KR100751745B1 - 메모리 셀 커패시터 구조에서 메모리 셀 커패시터 판을형성하는 방법 - Google Patents
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- 239000003990 capacitor Substances 0.000 title claims abstract description 133
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 66
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims abstract description 33
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 claims abstract description 32
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims abstract description 27
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 27
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 26
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 19
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 39
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 10
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 7
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 6
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 claims description 5
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims description 5
- 230000006870 function Effects 0.000 claims description 5
- 238000011282 treatment Methods 0.000 claims description 5
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 4
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 claims description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 4
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 4
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 3
- HTXDPTMKBJXEOW-UHFFFAOYSA-N dioxoiridium Chemical compound O=[Ir]=O HTXDPTMKBJXEOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910000457 iridium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910001925 ruthenium oxide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- WOCIAKWEIIZHES-UHFFFAOYSA-N ruthenium(iv) oxide Chemical compound O=[Ru]=O WOCIAKWEIIZHES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 3
- NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N Titanium nitride Chemical compound [Ti]#N NRTOMJZYCJJWKI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 2
- 239000008393 encapsulating agent Substances 0.000 claims 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 95
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 48
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 21
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 9
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 4
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 3
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- -1 Platinum ions Chemical class 0.000 description 2
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 2
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 238000000623 plasma-assisted chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 241000282465 Canis Species 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 1
- 231100000614 poison Toxicity 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 231100000331 toxic Toxicity 0.000 description 1
- 230000002588 toxic effect Effects 0.000 description 1
- 239000003440 toxic substance Substances 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 description 1
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10B—ELECTRONIC MEMORY DEVICES
- H10B12/00—Dynamic random access memory [DRAM] devices
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L28/00—Passive two-terminal components without a potential-jump or surface barrier for integrated circuits; Details thereof; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L28/40—Capacitors
- H01L28/60—Electrodes
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/71—Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
- H01L21/768—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics
- H01L21/76838—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics characterised by the formation and the after-treatment of the conductors
- H01L21/76885—By forming conductive members before deposition of protective insulating material, e.g. pillars, studs
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- H—ELECTRICITY
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/77—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate
- H01L21/78—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices
- H01L21/82—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices to produce devices, e.g. integrated circuits, each consisting of a plurality of components
- H01L21/822—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices to produce devices, e.g. integrated circuits, each consisting of a plurality of components the substrate being a semiconductor, using silicon technology
- H01L21/8232—Field-effect technology
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- H—ELECTRICITY
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- H01L28/00—Passive two-terminal components without a potential-jump or surface barrier for integrated circuits; Details thereof; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L28/40—Capacitors
- H01L28/55—Capacitors with a dielectric comprising a perovskite structure material
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Semiconductor Memories (AREA)
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Abstract
Description
Claims (33)
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- 제 1 커패시터 판을 형성하는 단계로서,희생층을 증착하는 단계,상기 희생층에 개구부를 형성하는 단계,상기 희생층의 상면에, 산소에 노출된 직후 전도성을 거의 유지하는 전도체를 포함하는 전극재료층을 증착하고 적어도 부분적으로 상기 개구부를 채우는 단계,적어도 상기 희생층 상면의 높이까지 상기 전극재료층 부분을 제거하여 상기 메모리 셀 커패시터 판의 상면을 형성하는 단계, 및상기 희생층을 제거하는 단계를 포함하는 메모리 셀 커패시터 판을 형성하는 방법을 사용하여 제 1 커패시터 판을 형성하는 단계,상기 제 1 커패시터 판 상에 축적소자를 형성하는 단계,상기 축적소자 상에 제 2 커패시터 판을 형성하는 단계를 포함하여 구성되며,상기 축적소자는 상기 메모리 셀 커패시터 판을 형성하는 방법에 의해 형성되고, 상기 메모리 셀 커패시터 판은 상기 축적소자에 의해 대체되고, 상기 전극재료층은 유전체층으로 대체되고, 상기 축적소자는 상기 제 1커패시터 판과 전기적 접촉을 유지하는 것을 특징으로 하는 메모리 셀 커패시터를 형성하는 방법.
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- 제 2 항에 있어서,상기 축적소자는 강유전체를 포함하는 것을 특징으로 하는 메모리 셀 커패시터를 형성하는 방법.
