본 발명에 따른 적층 세라믹 콘덴서의 실시 형태에 대하여 설명한다. 본 실시 형태에 따른 적층 세라믹 콘덴서(1)는 도 1에 도시된 바와 같이 복수의 유전체 세라믹층(3)과, 이 유전체 세라믹층간에 형성된 내부 전극(4)으로 구성되는 세라믹 적층체(2)를 구비한다. 세라믹 적층체(2)의 양 단면상에는 내부 전극과 전기적으로 접속되도록 외부 전극(5)이 형성되고, 그 위에는 필요에 따라 제1 도금층(6), 제2 도금층(7)이 형성된다.
유전체 세라믹층(3)은 A/B가 1.000~1.035인 BaTiO3를 주체로 하는 페로브스카이트계 유전체 100㏖에 대하여 Re2O3(Re2O3는 Re가 La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, Lu 및 Y에서 선택되는 적어도 1종류의 금속산화물)을 0.05~0.75㏖, MnO를 0.25~2.0㏖로 함유하고, B(Boron), Li 또는 Si 중 1종 이상을 함유하며, 각각 B2O3, Li2O, SiO2로 환산하였을 때의 합계가 BT를 100질량부로 하였을때 0.16~1.6 질량부가 되는 부성분을 첨가한 소결체로 구성되어 있다. 페로브스카이트계 유전체는 BaTiO3 이외에 Ba의 일부를 Sr, Ca로 치환한 것이나, Ti의 일부를 Zr로 치환한 것을 들 수 있다. MnO는 MnO 환산에서 조성 범위에 있으면 되므로, 출발 원료는 MnCO3나 Mn3O4이어도 된다. 소결조제가 되는 부성분으로는 Li2O-SiO2계 유리, B2O3-SiO2계 유리, Li2O-B2O3-SiO2계 유리 등을 들 수 있다. 또한, A/B의 값은 페로브스카이트계 유전체에 포함되는 Ba나 Ti 등 이외에 유리 성분 등에 포함되는 Ba나 Ti 등도 포함하여 소결체 중에 포함되는 Ba나 Ti 등의 총량의 비율로 나타내어진다.
내부 전극(4)은 Cu 또는 Cu 합금으로 구성되어 있다. Cu 합금으로는 Cu-Ni 합금, Cu-Ag 합금 등을 들 수 있다. 이 내부 전극(4)은 도전 페이스트를 스크린 인쇄 등의 방법으로 세라믹 그린 시트에 인쇄함으로써 형성된다. 도전 페이스트에는 Cu 또는 Cu 합금의 금속 재료 이외에 유전체 세라믹층(3)의 소성 수축과의 수축차를 경감시키기 위하여, 유전체 세라믹층(3)을 구성하는 세라믹 재료와 거의 동일한 세라믹 재료가 포함되어 있다. 또한, 소결 후에 질소 등의 분위기 속에서 700℃ 정도의 온도로 열처리함으로써, 내부 전극(4)으로부터 Cu를 유전체 세라믹층(3) 중으 로 확산시킬 수 있다. 여기서 소결 후란, 소성 공정에서의 강온시도 포함하는 후공정을 의미한다.
외부 전극(5)은 Cu, Ni, Ag, Cu-Ni 합금, Cu-Ag 합금으로 구성되고, 소성 완료된 세라믹 적층체(2)에 도전 페이스트를 도포하여 베이킹하거나, 또는 미소성 세라믹 적층체(2)에 도전 페이스트를 도포하여 유전체 세라믹층(3)의 소성과 동시에 베이킹함으로써 형성된다. 외부 전극(5) 위에는 전해 도금 등에 의해 도금층(6, 7)이 형성된다. 제1 도금층(6)은 외부 전극(5)을 보호하는 역할을 수행하며, Ni, Cu 등으로 구성된다. 제2 도금층(7)은 납땜성을 좋게 하는 역할을 수행하며, Sn 또는 Sn 합금 등으로 구성된다.
[실시예]
본 발명의 효과에 대하여 이하의 실시예에 의거하여 검증한다.
