KR100772608B1 - 자동 광학 검사 시스템 - Google Patents

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KR100772608B1
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임병현
최현호
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아주하이텍(주)
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Abstract

본 발명은 플렉시블 인쇄회로기판 유닛들이 연속적으로 형성된 필름 또는 테이프 형태의 검사대상물 외관을 광학적인 방식을 이용하여 자동 검사하는 자동 광학 검사 시스템 및 방법에 관한 것이다. 본 발명의 자동 광학 검사 시스템은 검사대상물이 제공되는 권출부(loader), 권출부로부터 제공되는 검사대상물의 표면을 촬영하는 촬영부재, 검사를 마친 검사대상물이 언로딩되는 귄취부(unloader)를 포함하되; 촬영부재는 검사대상물의 휨이나 늘어짐이 발생하지 않도록 검사대상물의 촬영영역을 지지하는 지지유닛, 지지유닛을 통해 상기 검사대상물의 촬영영역으로 광을 조사하는 조명유닛 그리고 조명유닛의 광이 조사되는 검사대상물의 촬영영역을 촬영하는 카메라를 포함한다.
인쇄회로기판, 검사, 투명, 롤러

Description

자동 광학 검사 시스템{SYSTEM FOR OPTICAL AUTOMATED INSPECTION}
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 자동 광학 검사 시스템의 주요 구성을 보여주는 도면이다.
도 2 및 도 3은 비젼 검사부의 촬영부재를 설명하기 위한 도면들이다.
도 4 및 도 5는 본 발명에 따른 자동 광학 검사 시스템에서 조명유닛이 지지유닛 내부에 설치된 촬영부재를 보여주는 도면들이다.
도 6은 본 발명에 따른 자동 광학 검사 시스템에서 3개의 조명 유닛이 지지유닛의 내부에 설치된 촬영부재를 보여주는 도면이다.
도 7은 본 발명에 따른 자동 광학 검사 시스템에서 평판 형태의 지지유닛을 갖는 촬영부재를 보여주는 도면이다.
도 8은 본 발명에서 인쇄회로기판 유닛을 개별적으로 촬영할 수 있는 촬영부재를 보여주는 도면이다.
도 9는 본 발명에 따른 자동 광학 검사 시스템에서 검사대상물에 반사광을 제공하는 촬영부재를 보여주는 도면이다.
도 10은 본 발명에 따른 자동 광학 검사 시스템에서 이동 가능한 촬영부재를 보여주는 도면이다.
도 11은 검사대상물이 이송되는 과정에서 발생되는 굴곡 현상을 설명하기 위한 도면이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 *
102 : 권출부
106 : 권취부
110 : 비젼 검사부
120 : 촬영부재
122 : 촬영유닛
124 : 조명유닛
130 : 지지유닛
본 발명은 자동 광학 검사 시스템에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 플렉시블 인쇄회로기판 유닛들이 연속적으로 형성된 필름 또는 테이프 형태의 검사대상물 외관을 광학적인 방식을 이용하여 자동 검사하는 자동 광학 검사 시스템에 관한 것이다.
기존의 필름 또는 테이프 형태의 인쇄회로 기판의 광학 검사에서 연속적으로 필름을 반송시키며 초점이 잘 맞는 이미지는 안정된 검사를 실시함에 있어 필수적인 요소이다. 하지만, 최근에는 이러한 필름, 테이프 형태 기판이 점점 미세화됨 으로써 이미지 센서의 고해상도는 필수 불가결한 요소가 되었다, 하지만 이러한 고해상도 이미지 센서를 통하여 안정된 이미지를 얻기 위하여 사용되는 렌즈가 시야가 좁아짐에 따라 초점 심도의 범위가 점점 얇아져 가고 있고, 필름, 테이프 형태의 인쇄회로기판 또한 얇아지고 있어 연속된 반송에 있어서 구겨짐에 의한 초점이 틀어지는 원인이 되고 있다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 안정된 초점을 가지는 이미지를 얻을 수 있는 새로운 형태의 자동 광학 검사 시스템을 제공하는데 있다.
