 있다. 또, 제2 테이프 이송기구(122)의 큰 롤러(126) 및 작은 롤러(125)는 각각 지지체(138)에 고정된 지지축(126A, 125a)에 의해 자유로이 회동하게 지지되어 있다.
여기서, 제1 테이프 이송기구(121) 및 제2 테이프 이송기구(122)에 포함되는 각 큰 롤러(123, 126)는, 도 8에 도시된 것과 같이, ACF 테이프(51)의 폭에 대응하는 크기를 가진 단면이 4각형상의 오목형상 홈(141)을 갖고 있다. 또, 제1 테이프 이송기구(121) 및 제2 테이프 이송기구(122)에 포함되는 각 작은 롤러(124, 125)는, 도 9에 도시된 것과 같이, ACF 테이프(51)의 폭에 대응하는 크기를 가진 단면이 역사다리꼴형상의 역사다리꼴형상 홈(142)을 갖고 있다.
다음에는, 이와 같이 구성된 접착막 테이프 이송기구(18)의 작용에 대해 설명한다.
먼저, 공급기구(11)의 공급 릴(12)에서 풀려나와 제1평면(P1) 위에서 반송되는 ACF 테이프(51)는, 제1 테이프 이송기구(121)에서, 제1평면(P1) 내에 위치된 큰 롤러(123)에 의해 반송된 후, 큰 롤러(123)의 하류측 근방에 설치된 작은 롤러(124)에 의해 반송되게 된다. 여기서, 작은 롤러(124)는 제1평면(P1)에 대해 경사진 상태로 위치되어 있고, 큰 롤러(123)로부터 송출된 ACF 테이프(51)가, 거기에 비틀림이 가해진 상태에서 제2 테이프 이송기구(122)로 송출된다. 한편, 큰 롤 러(123) 및 작은 롤러(124)로부터 ACF 테이프(51)가 벗겨지는 것을 방지하기 위해, 큰 롤러(123)로부터 ACF 테이프(51)가 송출되는 위치와 작은 롤러(124)로 ACF 테이프(51)가 들어가는 위치는 모두 동일한 평면(제1평면(P1)) 내인 것이 바람직하다(도 6a 참조).
이어, 제1 테이프 이송기구(121)의 작은 롤러(124)로부터 비틀림이 가해진 상태에서 송출된 ACF 테이프(51)는, 제2 테이프 이송기구(122)에서 제2평면(P2) 내에 위치하게 된 큰 롤러(126)의 상류측 근방에 설치된 작은 롤러(125)에 의해 반송된 후, 큰 롤러(126)에 의해 반송된다. 한편, 큰 롤러(126)에 의해 반송된 ACF 테이프(51)는 제2평면(P2) 내에 위치하게 된 공급측 가동롤러(23)를 향해 송출된다. 여기서, 작은 롤러(125)는 제2평면(P2)에 대해 경사진 상태로 위치되어 있고, 제1 테이프 이송기구(121)의 작은 롤러(124)로부터 송출된 ACF 테이프(51)는, 거기에 가해진 비틀림이 되돌려지면서 큰 롤러(126)로 송출된다. 한편, 작은 롤러(125) 및 큰 롤러(126)에서 ACF 테이프(51)가 벗겨지는 것을 방지하기 위해, 작은 롤러(125)로부터 ACF 테이프(51)가 송출되는 위치와 큰 롤러(126)에 ACF 테이프(51)가 들어가는 위치는 모두 동일한 평면(제2평면(P2)) 내인 것이 바람직하다(도 6a 참조).
한편, 이상과 같이 해서 제1 테이프 이송기구(121) 및 제2 테이프 이송기구(122)에 의해 반송되는 ACF 테이프(51)는, 그 반송경로가 상호 다른 2개의 평면(제1평면(P1) 및 제2평면(P2)) 내에 위치하기 때문에, ACF 테이프(51)의 상류측 부분과 하류측 부분이 상호 입체적으로 교차한 상태로 반송할 수가 있게 된다.
다음에는, 도 1과 도 7a 및 도 7b에 의해, ACF 첩부장치(10)의 회수측에 설치된 접착막 테이프 이송기구(회수측 입체 반송기구: 27)의 상세에 대해 설명한다. 또, 도 7a는 도 1에 도시된 접착막 테이프 이송기구(27)의 상세를 나타낸 평면도이고, 도 7b는 도 1 및 도 7a에 도시된 접착막 테이프 이송기구(27)에서의 ACF 테이프(51)의 반송경로를 나타낸 개략도이다. 한편, 도 7a 및 도 7b에서는, 도 1에 도시된 접착막 테이프 이송기구(27)에서, 회수측 입체 반송용 고정롤러(131)의 하류측에, 도 1에 도시되어 있는 것과 같은 회수 릴(41)이 아닌 회수측 입체 반송용 고정롤러(129)와 마찬가지인 고정롤러가 쓰이는 경우를 예로 들어 설명한다.
