KR100939590B1 - 팔각형 이송 챔버 - Google Patents

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Abstract

클러스터 툴 내에서 기판을 처리하기 위한 방법 및 장치가 공개된다. 클러스터 툴의 이송 챔버는 부가 챔버(즉, 로드 록, 버퍼, 및 처리 챔버)가 부착될 수 있는 8개의 로케이션을 가진다. 이송 챔버는 3개의 개별 부분으로 형성될 수 있다. 중앙 부분은 직사각형 형상 부분일 수 있다. 두 개의 다른 부분은 사다리꼴 부분일 수 있다. 사다리꼴 부분은 각각 3개의 슬롯을 가지며 이 슬롯을 통하여 기판이 처리를 위해 이동할 수 있다. 이송 챔버의 중앙 부분은 제거가능한 덮개를 가질 수 있어 기술자가 이송 챔버로 용이하게 접근할 수 있다.

Description

팔각형 이송 챔버 {OCTAGON TRANSFER CHAMBER}
본 발명의 실시예는 전체적으로 진공을 손상시키지 않으면서 기판상에 다중 공정을 수행하기 위한 클러스터 툴(cluster tool)에 관한 것이다.
평판 디스플레이 및 태양 전지판을 생산할 때, 최종 제품(finished product)을 생산하기 위하여 기판상에 다중 공정이 수행된다. 이러한 다중 공정은 다수의 챔버 내에서 수행된다. 일부의 경우, 개별 공정이 다수의 챔버 내에서 수행된다. 하나의 처리 시스템으로부터 다른 처리 시스템으로 기판을 이송하는 것은 성가진 일이며 잠재적으로 원하지 않는 오염물이 유입될 수 있다. 단일 시스템 내에서 다중 공정을 수행하는 것이 유용한데, 이는 시간을 절약하고 오염물을 감소시키기 때문이다.
클러스터 툴 내에서 기판을 처리하기 위한 방법 및 장치가 공개된다. 클러스터 툴의 이송 챔버는 부가 챔버(즉, 로드 록(load lock), 버퍼(buffer), 및 처리 챔버)가 부착될 수 있는 8개의 로케이션(location)을 가진다. 이송 챔버는 3개의 개별 부분으로 형성될 수 있다. 중앙 부분은 직사각형 형상 부분일 수 있다. 두 개의 다른 부분은 사다리꼴 부분일 수 있다. 사다리꼴 부분은 각각 3개의 슬롯을 가지며 이 슬롯을 통하여 기판이 처리를 위해 이동할 수 있다. 이송 챔버의 중앙 부분은 제거가능한 덮개를 가질 수 있어 기술자가 이송 챔버로 용이하게 접근할 수 있다.
일 실시예에서, 클러스터 툴이 설명된다. 클러스터 툴은 8개의 측면을 가진 이송 챔버를 포함할 수 있다. 이송 챔버의 각각의 측면에 슬롯이 형성되어 이를 통해 기판이 통과할 수 있다. 8개의 챔버가 이송 챔버와 직접 연결될 수 있다. 챔버는 예를 들면 처리 챔버, 로드 록 챔버, 언로드 록 챔버, 또는 버퍼 챔버일 수 있다.
또 다른 실시예에서, 클러스터 툴이 설명된다. 클러스터 툴은 두 개의 이송 챔버를 포함한다. 각각의 이송 챔버는 부착되는 8개의 챔버를 위한 로케이션을 구비한 팔각형상을 가진다. 또 다른 실시예에서, 클러스터 툴은 혼합형 이송 챔버 시스템을 포함하며, 이 시스템에서, 팔각형 이송 챔버가 버퍼 챔버를 통하여 육각형 이송 챔버로 연결된다. 또 다른 실시예에서, 3각형 혼합 이송 챔버가 설명된다. 클러스터 툴은 버퍼 챔버를 통하여 두 개의 육각형 이송 챔버로 연결되는 중앙 팔각형 이송 챔버를 포함한다.
또 다른 실시예에서, 다중 부재 팔각형 이송 챔버가 설명된다. 다중 부재 이송 챔버는 직사각형 중앙 부재 및 두 개의 사다리꼴 부재를 포함한다. 사다리꼴 부재가 직사각형 부재로 연결될 때, 이송 챔버는 팔각형상이 된다. 이송 챔버를 3개의 섹션으로 분리함으로써, 팔각형 이송 챔버가 하나의 로케이션으로부터 다른 로케이션으로 용이하게 운반될 수 있다.
