KR100715836B1 - Probe unit - Google Patents

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KR100715836B1
KR100715836B1 KR1020060100161A KR20060100161A KR100715836B1 KR 100715836 B1 KR100715836 B1 KR 100715836B1 KR 1020060100161 A KR1020060100161 A KR 1020060100161A KR 20060100161 A KR20060100161 A KR 20060100161A KR 100715836 B1 KR100715836 B1 KR 100715836B1
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황중연
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(주)피엘텍
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Abstract

본 발명은 평판 디스플레이 패널을 검사하는 프로브 유닛에 관한 것으로서, 슬릿이 일정 간격으로 복수개 형성된 프로브 블록과, 상기 슬릿의 각각에 겹쳐져서 삽입되는 복수개의 탐침 블레이드와, 상기 복수개의 겹쳐진 탐침 블레이드의 양쪽에 겹쳐져서 상기 슬릿에 삽입되는 블레이드 보강판과, 상기 복수개의 슬릿에 각각 삽입된 복수개의 탐침 블레이드와 보강판을 덮어서 상기 프로브 블록과 결합되는 커버 플레이트를 포함한다.The present invention relates to a probe unit for inspecting a flat panel display panel, comprising: a probe block in which a plurality of slits are formed at regular intervals, a plurality of probe blades inserted and inserted in each of the slits, and a plurality of overlapping probe blades And a blade reinforcement plate overlapping and inserted into the slit, and a cover plate covering the plurality of probe blades and reinforcement plates respectively inserted in the plurality of slits and coupled to the probe block.

Description

프로브 유닛{PROBE UNIT}Probe Unit {PROBE UNIT}

도 1은 종래의 프로브 장치를 개략적으로 나타낸 도면.1 is a schematic view of a conventional probe device.

도 2는 본 발명에 따른 프로브 유닛의 분해 사시도.2 is an exploded perspective view of a probe unit according to the present invention;

도 3은 본 발명에 따른 프로브 유닛의 프로브 블록에 탐침 블레이드 및 보강판이 삽입된 구성을 나타낸 측면도.Figure 3 is a side view showing a configuration in which the probe blade and the reinforcement plate is inserted into the probe block of the probe unit according to the present invention.

도 4는 본 발명에 적용되는 탐침 블레이드를 나타낸 도면.4 is a view showing a probe blade applied to the present invention.

도 5는 본 발명에 적용되는 보강판을 나타낸 도면.5 is a view showing a reinforcing plate applied to the present invention.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명** Explanation of symbols for main parts of drawings *

210 : 프로브 블록 220 : 슬릿210: probe block 220: slit

230 : 탐침 블레이드 240 : 보강판230: probe blade 240: reinforcement plate

250 : 커버 플레이트250: cover plate

본 발명은 프로브 유닛에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 엘시디(LCD) 및 피디피(PDP) 등과 같은 평판 디스플레이 패널의 불량여부를 검사하는 프로브 유닛에 관한 것이다. The present invention relates to a probe unit, and more particularly, to a probe unit for inspecting a defect of a flat panel display panel such as LCD and LCD.

일반적으로, 엘씨디(Liquid Crystal Panel : LCD) 및 피디피(Plasma Display Panel : PDP)와 같은 평판 디스플레이 패널은 노트북 컴퓨터 뿐만 아니라 대형 모니터 응용 제품으로도 개발되어 기존의 CRT(Cathode ray tube) 제품을 점진적으로 대체하고 있다.In general, flat panel displays such as Liquid Crystal Panel (LCD) and Plasma Display Panel (PDP) have been developed not only for notebook computers but also for large-scale monitor applications, gradually increasing existing CRT (Cathode ray tube) products. It is replacing.

이러한 평판 디스플레이 패널은 가장자리 부근에 패널을 구동하기 위한 수많은 접속단자를 구비하고 있으며, 이들 접속단자에 전기적 신호를 인가하여 화면의 불량여부를 검사 및 시험한다.Such a flat panel display panel includes a number of connection terminals for driving the panel near the edges, and an electrical signal is applied to these connection terminals to inspect and test for a defective screen.