도 1과 도 7a 및 도 7b에 도시된 것과 같이, 접착막 테이프 이송기구(27)는, 제1평면(P3) 위에서 반송되는 ACF 테이프(51)에 비틀림을 가하면서 제1평면(P3)과는 다른 제2평면(P4)을 향해 ACF 테이프(51)를 반송하는 제1 테이프 이송기구(127)와, 제1 테이프 이송기구(127)에 의해 비틀림이 가해진 상태에서 반송되는 ACF 테이프(51)가 제2평면(P4) 위에서 반송되도록 ACF 테이프(51)에 가해진 비틀림을 되돌리면서 ACF 테이프(51)를 반송하는 제2 테이프 이송기구(128)를 구비하고 있다.
이 중, 제1 테이프 이송기구(127)는 제1평면(P3) 내에 위치하게 된 비교적 큰 직경의 큰 롤러(129)와, 이 큰 롤러(129)보다도 하류측에서 제1평면(P3)에 대해 경사진 상태로 위치하게 된 비교적 작은 직경의 작은 롤러(130)를 갖고 있다. 또, 제2 테이프 이송기구(128)는, 제2평면(P4) 내에 위치하게 된 비교적 큰 직경의 큰 롤러(132)와, 이 큰 롤러(132)보다도 상류측에서 제2평면(P4)에 대해 경사진 상태로 위치하게 된 비교적 작은 직경의 작은 롤러(131)를 갖고 있다. 한편, 제1 테이프 이송기구(127)의 큰 롤러(129) 및 작은 롤러(130)는 각각 지지체(139)에 고정된 지지축(129a, 130a)에 의해 자유로이 회동하게 지지되어 있다. 또, 제2 테이프 이송기구(128)의 큰 롤러(132) 및 작은 롤러(131)는 각각 지지체(140)에 고정된 지축(132a, 131a)에 의해 자유로이 회동하게 지지되어 있다.
여기서, 제1 테이프 이송기구(127) 및 제2 테이프 이송기구(128)에 포함된 각 큰 롤러(129, 132)는, 도 8에 도시된 것과 같이, ACF 테이프(51)의 폭에 대응하는 크기를 가진, 단면이 4각형상의 오목형상 홈(141)을 갖고 있다. 또, 제1 테이프 이송기구(127) 및 제2 테이프 이송기구(128)에 포함된 각 작은 롤러(130, 131)는, 도 9에 도시된 것과 같이, ACF 테이프(51)의 폭에 대응하는 크기를 가진 단면이 역사다리꼴형상인 역사다리꼴형상 홈(142)을 갖고 있다.
다음에는, 이와 같이 구성된 접착막 테이프 이송기구(27)의 작용에 대해 설명한다.
먼저, 회수측 가동롤러(26)를 경유해서 제1평면(P3) 위에서 반송되는 ACF 테이프(51)는, 제1 테이프 이송기구(127)에서, 제1평면(P1) 내에 위치하게 된 큰 롤러(129)에 의해 반송된 후, 큰 롤러(129)의 하류측 근방에 설치된 작은 롤러(130)에 의해 반송된다. 여기서, 작은 롤러(130)는 제1평면(P3)에 대해 경사진 상태로 위치되어 있고, 큰 롤러(129)로부터 송출된 ACF 테이프(51)는 거기에 비틀림이 가해 진 상태에서 제2 테이프 이송기구(128)로 송출된다. 한편, 큰 롤러(129) 및 작은 롤러(130)에서 ACF 테이프(51)가 벗겨지는 것을 방지하기 위해, 큰 롤러(129)로부터 ACF 테이프(51)가 송출되는 위치와 작은 롤러(130)로 ACF 테이프(51)가 들어가는 위치는 모두 동일한 평면(제1평면(P3)) 내인 것이 바람직하다(도 7a 참조).
이어, 제1 테이프 이송기구(127)의 작은 롤러(130)로부터 비틀림이 가해진 상태에서 송출된 ACF 테이프(51)는, 제2 테이프 이송기구(128)에서, 제2평면(P4) 내에 위치하게 된 큰 롤러(132)의 상류측 근방에 설치된 작은 롤러(131)로 반송된 후, 큰 롤러(132)에 의해 반송된다. 한편, 큰 롤러(132)에 의해 반송된 ACF 테이프(51)는 제2평면(P4) 내에 위치하게 된 배출기구인 회수상자(44)를 향해 송출된다. 여기서, 작은 롤러(131)는 제2평면(P4)에 대해 경사진 상태로 위치되어 있는바, 제1 테이프 이송기구(127)의 작은 롤러(130)로부터 송출된 ACF 테이프(51)가 이에 가해진 비틀림이 되돌려지면서 큰 롤러(132)로 송출된다. 한편, 작은 롤러(131) 및 큰 롤러(132)로부터 ACF 테이프(51)가 벗겨지는 것을 방지하기 위해, 작은 롤러(131)로부터 ACF 테이프(51)가 송출되는 위치와 큰 롤러(132)로 ACF 테이프(51)가 들어가는 위치는 모두 동일한 평면(제2평면(P4)) 내인 것이 바람직하다(도 7a 참조).
