JPH092812A - フィルタテスト用シリカエアロゾル - Google Patents
フィルタテスト用シリカエアロゾルInfo
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- JPH092812A JPH092812A JP7171644A JP17164495A JPH092812A JP H092812 A JPH092812 A JP H092812A JP 7171644 A JP7171644 A JP 7171644A JP 17164495 A JP17164495 A JP 17164495A JP H092812 A JPH092812 A JP H092812A
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- air
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B33/00—Silicon; Compounds thereof
- C01B33/113—Silicon oxides; Hydrates thereof
- C01B33/12—Silica; Hydrates thereof, e.g. lepidoic silicic acid
- C01B33/14—Colloidal silica, e.g. dispersions, gels, sols
- C01B33/146—After-treatment of sols
- C01B33/148—Concentration; Drying; Dehydration; Stabilisation; Purification
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Dispersion Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
- Silicon Compounds (AREA)
- Colloid Chemistry (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 半導体製品等の諸特性に影響を与えることが
なく、また、ナトリウム等の化合物がエアフィルタへ付
着することがなく、安全性の高いフィルタテスト用のシ
リカエアロゾルを提供すること。 【構成】 気相で生成したシリカ粒子を空気中に分散さ
せてフィルタテスト用シリカエアロゾルとした。気相で
生成した無水シリカ粒子を直接空気中に分散させるか、
気相で生成したシリカ粒子を一旦水相に分散させてシリ
カ粒子分散液とし、該シリカ粒子分散液を噴霧、乾燥し
て空気中に分散させる。
なく、また、ナトリウム等の化合物がエアフィルタへ付
着することがなく、安全性の高いフィルタテスト用のシ
リカエアロゾルを提供すること。 【構成】 気相で生成したシリカ粒子を空気中に分散さ
せてフィルタテスト用シリカエアロゾルとした。気相で
生成した無水シリカ粒子を直接空気中に分散させるか、
気相で生成したシリカ粒子を一旦水相に分散させてシリ
カ粒子分散液とし、該シリカ粒子分散液を噴霧、乾燥し
て空気中に分散させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、エアフィルタ単体での
スキャンテスト、捕集効率テスト及び、エアフィルタ設
置後のリークテストに使用するシリカエアロゾルに関す
る。
スキャンテスト、捕集効率テスト及び、エアフィルタ設
置後のリークテストに使用するシリカエアロゾルに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】一般に、エアフィルタのスキャンテス
ト、捕集効率テスト等を行なう際は、テスト用エアロゾ
ルとして、ＤＯＰ（フタル酸ジオクチル）、ＤＯＳ（セ
バシン酸ジオクチル）、パラフィンオイル等の蒸気圧の
低い液体を加圧噴霧し、或いは加熱蒸発し、これを冷却
して凝縮させ粒子状として空気中に分散させ、テスト用
エアロゾルとしたものを使用している。しかしながら、
ＤＯＰ、ＤＯＳ、パラフィンオイル等から得たテスト用
エアロゾルを使用する場合、全数テストした後のエアフ
ィルタを半導体製造用のクリーンルームに設置する場合
等、ＤＯＰ、ＤＯＳ、パラフィンオイル等の蒸気圧が低
いにも関わらず、試験をしたエアフィルタに付着したテ
ストエアロゾルから微量の蒸気が蒸発し、半導体製品の
特性に影響を与えるという問題が生じる。また、ＤＯＰ
は、発癌性、臭気、刺激性があることも知られており、
人体への有害性も問題となっている。
ト、捕集効率テスト等を行なう際は、テスト用エアロゾ
ルとして、ＤＯＰ（フタル酸ジオクチル）、ＤＯＳ（セ
バシン酸ジオクチル）、パラフィンオイル等の蒸気圧の
低い液体を加圧噴霧し、或いは加熱蒸発し、これを冷却
して凝縮させ粒子状として空気中に分散させ、テスト用
エアロゾルとしたものを使用している。しかしながら、
ＤＯＰ、ＤＯＳ、パラフィンオイル等から得たテスト用
エアロゾルを使用する場合、全数テストした後のエアフ
ィルタを半導体製造用のクリーンルームに設置する場合
等、ＤＯＰ、ＤＯＳ、パラフィンオイル等の蒸気圧が低
いにも関わらず、試験をしたエアフィルタに付着したテ
ストエアロゾルから微量の蒸気が蒸発し、半導体製品の
特性に影響を与えるという問題が生じる。また、ＤＯＰ
は、発癌性、臭気、刺激性があることも知られており、
人体への有害性も問題となっている。
【０００３】又、塩化ナトリウム等、水溶性の物質を水
溶液とし、これを噴霧、乾燥させて得た塩化ナトリウム
等の結晶粒子を空気中に分散させてテスト用エアロゾル
とする方法も提案されている。しかしこの塩化ナトリウ
ムの粒子は潮解し易いため、エアフィルタに付着した
後、二次側に流出してくる可能性がある。すなわち、ナ
トリウムのようなアルカリ金属或いはアルカリ土類金属
の一部は、ウエハの電気的特性を低下させる要因として
挙げられる物質であり、半導体工程において制御すべき
対象物である。したがって、ナトリウム等の化合物がク
リーンエアを供給するエアフィルタに付着したり含有さ
れることは避けるべきである。
溶液とし、これを噴霧、乾燥させて得た塩化ナトリウム
等の結晶粒子を空気中に分散させてテスト用エアロゾル
とする方法も提案されている。しかしこの塩化ナトリウ
ムの粒子は潮解し易いため、エアフィルタに付着した
後、二次側に流出してくる可能性がある。すなわち、ナ
トリウムのようなアルカリ金属或いはアルカリ土類金属
の一部は、ウエハの電気的特性を低下させる要因として
挙げられる物質であり、半導体工程において制御すべき
対象物である。したがって、ナトリウム等の化合物がク
リーンエアを供給するエアフィルタに付着したり含有さ
れることは避けるべきである。
【０００４】これらの問題を解決する手段として、テス
ト用エアロゾルに大気塵を使用するスキャンテスト方法
が行われているが、大気塵の粒子濃度が不安定であり再
現性がなく、さらに粒子濃度が低いために測定時間が長
くなる等の問題点を有する。
ト用エアロゾルに大気塵を使用するスキャンテスト方法
が行われているが、大気塵の粒子濃度が不安定であり再
現性がなく、さらに粒子濃度が低いために測定時間が長
くなる等の問題点を有する。
【０００５】１９９４年１１月１４日から１６日に東京
で行なわれた国際医薬品科学技術協会（International
Association for Pharmaceutical Science and Technol
ogy)のアジア討論展示会の発表論文の原稿の「ＨＥＰＡ
フィルタのためのＤＯＰを使用しない試験法」（Otsuka
Kazuhiko and Sumioka Masayuki, Nitta Coporation)
は、テスト用エアロゾルとしてシリカゾルを噴霧し乾燥
する方法を提案している。シリカゾルはいわゆるコロイ
ダルシリカとして水相にシリカが安定に分散したもので
あるが、一般的にケイ酸ナトリウムを出発原料としイオ
ン交換樹脂を使用して特定の比率のＳｉＯ2／Ｎａ2Ｏの
ゾルとしているため、このゾルを噴霧し乾燥し得たシリ
カ粒子にはナトリウムの化合物が付着しており、エアフ
ィルタに付着して二次側に流出してくるおそれがある。
で行なわれた国際医薬品科学技術協会（International
Association for Pharmaceutical Science and Technol
ogy)のアジア討論展示会の発表論文の原稿の「ＨＥＰＡ
フィルタのためのＤＯＰを使用しない試験法」（Otsuka
Kazuhiko and Sumioka Masayuki, Nitta Coporation)
は、テスト用エアロゾルとしてシリカゾルを噴霧し乾燥