예컨대, LCD 및 PDP와 같은 평판 디스플레이 패널의 불량여부를 검사하기 위한 장치로서 프로브 장치를 사용하고 있다.For example, a probe device is used as a device for inspecting whether a flat panel display panel such as an LCD and a PDP is defective.

이때, 상기 프로브 장치에 사용되는 프로브 유닛으로는, 블레이드형, 니들형, 포고형 및 반도체 MEMS 공정기술을 이용한 MEMS형 등이 있으며, 이 중에서 가장 널리 이용되고 있는 것은 블레드형 프로브 유닛이다.In this case, the probe unit used in the probe apparatus includes a blade type, a needle type, a pogo type, and a MEMS type using a semiconductor MEMS process technology. Among them, the most widely used probe type is a bled type probe unit.

도 1에 나타낸 바와 같이, 종래의 프로브 장치는 프로브 프레임(102)과, 이 프로브 프레임의 선단에 고정볼트에 의해 서로 체결되는 프로브 헤드(104)를 포함한다.As shown in FIG. 1, a conventional probe apparatus includes a probe frame 102 and a probe head 104 fastened to each other by fixing bolts at the tip of the probe frame.

또한, 상기 프로브 프레임(102)과 프로브 헤드(104) 사이에는 리니어 가이드(106)가 설치되어 프로브 헤드(104)가 패널 검사 과정에서 상하로 유동할 수 있게 한다.In addition, a linear guide 106 is installed between the probe frame 102 and the probe head 104 to allow the probe head 104 to flow up and down during the panel inspection process.

그리고, 프로브 헤드(104)의 저면에는 프로브 유닛(100)이 고정수단(108)에 의해 착탈 가능하게 설치되어 평판 디스플레이 패널의 검사를 수행하게 된다.In addition, the probe unit 100 is detachably installed on the bottom surface of the probe head 104 by the fixing means 108 to inspect the flat panel display panel.

한편, 상기 프로브 유닛(100)에는 복수개의 슬릿들이 일정 간격으로 형성되어 있으며, 그 각각의 슬릿에는 하나의 탐침 블레이드가 삽입되어 에폭시로 고정된다.Meanwhile, a plurality of slits are formed in the probe unit 100 at predetermined intervals, and one probe blade is inserted into each of the slits to be fixed with epoxy.

그러나, 상기와 같은 종래의 프로브 유닛은, 하나의 슬릿에 하나의 탐침 블레이드만 삽입되므로, 탐침 블레이드의 탐침부가 LCD 패널의 패드와 접촉시 접촉저항이 높은 문제점이 있다.However, in the conventional probe unit as described above, since only one probe blade is inserted into one slit, the contact portion of the probe blade has a high contact resistance when contacting the pad of the LCD panel.

또한, 탐침 블레이드가 슬릿에 에폭시로 고정되는 구조를 갖기 때문에, 검사될 LCD 패널의 패드에 파티클(particle)이 있어서 탐침 블레이드가 휘거나 파손되는 경우에는, 그 파손된 탐침 블레이드만을 교체하기가 불가능하여 프로브 블록 전체를 교체해야 하는 문제점이 있다.In addition, since the probe blade has a structure in which an epoxy is fixed to the slit, when the probe blade is bent or broken due to particles in the pad of the LCD panel to be inspected, it is impossible to replace only the damaged probe blade. There is a problem in that the entire probe block needs to be replaced.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 그 목적은 프로브 블록 상에 일직선으로 형성된 하나의 슬릿에 탐침 블레이드를 복수개 삽입함으로써, 복수개의 탐침 블레이드의 탐침부가 LCD 패널의 패드에 접촉되는 면을 증가시켜 접촉저항을 줄임과 동시에, LCD 패널의 패드에 있는 파티클의 충격에 견딜 수 있는 프로브 유닛을 제공하는 것이다.The present invention has been made to solve the above problems, the object is to insert a plurality of probe blades in a single slit formed in a straight line on the probe block, the probe portion of the plurality of probe blades in contact with the pad of the LCD panel Increasing the surface reduces the contact resistance, and at the same time provide a probe unit that can withstand the impact of particles on the pad of the LCD panel.

본 발명의 다른 목적은, 하나의 슬릿에 삽입된 복수개의 탐침 블레이드의 양쪽에 겹쳐서 보강판을 삽입함으로써, 외부의 충격에 의한 탐침 블레이드의 파손을 최소화한 프로브 유닛을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a probe unit which minimizes breakage of the probe blade due to external impact by inserting a reinforcement plate overlapping both sides of a plurality of probe blades inserted into one slit.

본 발명의 또 다른 목적은, 프로브 블록의 각각의 슬릿에 삽입된 탐침 블레 이드들의 파손시, 손상된 탐침 블레이드의 교체를 용이하도록 구성한 프로브 유닛을 제공하는 것이다.It is still another object of the present invention to provide a probe unit configured to facilitate replacement of a damaged probe blade in the event of breakage of the probe blades inserted into each slit of the probe block.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 프로브 유닛은, 평판 디스플레이 패널을 검사하는 프로브 유닛으로서, 슬릿(220)이 일정 간격으로 복수개 형성된 프로브 블록(210)과, 상기 슬릿(220)의 각각에 겹쳐져서 삽입되는 복수개의 탐침 블레이드(230)와, 상기 복수개의 겹쳐진 탐침 블레이드(230)의 양쪽에 겹쳐져서 상기 슬릿(220)에 삽입되는 블레이드 보강판(240)과, 상기 복수개의 슬릿(220)에 각각 삽입된 복수개의 탐침 블레이드(230)와 보강판(240)을 덮어서 상기 프로브 블록(210)과 결합되는 커버 플레이트(250)를 포함하는 것이 바람직하다.Probe unit according to the present invention for achieving the above object is a probe unit for inspecting a flat panel display panel, a plurality of probe blocks 210 and a plurality of slits 220 formed at regular intervals, each of the slits 220 A plurality of probe blades 230 overlapping and inserted into the plurality of blades, blade reinforcement plates 240 overlapping both sides of the plurality of overlapping probe blades 230 and inserted into the slits 220, and the plurality of slits 220. It is preferred that the cover plate 250 is coupled to the probe block 210 by covering the plurality of probe blades 230 and the reinforcement plate 240 respectively inserted in the).

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 프로브 유닛을 상세하게 설명하기로 한다. Hereinafter, a probe unit according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명에 따른 프로브 유닛의 분해 사시도이고, 도 3은 본 발명에 따른 프로브 유닛의 프로브 블록에 탐침 블레이드 및 보강판이 삽입된 구성을 나타낸 측면도이다.Figure 2 is an exploded perspective view of the probe unit according to the present invention, Figure 3 is a side view showing a configuration in which the probe blade and the reinforcement plate is inserted into the probe block of the probe unit according to the present invention.

또한, 도 4는 본 발명에 적용되는 탐침 블레이드를 나타낸 도면이고, 도 5는 본 발명에 적용되는 보강판을 나타낸 도면이다.In addition, Figure 4 is a view showing a probe blade applied to the present invention, Figure 5 is a view showing a reinforcement plate applied to the present invention.

도면에 나타낸 바와 같이, 본 발명에 따른 프로브 유닛(200)은, 슬릿(220)이 일정 간격으로 복수개 형성된 프로브 블록(210)과, 상기 슬릿(220)의 각각에 겹쳐져서 삽입되는 복수개의 탐침 블레이드(230)와, 상기 복수개의 겹쳐진 탐침 블레이 드(230)의 양쪽에 겹쳐져서 상기 슬릿(220)에 삽입되는 블레이드 보강판(240)과, 상기 복수개의 슬릿(220)에 각각 삽입된 복수개의 탐침 블레이드(230)와 보강판(240)을 덮어서 상기 프로브 블록(210)과 나사 결합되는 커버 플레이트(250)로 구성된다.As shown in the figure, the probe unit 200 according to the present invention includes a probe block 210 having a plurality of slits 220 formed at regular intervals, and a plurality of probe blades which are overlapped and inserted into each of the slits 220. 230, a blade reinforcement plate 240 overlapping both sides of the plurality of overlapping probe blades 230 and inserted into the slit 220, and a plurality of probes respectively inserted into the plurality of slits 220. The cover plate 250 is screwed to the probe block 210 by covering the blade 230 and the reinforcement plate 240.

구체적으로, 상기 프로브 블록(210)은 일체로 형성된 제 1 블록(211)과 제 2 블록(212)이 돌출되어 형성되어 있고, 상기 제 1 블록(211)과 제 2 블록(212)의 사이에는 상기 각각의 슬릿(220)에 삽입된 복수개의 탐침 블레이드(230)와 보강판(240)을 지지하는 사각형상의 지지부재(215)가 부착된다.Specifically, the probe block 210 is formed by protruding the first block 211 and the second block 212 formed integrally, and between the first block 211 and the second block 212 The plurality of probe blades 230 and the rectangular support members 215 supporting the reinforcement plate 240 inserted into the slits 220 are attached.

즉, 상기 프로브 블록(210)에 일체로 형성된 제 1 블록(211)과 제 2 블록(212)은 상부로 돌출되어 오목형상(凹)을 이루고, 상기 지지부재(215)는 제 1 블록(211)과 제 2 블록(212) 사이에서 볼록형상(凸)의 모양을 형성하고 있다.That is, the first block 211 and the second block 212 integrally formed in the probe block 210 protrude upward to form a concave shape, and the support member 215 is the first block 211. ) And the second block 212 are formed in a convex shape.

이때, 상기 제 1 블록(211)에는 제 1 슬릿홈(221)이 일정 간격으로 형성되고, 제 2 블록(212)에는 제 2 슬릿홈(222)이 일정 간격으로 형성되며, 지지부재(215)에는 제 3 슬릿홈(216)이 일정 간격으로 형성된다.In this case, the first slit groove 221 is formed at a predetermined interval in the first block 211, the second slit groove 222 is formed at a predetermined interval in the second block 212, the support member 215 The third slit groove 216 is formed at regular intervals.

즉, 상기 제 1 슬릿홈(221), 제 2 슬릿홈(222) 및 제 3 슬릿홈(216)이 일직선상으로 형성되어 하나의 슬릿(220)을 형성한다.That is, the first slit groove 221, the second slit groove 222, and the third slit groove 216 are formed in a straight line to form one slit 220.

또한, 제 2 블록(212)보다 더 돌출되어 형성된 상기 제 1 블록(211)의 중앙 부근에는 오목형상의 홈이 형성되고, 상기 오목형 홈의 저면에는 나사산이 형성된 나사홀(213)이 형성되며, 상기 제 2 블록(212)의 중앙 부근에는 상기 제 1 블록(211)의 나사홀(213)과 수평면 상에 형성되어 나사산이 형성된 나사홀(214)이 형 성된다.In addition, a concave groove is formed in the vicinity of the center of the first block 211 formed to protrude more than the second block 212, a screw hole 213 is formed on the bottom surface of the concave groove is formed In the vicinity of the center of the second block 212, a screw hole 214 is formed on the horizontal surface and the screw hole 213 of the first block 211 is formed.

여기서, 상기 프로브 블록(210)은 합성수지로 구성되고, 지지부재(215)는 강성이 우수한 재료, 예컨대 세라믹인 것이 바람직하다.Here, the probe block 210 is made of a synthetic resin, the support member 215 is preferably a material having excellent rigidity, for example, ceramic.

