KR100489522B1 - Apparatus for inspecting Flat Panel Display - Google Patents

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KR100489522B1
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Abstract

본 발명은, 전기적 신호를 포함한 소정의 좌표정보가 입력된 접점패드군이 복수개로 형성된 LCD를 검사하는 평면디스플레이 검사장치에 관한 것으로서, 검사테이블과; 상기 검사테이블 상에 마련되며 검사 대상의 상기 LCD가 안착되는 스테이지와; 상기 스테이지에 안착된 상기 LCD의 접점패드군에 접촉되어 상기 접점패드군에 입력된 소정의 정보를 검출하는 프루브팁을 갖는 적어도 하나의 프루브유니트와; 상기 검사테이블에 마련되며 상기 프루브유니트에 마련된 프루브팁이 상기 검사 대상의 LCD에 형성된 접점패드군에 접촉될 수 있도록 상기 프루브유니트를 적어도 일방향으로 위치이동시키는 프루브이동수단과; 상기 LCD의 접점패드군에 접촉된 상기 프루브팁으로부터의 검사 결과값을 출력하는 모니터부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하여, 소비 전력을 줄이고 검사시간을 단축시키면서도 검사의 정밀도를 높여 검사의 신뢰성을 향상시킬 수 있도록 한 평면디스플레이 검사장치가 제공된다. 그리고, 장치의 소형화를 추구하여 클린룸(Clean Room)을 크게 축조하는데 따른 설비투자를 현격하게 저감시킬 수 있도록 한 평면디스플레이 검사장치가 제공된다.The present invention relates to a flat display inspection apparatus for inspecting an LCD having a plurality of contact pad groups into which predetermined coordinate information including an electrical signal is input, the inspection table comprising: an inspection table; A stage provided on the inspection table and on which the LCD of the inspection object is seated; At least one probe unit having a probe tip contacting the contact pad group of the LCD seated on the stage and detecting predetermined information input to the contact pad group; A probe moving means provided in the inspection table to move the probe unit in at least one direction so that the probe tip provided in the probe unit may contact the contact pad group formed on the LCD of the inspection object; And a monitor unit for outputting a test result value from the probe tip in contact with the contact pad group of the LCD. As a result, a flat display inspection apparatus is provided, which reduces the power consumption and shortens the inspection time while improving the inspection accuracy to improve the reliability of the inspection. In addition, a flat display inspection apparatus is provided that can significantly reduce equipment investment due to large construction of a clean room in pursuit of miniaturization of the apparatus.

Description

평면디스플레이 검사장치{Apparatus for inspecting Flat Panel Display}Flat display inspection device {Apparatus for inspecting Flat Panel Display}
본 발명은, 평면디스플레이 검사장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 소비 전력을 줄이고 검사시간을 단축시키면서도 검사의 정밀도를 높여 검사의 신뢰성을 향상시킬 수 있도록 한 평면디스플레이 검사장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a flat display inspection apparatus, and more particularly, to a flat display inspection apparatus capable of improving the inspection reliability by reducing the power consumption and reducing the inspection time.
소위, FPD(Flat Panel Display)란 평면디스플레이를 총체적으로 일컫는 말로써, 이에는 음극선관(CRT, Cathode Ray Tube) 디스플레이를 비롯하여 후술할 액정 디스플레이(LCD, Liquid Crystal Display) 등으로 분류된다.The so-called flat panel display (FPD) refers to a flat panel display as a whole, and is categorized into a cathode ray tube (CRT) display and a liquid crystal display (LCD) to be described later.
CRT는 전후방으로 결합되는 패널과 펀넬이 유리로 제조되며 펀넬의 넥크 부분 내부에 전자총이 수용되는 것으로써 해상도는 높으나 그 무게가 무겁다는 결점이 있다.The CRT is made of glass and panels joined together in front and rear, and the electron gun is accommodated inside the neck portion of the funnel, which has a high resolution but a heavy weight.
이에, 근자에 들어 디스플레이의 산업이 발전됨에 따라 CRT보다는 LCD의 공급 및 수요가 높아지고 있는 실정이다. 이하, 설명의 편의를 위해 평면디스플레이를 LCD라 하여 설명하기로 한다.Accordingly, as the display industry develops in recent years, the supply and demand of LCDs rather than CRTs are increasing. Hereinafter, for convenience of description, the flat panel display will be described as LCD.
