KR100779813B1 - 이산화규소 분산액 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 산 조건에서 화염가수분해 공정에 의해 제조된 이산화규소 분말로부터 얻어진, 2.5 내지 4.7 OH/㎚2의 히드록실기 밀도를 갖는 이산화규소 분말을 함유하는 안정한 수성 분산액에 관한 것이다. 이산화규소 분말을 분산 장치를 사용해서 수용액에 혼입시킴으로써, 상기 분산액을 제조한다. 이 분산액을 유리 제품의 제조에 사용할 수 있다.
이산화규소, 화염가수분해, 수성 분산액, 히드록실기 밀도, 충전 함량
Description
본 발명은 이산화규소 분산액, 그의 제조방법 및 용도에 관한 것이다.
수성 이산화규소 분산액은 연마 용도(CMP), 제지 분야(잉크젯) 또는 유리 제조 분야에서 사용된다.
경제상 및 응용상의 이유로, 높은 함량의 이산화규소 분말을 함유하는 분산액을 사용하는 것이 여기서는 바람직하다. 경제상의 이유는 예를 들면 보다 고도로 충전된 분산액을 수송함으로써 비용을 절감하는 것을 가리킬 수 있다. 이어서 이러한 분산액을 현장에서 원하는 함량으로 희석할 수 있다.
더욱이, 특수 용도는 고도로 충전된 분산액을 필요로 한다. 이는 예를 들면 유리 제품의 제조에 적용된다. 수성 이산화규소 분산액을 우선 중간체(green body)로 전환시키고, 이것을 추가로 열처리시키고, 임의적으로는 후속적 소결시킴으로써, 유리체(glass body)로 전환시킨다. 고도로 충전된 분산액을 사용하면, 중간체의 제조 동안 수축이 감소되고 균열이 최소화된다.
US 4042361에는, 안정화제 없이 화염가수분해 공정에 의해 제조된 이산화규소를 함유하는 수성 분산액은 30 중량% 이하의 충전 함량까지만 허용가능한 안정성을 나타냄이 공지되어 있다. 보다 높은 충전 함량에서는, 매우 짧은 시간 후에 겔화 또는 침강이 일어날 수 있다.
US 5116535에는, 마찬가지로 안정화제 없이 화염가수분해 공정에 의해 제조된, 35 중량% 이상의 이산화규소를 함유하는 안정한 수성 분산액을 제조하는 방법이 기술되어 있다. 이 공정에서는, 원하는 것보다 더 높은 분산액중 농도를 초기에 달성하는 양만큼의 이산화규소를 물에 첨가한다. 두번째 단계에서는, 이 예비분산액을 원하는 농도가 되게 물로 희석한다. US 4042361보다 더 높은 충전 함량이 달성된 것은 예비분산액의 보다 높은 점도로 인한 것인데, 이는 분산액의 효율을 증가시킨다. 단점은, 이러한 분산액의 제조방법이 두 단계를 포함하며, 예비분산액의 높은 점도 때문에, 높은 분산 에너지가 필요하다는 것이다.
US 5246624에는, 원하는 것보다 더 높은 농도의 이산화규소를 산성화된 물에 첨가함으로써, 안정화된 분산액을 제조하는 방법이 기술되어 있다. 산성화를 바람직하게는 무기산을 사용해서 수행한다. 염기를 후속적 첨가함으로써, 분산액을 알칼리성 pH 범위에서 안정화시키고, 분산액을 원하는 농도로 희석시킬 수 있다.
이것의 단점은, 제조를 산성 범위에서 개시해야 한다는 것이다. 염기의 후속적 첨가 동안에, 중화로 인해 염이 형성되며, 이것은 분산액의 유동성을 바람직하지 못하게 변화시킬 수 있다.