본 발명의 상술된 특징이 상세하게 설명될 수 있는 방식으로, 실시예를 참조하여 위에서 간단히 요약된 본 발명이 더욱 특별히 상세하게 설명될 수 있다. 그러나, 첨부된 도면은 단지 본 발명의 통상적인 실시예를 설명하며 따라서 본 발명을 제한하는 것이 고려되지 않으며, 본 발명은 균등하게 효과적인 실시예를 수용할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 클러스터 툴의 평면도이고,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 다중 클러스터 툴의 평면도이고,
도 3은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 다중 클러스터 툴의 평면도이고,
도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 다중 클러스터 툴의 평면도이고,
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 챔버의 분해 사시도이고,
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 챔버의 평면도이고,
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 챔버의 사다리꼴 부재(700)의 사시도이다.
이해를 용이하게 하기 위하여, 가능하게는 도면에 공통되는 동일한 요소를 표시하기 위하여 동일한 도면부호가 이용된다. 일 실시예에 공개된 요소는 특별한 인용 없이 다른 실시예 상에서 용이하게 이용될 수 있다.
본 발명은 추가 챔버가 부착될 수 있는 8개의 로케이션을 구비한 이송 챔버를 가지는 클러스터 툴을 포함한다. 부가 챔버는 로드 락 챔버, 버퍼 챔버, 또는 공정 챔버를 포함할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예의 단일 클러스터 툴(100)의 평면도이다. 클러스터 툴(100)은 내부에 로봇(106)을 구비하는 이송 챔버(104)를 포함한다. 이송 챔버(104)는 8개의 측면을 구비한 본체를 가진다. 각각의 측면은 그 안에 하나 또는 그 이상의 슬릿이 형성될 수 있으며, 이 슬릿을 통하여 기판이 이송 챔버(104) 안으로 및 밖으로 통과할 수 있다. 이송 챔버(104)의 각각의 측부에 처리 챔버(102)가 부착될 수 있다. 처리 챔버(102)는 에칭, 화학적 증착, 물리적 증착, 플라즈마 강화 화학적 증착 등과 같은 처리 챔버일 수 있다. 또한, 상기 처리 챔버(102) 들 중 어느 것이 로드 락 챔버 또는 언로드 락 챔버가 될 수 있다. 8개의 측면을 가진 이송 챔버(104)는 진공을 손상시키지 않으면서 다중 공정을 수행하는 유연성을 제공한다. 일 실시예에서, 로드 락 챔버가 이송 챔버(104) 주위에 존재하지 않지만, 오히려 처리 챔버(102)들 중 하나가 클러스터 툴(100) 외부의 인접한 챔버에 연결하도록 기능하여 기판을 수용하여 기판을 처리한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예의 이중 클러스터 툴(200)의 평면도이다. 클러스터 툴(200)은 두 개의 이송 챔버(202)를 포함한다. 각각의 이송 챔버(202)는 8개의 처리 로케이션을 가진다. 각각의 이송 챔버(202) 내에, 이송 챔버 로봇(204)이 존재한다. 로봇(204)은 축선을 중심으로 회전하여 기판(206)을 운반하기 위하여 부착된 챔버 내로 연장할 수 있다. 버퍼 챔버(208)는 두 개의 이송 챔버(202)를 함께 연결한다. 기판(206)은 하나의 이송 챔버(202)로부터 버퍼 챔버(208)를 통하여 다른 이송 챔버(202)로 이송될 수 있다. 하나의 로봇(204)은 버퍼 챔 버(208)로 연장하여 기판(206)을 통과시킨다. 다른 로봇(204)은 버퍼 챔버(208) 내로 연장하여 기판(206)을 수용한다. 로봇(204)은 각각 이송 챔버(202)내로 들어가서 기판(206)이 이송 챔버(202)를 둘러싸는 챔버 내로 전달될 수 있도록 한다.