する方法を提案している。シリカゾルはいわゆるコロイ
ダルシリカとして水相にシリカが安定に分散したもので
あるが、一般的にケイ酸ナトリウムを出発原料としイオ
ン交換樹脂を使用して特定の比率のＳｉＯ2／Ｎａ2Ｏの
ゾルとしているため、このゾルを噴霧し乾燥し得たシリ
カ粒子にはナトリウムの化合物が付着しており、エアフ
ィルタに付着して二次側に流出してくるおそれがある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、半導体製品
の特性に影響を与えることがなく、また、ナトリウム等
の化合物がエアフィルタへ付着することがなく、安全性
の高いフィルタテスト用のシリカエアロゾルを提供する
ことを目的とする。
の特性に影響を与えることがなく、また、ナトリウム等
の化合物がエアフィルタへ付着することがなく、安全性
の高いフィルタテスト用のシリカエアロゾルを提供する
ことを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記の問題を解決するた
め、気相で生成したシリカ粒子を空気中に分散させてフ
ィルタテスト用シリカエアロゾルとした。
め、気相で生成したシリカ粒子を空気中に分散させてフ
ィルタテスト用シリカエアロゾルとした。
【０００８】
【作用】本発明のフィルタテスト用シリカエアロゾル
は、半導体製品に悪影響を及ぼす要因となる蒸気等の発
生がなく、ナトリウム等の化合物も含んでいないので、
これらの不純物がエアフィルタに付着することがない。
は、半導体製品に悪影響を及ぼす要因となる蒸気等の発
生がなく、ナトリウム等の化合物も含んでいないので、
これらの不純物がエアフィルタに付着することがない。
【０００９】
【実施例】本発明のフィルタテスト用のシリカエアロゾ
ルを発生させる実施例を以下に説明する。
ルを発生させる実施例を以下に説明する。
【００１０】実施例１ 気相で生成したシリカ粒子を水相に分散させてシリカ粒
子分散液とし、これを噴霧、乾燥して空気中に分散させ
無水シリカのエアロゾルとする実施例を以下に説明す
る。
子分散液とし、これを噴霧、乾燥して空気中に分散させ
無水シリカのエアロゾルとする実施例を以下に説明す
る。
【００１１】表１の成分を有する、日本アエロジル
（株）社製のアエロジル２００のシリカを純水中に分散
させてシリカ粒子分散液を調整した。このアエロジル２
００のシリカは四塩化ケイ素を気相で燃焼加熱分解させ
て得た無水シリカであり、ケイ酸ナトリウムを出発原料
としたものではないので、ナトリウム等の化合物を含ん
でいない。
（株）社製のアエロジル２００のシリカを純水中に分散
させてシリカ粒子分散液を調整した。このアエロジル２
００のシリカは四塩化ケイ素を気相で燃焼加熱分解させ
て得た無水シリカであり、ケイ酸ナトリウムを出発原料
としたものではないので、ナトリウム等の化合物を含ん
でいない。
【００１２】
【表１】
【００１３】このアエロジル２００のシリカの他に、日
本アエロジル（株）社製のアエロジル５０、又は他の市
販製品であっても表１の成分表に示したような内容を有
する無水シリカであれば使用することができる。
本アエロジル（株）社製のアエロジル５０、又は他の市
販製品であっても表１の成分表に示したような内容を有
する無水シリカであれば使用することができる。
【００１４】シリカ粒子分散液の分散媒としては純水を
使用した。水道水を使用してもよいが、一般的には蒸留
水のような不純物を含まない水を使用するのが好まし
い。
使用した。水道水を使用してもよいが、一般的には蒸留
水のような不純物を含まない水を使用するのが好まし
い。
【００１５】上記アエロジル２００のシリカ粒子を室温
において、蒸留水に、それぞれ２、４、６、８、及び12
重量パーセントになるよう加えて撹拌しシリカ粒子の各
分散液を調整した。アエロジル２００の無水シリカ粒子
は水に対して比較的に親和性が高く簡単な攪拌で水中に
良く分散した。このシリカ粒子の分散液を図１の概略図
に示すようなラスキンノズル型発生器（２）を用いてシ
リカエアロゾルを発生させた。
において、蒸留水に、それぞれ２、４、６、８、及び12
重量パーセントになるよう加えて撹拌しシリカ粒子の各
分散液を調整した。アエロジル２００の無水シリカ粒子
は水に対して比較的に親和性が高く簡単な攪拌で水中に
良く分散した。このシリカ粒子の分散液を図１の概略図