본 발명의 목적은 높은 충전 함량으로 수성 분산액에 혼입될 수 있는 이산화규소 분말을 제공하는 것이다. 본 발명의 목적은 추가로, 다른 단점을 나타내지 않고서, 화염가수분해 공정에 의해 제조된 이산화규소를 함유하는 분산액 대신에 사용될 수 있는, 이산화규소 분말을 함유하는 분산액을 제공하는 것이다.
본 발명은 화염가수분해에 의해 제조된, 2.5 내지 4.7 OH/㎚2의 히드록실기 밀도를 나타내는 이산화규소 분말임을 특징으로 하는 이산화규소 분말을 제공한다.
산 조건에서 화염가수분해에 의해 제조된 이산화규소 분말을 처리함으로써, 본 발명의 이산화규소 분말을 제조한다.
본 발명에 따르는 화염가수분해란, 기상 화염중에서 하나 이상의 증발성 규소-함유 화합물을 화염가수분해시킴으로써 이산화규소를 제조함을 말한다. 수소-함유 연료 기체와 산소-함유 기체의 반응에 의해 화염이 형성된다. 이러한 반응 동안에, 물이 수증기 형태로 형성되며, 이것은 이산화규소의 형성과 동시에 규소-함유 화합물의 가수분해를 초래한다. 문헌[J.Mathias 및 G.Wannemacher, Journal of Colloid and Interface Science 125(1988)]에 설명되어 있는 바와 같이, 화염가수분해에 의해 제조된 비처리 이산화규소 분말의 표면은 약 1.8 내지 2.5 OH/㎚2의 히드록실기 밀도를 나타낸다. DE-A-1150955에서 예시된 바와 같이, 추가적인 수증기가 공정에 투입된다 하더라도, 히드록실기 밀도는 이 범위 내에서 유지된다.
화염가수분해 동안에, 고도로 분산된, 비다공질 주(primary) 입자가 초기에 형성되며, 이것은, 반응이 계속됨에 따라, 합체되어 집합체(aggregate)를 형성할 수 있고, 더욱 회합하여 응집체(agglomerate)를 형성할 수 있다.
적합한 규소-함유 화합물은 예를 들면 사염화규소, 메틸 트리클로로실란, 에틸 트리클로로실란, 프로필 트리클로로실란, 디메틸 디클로로실란 및 그의 혼합물이다. 사염화규소가 특히 바람직하다. 적합한 연료 기체는 수소, 메탄, 에탄, 프 로판이며, 수소가 특히 바람직하다. 바람직한 산소-함유 기체는 공기이다.
US 5256386에는, 졸-겔 공정에 의해 제조된, 고도로 다공질이고, 구형이며, 합체되지 않은 이산화규소 입자를 산으로 처리함으로써, 히드록실기 밀도를 증가시킬 수 있음이 공지되어 있다.
화염가수분해에 의해 제조된 이산화규소 분말을 비다공질 주 입자의 집합체의 형태로서 산 조건에서 처리함으로써 히드록실기 밀도를 증가시킨다는 것은 놀랍다.
미세 입자 구조를 손실하면서 이산화규소의 응집체의 형성을 증대시키는 것이 기대되어 왔다. 이러한 구조 변화의 결과는, 이렇게 처리된 분말은 더 이상 많은 용도에 적합하지 않다는 것이다.
당해 분야의 숙련자는, 화염가수분해에 의해 제조된 이산화규소 분말의 히드록실기 밀도를 증가시키는 수단으로서, 산 조건에서의 처리를 고려하지는 않았는데, 왜냐하면 화염가수분해 공정에서, 수증기가 많은 지점에서 존재하며, 이 공정으로부터 수득된 분말은 2.5 OH/㎚2 미만의 히드록실기 밀도를 나타낼 뿐이기 때문이다.
본 발명에 따르는 이산화규소는 화염가수분해에 의해 제조된 비처리 이산화규소 분말보다 훨씬 더 빠르게 수성 매질에 혼입될 수 있다.