이상과 같이 해서 제1 테이프 이송기구(127) 및 제2 테이프 이송기구(128)에 의해 ACF 테이프(51)가 반송되는 경우, ACF 테이프(51)의 반송경로가 상호 다른 2개의 평면(제1평면(P3) 및 제2평면(P4)) 내에 위치하기 때문에, ACF 테이프(51)는 그 상류측 부분과 하류측 부분이 상호 입체적으로 교차한 상태로 반송할 수 있게 된다.
이와 같이 본 실시예에 의하면, 테이프 반송기구(15)의 반송경로 상에 배치된 공급측 텐션기구(31) 및 회수측 텐션기구(32)가, 공급측 가동롤러 안내기구(31a: 또는 회수측 가동롤러 안내기구(32a))에 의해 안내된 공급측 가동롤러(23: 또는 회수측 가동롤러(26))에 대해 구동력을 부여하는 구동력 부여장치(61)를 가져, 제어장치(67)에 의한 제어하에서 ACF 부재(51a)의 첩부과정의 각 단계에서 필요로 하는 ACF 테이프(51)의 텐션에 대응해서, 공급측 가동롤러(23: 또는 회수측 가동롤러(26))에 대해 부여되는 구동력을 조정하도록 하고 있다. 그 때문에, 예컨대 테이프 반송기구(15)에 의한 ACF 테이프(51)의 반송시, 테이프 박리기구(45)에 의한 압착 후의 커버 테이프(51b)의 박리시 및, 자동접합기구(38)에 의한 ACF 테이프(51)의 자동접합시에는, ACF 테이프(51)에 부여되는 텐션을 비교적 낮게 유지하는 한편, ACF 테이프(51)의 위치결정시에는 ACF 테이프(51)에 부여되는 텐션을 비교적 높게 유지할 수가 있게 된다. 이에 의해, ACF 테이프(51)의 위치결정 정밀도를 향상시키는 한편, ACF 테이프(51)의 반송, 압착 후의 커버 테이프(51b)의 박리 및, ACF 테이프(51)의 자동접합 등에 수반해서 생기는 각종 문제를 회피할 수 있게 된다.
구체적으로는, 테이프 반송기구(15)에 의한 ACF 테이프(51)의 반송시에는 ACF 테이프(51)에 대해 부여되는 텐션이 낮기 때문에, ACF 테이프(51)의 반송을 고속으로 실행할 수 있게 된다. 또, 압착 후의 커버 테이프(51b)의 박리시에도 ACF 테이프(51)에 대해 부여되는 텐션이 낮기 때문에, ACF 부재(51a)에 대한 커버 테이프(51b)의 박리각도가 예각으로 되어 ACF 부재(51a)의 젖혀짐의 발생빈도를 저감시킬 수가 있게 된다. 그리고, ACF 테이프(51)의 자동접합시에도 ACF 테이프(51)에 대해 부여되는 텐션이 낮기 때문에, ACF 테이프(51)에 큰 스트레스가 걸리지 않아, ACF 테이프(51)의 자동접합부에서의 끊어짐의 발생빈도를 저감시킬 수가 있게 된다. 그리고, ACF 테이프(51)에 대해 항상 높은 텐션이 부여되지 않기 때문에, ACF 테이프(51)의 공급 및 회수가 실행되는 공급 릴(12) 및 회수 릴(41)에 대해 큰 스트레스가 걸리지 않는다고 하는 이점도 있게 된다.
*또, 본 실시예에 의하면, ACF 첩부장치(10)의 공급측 및 회수측에 설치된 접착막 테이프 이송기구(18, 27)에서, 제1 테이프 이송기구(121, 127)에 의해, 제1평면(P1, P3) 위에서 반송되는 ACF 테이프(51)에 비틀림을 가하면서 제1평면(P1, P3)과는 다른 제2평면(P2, P4)을 향해 ACF 테이프(51)를 운반한 후, 제2 테이프 이송기구(122, 128)에 의해, 제1 테이프 이송기구(121, 127)에 의해 비틀림이 가해진 상태에서 반송되는 ACF 테이프(51)가 제2평면(P2, P4) 위에서 반송되도록 ACF 테이프(51)에 가해진 비틀림을 되돌리면서 ACF 테이프(51)를 반송하도록 하고 있다.