한편, 상기 탐침 블레이드(230)는 도 4에 나타낸 바와 같이, 일체로 형성되어 있으며, 검사될 LCD 패널의 패드(도시 생략)와 접촉되게 제 1 블록(211)에 형성된 제 1 슬릿홈(221)에 삽입되는 제 1 탐침부(231)와, 제어기판(234)의 배선부(233)와 접촉되게 제 2 블록(212)에 형성된 제 2 슬릿홈(222)에 삽입되는 제 2 탐침부(232)와, 지지부재(215)에 형성된 제 3 슬릿홈(216)에 삽입되는 몸체부(235)로 구성된다.On the other hand, the probe blade 230 is formed integrally, as shown in Figure 4, the first slit groove 221 formed in the first block 211 in contact with the pad (not shown) of the LCD panel to be inspected The second probe part 232 inserted into the second slit groove 222 formed in the second block 212 to be in contact with the first probe part 231 inserted into the first control part 231 and the wiring part 233 of the control board 234. ) And a body portion 235 inserted into the third slit groove 216 formed in the support member 215.

이때, 상기 몸체부(235)는 제 1 돌출부(235a)와 제 2 돌출부(235b)가 일체로 형성되어 있으며, 상기 몸체부(235)가 상기 지지부재(215)에 일정 깊이로 형성된 제 3 슬릿홈(216)에 안착되고, 제 1 돌출부(235a)와 제 2 돌출부(235b)가 제 3 슬릿홈(216)이 형성되지 않은 사각형상의 지지부재(215)의 하단에 지지되어 탐침 블레이드(230)가 움직이지 않게 고정한다.At this time, the body portion 235 is formed with the first protrusion 235a and the second protrusion 235b integrally, the third slit the body portion 235 is formed to the support member 215 to a predetermined depth The probe blade 230 is mounted on the groove 216, and the first protrusion 235a and the second protrusion 235b are supported by the lower end of the rectangular support member 215 in which the third slit groove 216 is not formed. To prevent movement.

또한, 상기 블레이드 보강판(240)은 일체로 형성되어 있으며, 검사될 LCD 패널의 패드(도시 생략)와 접촉되지 않고, 제어기판(234)의 배선부(233)과 접촉되지 않도록, 상기 제 1 탐침부(231)의 선단과 제 2 탐침부(232)의 선단보다 더 짧게 형성된 것을 제외하고는 상기 탐침 블레이드(230)의 형상과 동일하므로 그에 대한 상세한 설명은 생략한다.In addition, the blade reinforcement plate 240 is integrally formed and is not in contact with pads (not shown) of the LCD panel to be inspected and not in contact with the wiring unit 233 of the control panel 234. Since the tip of the probe 231 and the tip of the second probe 232 are shorter than those of the tip, the detailed description thereof will be omitted.

한편, 커버 플레이트(250)는 프로브 블록(210)에 일정간격으로 형성된 복수 개의 슬릿(220), 즉 제 1 슬릿홈(221), 제 2 슬릿홈(222) 및 제 3 슬릿홈(216)에 각각 삽입된 복수개(예컨대, 3개)의 탐침 블레이드(230)와 함께 상기 탐침 블레이드(230)의 양쪽에 겹쳐져서 삽입된 블레이드 보강판(240)을 덮어서 보호하도록, 상기 제 1 블록(211)의 중앙 부근에 형성된 오목형 홈에 끼워 맞춰지게 볼록부(251)가 형성되며, 상기 볼록부(251)에는 제 1 블록(211)의 나사홀(213)과 대응되게 제 1 결합홀(253)이 형성되고, 또한 제 2 블록(212)의 나사홀(214)에 대응되게 제 2 결합홀(254)이 형성되어 있다.On the other hand, the cover plate 250 in the plurality of slits 220, that is, the first slit groove 221, the second slit groove 222 and the third slit groove 216 formed at a predetermined interval in the probe block 210. The first block 211 of the first block 211 so as to cover and protect the inserted blade reinforcement plate 240 overlapping both sides of the probe blade 230 with a plurality of inserted probe blades 230 (eg, three). A convex portion 251 is formed to fit into a concave groove formed near the center, and the convex portion 251 has a first coupling hole 253 corresponding to the screw hole 213 of the first block 211. The second coupling hole 254 is formed to correspond to the screw hole 214 of the second block 212.