본 발명의 목적은 안정된 필름 평탄도를 제공할 수 있는 새로운 형태의 자동 광학 검사 시스템을 제공하는데 있다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 특징에 의하면, 자동 광학 검사 장치는 상기 인쇄회로기판을 촬영하는 촬영유닛; 상기 인쇄회로기판의 촬영영역으로 광을 조사하는 조명유닛; 및 상기 인쇄회로기판의 촬영영역을 지지하는 지지유닛을 포함하되; 상기 지지유닛은 상기 인쇄회로기판의 촬영영역과 접촉이 이루어지고 상기 조명유닛의 광이 투과되는 투과부를 갖는다.
일 실시예에 따르면, 상기 지지유닛의 투과부는 상기 조명유닛과 상기 인쇄회로기판의 촬영영역 사이의 광 경로상에 위치된다.
일 실시예에 따르면, 상기 지지유닛의 투과부는 상기 인쇄회로기판의 촬영영 역의 밑면을 받쳐주면서 상기 인쇄회로기판의 이송에 따라 회전되는 롤러 형상이다.
일 실시예에 따르면, 상기 자동 광학 검사 장치는 상기 촬영유닛과 상기 조명 유닛 그리고 상기 지지유닛을 상기 인쇄회로기판의 반송 방향 또는 상기 인쇄회로기판의 반송 방향과 수직한 방향으로 전후 이동시키는 이동유닛을 더 포함한다.
일 실시예에 따르면, 상기 지지유닛의 투과부는 상기 인쇄회로기판의 촬영영역을 지지하도록 볼록한 면을 갖는다.
일 실시예에 따르면, 상기 지지유닛의 투과부는 내부공간을 갖는 롤러로 이루어지며, 상기 조명 유닛은 상기 투과부의 내부공간에 설치된다.
본 발명의 다른 특징에 의하면, 플렉시블 인쇄회로기판 유닛들이 연속적으로 형성된 검사대상물의 자동 광학 검사 시스템은 상기 검사대상물이 제공되는 권출부(loader); 상기 권출부로부터 제공되는 상기 검사대상물의 표면을 촬영하는 촬영부재; 검사를 마친 상기 검사대상물이 언로딩되는 귄취부(unloader)를 포함하되; 상기 촬영부재는 상기 검사대상물의 휨이나 늘어짐이 발생하지 않도록 상기 검사대상물의 촬영영역을 지지하는 지지유닛, 상기 지지유닛을 통해 상기 검사대상물의 촬영영역으로 광을 조사하는 조명유닛, 상기 조명유닛의 광이 조사되는 상기 검사대상물의 촬영영역을 촬영하는 카메라를 포함한다.
일 실시예에 따르면, 상기 지지유닛은 상기 검사대상물의 촬영영역과 접촉이 이루어지고 상기 조명유닛의 광이 투과되는 투과부를 갖는다.
일 실시예에 따르면, 상기 지지유닛의 투과부는 상기 검사대상물의 이송에 따라 회전되는 롤러 형상이다.
일 실시예에 따르면, 상기 지지유닛의 투과부는 상기 검사대상물의 촬영영역을 지지하도록 볼록한 면을 갖는다.
일 실시예에 따르면, 상기 지지유닛의 투과부는 상기 인쇄회로기판의 이송에 따라 회전되는 롤러로 이루어지며, 상기 투과부는 내부에 상기 조명유닛이 설치되는 내부공간을 갖는다.
본 발명의 다른 특징에 의하면, 플렉시블 인쇄회로기판 유닛들이 연속적으로 형성된 검사대상물을 광학적인 방식을 이용하여 자동 검사하는 방법은 지지유닛이 검사대상물의 촬영영역을 지지한 상태에서 조명유닛의 투과되는 광이 상기 검사대상물의 촬영영역으로 조사되면 검사대상물의 촬영영역 상부에 위치된 카메라가 검사대상물의 촬영영역을 촬영하되, 상기 조명유닛의 투과되는 광은 상기 지지유닛을 투과하여 상기 검사대상물의 촬영영역으로 조사된다.