に示すようなラスキンノズル型発生器（２）を用いてシ
リカエアロゾルを発生させた。
【００１６】ラスキンノズル型発生器（２）は、密封装
置（１４）により蓋（１２）が容器（３）の開口を閉じ
るようになっており、内部に別の装置からの圧縮空気が
圧縮空気接続用カプラ（６）を通して導入され、圧力計
（４）で表示される圧力の空気が、液面（１８）まで装
填したシリカ粒子分散液に吹き込まれる。吹き込まれた
空気はシリカ粒子分散液を泡沫状にし、この泡沫は容器
（３）中でエアロゾルとなって噴出口（１６）から噴出
する。泡沫飛散防止板（１０）は比較的大きな泡沫が噴
出口（１６）に付着して噴出口（１６）の口径を小さく
しエアロゾルの噴出が妨害されることを防止する。なお
ラスキンノズル型発生器（２）の他に、ネプライザ、ア
トマイザ、超音波ネプライザ、二流体ノズル等のいずれ
の装置も使用することができる。
置（１４）により蓋（１２）が容器（３）の開口を閉じ
るようになっており、内部に別の装置からの圧縮空気が
圧縮空気接続用カプラ（６）を通して導入され、圧力計
（４）で表示される圧力の空気が、液面（１８）まで装
填したシリカ粒子分散液に吹き込まれる。吹き込まれた
空気はシリカ粒子分散液を泡沫状にし、この泡沫は容器
（３）中でエアロゾルとなって噴出口（１６）から噴出
する。泡沫飛散防止板（１０）は比較的大きな泡沫が噴
出口（１６）に付着して噴出口（１６）の口径を小さく
しエアロゾルの噴出が妨害されることを防止する。なお
ラスキンノズル型発生器（２）の他に、ネプライザ、ア
トマイザ、超音波ネプライザ、二流体ノズル等のいずれ
の装置も使用することができる。
【００１７】図２はシリカエアロゾル粒子濃度を測定す
る装置の概略図で、ラスキンノズル型発生器（２）、発
生器（２）に接続されたダクト（２０）、ＨＥＰＡフイ
ルタ（２２）、ＨＥＰＡフイルタ（２４）、オリフィス
（３０）、空気吸引機（３２）、希釈装置（２６）、及
びＰＭＳ社製パーティクルカウンターＬＡＳ−Ｘ−ＣＲ
Ｔであるパーティクルカウンター（２８）から構成され
る。ＨＥＰＡフイルタ（２２、２４）は装置内にシリカ
エアロゾル粒子以外の粒子の混入を防止するためのもの
で、希釈装置（２６）はシリカ粒子の空気中での分散濃
度をパーティクルカウンター（２８）の測定範囲内に低
下させるためのものである。
る装置の概略図で、ラスキンノズル型発生器（２）、発
生器（２）に接続されたダクト（２０）、ＨＥＰＡフイ
ルタ（２２）、ＨＥＰＡフイルタ（２４）、オリフィス
（３０）、空気吸引機（３２）、希釈装置（２６）、及
びＰＭＳ社製パーティクルカウンターＬＡＳ−Ｘ−ＣＲ
Ｔであるパーティクルカウンター（２８）から構成され
る。ＨＥＰＡフイルタ（２２、２４）は装置内にシリカ
エアロゾル粒子以外の粒子の混入を防止するためのもの
で、希釈装置（２６）はシリカ粒子の空気中での分散濃
度をパーティクルカウンター（２８）の測定範囲内に低
下させるためのものである。
【００１８】圧力２ｋｇ／ｃｍ2の圧縮空気をラスキン
ノズル型発生器（８）に加え、噴出口（１６）からの噴
霧シリカエアロゾルを、７ｍ3／minの清浄空気が流れる
タクト（６）内に導入した。ラスキンノズル型発生器
（２）からのシリカエアロゾルは、エアロゾル噴出口
（１６）からダクト（２０）に導入される間に、常温で
自然に乾燥され、空気中でのシリカ粒子分散体としてダ
クト（２０）内を空気吸引機（３０）に向かって移動
し、その一部は希釈装置（２６）を経てパーティクルカ
ウンター（２８）に入り、粒子濃度が測定される。
ノズル型発生器（８）に加え、噴出口（１６）からの噴
霧シリカエアロゾルを、７ｍ3／minの清浄空気が流れる
タクト（６）内に導入した。ラスキンノズル型発生器
（２）からのシリカエアロゾルは、エアロゾル噴出口
（１６）からダクト（２０）に導入される間に、常温で
自然に乾燥され、空気中でのシリカ粒子分散体としてダ
クト（２０）内を空気吸引機（３０）に向かって移動
し、その一部は希釈装置（２６）を経てパーティクルカ
ウンター（２８）に入り、粒子濃度が測定される。
【００１９】シリカ分散液濃度がそれぞれ２、４、６、
８、１２ｗｔ％である各シリカ分散液の測定したシリカ
エアロゾル粒子濃度を表２に示す。
８、１２ｗｔ％である各シリカ分散液の測定したシリカ
エアロゾル粒子濃度を表２に示す。
【００２０】
【表２】
【００２１】次に濃度２ｗｔ％の無水シリカ分散液につ
いて、圧縮空気の圧力を２ｋｇ／ｃｍ2から表３で示す
値に変化させて同様にエアロゾルの粒子を発生させたと
きのエアロゾルの粒子濃度を示す。
いて、圧縮空気の圧力を２ｋｇ／ｃｍ2から表３で示す
値に変化させて同様にエアロゾルの粒子を発生させたと
きのエアロゾルの粒子濃度を示す。
【００２２】
【表３】
【００２３】圧縮空気の圧力の他に、ラスキンノズル型
発生器（２）のノズルの数、又はノズルの形状を変える
ことにより、エアロゾルの粒子濃度を変化させることも
できる。
発生器（２）のノズルの数、又はノズルの形状を変える
ことにより、エアロゾルの粒子濃度を変化させることも
できる。
【００２４】表２及び表３から判るように、無水シリカ
を分散させたエアロゾルは、少なくとも４．６３×１０
9個／ｍ3の粒子濃度を示し、この程度の粒子濃度のシリ
カエアロゾルが得られるならば、大概のフィルタテスト
を行うことは可能である。
を分散させたエアロゾルは、少なくとも４．６３×１０
9個／ｍ3の粒子濃度を示し、この程度の粒子濃度のシリ
カエアロゾルが得られるならば、大概のフィルタテスト
を行うことは可能である。
【００２５】シリカ粒子分散液は、濃度が低すぎるとエ
アロゾルの発生量が少なくなり、高すぎても増粘してゲ
ル状になり、エアロゾルの発生量が少なくなるため、純
水に対する無水シリカの重量比は、２〜２０％程度にす
るのが好ましい。
アロゾルの発生量が少なくなり、高すぎても増粘してゲ
ル状になり、エアロゾルの発生量が少なくなるため、純
水に対する無水シリカの重量比は、２〜２０％程度にす
るのが好ましい。
【００２６】無水シリカの各分散液中のナトリウム化合
物の含有量を堀場製作所製コンパクトイオンメーターＣ
−１２２で測定したところ、Ｎａとして上記各濃度のシ
リカ分散液で０ｐｐｍであった。
物の含有量を堀場製作所製コンパクトイオンメーターＣ
−１２２で測定したところ、Ｎａとして上記各濃度のシ
リカ分散液で０ｐｐｍであった。
【００２７】このようにして調整したシリカエアロゾル
を使用してフィルタテストとしてスキャンテストと捕集
効率テストを実施した。
を使用してフィルタテストとしてスキャンテストと捕集
効率テストを実施した。
【００２８】１．スキャンテスト 通常スキャンテストは、ラスキンノズル型発生器により
発生させたＤＯＰ粒子を清浄空気中に分散させ、テスト
フィルタの上流側ＤＯＰ粒子濃度を３．５３×１０10以
上に設定したテストエアロゾルを使用し、気流速度０．
４ｍ／秒、走査速度５０ｍｍ／秒、走査ピッチ５０ｍｍ
という条件でフィルタ下流側に透過する粒子数を、ハイ
アックロイコ社製パーティクルカウンターＲＯＹＣＯ５
１０９により測定する。
発生させたＤＯＰ粒子を清浄空気中に分散させ、テスト
フィルタの上流側ＤＯＰ粒子濃度を３．５３×１０10以
上に設定したテストエアロゾルを使用し、気流速度０．
４ｍ／秒、走査速度５０ｍｍ／秒、走査ピッチ５０ｍｍ
という条件でフィルタ下流側に透過する粒子数を、ハイ
アックロイコ社製パーティクルカウンターＲＯＹＣＯ５
１０９により測定する。
【００２９】ここでは、外形寸法高さ６１０ｍｍ幅６１
０ｍｍ奥行き６５ｍｍで、１０ｍ3／minの流量において
０．１〜０．２μｍの粒子の捕集効率が９９．９９９８
％のＵＬＰＡフィルタに、０．０１％程度の漏れを生じ
る穴を開けたものを用いて、ＤＯＰ粒子とシリカエアロ
ゾルによるスキャンテストを行った。各テストエアロゾ
ルの上流濃度と下流濃度を表に示す。
０ｍｍ奥行き６５ｍｍで、１０ｍ3／minの流量において
０．１〜０．２μｍの粒子の捕集効率が９９．９９９８
％のＵＬＰＡフィルタに、０．０１％程度の漏れを生じ
る穴を開けたものを用いて、ＤＯＰ粒子とシリカエアロ
ゾルによるスキャンテストを行った。各テストエアロゾ
ルの上流濃度と下流濃度を表に示す。
【００３０】この様に、フィルタ上流濃度にほぼ比例す
る下流濃度が得られ、上流濃度を適宜調整することによ
り、ＤＯＰを用いて行われてきた従来と同じ精度でスキ
ャンテストが行えることが確認された。
る下流濃度が得られ、上流濃度を適宜調整することによ
り、ＤＯＰを用いて行われてきた従来と同じ精度でスキ
ャンテストが行えることが確認された。
【００３１】
【表４】
【００３２】２．捕集効率テスト ラスキンノズル型発生器により発生させたエアロゾルを
清浄空気中に分散させ、１４ｃｍ角のグラスファイバー
濾材を挟んだ内径Φ１００ｍｍのホルダー内に３２０ｃ
ｍ／min 通風させた。その時の濾材の上流側と下流側の
粒子濃度をＬＡＳ−Ｘ−ＣＲＴにより測定し、濾材の捕
集効率を求めた。エアロゾルとして、ＤＯＰ粒子、シリ
カエアロゾルを使用した。尚、シリカエアロゾルを発生
させた際に、シリカエアロゾルが帯電し捕集効率が高く
なってしまうため、放射性同位元素の241Ａｍを用いて
帯電除去を施したテストも行った。これらのエアロゾル
上流濃度及び濾材の捕集効率を表５に示す。
清浄空気中に分散させ、１４ｃｍ角のグラスファイバー
濾材を挟んだ内径Φ１００ｍｍのホルダー内に３２０ｃ
ｍ／min 通風させた。その時の濾材の上流側と下流側の
粒子濃度をＬＡＳ−Ｘ−ＣＲＴにより測定し、濾材の捕
集効率を求めた。エアロゾルとして、ＤＯＰ粒子、シリ
カエアロゾルを使用した。尚、シリカエアロゾルを発生
させた際に、シリカエアロゾルが帯電し捕集効率が高く
なってしまうため、放射性同位元素の241Ａｍを用いて
帯電除去を施したテストも行った。これらのエアロゾル
上流濃度及び濾材の捕集効率を表５に示す。
【００３３】この様に、シリカエアロゾルの帯電を除去
することにより、ＤＯＰを用いて行われた従来のフィル
タ捕集効率テストもシリカエアロゾルで行えることが確
認された。
することにより、ＤＯＰを用いて行われた従来のフィル
タ捕集効率テストもシリカエアロゾルで行えることが確
認された。
【００３４】
【表５】
【００３５】実施例２ 無水シリカ粒子を直接空気中に分散させてシリカエアロ
ゾルを調整する実施例を以下に説明する。
ゾルを調整する実施例を以下に説明する。
【００３６】無水シリカ粒子を直接空気中に分散させる
分散器（３４）としては、東京ダイレック（株）社製の
乾燥分散器パーラスエアロゾルジェネレーターＲＢＧ−
１０００を使用した。図３の概略図に示されるように、
これは空気入口（４６）、及び空気出口（４８）、粉末
装填口（３３）、送給ピストン（３６）、粉末溜め（４
０）、分散ヘッド（４４）、ブラシ（４２）から構成さ
れる。
分散器（３４）としては、東京ダイレック（株）社製の
乾燥分散器パーラスエアロゾルジェネレーターＲＢＧ−
１０００を使用した。図３の概略図に示されるように、
これは空気入口（４６）、及び空気出口（４８）、粉末
装填口（３３）、送給ピストン（３６）、粉末溜め（４
０）、分散ヘッド（４４）、ブラシ（４２）から構成さ
れる。
【００３７】日本アエロジル（株）社製アエロジル２０
０を分散器（３４）の粉末装填口（３３）に装填し、送
給ピストン（３６）で粉末溜め（４０）に送り、ブラシ
（４２）をモータ（図示せず）で回転させて、アエロジ
ル２００を分散ヘッド（４４）に送り、空気入口（４
６）から圧縮空気を送ってアエロジル２００を空気出口
（４８）から空気中に噴出させる。パーラスエアロゾル
ジェネレーターＲＢＧ−１０００の運転条件は、ピスト
ン上昇速度１００ｍｍ／ｈ、ブラシ回転数１２００ｒｐ
ｍ、空気圧力２．５５ｋｇ／ｃｍ2であった。
０を分散器（３４）の粉末装填口（３３）に装填し、送
給ピストン（３６）で粉末溜め（４０）に送り、ブラシ
（４２）をモータ（図示せず）で回転させて、アエロジ
ル２００を分散ヘッド（４４）に送り、空気入口（４
６）から圧縮空気を送ってアエロジル２００を空気出口
（４８）から空気中に噴出させる。パーラスエアロゾル
ジェネレーターＲＢＧ−１０００の運転条件は、ピスト
ン上昇速度１００ｍｍ／ｈ、ブラシ回転数１２００ｒｐ
ｍ、空気圧力２．５５ｋｇ／ｃｍ2であった。
【００３８】アエロジル２００を直接空気中に分散させ
たシリカエアロゾルを、図２のシリカエアロゾル粒子濃
度測定装置において、７ｍ3 ／min の清浄空気が流れる
ダクト（２０）内に導入し、ＬＡＳ−Ｘ−ＣＲＴにより
粒子濃度を測定した。結果を表６に示す。
たシリカエアロゾルを、図２のシリカエアロゾル粒子濃
度測定装置において、７ｍ3 ／min の清浄空気が流れる
ダクト（２０）内に導入し、ＬＡＳ−Ｘ−ＣＲＴにより
粒子濃度を測定した。結果を表６に示す。
【００３９】
【表６】
【００４０】表６から判るように、無水シリカを直接空
気中に分散させたエアロゾルは、少なくとも５．８６×
１０9個／ｍ3の粒子濃度を示し、フィルタテストを行な
うエアロゾルの濃度として十分に使用することができ
る。
気中に分散させたエアロゾルは、少なくとも５．８６×
１０9個／ｍ3の粒子濃度を示し、フィルタテストを行な
うエアロゾルの濃度として十分に使用することができ
る。
【００４１】
【発明の効果】本発明のフィルタテスト方法は、無水シ
リカを粒子として発生させたものであるので、スキャン
テスト、捕集効率テスト後のエアフィルタを半導体製造
用クリーンルームに設置しても、クリーンルーム内に供
給されるエアの中に半導体製品の特性に影響を及ぼす蒸
気や、ウエハの電気的特性を劣化させるＮａ等を含有す
ることがない。
リカを粒子として発生させたものであるので、スキャン
テスト、捕集効率テスト後のエアフィルタを半導体製造
用クリーンルームに設置しても、クリーンルーム内に供
給されるエアの中に半導体製品の特性に影響を及ぼす蒸
気や、ウエハの電気的特性を劣化させるＮａ等を含有す
ることがない。
【００４２】また、無水シリカは、珪素を含む微粉状の
物質であるが、ケイ肺を引き起こすことはないので人体
への影響はなく、海外では食品添加物として認可されて
おり、安全性も高い。
物質であるが、ケイ肺を引き起こすことはないので人体
への影響はなく、海外では食品添加物として認可されて
おり、安全性も高い。
【図１】図１は、無水シリカ粒子分散液から本発明のシ
リカエアロゾルを発生させるのに使用するラスキンノズ
ル型発生器の概略図である。
リカエアロゾルを発生させるのに使用するラスキンノズ
ル型発生器の概略図である。
【図２】図２は、本発明のシリカエアロゾルを発生させ
その粒子濃度を測定する装置の概略図である。
その粒子濃度を測定する装置の概略図である。
【図３】図３は無水シリカ粒子を直接空気中に分散させ
て本発明のシリカエアロゾルを調製する分散器パーラス
エアロゾルジェネレーターＲＢＧ−１０００の概略図で
ある。
て本発明のシリカエアロゾルを調製する分散器パーラス
エアロゾルジェネレーターＲＢＧ−１０００の概略図で
ある。
２ ラスキンノズル型発生器 ３ 容器 ４ 圧力計 ６ 圧縮空気接続用カプラ ８ ノズル 10 泡沫飛散防止板 12 蓋 14 密封装置 16 エアロゾル噴出口 20 ダクト 22 ＨＥＰＡフイルタ 24 ＨＥＰＡフイルタ 26 希釈装置 28 パーティクルカウンター 30 オリフィス 32 空気吸引機
Claims (3)
- 【請求項１】 気相で生成したシリカ粒子を空気中に分
散させたことを特徴とするフィルタテスト用シリカエア
ロゾル。 - 【請求項２】 気相で生成したシリカ粒子を直接空気中
に分散させたことを特徴とする請求項１記載のフィルタ
テスト用シリカエアロゾル。 - 【請求項３】 気相で生成したシリカ粒子を水相に分散
させてシリカ粒子分散液とし、該シリカ粒子分散液を噴
霧、乾燥して空気中に分散させたことを特徴とする請求
項１記載のフィルタテスト用シリカエアロゾル。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7171644A JPH092812A (ja) | 1995-06-15 | 1995-06-15 | フィルタテスト用シリカエアロゾル |
| KR1019960021381A KR100437921B1 (ko) | 1995-06-15 | 1996-06-14 | 필터 시험용 실리카 에어로졸 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7171644A JPH092812A (ja) | 1995-06-15 | 1995-06-15 | フィルタテスト用シリカエアロゾル |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH092812A true JPH092812A (ja) | 1997-01-07 |
Family
ID=15927037
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7171644A Pending JPH092812A (ja) | 1995-06-15 | 1995-06-15 | フィルタテスト用シリカエアロゾル |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH092812A (ja) |
| KR (1) | KR100437921B1 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005536435A (ja) * | 2002-08-27 | 2005-12-02 | デグサ アクチエンゲゼルシャフト | 二酸化ケイ素分散液 |
| JP2014500139A (ja) * | 2010-11-08 | 2014-01-09 | エーエーエフ−マックウェイ インコーポレイテッド ディー／ビー／エー エーエーエフ インターナショナル | 無菌薬学用ｅＰＴＦＥフィルタおよび使用方法 |
| CN109060620A (zh) * | 2018-09-04 | 2018-12-21 | 青岛众瑞智能仪器有限公司 | 一种喷雾干燥式标准粉尘气溶胶发生及校验装置 |
| CN109269956A (zh) * | 2018-10-17 | 2019-01-25 | 华北电力大学 | 一种用于测试微流体惯性冲击式过滤器性能的实验装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| AU732803B2 (en) * | 1996-01-17 | 2001-05-03 | National Starch And Chemical Investment Holding Corporation | Adhesives resistant to skin-penetration enhancers |
-
1995
- 1995-06-15 JP JP7171644A patent/JPH092812A/ja active Pending
-
1996
- 1996-06-14 KR KR1019960021381A patent/KR100437921B1/ko active IP Right Grant
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005536435A (ja) * | 2002-08-27 | 2005-12-02 | デグサ アクチエンゲゼルシャフト | 二酸化ケイ素分散液 |
| US7824643B2 (en) | 2002-08-27 | 2010-11-02 | Evonik Degussa Gmbh | Silicon dioxide dispersion |
| US7888396B2 (en) | 2002-08-27 | 2011-02-15 | Evonik Degussa Gmbh | Silicon dioxide dispersion |
| US7892510B2 (en) | 2002-08-27 | 2011-02-22 | Evonik Degussa Gmbh | Silicon dioxide dispersion |
| JP2014500139A (ja) * | 2010-11-08 | 2014-01-09 | エーエーエフ−マックウェイ インコーポレイテッド ディー／ビー／エー エーエーエフ インターナショナル | 無菌薬学用ｅＰＴＦＥフィルタおよび使用方法 |
| CN109060620A (zh) * | 2018-09-04 | 2018-12-21 | 青岛众瑞智能仪器有限公司 | 一种喷雾干燥式标准粉尘气溶胶发生及校验装置 |
| CN109060620B (zh) * | 2018-09-04 | 2024-01-19 | 青岛众瑞智能仪器股份有限公司 | 一种喷雾干燥式标准粉尘气溶胶发生及校验装置 |
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| CN109269956B (zh) * | 2018-10-17 | 2021-04-09 | 华北电力大学 | 一种用于测试微流体惯性冲击式过滤器性能的实验装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR100437921B1 (ko) | 2004-08-06 |
| KR970001499A (ko) | 1997-01-24 |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041207 |
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| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050405 |