따라서, 제1 테이프 이송기구(121, 127) 및 제2 테이프 이송기구(122, 128)에 의해 반송되는 ACF 테이프(51)의 반송경로가 상호 다른 2개의 평면(제1평면(P1, P3) 및 제2평면(P2, P4)) 내에 위치하게 되고, ACF 테이프(51)는 그 상류측 부분과 하류측 부분이 상호 입체적으로 교차한 상태로 반송할 수 있게 된다. 이 때문에, ACF 첩부장치(10)에서 반송되는 ACF 테이프(51)의 반송경로를 높은 자유도로 설정할 수가 있고, ACF 첩부장치(10)의 공급기구(11)의 공급 릴(12)과 공급측 가동롤러(23) 사이에 자동접합기구(38)가 설치되어 ACF 테이프(51)의 반송경로에 변경이 생긴 경우나, ACF 첩부장치(10)의 회수측에 배출기구로서의 회수상자(44)가 설치되어 ACF 테이프(51)의 반송경로에 변경이 생긴 경우라 하더라도, 그와 같은 구성변경에 대해 유연하게 대응할 수가 있다.
그리고, 본 실시예에 의하면, 접착막 테이프 이송기구(18, 27)의 제1 테이프 이송기구(121, 127)에서, 제1평면(P1, P3) 내에 위치하게 된 비교적 큰 직경의 큰 롤러(123, 129)와, 이 큰 롤러(123, 129)보다도 하류측에 제1평면(P1, P3)에 대해 경사진 상태로 위치하게 된 비교적 작은 직경의 작은 롤러(124, 130)를 이용해서, 제1평면(P1, P3) 위에서 반송되는 ACF 테이프(51)에 비틀림을 가하고, 접착막 테이프 이송기구(18, 27)의 제2 테이프 이송기구(122, 128)에서, 제2평면(P2, P4) 내에 위치하게 된 비교적 큰 직경의 큰 롤러(126, 132)와, 이 큰 롤러(126, 132)보다도 상류측에서 제2평면(P2, P4)에 대해 경사진 상태로 위치된 비교적 작은 직경의 작은 롤러(125, 131)를 이용해서, 제1 테이프 이송기구(121, 127)에 의해 비틀림이 가해진 ACF 테이프(51)의 비틀림을 되돌리도록 하고 있기 때문에, ACF 테이프(51)의 반 송경로의 변경을 안정적으로 실행할 수가 있게 된다.
그리고, 본 실시예에 의하면, 접착막 테이프 이송기구(18, 27)의 제1 테이프 이송기구(121, 127)에서, 제1평면(P1, P3) 내에 위치하게 된 큰 롤러(123, 129)의 오목형상 홈(141)을 따라 ACF 테이프(51)를 운반한 후, 큰 롤러(123, 129)의 하류측 근방에 설치된 작은 롤러(124, 130)의 역사다리꼴형상 홈(142)을 따라 ACF 테이프(51)를 반송하도록 하고 있기 때문에, 단면이 4각형상의 오목형상 홈(141)을 가진 큰 롤러(123, 129)에 의해 ACF 테이프(51)의 폭방향으로의 이동을 규제한 상태에서 ACF 테이프(51)의 안정적인 반송을 확보함과 더불어, 단면이 역사다리꼴형상의 역사다리꼴형상 홈(142: 특히 그 측면에 형성된 기울기(V형상 면))을 가진 작은 롤러(124, 130)에 의해 ACF 테이프(51)에 대해 충분한 각도를 지워 ACF 테이프(51)에 비틀림을 가할 수가 있다. 마찬가지로, 접착막 테이프 이송기구(18, 27)의 제2 테이프 이송기구(122, 128)에서, 제2평면(P2, P4)에 위치되는 큰 롤러(126, 132)의 상류측 근방에 설치된 작은 롤러(125, 131)의 역사다리꼴형상 홈(142)을 따라 ACF 테이프(51)를 운반한 후, 큰 롤러(126, 132)의 오목형상 홈(141)을 따라 ACF 테이프(51)를 반송하도록 하고 있기 때문에, 단면이 4각형상의 오목형상 홈(141)을 가진 큰 롤러(126, 132)에 의해 ACF 테이프(51)의 폭방향으로의 이동을 규제한 상태에서 ACF 테이프(51)의 안정적인 반송을 확보함과 더불어, 단면이 역사다리꼴형상의 역사다리꼴형상 홈(142: 특히 그 측면에 형성된 기울기(V형상 면))을 가진 작은 롤러(125, 131)에 의해 ACF 테이프(51)에 대해 충분한 각도를 지워 ACF 테이프(51) 에 가해진 비틀림을 되돌릴 수가 있다.
한편, 앞에서 설명한 실시예에서는, 공급측 텐션기구(31) 및 회수측 텐션기구(32)의 각각에 제어장치(67)가 설치되어 있으나, 이에 한하지 않고, 제어장치(67)로서 공급측 텐션기구(31) 및 회수측 텐션기구(32)의 양쪽을 통합적으로 제어하는 1개의 제어장치가 설치되어 있어도 좋다.