화염가수분해에 의해 제조된 이산화규소 분말은, 이산화규소 외에도 도핑 성분을 갖는 분말을 포함할 수 있다. 이러한 분말의 제조방법은 DE-A-19650500에 기 술되어 있다. 전형적인 도핑 성분은 예를 들면 알루미늄, 칼륨, 나트륨 또는 리튬이다. 도핑 성분의 함량은 1 중량% 이하여야 한다.
화염가수분해에 의해 제조된 이산화규소 분말은, 추가로 화염가수분해에 의해 제조된 규소-금속 혼합 산화물 분말을 포함하는데, 이 때 이산화규소의 함량은 60% 이상이다.
바람직한 실시양태에서, 이산화규소 분말의 히드록실기 밀도는 3 내지 4 OH/㎚2 일 수 있다.
이산화규소 분말의 BET 표면적은 5 내지 600 ㎡/g 일 수 있다. 이것은 바람직하게는 20 내지 200 ㎡/g 일 수 있다.
본 발명은 또한, 화염가수분해 공정에 의해 제조된, 2.5 OH/㎚2 미만의 히드록실기 밀도를 갖는 이산화규소 분말을 40 내지 700 ℃의 온도에서 산 조건에서 5 분 내지 20 시간의 반응 시간 동안 처리한 후, 반응 혼합물로부터 분리함을 특징으로 하는, 본 발명에 따르는 이산화규소 분말의 제조방법을 제공한다.
산 조건이란 수성 산을 말한다. 염산, 황산 또는 수-혼화성 카르복실산과 같은 무기산을 특히 사용할 수 있다.
처리를 바람직하게는 수성 염산을 사용해 수행할 수 있다. 제조 공정으로부터 나온 산 잔여물, 일반적으로 염산을 화염가수분해에 의해 제조된 이산화규소 분말에 부착시키는 실시양태가 마찬가지로 바람직할 수 있다.
반응 시간은 반응 온도 및 반응에 관여한 산의 본질 및 양에 따라서 달라진 다.
본 발명에 따르는 이산화규소 분말을 상기 공정 이후의 단계에서 직접 수득할 수 있다. 상기 공정 이후의 단계란 탈산(deacidification) 단계 이후의 공정 단계를 말한다. 공지된 공정의 단순화된 흐름도가 예를 들면 문헌[Ullmann's Encylopedia of Industrial Chemistry, Vol. A23, 636 페이지, 제 5 판]에 기술되어 있다.
본 발명은 본 발명에 따르는 이산화규소 분말을 함유하는 수성 분산액도 제공한다.
본 발명에 따르는 분산액이 6개월 이상의 기간 동안 증점되지 않고 침강되지 않는 실시양태가 바람직할 수 있다.
본 발명에 따르는 분산액중 이산화규소의 함량은 넓은 범위에서 변할 수 있다. 본 발명에 따르는 분산액을 10 내지 70 중량%의 함량을 갖도록 제조할 수 있다. 20 내지 60 중량%의 범위가 바람직하고, 30 내지 50 중량%의 범위가 특히 바람직하다.
본 발명에 따르는 분산액의 pH는 3 내지 12의 범위 내에 있을 수 있다. 산 환경에서 3 내지 6의 범위가 바람직하며, 4 내지 5의 범위가 특히 바람직하다. 알칼리 환경에서 8.5 내지 12의 범위가 바람직하며, 9 내지 10.5의 범위가 특히 바람직하다.
분산액의 pH를 필요하다면 산 또는 염기를 사용해서 조절할 수 있다. 무기산과 유기산 둘 다를 산으로서 사용할 수 있다. 무기산의 예는 염산, 질산 또는 황산이다. 유기산의 예는 화학식이 CnH2n+1CO2H(여기서 n은 0 내지 6 임)인 카르복실산, 화학식이 HO2C(CH2)nCO2H(여기서 n은 0 내지 4 임)인 디카르복실산, 또는 화학식이 R1R2C(OH)CO2H(여기서 R1은 H이고, R2는 CH3, CH2CO2H, CH(OH)CO2H 임)인 히드록시카르복실산, 또는 글리콜산, 피루브산, 살리실산 또는 이러한 산의 혼합물이다. 특히 바람직한 유기산은 아세트산, 시트르산 및 살리실산일 수 있다.