예컨대, 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어져서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.
본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 1 내지 도 11에 의거하여 상세히 설명한다. 또, 상기 도면들에서 동일한 기능을 수행하는 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 번호를 병기한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 자동 광학 검사 시스템의 주요 구성을 보여주는 도면이다. 도 2 및 도 3은 비젼 검사부의 촬영부재를 설명하기 위한 도면이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 자동 광학 검사 시스템(100)은 플렉시블 인쇄회로기판 유닛들이 연속적으로 형성된 필름(film), 테이프(tape) 타입 등의 검사대상물(10)을 라인스캔 카메라들 등을 이용하여 자동 검사하는 시스템이다.
첨부도면 도 1에서 표시된 '->' 부호는 상기 검사 대상물의 이동 경로를 나타낸 것이다.
도 1을 참조하면, 자동 광학 검사 시스템(100)은 권출부(feed roller, loader;102), 비젼 검사부(110) 그리고 권취부(winding roller, unloader;106)로 크게 이루어진다.
권출부(102)에는 검사대상물(10)이 릴(104)에 감겨져 있으며, 권출부(102)로부터 송출된 검사 대상물(10)은 안내롤러(105)들을 거쳐 비젼 검사부(110)로 공급된다. 검사 대상물(10)은 비젼 검사부(110)를 통과한 후 권취부(106)의 릴(108)에 감겨진다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 비젼 검사부(110)는 검사대상물(10)의 검사영역(또는 촬상영역)을 촬영하는 촬영부재(120)와 영상 처리부(140)를 포함한다. 여기서, 검사대상물의 촬영영역이라 함은 최소한 촬영부재에 의해 촬영되는 영역을 포함할 수 있는 그리고 지지유닛에 접촉되는 영역을 포함한다.
우선, 영상 처리부(140)는 전형적인 컴퓨터 시스템으로 구비되어, 자동 광학 검사에 따른 제반 동작을 제어 처리하게 된다. 영상 처리부(140)는 촬영유닛으로부터 영상 데이터를 받아서 검사대상물이 양호한지 불량하지를 판별하게 된다.
촬영부재(120)는 촬영유닛(122), 조명유닛(124) 그리고 지지유닛(130)을 포함한다. 촬영유닛(122)은 CCD 라인센서와 같은 이미지 센서와 렌즈(미도시됨)를 갖는 CCD 카메라로써, 검사대상물(10)의 표면(패턴 등)을 촬영하여 검사대상물(10)에 대한 영상 데이터를 획득하게 된다. 이렇게 획득된 영상 데이터는 영상 처리부(140)로 제공된다. 예컨대, 촬영유닛(122)은 에어리어 카메라가 사용될 수 있으며, 비젼 검사부(110)에는 추후 검사 대상물의 검사 조건 및 사용자의 요구사항에 따라 촬영부재가 추가로 설치될 수 있다.
조명유닛(124)은 지지유닛(130)의 아래(검사대상물의 촬영영역 아래)에 배치된다. 이 조명유닛(124)은 검사대상물(10)의 촬영영역에 대한 영상 데이터를 획득하기 위한 광을 출력하게 된다. 조명유닛(124)의 광원(124a)으로는 선형 배열된 다수의 발광다이오드, 선형튜브 형광램프, 할로겐, 메탈할라이드 등이 사용될 수 있으며, 이러한 광원 상부에는 광의 균일도를 높이기 위한 확산판(124b)이 설치될 수 있다. 예컨대, 조명유닛(124)은 검사하고자 하는 항목의 특성 또는 광의 특성 등에 따라 지지유닛의 측면, 반사광을 제공하기 위한 촬영영역의 상부에 배치될 수 있다. 도 9에서와 같이, 조명유닛(124)은 검사대상물(10)에 반사광을 제공하기 위하여 검사대상물(10)의 상부에 배치될 수 있다.
본 발명에서 가장 중요한 구성요소인 지지유닛(130)은 검사대상물(10)의 촬영영역이 굴곡, 휨, 늘어짐으로 인한 왜곡 현상을 최소화하기 위한 것으로써, 검사 대상물(10)의 촬영영역과 직접적으로 접촉이 이루어지고 조명유닛(124)의 광이 투과되는 롤러 형상의 투과부(132)와, 투과부(132)의 양단을 회전가능하게 지지하는 지지축(134)을 포함한다. 투과부(132)는 검사대상물(10)의 촬영영역 밑면을 받쳐주고, 검사대상물(10)의 이송에 따라 회전된다. 미설명부호 131은 베어링이다. 도면에서와 같이, 지지유닛(130)의 투과부(132)는 조명유닛(124)과 검사대상물(10)의 촬영영역 사이의 광 경로상에 위치되며, 조명유닛(124)에서 광이 퍼져나가는 성분들을 모으는 역할도 한다. 예컨대, 지지유닛(130)의 투과부(132)는 아크릴수지, 폴리카보네이트수지, 비정성 폴리올레핀수지 등의 반투명/투명수지, 유리 등의 무기투명재료 또는 그들의 복합체가 사용될 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 자동 광학 검사 장치(100)는 검사대상물(10)의 촬영영역이 지지유닛(130)의 투과부(132)에 의해 지지되고, 조명유닛(124)의 광이 지지유닛의 투과부(132)를 통해 검사대상물(10)의 촬영영역으로 조사된다는데 그 구조적인 특징이 있는 것이다. 이러한 구조적인 특징에 의하면, 검사대상물(10)의 촬영영역에 대한 굴곡, 휨, 늘어짐으로 인한 왜곡 현상이 방지되어 안정된 초점을 가지는 투과 이미지를 얻을 수 있다. 하지만, 도 11에서와 같이 검사대상물(10)의 촬영영역이 롤러(20)에 의해 직접 지지되지 않는다면 검사대상물이 이송되는 과정에서 검사대상물(10)에 굴곡 현상이 발생될 수 있는 것이다. 이러한 검사 대상물의 굴곡 현상은 초점이 안정적으로 맺히는 범위(초점심도)를 벗어나게 되어 불안정된 초점을 가지는 이미지를 얻게 된다.
도 4 및 도 5는 본 발명에 따른 자동 광학 검사 시스템에서 조명유닛이 지지 유닛 내부에 설치된 촬영부재를 보여주는 도면들이다.
도 4 및 도 5에서와 같이, 지지유닛(130a)은 내부공간(136)을 갖는 롤러 형상의 투과부(132a)를 갖으며, 그 투과부(132a)의 내부공간(136)에는 조명유닛(124)이 설치된다. 이처럼, 도 4 및 도 5에 도시된 촬영부재(120a)는 지지유닛(130a)의 투과부(132a)가 조명유닛(124)이 설치될 수 있는 충분한 내부공간(136)을 갖는데 그 구조적인 특징이 있는 것이다. 이러한 구조적인 특징에 의하면, 조명유닛(124)의 광이 검사대상물(10)의 촬영영역까지 도달되는 시간 및 거리를 단축시킬 수 있을 뿐만 아니라 조명유닛(124)의 광이 통과하는 투과부(132a)의 두께를 현저하게 줄일 수 있어 광의 손실을 줄이고 광의 세기 조절할 수 있는 것이다.
도 6은 본 발명에 따른 자동 광학 검사 시스템에서 3개의 조명 유닛이 지지유닛의 내부에 설치된 촬영부재를 보여주는 도면이다.
도 6에 도시된 촬영부재(120b)는 지지유닛(130b)의 투과부(132b)가 앞에서 도시한 투과부(132a)(132)에 비해 상대적으로 큰 직경과 내부 공간을 갖으며, 투과부(132b)의 내부공간(136)에는 3개의 조명유닛(124)이 배치되고, 그 투과부(132b)의 외부에는 3개의 촬영유닛(122)이 배치된다. 이처럼, 지지유닛(130b)의 투과부(132b)는 내부에 다수의 조명유닛(124)들이 설치될 수 있다.