또, 앞에서 설명한 실시예에서는, 도 1에 나타낸 ACF 첩부장치(10)와 같이, 자동접합기구(38) 및 자동회수기구(40)가 설치되고, 접착막 테이프 이송기구(공급측 입체 반송기구: 18) 및 접착막 테이프 이송기구(회수측 입체 반송기구: 27)에 의해 ACF 테이프(51)가 입체적으로 반송되는 경우를 예로 들어 설명하였으나, 이에 한하지 않고, 도 6에 도시된 ACF 첩부장치(10')와 같이, 자동접합기구(38) 및 자동회수기구(40)가 설치되어 있지 않고, 공급기구(11)의 공급 릴(12)로부터 풀려나와 ACF 테이프(51)가 1개의 평면 내를 반송되어, 통상적인 회수기구(46)의 회수 릴(47)에 의해 권취되어 회수되도록 한 경우에도 마찬가지로 적용할 수가 있다.
다른 실시예
다음에는, 도 10 ~ 도 12에 의해, 본 발명의 다른 실시예에 따른 접착막 첩부장치에 대해 설명한다.
도 10에 도시된 것과 같이, 본 실시예에 따른 ACF 첩부장치(접착막 첩부장치: 210)는 접착막인 이방성 도전막을 패널기판이나 전자부품 등의 접착대상부재 상에 첩부하는 것으로, ACF 부재와 커버 테이프로 이루어진 ACF 테이프(접착막 테이프: 51)를 공급하는 공급기구(211)와, 공급기구(211)로부터 공급된 ACF 테이 프(51)를 소정의 반송경로를 따라 반송하는 테이프반송기구(216)와, 테이프 반송기구(216)에 의해 반송되는 ACF 테이프(51) 중 첩부대상으로 되는 ACF 부재의 일부를 접착대상부재(52) 상에 압착하는 테이프 압착기구(233)와, 테이프 압착기구(233)에 의해 ACF 부재의 일부가 압착됨으로써 주로 커버 테이프만 남겨진 사용이 끝난 ACF 테이프(51)를 회수하는 자동회수기구(240)를 구비하고 있다.
이 중, 공급기구(211)는 ACF 테이프(51)가 감겨 수용된 공급 릴(212)과, 공급 릴(212)로부터 ACF 테이프(51)가 풀려나오도록 공급 릴(212)을 회전구동하는 공급측 구동축(213)을 갖고 있다. 한편, 공급기구(211)의 공급 릴(212)의 근방에는, 예비 공급 릴(도시되지 않음)의 ACF 테이프(도시되지 않음)를 현재의 공급 릴(212)의 ACF 테이프(51)에 자동접합하기 위한 자동접합기구(238)가 설치되어 있다.
테이프 반송기구(215)는 ACF 테이프(51)를 회전접촉상태로 지지하는 롤러로서, 고정롤러(216, 217), 공급측 입체 반송기구(접착막 테이프 이송기구: 218), 공급측 가동롤러(223), 고정롤러(224, 225), 회수측 가동롤러(226) 및, 회수측 입체 반송기구(접착막 테이프 이송기구: 227)를 갖고 있는바, 이 순서로 공급기구(211)로부터 공급된 ACF 테이프(51)가 감겨 있다. 한편, 공급측 가동롤러(223) 및 회수측 가동롤러(226)는 각각 공급측 가동롤러 보유지지기구(231) 및 회수측 가동롤러 보유지지기구(232)에 의해, 추(도시되지 않음)의 작용에 의해 위쪽 방향으로 인장력이 부여된 상태에서 상하방향으로 자유로이 이동하게 보유지지되어 있어서, 각각 공급측 단차롤러 및 회수측 단차롤러로서 기능하고 있다. 또, 공급측 입체 반송기구(218)는 공급측 입체 반송용 고정롤러(219, 220, 221, 222)를 갖고서, ACF 테이 프(51)가 반송되는 평면을 바꿔가면서 ACF 테이프(51)를 입체적으로 반송할 수 있도록 구성되어 있다. 그리고, 회수측 입체 반송기구(227)는 회수측 입체 반송용 고정롤러(228, 229, 230)를 갖고서, ACF 테이프(51)가 반송되는 평면을 바꿔가면서 ACF 테이프(51)를 입체적으로 반송할 수 있도록 구성되어 있다.
테이프 압착기구(233)는 접착대상부재(52)를 올려놓는 백업(234)과, 백업(234) 상에 올려놓아진 접착대상부재(52)를 향해 테이프 반송기구(215)에 의해 반송되는 ACF 테이프(51)를 밀어붙임으로써, ACF 테이프(51) 중 첩부대상으로 되는 ACF 부재(도 11의 부호 51a 참조)의 일부를 접착대상부재(52) 상에 압착하는 ACF 부착기구(235)를 갖고 있다.