알칼리 수산화물, 아민 또는 암모니아를 pH를 증가시키는데 사용할 수 있다. 수산화암모늄, 수산화칼륨 및 테트라메틸 암모늄 히드록사이드가 특히 바람직할 수 있다.
이와는 상관없이, 산 또는 염기를 본 발명에 따르는 분산액에 첨가하여 원하는 pH를 달성할 수 있다.
본 발명에 따르는 분산액중 이산화규소 분말의 평균 집합체 직경은 200 ㎚ 미만일 수 있으며, 특히 바람직하게는 100 ㎚ 미만일 수 있다. 분산액중 평균 집합체 직경을 동적 광 산란법으로 결정할 수 있다. 이러한 미립상 이산화규소를 갖는 분산액을 표면 연마에 사용할 수 있다.
본 발명에 따르는 분산액은 산화제를 함유할 수도 있다. 산화제의 함량은 분산액에 대해 0.3 내지 20 중량% 일 수 있다. 전형적인 산화제는 과산화수소, 과산화수소 첨가생성물 또는 유기 과산(per-acid)일 수 있다.
본 발명에 따르는 분산액은 부식방지제를 함유할 수도 있다. 부식방지제의 함량은 분산액에 대해 0.001 내지 2 중량% 일 수 있다. 부식방지제의 적합한 예는 벤조트리아졸, 치환된 벤즈이미다졸, 치환된 피라진, 치환된 피라졸 및 그의 혼합물일 수 있다.
비이온성, 양이온성, 음이온성 또는 양쪽성일 수 있는 표면활성 물질을, 본 발명에 따르는 분산액을 예를 들면 침강, 응결(flocculation) 및 첨가제의 분해에 대해 추가로 안정화시키기 위해, 첨가할 수 있다. 표면활성 물질의 함량은 분산액에 대해 0.001 내지 10 중량%일 수 있다.
본 발명은 또한, 화염가수분해에 의해 제조된, 2.5 내지 4.7 OH/㎚2의 히드록실기 밀도를 갖는 이산화규소 분말을 분산 장치를 사용해서 수용액에 혼입시킴을 특징으로 하는, 본 발명에 따르는 분산액의 제조방법을 제공한다.
예를 들면 고속 혼합기, 톱니가 있는 디스크, 로터-스태터(rotor-stator) 기기, 볼 밀(ball mill) 또는 어트리션 밀(attrition mill)이 이산화규소 분말을 혼입시키기에 적합하다. 행성식 반죽/혼합기(planetary kneader/mixer)를 사용하면 보다 높은 에너지의 투입이 가능하다. 그러나, 혼입되는 입자를 파괴하는데 필요한 높은 전단 에너지를 위해서, 이러한 시스템의 효율은 처리될 혼합물의 충분히 높은 점도에 따라 달라진다. 0.1 ㎛ 미만의 평균 집합체 크기를 갖는 수성 분산액을 고압 균질화기를 사용해 얻을 수 있다.
이러한 장치에서, 고압에서 현탁액의 두 예비분산된 스트림은 노즐을 통해 감압된다. 분산액의 두 분출물이 서로를 정확하게 가격하며, 입자들은 스스로 분쇄된다.
또다른 실시양태에서, 예비분산액은 다시 고압 상태에 놓여질 수 있지만, 입자들은 벽의 외장 부분에 부딪친다. 이 작업을, 보다 작은 입자 크기를 얻기 위해, 여러번 반복할 수 있다.