기판(206)은 로드 록 챔버(210)를 통하여 클러스터 툴(200) 내로 로딩될 수 있다. 또한, 처리한 다음, 기판(206)은 로드 록 챔버(210)를 통하여 클러스터 툴(200)로부터 제거될 수 있다. 각각의 이송 챔버(202)는 이에 부착되는 다수의 처리 챔버(212, 214)를 가진다. 적어도 6개의 처리 챔버(212, 214)가 각각의 이송 챔버(202)에 부착된다. 로드 록 챔버(210)가 로드 록 및 언로드 록으로서 둘다 이용될 때, 이송 챔버들(202) 중 하나는 7개의 처리 챔버(214)를 가질 수 있으며, 다른 이송 챔버(202)는 6개의 처리 챔버(212)를 가질 수 있다. 물론, 소정의 처리 챔버는 언로딩 록 챔버로 교체될 수 있는 기판 처리량의 증가를 위해 필요하다는 것을 이해하여야 한다.
도 3은 육각형 이송 챔버(302) 및 팔각형 이송 챔버(304)를 가지는 혼성 클러스터 툴(300)의 평면도이다. 육각형 이송 챔버(302)는 6개의 로케이션을 가지며, 이 로케이션으로 부가 챔버가 부착될 수 있다. 육각형 이송 챔버(302)는 내부 및 처리 챔버(318) 내에 로봇(306)을 가진다. 로봇(306)은 처리 챔버(318) 내로 연장하여 기판(310)을 처리 챔버(318) 내에 배치하고 처리 챔버로부터 기판(310)을 수용한다.
팔각형 이송 챔버(304)는 부가 챔버가 부착될 수 있는 8개의 로케이션을 가진다. 팔각형 이송 챔버(304)는 그 안에 로봇을 가지며, 이 로봇은 축선에 대해 회전하여 기판(310)을 이송 챔버(304) 내에서 및 처리 챔버(316) 내로 운반한다. 로봇(308)은 처리 챔버(316) 내로 연장하여 기판(310)을 처리 챔버(316) 내에 배치하고 이로부터 기판(310)을 수용한다.
하나의 이송 챔버(302)로부터 인접한 이송 챔버(304)로 기판(310)을 이송할 때, 기판(310)은 이송 챔버(302, 304)와 연결되는 버퍼 챔버(312)를 통과하게 된다. 로봇(306)이 버퍼 챔버(312)로 연장하는 동안, 기판(310)을 홀딩한다. 인접한 이송 챔버(304)로부터의 로봇(308)은 또한 버퍼 챔버(312) 내로 연장하여 기판(310)을 수용한다. 이어서 로봇(306, 308) 둘다 각각의 이송 챔버(302, 304) 내로 역으로 수축되어 기판(310)이 이송 챔버(304)를 둘러싸는 챔버로 전달될 수 있다.
육각형 이송 챔버(302)는 이에 부착되는 5개의 처리 챔버(318)를 가질 수 있다. 팔각형 이송 챔버(304)는 이에 부착되는 6개의 처리 챔버(316) 및 하나의 로드 락 챔버(314)를 가질 수 있다. 기판이 로드 락 챔버(314)를 통하여 클러스터 툴(300)로 들어가고 나온다. 어떠한 처리 챔버(316, 318)도 로드 락 챔버로 교체될 수 있다는 것은 기판 처리량을 증가시키기 위해 필요하다는 것을 이해하여야 한다.
도 4는 본 발명의 하나의 실시예에 따라 또 다른 클러스터 툴(400)의 평면도이다. 클러스터 툴(400)은 두 개의 육각형 이송 챔버(402) 및 하나의 팔각형 이송 챔버(404)를 포함한다. 육각형 이송 챔버(402)는 각각 6개의 로케이션을 가지며, 이 로케이션으로 부가 챔버가 부착될 수 있다. 육각형 이송 챔버(402)는 그 안에 로봇(406)을 가지며, 로봇은 축선에 대해 회전하여 이송 챔버(402) 내 및 처리 챔버(416, 420) 내로 기판(410)을 운반한다. 로봇(406)은 처리 챔버(416, 420) 내로 연장하여 처리 챔버(416, 420) 내로 기판(410)을 배치하여 이로부터 기판(410)을 수용한다.
