JP2010107408A - 被検体の照明装置及びそれを用いた検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】撮像対象物3を載置し得る表面を有する所定長さの透明な円筒ローラー2又は円柱ローラー8と、該円筒ローラー2又は円柱ローラー8の撮像対象物3を載置する側とは直径方向反対側において該円筒ローラー2又は円柱ローラー8に近接配置された光源装置4とを備えている。
【選択図】図1
Description
このように、表面欠陥検査では表側を明るくする必要があり、ピンホール検査では表側を暗くする必要があるので、表側照明装置と裏側照明装置を照明が干渉することのないように別々に設置する必要があり、また、検査装置も表面欠陥検査用とピンホール検査用を別々に設ける必要であるため、装置全体が大型化すると共に高価になるという問題があった。
実施例1
図1は本発明に係る照明装置を用いた検査装置の第一実施例の基本構成を示す斜視図である。図中、1は装置本体に取り付けられた撮像手段としてのラインカメラ、 2は図示しない適宜の支持装置により回転可能に支持された透明な円筒ローラー、3は円筒ローラー2を抱くように転接されて図示しない繰出しリールより繰出され図示しない巻取りリールに巻き取られて矢印方向へ搬送され得る帯状の撮像対象物、4は円筒ローラー2の下側即ち円筒ローラー2の撮像対象物3を載置する側とは直径方向反対側下方に近接配置された図4に示された如きライン型光ファイバを用いた光源装置、5,6は円筒ローラー2の上方に配置されていて円筒ローラー2と撮像対象物3との転接領域を照明する光源装置4と同様に構成された一対のライン型照明装置である。なお、光源装置4及び照明装置5,6の光源としては、高速に切り換え可能なLEDが使用された。
図3は本発明に係る照明装置を用いた検査装置の第二実施例の基本構成を示す側面図である。この実施例は、透明な円筒ローラーに替えて中実の円柱ローラー8を使用している点で、第一実施例と異なる。従って、図中、第一実施例と実質上同一の部材には同一符号を用い、それらについての説明は省略する。本実施例では、ローラーの加工が表面だけで済み、容易に入手できるという利点がある。
2 円筒ローラー
3 帯状撮像対象物
4 ライン状光源装置
5,6 ライン型照明装置
7 シリンドリカルレンズ
8 円柱ローラー
Claims (8)
- 撮像対象物を載置し得る表面を有する所定長さの透明な円筒ローラー又は円柱ローラーと、該円筒ローラー又は円柱ローラーの撮像対象物を載置する側とは直径方向反対側において該円筒ローラー又は円柱ローラーに近接配置された光源装置とを備えた照明装置。
- 前記光源装置は、前記円筒ローラー又は円柱ローラーの長さ方向に延びたライン状光源を含んでいる請求項1に記載の照明装置。
- 前記光源装置は、前記円筒ローラーと前記ライン状光源との間に配置されていて、前記円筒ローラーの撮像対象物載置面に前記光源からの光を集光させ得るシリンドリカルレンズを含んでいる請求項2に記載の照明装置。
- 撮像対象物を載置し得る表面を有する所定長さの透明な円筒ローラーと、該円筒ローラー内に封入されたガス放電装置とを備えた照明装置。
- 撮像対象物を載置し得る表面を有する所定長さの透明な円筒ローラーと、該円筒ローラーの内壁に塗布された蛍光発光体とを備えた照明装置。
- 請求項1乃至5の何れかに記載の照明装置と、前記照明装置の透明な円筒ローラー又は円柱ローラーの撮像対象物載置面の上方に配置されたラインカメラとを備えた検査装置。
- 撮像対象物載置面を照明し得る前記円筒ローラー又は円柱ローラーの長さ方向に延びた第2のライン状光源を備えた請求項6に記載の検査装置。
- 帯状の透明な撮像対象物で前記円筒ローラー又は円柱ローラー表面を抱かせ、前記撮像対象物を前記ラインカメラにより1ライン撮像する毎に前記撮像対象物の裏面と表面への照明を切り換えて二種類の検査画面を得つつ、前記裏面の照明で検出される欠陥と前記表面の照明で検出される欠陥の相互の位置関係を求めることができるようにした請求項7に記載の検査装置。
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2008
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