본 발명은 또한 투명 코팅의 제조, 화학적 기계적 연마, 유리 제조, 졸-겔 유리 제품, 예를 들면 오버클래딩, 도가니, 악세사리, 코팅, 소결된 물질, 잉크젯 종이의 제조에서의 본 발명에 따르는 분산액의 용도를 제공한다.
분석화학
입자의 BET 표면적을 DIN 66131에 따라 결정한다.
히드록실기 밀도를, 문헌[J.Mathias 및 G.Wannemacher, Journal of Colloid and Interface Science 125(1988)]에 공개된 방법을 사용해서, 리튬 알루미늄 수화물과의 반응을 통해 결정할 수 있다.
점도를 23℃에서 브룩필드(Brookfield) 점도계로 결정한다.
건조감량(LOD)을 DIN/ISO 787/II, ASTM D 280, JIS K 5101/21에 따라 105℃/2시간에서 결정한다.
이산화규소 분말(P)의 제조방법
실시예 PA1: 이산화규소 분말(OX 50, 데구사(Degussa)) 700g을 물 2100g 및 염산(37%) 2100g에서 18시간 동안 환류한다. 이어서 분말을 여과에 의해 생성물로부터 회수하고, pH가 5가 될 때까지 물로 세척한다.
실시예 PA2: 염산을 사용하지 않고서 실시예 PA1과 동일한 방식으로 수행한 다.
실시예 PB1: OX 50 대신에 에어로실(Aerosil) 90(데구사 아게)을 사용해서, 실시예 PA1과 동일한 방식으로 수행한다.
실시예 PB2: 염산을 사용하지 않고서 실시예 PB1과 동일한 방식으로 수행한다.
실시예 PC1: OX 50 대신에 에어로실 200(데구사 아게)을 사용해서, 실시예 PA1과 동일한 방식으로 수행한다.
실시예 PC2: 염산을 사용하지 않고서 실시예 PC1과 동일한 방식으로 수행한다.
실시예 PD1: 탈산 대역 후 혼입된 수증기를 사용해서, DE-A-19650500에 따라 제조된 K-도핑된 SiO2 분말.
실시예 PE1: DE-A-19650500에 따라 제조된 Na-도핑된 SiO2 분말을 사용해서 실시예 PD1과 동일한 방식으로 수행한다.
실시예 PF1: DE-A-19650500에 따라 제조된 Li-도핑된 SiO2 분말을 사용해서 실시예 PD1과 동일한 방식으로 수행한다.
비교 물질은 지수 0으로 표시되며, 비처리 샘플이다. 처리 및 비처리 이산화규소 분말에 대한 분석데이타가 표에 기록되어 있다. 이 표는, 화염가수분해 공정에 의해 제조된 이산화규소를 산 조건에서 본 발명에 따라 처리하면, 히드록실기 밀도를 현저하게 증가시킬 수 있는 반면에, 처리 및 비처리 분말의 BET 표면적은 측정 정확도의 한계 내에서 변하지 않은 채로 있음을 보여준다. 본 발명에 따르는 처리가 분말의 구조에 큰 변화를 초래하지 않음을 보여주는 추가의 증거는 도 1A 및 도 1B의 투과전자현미경 사진에 의해 제공된다. 도 1A는 실시예 PA1에서 제조된, 본 발명에 따르는 분말을 보여주고, 도 1B는 실시예 PA0에서 제조된 비처리 분말을 보여준다.