팔각형 이송 챔버(404)는 부가 챔버가 부착될 수 있는 8개의 로케이션을 가진다. 팔각형 이송 챔버(404)는 그 안에 로봇(408)을 가지며 이 로봇은 축선에 대해 회전하여 이송 챔버(404) 내에 및 처리 챔버(418) 내로 기판(410)을 운반한다. 로봇(408)은 처리 챔버(418) 내로 연장하여 기판(410)을 처리 챔버(418) 내에 배치하여 이로부터 기판(410)을 수용한다.
하나의 이송 챔버(402, 404)로부터 인접한 이송 챔버(4023, 404)로 기판(410)을 이송할 때, 기판(410)은 이송 챔버(402, 404)를 연결하는 버퍼 챔버(414)를 통과하게 된다. 로봇(406)은 기판(410)을 홀딩하는 버퍼 챔버(414) 내로 연장한다. 인접한 이송 챔버(404)로부터의 로봇(408)은 또한 버퍼 챔버(414) 내로 연장하여 기판(410)을 수용한다. 이어서 로봇(406, 408) 둘 다 각각의 이송 챔버(402, 404) 내로 역으로 수축하여 기판(410)이 이송 챔버(404)를 둘러싸는 챔버로 전달될 수 있다.
육각형 이송 챔버(402)는 이에 부착되는 5개의 처리 챔버(416, 420)를 가질 수 있다. 팔각형 이송 챔버(404)는 이에 부착되는 5개의 처리 챔버(418) 및 하나의 로드 락 챔버(412)를 가질 수 있다. 기판은 로드 락 챔버(412)를 통하여 클러스터 툴(400)로 들어가고 나온다. 어떠한 처리 챔버(416, 418)도 언로드 락 챔버 로 교체될 수 있다는 것이 기판 처리량을 증가시키기 위해 필요하다는 것을 이해하여야 한다.
상술된 실시예를 위한 처리 챔버는 증착 챔버, 에칭 챔버, 및 어닐링 챔버와 같이 기판을 처리하기 위해 사용될 수 있는 소정의 챔버일 수 있다. 일 실시예에서, 처리 챔버는 PINPIN 이중 접합을 형성하기 위해 필요한 층을 증착하도록 이용되는 모든 증착 챔버이다. 처리 챔버는 n-도핑 실리콘, p-도핑 실리콘, 비결정질 실리콘, 또는 미정질 실리콘을 증착하기 위한 처리 챔버를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 적어도 하나의 처리 챔버가 p-도핑 실리콘 층을 증착하기 위해 구성될 수 있으며, 하나 이상의 처리 챔버가 n-도핑 실리콘 층을 증착하기 위해 구성될 수 있다. 나머지 챔버는 고유의 실리콘 층을 증착하기 위해 구성될 수 있다. 고유의 실리콘 층 증착 챔버는 비결정질 실리콘 또는 미정질 층을 증착할 수 있다. PIN 타입 구조에서, PIN 접합의 "I" 또는 고유 층(intrinsic layer)은 " P "(즉, p-도핑 실리콘) 또는 " N "(즉, n-도핑 실리콘) 층 보다 증착하기 위한 시간의 양이 더 오래 걸린다. 따라서, 공통 이송 챔버에 부착되는 다중 처리 챔버는 유용할 수 있으며, 이는 8개의 측면을 가진 이송 챔버가 "I" 층을 형성하기 위하여 필요한 부가 시간을 보상할 수 있기 때문이다.
예를 들면, 4개의 측면을 가진 클러스터 툴은 로드 락 챔버, "P" 증착 챔버, "I" 증착 챔버, 및 "N" 증착 챔버를 가질 수 있다. "I" 층은 "P" 또는 "N" 층 보다 증착하기에 시간이 더 오래 걸리기 때문에, 기판 처리량은 효율적이 아니다. 기판상에 "P" 층이 증착되면, 기판은 "I" 증착 챔버로 이동하게 된다. "I" 층이 "P" 층 상에 증착되는 동안, 부가 기판이 "P" 층을 증착하기 위해 "P" 챔버 내에서 처리될 수 있다. 그러나, "P" 층이 증착되면, "I" 챔버가 여전히 이전 기판 상에 "I"층을 증착하기 때문에, "I" 챔버는 이용가능하지 않다. 따라서, "P" 및 "N" 챔버는 비어 있게 된다.
8개의 측면을 가진 이송 챔버는 PIN 타입 적용시 기판 처리량이 증가될 수 있다. 더 느린 "I" 증착 공정을 보상하기 위해, 부가적인 "I" 처리 챔버가 클러스터에 부가될 수 있다. 따라서, 8개의 측면을 가진 이송 챔버에 대해, 4개의 측면을 가진 이송 챔버와는 대조적으로, "P" 증착 챔버가 부가 "I" 증착 챔버로 기판을 이송하고 이어서 처리하기 위한 새로운 기판을 수용한다. 8개의 측면을 가진 이송 챔버는 충분한 개수의 처리 챔버를 수용하여 기술자가 "P", "I", 및 "N" 층의 각각에 사용되는 처리 챔버의 개수를 최적화하여 처리 챔버 정지 시간을 감소시킴으로써 기판 처리량을 증가시키도록 한다.
"PIN 타입 구조물"은 3개의 층(즉, "P" 층, "I" 층, 및 "N" 층 모두 포함하는 모든 구조물을 설명하기 위해 이용된 포괄적인 용어라는 점을 이해하여야 한다. PIN 타입 구조물의 예는 "I" 층이 고유의 미정질 실리콘인, PINPIN 구조물, 단일 PIN 구조물, 하나의 "I" 층이 고유의 비결정질 실리콘이고 하나의 "I" 층이 고유의 미정질 실리콘인, 혼합형 PINPIN 구조물, 및 "I" 층이 고유의 비결정질 실리콘인 PINPIN 구조물이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 팔각형 이송 챔버의 분해 사시도이다. 이송 챔버는 3개의 섹션으로 분리된다. 중앙 부재(502)는 직사각형이고 제 1 및 제 2 측 부재(504)는 사다리꼴이다. 대면적 기판이 처리될 때, 이송 챔버는 매우 클 수 있다. 매우 커서, 사실 이송 챔버는 용이하게 이송될 수 없다. 따라서, 이송 챔버는 3개의 섹션, 하나의 중앙 부재(502) 및 제 1 및 제 2 사다리꼴 측 부재(504)로 분리될 수 있다. 부재들이 모두 함께 배치될 때, 이송 챔버는 팔각형 이송 챔버가 된다.
중앙 부재(502)는 마주하는 벽들(부가적인 측부; 516, 518)을 포함한다. 하나의 벽(516)은 기판이 처리를 위해 이송될 수 있는 개구(528)를 가진다. 다른 벽(518)은 기판이 이송될 수 있는 3개의 개구(524)를 포함할 수 있다. 다수의 개수가 존재할 수도 있다(즉, 1, 2,4, 5, 등). 중앙 부재(502)는 이송 챔버 로봇(도시안됨)용 개구(526)를 가지는 바닥(520)을 포함한다. 제 1 및 제 2 평면형 측부(530)는 또한 중앙 부재(502)의 측부 상에 존재한다. 제 1 및 제 2 평면형 측부(530)는 제 1 및 제 2 사다리꼴 측 부재(504)와의 경계부를 이루기 위한 것이다. 노치(522a 내지 522c)는 중앙 부재(502) 내에 존재하여, 기판이 처리 챔버로 방해받지 않고 통과하기 위한 더 많은 공간을 허용하도록 한다. 제 1 및 제 2 평면형 측부(530)는 각각 화살표 B로 표시된 폭을 가진다.
제 1 및 제 2 사다리꼴 측 부재(504)는 기판이 처리 챔버 내로 통과할 수 있는 개구(506)를 포함한다. 제 1 및 제 2 사다리꼴 측 부재(504)의 상부는 원통형 벽(508) 및 지지 핀 구조물(510)을 가진다. 지지 핀 구조물은 핀 지지 벽(512)에 고정된다. 지지 핀 구조물(510)은 제 1 및 제 2 사다리꼴 측 부재(504)의 루프(roof)를 지지하여 루프가 중간이 기울어지거나 이송 챔버 내로 붕괴되지 않는 것을 보장한다. 제 1 및 제 2 사다리꼴 측 부재(504)는 화살표 A에 의해 도시된 길이를 가진 측부(514)를 가진다. 제 1 및 제 2 사다리꼴 측 부재(504)의 측부(514)의 길이는 중앙 부재(502)의 제 1 및 제 2 평면형 측부(530)의 길이와 같다. 측부(514) 및 제 1 및 제 2 평면형 측부(530)는 오링을 이용하여 함께 밀봉될 수 있다.