도 1은 LCD가 적용된 일반적인 컴퓨터의 대한 사시도이다. 이 도면에 도시된 바와 같이, 통상의 컴퓨터는 중앙처리장치(CPU)가 장착되어 있는 메인보드(Main Board)에 램(Ram)을 비롯하여 디스크드라이버, 그래픽카드 등 각종 카드 등이 마련되어 있으며, 그 외측에 소정의 정보를 입력하는 키보드(110a) 등이 마련되어 있는 본체(110)와, 본체(110)에 결합되는 디스플레이장치(120)를 갖는다.1 is a perspective view of a general computer to which an LCD is applied. As shown in this figure, a typical computer is provided with various cards such as a RAM, a disk driver, a graphics card, etc. on a main board on which a CPU is mounted. A main body 110 provided with a keyboard 110a or the like for inputting predetermined information, and a display device 120 coupled to the main body 110.
디스플레이장치(120)는 전후방향으로 결합되는 한 쌍의 커버하우징(112a,112b)에 의해 지지되며 판면에 화상이 형성되는 패널(115)과, 패널(115)의 배후에 배치되어 패널(115)로 빛을 전달하는 백라이트 유니트(118)를 포함한다. 이 때, 패널(115)로는 LCD(1)를 적용하고 있다.The display device 120 is supported by a pair of cover housings 112a and 112b coupled in the front-rear direction and is disposed behind the panel 115 and the panel 115 having an image formed on the plate surface. It includes a backlight unit 118 for transmitting light to the. At this time, the LCD 1 is applied to the panel 115.
후술하는 바와 같이, LCD(1)가 적용된 패널(115)은 그 자체적으로 빛을 발산하지 못하고 빛의 투과율을 조절하는 방식으로 제조되어 있으므로 패널(115)에 소정의 화상이 형성되도록 하려면 패널(115)로 빛을 투사하는 백라이트 유니트(118, Back-light unit)가 필요한 것이다.As will be described later, the panel 115 to which the LCD 1 is applied is manufactured in such a manner that it does not emit light on its own and adjusts the light transmittance, so that a predetermined image is formed on the panel 115. Back-light unit (118) for projecting light is required.
도 1의 패널(115)에 채용되는 LCD(1)에 대해 보다 구체적으로 설명하면 다음과 같다.The LCD 1 employed in the panel 115 of FIG. 1 will be described in more detail as follows.
LCD(1, Liquid Crystal Display)는 그 단어의 조합으로도 파악할 수 있는 바와 같이, 액체와 고체의 중간상인 액정의 전기, 광학적 성질을 표시장치에 응용한 것이다. LCD(1)는 액체와 고체의 중간상인 액정 액체와 같은 유동성을 갖는 유기분자인 액정이 결정과 같이 규칙적으로 배열된 상태의 것으로 이 분자배열이 외부 전계에 의해 변화하는 성질을 이용하여 표시소자로 만든 것이다. 이러한 LCD(1)는 경량, 슬림형, 저소비전력, 저전압구동이라는 특징을 갖고 있으며, 포터블 TV나 컴퓨터 등의 표시기로 널리 사용되고 있다.LCD (1, Liquid Crystal Display) is an application of the electrical and optical properties of liquid crystals, which are intermediate phases of liquids and solids, to the display device, as can be understood by the combination of the words. LCD (1) is a liquid crystal, which is a liquid crystal, which is a liquid phase liquid, which is an intermediate phase between a liquid and a solid liquid crystal. The liquid crystal is arranged in a regular state like a crystal. It is made. The LCD 1 has features such as light weight, slim type, low power consumption, and low voltage driving, and is widely used as an indicator of a portable TV or a computer.
LCD(1)는 외부에서 입사되는 빛을 이용한다는 점에서 기존의 다른 디스플레이와 구분되며 백라이트유니트(118, Back light) 광원의 빛을 이용한다. 빛은 일정한 방향으로 파동을 가지고 있다. 이 파동이 수직으로 필터에 도달하면 빛이 통과하지 못하고, 수평으로 도달할 경우에만 빛이 통과한다. LCD(1)는 전계에 의해 일정한 방향으로 액정 소자 배열이 이루어지고, 이 경우 일정한 방향의 파동을 가진 빛을 선택적으로 통과시킨다.The LCD 1 is distinguished from other existing displays in that it uses light incident from the outside and uses light of a backlight unit 118 (back light) light source. Light has waves in a certain direction. When this wave reaches the filter vertically, the light cannot pass through, and only when it reaches horizontally. The LCD 1 arranges liquid crystal elements in a constant direction by an electric field, and in this case selectively passes light having a wave in a constant direction.