(실시예 1)
출발 원료로서 [표 1]의 조성의 소결체가 얻어지도록 BaTiO3(BT), MnO, 희토류(Dy2O3), 첨가물(MgO) 및 소결조제가 되는 부성분(유리 성분 또는 SiO2)을 준비하였다. 또한, [표 1]에서 MnO, 희토류 및 첨가물은 BT 100㏖에 대한 ㏖수로 표기하고, 소결조제가 되는 부성분은 BT를 100질량부로 하였을 때의 B2O3, Li2O 또는 SiO2 중 1종 이상의 합계의 질량부로 표기하였다. 또한, 유리 성분으로 여기에서는 0.45SiO2-0.10B2O3-0.45Li2O계 유리를 사용하였다. 아울러, 이 유리 성분에 표기되어 있는 숫자는 ㏖% 표기이다.
[표 1]
번호 |
전극 |
조성 |
주상 |
소결조제 |
MnO |
희토류 |
첨가물 |
A/B |
1 |
Cu 내전 |
BT |
유리=0.5 |
0.50 |
Dy2O3 |
0.250 |
- |
- |
1.013 |
※ 2 |
Ni 내전 |
BT |
유리=0.5 |
0.50 |
Dy2O3 |
0.250 |
- |
- |
1.013 |
※ 3 |
Ni 내전 |
BT |
SiO2=1.5 |
0.30 |
Dy2O3 |
0.375 |
MgO |
0.5 |
1.015 |
※ 4 |
Ni 내전 |
BT |
SiO2=1.5 |
0.30 |
Dy2O3 |
0.375 |
MgO |
0.5 |
1.015 |
※ 5 |
Cu 내전 |
BT |
유리=0.5 |
0.50 |
Dy2O3 |
0.250 |
- |
- |
0.995 |
6 |
Cu 내전 |
BT |
유리=0.5 |
0.50 |
Dy2O3 |
0.250 |
- |
- |
1.000 |
7 |
Cu 내전 |
BT |
유리=0.5 |
0.50 |
Dy2O3 |
0.250 |
- |
- |
1.018 |
8 |
Cu 내전 |
BT |
유리=0.5 |
0.50 |
Dy2O3 |
0.250 |
- |
- |
1.035 |
※ 9 |
Cu 내전 |
BT |
유리=0.5 |
0.50 |
Dy2O3 |
0.250 |
- |
- |
1.040 |
※ 10 |
Cu 내전 |
BT |
유리=0.5 |
0.50 |
Dy2O3 |
0.000 |
- |
- |
1.013 |
11 |
Cu 내전 |
BT |
유리=0.5 |
0.50 |
Dy2O3 |
0.050 |
- |
- |
1.013 |
12 |
Cu 내전 |
BT |
유리=0.5 |
0.50 |
Dy2O3 |
0.300 |
- |
- |
1.013 |
13 |
Cu 내전 |
BT |
유리=0.5 |
0.50 |
Dy2O3 |
0.750 |
- |
- |
1.013 |
※ 14 |
Cu 내전 |
BT |
유리=0.5 |
0.50 |
Dy2O3 |
1.000 |
- |
- |
1.013 |
※ 15 |
Cu 내전 |
BT |
유리=0.5 |
0.15 |
Dy2O3 |
0.250 |
- |
- |
1.013 |
16 |
Cu 내전 |
BT |
유리=0.5 |
0.25 |
Dy2O3 |
0.250 |
- |
- |
1.013 |
17 |
Cu 내전 |
BT |
유리=0.5 |
0.75 |
Dy2O3 |
0.250 |
- |
- |
1.015 |
18 |
Cu 내전 |
BT |
유리=0.5 |
2.00 |
Dy2O3 |
0.250 |
- |
- |
1.013 |
※ 19 |
Cu 내전 |
BT |
유리=0.5 |
2.50 |
Dy2O3 |
0.250 |
- |
- |
1.013 |
※ 20 |
Cu 내전 |
BT |
유리=0.10 |
0.50 |
Dy2O3 |
0.250 |
- |
- |
1.011 |
21 |
Cu 내전 |
BT |
유리=0.16 |
0.50 |
Dy2O3 |
0.250 |
- |
- |
1.011 |
22 |
Cu 내전 |
BT |
유리=1.0 |
0.50 |
Dy2O3 |
0.250 |
- |
- |
1.020 |
23 |
Cu 내전 |
BT |
유리=1.6 |
0.50 |
Dy2O3 |
0.250 |
- |
- |
1.020 |
※ 24 |
Cu 내전 |
BT |
유리=1.8 |
0.50 |
Dy2O3 |
0.250 |
- |
- |
1.021 |
※ 본 발명의 범위 밖
준비된 BaTiO3, MnO, Dy2O3 및 소결조제를 볼밀로 습식 혼합하였다. 아울러, No. 3 및 No. 4의 시료에 대해서는 MgO를 더하여 습식 혼합하였다. 건조 후 400℃로 2시간 대기중에서 가소(假燒)하고, 건식 분쇄하여 유전체 세라믹 분말을 얻었다.
