KR101383032B1 - Probe card detaching structure of probe test apparatus - Google Patents

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KR101383032B1
KR101383032B1 KR1020130047150A KR20130047150A KR101383032B1 KR 101383032 B1 KR101383032 B1 KR 101383032B1 KR 1020130047150 A KR1020130047150 A KR 1020130047150A KR 20130047150 A KR20130047150 A KR 20130047150A KR 101383032 B1 KR101383032 B1 KR 101383032B1
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김종문
박준식
조원일
장재성
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양 전자시스템 주식회사
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Abstract

The present invention relates to a probe card detaching structure of a probe test apparatus and aims to provide a probe card detaching structure of a probe test apparatus, which implements connection between a meter and a probe card upon testing a flat panel display via micro coaxial pogo pins to thus enable a number of cable connections to be exchanged by one touch. For such purpose, according to the present invention, in the probe card detaching structure for a probe test apparatus, a meter for testing electrical characteristics of a flat panel display and a probe card are connected to each other via multiple coaxial test cables each having an end formed with a micro coaxial pogo pin, and the ends of the multiple coaxial test cables are fixedly arranged at the head side of the probe test apparatus, and multiple pads formed with a signal pad and a ground pad corresponding to the signal pin and guard pin of each micro coaxial pogo pin are correspondingly arranged at an upper surface of the probe card mounted thereunder.

Description

프로브 검사장치의 프로브 카드 탈부착 구조{PROBE CARD DETACHING STRUCTURE OF PROBE TEST APPARATUS}PROBE CARD DETACHING STRUCTURE OF PROBE TEST APPARATUS}

본 발명은 프로브 검사장치의 프로브 카드 탈부착 구조에 관한 것으로, 보다 상세하게는 평판디스플레이 제품의 검사공정에서 스테이지 상면에 고정된 글라스의 회로 패턴에 전기적 신호를 가하기 위한 프로브 핀이 부착된 프로브 카드를 간편하게 탈부착 시키면서 교체할 수 있도록 한 프로브 검사장치의 프로브 카드 탈부착 구조에 관한 것이다.The present invention relates to a detachable structure of a probe card of a probe inspection device, and more particularly, to a probe card with a probe pin for applying an electrical signal to a circuit pattern of glass fixed to an upper surface of a stage in an inspection process of a flat panel display product. The present invention relates to a probe card detachable structure of a probe inspection device that can be replaced while being detached.

일반적으로, 평판디스플레이(Flat Panel Display)에는 액정표시소자(Liquid Crystal Display: LCD)와, 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel: PDP), 전계 방출 디스플레이 소자(Field Emission Display: FED) 등이 포함된다.      In general, a flat panel display includes a liquid crystal display (LCD), a plasma display panel (PDP), a field emission display (FED), and the like.

이러한 평판디스플레이의 제조에 있어서는 하부 기판의 제조공정과, 상부 기판의 제조공정, 그리고 하부 기판과 상부 기판의 합착공정 등의 공정이 진행되게 된다.      In the manufacture of such a flat panel display, processes such as a manufacturing process of a lower substrate, a manufacturing process of an upper substrate, and a laminating process of a lower substrate and an upper substrate are progressed.

이에 대해 보다 상세히 설명하면, 하부 기판을 제조하기 위한 글래스 원판 상에 다수의 셀들을 형성하고, 이 셀에 다수의 수평 라인과 수직 라인들을 매트릭스 형태로 서로 교차하도록 형성하며, 수평 라인과 수직 라인의 교차부마다 투명한 화소 전극을 포함하는 화소 셀들을 형성한다.       In more detail, a plurality of cells are formed on a glass substrate for manufacturing a lower substrate, a plurality of horizontal lines and vertical lines are formed to intersect with each other in a matrix form, And pixel cells including a pixel electrode transparent at each intersection are formed.

그리고, 화소 셀들에는 수평 라인과 수직 라인 및 화소 전극에 접속되는 박막 트랜지스터를 형성한다.       A thin film transistor connected to the horizontal line, the vertical line, and the pixel electrode is formed in the pixel cells.

또, 상기 글래스 원판에 형성된 다수의 셀들은 검사공정을 거친 후 스크라이빙 공정에 의해 절단이 되며, 이렇게 글래스 원판에서 절단된 다수의 셀, 즉 하부 기판 각각은 상부 기판의 제조공정에서 완성된 상부 기판과 합착되고, 화소 셀들을 구동하기 위한 구동회로 및 여러 가지 요소들이 조립됨으로써 하나의 평판디스플레이가 완성되게 된다.      The plurality of cells formed on the glass disk are inspected and then cut by a scribing process. Each of the plurality of cells cut from the glass disk, that is, each of the lower substrates, A flat plate display is completed by being assembled with the substrate, assembling the driving circuit for driving the pixel cells and various elements.

이때, 상술한 바와 같은 평판디스플레이의 제조공정 중, 상기 글래스 원판에 형성된 다수의 셀에 대한 검사공정에서는 프로브 장치를 이용하여 회로패턴에 전기적인 테스트 신호를 인가함으로써 회로의 상태를 검사하게 된다.      At this time, in the process of inspecting a plurality of cells formed on the glass plate during the manufacturing process of the flat panel display as described above, the state of the circuit is inspected by applying an electrical test signal to the circuit pattern using the probe device.

즉, 프로브 검사장치의 스테이지 상에 검사를 위한 글라스를 안착시킨 상태에서, 프로브 핀을 회로패턴에 접촉시킴에 따라 트랜지스터의 전기적 특성을 측정할 수 있게 된다.      That is, in a state where the glass for inspection is placed on the stage of the probe inspection apparatus, the electrical characteristics of the transistor may be measured by contacting the probe pin with the circuit pattern.

상기 다수 개로 이루어진 프로브 핀을 동시에 글라스에 접촉할 수 있도록 상기 프로브 핀은 프로브 카드를 매개로 구성되는데, 이때 상기 프로프 핀의 개수는 글라스에 형성되는 회로 패드의 수량(TEG PAD)에 따라 수 개 내지 수십 개 사이로 제작되게 된다.      The probe pins are configured through a probe card so that the plurality of probe pins can be simultaneously in contact with the glass, wherein the number of the probe pins is several depending on the number of circuit pads (TEG PAD) formed on the glass. To between tens and dozens.

여기에서, 상기 평판디스플레이의 전기적 특성 시험은 수십 내지 수백 펨토(10E-15) 내외의 극히 미세한 전류를 측정하게 되므로, 노이즈와 누설전류의 영향을 줄이기 위해 프로브 핀과 측정용 계측기 사이를 트라이엑셜 케이블로 연결하게 된다.      Here, the electrical property test of the flat panel display measures extremely minute currents of about tens to hundreds of femto (10E-15), so that the triaxial cable between the probe pin and the measuring instrument to reduce the effect of noise and leakage current Will be connected to.

상기 프로브 핀(2)이 부착된 프로브 카드(1)는 소모성 부품이므로, 측정용 트라이엑셜 케이블(4)과 프로브 카드(2)와의 연결을 위해 통상적으로 SMA 컨넥터(3)가 널리 사용되고 있다.(도 1 참조)      Since the probe card 1 to which the probe pin 2 is attached is a consumable part, an SMA connector 3 is generally used for the connection between the measurement triaxial cable 4 and the probe card 2. See Figure 1)

그러나, 상기 SMA 컨넥터는 나사체결 방식으로 전기적 특성이 우수한 반면, 프로브 핀의 수량이 많아질 경우 프로브 카드의 교체에 많은 시간과 노력이 소요되는 문제점이 발생하게 되었다.      However, the SMA connector has excellent electrical characteristics by screwing, but when the number of probe pins increases, it takes a lot of time and effort to replace the probe card.