LCD(1)의 장점은 소형, 박형 제작이 가능하고 소비전력이 적다. 액체와 고체의 중간 상태인 액정(Liquid Crystal)이라는 물질은 전압과 온도의 변화에 따라 빛을 투과 또는 차단시킨다. 따라서, 특정 부분의 전압과 온도인가를 조절함으로써 명암의 상태를 제어하여 원하는 형상을 표시할 수 있다. 이에, 박형, 소형, 저(低)소비전력에 유리하나 대형화, Full Color실현, Contrast 향상, 시야각 등에는 약전이 있는 것이 보통이다.The advantages of the LCD 1 are that it can be made compact and thin and consumes less power. Liquid crystal, which is a liquid and solid state, transmits or blocks light according to changes in voltage and temperature. Therefore, the desired shape can be displayed by controlling the state of contrast by adjusting the voltage and temperature application of the specific portion. Therefore, it is advantageous for thin, small size, low power consumption, but there are common weaknesses in large size, full color realization, contrast enhancement, viewing angle, and the like.
LCD(1)에서 화면 해상도는 수평방향으로 표시될 수 있는 픽셀수이고 바로 수평방향 해상도와 직결되며, 수직방향은 바로 수직방향 해상도가 된다. 따라서 XGA(1024×768) 해상도급 LCD(1)에서는 총 서브픽셀 수가 1024×768×3개가 된다.In the LCD 1, the screen resolution is the number of pixels that can be displayed in the horizontal direction and is directly connected to the horizontal resolution, and the vertical direction is the vertical resolution. Therefore, in the XGA (1024x768) resolution class LCD 1, the total number of subpixels is 1024x768x3.
LCD(1)에서는 이러한 개개의 셀 단위 컨트롤을 함에 있어서 두 가지 방식을 취하는데, 그 구동방식에 따라 단순 Matrix방식과 Active Matrix 방식으로 나뉜다.The LCD 1 adopts two methods for controlling such individual cells, and is divided into a simple matrix method and an active matrix method according to its driving method.
단순 Matrix Type(TN, STN)는 주사전극과 신호전극을 XY형태로 배치하고 그 교차 부분을 표시화소로 이용하기 때문에 소자구성이 단순하다. 예를 들어, TN, STN LCD(1)가 여기에 속하며, 표시밀도가 높은 용도에 STN, 밀도가 낮은 용도에 TN이 사용된다.The simple matrix type (TN, STN) has a simple device configuration because the scan electrodes and the signal electrodes are arranged in an XY shape and the intersection thereof is used as a display pixel. For example, TN and STN LCD 1 belong to this, and STN is used for the high display density, and TN is used for the low density.
Active Matrix Type(TFT)는 각 표시화소마다 박막트랜지스터(TFT)를 설치한 3단자소자와 전류, 전압에 비선형(다이오드) 특성을 가진 소자를 설정하는 2단자소자로 크게 분리된다. 하나 하나의 화소를 직접 구동하기 때문에 고품질의 화면이 가능하고 컬러표시에 사용되고 있다.The active matrix type (TFT) is largely divided into a three-terminal device in which a thin film transistor (TFT) is installed in each display pixel and a two-terminal device in which a device having a nonlinear (diode) characteristic in current and voltage is set. Directly driving one pixel enables high quality screen and is used for color display.
이처럼, LCD(1)에는 주사전극과 신호전극 등을 포함한 소정의 좌표정보가 마련되어 있다. 즉, 도 2에 도시된 바와 같이, LCD(1)에는 전기적 신호를 포함한 소정의 좌표정보가 각각 입력된 접점패드군(2a~2d)이 복수개로 형성되어 있으며, 접점패드군(2a~2d)은 각기 3개씩의 군으로 되어 서로 다른 배열방향을 갖도록 형성되어 있다.In this way, the LCD 1 is provided with predetermined coordinate information including a scan electrode, a signal electrode, and the like. That is, as shown in FIG. 2, the LCD 1 has a plurality of contact pad groups 2a to 2d into which predetermined coordinate information including an electrical signal is input, respectively, and a plurality of contact pad groups 2a to 2d. Are each formed in groups of three and have different arrangement directions.