개구(516, 524, 506)를 가지는 제 1 및 제 2 단부 부재(502, 504)의 측부는 화살표(C, D)에 의해 도시된 폭을 가진다. 개구(506, 516, 524)를 가지는 각각의 측부의 폭은 길이가 같다. 또한, 개구(506, 516, 524)는 폭 및 높이가 같다. 동일한 폭의 측벽을 가짐으로써, 이송 챔버에 부착되는 챔버(즉, 버퍼 챔버, 처리 챔버, 및 로드 록 챔버)를 상호 교환하기가 용이하다.
도 6은 3개의 부재(602, 604)로부터 조립되는 이송 챔버(600)의 평면도를 보여준다. 중앙 부재(604)는 직사각형 형상이고 제 1 및 제 2 단부 부재들(602)은 사다리꼴이다. 부재(602, 604)가 서로 밀봉되면, 팔각형 이송 챔버(600)가 형성된다. 제 1 및 제 2 사다리꼴 단부 부재(602)는 이송 챔버(600) 내로 기울어지거나 붕괴되지 않는 것을 보장하기 위한 원통형 루프(606)를 지지하는 지지 핀 구조물(608) 및 원통형 루프(606)를 가진다. 지지 핀 구조물은 핀 지지 벽(610)에 고정된다. 제거가능한 덮개(618)가 단부 부재(604)에 연결될 수 있다. 제거가능한 덮개(618)는 지지 핀 구조물들(608) 사이에 위치설정될 수 있다.
중앙 부재(604)는 메시 패턴(mesh pattern)으로 전체 루프를 가로질러 걸치는 덮개 지지부(614)에 의해 지지되는 루프(612)를 가진다. 덮개 지지부(614)는 루프(612)가 이송 챔버(600) 내로 붕괴되는 것을 방지한다. 또한, 덮개 지지부(614)는 덮개가 더 강성으로 되어 이송 챔버(600)의 어떠한 벽에 대해서도 긁히지 않고 용이하게 제거될 수 있도록 한다. 루프(612)는 루프 손잡이(616)를 상승시킴으로써 제거될 수 있다. 루프(612)가 제거되면, 조립된 이송 챔버(600)의 내부가 기술자에 의해 용이하게 수리될 수 있다.
도 7은 이송 챔버의 사다리꼴 부재(700)의 사시도이다. 도 7에서 볼 수 있는 바와 같이, 하나 또는 그 이상의 슬롯(702)이 사다리꼴 부재(700)의 측부를 따라 위치설정될 수 있다. 하나 또는 그 이상의 슬롯(702)이 이를 통한 기판의 통과를 허용하도록 위치설정된다. 사다리꼴 부재(700)의 루프는 핀 지지 벽(712)과 연결될 수 있는 지지 핀 구조물(706)에 의해 지지될 수 있다. 지지 핀 구조물(706)들 사이의 삼각형 부분의 루프는 각각 관통 개구(710)를 가질 수 있다. 관통 개구(710)는 제거가능한 덮개(708)로 덮혀질 수 있다. 제거가능한 덮개(708)는 밀봉 부재를 이용함으로써 사다리꼴 부재(700)의 상부에 있는 관통 개구(710)를 밀봉하도록 적용될 수 있다. 일 실시예에서, 밀봉 부재는 오링일 수 있다. 도 7은 단지 하나의 관통 개구(710) 및 두 개의 제거가능한 덮개(708)를 보여주지만, 각각의 제거가능한 덮개(708) 아래 개구가 존재할 수 있다는 것을 이해하여야 한다. 제거가능한 덮개(708)가 관통 개구(710) 위에 위치설정될 수 있다는 것도 이해하여야 한다.