즉, 프로브 카드 및 테스트 케이블의 연결 시에는 일일이 나사 체결을 하여야만 하며, 이에 따라 많은 시간 및 노동력이 소요되게 되며, 특히 크린룸 내에서의 작업 시에는 반드시 장갑을 착용하고 작업을 하여야만 하므로, SMA의 작은 컨넥터 체결에 많은 어려움이 따르는 문제점이 발생하게 됨과 아울러, 여러 가닥의 케이블을 체결하는 과정에서 오체결이 빈번하게 발생하는 문제점도 있게 된다.      In other words, when connecting the probe card and the test cable, screwing must be done one by one, which requires a lot of time and labor, and especially when working in a clean room, the user must wear gloves to work. In addition to the problem that a lot of difficulties in the connector fastening occurs, there is also a problem that frequently occurs in the process of fastening a plurality of strands of the wrong connection.

특히, 평판디스플레이의 글라스 표면을 생성하는 부품이 LTPS 및 산화물 재질 등으로 전기적으로 월등한 성능향상이 이루어지고 있으며, 이에 기존의 공정으로는 글라스 표면에 생성하지 못하여 별도의 PCB에 부착되던 부품들이 대거 글라스 표면에 생성되고 있고, TEG(Test Eliment Group) 패드(Pad) 수가 비약적으로 늘어나고 있는 실정이므로, 상기 다수의 프로브 핀이 부착된 프로브 카드의 장착 및 교체에 점점 더 많은 시간 및 노동력이 소요되고 있는 실정이다.      Particularly, the parts that generate the glass surface of the flat panel display are electrically improved with LTPS and oxide materials.Therefore, many parts that were attached to a separate PCB due to the conventional process could not be formed on the glass surface. Since it is generated on the glass surface and the number of TEG (Test Eliment Group) pads is increasing dramatically, more time and labor are required to install and replace the probe card to which the plurality of probe pins are attached. It is true.

따라서, 본 발명은 상기한 바와 같은 종래의 문제점을 개선하기 위하여 안출된 것으로, 그 목적은 평판디스플레이 제품의 검사공정에서 계측기와 프로브 카드 상호간의 연결을 마이크로 코엑셜포고핀을 매개로 구현함에 따라 많은 수량의 케이블 연결을 원터치 방식을 행할 수 있도록 한 프로브 검사장치의 프로브 카드 탈부착 구조에 제공하고자 하는 것이다.Accordingly, the present invention has been made to improve the above-mentioned problems, the object of which is to realize a large quantity of micro-coaxial pogo pin as the connection between the measuring instrument and the probe card in the inspection process of flat panel display products It is intended to provide a probe card detachable structure of a probe inspection device to enable one-touch connection of cables.

상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 프로브 카드 탈부착 구조는, 평판디스플레이의 전기적 특성 시험을 위한 측정용 계측기 및 프로브 카드 상호간은 단부에 마이크로 코엑셜포고핀이 형성된 다수 개의 코엑션 테스트 케이블을 매개로 연결되며, 이에, 프로브 검사장치의 헤드 측에는 브라켓트를 통해 다수 개의 코엑셜 테스트 케이블의 단부 측이 고정 배열되고, 그 하측에 장착되는 상기 프로브 카드의 상면에는 각각의 마이크로 코엑셜포고핀의 시그널핀 및 가드핀과 대응되게 시그널패드 및 그라운드패드가 형성된 다수 개의 패드가 대응되게 배열 형성되어 구성된 것을 특징으로 한다.      Probe card detachable structure according to the present invention for achieving the object as described above, the measurement instrument for testing the electrical characteristics of the flat panel display and a plurality of coaxial test cable formed with micro-coaxial pogo pin at each end of the probe card Connected to each other, and thus, the end side of the plurality of coaxial test cables is fixedly arranged through a bracket on the head side of the probe inspection device, and a signal pin of each micro coaxial pogo pin on the upper surface of the probe card mounted on the lower side thereof. A plurality of pads in which signal pads and ground pads are formed to correspond to the guard pins may be arranged to correspond to each other.

바람직하게, 상기 프로브 카드는 사각틀 형상으로 이루어져 그 양측면 길이방향을 따라 각각 걸림홈이 형성된 하우징의 하면에 일체로 고정 결합되어 구성되며, 상기 프로브 검사장치의 헤드 측에는 상기 프로브 카드가 결합된 하우징이 선택적으로 장착되는 고정부재가 구비되되, 상기 고정부재는 그 하면을 통해 상기 하우징이 삽입된 후 하우징 외면이 그 내부에 고정 결합되는 사각틀 형상을 갖으며, 그 양내측벽의 길이방향을 따라서는 인장스프링을 통한 외력에 의해 상기 하우징의 걸림홈에 끼워지면서 상기 하우징을 단속하는 클램프 샤프트가 그 몸체의 전.후면을 관통한 상태로 각각 설치되어 구성된 것을 특징으로 한다.      Preferably, the probe card is formed in a rectangular frame shape is fixedly coupled to the lower surface of the housing, each engaging groove is formed along the longitudinal direction of both sides, the housing coupled to the probe card to the head side of the probe inspection device is optional It is provided with a fixing member, the fixing member has a rectangular frame shape in which the outer surface of the housing is fixedly coupled to the inside after the housing is inserted through the lower surface, the tension spring along the longitudinal direction of the both inner wall The clamp shaft is inserted into the engaging groove of the housing by the external force through the clamp shaft for intermittent the housing, characterized in that the installation is configured to pass through the front and rear of the body, respectively.

또, 상기 하우징의 상면 양측 모서리 부분에는 상기 고정부재와의 원활한 결합을 위한 경사면이 형성되어 구성된 것을 특징으로 한다.      In addition, both sides of the upper surface of the housing is characterized in that the inclined surface is formed for smooth coupling with the fixing member.