여기서, ACF 부착기구(235)의 근방에는, ACF 테이프(51)의 ACF 부재(51a) 중 접착대상부재(52) 상에 첩부되는 부분의 양단 위치에 절결(도 11의 부호 51c 참조)을 넣는 테이프 절단기구(236)와, 테이프 반송기구(215)에 의해 반송되는 ACF 테이프(51)를 접착대상부재(52) 상에 첩부해야 할 소요의 길이 분만큼 인출해서 접착대상부재(52) 상에 위치시키는 테이프 인출기구(237)가 설치되어 있다. 한편, 도 11에 도시된 것과 같이, 테이프 절단기구(236)에 의한 ACF 테이프(51)의 절단은 ACF 부재(51a)에 대해서만 행해지고, 커버 테이프(51b)에 대해는 행해지지 않는다.
자동회수기구(240)는, 사용이 끝난 ACF 테이프(51)가 그 외주 홈(외주부: 241a)의 일부에 걸쳐진 상태에서 ACF 테이프(51)를 반송하는 회수 릴(241)과, 회수 릴(241)을 회전구동하는 회수측 구동축(242)과, 회수 릴(241)에 의해 반송된 사용이 끝난 ACF 테이프(51)를 회수하는 회수상자(244)를 갖고 있다. 여기서, 도 12에 도시된 것과 같이, 회수 릴(241) 중 ACF 테이프(51)가 감기는 외주 홈(241a)에는 복수의 진공흡착구멍 등으로 된 진공흡인부(243)가 설치되어 있어서, 회수 릴(241)의 회전에 연동해서 각 진공흡인부(243)의 흡인상태가 절환됨으로써 외주 홈(241a) 중 회수 릴(241)의 상반분에 위치하는 부분만 항상 흡인상태로 되어 있도록 구성되어 있다.
다음에는, 이와 같이 구성된 ACF 첩부장치(210)의 동작에 대해 설명한다.
도 10에 도시된 ACF 첩부장치(210)에서, ACF 테이프(51)는 공급기구(211)에서 공급측 구동축(213)에 의해 회전구동되는 공급 릴(212)에서 풀려나와, 고정롤러(216, 217), 접착막 테이프 이송기구(공급측 입체 반송기구: 218), 공급측 가동롤러(223) 및, 고정롤러(224)를 경유해서 테이프 압착기구(233)의 백업(234) 상에 올려놓아진 접착대상부재(52) 상에 위치하도록 반송된다.
보다 구체적으로는, 테이프 클램프기구(도시되지 않음)에 의해 ACF 테이프(51)가 클램핑된 상태에서, 공급측 구동축(213)의 회전구동에 수반해서 공급 릴(212)을 도시된 방향으로 회전시키면, 공급 릴(12)로부터 ACF 테이프(51)가 풀려나옴과 더불어 ACF 테이프(51)가 테이프 반송기구(215: 특히 고정롤러(216, 217)와 공급측 입체 반송기구(218) 및 공급측 가동롤러(223))를 경유해서 반송되어, ACF 테이프(51)에 이완이 생기게 된다. 이때, 공급측 가동롤러 보유지지기구(231)에 의해 보유지지된 공급측 가동롤러(223)는 도시되지 않은 추의 작용에 의해 상승한다. 또, 공급측 가동롤러(223)가 상승해서 상한위치에 도달한 시점에서, 공급측 구동축(213)의 회전구동이 정지하게 된다. 한편, 이 시점에서, 접착대상부재(52) 상에 첩부해야 할 소요 길이 분의 ACF 테이프(51)가 공급기구(211)의 공급 릴(212)에서 임시로 풀려나와, 공급 릴(212)과 고정롤러(224) 사이에 쌓인 상태로 되어 있다.
이 상태에서, 테이프 클램프기구(도시되지 않음)를 개방함으로써 ACF 테이프(51)의 클램핑상태를 해제하고, 공급측 구동축(213)의 회전구동이 정지한 상태에서 테이프 인출기구(237)에 의해 ACF 테이프(51)를 도시된 방향으로 인출하면, 공급측 가동롤러 보유지지기구(231)에 의해 보유지지된 공급측 가동롤러(223)는 하강을 개시하여, 공급 릴(212)과 고정롤러(224) 사이에 쌓인 ACF 테이프(51)가 도시된 방향으로 이동한다. 이에 의해, 공급측 가동롤러(223)가 하강하여 하한위치에 도달한 시점에서, ACF 테이프(51) 중 접착대상부재(52) 상에 첩부해야 할 ACF 부재가 접착대상부재(52) 상에 위치되게 된다.
그리고, 테이프 압착기구(233)에서, 백업(234) 상에 올려놓아진 접착대상부재(52)를 향해 ACF 부착기구(235)를 이동시키고, 접착대상부재(52) 상에 위치하게 된 ACF 테이프(51)를 밀어붙임으로써, ACF 테이프(51) 중 첩부대상으로 되는 ACF 부재(도 2의 부호 51a 참조)의 일부가 접착대상부재(52) 상에 압착된다. 한편, 이때 ACF 테이프(51)의 ACF 부재(51a) 중 접착대상부재(52) 상에 첩부되는 부분의 양단 위치에는, 테이프 절단기구(236)에 의해 소정의 타이밍으로 절결이 들어가 있다.
