KR20000074037A - Prober apparatus for testing of tft-lcd - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A probe apparatus is provided to judge the goodness and the badness of a thin film transistor liquid crystal display by exactly detecting a pixel operation signal. CONSTITUTION: A probe apparatus comprises a plurality of thin film probe members each of which has a transfer tip for transferring an operation signal of a pixel. An insulation guide film is located at an upper part of the probe members, and has a plurality of guide holes penetrating the transfer tip. An insulation ceramic pole is received in a fixing hole so as to maintain the fixing of an arrangement position of a probe tip of the probe member. A probe body is located at an upper part of the probe member, and a fixing block is located between the probe body and the probe member so as to fix the probe body to an external assembly. A pair of guide plate fixes the probe members and are coupled with one side and the other side of the probe body, respectively.

Description

액정디스플레이 검사용 프로브장치{PROBER APPARATUS FOR TESTING OF TFT-LCD}Probe device for liquid crystal display inspection {PROBER APPARATUS FOR TESTING OF TFT-LCD}

본 발명은 액정디스플레이 검사용 프로브장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 티에프티 엘씨디(이하, TFT-LCD라 함)가 에러 없이 효과적으로 동작되어 양호한 점등상태부가 양호한지를 검사하기 위한 액정디스플레이 검사용 프로브장치에 관한 것이다.The present invention relates to a probe device for inspecting a liquid crystal display, and more particularly, a probe device for inspecting a liquid crystal display for inspecting whether a TFT-LCD (hereinafter referred to as TFT-LCD) is effectively operated without errors and having a good lighting state. It is about.

일반적으로 TFT-LCD는 평판디스플레이의 일종으로써, 무수히 많은 박막트랜지스터(TFT)와 화소전극이 배열되어 소정의 크기를 갖는 하판과, 색상을 나타내기 위한 컬러필터 및 공통전극이 순차적으로 형성되어 상기 하판과 소정 이격되어 있는 상판과, 상기 상판과 하판 사이의 이격공간에 채워져 있는 액정을 가지고 있다. 이와 같은 TFT-LCD는 스위칭소자인 TFT와, 상,하판 전극 사이에 있는 액정으로 인해 형성되는 충전영역(CAPACITOR REGION) 및 보조충전영역과, 상기 TFT의 온 오프를 구동하는 게이트구동전극과, 외부의 영상신호를 인가하는 영상신호전극 등에 의해서 소정의 화면(동영상을 포함)을 점등시킨다.In general, a TFT-LCD is a type of flat panel display, in which a number of thin film transistors (TFTs) and pixel electrodes are arranged to form a lower plate having a predetermined size, and a color filter and a common electrode for displaying colors are sequentially formed. And a top plate spaced apart from each other by a predetermined distance, and a liquid crystal filled in a space between the top plate and the bottom plate. Such a TFT-LCD includes a TFT, which is a switching element, a charging region and an auxiliary charging region formed by a liquid crystal between upper and lower electrodes, a gate driving electrode for driving the TFT on and off, and an external device. The predetermined screen (including the video) is turned on by the video signal electrode or the like to which the video signal is applied.

상기와 같은 TFT-LCD의 점등상태를 정확하게 검사하기 위한 시스템은 도 1에 도시된 바와 같이, 소정의 형상을 갖는 프로브프레임(51)과, 상기 프로브프레임(51)을 하방에서 지지하는 베이스(52)와, 상기 프로브프레임(51)의 일측에 스크루고정되는 실린더(53)와, 상기 실린더(53)에 수용되어 미끄러지는 슬라이더(54)와, 상기 슬라이더(54)와 스크루결합된 사다리꼴형상의 머리부(55)와, 상기 머리부(55)와 스프링(56)에 의해 탄성유지되도록 결합된 머리지지부(57)와, 상기 베이스(52)의 하방에서 결합된 베어링(58)과, 상기 베이스(52)의 하부에 설치되어 상기 TFT-LCD로부터 인가된 신호를 소정의 신호로 가공하는 신호처리PCB부(60)와, 상기 신호처리PCB부(60)와 상기 베이스(52) 사이에 배치되어 상호간의 절연을 위한 절연아크릴판(59)을 가지고 있다. 또한, 상기 머리지지부(57)의 하방에서 결합되어 상기 TFT-LCD의 화소로부터 신호를 검출하는 탐침유니트(61)와, 상기 탐침유니트의 하단부와 연결을 위해 결합된 텝IC 및 텝IC하우징(62)과, 상기 텝IC를 상기 신호처리PCB부(60)에게로 전기적으로 연결시키는 상,하측 연결블록(63)과, 상기 프로브프레임(51)의 상부에 형성되는 커버(64)를 더 포함한다.As shown in FIG. 1, the system for accurately checking the lighting state of the TFT-LCD as described above includes a probe frame 51 having a predetermined shape and a base 52 supporting the probe frame 51 from below. ), A cylinder (53) screwed to one side of the probe frame (51), a slider (54) received and slipped in the cylinder (53), and a trapezoidal head screwed with the slider (54). A portion 55, a head support portion 57 coupled to be elastically retained by the head portion 55 and the spring 56, a bearing 58 coupled below the base 52, and the base ( 52 is disposed below the signal processing PCB section 60 and the signal processing PCB section 60 and the base 52 to process a signal applied from the TFT-LCD into a predetermined signal. It has an insulating acrylic plate 59 for insulation. In addition, a probe unit 61 coupled below the head support 57 to detect a signal from a pixel of the TFT-LCD, and a stepped IC and a step IC housing 62 coupled to be connected to a lower end of the probe unit. ), An upper and lower connection block 63 electrically connecting the step IC to the signal processing PCB 60, and a cover 64 formed on the probe frame 51. .