예컨대, 지지유닛의 투과부는 롤러 형태 이외에 다양한 형태로도 제작될 수 있다. 도 7에는 평판 형태의 지지유닛을 갖는 촬영부재(120c)가 도시되어 있다. 도 7에서와 같이, 촬영부재의 지지유닛(130c)은 검사대상물(10)의 촬영영역을 지지하도록 볼록한 면(137)을 갖는 평판 형태의 투과부(132c)를 갖는다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 자동 광학 검사 시스템(100)은 플렉시블 인쇄회로기판 유닛들이 연속적으로 형성된 필름(film), 테이프(tape) 타입 뿐 만 아니라 개별적인 플렉시블 인쇄회로기판 유닛(12)을 검사할 수 있다.
도 8에 도시된 바와 같이, 플렉시블 인쇄회로기판 유닛(12)이 올려지는 지지유닛(130d)과, 지지유닛(130d) 하부에서 광을 조사하는 조명유닛(124) 그리고 지지유닛(130d) 상부에서 촬영하는 촬영유닛(122)을 포함한다. 여기서 지지유닛(130d)은 인쇄회로기판 유닛(12)의 촬영영역을 지지하고, 광이 투과될 수 있도록 투명한 투과부(132d)를 가질 수 있다.
본 발명의 자동 광학 검사 시스템에서 검사대상물(10)은 연속적으로 이동되는 것이 아니라 일정 거리(L)만큼 이동된 후 정지하는 스탭바이스탭(Step by Step)으로 이동될 수 있다. 이 경우 비젼 검사부(110)에서는 검사대상물(10)이 일시적으로 정지되어 있는 시간동안 검사대상물(10)에 대한 촬영 작업들이 진행될 수 있다. 이에 대한 설명은 도 10을 참조하면서 자세히 다루기로 한다.
도 10을 참조하면, 촬상부재(120)는 검사대상물의 촬영영역을 지지하는 지지유닛(130)과, 촬영유닛(122), 검사대상물(10)의 촬영영역으로 광을 조사하는 조명유닛(124) 그리고 이들을 L거리 만큼 동시에 이동시키기 위한 이동부(128)를 포함한다.
촬상부재(120)의 지지유닛(130), 촬영유닛(122), 조명 유닛(124)은 이동유닛(128)에 의해 전후 방향(플렉시블 인쇄회로기판 유닛의 길이방향, 도면에서 화살표로 표시된 방향)으로 함께 이동된다. 여기서 이동유닛(128)은 유압을 이용한 실 린더 방식 또는 모터, 볼스크류 그리고 이송너트를 이용한 다양한 방식이 사용될 수 있다. 예컨대, 촬상부재의 지지유닛, 촬영유닛(122), 조명 유닛(124)은 이동유닛(128)에 의해 좌우 방향으로도 이동될 수 있다. 이러한 구조를 갖는 촬영부재(120)는 촬영유닛(122), 조명유닛(124) 그리고 지지유닛(130)이 L거리만큼 후진 이동 및 전진 이동하면서 적어도 1번 촬상하게 된다.
한편, 본 발명은 상기의 구성으로 이루어진 자동 광학 검사 시스템에서 다양하게 변형될 수 있고 여러 가지 형태를 취할 수 있다. 하지만, 본 발명은 상기의 상세한 설명에서 언급되는 특별한 형태로 한정되는 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 오히려 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 자동 광학 검사 시스템은 검사대상물의 촬영영역에 대한 굴곡, 휨, 늘어짐으로 인한 왜곡 현상이 방지할 수 있다. 본 발명의 자동 광학 검사 시스템은 안정된 초점을 가지는 투과 이미지를 얻을 수 있다. 본 발명의 자동 광학 검사 시스템은 검사대상물에 대해 보다 높은 검사 품질을 얻을 수 있다.