| 실시예 | 출발물질 | 처리 | 반응 시간 (시간) | 온도 (℃) | BET (m2/g) | OH 밀도 (OH/nm2) | LOD (중량%) |
| PA0 | OX 50 | 안 함 | - | - | 40 | 2.3 | 0.6 |
| PA1 | OX 50 | HCl/H2O | 18 | 100 | 40 | 4.6 | 0.51 |
| PA2 | OX 50 | H2O | 18 | 100 | 41 | 4.7 | 0.58 |
| PB0 | AE 90 | 안 함 | - | - | 84 | 2.4 | 0.8 |
| PB1 | AE 90 | HCl/H2O | 18 | 100 | 80 | 4.7 | 1 |
| PB2 | AE 90 | H2O | 18 | 100 | 85 | 5.4 | 0.9 |
| PC0 | AE 200 | 안 함 | - | - | 198 | 2.1 | 0.9 |
| PC1 | AE 200 | HCl/H2O | 18 | 100 | 197 | 3.7 | 0.8 |
| PC2 | AE 200 | H2O | 18 | 100 | 200 | 3.8 | 2.2 |
| PD0 | K/SiO2 (1) | 안 함 | - | - | 132 | 1.8 | 0.5 |
| PD1 | K/SiO2 | 증기 | 0.1 | 550 | 130 | 2.8 | 0.7 |
| PE0 | Na/SiO2 | 안 함 | - | - | 89 | 1.9 | 0.6 |
| PE1 | Na/SiO2 | 증기 | 0.1 | 550 | 90 | 2.6 | 0.6 |
| PF0 | Li/SiO2 | 안 함 | - | - | 88 | 2.1 | 0.5 |
| PF1 | Li/SiO2 | 증기 | 0.1 | 550 | 91 | 2.7 | 0.6 |
| (1) 0.2 중량%의 도핑 성분으로 도핑된 모든 분말 | |||||||
분산액(D)의 제조방법
실시예 D1: 실시예 PA1에서 제조된 분말 56g을, 울트라-투락스(Ultra-Turrax)를 사용해서 물 44g에 교반해 넣는다. 56 중량%의 충전 함량을 달성한다. 4일 후, 110 mPas의 점도를 10 rpm의 전단속도에서 달성한다. 이 분산액은 실온에서 6개월 동안 저장된 후에도 변하지 않는다.
실시예 D2(비교실시예): 실시예 D1에서와 동일한 분산 장치를 사용해서, 실시예 PA0에서 제조된 최대 30 중량%의 분말을 교반해 넣을 수 있다. 이 분산액은 더욱 증점되어 약 4주일 후에는 고체가 된다. 4일 후 측정된 점도는 10 rpm의 전단속도에서 500 mPas이다.
실시예 D3: 실시예 D1과 동일한 방법을 사용하지만, 실시예 PA1 대신 실시예 PC1에서 제조된 분말을 사용한다. 그 결과, 충전 함량이 28 중량%이며, 점도가 10 rpm의 전단속도에서 140 mPas이다.
실시예 D4(비교실시예): 실시예 D1과 동일한 방법을 사용하지만, 실시예 PCO에서 제조된 분말을 사용한다. 그 결과, 최대 충전 함량이 15 중량%이며, 점도가 10 rpm의 전단속도에서 350 mPas이다.
실시예 D5: 실시예 PA1에서 제조된 분말 56g을, 울트라-투락스를 사용해서, 물 44g에 혼입시킨다. 이어서 pH를, 1N KOH를 사용해서, 10.5로 조절한다. 53 중량%의 충전 함량이 달성된다.
실시예 D6: 분말 PB1 20㎏을, 이스트랄(Ystrahl)의 분산 및 흡입 혼합기의 도움을 받아 (4500 rpm에서) 탈이온수 20㎏에 흡수시키고, 대충 예비분산시킨다. 분말을 혼입시킨 후, 분산을 11500 rpm의 속도에서 완결한다. 이렇게 얻은 분산액을, 250 MPa의 압력에서, 고압 균질화기인, 수지노 머신 리미티드(Sugino Machine Ltd.)의 울티마이저(Ultimaizer) 시스템, 모델 HJP-25050을 사용하고, 직경 0.3 ㎜의 다이아몬드 다이 및 두 분쇄 사이클을 사용해서 분쇄한다. 50 중량%의 충전 함량이 달성된다. 말버른(Malvern)의 제타사이저(Zetasizer) 3000 Hsa를 사용해서 결정한 평균입자직경(수 관련)은 92 ㎚이다.
분산액 D1, D3, D5 및 D6은 6개월 후 전혀 침강되지 않는다.
Claims (16)
- 화염가수분해에 의해 제조되고, J.Mathias 및 G.Wannemacher의 Journal of Colloid and Interface Science 125(1988) p.61에 기재된 리튬 알루미늄 히드라이드와의 반응에 따른, 이산화규소 분말의 리튬 알루미늄 히드라이드와의 반응에 의해 측정된 히드록실기 밀도가 2.5 내지 4.7 OH/㎚2를 나타내는 것을 특징으로 하는 이산화규소 분말.
- 제 1 항에 있어서, 상기 이산화규소 분말이 도핑 성분으로 도핑된 것임을 특징으로 하는 이산화규소 분말.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 이산화규소 분말이 규소-금속 혼합 산화물 분말이고, 이 때 이산화규소의 함량이 60 중량% 이상임을 특징으로 하는 이산화규소 분말.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 이산화규소 분말의 히드록실기 밀도가 3 내지 4 OH/㎚2 임을 특징으로 하는 이산화규소 분말.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 이산화규소 분말의 BET 표면적이 5 내지 600 ㎡/g 임을 특징으로 하는 이산화규소 분말.
- 화염가수분해 공정에 의해 제조되고 2.5 OH/㎚2 미만의 히드록실기 밀도를 갖는 이산화규소 분말을 40 내지 700 ℃의 온도에서 산 조건 하에 5 분 내지 20 시간의 반응 시간 동안 처리한 후, 반응 혼합물로부터 분리함을 특징으로 하고, 상기 히드록실기 밀도는 J.Mathias 및 G.Wannemacher의 Journal of Colloid and Interface Science 125(1988) p.61에 기재된 리튬 알루미늄 히드라이드와의 반응에 따른, 이산화규소 분말의 리튬 알루미늄 히드라이드와의 반응에 의해 측정된 것인, 제 1 항 또는 제 2 항에 따르는 이산화규소 분말의 제조방법.
- 제 6 항에 있어서, 무기산 또는 유기산을 처리에 사용함을 특징으로 하는, 이산화규소 분말의 제조방법.
- 제 1 항 또는 제 2 항에 따르는 이산화규소 분말을 함유하는 수성 분산액.
- 제 8 항에 있어서, 6개월 동안 더욱 증점되거나 침강되지 않음을 특징으로 하는 수성 분산액.
- 제 8 항에 있어서, 이산화규소 분말의 함량이 10 내지 70 중량% 임을 특징으로 하는 수성 분산액.
- 제 8 항에 있어서, pH가 3 내지 12 임을 특징으로 하는 수성 분산액.
- 제 8 항에 있어서, 동적 광 산란법으로 측정된 분산액 중의 평균 집합체 직경이 200 ㎚ 미만임을 특징으로 하는 수성 분산액.
- 제 8 항에 있어서, 산화제, 부식방지제, 표면활성 물질, 또는 이들의 조합을 함유함을 특징으로 하는 수성 분산액.
- 화염가수분해에 의해 제조된 이산화규소 분말로부터 얻어지고 2.5 내지 4.7 OH/㎚2의 히드록실기 밀도를 갖는 이산화규소 분말을 분산 장치를 사용해서 수용액에 혼입시킴을 특징으로 하고, 상기 히드록실기 밀도는 J.Mathias 및 G.Wannemacher의 Journal of Colloid and Interface Science 125(1988) p.61에 기재된 리튬 알루미늄 히드라이드와의 반응에 따른, 이산화규소 분말의 리튬 알루미늄 히드라이드와의 반응에 의해 측정된 것인, 제 8 항에 따르는 분산액의 제조방법.
- 제 8 항에 따르는 수성 분산액을 포함하는 것을 특징으로 하는 화학적 기계적 연마제.
- 제 8 항에 따르는 수성 분산액을 포함하는 특징으로 하는 잉크젯 종이.
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