상기 분말에 폴리비닐부티랄, 유기용제, 가소제를 더하고 혼합하여 세라믹 슬러리를 형성하였다. 이 세라믹 슬러리를 롤코터로 시트화하여 두께가 5㎛인 세라믹 그린 시트를 얻었다. 이 세라믹 그린 시트상에 스크린 인쇄로 Cu 내부 전극 페이스트를 도포하여 내부 전극 패턴을 형성하였다. 또한, 여기서 비교를 위하여 Ni 내부 전극 페이스트를 도포하여 내부 전극패턴을 형성한 것도 준비하였다. 내부 전극 패턴을 형성한 세라믹 그린 시트를 20장 겹치고, 압착하여 4.0×2.0㎜의 크기로 절단 분할하여 생(生) 칩을 형성하였다. 이 생 칩을 질소 분위기 속에서 탈 바인더하고, 이어 환원 분위기 속에서 [표 2]에 도시된 소성 온도로 소성하였다. 소성 패턴은 표에 도시된 온도에서 2시간 유지하고, 그 후 온도를 내려 약 700℃에서 분위기를 질소 분위기로 바꾸어 2시간 유지한 후 실온까지 내리는 패턴으로 하였다. 소성 후 내부 전극 노출면에 Cu 외부 전극 페이스트를 도포하고, 불활성 가스 속에서 베이킹하였다. 이렇게 얻어진 3.2×1.6㎜ 사이즈를 가지며 유전체 세라믹층의 두께가 4㎛인 적층 세라믹 콘덴서에 대하여 소결성, 유전율, 온도 특성, 고온 가속 수명을 측정하여 [표 2]에 정리하였다. 또한, 소결성의 판정은 잉크 테스트로 수행하였으며 잉크에 침지하여 스며드는 것을 ×, 스며들지 않는 것을 ○로 하였다. 유전율은 25℃에서 정전 용량을 LCR 미터로 측정하고, 시료의 적층 세라믹 콘덴서의 교차 면적, 유전체 두께 및 층수로 계산하여 구하였다. 또한, 온도 특성은 25℃의 정전 용량을 기준으로 -55℃~125℃에서의 정전 용량의 변화가 ±15%인 범위(X7R)인 것을 합격으로 하였다. 또한, 고온 가속 수명은 150℃, 15V/㎛의 부하에서 시료 15개씩 수행하였으며, 절연 저항치가 1㏁ 이하가 된 시간이 48시간 이상인 경우를 ○로 하였다.