더 바람직하게, 상기 프로브 검사장치의 스테이지 일측에는 상기 프로브 카드가 결합된 하우징을 상기 고정부재 측에 자동으로 장착 또는 분리시키기 위한 적어도 한 개 이상의 지그가 설치되어 구성되며, 상기 지그는, 판형태로 이루어져 상기 스테이지 일측면에 고정 설치되는 베이스부재와; 정면이 "┗┛" 형상을 갖도록 이루어져 상기 베이스부재와 일정 간격 이격된 상태로 그 상면의 전단 및 후단 측에 설치되는 한 쌍의 지지부재와, 그 평면이 "[" 또는 "]" 형상을 갖도록 이루어져 상기 지지부재의 상면에 좌.우 이동 가능한 상태로 설치되며 각 단부에는 상기 고정부재의 클램프 샤프트에 외력을 인가하기 위한 걸림돌기가 상측을 향해 돌출 형성된 한 쌍의 이동부재와, 상기 한 쌍의 이동부재 사이에 설치되며 그 상면에 상기 프로브 카드가 결합된 하우징이 안착되는 안착판으로 이루어진 승.하강 부재와; 상기 한 쌍의 이동부재가 상호 대칭으로 좌.우 이동되도록 상기 전단 측의 지지부재 상에 이동부재를 관통한 상태로 설치되는 왼나사 및 오른나사를 포함하는 리드스크류와, 상기 리드스크류를 회전시키기 위한 모터와, 상기 후단 측의 지지부재 상에 이동부재를 관통한 상태로 설치되어 가이드 역할을 행하는 가이드봉으로 이루어진 좌.우 이송수단 및; 상기 승.하강 부재를 상기 베이스부재로부터 일정 간격 이격된 상태로 지지하면서 선택적으로 상.하 이동시키는 실린더를 포함하여 구성된 것;을 특징으로 한다.      More preferably, at least one jig is installed at one side of the stage of the probe inspection device to automatically mount or detach the housing to which the probe card is coupled to the fixing member side, and the jig is formed in a plate shape. A base member fixed to one side of the stage; A pair of support members are formed on the front side to have a "┗┛" shape and are installed at the front and rear ends of the upper surface with a predetermined distance from the base member, and the plane has a "[" or "]" shape. And a pair of movable members formed on the upper surface of the support member so as to be movable left and right, and at each end, a protrusion for projecting an external force to the clamp shaft of the fixed member protrudes upward. A lifting and lowering member which is installed between the members and is made up of a seating plate on which a housing to which the probe card is coupled is mounted; A lead screw including a left screw and a right screw installed on the support member on the front end side such that the pair of moving members move symmetrically to the left and right, and for rotating the lead screw. Left and right transfer means comprising a motor and a guide rod installed in a state of penetrating a moving member on the supporting member on the rear end side and serving as a guide; And a cylinder for selectively moving up and down while supporting the lifting member in a state spaced apart from the base member by a predetermined distance.

또한, 상기 승.하강 부재의 하면에는 상기 베이스부재를 관통한 다수 개의 승.하강 가이드부재 상단이 고정 결합되며, 각 승.하강 가이드부재의 하단에는 상기 실린더의 상승 위치를 제한하는 걸턱이 형성되어 구성됨이 바람직하다.      In addition, the upper and lower guide members of the plurality of lifting and lowering guide members which penetrate the base member are fixedly coupled to the lower surface of the lifting and lowering member, and a lower limit of each lifting and lowering guide member is formed to limit the rising position of the cylinder. Preferably configured.

상기에서 설명한 바와 같이 이루어진 본 발명에 따르면, 평판디스플레이 제품의 검사공정에서 계측기와 프로브 카드 상호간의 연결을 마이크로 코엑셜포고핀을 매개로 구현함으로서, 프로브 카드의 교체에 따른 시간 및 노력을 크게 절감할 수 있는 효과가 있음과 동시에 콘넥터 결선에 따른 오체결 문제를 해소할 수 있는 효과도 있게 된다.According to the present invention made as described above, by implementing the micro-coaxial pogo pin connection between the measuring instrument and the probe card in the inspection process of the flat panel display product, it is possible to greatly reduce the time and effort due to replacement of the probe card At the same time, there is also an effect to solve the problem of incorrect connection due to the connection of the connector.

또한, 평판디스플레이 제품의 검사 시, 소모품으로 사용되는 프로브 카드 측에 구비되는 SMA 컨넥터 및 케이블이 불필요해 짐에 따라, 프로브 카드의 원가 절감을 구현할 수 있는 효과가 있게 된다.In addition, when inspecting a flat panel display product, the SMA connector and the cable provided on the probe card side used as consumables become unnecessary, thereby reducing the cost of the probe card.

한편, 프로브 검사장치의 일측에 간단한 구조를 갖는 프로브 카드 탈.부착용 지그를 추가로 구성하므로서, 프로브 카드의 자동 교환을 구현할 수 있는 효과도 있게 되는 것이다.On the other hand, by additionally configuring a jig for detaching and attaching a probe card having a simple structure on one side of the probe inspection device, it is also possible to implement the automatic replacement of the probe card.

도 1은 종래의 프로브 검사장치의 프로브 카드 탈부착 구조를 나타내는 도면,
도 2a는 본 발명에 따른 프로브 검사장치의 프로브 카드 탈부착 구조에 적용되는 프로브 카드의 구성을 나타내는 평면도,
도 2b는 본 발명에 따른 프로브 검사장치의 프로브 카드 탈부착 구조에 적용되는 코엑셜 테스트 케이블의 구성을 나타내는 정단면도,
도 2c는 본 발명에 따른 프로브 검사장치의 프로브 카드 탈부착 구조에 적용되는 프로브 카드 및 코엑셜 테스트 케이블의 결합상태를 나타내는 정면도,
도 3은 본 발명에 따른 프로브 검사장치의 프로브 카드 탈부착 구조에 적용되는 프로브 검사장치의 헤드 측 구성을 나타내는 사시도,
도 4는 본 발명에 따른 프로브 검사장치의 프로브 카드 탈부착 구조에 적용되는 지그 및 프로브 카드의 구성을 나타내는 사시도,
도 5a 및 도 5b는 본 발명에 따른 프로브 검사장치의 프로브 카드 탈부착 구조에 적용되는 지그 및 고정부재의 구성을 나타내는 사시도,
도 6은 본 발명에 따른 프로브 검사장치의 프로브 카드 탈부착 구조에 적용되는 지그의 구성을 나타내는 사시도,
도 7은 본 발명에 따른 프로브 검사장치의 프로브 카드 탈부착 구조에 적용되는 지그의 구성을 나타내는 정면도,
도 8a 내지 도 8d은 본 발명에 따른 프로브 검사장치의 프로브 카드 탈부착 구조를 통해 프로브 카드가 자동으로 헤드 측에 장착되는 과정을 나타내는 도면,
도 9a 내지 9d는 본 발명에 따른 프로브 검사장치의 프로브 카드 탈부착 구조를 통해 헤드 측에 장착된 프로브 카드가 자동으로 분리되는 과정을 나타내는 도면이다. 1 is a view showing a probe card detachable structure of a conventional probe inspection device,
Figure 2a is a plan view showing the configuration of a probe card applied to the probe card detachable structure of the probe inspection apparatus according to the present invention,
Figure 2b is a front sectional view showing the configuration of the coaxial test cable applied to the probe card detachable structure of the probe inspection apparatus according to the present invention,
Figure 2c is a front view showing a coupling state of the probe card and the coaxial test cable applied to the probe card detachable structure of the probe inspection apparatus according to the present invention,
Figure 3 is a perspective view showing the head side configuration of the probe inspection device applied to the probe card detachable structure of the probe inspection device according to the present invention,
Figure 4 is a perspective view showing the configuration of a jig and a probe card applied to the probe card detachable structure of the probe inspection apparatus according to the present invention,
5a and 5b is a perspective view showing the configuration of the jig and the fixing member applied to the probe card detachable structure of the probe inspection apparatus according to the present invention,
Figure 6 is a perspective view showing the configuration of the jig applied to the probe card detachable structure of the probe inspection apparatus according to the present invention,
Figure 7 is a front view showing the configuration of the jig applied to the probe card detachable structure of the probe inspection apparatus according to the present invention,
8a to 8d is a view showing a process in which the probe card is automatically mounted on the head side through the probe card detachable structure of the probe inspection apparatus according to the present invention,
9A to 9D are views illustrating a process of automatically detaching a probe card mounted on a head side through a probe card detachable structure of the probe inspection apparatus according to the present invention.

이하, 상기한 바와 같이 구성된 본 발명에 대해 첨부도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention configured as described above will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2a는 본 발명에 따른 프로브 검사장치의 프로브 카드 탈부착 구조에 적용되는 프로브 카드의 구성을 나타내는 평면도, 도 2b는 본 발명에 따른 프로브 검사장치의 프로브 카드 탈부착 구조에 적용되는 코엑셜 테스트 케이블의 구성을 나타내는 정단면도, 도 2c는 본 발명에 따른 프로브 검사장치의 프로브 카드 탈부착 구조에 적용되는 프로브 카드 및 코엑셜 테스트 케이블의 결합상태를 나타내는 정면도, 도 3은 본 발명에 따른 프로브 검사장치의 프로브 카드 탈부착 구조에 적용되는 프로브 검사장치의 헤드 측 구성을 나타내는 사시도, 도 4는 본 발명에 따른 프로브 검사장치의 프로브 카드 탈부착 구조에 적용되는 지그 및 프로브 카드의 구성을 나타내는 사시도, 도 5a 및 도 5b는 본 발명에 따른 프로브 검사장치의 프로브 카드 탈부착 구조에 적용되는 지그 및 고정부재의 구성을 나타내는 사시도, 도 6은 본 발명에 따른 프로브 검사장치의 프로브 카드 탈부착 구조에 적용되는 지그의 구성을 나타내는 사시도, 도 7은 본 발명에 따른 프로브 검사장치의 프로브 카드 탈부착 구조에 적용되는 지그의 구성을 나타내는 정면도이다.Figure 2a is a plan view showing the configuration of the probe card applied to the probe card detachable structure of the probe inspection apparatus according to the present invention, Figure 2b is a configuration of a coaxial test cable applied to the probe card detachable structure of the probe inspection device according to the present invention 2C is a front view illustrating a coupling state of a probe card and a coaxial test cable applied to a probe card detachable structure of a probe inspection device according to the present invention, and FIG. 3 is a probe card detachable of the probe inspection device according to the present invention. 4 is a perspective view showing the head side configuration of the probe inspection device applied to the structure, Figure 4 is a perspective view showing the configuration of a jig and a probe card applied to the probe card detachable structure of the probe inspection device according to the present invention, Figures 5a and 5b Applied to the probe card detachable structure of the probe inspection device according to the invention Figure 6 is a perspective view showing the configuration of the jig and the fixing member, Figure 6 is a perspective view showing the configuration of the jig applied to the probe card detachable structure of the probe inspection apparatus according to the present invention, Figure 7 is a probe card detachable of the probe inspection device according to the present invention It is a front view which shows the structure of the jig applied to a structure.

먼저, 본 발명에 따른 프로브 검사장치의 프로브 카드 탈부착 구조는, 평판디스플레이 제품의 검사공정에서 계측기와 프로브 카드(10) 상호간의 연결을 마이크로 코엑셜포고핀(32)을 이용함에 따라, 다량의 케이블 연결을 오체결 없이 원터치 방식으로 간편하게 구현할 수 있도록 이루어진다.First, the probe card detachable structure of the probe inspection apparatus according to the present invention, by using the micro-coaxial pogo pin 32 to connect the measuring device and the probe card 10 with each other in the inspection process of the flat panel display product, a large amount of cable connection It is made so that it can be easily implemented in a one-touch manner without a mistake.

본 발명에 따른 프로브 검사장치의 프로브 카드 탈부착 구조는, 평판디스플레이의 전기적 특성 시험을 위한 프로브 검사장치의 측정용 계측기와 프로브 카드(10) 상호간이 일측 단부에 마이크로 코엑셜포고핀(32)이 형성된 다수 개의 코엑셜 테스트 케이블(30)을 통해 연결되어 구성된다.Probe card detachable structure of the probe inspection apparatus according to the present invention, a plurality of micro-coaxial pogo pin 32 is formed at one end between the measuring instrument and the probe card 10 of the probe inspection apparatus for testing the electrical characteristics of the flat panel display It is configured to be connected through the four coaxial test cable (30).

이를 위해, 상기 프로브 검사장치의 헤드(100) 측에는 다수 개의 코엑션 테스트 케이블(30)의 단부 측이 소정 브라켓트(100)를 매개로 고정 설치되어 구성되며, 해당 디스플레이 제품의 검사를 위해 상기 헤드(100) 하측에 장착되는 프로브 카드(10)의 상면에는 상기 코엑셜 테스트 케이블(30)의 각 단부에 형성된 마이크로 코엑셜포고핀(32)의 시그널핀(36) 및 가드핀(34)과 대응되도도록 시그널패드(16) 및 그라운드패드(14)가 형성된 다수 개의 패드(18)가 대응되게 배열 형성되어 구성된다.      To this end, the end side of the plurality of coaxial test cable 30 is fixedly installed via a predetermined bracket 100 on the head 100 side of the probe inspection device, the head ( 100) a signal on the upper surface of the probe card 10 mounted on the lower side so as to correspond to the signal pin 36 and the guard pin 34 of the microcoaxial pogo pin 32 formed at each end of the coaxial test cable 30. A plurality of pads 18 on which pads 16 and ground pads 14 are formed are arranged in a corresponding manner.

이때, 상기 프로브 카드(10)는 특정 구조의 하우징(20) 하면에 일체로 결합되어 구성되는데, 상기 하우징(20)은 대략 사각틀 형상을 갖도록 이루어지고, 그 양측면의 길이방향을 따라서는 그 단면이 대략 반원형상을 갖는 걸림홈(22)이 각각 요입 형성되어 구성된다.      At this time, the probe card 10 is integrally coupled to the lower surface of the housing 20 of a specific structure, the housing 20 is formed to have a substantially rectangular frame shape, the cross-section along the longitudinal direction of both sides The engaging grooves 22 having a substantially semicircular shape are formed by concave concavities, respectively.

또, 상기 프로브 검사장치의 헤드(100) 측에는 상기 프로브 카드(10)가 일체로 결합된 하우징(20)이 선택적으로 장착되도록 특정 구조의 고정부재(40)가 구비되어 구성된다.      In addition, the head 100 side of the probe inspection device is provided with a fixing member 40 of a specific structure to selectively mount the housing 20 to which the probe card 10 is integrally coupled.

상기 고정부재(40)는 대략 사각틀 형상을 갖도록 이루어져 그 하면을 통해 상기 프로브 카드(10)가 장착된 상기 하우징(20)이 삽입된 후 그 내부에 고정 결합되도록 구성되며, 이를 위해 상기 고정부재(40)의 양내측벽 길이방향을 따라서는 인장스프링(44)을 통한 외력에 의해 상기 하우징(20)의 걸림홈(22)에 선택적으로 끼워지면서 상기 하우징(20)을 단속하는 클램프 샤프트(42)가 그 몸체의 전.후면을 관통한 상태로 각각 설치되어 구성된다.      The fixing member 40 has a substantially rectangular frame shape and is configured to be fixedly coupled therein after the housing 20 on which the probe card 10 is mounted is inserted through the lower surface thereof. A clamp shaft 42 which intermittently clamps the housing 20 while being selectively fitted into the locking groove 22 of the housing 20 by an external force through the tension spring 44 along the longitudinal direction of both inner walls of the wall 40 is provided. It is installed and configured to penetrate the front and rear of the body, respectively.