종래 프로브장치의 탐침유니트는 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 TFT-LCD의 화소면에 접촉되어 그 화소로부터 소정의 전기적인 신호를 센싱하는 다수 개의 탐침(65)과, 배열된 탐침(65)들을 고정하기 위한 에폭시수지재(66)로 구성되어 있다. 탐침은 상기 TFT-LCD의 무수히 많은 각각의 RGB화소와 일 대 일 대응되도록 배열되어 길이부(67)와 절곡부(68)로 구성되어 있으며, 상기 길이부(67)는 상기 절곡부(68) 간에 소정의 이격간격이 형성되도록 서로 다른 각각의 길이수치를 가지고 있고, 상기 절곡부(68)는 상기 길이부(67)의 일측에 상기 화소를 향하여 절곡된 접촉부(69)와, 타측에 상기 접촉부와 상반되는 방향으로 절곡되어 상기 화소로부터의 신호를 텝IC에게로 전달하는 전달부(70)로 구성되어 있다. 여기서, 상기 접촉부(69)는 상기 전달부(70)의 경우에 비하여 그 절곡각도가 더 크고, 그 길이가 더 길다. 또한, 각각의 탐침(65)의 접촉부(69) 끝단에 위치한 첨부 간에는 이격되어 있다.As shown in FIG. 2, a probe unit of a conventional probe apparatus includes a plurality of probes 65 contacting a pixel surface of the TFT-LCD and sensing a predetermined electrical signal from the pixels, and an arrayed probe 65. It is composed of an epoxy resin 66 for fixing them. The probe is arranged in one-to-one correspondence with countless RGB pixels of the TFT-LCD and includes a length part 67 and a bent part 68, and the length part 67 is the bent part 68. Each length value is different so that predetermined intervals are formed therebetween, and the bent portion 68 includes a contact portion 69 bent toward the pixel on one side of the length portion 67 and the contact portion on the other side. And a transfer section 70 that bends in a direction opposite to that to transfer the signal from the pixel to the step IC. Here, the contact portion 69 has a larger bending angle and a longer length than that of the transfer portion 70. In addition, the attachments located at the ends of the contact portions 69 of the respective probes 65 are spaced apart.

그런데, 상기와 같은 프로브장치의 탐침유니트는 다수 탐침(65)의 각 접촉부(69) 간의 이격거리 및 굴곡정도가 균등하지 않아 TFT-LCD의 화소신호가 정확하게 검출되지 않기 때문에 TFT-LCD의 점등여부에 대한 미세한 동작상태를 명확하게 파악할 수 없고, 이에 따라 TFT-LCD의 양호 및 불양을 판정하기 어려워 신뢰성이 없는 문제점이 있다.By the way, the probe unit of the probe device as described above is not evenly spaced between the contact portion 69 of the plurality of probes 65 and the degree of bending, so that the pixel signal of the TFT-LCD is not accurately detected, whether the TFT-LCD is turned on or not There is a problem in that it is difficult to clearly determine the fine operating state of the device, and thus it is difficult to determine whether the TFT-LCD is good or bad.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 발명한 것으로써, TFT-LCD의 화소동작신호를 정확하게 검출하여 TFT-LCD의 양호 및 불양을 신뢰성있게 판정할 수 있도록 한 액정디스플레이 검사용 프로브장치를 제공하는데, 그 목적이 있다.The present invention has been made to solve the above problems, and provides a liquid crystal display inspection probe device capable of reliably determining the good and bad of the TFT-LCD by accurately detecting the pixel operation signal of the TFT-LCD. There is a purpose.

도 1는 본 발명에 따른 액정디스플레이 검사용 프로브장치의 전체시스템에 대한 분해사시도이고,1 is an exploded perspective view of the entire system of a probe apparatus for inspecting a liquid crystal display according to the present invention;

도 2은 종래의 기술에 따른 프로브장치의 탐침유니트를 나타낸 설명도이고,2 is an explanatory view showing a probe unit of a probe device according to the prior art,

도 3은 본 발명에 따른 액정디스플레이 검사용 프로브장치를 나타낸 분해사시도이고,3 is an exploded perspective view illustrating a probe device for inspecting a liquid crystal display according to the present invention;

도 4는 본 발명에 따른 프로브장치의 탐침부재를 나타낸 정면도이고,4 is a front view showing a probe member of the probe device according to the present invention,

도 5는 도 4의 상단부를 나타낸 정면도이고,5 is a front view showing the upper end of FIG.

도 6은 도 4의 하단부를 나타낸 정면도이고,6 is a front view showing the lower portion of FIG.

