KR100926021B1 - 패턴 미세화용 피복형성제 및 그것을 사용한 미세 패턴의형성방법 - Google Patents
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Abstract
Description
피복형성제(질량%) | ||||||
수용성 폴리머 | 수용성 불소화합물 | 수용성 아민 | 비아민계 수용성 유기용매 | 계면 활성제 | 물 | |
실시예1 | PAA+PVP (2:1) (6.93) | 트리플루오로에탄올(CF3CH2OH) (1.0) | - | - | 「프라이서프 A210G」 (0.07) | (잔부) |
실시예2 | PAA+PVP (2:1) (6.36) | 트리플루오로에탄올(CF3CH2OH) (1.0) | N(CH2CH2OH)3 트리에탄올아민 (0.57) | - | 「프라이서프 A210G」 (0.07) | (잔부) |
실시예3 | PAA+PVP (2:1) (6.19) | 트리플루오로에탄올(CF3CH2OH) (1.0) | N(CH2CH2OH)3 트리에탄올아민 (0.56) | 글리세린 (0.19) | 「프라이서프 A210G」 (0.06) | (잔부) |
비교예1 | PAA+PVP (2:1) (6.36) | - | - | - | 「프라이서프 A210G」 (0.07) | (잔부) |
비교예2 | PAA+PVP (2:1) (6.19) | - | - | 글리세린 (0.19) | 「프라이서프 A210G」 (0.06) | (잔부) |
비교예3 | PAA+PVP (2:1) (6.30) | - | - | - | 「프라이서프 A210G」 (0.70) | (잔부) |
초기 홀 치수(㎚) | 처리후 홀 치수(㎚) | 소포상황 | 디펙트 | 레벨링성 | |
실시예1 | 180.0 | 160.5 | A | A | S |
실시예2 | 180.0 | 160.3 | A | A | S |
실시예3 | 180.0 | 157.5 | A | A | S |
비교예1 | 180.0 | 160.1 | B | B | A |
비교예2 | 180.0 | 157.3 | B | B | A |
비교예3 | 180.0 | 160.7 | C | C | A |
Claims (9)
- 포토레지스트패턴을 갖는 기판 상에 피복되고, 그 열수축작용을 이용하여 포토레지스트패턴 간격을 협소하게 한 후, 당해 피복을 실질적으로 완전히 제거하여 미세 패턴을 형성하기 위해 사용되는 피복형성제로서, 수용성 폴리머와 수용성 불소화합물을 함유하는 것을 특징으로 하는 패턴 미세화용 피복형성제.
- 제 1 항에 있어서, 수용성 불소화합물이 플루오로알킬알콜류 및, 플루오로알킬카르복실산류 중에서 선택되는 1 종 이상인 패턴 미세화용 피복형성제.
- 제 1 항에 있어서, 수용성 불소화합물이 탄소원자수 6 이하의 플루오로알킬알콜류 중에서 선택되는 1 종 이상인 패턴 미세화용 피복형성제.
- 제 1 항에 있어서, 수용성 불소화합물을 피복형성제 (고형분) 중에 0.1∼30 질량% 함유하는 패턴 미세화용 피복형성제.
- 제 1 항에 있어서, 수용성 폴리머가 알킬렌글리콜계 중합체, 셀룰로오스계 유도체, 비닐계 중합체, 아크릴계 중합체, 요소계 중합체, 에폭시계 중합체, 멜라민계 중합체 및 아미드계 중합체 중에서 선택되는 1 종 이상인 패턴 미세화용 피복형성제.
- 제 1 항에 있어서, 수용성 폴리머가 알킬렌글리콜계 중합체, 셀룰로오스계 유도체, 비닐계 중합체 및 아크릴계 중합체에서 선택되는 1 종 이상인 패턴 미세화용 피복형성제.
- 제 1 항에 있어서, 피복형성제가 농도 3∼50 질량% 의 수용액인 패턴 미세화용 피복형성제.
- 포토레지스트패턴을 갖는 기판 상에, 제 1 항에 기재된 패턴 미세화용 피복형성제를 피복한 후, 열처리에 의해 이 피복형성제를 열수축시키고, 그 열수축작용을 이용하여 포토레지스트패턴간의 간격을 협소하게 하고, 이어서 상기 피복형성제를 실질적으로 완전히 제거하는 공정을 포함하는 미세 패턴의 형성방법.
- 제 8 항에 있어서, 열처리를, 기판 상의 포토레지스트패턴에 열유동을 일으키지 않는 온도에서 가열하여 실시하는 미세 패턴의 형성방법.
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