여기서, ACF 부재(51a)가 압착됨으로써, 주로 커버 테이프(51b)만 남겨진 사용이 끝난 ACF 테이프(51)는, 고정롤러(225)와 회수측 가동롤러(226) 및 회수측 입체 반송기구(227)를 경유해서 반송되어, 최종적으로 자동회수기구(40)에 의해 회수 된다.
보다 구체적으로는, 테이프 클램프기구(도시되지 않음)에 의해 ACF 테이프(51)가 클램핑된 상태에서, 회수측 구동축(242)의 회전구동에 수반해서 회수 릴(241)을 도시된 방향으로 회전시키면, 회수 릴(241)은 사용이 끝난 ACF 테이프(51)가 그 외주 홈(241a)의 일부에 걸쳐진 상태에서 ACF 테이프(51)를 반송한다. 즉, 회수 릴(241)은 그 회전에 연동해서 각 진공흡인부(243)의 흡인상태가 절환됨으로써 외주 홈(241a) 중 회수 릴(241)의 상반분에 위치하는 부분만 항상 흡인상태에 있도록 되어 있고, 회수 릴(241)의 외주 홈(241a)에 상류측에서 잡아당겨져 고정된 사용이 끝난 ACF 테이프(51)가 한바퀴에 못 미친 소정의 길이만큼 반송된 후에 하류측의 소정의 분리위치(도 12의 부호 R 참조)에서 떼어지게 된다. 이에 따라, 회수 릴(241)로부터 외주 홈(241a)의 분리위치(도 12의 부호 R 참조)에서 떼어진 사용이 끝난 ACF 테이프(51)는, 그 자중에 의해 상하방향(회수측 가동롤러(226)의 이동방향)으로 늘어진 상태로 반송되어, 최종적으로 회수상자(244)에 의해 회수된다. 한편, 회수 릴(241)에 감기는 사용이 끝난 ACF 테이프(51)는, 이 ACF 테이프(51)에 포함되는 커버 테이프(51b) 중 ACF 부재(51a)가 부착되지 않은 쪽의 면(도 2에 도시된 커버 테이프(51b)이면 그의 상부면)이 회수 릴(241)의 외주 홈(241a)에 접촉한 상태로 감겨 있다.
한편, 이상과 같이 해서 사용이 끝난 ACF 테이프(51)가 자동회수기구(240)에 의해 회수되는 과정에서, 사용이 끝난 ACF 테이프(51)에 아래쪽 방향으로의 인장력이 생기게 된다. 이에 따라, 회수측 가동롤러 보유지지기구(232)에 의해 보유지지 된 회수측 가동롤러(226)는, 도시되지 않은 추의 작용으로 위쪽 방향으로 부여되어 있는 인장력에 대항해서 하강하게 된다. 한편, 회수측 가동롤러(226)가 하강하여 하한위치에 도달하면, 회수측 구동축(242)의 회전구동은 정지하게 된다.
이 상태에서, 테이프 클램프기구(도시되지 않음)를 개방함으로써 ACF 테이프(51)의 클램핑을 해제하고, 회수측 구동축(242)의 회전구동을 정지시킨 상태에서 테이프 인출기구(237)에 의해 ACF 테이프(51)를 도시된 방향으로 인출하면, 자동회수기구(240)에 의해 회수해야 할 사용이 끝난 ACF 테이프(51)에 이완이 생기게 되어, 도시되지 않은 추의 작용으로 회수측 가동롤러(226)가 상승하게 된다. 그리고, 테이프 인출기구(237)에 의해, 접착대상부재(52) 상에 첩부해야 할 소요의 길이 분의 ACF 테이프(51)가 인출되면, 회수측 가동롤러(226)가 상한위치에 도달한다.
이와 같이 본 실시예에 의하면, 회수측 구동축(242)에 의해 회전구동된 회수 릴(241)에 의해, 사용이 끝난 ACF 테이프(51)가 그 외주 홈(241a)의 일부에 걸쳐진 상태에서 ACF 테이프(51)를 운반한 후, 회수 릴(241)의 하류측 소정의 분리위치(도 12의 부호 R 참조)에서 ACF 테이프(51)가 떼어져, 그 자중에 의해 상하방향(회수측 가동롤러(226)의 이동방향)으로 늘어진 상태로 반송하여 최종적으로 회수상자(244)에 의해 회수되도록 하고 있기 때문에, 회수 릴(241)의 교환작업이 필요하지 않게 되어, 장치의 가동률을 향상시킬 수가 있다.