관통 개구(710)의 밀봉을 보조하기 위해, 평면이 관통 개구(710) 주위의 사다리꼴 부재(700)의 상부 내로 기계가공될 수 있다. 예를 들면, 20 mm 두께의 챔버 상부에 대해, 약 2 mm 깊이 평면이 관통 개구(710) 주변 주위의 밀봉 플랜지를 형성하기 위해 오링용 사다리꼴 부재(700)의 상부에 제공될 수 있다. 플랜지 두께(T)는 1.2 인치일 수 있으며, 여기에는 덮개 마찰에 대한 약 0.015 인치 오링 그루브 허용오차를 가진다. 본 기술분야에 공지된 소정의 종래의 패스너가 제거가능한 덮개(708)를 사다리꼴 부재(700)에 고정하기 위해 이용될 수 있다.
일부 실시예에서, 관통 개구(710)는 특히 챔버가 진공 압력 하에 있을 때, 챔버의 구조적 일체성을 손상시키지 않으면서 가능한 클 수 있다. 두 개 이상의 관통 개구(710)가 제공될 수 있다. 관통 개구(710)는 전체적으로 지지 핀 구조물들(706) 사이의 사다리꼴 부재(700)의 각각의 삼각형 부분의 중앙에 위치될 수 있다. 다른 로케이션도 고려될 수 있다. 관통 개구(710)는 전체적으로 사다리꼴 부재(700)의 상부 부분의 일반적인 형상과 정합되도록 형성될 수 있지만, 다른 형상도 가능하다. 관통 개구(710)는 챔버를 분리하지 않고 챔버 내로의 접근 및/또는 관찰을 제공하기에 적절할 수 있다. 관통 개구(710) 및 대응하는 제거가능한 덮개(708)는 실용적일 수 있는 어떠한 형상도 가질 수 있다. 관통 개구(710)는 챔버 세정, 챔버에 부주의하게 증착될 수 있는 대상물을 회수, 및/또는 챔버 내의 작용을 모니터링 또는 관찰하기 위해 유용할 수 있다. 제거가능한 덮개(708)는 알루미늄 또는 어떠한 실용적인 재료로도 제조될 수 있다. 일부 실시예에서, 제거가능한 덮개(708)는 밀봉된 윈도우를 포함할 수 있거나 광학적으로 투명한 재료로 제조될 수 있다. 일 실시예에서, 제거가능한 덮개(708)는 만곡되거나 돔형으로 형성되어 제거가능한 덮개(708)의 구조적 완전성을 개선하도록 한다.
이송 챔버의 각각의 섹션은 알루미늄, 스테인레스 강, 또는 소정의 종래에 이용되는 이송 챔버로서 이용하기 위해 적절한 불활성 재료로 제조될 수 있다.
기판이 하나의 이송 챔버로부터 또 다른 이송 챔버로 이송될 때, 기판은 어떠한 처리도 하지 않는다. 기판이 클러스터 툴 내에 있을 때 기판을 이송하기 위해 필요한 시간을 줄이는 것이 장점이다. 처리 챔버에 부착되는 처리 챔버의 개수를 증가시킴으로써, 기판 처리량이 증가될 수 있다.
상술된 것은 본 발명의 실시예에 관한 것이지만, 본 발명의 다른 실시예 및 추가 실시예는 본 발명의 기본적 범위로부터 벗어나지 않고 고안될 수 있으며, 본 발명의 범위는 다음의 청구범위에 의해 결정된다.

Claims (36)

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  2. 8개의 면을 구비한 챔버 본체를 가지는 이송 챔버로서,
    전체적으로 직사각형 형상을 가지는 중앙 부재로서, 평행하고 동일한 길이를 가지는 제 1 평면형 측부 및 제 2 평면형 측부, 그리고 각각 기판이 통과할 수 있는 동일한 폭의 하나 이상의 개구를 가지는 두 개의 부가적인 측부를 가지는, 중앙 부재,
    상기 중앙 부재에 연결되는 제 1 측 부재로서, 상기 제 1 측 부재의 일 측부가 상기 중앙 부재의 제 1 평면형 측부의 길이와 동일한 길이를 가지며, 상기 제 1 측 부재는 사다리꼴 형상이며, 각각 기판이 통과할 수 있는 동일한 폭의 개구를 가지는 3개의 측부를 가지는, 제 1 측 부재, 및
    상기 중앙 부재에 연결되는 제 2 측 부재로서, 상기 제 2 측 부재의 일 측부는 상기 중앙 부재의 제 2 평면형 측부의 길이와 동일한 길이를 가지며, 상기 제 2 측 부재는 사다리꼴 형상이며, 각각 기판이 통과할 수 있는 동일한 폭의 개구를 가지는 3개의 측부를 가지는, 제 2 측 부재, 및
    상기 제 1 측 부재의 루프 및 상기 제 2 측 부재의 루프에 연결되는 다수의 지지 핀 구조물을 포함하며,
    상기 제 1 및 제 2 측 부재의 루프는 각각 관통 개구를 가지며,
    상기 관통 개구 위에 상기 루프와 연결되는 덮개를 더 포함하는,
    이송 챔버.