그리고, 제 1 나사(263)가 상기 제 1 결합홀(253)을 관통하여 제 1 블록(211)의 나사홀(213)에 결합되고, 제 2 나사(264)가 제 2 결합홀(254)을 관통하여 제 2 블록(212)의 나사홀(214)에 결합된다.In addition, the first screw 263 passes through the first coupling hole 253 and is coupled to the screw hole 213 of the first block 211, and the second screw 264 is the second coupling hole 254. Through it is coupled to the screw hole 214 of the second block (212).

따라서, 프로브 블록(210)의 슬릿(220)에 각각 삽입된 복수개의 탐침 블레이드(230)가 손상되면, 제 1 및 제 2 나사(263 및 264)를 해제하여 쉽게 교체할 수 있다.Therefore, when the plurality of probe blades 230 respectively inserted into the slits 220 of the probe block 210 are damaged, the first and second screws 263 and 264 can be released and easily replaced.

이상에서는 본 발명의 일실시예에 따라 본 발명을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 변경 및 변형한 것도 본 발명에 속함은 당연하다.Although the present invention has been described above according to an embodiment of the present invention, a person skilled in the art to which the present invention belongs has changed and modified within the scope without departing from the technical spirit of the present invention. Of course.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 프로브 유닛에 따르면, 프로브 블록 상에 일직선으로 형성된 하나의 슬릿에 탐침 블레이드를 복수개 삽입함으로써, 복수개의 탐침 블레이드의 탐침부가 LCD 패널의 패드에 접촉되는 면을 증가시켜 접촉저항을 줄일 수 있음과 동시에, LCD 패널의 패드에 있는 파티클의 충격에도 충분히 견딜 수 있다.As described above, according to the probe unit according to the present invention, by inserting a plurality of probe blades into one slit formed in a straight line on the probe block, the surface of the probe portion of the plurality of probe blades to increase the contact surface of the pad of the LCD panel The contact resistance can be reduced, and at the same time, it can withstand the impact of particles on the pads of the LCD panel.

또한, 하나의 슬릿에 삽입된 복수개의 탐침 블레이드의 양쪽에 겹쳐서 보강판을 삽입함으로써, 외부의 충격에 의한 탐침 블레이드의 파손을 최소화할 수 있다.In addition, by inserting a reinforcement plate overlapping both sides of the plurality of probe blades inserted into one slit, it is possible to minimize the damage of the probe blades due to external impact.

또, 프로브 블록의 각각의 슬릿에 삽입된 탐침 블레이드들의 파손시, 손상된 탐침 블레이드만을 쉽게 교체할 수 있다.In addition, in case of breakage of the probe blades inserted into each slit of the probe block, only the damaged probe blade can be easily replaced.

Claims (5)

평판 디스플레이 패널을 검사하는 프로브 유닛으로서,A probe unit for inspecting a flat panel display panel, 슬릿(220)이 일정 간격으로 복수개 형성된 프로브 블록(210)과,Probe blocks 210 formed with a plurality of slits 220 at regular intervals, 상기 슬릿(220)의 각각에 겹쳐져서 삽입되는 복수개의 탐침 블레이드(230)와,A plurality of probe blades 230 overlapping and inserted into each of the slits 220, 상기 복수개의 겹쳐진 탐침 블레이드(230)의 양쪽에 겹쳐져서 상기 슬릿(220)에 삽입되는 블레이드 보강판(240)과,A blade reinforcement plate 240 overlapping both sides of the plurality of overlapping probe blades 230 and inserted into the slit 220, 상기 복수개의 슬릿(220)에 각각 삽입된 복수개의 탐침 블레이드(230)와 보강판(240)을 덮어서 상기 프로브 블록(210)과 결합되는 커버 플레이트(250)를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.And a cover plate (250) coupled to the probe block (210) by covering the plurality of probe blades (230) and the reinforcement plate (240) respectively inserted in the plurality of slits (220). 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 프로브 블록(210)은 일체로 형성된 제 1 블록(211)과 제 2 블록(212)이 돌출되어 형성되어 있고, 상기 제 1 블록(211)과 제 2 블록(212)의 사이에는 상기 각각의 슬릿(220)에 삽입된 복수개의 탐침 블레이드(230)와 보강판(240)을 지지하는 지지부재(215)가 부착되되,The probe block 210 is formed by protruding the first block 211 and the second block 212 formed integrally, and each of the probe block 210 between the first block 211 and the second block 212. The support member 215 for supporting the plurality of probe blades 230 and the reinforcing plate 240 inserted into the slit 220 is attached, 상기 제 1 블록(211)에는 제 1 슬릿홈(221)이 일정 간격으로 형성되고, 제 2 블록(212)에는 제 2 슬릿홈(222)이 일정 간격으로 형성되며, 지지부재(215)에는 제 3 슬릿홈(216)이 일정 간격으로 형성된 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.First slit grooves 221 are formed at regular intervals in the first block 211, second slit grooves 222 are formed at regular intervals in the second block 212, and the support member 215 is formed in the first block 211. Probe unit, characterized in that the three slit grooves (216) formed at regular intervals. 제 2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 제 1 슬릿홈(221), 제 2 슬릿홈(222) 및 제 3 슬릿홈(216)이 일직선상으로 형성되어 하나의 슬릿(220)을 형성하는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.And the first slit groove (221), the second slit groove (222) and the third slit groove (216) are formed in a straight line to form one slit (220). 제 2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 프로브 블록(210)에 형성된 상기 제 1 블록(211)은 상기 제 2 블록(212)보다 상부로 더 돌출되어 중앙 부근에 오목형상의 홈이 형성되고, 상기 오목형 홈의 저면에는 나사산이 형성된 나사홀(213)이 형성되고,The first block 211 formed in the probe block 210 protrudes further upward than the second block 212 so that a concave groove is formed near a center thereof, and a thread is formed on a bottom surface of the concave groove. The screw hole 213 is formed, 상기 제 2 블록(212)의 중앙 부근에는 상기 제 1 블록(211)의 나사홀(213)과 수평면 상에 형성되어 나사산이 형성된 나사홀(214)이 형성되며,In the vicinity of the center of the second block 212 is formed a screw hole 214 formed on the horizontal surface and the screw hole 213 of the first block 211, 상기 제 1 블록(211)의 중앙 부근에 형성된 오목형 홈에 끼워 맞춰지게 볼록부(251)가 커버 플레이트에 형성되며, 상기 볼록부(251)에는 제 1 블록(211)의 나사홀(213)과 대응되게 제 1 결합홀(253)이 형성되고, 또한 제 2 블록(212)의 나사홀(214)에 대응되게 제 2 결합홀(254)이 형성되어 있되,A convex portion 251 is formed in the cover plate to fit into a concave groove formed near the center of the first block 211, and the screw hole 213 of the first block 211 is formed in the convex portion 251. The first coupling hole 253 is formed to correspond to the second coupling hole 254 is formed to correspond to the screw hole 214 of the second block 212, 상기 제 1 결합홀(253)을 관통하여 제 1 블록(211)의 나사홀(213)에 제 1 나사(263)가 결합되고, 제 2 결합홀(254)을 관통하여 제 2 블록(212)의 나사홀(214)에 제 2 나사(264)가 결합된 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.The first screw 263 is coupled to the screw hole 213 of the first block 211 through the first coupling hole 253, and the second block 212 passes through the second coupling hole 254. Probe unit, characterized in that the second screw 264 is coupled to the screw hole (214). 제 2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 탐침 블레이드(230)는 일체로 형성되어 있으며, 피검사용 패널의 패드와 접촉되게 제 1 슬릿홈(221)에 삽입된 제 1 탐침부(231)와, 제어기판(234)의 배선부(233)와 접촉되게 제 2 슬릿홈(222)에 삽입된 제 2 탐침부(232)와, 지지부재(215)에 형성된 제 3 슬릿홈(216)에 삽입되는 몸체부(235)를 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 유닛.The probe blade 230 is integrally formed, the first probe part 231 inserted into the first slit groove 221 to be in contact with the pad of the panel to be inspected, and the wiring part 233 of the controller board 234. And a second probe part 232 inserted into the second slit groove 222 to be in contact with the body) and a body part 235 inserted into the third slit groove 216 formed in the support member 215. Probe unit.
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