또, 본 실시예에 의하면, 회수 릴(241)에 감겨지는 사용이 끝난 ACF 테이프(51)가, ACF 테이프(51)에 포함되는 커버 테이프(51b) 중 ACF 부재(51a)가 부착되지 않는 쪽의 면이 회수 릴(241)의 외주 홈(241a)에 접촉한 상태로 감겨 있 기 때문에, 사용이 끝난 ACF 테이프(51)에 남겨져 있는 ACF 부재(51a)가 회수 릴(241)에 부착되는 것을 효과적으로 방지해서, 유지관리의 수고를 필요로 하지 않게 할 수가 있다.
도 1은, 본 발명의 한 실시예에 따른 접착막 첩부장치를 나타낸 개략도,
도 2는, 도 1에 도시된 접착막 첩부장치에 쓰이는 텐션기구의 상세를 설명하기 위한 도면,
도 3은, 도 1에 도시된 접착막 첩부장치에 쓰이는 테이프 위치결정기구의 상세를 설명하기 위한 도면,
도 4는, 도 1에 도시된 접착막 첩부장치에 쓰이는 테이프 박리기구의 상세를 설명하기 위한 도면,
도 5는, 도 1에 도시된 접착막 첩부장치의 변형예를 나타낸 개략도,
도 6a 및 도 6b는, 도 1에 도시된 접착막 첩부장치의 공급측에 설치된 접착막 테이프 이송기구의 상세를 나타낸 도면,
도 7a 및 도 7b는, 도 1에 도시된 접착막 첩부장치의 회수측에 설치된 접착막 테이프 이송기구의 상세를 나타낸 도면,
도 8은, 도 6a, 도 6b, 도 7a 및 도 7b에 도시된 접착막 테이프 이송기구에 포함된 큰 롤러를 나타낸 도면,
도 9는, 도 6a, 도 6b, 도 7a 및 도 7b에 도시된 접착막 테이프 이송기구에 포함된 작은 롤러를 나타낸 도면,
도 10은, 본 발명의 다른 실시예에 따른 접착막 첩부장치를 나타낸 개략도,
도 11은, 도 10에 도시된 접착막 첩부장치에서 쓰이는 접착막 테이프를 나타낸 부분확대 단면도,
도 12는, 도 10에 도시된 접착막 첩부장치의 회수 릴의 상세를 나타낸 도면,
도 13은, 종래의 접착막 첩부장치를 나타낸 개략도,
도 14는, 접착막 첩부장치에서 반송되는 접착막 테이프를 나타낸 부분확대 단면도,
도 15는, 종래의 접착막 첩부장치에 쓰이는 텐션기구의 한 예를 나타낸 도면,
도 16은, 종래의 접착막 첩부장치에 쓰이는 텐션기구의 다른 예를 나타낸 도면이다.

Claims (3)

  1. 테이프형상의 접착막을 포함한 접착막 테이프를 반송하는 접착막 테이프 이송기구에서,
    제1평면(P1)에서 반송되는 접착막 테이프에 비틀림을 가하면서 상기 제1평면(P1)과는 다르면서 상기 제1평면과 평행한 제2평면(P2)을 향해 접착막 테이프를 반송하는 제1 테이프 이송기구와,
    이 제1 테이프 이송기구에 의해 비틀림이 가해진 상태로 반송되는 접착막 테이프가 상기 제2평면(P2)에서 반송되도록 접착막 테이프에 가해진 비틀림을 되돌리면서 접착막 테이프를 반송하는 제2 테이프 이송기구를 구비하고,
    상기 제1 테이프 이송기구는 상기 제1평면 내에 위치하게 된 큰 직경의 큰 롤러와, 상기 제1평면(P1)내에 있고 상기 큰 롤러보다도 하류측에 위치하고, 상기 접착막 테이프에 비틀림을 가하는, 상기 큰 롤러보다 작은 직경의 작은 롤러를 구비하고,
    상기 제2 테이프 이송기구는 상기 제2평면 내에 위치하게 된 큰 직경의 큰 롤러와, 상기 제2평면(P2) 내에 있고 상기 큰 롤러보다도 상류측에 위치하고, 상기 접착막 테이프의 비틀림을 되돌리는, 상기 큰 롤러보다 작은 직경의 작은 롤러를 구비하고,
    상기 큰 롤러는, 접착막 테이프의 폭에 대응하는 크기를 가진 단면이 4각형상의 오목형상 홈을 가지고,
    상기 작은 롤러는, 접착막 테이프의 폭에 대응하는 크기를 가진 단면이 역사다리꼴형상의 홈을 가진 것을 특징으로 하는 접착막 테이프 이송기구.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1 테이프 이송기구 및 상기 제2 테이프 이송기구에 의해 반송되는 접착막 테이프가, 그 상류측 부분과 하류측 부분이 상호 입체적으로 교차되어 있는 것을 특징으로 하는 접착막 테이프 이송기구.
  3. 제1항에 있어서, 상기 접착막 테이프가 테이프형상의 이방성 도전막을 포함한 이방성 도전막 테이프인 것을 특징으로 하는 접착막 테이프 이송기구.
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