- 제 1 커패시터 판을 형성하는 단계로서,희생층을 증착하는 단계,상기 희생층에 개구부를 형성하는 단계,상기 희생층의 상면에, 산소에 노출된 직후 전도성을 거의 유지하는 전도체를 포함하는 전극재료층을 증착하고 적어도 부분적으로 상기 개구부를 채우는 단계,적어도 상기 희생층 상면의 높이까지 상기 전극재료층 부분을 제거하여 상기 메모리 셀 커패시터 판의 상면을 형성하는 단계, 및상기 희생층을 제거하는 단계를 포함하는 메모리 셀 커패시터 판을 형성하는 방법을 사용하여 제 1 커패시터 판을 형성하는 단계,상기 제 1 커패시터 판 상에 축적소자를 형성하는 단계,상기 축적소자 상에 제 2 커패시터 판을 형성하는 단계를 포함하여 구성되며,상기 제 2커패시터 판은 상기 메모리 셀 커패시터 판을 형성하는 방법에 의해 형성되고 상기 제 2커패시터 판의 형성에서 상기 축적소자와 전기적 접촉을 유지하는 것을 특징으로 하는 메모리 셀 커패시터 판을 형성하는 방법.
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- 제 2 항에 있어서,상기 제 2커패시터 판은 루테늄, 루테늄산화물, 이리듐과 이리듐산화물 중 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 메모리 셀 커패시터 판을 형성하는 방법.
- 제 2 항에 있어서,상기 메모리 셀 커패시터 상에 캡슐재료층을 증착하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 메모리 셀 커패시터 판을 형성하는 방법.
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- 제 1희생층을 증착하는 단계와,상기 제 1희생층에 제 1개구부를 형성하는 단계와,상기 제 1희생층의 상면에, 산소에 노출된 직후 전도성을 유지하는 전도체를 포함하는 제 1전극재료층을 증착하고 적어도 부분적으로 상기 제 1개구부를 채우는 단계와,적어도 상기 제 1희생층 상면의 높이까지 상기 제 1전극재료층 부분을 제거하여 제 1메모리 셀 커패시터 판의 상면을 형성하는 단계와,제 2희생층을 증착하는 단계와,상기 제 2희생층에 제 2개구부를 형성하는 단계와,상기 제 2희생층의 상면에, 상기 제 1메모리 셀 커패시터 판과 전기적으로 접촉하는 유전체층을 증착하고 적어도 부분적으로 상기 제 2개구부를 채우는 단계와,적어도 상기 제 2희생층 상면의 높이까지 상기 유전체층의 부분을 제거하여 메모리 셀 커패시터 축적소자의 상면을 형성하는 단계와,상기 제 2희생층을 제거하는 단계와,상기 제 1희생층을 제거하는 단계와,상기 메모리 셀 커패시터 축적소자에 제 2메모리 셀 커패시터 판을 형성하는 단계를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 메모리 셀 커패시터 구조를 형성하는 방법.
- 제 16 항에 있어서,항산소인 상기 전도체는 루테늄, 루테늄산화물, 이리듐과 이리듐산화물 중 어느 하나이고, 상기 유전체층은 강유전체를 포함하는 것을 특징으로 하는 메모리 셀 커패시터 구조를 형성하는 방법.
- 제 16 항에 있어서,상기 제 2메모리 셀 커패시터 판은 상기 메모리 셀 커패시터 축적소자에 제 2전극재료층을 균일하게 증착함으로써 형성되고 상기 제 2전극재료층은 항산소 전도체를 포함하는 것을 특징으로 하는 메모리 셀 커패시터 구조를 형성하는 방법.
- 제 16 항에 있어서,상기 제 1 및 제 2희생층의 제거 전에 수행되는 상기 제 2메모리 셀 커패시터 판의 형성단계는,제 3희생층을 증착하는 단계와,상기 제 3희생층에 제 3개구부를 형성하는 단계와,상기 제 3희생층의 상면에, 산소에 노출된 직후 전도성을 유지하는 전도체를 포함하고 상기 메모리 셀 커패시터 축적소자와 전기적 접촉하는 제 2전극재료층을 증착하고 적어도 부분적으로 상기 제 3개구부를 채우는 단계와,적어도 상기 제 3희생층 상면의 높이까지 상기 제 2전극재료층 부분을 제거하여 제 2메모리 셀 커패시터 판의 상면을 형성하는 단계와,상기 제 3희생층을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 메모리 셀 커패시터 구조를 형성하는 방법.
- 제 16항에 있어서,상기 제 1메모리 셀 커패시터 판의 상기 상면은 복수의 뾰족한 모서리를 갖 고 있고, 상기 제 1메모리 셀 커패시터 판의 상기 복수의 뾰족한 모서리를 둥글게 하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 메모리 셀 커패시터 구조를 형성하는 방법.
- 제 20 항에 있어서,상기 제 1메모리 셀 커패시터 판의 상기 복수의 뾰족한 모서리를 스퍼터링처리에 의해 둥글게 하는 것을 특징으로 하는 메모리 셀 커패시터 구조를 형성하는 방법.
- 제 20 항에 있어서,상기 제 1메모리 셀 커패시터 판의 상기 복수의 뾰족한 모서리를 플라즈마에칭처리에 의해 둥글게 하는 것을 특징으로 하는 메모리 셀 커패시터 구조를 형성하는 방법.
