KR100789302B1 - 압전 박막 공진자, 필터, 및 압전 박막 공진자의 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Al | ZnO | |
기판 A | 0.71° | 0.86° |
기판 B | 13.2° | 7.4° |
기판 C | 측정 불가능 | 측정 불가능 |
기판 D | 측정 불가능 | 측정 불가능 |
Claims (20)
- 제 1 면 및 그 반대면인 제 2 면을 갖는 기판과,상기 제 1 면에 접하는 제 1 전극막, 상기 제 1 전극막에 중첩되는 압전막, 및 상기 압전막에 중첩되는 제 2 전극막으로 이루어진 적층 공진체를 구비하고,상기 기판에는, 상기 적층 공진체에 대응하는 위치에 있어서, 상기 제 1 면에서 개구하는 제 1 개구부 및 상기 제 2 면에서 개구하는 제 2 개구부를 가지면서 상기 제 1 면에 대하여 수직인 공극부가 설치되어 있으며,상기 기판은 (111) 절단의 실리콘 기판이며, 상기 제 1 면 및 상기 제 2 면은 (111)면인 것을 특징으로 하는 압전 박막 공진자(共振子).
- 삭제
- (111)면인 제 1 면을 갖는 (111) 절단의 실리콘 기판과,Al 또는 Cu를 포함하며 상기 제 1 면에 접하는 제 1 전극막과,AlN 또는 ZnO를 포함하며 상기 제 1 전극막에 중첩되는 압전막과,상기 압전막에 중첩되는 제 2 전극막을 구비하는 것을 특징으로 하는 압전 박막 공진자.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 1 전극막은 (111)의 1축 배향 구조를 취하는 Al 또는 Cu를 포함하는 단층 도전막인 압전 박막 공진자.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 1 전극막은 1축 배향 구조를 갖는 복수의 도전층이 적층되어 이루어지고, (111)의 1축 배향 구조를 취하는 Al 또는 Cu를 포함하며 상기 제 1 면에 접하는 제 1 도전층을 갖는 적층 도전막인 압전 박막 공진자.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 1 전극막은, (111)의 1축 배향 구조를 취하는 Al 또는 Cu를 포함하며 상기 제 1 면에 접하는 제 1 도전층과, (110)의 1축 배향 구조를 취하는 Mo을 포함하는 제 2 도전층으로 이루어진 2층 도전막인 압전 박막 공진자.
- 제 4 항에 있어서,상기 압전막은 (002)의 1축 배향 구조를 취하는 AlN 또는 ZnO인 압전 박막 공진자.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 1 개구부 및 상기 제 2 개구부의 형상은 원형 또는 타원형인 압전 박막 공진자.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 1 전극막의 일부 및 상기 압전막의 일부는 상기 공극부에 노출되어 있는 압전 박막 공진자.
- 제 1 면 및 그 반대면인 제 2 면을 갖는 기판과,상기 제 1 면에 접하는 제 1 전극막, 상기 제 1 전극막에 중첩되는 압전막, 및 상기 압전막에 중첩되는 제 2 전극막으로 이루어진 적층 공진체(共振體)를 구비하고,상기 기판에는, 상기 적층 공진체에 대응하는 위치에 있어서, 상기 제 1 면에서 개구하는 제 1 개구부를 갖는 공극부가 설치되어 있으며,상기 제 1 전극막의 일부 및 상기 압전막의 일부는 상기 공극부에 노출되어 있고,상기 기판은 (111) 절단의 실리콘 기판이며, 상기 제 1 면 및 상기 제 2 면은 (111) 면인 것을 특징으로 하는 압전 박막 공진자.
- 제 10 항에 있어서,상기 제 1 전극막에서 상기 공극부에 노출되는 부분, 및 상기 압전막에서 상기 공극부에 노출되는 부분은, 불소계의 가스를 사용한 건식 에칭에 대한 에칭 스톱퍼로서 기능하는 도전성 재료에 의해 구성되어 있는 압전 박막 공진자.
- 제 10 항에 있어서,상기 적층 공진체에서의 여진부 면적에 대한 상기 제 1 개구부의 면적 비율은 1∼2.25인 압전 박막 공진자.
- 제 10 항에 있어서,상기 제 1 전극막의 여진부(勵振部) 형상과 상기 제 2 전극막의 여진부 형상은 일치하고 있는 압전 박막 공진자.
- 청구항 1에 기재된 압전 박막 공진자를 적어도 1개 포함한 복수의 압전 박막 공진자를 갖고, 이 복수의 압전 박막 공진자가 일체로 되어 동작하는 것을 특징으로 하는 필터.
- 제 1 면 및 그 반대면인 제 2 면을 갖는 기판과,상기 제 1 면에 접하는 제 1 전극막, 상기 제 1 전극막에 중첩되는 압전막, 및 상기 압전막에 중첩되는 제 2 전극막으로 이루어진 복수의 적층 공진체와,상기 기판에서의 상기 적층 공진체의 각각에 대응하는 위치에 있어서, 상기 제 1 면에서 개구하는 제 1 개구부 및 상기 제 2 면에서 개구하는 제 2 개구부를 가지면서 상기 제 1 면에 대하여 수직으로 설치된 공극부를 구비하여 복수의 압전 박막 공진자가 일체적으로 형성되어 있으며,인접하는 상기 제 1 개구부 사이의 거리는 420㎛ 이하인 것을 특징으로 하는 필터.
- 제 15 항에 있어서,상기 복수의 압전 박막 공진자는, 서로 직렬로 접속된 복수의 제 1 압전 박막 공진자와, 서로 병렬로 접속된 복수의 제 2 압전 박막 공진자를 포함하고, 상기 복수의 제 1 압전 박막 공진자 및 상기 복수의 제 2 압전 박막 공진자에 의해 래더형 필터로서 구성되어 있는 필터.
- 제 15 항에 있어서,상기 복수의 압전 박막 공진자 중의 적어도 1개에서, 상기 제 1 전극막의 일부 및 상기 압전막의 일부는 대응하는 공극부에 노출되어 있는 필터.
- 제 1 면 및 그 반대면인 제 2 면을 갖는 기판과,상기 제 1 면에 접하는 제 1 전극막, 상기 제 1 전극막에 중첩되는 압전막, 및 상기 압전막에 중첩되는 제 2 전극막으로 이루어진 복수의 적층 공진체와,상기 적층 공진체의 각각에 대응하는 위치에 있어서, 상기 기판 및 상기 각 적층 공진체에 의해 획정된 공극부를 구비하여 복수의 압전 박막 공진자가 일체적으로 형성되어 있으며,상기 복수의 압전 박막 공진자 중의 적어도 2개는 제 1 전극막 및 제 2 전극막 중 적어도 한쪽을 통하여 전기적으로 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 필터.
- (111) 절단면인 제 1 면 및 그 반대면으로서 마찬가지로 (111) 절단면인 제 2 면을 갖는 기판에, 상기 제 1 면에 접하는 제 1 전극막과, 상기 제 1 전극막에 중첩되는 압전막과, 상기 압전막에 중첩되는 제 2 전극막으로 이루어진 적층 공진체를 형성하는 공정과,상기 기판에 대하여 건식 에칭에 의해 상기 적층 공진체에 대응하는 위치에 있어서, 상기 제 1 면 및 상기 제 2 면에서 개구하는 공극부를 상기 제 1 면에 대하여 수직으로 형성하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 압전 박막 공진자의 제조 방법.
- (111) 절단면인 제 1 면 및 그 반대면으로서 마찬가지로 (111) 절단면인 제 2 면을 갖는 기판에, 상기 제 1 면에 접하는 제 1 전극막과, 상기 제 1 전극막에 중첩되는 압전막과, 상기 압전막에 중첩되는 제 2 전극막으로 이루어진 적층 공진체를 형성하는 공정과,상기 기판에 대하여 건식 에칭에 의해 상기 적층 공진체에 대응하는 위치에 있어서, 상기 제 1 면 및 상기 제 2 면에서 개구하는 공극부를 형성하는 공정을 포함하고,상기 공극부를 형성하는 공정에 있어서, 상기 제 1 전극막의 일부 및 상기 압전막의 일부를 상기 공극부에 노출시키는 것을 특징으로 하는 압전 박막 공진자의 제조 방법.
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