도 7은 도 4의 서로 다른 탐침부재를 다수개 배열해 놓은 사시도이고,FIG. 7 is a perspective view of a plurality of different probe members arranged in FIG. 4;

도 8은 도 7의 상단부의 절연슬릿을 나타낸 사시도이고,FIG. 8 is a perspective view illustrating an insulating slit of the upper end of FIG. 7;

도 9는 도 7의 하단부의 절연슬릿을 나타낸 사시도이고,9 is a perspective view illustrating an insulating slit of the lower part of FIG. 7;

도 10은 본 발명에 따른 탐침부재의 하단부에 형성되는 절연가이드필름을 나타낸 정면도이고,10 is a front view showing the insulating guide film formed on the lower end of the probe member according to the present invention,

도 11은 도 10의 절연가이드필름을 고정하는 가이드필름을 나타낸 정면도이고,FIG. 11 is a front view illustrating a guide film fixing the insulating guide film of FIG. 10. FIG.

도 12 및 도 13는 본 발명에 따른 프로브본체를 나타내 정면도 및 단면도이고,12 and 13 are a front view and a cross-sectional view showing a probe body according to the present invention,

도 14는 본 발명에 따른 가이드판을 나타낸 정면도이고,14 is a front view showing a guide plate according to the present invention,

도 15은 본 발명에 따른 고정블록을 나타낸 사시도이고,15 is a perspective view showing a fixing block according to the present invention,

도 16은 도 4 내지 도 14의 조립상태를 나타낸 부분 절개 사시도이다.16 is a partial cutaway perspective view illustrating the assembled state of FIGS. 4 to 14.

도 17은 본 발명에 따른 필름고정부재를 나타낸 정면도이고,17 is a front view showing a film fixing member according to the present invention,

도 18은 본 발명에 따른 텝IC하우징을 나타낸 정면도이고,18 is a front view showing a step IC housing according to the present invention,

도 19 및 도 20은 본 발명에 따른 상측과 하측의 연결블록을 나타낸 정면도이다.19 and 20 is a front view showing the upper and lower connection blocks according to the present invention.

- 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 --Explanation of symbols for the main parts of the drawings-

1 ; 탐침부재 2 ; 탐침첨부One ; Probe member 2; With probe

3 ; 전달첨부 4 ; 고정홀3; Transfer attachment 4; Fixing hole

5 ; 열분산홀 7 ; 수용슬롯5; Heat dissipation hole 7; Accommodation slot

8 ; 탐침유니트 9 ; 절연슬릿8 ; Probe unit 9; Insulation Slit

13 가이드홀 17 ; 절연가이드필름13 guide hole 17; Insulation Guide Film

23 ; 텝IC 31 ; 절연세라믹봉23; Step IC 31; Insulation Ceramic Rod

33 ; 프로브본체 35 ; 고정블록33; Probe body 35; Fixed block

37 ; 봉고정홀 39 ; 가이드판37; Rod fixing holes 39; Guide plate

41 ; 필름가이드 44 ; 텝IC하우징41; Film guide 44; Tep IC Housing

45,46 ; 연결블록 47 ; 핀홀45,46; Connecting block 47; Pinhole

상기 목적은, 본 발명에 따라, TFT-LCD 패널의 특성검사를 위한 액정디스플레이 검사용 프로브장치에 있어서, 상기 TFT-LCD 패널의 RGB화소로부터 각 화소의 동작을 전기적인 신호로 검출하기 위한 탐침첨부와 상기 화소의 동작신호를 전달하기 위한 전달첨부를 갖는 다수 개의 박막형 탐침부재와, 상기 탐침부재 간의 소정 이격거리를 유지하기 위하여 상기 탐침부재의 상단부와 하단부 소정영역을 동시에 수용하도록 한 수용슬롯이 길이방향으로 다수 개 배열된 한쌍의 절연슬릿과, 상기 탐침부재의 상부에 위치하여 상기 전달첨부가 일측에서 타측으로 관통되는 다수 개의 가이드홀이 마련되어 있는 절연가이드필름과, 상기 가이드홀로부터 노출된 상기 전달첨부의 상기 동작신호를 처리하는 신호처리PCB부와, 상기 절연가이드필름과 상기 신호처리PCB부 사이에는 상기 전달첨부의 동작신호를 전달하기 위한 텝IC를 포함하는 액정디스플레이 검사용 프로브장치에 의해 달성된다.The above object is, according to the present invention, a liquid crystal display inspection probe device for inspecting characteristics of a TFT-LCD panel, comprising: a probe for detecting an operation of each pixel from an RGB pixel of the TFT-LCD panel as an electrical signal; And a plurality of thin film type probe members each having a transfer attachment for transmitting an operation signal of the pixel, and an accommodating slot for accommodating a predetermined region of the upper end portion and the lower end portion of the probe member in order to maintain a predetermined distance between the probe members. A pair of insulating slits arranged in a plurality of directions, an insulating guide film disposed on the probe member and having a plurality of guide holes penetrating from one side to the other side, and the transfer exposed from the guide hole. A signal processing PCB unit for processing the operation signal attached, the insulation guide film and the signal processing PCB unit This is achieved by a probe device for testing a liquid crystal display including a tab IC for transmitting an operation signal of the transfer attached.

또한, 상기 박막형 탐침부재의 소정 구획에 측면방향을 향하여 형성된 적어도 하나의 고정홀에 수용되어 상기 탐침부재의 탐침첨부의 배열위치를 고정유지하기 위한 절연세라믹봉과, 상기 탐침부재의 상측에 위치하고 상기 절연슬릿과 접촉되어 있는 프로브본체와, 상기 프로브본체와 상기 탐침부재 사이에 위치하여 상기 프로브본체를 외부 시스템에 고정시키기 위한 고정블록과, 상기 프로브본체의 측면일측과 타측에 스크루결합되어 상기 절연세라믹봉을 수용한 상기 탐침부재를 고정시키는 한 쌍의 가이드판, 상기 절연가이드필름과 면접촉되어 고정시키기 위한 필름가이드를 더 포함하는 것이 바람직하다.In addition, an insulating ceramic rod is accommodated in at least one fixing hole formed in a predetermined section of the thin film type probe member in a lateral direction to fix the arrangement position of the probe tip of the probe member, and is located above the probe member. A probe body in contact with a slit, a fixing block positioned between the probe body and the probe member to secure the probe body to an external system, and screwed to one side and the other side of the probe body to form the insulating ceramic rod It is preferable to further include a pair of guide plates for fixing the probe member, the film guide for fixing in contact with the insulating guide film.

또한, 상기 텝IC의 전반부에 위치하며 상기 절연가이드필름을 사이에 두고 상기 프로브본체와 체결하여 상기 텝IC의 프린트회로를 지지하는 텝IC하우징과, 상기 텝IC의 후반부에 위치하며 상기 신호처리PCB부와 전기적인 접촉시키기 위하여 상기 프린트회로 상의 패턴을 상,하에서 결합하는 한 쌍의 연결블록을 더 포함하는 것이 바람직하다.In addition, a step IC housing positioned in the first half of the step IC and interposed with the probe body with the insulating guide film therebetween to support the printed circuit of the step IC, and a second half of the step IC located in the signal processing PCB It is preferable to further include a pair of connecting blocks for coupling the pattern on the printed circuit up and down to make electrical contact with the part.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 액정디스플레이 검사용 프로브장치를 상세하게 설명하면 다음과 같다. 도 3은 본 발명에 따른 액정디스플레이 검사용 프로브장치를 나타낸 분해사시도이고, 도 4는 본 발명에 따른 프로브장치의 탐침부재를 나타낸 정면도이고, 도 5는 도 4의 상단부를 나타낸 정면도이고, 도 6은 도 4의 하단부를 나타낸 정면도이고, 도 7은 도 4의 서로 다른 탐침부재를 다수개 배열해 놓은 사시도이고, 도 8은 도 7의 상단부의 절연슬릿을 나타낸 사시도이고, 도 9는 도 7의 하단부의 절연슬릿을 나타낸 사시도이고, 도 10은 본 발명에 따른 탐침부재의 하단부에 형성되는 절연가이드필름을 나타낸 정면도이고, 도 11은 도 10의 절연가이드필름을 고정하는 가이드필름을 나타낸 정면도이고, 도 12 및 도 13는 본 발명에 따른 프로브본체를 나타내 정면도 및 단면도이고, 도 14는 본 발명에 따른 가이드판을 나타낸 정면도이고, 도 15은 본 발명에 따른 고정블록을 나타낸 사시도이고, 도 16은 도 4 내지 도 14의 조립상태를 나타낸 부분 절개 사시도이다. 도 17은 본 발명에 따른 필름고정부재를 나타낸 정면도이고, 도 18은 본 발명에 따른 텝IC하우징을 나타낸 정면도이고, 도 19 및 도 20은 본 발명에 따른 상측과 하측의 연결블록을 나타낸 정면도이다.Hereinafter, a probe device for inspecting a liquid crystal display according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Figure 3 is an exploded perspective view showing a probe device for inspecting the liquid crystal display according to the invention, Figure 4 is a front view showing the probe member of the probe device according to the invention, Figure 5 is a front view showing the upper end of Figure 4, Figure 6 4 is a front view showing the lower end of FIG. 4, FIG. 7 is a perspective view of a plurality of different probe members arranged in FIG. 4, FIG. 8 is a perspective view showing an insulating slit of the upper part of FIG. 7, and FIG. 9 is of FIG. 7. 10 is a perspective view showing an insulating slit at the lower end, and FIG. 10 is a front view showing an insulating guide film formed on the lower end of the probe member according to the present invention, and FIG. 11 is a front view showing a guide film fixing the insulating guide film of FIG. 12 and 13 are a front view and a cross-sectional view showing a probe body according to the present invention, Figure 14 is a front view showing a guide plate according to the present invention, Figure 15 according to the present invention A perspective view showing the information block, Figure 16 is a fragmentary perspective view showing an assembled state of FIG. 4 to FIG. Figure 17 is a front view showing a film fixing member according to the present invention, Figure 18 is a front view showing a step IC housing according to the present invention, Figures 19 and 20 is a front view showing the upper and lower connection blocks according to the present invention. .

본 프로브장치는 도 3에 도시된 바와 같이, 탐침부재(1)와, 절연슬릿(9)과, 절연가이드필름(17)과, 텝IC(25)와, 절연세라믹봉(31)과, 프로브본체(33)와, 고정블록(35)과, 가이드판(39)과, 필름가이드(41)와, 텝IC하우징(44)과, 연결블록(45, 46)을 가지고 있다. 그리고, 도시되지 않았지만 상기 연결블록(45,46)에 의해서 상기 텝IC(25)로부터 전달되는 TFT-LCD 패널의 RGB화소의 전기적인 신호를 받아 가공된 소정의 데이터로 처리하는 신호처리PCB부(미도시)가 마련되어 있다.As shown in FIG. 3, the probe device includes a probe member 1, an insulation slit 9, an insulation guide film 17, a step IC 25, an insulation ceramic rod 31, and a probe. The main body 33, the fixed block 35, the guide plate 39, the film guide 41, the step IC housing 44 and the connecting blocks 45, 46 are provided. Although not shown, a signal processing PCB unit which receives electrical signals of RGB pixels of the TFT-LCD panel transmitted from the step IC 25 by the connection blocks 45 and 46 and processes them into predetermined data processed ( Not shown).

탐침부재(1)는 도 4, 5, 및 6에 도시된 바와 같이, TFT-LCD 패널의 RGB화소로부터 각 화소의 동작을 전기적인 신호로 검출하기 위한 것으로서, 상단부에는 상기 패널의 화소면에 직접 접촉되어 있는 탐침첨부(2)가 형성되어 있고, 하단부에는 상기 화소의 동작신호를 상기 텝IC(25)에게로 전달하기 위한 전달첨부(3)가 형성되어 있다. 탐침첨부(2)와 전달첨부(3)의 인접한 영역 각각에는 일체화가 된 다수 개의 탐침부재(1)를 고정시키기 위한 고정홀(4)이 형성되어 있으며, 상기 고정홀(4) 사이에는 상기 화소와의 접촉시에 발생되는 미열을 분산시키는 열분산홀(5)이 적어도 하나 이상 형성되어 있다. 상기 탐침부재(1)는 20에서 35μm를 갖는 두께 범위의 박판을 에칭기법으로 가공하여 상기 탐침첨부(2)와 상기 전달첨부(3) 및 상기 고정홀(4)과 열분산홀(5)를 갖는 형상으로 패턴한 것으로 그 탐침의 인장강도를 향상시키기 위하여 소정의 온도에서 열처리를 일정 시간동안 행하고, 경도를 높이기 위해 0.5내지 3μ m범위내의 로듐도금을 증착시킨 것이다.As shown in Figs. 4, 5 and 6, the probe member 1 is for detecting the operation of each pixel from the RGB pixel of the TFT-LCD panel as an electrical signal, and the upper end portion is directly connected to the pixel surface of the panel. The probe attachment part 2 which is in contact is formed, and at the lower end, the transmission attachment part 3 which transmits the operation signal of the said pixel to the said step IC 25 is formed. In each of the adjacent regions of the probe attachment portion 2 and the transmission attachment portion 3, a fixing hole 4 for fixing a plurality of integrated probe members 1 is formed, and the pixel is between the fixing holes 4. At least one heat dissipation hole 5 for dispersing the minute heat generated at the time of contact with is formed. The probe member 1 processes the thin plate having a thickness in the range of 20 to 35 μm by an etching method to form the probe attachment part 2, the transfer attachment part 3, the fixing hole 4, and the heat dissipation hole 5. In order to improve the tensile strength of the probe, heat treatment was performed at a predetermined temperature for a predetermined time, and rhodium plating in a range of 0.5 to 3 µm was deposited to increase the hardness.

이와 같은 탐침부재(1)는 도 7에 도시된 바와 같이, 수많은 화소를 동시에 검사하기 위하여 각각의 화소에 대응되도록 상기 탐침첨부(2) 또는 상기 전달첨부(3)를 배치 즉, 탐침첨부(2)가 탐침부재(1)의 길이방향으로 일정한 이격거리에 위치하고, 적어도 3개 이상이 상기 이격거리만큼 순차적으로 감소되는 패턴이 다수 번 반복한 형상을 갖는다. 서로 다른 위치에 배치된 상기 3개 이상의 탐침부재(1)는 그 길이가 서로 다른 길이값을 가지며, 상기 탐침첨부(2)와 전달첨부(3)사이에는 상기 길이값에 대응하게 서로 다른 소정의 패턴모양을 갖는다. 실제로, 상기 탐침부재(1) 간의 이격거리는 65μ m(45에서 75μ m까지)의 등간격을 갖고, 300개 내지 400여개의 탐침부재(1)가 하나의 그룹으로 형성되어 있다. 이와 같은 그룹을 탐침유니트(8)라 한다.As shown in FIG. 7, the probe member 1 arranges the probe attachment 2 or the transfer attachment 3 to correspond to each pixel in order to simultaneously inspect a large number of pixels, that is, the probe attachment 2 ) Is located at a constant separation distance in the longitudinal direction of the probe member 1, the pattern in which at least three or more are sequentially reduced by the separation distance is repeated a plurality of times. The three or more probe members 1 disposed at different positions have different lengths of lengths, and the probes 2 and the transfer attachments 3 have predetermined lengths different from each other corresponding to the lengths. It has a pattern shape. In fact, the separation distance between the probe members 1 has an equal interval of 65 μm (45 to 75 μm), and 300 to 400 probe members 1 are formed in one group. Such a group is called a probe unit 8.

이와 같은 상기 탐침유니트(8)의 상단부영역과 하단부영역에는 상기 탐침부재(1)간의 소정 이격거리(65μ m)를 유지하기 위하여 상기 탐침부재(1)의 상단부(탐침첨부(2))와 하단부(전달첨부(3)) 소정영역을 수용하도록 한 수용슬롯(7)이 길이 방향으로 상기 탐침부재(1)의 수 만큼 배열되어 있는 절연슬릿(9)이 요철결합되어 있다. 상기 절연슬릿(9)은 도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 각각의 탐침부재(1)에서 검출된 신호를 서로 간섭방지하는 절열기능을 가지고, 상기 탐침첨부(2)의 상단부에 위치하여 휘어짐현상을 방지한다.In the upper end region and the lower end region of the probe unit 8 as described above, an upper end portion (probe attachment portion 2) and a lower end portion of the probe member 1 is maintained to maintain a predetermined distance (65 μm) between the probe members 1. (Transfer Attachment 3) Insulated slits 9 in which the accommodating slots 7 arranged to accommodate a predetermined region are arranged in the longitudinal direction by the number of the probe members 1 are unevenly coupled. As shown in FIGS. 8 and 9, the insulating slit 9 has a tearing function for preventing interference between signals detected by each probe member 1, and is located at an upper end of the probe attachment part 2. Prevent warpage.

상기 탐침유니트(8) 하단부의 전달첨부(3)의 상측에는 상기 전달첨부(3)의 위치를 셋팅하기 위하여 상기 탐침첨부(2)의 이격거리와 동일한 간격의 가이드홀(13)이 다수 개 형성되어 있는 절연가이드필름(17)이 결합되어 있다. 상기 절연가이드필름(17)은 도 10에 도시된 바와 같이, 상기 탐침부재(1)의 하단부의 위에서 결합되어 지고, 상기 가이드홀(13)에 의해 절연을 유지시켜준다. 이 때, 상기 절연가이드필름(17)의 상부에는 도 11에 도시된 바와 같은 필름가이드(41)가 결합되어 있으며, 또한 상기 신호처리PCB부와 연결되어 상기 전달첨부(3)의 동작신호를 전달하기 위한 텝IC(25)를 사이에 두고 상기 텝IC(25)를 고정시킨다.A plurality of guide holes 13 are formed on the upper side of the transmission attachment 3 at the lower end of the probe unit 8 so as to set the position of the transmission attachment 3 at a distance equal to the separation distance of the probe attachment 2. The insulating guide film 17 is combined. As shown in FIG. 10, the insulation guide film 17 is coupled on the lower end of the probe member 1 and maintains insulation by the guide hole 13. At this time, the film guide 41 as shown in Figure 11 is coupled to the upper portion of the insulating guide film 17, and also connected to the signal processing PCB portion transfers the operation signal of the transfer attachment (3) The step IC 25 is fixed with the step IC 25 interposed therebetween.

상기 탐침유니트(8)의 고정홀(4)에는 소정의 길이를 갖는 원기둥형상의 절연세라믹봉(31)이 삽입설치되어 있으며, 상기 탐침부재(1) 각각의 고유길이에 따르는 확정된 배열위치를 고정유지하는 기능과 아울러 상기 탐침유니트(8)를 프로브본체(33)에 고정시킨다.A cylindrical insulating ceramic rod 31 having a predetermined length is inserted into the fixing hole 4 of the probe unit 8, and the predetermined arrangement position according to the intrinsic length of each of the probe members 1 is provided. In addition to the fixed holding function, the probe unit 8 is fixed to the probe body 33.

상기 프로브본체(33)는 도 12와 도 13과 같은 형상을 가지며, 상기 탐침유니트(8)의 중간영역의 상측에 이격되게 위치하고, 특히 상기 절연슬릿(9)의 상부에 접촉되어 있다. 실제로 외측 조립체에 고정시키기 위하여 프로브본체(33)가 마련되어 있다할 수 있다.The probe body 33 has a shape as shown in FIGS. 12 and 13, and is spaced apart from an upper side of the intermediate region of the probe unit 8, and particularly in contact with the upper portion of the insulating slit 9. In fact, the probe body 33 may be provided to fix the outer assembly.

즉, 상기 탐침유니트(8)의 고정홀(4)에 삽입된 상기 절연세라믹봉(31)의 양측 종단에는 상기 절연세라믹봉(31)을 수용하는 한 쌍의 가이드판(39)이 결합되어 있다. 상기 가이드판(39)은 실제로 도 14에 도시된 바와 같이, 상기 봉고정홀(37)이 형성되어 있고 상기 봉고정홀(37)에 상기 절연세라믹봉(31)이 삽입되어 있음고 동시에 상기 봉고정홀(37)의 상,하브에 위치한 스크류공을 이용하여 상기 탐침유니트(8)를 상기 프로브본체(33)의 측면에 고정유지시킨다. 이 때, 상기 프로브본체(33)의 하부에는 도 15에 도시된 바와 같이, 외부의 조립체(미도시)로부터 분리이탈을 방지하는 고정블록(35)이 스크류결합되어 있다.That is, a pair of guide plates 39 for accommodating the insulating ceramic rod 31 are coupled to both ends of the insulating ceramic rod 31 inserted into the fixing hole 4 of the probe unit 8. . 14, the rod fixing hole 37 is formed and the insulating ceramic rod 31 is inserted into the rod fixing hole 37. The probe unit 8 is fixed to the side surface of the probe body 33 by using screw holes located at the upper and lower portions of the fixing hole 37. At this time, as shown in Figure 15, the lower portion of the probe body 33, the fixed block 35 for preventing separation separation from the external assembly (not shown) is screwed.

여기까지 본 프로브장치는 도 16에 도시된 바와 같이, 상기 TFT-ICD 패널의 RGB화소로부떠 각 화소의 동작을 전기적인 신호로 검출하기 위한 탐침첨부(2)와 상기 화소의 동작신호를 전달하기 위한 전달첨부(3)를 갖는 다수 개의 박막형 탐침부재(1)와, 상기 탐침부재(1) 간의 소정 이격거리를 유지하기 위하여 상기 탐침부재(1)의 상단부와 하단부 소정영역을 동시에 수용하여 고정한 한쌍의 절연슬릿(9)과, 상기 탐침부재(1)의 상부에 위치하여 상기 전달첨부(3)를 일측에서 타측으로 관통하는 다수 개의 가이드홀(13)이 마련되어 있는 절연가이드필름(17)과, 상기 박막형 탐침부재(1)의 소정 구획에 측면방향을 향하여 형성된 적어도 하나의 고정홀(4)에 수용되어 상기 탐침부재(1)의 탐침첨부(2)의 배열위치를 고정유지하기 위한 절연세라믹봉(31)과, 상기 탐침부재(1)의 상측에 위치하고 상기 절연슬릿(9)과 접촉되어 있는 프로브본체(33)와, 상기 프로브본체(33)와 상기 탐침부재(1) 사이에 위치하여 상기 프로브본체(33)를 외부 조립체에 고정시키기 위한 고정블록(35)과, 상기 프로브본체(33)의 측면 일측과 타측 각각에 스크루결합되고 상기 절연세라믹봉(31)이 수용결합되어 상기 탐침부재(1)를 고정시키는 한 쌍의 가이드판(39)을 갖는다.Thus far, as shown in FIG. 16, the probe device transmits a probe attachment part 2 for detecting an operation of each pixel as an electrical signal and an operation signal of the pixel as shown in the RGB pixel of the TFT-ICD panel. A pair of thin film type probe members 1 having a transmission attachment 3 for receiving and fixing a predetermined area of the upper and lower end portions of the probe member 1 at the same time in order to maintain a predetermined distance between the probe members 1. An insulation guide film 17 having an insulating slit 9 and a plurality of guide holes 13 positioned on the probe member 1 and penetrating the transmission attachment 3 from one side to the other side; Insulated ceramic rods accommodated in at least one fixing hole 4 formed in a predetermined section of the thin film type probe member 1 in the lateral direction to fix the arrangement position of the probe tip 2 of the probe member 1. 31 and the probe member (1) A probe body 33 positioned above and in contact with the insulating slit 9 and positioned between the probe body 33 and the probe member 1 to fix the probe body 33 to an external assembly. A pair of guide plates for screwing the fixed block 35 and the side and one side of the probe body 33 and the insulating ceramic rod 31 is received and fixed to the probe member 1 ( 39).

한편, 상기 절연가이드필름(17)과 가이드필름(41) 사이에는 도 17에 도시된 바와 같이, 절연가이드필름(17)을 고정시키기 위하여 필름고정부재(18)가 상기 프로브본체(33)의 일측에 스크루체결되어 있다.On the other hand, between the insulating guide film 17 and the guide film 41, as shown in Figure 17, in order to fix the insulating guide film 17, the film fixing member 18 is one side of the probe body 33 It is screwed in.

도 18 내지 도 20에 도시된 바와 같이, 텝IC(25)의 전반부에는 상기 절연가이드필름(17)을 사이에 두고 상기 프로브본체(33)와 체결하여 상기 텝IC(25)의 프린트회로(미도시)를 지지하는 텝IC하우징(44)이 설치되어 있고, 상기 텝IC(25)의 후반부에는 상기 신호처리PCB부와 전기적인 접촉시키기 위하여 상기 프린트회로 상의 패턴을 상,하측에서 결합하는 한 쌍의 연결블록(45, 46)이 설치되어 있다.As shown in FIGS. 18 to 20, the first half of the step IC 25 is fastened to the probe body 33 with the insulating guide film 17 interposed therebetween to print the circuit of the step IC 25 (not shown). A step IC housing 44 is provided to support the step C. In the latter half of the step IC 25, a pair of upper and lower sides of the pattern on the printed circuit is brought into electrical contact with the signal processing PCB. Connecting blocks 45 and 46 are provided.

상기 상측의 연결블록(45)은 상기 텝IC(25)와 상기 신호처리PCB부를 전기적으로 연결시키기 위한 다수개의 연결핀(미도시)을 삽입할 수 있는 핀공(47)을 가지고 있다.The upper connection block 45 has a pin hole 47 into which a plurality of connection pins (not shown) can be inserted to electrically connect the step IC 25 and the signal processing PCB.

본 발명은 TFT-LCD의 화소동작신호를 에러없이 정확하게 검출하여 TFT-LCD의 양호 및 불양을 신뢰성있게 판정하기 때문에 제품에 대한 수율을 향상시키는 효과가 있다.The present invention has the effect of improving the yield of the product because the pixel operation signal of the TFT-LCD is accurately detected without error and the good and bad of the TFT-LCD are reliably determined.

Claims (3)

TFT-LCD 패널의 특성검사를 위한 액정디스플레이 검사용 프로브장치에 있어서;A liquid crystal display inspection probe apparatus for inspecting characteristics of a TFT-LCD panel; 상기 TFT-LCD 패널의 RGB화소로부터 각 화소의 동작을 전기적인 신호로 검출하기 위한 탐침첨부와 상기 화소의 동작신호를 전달하기 위한 전달첨부를 갖는 다수 개의 박막형 탐침부재와;A plurality of thin film type probe members each having a probe attachment for detecting an operation of each pixel as an electrical signal from an RGB pixel of the TFT-LCD panel and a transmission attachment for transmitting an operation signal of the pixel; 상기 탐침부재 간의 소정 이격거리를 유지하기 위하여 상기 탐침부재의 상단부와 하단부 소정영역을 동시에 수용하도록 한 수용슬롯이 길이방향으로 다수 개 배열된 한쌍의 절연슬릿과;A pair of insulating slits in which a plurality of receiving slots are arranged in the longitudinal direction to accommodate a predetermined area of the upper end and the lower end of the probe member in order to maintain a predetermined distance between the probe members; 상기 탐침부재의 상부에 위치하여 상기 전달첨부가 일측에서 타측으로 관통되는 다수 개의 가이드홀이 마련되어 있는 절연가이드필름과;An insulation guide film positioned on the probe member and having a plurality of guide holes penetrating from one side to the other side; 상기 가이드홀로부터 노출된 상기 전달첨부의 상기 동작신호를 처리하는 신호처리PCB부와;A signal processing PCB unit for processing the operation signal of the transfer attachment exposed from the guide hole; 상기 절연가이드필름과 상기 신호처리PCB부 사이에는 상기 전달첨부의 동작 신호를 전달하기 위한 텝IC를 포함하는 것을 특징으로 하는 액정디스플레이 검사용 프로브장치.And a step IC for transmitting the operation signal of the transfer attachment between the insulation guide film and the signal processing PCB. 제1항에 있어서;The method of claim 1; 상기 박막형 탐침부재의 소정 구획에 측면방향을 향하여 형성된 적어도 하나의 고정홀에 수용되 어 상기 탐침부재의 탐침첨부의 배열위치를 고정유지하기 위한 절연세라믹봉과;An insulating ceramic rod which is accommodated in at least one fixing hole formed in a predetermined section of the thin film type probe member in a lateral direction to fix the arrangement position of the probe attachment portion of the probe member; 상기 탐침부재의 상측에 위치하고 상기 절연슬릿과 접촉되어 있는 프로브본체와;A probe body positioned above the probe member and in contact with the insulating slit; 상기 프로브본체와 상기 탐침부재 사이에 위치하여 상기 프로브본체를 외측 조립체에 고정시키기 위한 고정블록과;A fixing block positioned between the probe body and the probe member to fix the probe body to an outer assembly; 상기 프로브본체의 측면 일측과 타측에 스크루결합되어 상기 절연세라믹봉을 수용한 상기 탐침부재를 고정시키는 한 쌍의 가이드판과;A pair of guide plates screwed to one side and the other side of the probe body to fix the probe member accommodating the insulating ceramic rod; 상기 절연가이드필름과 면접촉되어 고정시키기 위한 필름가이드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정디스플레이 검사용 프로브장치.And a film guide for fixing the insulating guide film in surface contact with the insulating guide film. 제1항에 있어서;The method of claim 1; 상기 텝IC의 전반부에 위치하며 상기 절연가이드필름을 사이에 두고 상기 프로브본체와 체결하여 상기 텝IC의 프린트회로를 지지하는 텝IC하우징과;A step IC housing positioned at the first half of the step IC and supporting the printed circuit of the step IC by engaging with the probe body with the insulating guide film therebetween; 상기 텝IC의 후반부에 위치하며 상기 신호처리PCB부와 전기적인 접촉시키기 위하여 상기 프린트회로 상의 패턴을 상,하에서 결합하는 한 쌍의 연결블록을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액정디스플레이 검사용 프로브장치.And a pair of connection blocks positioned at the second half of the step IC and coupling the patterns on the printed circuit up and down in electrical contact with the signal processing PCB.
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