[표 2]
번호 |
소성 온도 |
소결 |
전기 특성 |
고온 가속 수명 |
유전율 |
온도 특성 |
1 |
1000℃ |
○ |
2230 |
X7R |
○ |
※ 2 |
1000℃ |
○ |
2100 |
X7R |
× |
※ 3 |
1300℃ |
○ |
2600 |
X7R |
○ |
※ 4 |
1080℃ |
× |
- |
- |
- |
※ 5 |
1000℃ |
○ |
2350 |
X7R |
× |
6 |
1000℃ |
○ |
2300 |
X7R |
○ |
7 |
1000℃ |
○ |
2070 |
X7R |
○ |
8 |
1000℃ |
○ |
2020 |
X7R |
○ |
※ 9 |
1000℃ |
○ |
1880 |
X7R |
- |
※ 10 |
1000℃ |
○ |
2450 |
X7R |
× |
11 |
1000℃ |
○ |
2380 |
X7R |
○ |
12 |
1000℃ |
○ |
2200 |
X7R |
○ |
13 |
1000℃ |
○ |
2050 |
X7R |
○ |
※ 14 |
1000℃ |
× |
- |
- |
- |
※ 15 |
1000℃ |
○ |
2800 |
X7S |
- |
16 |
1000℃ |
○ |
2500 |
X7R |
○ |
17 |
1000℃ |
○ |
2100 |
X7R |
○ |
18 |
1000℃ |
○ |
2010 |
X7R |
○ |
※ 19 |
1000℃ |
× |
- |
- |
- |
※ 20 |
1000℃ |
× |
- |
- |
- |
21 |
1000℃ |
○ |
2050 |
X7R |
○ |
22 |
1000℃ |
○ |
2060 |
X7R |
○ |
23 |
1000℃ |
○ |
2000 |
X7R |
○ |
※ 24 |
1000℃ |
○ |
1860 |
X7R |
- |
※ 본 발명의 범위 밖
No. 1~4의 결과에서, 내부 전극이 Cu인 것은 유전율이 2000 이상이고 온도 특성이 X7R을 만족시키며, 고온 가속 수명 특성이 양호한 적층 세라믹 콘덴서가 얻어졌다. 내부 전극이 Ni인 것은 No. 2 및 4에 있는 것처럼 1000℃ 또는 1080℃에서 고온 가속 수명 특성이 소망하는 수준을 만족시키지 못하거나 소결되지 않았으며, No. 3에 있는 것처럼 유전율이 2000 이상이고 온도 특성이 X7R을 만족시키며, 고온 가속 수명 특성이 양호한 적층 세라믹 콘덴서를 얻으려면 1300℃의 소성 온도가 필 요하였다.
No. 5~9의 결과에서, 1.000≤A/B≤1.035의 범위에 있는 것은 유전율이 2000 이상이고 온도 특성이 X7R을 만족시키며, 고온 가속 수명 특성이 양호한 적층 세라믹 콘덴서가 얻어졌다.
No. 10~14의 결과에서, 희토류의 조성비, 즉 a가 0.05~0.75㏖의 범위에 있는 것은 유전율이 2000 이상이고, 온도 특성이 X7R을 만족시키며, 고온 가속 수명 특성이 양호한 적층 세라믹 콘덴서가 얻어졌다.
No. 15~19의 결과에서, MnO의 조성비, 즉 b가 0.25~2.0㏖의 범위에 있는 것은 유전율이 2000 이상이고, 온도 특성이 X7R을 만족시키며, 고온 가속 수명 특성이 양호한 적층 세라믹 콘덴서가 얻어졌다. 또한, No. 15의 온도 특성인 X7S는 -55℃~125℃에서의 정전 용량의 변화가 ±22%인 것을 나타내는데, 본 실시예의 기준을 충족시키지 못하므로 불합격으로 하였다.
No. 20~24의 결과에서, 소결조제가 되는 부성분, 즉 유리 성분이 0.16~1.6질량부의 범위에 있는 것은 유전율이 2000 이상이고, 온도 특성이 X7R을 만족시키며, 고온 가속 수명 특성이 양호한 적층 세라믹 콘덴서가 얻어졌다.
이상의 결과에서, 본 발명의 조성 범위를 갖는 유전체 세라믹층과 Cu 내부 전극과의 조합에 의해 유전율이 2000 이상이고, 온도 특성이 X7R을 만족시키며, 고온 가속 수명 특성이 양호한 적층 세라믹 콘덴서가 얻어진다는 것을 알았다.
(실시예 2)
[표 3]의 조성의 소결체가 얻어지도록 실시예 1과 동일하게 하여 유전체 세라믹 분말을 얻었다. 여기서는 희토류의 종류를 바꾸어 그 효과를 검증하였다.
[표 3]
번호 |
전극 |
조성 |
주상 |
소결조제 |
MnO |
희토류 |
A/B |
25 |
Cu 내전 |
BT |
유리=0.5 |
0.50 |
La2O3 |
0.15 |
Dy2O3 |
0.10 |
1.013 |
26 |
Cu 내전 |
BT |
유리=0.5 |
0.50 |
Ce2O3 |
0.15 |
Dy2O3 |
0.10 |
1.013 |
27 |
Cu 내전 |
BT |
유리=0.5 |
0.50 |
Pr2O3 |
0.15 |
Dy2O3 |
0.10 |
1.013 |
28 |
Cu 내전 |
BT |
유리=0.5 |
0.50 |
Nd2O3 |
0.15 |
Dy2O3 |
0.10 |
1.013 |
29 |
Cu 내전 |
BT |
유리=0.5 |
0.50 |
Sm2O3 |
0.15 |
Dy2O3 |
0.10 |
1.013 |
30 |
Cu 내전 |
BT |
유리=0.5 |
0.50 |
Eu2O3 |
0.15 |
Dy2O3 |
0.10 |
1.013 |
31 |
Cu 내전 |
BT |
유리=0.5 |
0.50 |
Gd2O3 |
0.15 |
Dy2O3 |
0.10 |
1.013 |
32 |
Cu 내전 |
BT |
유리=0.5 |
0.50 |
Tb2O3 |
0.25 |
- |
- |
1.013 |
33 |
Cu 내전 |
BT |
유리=0.5 |
0.50 |
Ho2O3 |
0.25 |
- |
- |
1.013 |
34 |
Cu 내전 |
BT |
유리=0.5 |
0.50 |
Er2O3 |
0.25 |
- |
- |
1.013 |
35 |
Cu 내전 |
BT |
유리=0.5 |
0.50 |
Tm2O3 |
0.25 |
- |
- |
1.013 |
36 |
Cu 내전 |
BT |
유리=0.5 |
0.50 |
Yb2O3 |
0.25 |
- |
- |
1.013 |
37 |
Cu 내전 |
BT |
유리=0.5 |
0.50 |
Lu2O3 |
0.25 |
- |
- |
1.013 |
38 |
Cu 내전 |
BT |
유리=0.5 |
0.50 |
Y2O3 |
0.25 |
- |
- |
1.013 |
상기의 유전체 세라믹 분말을 실시예 1과 동일하게 하여 적층 세라믹 콘덴서를 형성하고, 소결성, 유전율, 온도 특성, 고온 가속 수명을 측정하여 [표 4]에 정리하였다.
[표 4]
번호 |
소성 온도 |
소결 |
전기 특성 |
고온 가속 수명 |
유전율 |
온도 특성 |
25 |
1000℃ |
○ |
2020 |
X7R |
○ |
26 |
1000℃ |
○ |
2040 |
X7R |
○ |
27 |
1000℃ |
○ |
2050 |
X7R |
○ |
28 |
1000℃ |
○ |
2050 |
X7R |
○ |
29 |
1000℃ |
○ |
2090 |
X7R |
○ |
30 |
1000℃ |
○ |
2080 |
X7R |
○ |
31 |
1000℃ |
○ |
2010 |
X7R |
○ |
32 |
1000℃ |
○ |
2110 |
X7R |
○ |
33 |
1000℃ |
○ |
2220 |
X7R |
○ |
34 |
1000℃ |
○ |
2200 |
X7R |
○ |
35 |
1000℃ |
○ |
2180 |
X7R |
○ |
36 |
1000℃ |
○ |
2170 |
X7R |
○ |
37 |
1000℃ |
○ |
2150 |
X7R |
○ |
38 |
1000℃ |
○ |
2200 |
X7R |
○ |
상기의 결과에서, 희토류의 종류가 Dy2O3 이외의 것이나 2종류의 희토류를 섞어서 이용하여도 본 발명의 조성 범위라면 Cu 내부 전극과의 조합에 의해 유전율이 2000 이상이고. 온도 특성이 X7R을 만족시키며, 고온 가속 수명 특성이 양호한 적층 세라믹 콘덴서가 얻어진다는 것을 알았다.
(실시예 3)
[표 5]의 조성의 소결체가 얻어지도록 실시예 1과 동일하게 하여 유전체 세라믹 분말을 얻었다. 여기서는 기타 첨가물, 페로브스카이트계 유전체의 조성 및 소결조제가 되는 부성분을 바꾸어 그 효과를 검증하였다. 또한 [표 5]에서 주상의 표기는, Ca, Sr은 Ba에 대한 치환량(atm%)을 나타내고, Zr은 Ti에 대한 치환량(atm%)으로 나타냈다. 즉 No. 47은 Ba0 .9Ca0 .1TiO2, No.48은 Ba0 .9Sr0 .1TiO2, No.49는 BaTi0 .75Zr0 .25O2이다.