Claims (12)

  1. 인쇄회로기판을 광학적으로 검사하는 자동 광학 검사 장치에 있어서:
    상기 인쇄회로기판을 촬영하는 촬영유닛;
    상기 인쇄회로기판의 촬영영역으로 광을 조사하는 조명유닛; 및
    상기 인쇄회로기판의 촬영영역을 지지하는 지지유닛을 포함하되;
    상기 지지유닛은 상기 인쇄회로기판의 촬영영역과 접촉이 이루어지고 상기 조명유닛의 광이 투과되는 투과부를 포함하고,
    상기 지지유닛의 투과부는 내부공간을 갖는 롤러로 이루어지며,
    상기 조명 유닛은 상기 투과부의 내부공간에 설치되는 것을 특징으로 하는 자동 광학 검사 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 지지유닛의 투과부는 상기 조명유닛과 상기 인쇄회로기판의 촬영영역 사이의 광 경로상에 위치되는 것을 특징으로 하는 자동 광학 검사 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 지지유닛의 투과부는 상기 인쇄회로기판의 촬영영역의 밑면을 받쳐주면서 상기 인쇄회로기판의 이송에 따라 회전되는 것을 특징으로 하는 자동 광학 검사 장치.
  4. 제1항 또는 제3항에 있어서,
    상기 자동 광학 검사 장치는
    상기 촬영유닛과 상기 조명 유닛 그리고 상기 지지유닛을 상기 인쇄회로기판의 반송 방향 또는 상기 인쇄회로기판의 반송 방향과 수직한 방향으로 전후 이동시키는 이동유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자동 광학 검사 장치.
  5. 제1항 또는 제3항에 있어서,
    상기 지지유닛의 투과부는 상기 인쇄회로기판의 촬영영역을 지지하도록 볼록한 면을 갖는 것을 특징으로 하는 자동 광학 검사 장치.
  6. 삭제
  7. 플렉시블 인쇄회로기판 유닛들이 연속적으로 형성된 검사대상물의 자동 광학 검사 시스템에 있어서:
    상기 검사대상물이 제공되는 권출부(loader);
    상기 권출부로부터 제공되는 상기 검사대상물의 표면을 촬영하는 촬영부재;
    검사를 마친 상기 검사대상물이 언로딩되는 귄취부(unloader)를 포함하되;
    상기 촬영부재는
    상기 검사대상물의 휨이나 늘어짐이 발생하지 않도록 상기 검사대상물의 촬영영역을 지지하는 지지유닛,
    상기 지지유닛을 통해 상기 검사대상물의 촬영영역으로 광을 조사하는 조명유닛,
    상기 조명유닛의 광이 조사되는 상기 검사대상물의 촬영영역을 촬영하는 카메라를 포함하며,
    상기 지지유닛의 투과부는 상기 인쇄회로기판의 이송에 따라 회전되는 롤러로 이루어지고,
    상기 투과부는 내부에 상기 조명유닛이 설치되는 내부공간을 갖는 것을 특징으로 하는 자동 광학 검사 시스템.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 지지유닛은 상기 검사대상물의 촬영영역과 접촉이 이루어지고 상기 조명유닛의 광이 투과되는 투과부를 갖는 것을 특징으로 자동 광학 검사 시스템.
  9. 삭제
  10. 제8항에 있어서,
    상기 지지유닛의 투과부는 상기 검사대상물의 촬영영역을 지지하도록 볼록한 면을 갖는 것을 특징으로 하는 자동 광학 검사 시스템.
  11. 삭제
  12. 삭제
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Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101256510B1 (ko) 2009-12-21 2013-05-02 주식회사 포스코 강판의 광택도 측정장치
KR101311981B1 (ko) * 2011-12-30 2013-09-30 엘아이지에이디피 주식회사 평판 디스플레이 패널 검사 장치 및 방법
KR20160060839A (ko) * 2014-11-20 2016-05-31 엘지디스플레이 주식회사 필름의 인장 검사장치
KR20200097516A (ko) * 2019-02-08 2020-08-19 주식회사 엘지화학 광학필름 결함 검출 시스템 및 광학필름 결함 검출 방법
KR20210012195A (ko) * 2019-07-24 2021-02-03 세메스 주식회사 약액토출 상태 검사 유닛
KR102267705B1 (ko) * 2020-09-17 2021-06-22 주식회사 티에스아이코리아 칩 온 필름 검사장치
KR102409833B1 (ko) 2021-10-26 2022-06-22 거산산업주식회사 Aoi 자동화 시스템 및 방법
KR102462820B1 (ko) 2022-01-21 2022-11-04 거산산업주식회사 피시비라인의 피시비 양방향 제어방법 및 시스템
KR20230066763A (ko) * 2021-11-08 2023-05-16 주식회사 티엔에스솔루션 롤투롤 플렉시블 기판 검사 모니터링 시스템
KR20230066762A (ko) * 2021-11-08 2023-05-16 주식회사 티엔에스솔루션 롤투롤 플렉시블 기판 검사 장치

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI438448B (zh) * 2008-05-02 2014-05-21 Utechzone Co Ltd Tape and Reel Detection Equipment
CN101576594B (zh) * 2008-05-06 2011-05-04 大元科技股份有限公司 自动光学检查设备及其光源模块
JP2010107408A (ja) * 2008-10-31 2010-05-13 Sumitomo Metal Mining Co Ltd 被検体の照明装置及びそれを用いた検査装置
JP2011220949A (ja) * 2010-04-14 2011-11-04 Nec Corp 撮影検査システムおよび撮影検査方法
JP5646922B2 (ja) * 2010-09-03 2014-12-24 株式会社トプコン 検査装置
CN102095737B (zh) * 2010-12-23 2012-09-05 东莞市升力智能科技有限公司 一种单工作台挠性印制电路表面缺陷自动检测机
CN103558226B (zh) * 2013-11-15 2016-01-20 深圳市凯柏精密技术有限公司 用于柔性片材的滚筒式检测装置
CN103925911B (zh) * 2014-04-23 2016-01-06 杭州师范大学 柔性线路板校正台的参照目标检测方法
CN105806848B (zh) * 2014-12-31 2019-06-07 技嘉科技股份有限公司 印刷电路板装配检测系统及其检测方法
JP6204416B2 (ja) * 2015-07-17 2017-09-27 住友化学株式会社 フィルム検査装置、フィルム検査方法、およびフィルム製造方法
CN105572128A (zh) * 2015-12-07 2016-05-11 凌云光技术集团有限责任公司 一种线路板检测系统
US20180372650A1 (en) * 2016-01-15 2018-12-27 Applied Materials, Inc. Optical inspection system, processing system for processing of a material on a flexible substrate, and methods of inspecting a flexible substrate
CN105738381B (zh) * 2016-02-17 2018-05-04 苏州禾弘电子科技有限公司 柔性线路板用柔性基材的检测装置
CN110031479A (zh) * 2019-04-23 2019-07-19 上海紫江新材料科技股份有限公司 一种锂离子电池用铝塑膜的检品装置
CN111208141A (zh) * 2020-01-13 2020-05-29 清华大学 一种适用于工业生产的微视觉布料结构探伤装置
CN112730462B (zh) * 2021-03-30 2021-10-26 四川英创力电子科技股份有限公司 印制电路板蚀刻装置、蚀刻残留检测装置和方法
CN117516427B (zh) * 2024-01-05 2024-03-08 山东建研检测检验科技有限公司 一种建筑材料平整度检测装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6456575A (en) * 1987-08-28 1989-03-03 Minolta Camera Kk Laser recorder
JPH02297007A (ja) * 1989-05-11 1990-12-07 Musashino Kikai Sekkei Jimusho:Kk 被験体の厚さ測定方法
JPH07143396A (ja) * 1993-11-16 1995-06-02 Fuji Photo Film Co Ltd フイルム画像入力装置
KR20060097250A (ko) * 2005-03-04 2006-09-14 아주하이텍(주) 자동 광학 검사 시스템 및 방법

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11211666A (ja) * 1998-01-26 1999-08-06 Kokusai Gijutsu Kaihatsu Kk 光学検査装置
JP2000266637A (ja) * 1999-03-18 2000-09-29 Olympus Optical Co Ltd 基板検査用追従装置
JP2001273540A (ja) * 2000-03-23 2001-10-05 Toshiba Corp 紙葉類検査装置
US6950547B2 (en) * 2001-02-12 2005-09-27 3M Innovative Properties Company Web inspection method and device
JP2004157030A (ja) * 2002-11-07 2004-06-03 Fuji Photo Film Co Ltd テープ幅測定装置及びテープ幅測定方法
JP3716413B2 (ja) * 2003-06-13 2005-11-16 三井金属鉱業株式会社 電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置および検査方法
JP2005003645A (ja) * 2003-06-16 2005-01-06 Inspeck Kk パターン検査装置
JP2005201783A (ja) * 2004-01-16 2005-07-28 Sumitomo Chemical Co Ltd 枚葉フィルムの欠陥検査装置
JP3108432U (ja) * 2004-10-27 2005-04-14 由田新技股▲ふん▼有限公司 ロール式フレキシブル基板用全自動外観検査器の連続撮像装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6456575A (en) * 1987-08-28 1989-03-03 Minolta Camera Kk Laser recorder
JPH02297007A (ja) * 1989-05-11 1990-12-07 Musashino Kikai Sekkei Jimusho:Kk 被験体の厚さ測定方法
JPH07143396A (ja) * 1993-11-16 1995-06-02 Fuji Photo Film Co Ltd フイルム画像入力装置
KR20060097250A (ko) * 2005-03-04 2006-09-14 아주하이텍(주) 자동 광학 검사 시스템 및 방법

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101256510B1 (ko) 2009-12-21 2013-05-02 주식회사 포스코 강판의 광택도 측정장치
KR101311981B1 (ko) * 2011-12-30 2013-09-30 엘아이지에이디피 주식회사 평판 디스플레이 패널 검사 장치 및 방법
KR102257517B1 (ko) * 2014-11-20 2021-05-28 엘지디스플레이 주식회사 필름의 인장 검사장치
KR20160060839A (ko) * 2014-11-20 2016-05-31 엘지디스플레이 주식회사 필름의 인장 검사장치
KR20200097516A (ko) * 2019-02-08 2020-08-19 주식회사 엘지화학 광학필름 결함 검출 시스템 및 광학필름 결함 검출 방법
KR102696996B1 (ko) * 2019-02-08 2024-08-19 산진 옵토일렉트로닉스 (난징) 컴퍼니 리미티드 광학필름 결함 검출 시스템
KR102216332B1 (ko) * 2019-07-24 2021-02-16 세메스 주식회사 약액토출 상태 검사 유닛
KR20210012195A (ko) * 2019-07-24 2021-02-03 세메스 주식회사 약액토출 상태 검사 유닛
KR102267705B1 (ko) * 2020-09-17 2021-06-22 주식회사 티에스아이코리아 칩 온 필름 검사장치
KR102409833B1 (ko) 2021-10-26 2022-06-22 거산산업주식회사 Aoi 자동화 시스템 및 방법
KR20230066763A (ko) * 2021-11-08 2023-05-16 주식회사 티엔에스솔루션 롤투롤 플렉시블 기판 검사 모니터링 시스템
KR20230066762A (ko) * 2021-11-08 2023-05-16 주식회사 티엔에스솔루션 롤투롤 플렉시블 기판 검사 장치
KR102643866B1 (ko) * 2021-11-08 2024-03-07 주식회사 티엔에스솔루션 롤투롤 플렉시블 기판 검사 모니터링 시스템
KR102643864B1 (ko) * 2021-11-08 2024-03-07 주식회사 티엔에스솔루션 롤투롤 플렉시블 기판 검사 장치
KR102462820B1 (ko) 2022-01-21 2022-11-04 거산산업주식회사 피시비라인의 피시비 양방향 제어방법 및 시스템

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Publication number Publication date
JP2007322424A (ja) 2007-12-13
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CN101082490B (zh) 2010-12-22

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