이때, 상기 하우징(20) 상면의 양측 모서리 부분에는 상기 고정부재(40)와의 원활한 결합을 위한 일정 기울기로 이루어진 경사면(24)을 갖도록 설계됨이 바람직하다.      At this time, it is preferable that both sides of the upper surface of the housing 20 is designed to have an inclined surface 24 made of a predetermined slope for smooth coupling with the fixing member 40.

한편, 상술한 바와 같이, 프로브 검사장치 측의 계측기 및 프로브 카드(10) 상호간이 마이크로 코엑셜포고핀(32)을 갖는 코엑셜 테스트 케이블(30)을 매개로 연결한 상태에서, 소모성 부품인 상기 프로브 카드(10)를 상기 프로브 검사장치의 헤드(100) 측으로부터 자동으로 분리 또는 장착시킬 수 있도록 해당 프로브 검사장치의 스테이지(도시안됨) 일측에는 특정 구조를 갖는 지그(80)가 적어도 한 개 이상 설치되어 구성된다.      On the other hand, as described above, the probe card as a consumable part in a state in which the measuring instrument and the probe card 10 on the probe inspection device are connected to each other via a coaxial test cable 30 having a microcoaxial pogo pin 32. At least one jig 80 having a specific structure is installed at one side of the stage (not shown) of the probe inspection apparatus so that the 10 can be automatically detached or mounted from the head 100 side of the probe inspection apparatus. It is composed.

먼저, 상기 지그(80)는 대략 사각판 형태를 갖는 베이스부재(50)를 매개로 상기 스테이지 일측면에 고정 설치되도록 이루어진다.      First, the jig 80 is made to be fixed to one side of the stage via the base member 50 having a substantially rectangular plate shape.

그리고, 상기 베이스부재(50)의 상측에는 특정 구조를 갖도록 이루어져 상기 베이스부재(50)와 일정 간격 이격된 상태로 설치되어 그 상면에 프로브 카드(10)가 장착된 하우징(20)이 안착된 상태에서 선택적으로 상승 및 하강되는 승.하강 부재(60)가 설치되되, 상기 승.하강 부재(60)는 그 정면이 대략 "┗┛" 형상을 갖는 한 쌍의 지지부재(61)가 상기 베이스부재(50)와 일정 간격 이격된 상태로 그 상면의 전단 및 후단 측에 설치되고, 상기 한 쌍의 지지부재(61) 상면에 걸쳐서는 그 평면이 대략 "[" 또는 "]" 형상을 갖으며 각 단부에는 상기 고정부재(40)의 클램프 샤프트(42)에 외력을 인가하는 걸림돌기(64)가 상측을 향해 돌출 형성된 한 쌍의 이동부재(62)가 좌.우 이동 가능한 상태로 설치되며, 상기 한 쌍의 이동부재(62) 사이에는 대략 사각판으로 이루어져 그 상면에 상기 프로브 카드(10)가 결합된 하우징(20)이 안착되는 안착판(66)을 포함하여 구성된다.      In addition, the upper side of the base member 50 has a specific structure and is installed in a state spaced apart from the base member 50 by a predetermined interval, and the housing 20 having the probe card 10 mounted thereon is seated. The lifting and lowering member 60, which is selectively lifted and lowered, is installed, and the lifting and lowering member 60 has a pair of supporting members 61 having a substantially "┗┛" shape at the front thereof. It is installed at the front and rear ends of the upper surface in a state spaced apart from the 50 at a predetermined interval, the plane has an approximately "[" or "]" shape over the upper surface of the pair of support members 61, At the end, a pair of moving members 62 are formed to move left and right in a state in which a locking projection 64 applying an external force to the clamp shaft 42 of the fixing member 40 protrudes upward. Between the pair of moving members 62 consists of a substantially square plate A is configured to include the probe card 10 is coupled with the housing mounting plate 66 is 20 is seated.

이때, 상기 승.하강 부재(60)에 포함되는 한 쌍의 이동부재(62)는 상호 대칭으로 좌.우 이동 가능하게 설치되되, 이를 위해 상기 이동부재(62)의 전단 측에 위치한 지지부재(61) 상에는 상기 이동부재(62)를 관통한 상태로 설치되는 왼나사(72) 및 오른나사(74)를 포함하는 리드스크류(71)가 설치됨과 아울러, 상기 리드스크류(71)의 일측에는 회전력을 인가하기 위한 모터(70)가 연결되며, 상기 한 쌍의 이동부재(62)의 후단 측에 위치한 지지부재(61) 상에는 상기 한 쌍의 이동부재(62)를 관통한 상태로 설치되어 가이드 역할을 행하는 가이드봉(68)이 설치되어, 상기 한 쌍의 이동부재(62)의 좌.우 이송수단을 구성하게 된다.      At this time, the pair of moving members 62 included in the lifting and lowering member 60 are installed to be movable left and right symmetrically to each other, and for this purpose, a support member located on the front side of the moving member 62 ( On the 61, a lead screw 71 including a left screw 72 and a right screw 74 installed to penetrate the moving member 62 is installed, and a rotational force is applied to one side of the lead screw 71. A motor 70 for applying is connected, and is installed in a state of penetrating the pair of moving members 62 on the support member 61 positioned at the rear end side of the pair of moving members 62. A guide rod 68 is provided to constitute left and right conveying means of the pair of moving members 62.

또한, 상기 한 쌍의 지지부재(61)와 한 쌍의 이동부재(62) 및 안착판(66) 등을 포함하여 구성되는 승.하강 부재(60)를 상기 베이스부재(50)로부터 일정 간격 이격된 상태로 지지하면서 선택적으로 상.하 이동시킬 수 있도록 상기 베이스부재(50)의 중앙에는 실린더(52)가 설치된 상태에서 그 상단에 상기 승.하강 부재(60)를 구성하는 안착판(66) 하면이 고정 결합되어 구성된다.      In addition, the lifting and lowering member 60 including the pair of supporting members 61 and the pair of moving members 62 and the seating plate 66 is spaced apart from the base member 50 by a predetermined interval. Mounting plate 66 constituting the lifting and lowering member 60 at the upper end of the cylinder 52 is installed in the center of the base member 50 so that it can be selectively moved up and down while supporting in a predetermined state The lower surface is fixedly coupled.

또, 상기 승.하강 부재(60)의 상승 및 하강 시 원활한 동작이 이루어질 수 있도록 상기 승.하강 부재(60)의 하면에는 상기 베이스부재(50)를 관통한 다수 개의 승.하강 가이드부재(54) 상단이 고정 결합되어 구성됨이 바람직하다.In addition, a plurality of lifting and lowering guide members 54 which penetrate the base member 50 are disposed on the lower surface of the lifting and lowering member 60 so that the lifting and lowering members 60 can be smoothly moved up and down. It is preferable that the upper end is fixedly coupled.

이때, 상기 각각의 승.하강 가이드부재(54)의 하단에는 상기 실린더(52)의 상승 위치를 제한하는 걸턱(56)이 형성되어 구성된다.At this time, the lower end of each of the lifting and lowering guide member 54 is configured with a threshold 56 for limiting the rising position of the cylinder 52.

상기 지그(80)에 구비되는 모터(70) 및 실린더(52) 등의 구동은 프로브 검사장치의 제어수단을 통해 제어되거나, 또는 독립적으로 별도의 제어수단을 구성하여 제어할 수도 있다.
The driving of the motor 70 and the cylinder 52 provided in the jig 80 may be controlled through the control means of the probe inspection apparatus, or may be controlled by configuring a separate control means independently.

이어, 상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 작용에 대해 상세히 설명하면 다음과 같다.Next, the operation of the present invention as described above will be described in detail as follows.

먼저, 본 발명에 따른 프로브 카트 탈부착 구조가 적용된 프로브 검사장치에서, 소정 평판 디스플레이 제품의 검사를 수행하기 위한 프로브 카드(10)를 측정용 계측기와 연결시키는데 있어서는 특정 구조의 하우징(20) 하면에 일체로 구비된 프로브 카드(10)를 프로브 검사장치의 헤드(100) 측에 구비되는 고정부재(40)에 장착함에 따라 상기 측정용 계측기 및 프로브 카드(10) 상호간은 단부에 마이크로 코엑셜포고핀(32)이 형성된 다수 개의 코엑셜 테스트 케이블(30)을 매개로 연결되게 된다.      First, in the probe inspection apparatus to which the probe cart detachable structure according to the present invention is applied, in connecting the probe card 10 for performing inspection of a predetermined flat panel display product with a measuring instrument, it is integral to the lower surface of the housing 20 of a specific structure. By mounting the probe card 10 provided on the fixing member 40 provided on the head 100 side of the probe inspection device, the micrometer of the micro-coaxial pogo pin 32 at the end between the measuring instrument and the probe card 10 ) Is formed through a plurality of coaxial test cable 30 is formed.

즉, 상기 프로브 검사장치의 헤드(100) 측에 설치된 고정부재(40)의 하측에 상기 프로브 카드(10)가 일체로 장착된 하우징(20)을 위치시킨 상태에서, 상기 하우징(20) 측에 상측을 향한 외력이 인가되면, 상기 하우징(20)의 상면 양측 모서리 부분에 형성된 경사면(24)이 상기 고정부재(40)에 구비된 한 쌍의 클램프 샤프트(42) 사이에 가이드되면서 상기 고정부재(40) 내부로 진입하게 되며, 상기 하우징(20)이 일정 높이 상승함에 따라 상기 고정부재(40)의 한 쌍의 클램프 샤프트(42)가 인장스프링(44)의 복원력에 의해 상기 하우징(20)의 걸림홈(22)에 각각 끼워지면서, 상기 프로브 카드(10)를 포함하는 하우징(20)이 상기 고정부재(40) 내에 견고하게 장착되게 된다.      That is, in a state in which the housing 20 in which the probe card 10 is integrally mounted is positioned on the lower side of the fixing member 40 installed on the head 100 side of the probe inspection device, on the housing 20 side. When an external force is directed upward, the inclined surface 24 formed at both side edges of the upper surface of the housing 20 is guided between the pair of clamp shafts 42 provided in the fixing member 40, thereby fixing the fixing member ( 40 is entered into the interior, and as the housing 20 rises by a predetermined height, the pair of clamp shafts 42 of the fixing member 40 are moved by the restoring force of the tension spring 44 of the housing 20. The housings 20 including the probe card 10 are firmly mounted in the fixing member 40 while being fitted into the locking grooves 22, respectively.

그 상태에서, 상기 프로브 카드(10)의 상면에 형성된 다수 개의 패드(18)는 상기 프로브 검사장치의 헤드(100) 측에 브라켓트(110)를 매개로 고정 설치된 다수 개의 코엑셜 테스트 케이블(30)의 마이크로 코엑셜포고핀(32)과 각각 대응되게 접촉되게 된다.      In this state, the plurality of pads 18 formed on the upper surface of the probe card 10 is connected to the head 100 of the probe inspection apparatus of the plurality of coaxial test cables 30 fixedly installed through the bracket 110. The micro coaxial pogo pin 32 is in contact with each other.

이에, 상기 프로브 카드(10)에 형성된 다수 개의 패드(18)가 계측기와 연계된 다수 개의 마이크로 코엑셜포고핀(32)과 접촉됨에 따라, 프로브 카드(10) 및 다수의 케이블이 원터치 방식으로 간편하게 연결될 수가 있게 되는 것이다.       Accordingly, as the plurality of pads 18 formed on the probe card 10 are in contact with the plurality of micro coaxial pogo pins 32 connected to the measuring instrument, the probe card 10 and the plurality of cables may be easily connected in a one-touch manner. It becomes the number.

주지된 바와 같이, 상기 마이크로 코엑셜포고핀(32)은 한 개의 접촉점만을 갖는 일반 포고핀과 달리 시그널핀(36) 및 그 주변부를 둘러싼 가드핀(34)으로 일워진 두 개의 접점이 동시에 구비된 핀으로 노이즈 및 누설전류 특성이 매우 우수한 작용을 나타냄으로, 수 십 내지 수 백 펨토(10E-15) 내외의 극히 미세한 전류 측정을 통한 평판디스플레이 제품의 전기적 특성 시험을 보다 정확하게 수행할 수가 있음은 물론이다.      As is well known, the microcoaxial pogo pin 32 is a pin having two contacts simultaneously made of a signal pin 36 and a guard pin 34 surrounding the periphery thereof, unlike a general pogo pin having only one contact point. As the noise and leakage current characteristics are very excellent, the electrical characteristics of the flat panel display products can be more accurately performed by measuring extremely minute currents in the tens to hundreds of femto (10E-15). .

한편, 상기 프로브 카드(10)가 장착된 하우징(20)을 특정 구조의 지그(80)를 매개로 상기 헤드(100) 측의 고정부재(40)에 자동으로 장착 및 분리시키는 과정에 대해 상세히 설명하면 다음과 같다.      Meanwhile, the process of automatically mounting and detaching the housing 20 on which the probe card 10 is mounted to the fixing member 40 on the head 100 side through the jig 80 having a specific structure will be described in detail. Is as follows.

먼저, 도 8a 내지 도 8d에 도시된 바와 같이, 상기 프로브 카드(10)를 헤드(100) 측에 구비된 고정부재(40)에 장착 시키는데 있어서는 상기 지그(80)의 안착판(66) 상면에 장착을 위한 프로브 카드(10)가 일체로 결합된 하우징(20)을 안착시킨 상태에서(도 8a), 상기 고정부재(40)가 고정 설치된 프로브 검사장치의 헤드 측을 소정 이송수단(리니어 모터 등)을 이용하여 상기 지그(80)의 상측으로 이동시킨다.      First, as shown in FIGS. 8A to 8D, in mounting the probe card 10 to the fixing member 40 provided on the head 100 side, the mounting plate 66 of the jig 80 may be mounted on an upper surface of the jig 80. In a state in which the housing 20 to which the probe card 10 for mounting is integrally seated (FIG. 8A), the head side of the probe inspection device to which the fixing member 40 is fixed is fixed to a predetermined transfer means (linear motor, etc.). ) To the upper side of the jig (80).