[표 5]
번호 |
전극 |
조성 |
주상 |
소결조제 |
MnO |
희토류 |
첨가물 |
A/B |
39 |
Cu 내전 |
BT |
- |
- |
유리=0.5 |
0.25 |
Dy2O3 |
0.25 |
MgO |
0.20 |
1.013 |
40 |
Cu 내전 |
BT |
- |
- |
유리=0.5 |
0.25 |
Dy2O3 |
0.25 |
Al2O3 |
0.05 |
1.013 |
41 |
Cu 내전 |
BT |
- |
- |
유리=0.5 |
0.25 |
Dy2O3 |
0.25 |
V2O5 |
0.05 |
1.013 |
42 |
Cu 내전 |
BT |
- |
- |
유리=0.5 |
0.25 |
Dy2O3 |
0.25 |
Cr2O3 |
0.10 |
1.013 |
43 |
Cu 내전 |
BT |
- |
- |
유리=0.5 |
0.25 |
Dy2O3 |
0.25 |
Fe2O3 |
0.10 |
1.013 |
44 |
Cu 내전 |
BT |
- |
- |
유리=0.5 |
0.25 |
Dy2O3 |
0.25 |
Co2O3 |
0.10 |
1.013 |
45 |
Cu 내전 |
BT |
- |
- |
유리=0.5 |
0.25 |
Dy2O3 |
0.25 |
NiO |
0.15 |
1.013 |
46 |
Cu 내전 |
BT |
- |
- |
유리=0.5 |
0.25 |
Dy2O3 |
0.25 |
ZnO |
0.15 |
1.013 |
47 |
Cu 내전 |
BT |
Ca |
10.0 |
유리=0.5 |
0.50 |
Dy2O3 |
0.25 |
- |
- |
1.013 |
48 |
Cu 내전 |
BT |
Sr |
10.0 |
유리=0.5 |
0.50 |
Dy2O3 |
0.25 |
- |
- |
1.013 |
49 |
Cu 내전 |
BT |
Zr |
25.0 |
유리=0.5 |
0.50 |
Dy2O3 |
0.25 |
- |
- |
1.013 |
52 |
Cu 내전 |
BT |
- |
- |
Li2O=0.5 |
0.50 |
Dy2O3 |
0.25 |
- |
- |
1.013 |
상기의 유전체 세라믹 분말을 실시예 1과 동일하게 하여 적층 세라믹 콘덴서를 형성하고, 소결성, 유전율, 온도 특성, 고온 가속 수명을 측정하여 [표 6]에 정리하였다.
[표 6]
번호 |
소성 온도 |
소결 |
전기 특성 |
고온 가속 수명 |
유전율 |
온도 특성 |
39 |
1000℃ |
○ |
2100 |
X7R |
○ |
40 |
1000℃ |
○ |
2070 |
X7R |
○ |
41 |
1000℃ |
○ |
2150 |
X7R |
○ |
42 |
1000℃ |
○ |
2110 |
X7R |
○ |
43 |
1000℃ |
○ |
2080 |
X7R |
○ |
44 |
1000℃ |
○ |
2150 |
X7R |
○ |
45 |
1000℃ |
○ |
2100 |
X7R |
○ |
46 |
1000℃ |
○ |
2150 |
X7R |
○ |
47 |
1000℃ |
○ |
2160 |
X7R |
○ |
48 |
1000℃ |
○ |
2200 |
X7R |
○ |
49 |
1000℃ |
○ |
2350 |
X7R |
○ |
52 |
1000℃ |
○ |
2210 |
X7R |
○ |
상기의 결과에서, 본 발명의 조성 범위라면 적절한 첨가물을 가하거나 페로브스카이트계 유전체의 조성을 바꾸어도 Cu 내부 전극과의 조합에 의해 유전율이 2000이고, 고온 특성이 X7R을 만족시키며, 고온 가속 수명 특성이 양호한 적층 세라믹 콘덴서가 얻어진다는 것을 알았다.