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  23. 제 2 항에 있어서,
    상기 중앙 부재는 메시 패턴으로 상기 루프를 가로질러 걸치는 덮개 지지부를 포함하는,
    이송 챔버.
  24. 제 23 항에 있어서,
    상기 중앙 부재는 상기 덮개를 제거하기 위한 덮개 손잡이를 더 포함하는,
    이송 챔버.
  25. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 측 부재 및 상기 제 2 측 부재의 상부는 원통형 벽을 포함하는,
    이송 챔버.
  26. 제 25 항에 있어서,
    상기 지지 핀 구조물은 상기 원통형 벽과 연결되는,
    이송 챔버.
  27. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 1 측 부재의 개구, 상기 제 2 측 부재의 개구, 및 상기 중앙 부재의 개구는 길이가 동일한,
    이송 챔버.
  28. 제 27 항에 있어서,
    상기 제 1 측 부재의 개구, 상기 제 2 측 부재의 개구, 및 상기 중앙 부재의 개구는 높이가 동일한,
    이송 챔버.
  29. 제 2 항에 있어서,
    상기 본체에 연결되는 하나 이상의 로드 락 챔버 및 상기 본체에 연결되는 하나 이상의 처리 챔버를 더 포함하는,
    이송 챔버.
  30. 8개의 면을 구비한 본체를 가지는 이송 챔버로서,
    전체적으로 직사각형 형상을 가지는 중앙 부재로서, 기판이 통과할 수 있는 하나의 개구를 가지는 제 1 평면형 측부 및 기판이 통과할 수 있는 3개의 개구를 가지는 제 2 평면형 측부를 가지는 중앙 부재로서, 상기 개구는 폭이 동일한, 중앙 부재,
    상기 중앙 부재와 연결되고 상기 이송 챔버 외부에 위치하는 다수의 지지 구조물을 가지는 제거가능한 덮개,
    상기 중앙 부재와 연결되는 제 1 측 부재로서, 사다리꼴 형상이며, 각각 기판이 통과할 수 있는 개구를 가지는 3개의 측부를 가지며, 상기 각각의 개구는 폭이 동일하며, 관통 개구를 구비하는 루프를 가지는, 제 1 측 부재,
    상기 중앙 부재와 연결되는 제 2 측 부재로서, 사다리꼴 형상이며, 각각 기판이 통과할 수 있는 개구를 가지는 3개의 측부를 가지며, 상기 각각의 개구는 폭이 동일하며, 관통 개구를 구비하는 루프를 가지는, 제 2 측 부재,
    상기 제 1 측 부재의 루프와 연결되는 하나의 제거가능한 덮개,
    상기 제 2 측 부재의 루프와 연결되는 다른 하나의 제거가능한 덮개, 및
    상기 제 1 측 부재의 루프 및 상기 제 2 측 부재의 루프로 연결되는 다수의 지지 핀 구조물을 포함하는,
    이송 챔버.
  31. 제 30 항에 있어서,
    상기 중앙 부재는 메시 패턴으로 상기 루프를 가로질러 걸치는 덮개 지지부를 포함하는,
    이송 챔버.
  32. 제 31 항에 있어서,
    상기 중앙 부재는 상기 덮개를 제거하기 위한 덮개 손잡이를 더 포함하는,
    이송 챔버.
  33. 제 30 항에 있어서,
    상기 제 1 측 부재 및 상기 제 2 측 부재의 상부는 원통형 벽을 포함하는,
    이송 챔버.
  34. 제 33 항에 있어서,
    상기 지지 핀 구조물은 상기 원통형 벽과 연결되는,
    이송 챔버.
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