- 제 20항에 있어서,상기 제 1메모리 셀 커패시터 판의 상기 복수의 뾰족한 모서리를 둥글게 하는데 사용되는 처리는 상기 제 1희생층을 제거하는 데에도 수행되는 것을 특징으로 하는 메모리 셀 커패시터 구조를 형성하는 방법.
- 제 16 항에 있어서,상기 메모리 셀 커패시터 구조는 스마트카드(SmartCard)의 제작에 사용되는 것을 특징으로 하는 메모리 셀 커패시터 구조를 형성하는 방법.
- 제 16 항에 있어서,상기 메모리 셀 커패시터 구조는 DRAM의 제작에 사용되는 것을 특징으로 하는 메모리 셀 커패시터 구조를 형성하는 방법.
- 제 16 항에 있어서,상기 메모리 셀 커패시터 구조에 캡슐재료층을 증착하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 메모리 셀 커패시터 구조를 형성하는 방법.
- 제 16 항에 있어서,상기 메모리 셀 커패시터 구조는 서브스트레이트 위에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 메모리 셀 커패시터 구조를 형성하는 방법.
- 제 27 항에 있어서,상기 서브스트레이트 상에 경계층을 증착하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 메모리 셀 커패시터 판을 형성하는 방법.
- 제 28 항에 있어서,상기 경계층은 에칭방지층으로서의 기능을 갖는 것을 특징으로 하는 메모리 셀 커패시터 구조를 형성하는 방법.
- 제 28 항에 있어서,상기 경계층은 확산장벽층으로서의 기능을 갖는 것을 특징으로 하는 메모리 셀 커패시터 구조를 형성하는 방법.
- 제 28 항에 있어서,상기 경계층은 티타늄질화물과 실리콘질화물의 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 메모리 셀 커패시터 구조를 형성하는 방법.
- 제 16 항에 있어서,상기 전극재료층의 부분의 제거는 평면화처리에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 메모리 셀 커패시터 구조를 형성하는 방법.
- 제 32 항에 있어서,상기 평면화처리는 화학기계적 연마처리(CMP)인 것을 특징으로 하는 메모리 셀 커패시터 구조를 형성하는 방법.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US09/281,866 US6268260B1 (en) | 1999-03-31 | 1999-03-31 | Methods of forming memory cell capacitor plates in memory cell capacitor structures |
US09/281,866 | 1999-03-31 | ||
PCT/US2000/008638 WO2000059011A2 (en) | 1999-03-31 | 2000-03-30 | Memory cell capacitor plate |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020017012473A Division KR100751744B1 (ko) | 1999-03-31 | 2000-03-30 | 메모리 셀 커패시터 구조에서 메모리 셀 커패시터 판을형성하는 방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20060129099A KR20060129099A (ko) | 2006-12-14 |
KR100751745B1 true KR100751745B1 (ko) | 2007-08-27 |
Family
ID=23079096
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020017012473A KR100751744B1 (ko) | 1999-03-31 | 2000-03-30 | 메모리 셀 커패시터 구조에서 메모리 셀 커패시터 판을형성하는 방법 |
KR1020067022888A KR100751745B1 (ko) | 1999-03-31 | 2000-03-30 | 메모리 셀 커패시터 구조에서 메모리 셀 커패시터 판을형성하는 방법 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020017012473A KR100751744B1 (ko) | 1999-03-31 | 2000-03-30 | 메모리 셀 커패시터 구조에서 메모리 셀 커패시터 판을형성하는 방법 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6268260B1 (ko) |
JP (2) | JP5150022B2 (ko) |
KR (2) | KR100751744B1 (ko) |
WO (1) | WO2000059011A2 (ko) |
Families Citing this family (7)
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-
1999
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-
2000
- 2000-03-30 KR KR1020017012473A patent/KR100751744B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2000-03-30 WO PCT/US2000/008638 patent/WO2000059011A2/en active Application Filing
- 2000-03-30 JP JP2000608421A patent/JP5150022B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2000-03-30 KR KR1020067022888A patent/KR100751745B1/ko not_active IP Right Cessation
-
2012
- 2012-05-24 JP JP2012118381A patent/JP2012186499A/ja not_active Withdrawn
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KR20020003227A (ko) | 2002-01-10 |
WO2000059011A3 (en) | 2001-02-22 |
KR100751744B1 (ko) | 2007-08-24 |
KR20060129099A (ko) | 2006-12-14 |
JP2002540626A (ja) | 2002-11-26 |
JP2012186499A (ja) | 2012-09-27 |
JP5150022B2 (ja) | 2013-02-20 |
WO2000059011A2 (en) | 2000-10-05 |
US6268260B1 (en) | 2001-07-31 |
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Legal Events
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A107 | Divisional application of patent | ||
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
G170 | Re-publication after modification of scope of protection [patent] | ||
FPAY | Annual fee payment |
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FPAY | Annual fee payment |
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|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20140805 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150805 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160805 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170808 Year of fee payment: 11 |
|
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |