KR100911649B1 - Probe block - Google Patents

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(주)에이원메카
오형근
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Abstract

A probe block is provided to control a pitch of a probe pin freely by making the probe block of a unit which is movable through elastic movement. In a probe block, a probe comprises a probe frame and a probe head. A linear guide is installed between a probe frame and the probe head. A probe block is arranged at the lower part of probe head, and a fixed block(410) comprises a probe head joint groove and a joint groove(412). More than one horizontal slit grooves(422) between the vertical slit grooves(421) is formed on the fixing plate.

Description

프로브 블록 {Probe Block}Probe Block

본 발명은 TFT LCD 또는 디스플레이 관련 셀의 검사 장치에 사용되는 Contact 블록에 대한 것으로, 더욱 상세하게는 데이터 라인을 그룹으로 묶어 놓은 숏팅 바 Contact 방식에 적용되는 컨택트 프로브 블록에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a contact block used in an inspection apparatus for a TFT LCD or a display-related cell, and more particularly, to a contact probe block applied to a shorting bar contact method in which data lines are grouped.

본 발명은 TFT LCD 또는 디스플레이 관련 셀의 검사 장치용 프로브 블록에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 프로브 핀 간격을 검사대상 셀 크기 및 종류에 따라 가변적으로 변경이 가능하도록 한 프로브 블록 조립 구조에 관한 것이다.The present invention relates to a probe block for inspecting a TFT LCD or a display-related cell, and more particularly, to a probe block assembly structure in which the probe pin spacing is variably changed according to the size and type of a cell to be inspected.

TFT LCD는 셀 공정을 거쳐 모듈 공정으로 투입되어, POL, TAB, PCB 부착이 완료된 상태에서 LCD 모듈 조립 및 Aging & Cooling 공정을 수행하는 것이 일반적이다.TFT LCD is put into module process through cell process, and it is common to perform LCD module assembly and Aging & Cooling process with POL, TAB, PCB attachment completed.

최근에는 액정표시장치와 같은 디스플레이 패널은 양산기술 확보와 연구개발의 성과로 대형화와 고해상도화가 급속도로 진전되어 노트북 컴퓨터용 뿐만 아니라 대형 모니터, LCD, PDP, MOBILE 등과 같은 응용 제품으로도 개발되어 기존의 CRT(Cathode Ray Tube) 제품을 점진적으로 대체하고 있어 디스플레이 산업에서의 그 비중이 점차 증대되고 있다. Recently, display panels such as liquid crystal displays have been rapidly developed in size and high resolution due to mass production technology and R & D, and have been developed not only for notebook computers but also for applications such as large monitors, LCDs, PDPs, and mobile phones. It is gradually replacing CRT (Cathode Ray Tube) products, and its share in the display industry is gradually increasing.

이러한 LCD와 같은 평판표시소자의 테스트는 일반적으로 프로브 조립체를 구비 한 프로빙 장치를 이용하여 이루어지고 이와 같은 프로빙 장치의 프로브 조립체는 니들(Needle) 타입, 블레이드(Blade) 타입, 멤스(Mems) 타입 등으로 다양하게 개발 사용되어지고 있다. Testing of flat panel display devices such as LCDs is generally performed using a probing device having a probe assembly, and a probe assembly of such a probing device is a needle type, a blade type, a mems type, or the like. It is developed and used in various ways.

한편 Cell 검사장치는 크게 두 가지 방식이 있는데, Data Line 전체를 개별 contact하는 Full Contact 방식과 Data Line을 group으로 묶어 놓은 Shorting Bar Contact 방식이 있다. 본 발명은 Shorting Bar Contact 방식에 대한 Probe Block 에 대한 발명이다. 아울러 이러한 프로브 블록은 Display 분야에서 Cell 자체의 Aging을 실시할 때 사용되는 신호 인가용으로도 활용이 가능하다.On the other hand, there are two types of cell inspection devices: full contact method for individual contact of the entire data line and shorting bar contact method for grouping data lines into groups. The present invention relates to a probe block for a shorting bar contact method. In addition, these probe blocks can be used for signal application used when Aging Cell itself in the display field.

도 1은 종래 기술에 따른 프로브 조립체 구조를 도시하고 있다.1 shows a probe assembly structure according to the prior art.

도 1에서와 같이, 종래의 프로브 장치는 프로브 프레임(102)과 프로브 프레임 선단에 고정볼트에 의하여 서로 체결되는 프로브 헤드(104)를 포함한다.As shown in FIG. 1, the conventional probe apparatus includes a probe frame 102 and a probe head 104 fastened to each other by fixing bolts at the tip of the probe frame.

또한, 상기 프로브 프레임(102)과 프로브 헤드(104) 사이에는 리니어 가이드(106)가 설치되어 프로브 헤드(104)가 패널 검사 과정에서 상하로 유동할 수 있게 한다.In addition, a linear guide 106 is installed between the probe frame 102 and the probe head 104 to allow the probe head 104 to flow up and down during the panel inspection process.

프로브 헤드(104) 저면에는 프로브 유닛(100)이 고정수단(108)에 의하여 착탈 가능하게 설치되어 평판 디스플레이 패널 검사를 수행하게 한다.The probe unit 100 is detachably installed on the bottom of the probe head 104 by the fixing means 108 to perform a flat panel display panel inspection.

한편, 상기 프로브 유닛(100)에는 복수개의 슬릿들이 일정 간격으로 형성되어 있으며, 각각의 슬릿에는 하나의 탐침 블레이드가 삽입되어 에폭시로 고정된다.On the other hand, the probe unit 100 has a plurality of slits are formed at regular intervals, one probe blade is inserted into each slit is fixed with epoxy.

그러나 상기와 같은 프로브 유닛의 경우에는 에폭시로 고정되는 구조를 갖기 때문에 검사될 LCD 패널의 패드에 파티클이 있어서 탐침 블레이드가 휘거나 파손되는 경우, 또는 디스플레이 패널의 전극패드 밀집도에 따라 탐침 블레이드 간격을 조절할 수가 없어서 프로브 블록 전체를 교체하여야 하므로 프로브 블록을 생산 모델의 수에 따라 개별 보관하고 있어야 하였으며, 이로 인한 재고의 Loss 문제가 발생하였다.However, in the case of the probe unit as described above, since it has an epoxy fixed structure, the probe blade is bent or broken due to particles on the pad of the LCD panel to be inspected, or the probe blade spacing is adjusted according to the electrode pad density of the display panel. Since the entire probe block had to be replaced due to the lack of numbers, the probe blocks had to be stored separately according to the number of production models, which caused a loss of inventory.

즉, 종래의 기술은 고정 Type의 프로브 블록으로 사용되고 있어 생산 모델이 변경될 때마다 Cell 의 shorting Bar 수와 간격에 따라 contact 프로브 블록을 교체하여야 하는 불편함을 가지고 있었다.That is, the conventional technology has been used as a fixed type of probe block, and had to be inconvenient to replace the contact probe block according to the number and spacing of the shorting bar of the cell whenever the production model is changed.

일반적으로 Cell의 shorting Bar 간격 및 Point 수에 있어서 Point 간의 간격은 800um ~1600um으로 일정하게 지정된 것 없이 다양하며, Cell의 형태에 따라 모여있는 Point의 수도 Model 별로 다르게 형성되고 있다는 점에서 가변적으로 숏팅 바 및 포인트 간 간격을 조절할 수 있도록 하는 프로브 블록에 대한 필요성은 매우 크다 할 것이다.In general, the spacing between the points in the cell's shorting bar interval and the number of points varies from 800um to 1600um without being constantly specified, and the number of points gathered according to the shape of the cell varies depending on the model. And the need for a probe block to adjust the spacing between points would be very large.

상기한 종래 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 생산 모델이 변경되더라도, 프로브 블록의 교체 없이 신뢰성 검사 및 에이징(aging) Test를 할 수 있는 구조를 가진 셀 신뢰성 검사 장치를 제공하는 데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention for solving the above-described problems is to provide a cell reliability test apparatus having a structure that can perform a reliability test and an aging test without replacing a probe block even if a production model is changed.

즉, 생산 모델 변경에 따른 프로브 블록의 교체 필요성을 제거하여 생산 속도를 단축시키고 교체시간을 줄이게 하여 검사 사이클을 단축시킴으로써 공정 시간 및 소요 비용을 줄일 수 있도록 하는 데 본 발명의 또 다른 목적이 있다. That is, another object of the present invention is to reduce the process time and cost by eliminating the need to replace the probe block according to the production model changes to shorten the production speed and reduce the replacement time to shorten the inspection cycle.

상기한 종래 문제점을 해결하고 본 발명에 따른 목적을 해결하기 위한 프로브 블록의 구성은, TFT LCD 또는 디스플레이 모듈 관련 셀 검사 장치에 사용되는 컨택트 프로브 블록에 있어서, 상부로는 프로브 헤드 및 고정수단과 체결되어 프로브헤드를 고정시키기 위한 프로브헤드 체결홈 및 고정수단 체결홈을 구비한 고정블록과; 상기 고정블록 저면 외측 으로는 하나 이상의 수직 슬릿홈을 상기 고정블록 정면 방향 기준 좌우 측단에 형성하고 상기 수직 슬릿홈 사이에는 고정블록 정면 방향 기준 수평 방향으로 하나 이상의 수평 슬릿홈을 구비한 평판 형상의 고정판과; 상기 고정판의 수직 슬릿홈보다 작은 크기의 끼움홈을 상기 수직 슬릿홈과 겹치는 방향으로 하나 이상 형성하고 상기 끼움홈 사이로는 사선 상방향으로 벌어지는 각도로 하나 이상의 그루브를 형성한 평판 형상의 이동판과; 상기 고정블록 정면 저부인 사선 아랫 방향으로 장착되는 컨택트 프로브 핀과; 상기 프로브 핀 외각과 상기 고정판 일측 지지 프레임에 지지되도록 설치되어 프로브 핀 벌림 간격을 탄성 지지하기 위한 판스프링과; 상기 고정블록 정면 기준 이동판 끝단에 설치되는 이동판 이동용 스크류;를 포함하여 구성되며, 상기 프로브 핀 사이로 고정판 수평 슬릿 홈으로 고정 핀이 다수 개 삽입되고, 상기 이동판 이동용 스크류 작동에 따라 상기 프로브 블록에 장착되는 프로브 핀 피치 간격을 해체 없이 자유로이 조정할 수 있는 것을 특징으로 한다.The configuration of the probe block for solving the above-mentioned conventional problems and to solve the object according to the present invention, in the contact probe block used in the TFT LCD or display module-related cell inspection apparatus, the upper portion is fastened with the probe head and the fixing means A fixing block having a probe head fastening groove and a fixing means fastening groove for fixing the probe head; At least one vertical slit groove is formed at the left and right side ends of the fixed block in the front direction, and at least one horizontal slit groove is provided in the horizontal direction of the fixed block in the horizontal direction between the vertical slit grooves. and; A plate-shaped moving plate having at least one fitting groove having a smaller size than the vertical slit groove of the fixing plate in a direction overlapping with the vertical slit groove, and at least one groove formed at an angle extending diagonally between the fitting grooves; A contact probe pin mounted downward in a diagonal direction at the bottom of the fixed block; A leaf spring installed to be supported by the probe pin outer shell and the fixing plate one side support frame to elastically support the probe pin spreading gap; A moving plate moving screw installed at an end of the fixed block front reference moving plate; and a plurality of fixing pins are inserted into the fixed plate horizontal slit groove between the probe pins, and the probe block is operated according to the moving plate moving screw operation. It is characterized in that the probe pin pitch mounted on the can be adjusted freely without disassembly.

또한, 모아져 돌출되는 뾰족한 형상의 프로브 핀 피치를 갖는 상기 프로브 핀이 수직 방향으로 다수 개 정렬 구성되며, 이웃하는 프로브 핀 사이로는 하나 이상의 수렴부와 확산부를 갖도록 수직 방향으로 다수 굴곡을 갖는 형상의 프로브 핀을 평행하게 정렬시킨 것을 특징으로 한다.In addition, a plurality of probe pins having a pointed probe pin pitch that is collected and projected are arranged in a vertical direction, and probes having a plurality of bends in a vertical direction to have at least one converging portion and a diffusion portion between neighboring probe pins. The pins are arranged in parallel.

또한, 상기 판스프링은 상기 프로브 핀의 최대 벌어짐에서 탄성력을 부여하여 구성 요소의 끊어짐이나 파손을 방지하기 위하여 내측으로 반원 형상인 구조로 상기 프로브 핀 수직 방향 좌우 외측 측부에 하나 이상 설치하는 것을 특징으로 한다.In addition, the leaf spring is provided with at least one on the left and right outer side in the vertical direction of the probe pin in a semi-circular structure in order to give the elastic force at the maximum opening of the probe pin to prevent breakage or damage of the component. do.

이상에서와 같이, 본 발명의 프로브 블록을 사용하게 되면 생산 공정에서 발생하는 Loss 로 생산 모델 변경에 따른 프로브 블록의 교체 비용을 절감하고 교체 시간의 절약으로 생산 대응속도를 빨리 하여 모델 변경에 따른 생산 Loss를 절약할 수 있는 효과가 있다.As described above, the use of the probe block of the present invention reduces the cost of replacing the probe block according to the change of the production model due to the loss occurring in the production process and speeds up the production response by reducing the replacement time, thereby producing according to the model change. It is effective to save the loss.

본 고안은 디스플레이 패널에 구비된 다수의 전극 패드에 다수의 프로브를 직접 접촉시켜 디스플레이 패널의 불량 유무를 검사하는 프로브 및 이를 이용한 디스플레이 패널 검사용 프로브 블록에 관한 것이다.The present invention relates to a probe for inspecting whether a display panel is defective by directly contacting a plurality of probes to a plurality of electrode pads provided in the display panel, and a probe block for inspecting a display panel using the same.

이와 같은 디스플레이 패널은 2개의 기판상에 2개의 전극이 각각 형성되어 있는 면이 마주 대하도록 배치하고, 2개의 기판 사이에 액정 물질을 주입한 다음, 두 전극에 전압을 인가하여 생성되는 전기장에 의해 액정분자를 움직이게 함으로써 이에 따라 변화되는 빛의 투과율에 의해 화상을 표현하는 장치로서, 구동회로(Drive IC)를 포함한다.Such a display panel is disposed on two substrates so that the surfaces on which two electrodes are formed are faced to each other, a liquid crystal material is injected between the two substrates, and an electric field generated by applying a voltage to the two electrodes. An apparatus for expressing an image by changing the transmittance of light by moving the liquid crystal molecules, and includes a drive circuit (Drive IC).

그리고, 상기 구동회로는 다수의 게이트라인과 데이터라인이 교차하면서 규정하는 디스플레이 패널의 화소영역에 전기적 신호를 인가하여 화상을 표시하도록 하는 한편, 반도체 칩과 마찬가지로 상기 디스플레이 패널을 제품에 장착하기 전에 디스플레이 패널에 전기적 신호를 인가하여 화소의 불량 유무를 검사할 수 있도록 하며, 이를 위한 구성으로 다수의 전극패드를 포함하여 이루어진다.The driving circuit displays an image by applying an electrical signal to a pixel area of a display panel defined by crossing a plurality of gate lines and data lines, and displays the display panel before mounting the display panel on a product like a semiconductor chip. An electrical signal is applied to the panel to check whether there is a defect in the pixel, and a configuration for this includes a plurality of electrode pads.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 바람직한 본 발명에 따른 실시 예들을 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명에 따른 프로브 블록(400)을 포함하는 프로브 장치(100)의 사시도이다. 이러한 프로브 장치(100) 구성은 일반적인 공지된 형상과 동일하므로 간략하게 설명하기로 한다.2 is a perspective view of a probe device 100 including a probe block 400 according to the present invention. Since the configuration of the probe device 100 is the same as a general known shape, it will be briefly described.

도 2를 참조하면, 프로브 장치(100)는 사각 형상의 수평 구조인 프로브 프레임(200)과 상기 프로브 프레임(200)의 선단 돌출부에 고정볼트(210)에 의하여 서로 체결되는 프로브 헤드(300)를 포함하며, 상기 프로브 헤드(300) 측부에는 디스플레이 패널 검사 과정에서 상하 유동이 자유로울 수 있도록 프로브 프레임(200)과 프로브 헤드(300) 사이로는 리니어 가이드(250)가 설치된다. Referring to FIG. 2, the probe device 100 may include a probe frame 200 having a rectangular horizontal structure and a probe head 300 fastened to each other by a fixing bolt 210 at a tip protrusion of the probe frame 200. The linear guide 250 is installed between the probe frame 200 and the probe head 300 to freely move up and down during the display panel inspection process.

그리고 프로브 헤드(300) 저면에는 컨택트 부재인 프로브 핀(450) 피치가 사선 방향으로 정렬되어 다수 개 조립되는 프로브 블록(400)이 착탈 가능하게 조립되어 고정 배치된다.In addition, the pitch of the probe pins 450, which is a contact member, is aligned on a diagonal line in the bottom of the probe head 300, and a plurality of probe blocks 400 are assembled and detachably assembled.

이 경우 일정 두께를 갖는 사각 판상 형상인 고정수단(350)을 상기 프로브 헤드(300) 및 프로브 블록(400) 사이에 매개시키는 것이 바람직하다. 그리고, 이 경 우 검사 셀 부재 및 모듈에 따라 다양하게 변경 설치가 가능하도록 착탈 가능한 결합 방식을 적용하여 프로브 장치를 구성함이 바람직하다. 이를 위하여, 도시된 바와 같이, 고정수단 전면부 중앙 상부에에는 고정볼트와 같은 체결부재(310)를 구비하도록 하고 있다. In this case, it is preferable that the fixing means 350 having a rectangular plate shape having a predetermined thickness is interposed between the probe head 300 and the probe block 400. And, in this case, it is preferable to configure the probe device by applying a detachable coupling method so that various changes can be installed according to the test cell member and the module. To this end, as shown, the fastening member 310, such as a fixing bolt is provided on the center upper portion of the fixing means.

이하, 도 3 내지 도 5를 참조하여 본 발명에 따른 프로브 블록(400)에 대하여 상세하게 설명한다.Hereinafter, the probe block 400 according to the present invention will be described in detail with reference to FIGS. 3 to 5.

도시된 바와 같이, 상부로는 프로브 헤드(300) 및 고정수단(350)과 체결되어 프로브헤드(300)를 고정시키기 위한 프로브헤드 체결홈(411) 및 고정수단 체결홈(412)을 구비한 고정블록(410)을 구비한다. As shown, the upper portion is fixed with a probe head fastening groove 411 and a fastening means fastening groove 412 for fastening the probe head 300 and the fixing means 350 to fix the probe head 300. Block 410 is provided.

그리고, 상기 고정블록(410) 저면 외측 으로는 하나 이상의 수직 슬릿홈(421)을 고정블록(410) 정면 방향 기준 좌우 측단에 형성하고, 상기 수직 슬릿홈(421) 사이에는 고정블록(410) 정면 방향 기준 수평 방향으로 하나 이상의 수평 슬릿홈(422)을 구비한 평판 형상의 고정판(420)을 구성한다. Further, at least one vertical slit groove 421 is formed at the left and right sides of the fixing block 410 in the front direction, and the front of the fixing block 410 is disposed between the bottom of the fixing block 410 and the vertical slit groove 421. The plate-shaped fixing plate 420 having one or more horizontal slit grooves 422 in the horizontal direction is constituted.

아울러, 상기 고정판(420)의 수직 슬릿홈(422)보다 작은 크기의 끼움홈(431)을 상기 수직 슬릿홈(422)과 겹치는 방향으로 하나 이상 형성하고 상기 끼움홈(422) 사이로는 사선 상방향으로 벌어지는 각도로 하나 이상의 그루브(432)를 형성한 평판 형상의 이동판(430)을 더 구비하도록 한다. In addition, one or more fitting grooves 431 having a smaller size than the vertical slit grooves 422 of the fixing plate 420 may be formed in the direction overlapping with the vertical slit grooves 422, and may be diagonally upward between the fitting grooves 422. Further provided with a plate-shaped moving plate 430 is formed with one or more grooves 432 at an angle that opens.

한편, 상기 고정블록(410) 정면 저부인 사선 아랫 방향으로 모아져 돌출되는 뾰족한 형상의 프로브 핀(450)이 수직 방향으로 다수 개 정렬 구성되는데, 이 경우 이웃하는 상기 프로브 핀(450) 사이로는 하나 이상의 수렴부(451)와 확산부(452)를 갖도록 수직 방향으로 굴곡된 형상을 갖도록 프로브 핀 형상을 제작하여 평행하게 정렬시키는 것이 바람직하다. On the other hand, a plurality of pointed probe pins 450 arranged in a vertical direction are collected in the oblique oblique downward direction of the front of the fixing block 410, in this case one or more between the adjacent probe pins 450 It is preferable to produce the probe pin shape so as to have a curved shape in the vertical direction to have the converging portion 451 and the diffusion portion 452 to align in parallel.

그리고, 상기 프로브 핀(450) 외각과 상기 고정판(420) 일측 지지 프레임에 지지되도록 설치되어 프로브 핀(450) 벌림 간격을 탄성 지지하기 위한 판스프링(40)과, 고정블록(410) 정면 기준 이동판(430) 끝단에 고정되는 이동판 이동용 스크류(435)를 더 포함하여 구성한다. In addition, the outer side of the probe pin 450 and the fixing plate 420 is installed to be supported on one side of the support frame spring 40 for elastically supporting the gap between the probe pin 450 and the fixed block 410 front reference movement The plate 430 further comprises a moving plate moving screw 435 fixed to the end.

그리고 상기 프로브 핀(450) 사이로 고정판(420) 수평 슬릿 홈(422)으로 고정 핀(470)이 다수 개 삽입된다. In addition, a plurality of fixing pins 470 are inserted into the fixing plate 420 horizontal slit grooves 422 between the probe pins 450.

이에 따라서 이동판 이동용 스크류(435)를 고정블록(410) 저면부 사선 상방향으로 일정 거리만큼 당기게 되면 이동판(430)이 상승하게 되며 이에 따라서 이동판(430)에 부착된 프로브 핀(450)도 이동하게 되는 데, 이 경우 이동되는 프로브 핀(450) 형상에 따라서 이웃하는 프로브 핀(450)의 수직 정렬 사이가 형성하는 모양이 변하게 되므로, 즉 상기 프로브 핀 수렴부(451) 및 확산부(452)가 상기 고정 핀(470) 둘레 부분을 압착하거나 그냥 사이에 위치하거나 하면서 상기 프로브 핀(450) 전단부의 피치(451) 사이 간격을 조절할 수 있게 된다.Accordingly, when the moving plate moving screw 435 is pulled by a predetermined distance upward in the oblique direction of the bottom of the fixed block 410, the moving plate 430 is raised, and thus the probe pin 450 attached to the moving plate 430. In this case, the shape formed between the vertical alignment of the neighboring probe pins 450 is changed according to the shape of the probe pins 450 to be moved, that is, the probe pin converging portion 451 and the diffusion portion ( 452 may adjust the distance between the pitch 451 of the front end of the probe pin 450 while pressing or just positioned between the circumference of the fixing pin 470.

이 때, 상기 피치 사이 간격은 800um 내지 1600um 범위에서 일정하게 지정된 것 없이 다양하며, 셀의 형태에 따라 모여있는 포인트 수도 모델 별로 다르게 형성되고 있다는 점에서 가변적으로 숏팅 바 및 포인트 간 간격을 조절할 수 있게 된다. At this time, the interval between the pitch is varied in the range of 800um to 1600um without being specified constantly, and the number of points gathered according to the shape of the cell is formed differently for each model, so that the distance between the shorting bar and the point can be adjusted variably. do.

이 경우, 압착되는 정도를 이동용 스크류(435)의 당김 정도로 조절 가능하도록 구성하여 다양한 모델 및 크기의 검사용 디스플레이 모듈 전극으로의 접촉이 가능 하도록 구성함이 바람직하다. 이를 위하여, 상기 이동판 이동용 스크류는 내부 걸림턱 및 걸림홈을 구비하여 일정 범위 회전시켜 당김과 누름 동작을 반복하거나, 내부에 나사산을 형성하여 나사산 피치에 따른 회전직선 동작에 따른 직선거리 이동을 수행하도록 내부 형상을 구성함이 더욱 바람직하다.In this case, it is preferable to configure the compression degree to be adjustable to the pulling degree of the moving screw 435 to be configured to allow contact with the display module electrodes for inspection of various models and sizes. To this end, the moving plate moving screw is provided with an internal locking jaw and a locking groove to rotate a predetermined range to repeat the pulling and pressing operation, or to form a thread inside to perform a linear distance movement according to the rotational linear motion according to the thread pitch It is more preferable to configure the internal shape so as to.

아울러, 상기 프로브 핀(450)의 최대 벌어짐에서 탄성력을 부여하여 구성 요소의 끊어짐이나 파손을 방지하기 위하여 내측으로 반원 형상인 판스프링(440)을 프로브 핀(450) 수직 방향 좌우 측부에 하나 이상 설치한다. 도면에서는 좌우측 각각 2개로 도시되어 있지만 설치 모습 및 설치 개수가 이에 한정되지 않음은 당연하다 할 것이다. In addition, at least one plate spring 440 having a semi-circular shape inwardly installed on the left and right sides of the probe pin 450 in a vertical direction to impart elastic force at the maximum opening of the probe pin 450 to prevent breakage or breakage of components. do. In the drawings, two left and right sides are respectively shown, but the installation state and the number of installations are not limited thereto.

상기한 구성 및 동작에 따른 프로브 블록 설치시에는 신뢰성 테스트를 위하여 제공되는 셀 소자 및 디스플레이 모듈 등의 다양한 검사 모델 및 검사 대상 크기에 따른 프로브 핀 피치 간격을 해체 작업 없이 구현이 가능하게 된다.When installing the probe block according to the above configuration and operation, it is possible to implement the probe pin pitch spacing according to various inspection models such as cell elements and display modules provided for reliability test and inspection object size without dismantling work.

한편, 본 발명은 상기 구성으로 이루어진 프로브 블록 장치에 있어 여러가지 형태를 취할 수 있다. 하지만, 본 발명은 상기한 상세한 설명에서 언급되는 특별한 형태로 한정된 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 오히려 첨부된 청구 범위에 의하여 정의되는 본 발명의 정신과 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. On the other hand, the present invention can take various forms in the probe block device having the above configuration. It is to be understood, however, that the present invention is not limited to the specific forms referred to in the above description, but rather includes all modifications, equivalents and substitutions within the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. It should be understood that.

예를 들면, 상기한 실시 예에서는 이동판 이동용 스크류를 당김으로써 프로브 핀 검침부를 원하는 간격만큼 조절하는데, 이는 예시적인 것에 불과하며, 나사 스크류 돌림 등 방식도 가능하며, 고정 핀에 접촉되는 프로브 핀 부위 형상에 따라서 이웃하는 프로브 핀 벌림 및 오므림 동작을 매개할 수 있는 수단이라면 본 고안의 기술적 사상에 포함됨은 당연하다.For example, in the above-described embodiment, the probe pin reading portion is adjusted by a desired distance by pulling the movable plate moving screw, which is merely exemplary, and a screw screw turning method is also possible, and the probe pin portion in contact with the fixing pin is provided. As long as it is a means capable of mediating neighboring probe pin spreading and pinching operations according to the shape, it is natural to be included in the technical idea of the present invention.

도 1은 종래 기술에 따른 프로브 블록 조립체를 도시한 도면1 shows a probe block assembly according to the prior art;

도 2는 본 발명에 따른 프로브 블록 조립체를 도시한 사시도2 is a perspective view of a probe block assembly according to the present invention;

도 3a는 본 발명에 따른 프로브 블록의 일 실시 예에 따른 사시도3A is a perspective view according to an embodiment of a probe block according to the present invention;

도 3b는 도 3a의 저면 사시도3B is a bottom perspective view of FIG. 3A

도 4a는 본 발명에 따라 프로브 핀 간격 조정 후 프로브 블록의 또 다른 일 실시 예에 따른 사시도Figure 4a is a perspective view according to another embodiment of the probe block after adjusting the probe pin spacing in accordance with the present invention

도 4b는 도 4a의 저면 사시도4B is a bottom perspective view of FIG. 4A

도 5는 본 발명에 따른 프로브 블록 구성의 분해 사시도5 is an exploded perspective view of a probe block configuration according to the present invention;

*** 도면의 주요 부분에 대한 설명 ****** Description of the main parts of the drawing ***

400: 프로브 블록 410: 고정블록400: probe block 410: fixed block

420: 고정판 430: 이동판420: fixed plate 430: moving plate

450: 프로브 핀 470: 고정 핀450: probe pin 470: fixed pin

Claims (4)

TFT LCD 또는 디스플레이 모듈 관련 셀 검사 장치에 사용되는 컨택트 프로브 블록에 있어서, In the contact probe block used in the TFT LCD or display module related cell inspection apparatus, 상부로는 프로브 헤드 및 고정수단과 체결되어 프로브헤드를 고정시키기 위한 프로브헤드 체결홈 및 고정수단 체결홈을 구비한 고정블록과; A fixing block having a probe head fastening groove and a fastening means fastening groove for fastening to the probe head and the fixing means to fix the probe head; 상기 고정블록 저면 외측 으로는 하나 이상의 수직 슬릿홈을 상기 고정블록 정면 방향 기준 좌우 측단에 형성하고 상기 수직 슬릿홈 사이에는 고정블록 정면 방향 기준 수평 방향으로 하나 이상의 수평 슬릿홈을 구비한 평판 형상의 고정판과; At least one vertical slit groove is formed at the left and right side ends of the fixed block in the front direction, and at least one horizontal slit groove is provided in the horizontal direction of the fixed block in the horizontal direction between the vertical slit grooves. and; 상기 고정판의 수직 슬릿홈보다 작은 크기의 끼움홈을 상기 수직 슬릿홈과 겹치는 방향으로 하나 이상 형성하고 상기 끼움홈 사이로는 사선 상방향으로 벌어지는 각도로 하나 이상의 그루브를 형성한 평판 형상의 이동판과; A plate-shaped moving plate having at least one fitting groove having a smaller size than the vertical slit groove of the fixing plate in a direction overlapping with the vertical slit groove, and at least one groove formed at an angle extending diagonally between the fitting grooves; 상기 고정블록 정면 저부인 사선 아랫 방향으로 장착되는 컨택트 프로브 핀과;A contact probe pin mounted downward in a diagonal direction at the bottom of the fixed block; 상기 프로브 핀 외각과 상기 고정판 일측 지지 프레임에 지지되도록 설치되어 프로브 핀 벌림 간격을 탄성 지지하기 위한 판스프링과;A leaf spring installed to be supported by the probe pin outer shell and the fixing plate one side support frame to elastically support the probe pin spreading gap; 상기 고정블록 정면 기준 이동판 끝단에 설치되는 이동판 이동용 스크류;를 포함하여 구성되며,And a moving plate moving screw installed at the end of the fixed block front reference moving plate. 상기 프로브 핀 사이로 고정판 수평 슬릿 홈으로 고정 핀이 다수 개 삽입되고, 상기 이동판 이동용 스크류 작동에 따라 상기 프로브 블록에 장착되는 프로브 핀 피치 간격을 해체 없이 자유로이 조정할 수 있는 것을 특징으로 하는 프로브 블록A plurality of fixing pins are inserted into the fixing plate horizontal slit grooves between the probe pins, and the probe block pitch can be freely adjusted without disassembly according to the moving plate moving screw operation without disassembly. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 모아져 돌출되는 뾰족한 형상의 프로브 핀 피치를 갖는 상기 프로브 핀이 수직 방향으로 다수 개 정렬 구성되며, 이웃하는 프로브 핀 사이로는 하나 이상의 수렴부와 확산부를 갖도록 상기 프로브 핀을 평행하게 정렬시킨 것을 특징으로 하는 프로브 블록 A plurality of the probe pins having a pointed probe pin pitch of protruding collected is arranged in a vertical direction, and the probe pins are arranged in parallel so as to have one or more converging portions and diffusion portions between neighboring probe pins. Probe block 제 2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 판스프링은 상기 프로브 핀의 최대 벌어짐에서 탄성력을 부여하여 구성 요소의 끊어짐이나 파손을 방지하기 위하여 내측으로 반원 형상인 구조로 상기 프로브 핀 수직 방향 좌우 외측 측부에 하나 이상 설치하는 것을 특징으로 하는 프로브 블록 The leaf spring is a semi-circular inward structure in order to impart an elastic force at the maximum opening of the probe pin to prevent breakage or damage of the component in the probe pin vertical direction in the left and right outer side characterized in that the probe is installed block 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 3, 상기 이동판 이동용 스크류는 내부 걸림턱 및 걸림홈을 구비하여 일정 범위 회전시켜 당김과 누름 동작을 반복하거나, 내부에 나사산을 형성하여 나사산 피치에 따른 회전 직선 동작에 따른 직선거리 이동을 수행하는 것을 특징으로 하는 프로브 블록The moving plate moving screw is provided with an internal locking step and a locking groove to rotate a predetermined range to repeat the pulling and pressing operation, or to form a thread therein to perform a linear distance movement according to the rotational linear operation according to the thread pitch. Probe blocks
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100967161B1 (en) 2010-03-23 2010-07-05 (주)유비프리시젼 Probe block for having film type probe contactor

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20000071450A (en) * 1999-03-18 2000-11-25 니시무로 타이죠 Multiprobe unit and measuring apparatus having the same
KR20000074037A (en) * 1999-05-17 2000-12-05 이석행 Prober apparatus for testing of tft-lcd
JP2002311057A (en) 2001-04-06 2002-10-23 Mitsubishi Materials Corp Contact device and contact probe provided with the same
KR20080052710A (en) * 2006-12-08 2008-06-12 주식회사 파이컴 Probe assembly

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20000071450A (en) * 1999-03-18 2000-11-25 니시무로 타이죠 Multiprobe unit and measuring apparatus having the same
KR20000074037A (en) * 1999-05-17 2000-12-05 이석행 Prober apparatus for testing of tft-lcd
JP2002311057A (en) 2001-04-06 2002-10-23 Mitsubishi Materials Corp Contact device and contact probe provided with the same
KR20080052710A (en) * 2006-12-08 2008-06-12 주식회사 파이컴 Probe assembly

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100967161B1 (en) 2010-03-23 2010-07-05 (주)유비프리시젼 Probe block for having film type probe contactor

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