(실시예 4)
[표 7]의 조성의 소결체가 얻어지도록 실시예 1과 동일하게 하여 유전체 세라믹 분말을 얻었다. 여기서는 유전체 세라믹층 안에 Cu가 존재함에 따른 효과를 검증하였다. 얻어진 유전체 세라믹 분말을 실시예 1과 동일하게 하여 적층 세라믹 콘덴서를 형성하고, 소결성, 유전율, 온도 특성, 고온 가속 수명을 측정하여 [표 7]에 정리하였다. 아울러, 첨가하는 Cu 화합물은 CuO로 하였다.
[표 7]
번호 |
주성분 |
첨가물 |
소결조제 |
내부 전극 |
소결 1000℃ |
유전율 |
고온 가속 수명 |
Re2O3 Re 성분 첨가량 |
MnO |
CuO |
유리 |
※ 53 |
BaTiO3 |
Dy |
0.5 |
0.5 |
0.5 |
0.4 |
Ni |
○ |
2230 |
× |
※ 54 |
BaTiO3 |
Dy |
0.5 |
0.5 |
1.0 |
0.4 |
Ni |
○ |
2250 |
× |
55 |
BaTiO3 |
Dy |
0.5 |
0.5 |
0.5 |
0.4 |
Cu |
○ |
2100 |
○ |
56 |
BaTiO3 |
Dy |
0.5 |
0.5 |
0 |
0.4 |
Cu |
○ |
2110 |
○ |
※ 57 |
BaTiO3 |
Dy |
0.5 |
0.5 |
0 |
0.4 |
Ni |
○ |
2250 |
× |
※ 58 |
BaTiO3 |
Dy |
1.0 |
0.5 |
0 |
0.4 |
Ni |
× |
- |
- |
※ 59 |
BaTiO3 |
Dy |
0.5 |
1.0 |
0 |
0.4 |
Ni |
× |
- |
- |
※ 60 |
BaTiO3 |
Dy |
1.5 |
0.5 |
0 |
1.0 |
Ni |
× |
- |
- |
※ 61 |
BaTiO3 |
Dy |
1.5 |
0.5 |
0 |
1.5 |
Ni |
○ |
1300 |
× |
※본 발명의 범위 밖
상기의 결과에서, 내부 전극이 Ni인 경우에는 고온 가속 수명 특성이 소망하는 레벨에 도달하지 못하였다. 내부 전극이 Ni인 것을 EPMA를 이용하여 분석한 결과, 첨가한 CuO의 대부분이 Ni 내부 전극과 공존하고 있으며, 유전체 세라믹층내에 거의 존재하지 않다는 것을 알았다. 한편, 내부 전극이 Cu인 경우에는 고온 가속 수명이 소망하는 레벨을 충족시켰다. No. 55를 XAFS(X선 흡수 미세 구조 분석)법으로 분석한 결과, 유전체 세라믹층내에 Cu가 존재한다는 것이 확인되었다. 또한, CuO를 첨가하지 않았던 No. 56에 대해서도 유전체 세라믹층내에 Cu가 존재한다는 것이 확인되었다. 이 점에서, Cu 내부 전극으로부터 유전체 세라믹층내로 Cu가 확산됨으로써 입계의 전위 장벽이 높아져 절연성이 높아지기 때문에 고온 가속 수명 특성이 향상된 것이다.
또한, No. 58, No. 59와 같이 No. 57보다 고온 가속 수명 특성을 향상시키기 위하여 첨가물의 양을 늘려도 소결성이 악화되고, No. 60, No. 61과 같이 소결성을 향상시키기 위하여 소결조제를 늘려도 유전율이 떨어진다. 그러나, No. 56과 같이 내부 전극에 Cu를 이용함으로써, 첨가물이나 소결조제의 양을 1000℃ 정도에서 소결할 수 있는 양으로 억제하여도 고온 가속 수명 특성이 소망하는 수준을 만족시킬 수 있으므로, 높은 유전율을 얻을 수 있다.
이상에서, 본 발명과 같이 BaTiO3를 주체로 하는 페로브스카이트계 유전체의 유전체 세라믹층과 Cu 내부 전극과의 조합에 의해 1080℃ 이하에서의 소결이 가능 하고, 유전율이 2000 이상이며, 유전율의 온도 특성이 X7R 특성이고, 양호한 고온 가속 수명 특성을 갖는 적층 세라믹 콘덴서를 얻을 수 있다.