이에 따라, 상기 하우징(20) 및 고정부재(40)가 상호 동일 수직선상에 일정 거리 이격된 상태로 위치하게 되면, 제어수단의 제어에 따라, 상기 한 쌍의 이동부재(62)의 좌.우 이동을 위한 모터(70)의 구동이 이루어지게 되고, 이에 상기 모터(70)와 연결된 왼나사(72) 및 오른나사(74)를 포함하는 리드스크류(71)의 회전을 통해 상기 한 쌍의 이동부재(62) 상호 간의 간격이 벌어지도록 좌.우 이동이 이루어지면서 각각의 이동부재(62)의 단부 측에 형성된 걸림돌기(64)가 상기 고정부재(40)에 돌출된 클램프 샤프트(42)에 외력을 인가하여 한 쌍의 클램프 샤프트(42) 상호 간의 간격이 일정 거리 벌어지도록 하게 된다(도 8b).      Accordingly, when the housing 20 and the fixing member 40 are positioned at a predetermined distance apart from each other on the same vertical line, the left and right sides of the pair of moving members 62 are controlled by the control means. The drive of the motor 70 for the movement is made, the pair of moving members through the rotation of the lead screw 71 including a left screw 72 and a right screw 74 connected to the motor 70. (62) As the left and right movements are made so that the distance between them is increased, an engaging force 64 formed on the end side of each moving member 62 is applied to the clamp shaft 42 protruding from the fixing member 40. Is applied to allow the distance between the pair of clamp shafts 42 to extend a certain distance (FIG. 8B).

그 후, 제어수단의 제어에 따라 상기 실린더(52)가 동작하면서 상기 지지부재(61)와 이동부재(62) 및 안착판(66)을 포함하는 승.하강 부재(60)를 상승시키게 되며, 이에 상기 안착판(66)에 안착된 프로브 카드(10)를 포함하는 하우징(20)이 일체로 상승하게 된다.      Thereafter, the cylinder 52 is operated under the control of the control means to raise and lower the lifting member 60 including the support member 61, the moving member 62, and the seating plate 66. Accordingly, the housing 20 including the probe card 10 seated on the seating plate 66 is raised.

또한, 상기 프로브 카드(10)를 포함하는 하우징(20)이 일정 높이 상승한 상태에서 상기 모터(70)가 역방향으로 회전되도록 제어가 이루어지게 되면, 상기 한 쌍의 클램프 샤프트(42)가 인장스프링(44)의 복원력에 의해 상호 간의 간격이 좁혀지도록 작용하면서 상기 하우징(20) 양측의 걸림홈(22)에 각각 끼워지게 되며(도 8c), 그 후 상기 실린더(52)를 복귀시켜 상기 승.하강 부재(60)의 하강이 이루어짐에 따라, 상기 고정부재(40) 및 하우징(20) 상호간이 견고하게 결합될 수 있게 된다.      In addition, when a control is performed such that the motor 70 rotates in a reverse direction in a state in which the housing 20 including the probe card 10 is raised at a predetermined height, the pair of clamp shafts 42 may be tension springs. 44 and the fitting grooves are respectively fitted into the engaging grooves 22 on both sides of the housing 20 by the restoring force of the housing 20 (FIG. 8C), and then the cylinder 52 is returned to the lifting and lowering. As the member 60 is lowered, the fixing member 40 and the housing 20 can be firmly coupled to each other.

이때, 상기 마이크로 코엑셜 포고핀(32)의 경우, 종류 및 수량 등에 따라 핀의 압력이 상당히 강하게 작용하게 되며, 이에 상기 하우징(20)의 걸림홈(22) 및 고정부재(40)의 클램프 샤프트(42)를 이용한 체결방식의 경우, 핀압이 상승하여도 비교적 안정적인 체결을 유지할 수가 있게 된다.      At this time, in the case of the micro-coaxial pogo pin 32, the pressure of the pin acts considerably stronger depending on the type and quantity, and thus the clamp shaft (22) of the housing 20 and the clamp shaft of the fixing member (40) 42), the fastening method can maintain a relatively stable fastening even if the pin pressure rises.

그리고, 도 9a 내지 도 9d에 도시된 바와 같이, 상기 고정부재(40)에 장착된 프로브 카드(10)의 교체 등을 위해 상기 하우징(20)을 분리시키는데 있어서는 상기 고정부재(40)가 설치된 프로브 검사장치의 헤드(100)를 이동시켜 상기 하우징(20)이 장착된 고정부재(40)가 안착판(66) 상면이 비어있는 해당 지그(80)의 상측으로 이동된 상태에서(도 9a), 제어수단의 제어에 의해 상기 실린더(52)를 상승시켜 상기 안착판(66)이 상기 프로브 카드(10)의 하면에 밀착된 상태로 정위치 되도록 한다(도 9b).      9A to 9D, a probe in which the fixing member 40 is installed is used to separate the housing 20 for replacing the probe card 10 mounted on the fixing member 40. With the head 100 of the inspection apparatus moved and the fixing member 40 on which the housing 20 is mounted is moved to the upper side of the corresponding jig 80 with the upper surface of the seating plate 66 empty (FIG. 9A), The cylinder 52 is raised by the control of the control means so that the seating plate 66 is in a fixed position in close contact with the bottom surface of the probe card 10 (FIG. 9B).

그 후, 상기 한 쌍의 이동부재(62)의 좌.우 이동을 위한 모터(70)의 구동을 통해 상기 한 쌍의 이동부재(62) 상호 간의 간격이 벌어지도록 함에 따라, 상기 이동부재(62)의 각 걸림돌기(64)에 의해 상기 고정부재(40)에 돌출된 클램프 샤프트(42) 상호간의 간격이 벌어지게 된다(도 9c).      Thereafter, the gap between the pair of movable members 62 is widened through the driving of the motor 70 for left and right movement of the pair of movable members 62. The gap between the clamp shafts 42 protruding from the fixing member 40 is widened by the engaging projections 64 of FIG. 9 (FIG. 9C).

또, 그 상태에서 상기 실린더(52)가 원위치 되도록 제어가 이루어짐에 따라, 상기 안착판(66)에 안착된 프로브 카드(10)를 포함하는 하우징(20)은 안착판(66)과 일체로 하강하면서 상기 고정부재(40)로부터 자동으로 분리될 수가 있게 되는 것이다(도 9d).      In addition, as the control is performed such that the cylinder 52 is returned to its original state, the housing 20 including the probe card 10 seated on the seating plate 66 is lowered integrally with the seating plate 66. While being able to be automatically separated from the fixing member 40 (Fig. 9d).

한편, 본 발명에서 기재된 내용과 다른 변형된 실시예들이 돌출 된다고 하더라도 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안되며, 본 발명에 첨부된 청구범위 내에 속하게 됨은 물론이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the scope of the appended claims.

10: 프로브 카드, 12: 프로브 핀,
14: 그라운드 패드, 16: 시그널 패드,
18: 패드, 20: 하우징,
22: 걸림홈, 24: 경사면,
30: 코엑셜 테스트 케이블, 32: 마이크로 코엑셜포고핀,
34: 그라운드 핀, 36: 시그널 핀,
40: 고정부재, 42: 클램프 샤프트,
44: 인장스프링, 50: 베이스부재,
52: 실린더, 54: 승.하강 가이드부재,
56: 걸턱, 60: 승.하강 부재,
61: 지지부재, 62: 이동부재,
64: 걸림돌기, 66: 안착판,
68: 가이드봉, 70: 모터,
71: 리드스크류, 72: 왼나사,
74: 오른나사, 80: 지그,
100: 프로브 검사장치의 헤드, 110: 브라켓트.10: probe card, 12: probe pin,
14: ground pad, 16: signal pad,
18: pad, 20: housing,
22: locking groove, 24: inclined surface,
30: coaxial test cable, 32: micro coaxial pogo pin,
34: ground pin, 36: signal pin,
40: fixing member, 42: clamp shaft,
44: tension spring, 50: base member,
52: cylinder, 54: lift and lower guide member,
56: threshold, 60: up and down,
61: support member, 62: moving member,
64: jamming, 66: seating plate,
68: guide rod, 70: motor,
71: lead screw, 72: left hand screw,
74: right-hand thread, 80: jig,
100: head of the probe inspection device, 110: bracket.

Claims (5)

평판디스플레이의 전기적 특성 시험을 위한 측정용 계측기 및 프로브 카드 상호간은 단부에 마이크로 코엑셜포고핀이 형성된 다수 개의 코엑셜 테스트 케이블을 매개로 연결되며,
이에, 프로브 검사장치의 헤드 측에는 브라켓트를 통해 다수 개의 코엑셜 테스트 케이블의 단부 측이 고정 배열되고,
그 하측에 장착되는 상기 프로브 카드의 상면에는 각각의 마이크로 코엑셜포고핀의 시그널핀 및 가드핀과 대응되게 시그널패드 및 그라운드패드가 형성된 다수 개의 패드가 대응되게 배열 형성되어 구성된 것을 특징으로 하는 프로브 검사장치의 프로브 카드 탈부착 구조.The measuring instrument and probe card for the electrical characteristics test of the flat panel display are connected via a plurality of coaxial test cables having microcoaxial pogo pins formed at the ends.
Thus, the end side of the plurality of coaxial test cable is fixedly arranged on the head side of the probe inspection device,
Probe test apparatus, characterized in that formed on the upper surface of the probe card mounted on the lower side of the plurality of pads formed with a signal pad and ground pad corresponding to the signal pin and the guard pin of each micro coaxial pogo pin Probe card removable structure. 제 1항에 있어서,
상기 프로브 카드는 사각틀 형상으로 이루어져 그 양측면 길이방향을 따라 각각 걸림홈이 형성된 하우징의 하면에 일체로 고정 결합되어 구성되며,
상기 프로브 검사장치의 헤드 측에는 상기 프로브 카드가 결합된 하우징이 선택적으로 장착되는 고정부재가 구비되되,
상기 고정부재는 그 하면을 통해 상기 하우징이 삽입된 후 하우징 외면이 그 내부에 고정 결합되는 사각틀 형상을 갖으며, 그 양내측벽의 길이방향을 따라서는 인장스프링을 통한 외력에 의해 상기 하우징의 걸림홈에 끼워지면서 상기 하우징을 단속하는 클램프 샤프트가 그 몸체의 전.후면을 관통한 상태로 각각 설치되어 구성된 것을 특징으로 하는 프로브 검사장치의 프로브 카드 탈부착 구조.The method of claim 1,
The probe card is formed in a rectangular frame shape is fixedly coupled to the lower surface of the housing formed with each of the engaging grooves along the longitudinal direction of both sides,
The head side of the probe inspection device is provided with a fixing member for selectively mounting the housing coupled to the probe card,
The fixing member has a rectangular frame shape in which the outer surface of the housing is fixedly coupled therein after the housing is inserted through the lower surface thereof, and the locking groove of the housing is caused by an external force through the tension spring in the longitudinal direction of both inner walls thereof. The probe card detachable structure of the probe inspection device, characterized in that the clamp shaft for intermittent the housing while being inserted into the penetrating the front and rear of the body. 제 2항에 있어서,
상기 하우징의 상면 양측 모서리 부분에는 상기 고정부재와의 원활한 결합을 위한 경사면이 형성되어 구성된 것을 특징으로 하는 프로브 검사장치의 프로브 카드 탈부착 구조.3. The method of claim 2,
Probe card attachment and detachment structure of the probe inspection device, characterized in that the inclined surface for smooth coupling with the fixing member is formed on both sides of the upper surface of the housing. 제 2항에 있어서,
상기 프로브 검사장치의 스테이지 일측에는 상기 프로브 카드가 결합된 하우징을 상기 고정부재 측에 자동으로 장착 또는 분리시키기 위한 적어도 한 개 이상의 지그가 설치되어 구성되며,
상기 지그는,
판형태로 이루어져 상기 스테이지 일측면에 고정 설치되는 베이스부재와;
정면이 "┗┛" 형상을 갖도록 이루어져 상기 베이스부재와 일정 간격 이격된 상태로 그 상면의 전단 및 후단 측에 설치되는 한 쌍의 지지부재와, 그 평면이 "[" 또는 "]" 형상을 갖도록 이루어져 상기 지지부재의 상면에 좌.우 이동 가능한 상태로 설치되며 각 단부에는 상기 고정부재의 클램프 샤프트에 외력을 인가하기 위한 걸림돌기가 상측을 향해 돌출 형성된 한 쌍의 이동부재와, 상기 한 쌍의 이동부재 사이에 설치되며 그 상면에 상기 프로브 카드가 결합된 하우징이 안착되는 안착판으로 이루어진 승.하강 부재와;
상기 한 쌍의 이동부재가 상호 대칭으로 좌.우 이동되도록 상기 전단 측의 지지부재 상에 이동부재를 관통한 상태로 설치되는 왼나사 및 오른나사를 포함하는 리드스크류와, 상기 리드스크류를 회전시키기 위한 모터와, 상기 후단 측의 지지부재 상에 이동부재를 관통한 상태로 설치되어 가이드 역할을 행하는 가이드봉으로 이루어진 좌.우 이송수단 및;
상기 승.하강 부재를 상기 베이스부재로부터 일정 간격 이격된 상태로 지지하면서 선택적으로 상.하 이동시키는 실린더를 포함하여 구성된 것;을 특징으로 하는 프로브 검사장치의 프로브 카드 탈부착 구조.3. The method of claim 2,
At least one jig for automatically mounting or detaching the housing to which the probe card is coupled to the fixing member is installed at one side of the stage of the probe inspection device.
The jig,
A base member which is formed in a plate shape and fixed to one side of the stage;
A pair of support members are formed on the front side to have a "┗┛" shape and are installed at the front and rear ends of the upper surface with a predetermined distance from the base member, and the plane has a "[" or "]" shape. And a pair of movable members formed on the upper surface of the support member so as to be movable left and right, and at each end, a protrusion for projecting an external force to the clamp shaft of the fixed member protrudes upward. A lifting and lowering member which is installed between the members and is made up of a seating plate on which a housing to which the probe card is coupled is mounted;
A lead screw including a left screw and a right screw installed on the support member on the front end side such that the pair of moving members move symmetrically to the left and right, and for rotating the lead screw. Left and right transfer means comprising a motor and a guide rod installed in a state of penetrating a moving member on the supporting member on the rear end side and serving as a guide;
And a cylinder for selectively moving up and down while supporting the elevating member in a state spaced apart from the base member by a predetermined distance from the base member. 제 4항에 있어서,
상기 승.하강 부재의 하면에는 상기 베이스부재를 관통한 다수 개의 승.하강 가이드부재 상단이 고정 결합되며, 각 승.하강 가이드부재의 하단에는 상기 실린더의 상승 위치를 제한하는 걸턱이 형성되어 구성된 것을 특징으로 하는 프로브 검사장치의 프로브 카드 탈부착 구조.5. The method of claim 4,
The lower end of the elevating member and the lower end of the plurality of lifting and lowering guide member through the base member is fixedly coupled, the lower end of each lifting and lowering guide member is formed by forming a threshold limiting the rising position of the cylinder Probe card attachment and detachment structure of the probe inspection device.
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