이러한 LCD(1) 좌표정보는 LCD(1)의 제조사에서 LCD(1)의 제조시 전기적 신호를 포함한 소정의 좌표정보가 각각 입력된 접점패드군(2a~2d)이 복수개로 형성하여 LCD(1)에 입력하는 것이 보통이며, 도 1에 도시된 바와 같은 형태의 컴퓨터를 제조하는 제조사에서는 LCD(1) 제조사로부터 공급받은 LCD(1) 내의 좌표정보를 검사한 후, 양품으로 판정된 것에 한하여 디스플레이장치(120)의 패널(115)로 채용하게 된다.The LCD (1) coordinate information is formed by a plurality of contact pad groups (2a ~ 2d) each of the predetermined coordinate information, including the electrical signal is input at the time of manufacture of the LCD (1) by the manufacturer of the LCD (1) to form a plurality of LCD (1) It is common to input the data into a computer, and a manufacturer manufacturing a computer of the type shown in FIG. 1 displays the coordinate information in the LCD 1 supplied from the LCD 1 manufacturer, and then displays the display as long as it is determined to be good. It is employed as the panel 115 of the device 120.
도 3에는 이러한 종래의 평면디스플레이 검사장치가 개략적으로 도시되어 있다. 평면디스플레이 검사장치는 LCD(1)에 포함된 소정의 좌표정보 중, 예를 들어 전기적 신호의 단락 및 단선의 특성을 검사한다.3 schematically illustrates such a conventional flat display inspection apparatus. The planar display inspection apparatus inspects, for example, characteristics of short circuits and disconnections of electrical signals among predetermined coordinate information included in the LCD 1.
종래의 평면디스플레이 검사장치는 도 3에 도시된 바와 같이, 소정의 이격간격을 두고 상호 이격된 한 쌍의 컬럼(130)과, 한 쌍의 컬럼(130)을 상호 연결하는 연결바아(132)와, 연결바아(132)에 고정되어 LCD(1)의 좌표정보를 검사하는 프루브유니트(140)와, LCD(1)를 지지하며 적어도 X-Y 방향을 따라 이동가능한 스테이지(134)와, 검사된 정보를 출력하는 모니터부(미도시)를 포함한다.As shown in FIG. 3, the conventional flat display inspection apparatus includes a pair of columns 130 spaced apart from each other at a predetermined interval, and a connection bar 132 interconnecting the pair of columns 130. , A probe unit 140 fixed to the connection bar 132 to inspect the coordinate information of the LCD 1, a stage 134 supporting the LCD 1 and movable in at least an XY direction, and inspected information. It includes a monitor unit (not shown) to output.
프루브유니트(140)는 연결바아(132)에 고정되며 상하방향을 따라 승강가능한 본체부(140a)와, 본체부(140a)의 하단에 마련되어 LCD(1)에 복수개로 마련된 전기적 신호를 포함한 소정의 좌표정보가 각각 입력된 접점패드군(2a~2d) 중 어느 하나에 각각 접촉하여 LCD(1)의 정보를 검사하는 프루브카드(140b)를 갖는다. 프루브카드(140b)에는 LCD(1)에 마련된 접점패드군(2a~2d)에 각각 대응하게 접촉하는 3개의 프루브팁(미도시)이 형성되어 있다.The probe unit 140 is fixed to the connection bar 132 and is provided at a lower portion of the main body portion 140a which can be elevated along the up and down direction, and provided at a lower end of the main body portion 140a, including a plurality of electrical signals provided in the LCD 1. It has a probe card 140b which contacts each one of the contact pad groups 2a to 2d into which the coordinate information is input, respectively, and checks the information of the LCD 1. The probe card 140b is formed with three probe tips (not shown) which respectively correspond to the contact pad groups 2a to 2d provided on the LCD 1.
이에, 도시 않은 로봇에 의해 검사 대상의 LCD(1)가 스테이지(134) 상에 안착되면, 검사 대상의 LCD(1)에 형성된 복수개의 접점패드군(2a~2d) 중 임의로 선택된 어느 하나의 접점패드군이 프루브카드(140b)의 프루브팁의 수직방향 하부에 배치될 수 있도록 스테이지(134)가 X-Y 방향을 따라 소정 거리 이동한다.Thus, when the LCD 1 of the inspection object is seated on the stage 134 by a robot (not shown), any one contact point selected arbitrarily from among a plurality of contact pad groups 2a to 2d formed on the LCD 1 of the inspection object. The stage 134 moves a predetermined distance along the XY direction so that the pad group can be disposed below the vertical direction of the probe tip of the probe card 140b.
스테이지(134)의 X-Y 방향 이동에 의해 검사대상의 LCD(1) 위치가 정해지면, 프루브유니트(140)의 본체부(140a)의 작동에 의해 프루브카드(140b)가 하강되고, 프루브팁이 LCD(1)에 형성된 접점패드군(2a~2d) 중 어느 하나에 접촉함으로써 그 정보를 읽는다. 프루브팁에 의해 얻어진 정보는 모니터부로 출력되어 전기적 신호의 단락 및 단선 여부가 판별됨으로써 LCD(1)의 양부가 결정된다.When the position of the LCD 1 to be inspected is determined by the XY direction of the stage 134, the probe card 140b is lowered by the operation of the main body 140a of the probe unit 140, and the probe tip is LCD. The information is read by contacting any one of the contact pad groups 2a to 2d formed in (1). The information obtained by the probe tip is output to the monitor unit to determine whether the electric signal is shorted or disconnected, thereby determining whether the LCD 1 is good or bad.
그런데, 이러한 종래의 평면디스플레이 검사장치는, 검사 대상의 LCD가 이동하면서 LCD의 전기적 신호에 대한 단락 및 단선의 특성을 검사하고 있는 바, LCD가 대형화된다면, 스테이지 역시 LCD에 대응하도록 대형화된 상태에서 X-Y 방향을 따라 이동해야만 한다.By the way, such a conventional flat display inspection device is inspecting the characteristics of short circuit and disconnection of the electrical signal of the LCD while the LCD of the inspection object is moved, if the LCD is enlarged, the stage is also enlarged to correspond to the LCD Must move along the XY direction.
이러한 경우, 대형화된 스테이지가 X-Y 방향으로 이동하면 스테이지의 이동 영역이 커지게 됨은 물론이거니와 검사의 정밀도가 떨어지며, 검사시간이 많이 소요되고 거대해진 스테이지를 이동시키는데 따른 전력이 소비가 크다는 문제점이 있다.In this case, when the large-sized stage moves in the X-Y direction, the movement area of the stage becomes large, as well as the accuracy of inspection decreases, and there is a problem that a large amount of inspection time is consumed and power is consumed to move the huge stage.
또한, 스테이지가 대형화되면 평면디스플레이 검사장치 자체가 거대해져야 하는 한편, 거대해진 평면디스플레이 검사장치를 설치할 클린룸(Clean Room) 역시 크게 축조해야 한다는 단점이 있다.In addition, when the stage is enlarged, the flat display inspection apparatus itself must be huge, and a clean room in which the large flat display inspection apparatus is to be installed must also be largely constructed.
따라서, 본 발명의 목적은, 소비 전력을 줄이고 검사시간을 단축시키면서도 검사의 정밀도를 높여 검사의 신뢰성을 향상시킬 수 있도록 한 평면디스플레이 검사장치를 제공하는 것이다.Accordingly, it is an object of the present invention to provide a flat display inspection apparatus which can improve the reliability of inspection by reducing the power consumption and reducing the inspection time.
또한, 본 발명의 다른 목적은, 장치의 소형화를 추구하여 클린룸(Clean Room)을 크게 축조하는데 따른 설비투자를 현격하게 저감시킬 수 있도록 한 평면디스플레이 검사장치를 제공하는 것이다.In addition, another object of the present invention is to provide a flat display inspection device that can significantly reduce the equipment investment in large construction of a clean room in pursuit of miniaturization of the device.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 전기적 신호를 포함한 소정의 좌표정보가 입력된 접점패드군이 복수개로 형성된 LCD를 검사하는 평면디스플레이 검사장치에 있어서, 검사테이블과; 상기 검사테이블 상에 마련되며 검사 대상의 상기 LCD가 안착되는 스테이지와; 상기 스테이지에 안착된 상기 LCD의 접점패드군에 접촉되어 상기 접점패드군에 입력된 소정의 정보를 검출하는 프루브팁을 갖는 적어도 하나의 프루브유니트와; 상기 검사테이블에 마련되며 상기 프루브유니트에 마련된 프루브팁이 상기 검사 대상의 LCD에 형성된 접점패드군에 접촉될 수 있도록 상기 프루브유니트를 적어도 일방향으로 위치이동시키는 프루브이동수단과; 상기 LCD의 접점패드군에 접촉된 상기 프루브팁으로부터의 검사 결과값을 출력하는 모니터부를 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이 검사장치에 의해 달성된다.According to an aspect of the present invention, there is provided a flat panel display inspection apparatus for inspecting an LCD in which a plurality of contact pad groups into which predetermined coordinate information including an electrical signal is input are provided, comprising: an inspection table; A stage provided on the inspection table and on which the LCD of the inspection object is seated; At least one probe unit having a probe tip contacting the contact pad group of the LCD seated on the stage and detecting predetermined information input to the contact pad group; A probe moving means provided in the inspection table to move the probe unit in at least one direction so that the probe tip provided in the probe unit may contact the contact pad group formed on the LCD of the inspection object; And a monitor unit for outputting an inspection result value from the probe tip in contact with the contact pad group of the LCD.
여기서, 상기 스테이지는 상기 검사테이블의 상면 수평방향에 대해 소정 각도 요동가능하게 마련되는 것이 유리하다.Here, the stage is advantageously provided to be able to swing a predetermined angle with respect to the horizontal direction of the upper surface of the inspection table.
상기 검사테이블의 하부 네 모서리 영역에 마련되어 상기 검사테이블을 지지하는 한편 상기 검사테이블의 수평상태를 조절하는 복수의 수평조절자를 더 포함하는 것이 바람직하다.It is preferable to further include a plurality of horizontal adjusters provided in the lower four corners of the examination table to support the examination table and to adjust the horizontal state of the examination table.
상기 검사테이블에 마련되어 상기 검사테이블에 발생가능한 진동을 제거하는 제진수단을 더 마련하는 것이 유리하다.It is advantageous to further provide vibration damping means provided in the inspection table to remove vibrations that may occur in the inspection table.
상기 프루브이동수단은, 상기 스테이지 상으로 로딩되는 상기 LCD의 로딩방향에 대해 나란하게 상기 프루브유니트를 이동시키는 X축이동부와; 상기 X축이동부에 대해 가로방향을 따라 상기 프루브유니트를 이동시키는 Y축이동부와; 상기 프루브유니트에 마련되어 상기 Y축이동부 상에서 상기 프루브팁을 승강시키는 Z축이동부를 포함한다.The probe moving means may include: an X-axis moving unit for moving the probe unit in parallel with the loading direction of the LCD loaded onto the stage; A Y-axis moving unit for moving the probe unit along the transverse direction with respect to the X-axis moving unit; It is provided on the probe unit includes a Z-axis moving portion for lifting the probe tip on the Y-axis moving portion.
상기 X축이동부는, 상기 스테이지에 로딩되는 상기 LCD의 로딩방향에 대해 가로방향을 따라 상호 이격배치되고 상기 검사테이블의 상면으로부터 기립되게 마련되는 제1 및 제2 X축지지대와; 상기 제1 및 제2 X축지지대의 상단에 마련되는 제1 및 제2 X축레일부와; 상기 제1 및 제2 X축레일부에 상호 도브테일 형상으로 슬라이딩 이동가능하게 마련되는 적어도 한 쌍의 X축레일블럭과; 상기 X축레일블럭을 상기 제1 및 제2 X축레일부 상에서 슬라이딩 이동시키는 X축구동부를 포함한다.The X-axis moving unit may include: first and second X-axis supports spaced apart from each other along a transverse direction with respect to the loading direction of the LCD loaded on the stage and provided to stand up from an upper surface of the inspection table; First and second X-axis rail parts provided on upper ends of the first and second X-axis supports; At least one pair of X-axis rail blocks provided in the first and second X-axis rail portions to be slidably moved in a mutual dovetail shape; And an X-axis driving unit for slidingly moving the X-axis rail block on the first and second X-axis rail portions.
이 때, 상기 X축레일블럭은 상기 스테이지를 중심으로 사각구도 배치되는 것이 유리하다.At this time, it is advantageous that the X-axis rail block is also arranged around a square sphere.
상기 Y축이동부는, 상호 대응되는 상기 한 쌍의 X축레일블럭을 상호 연결하는 제1 및 제2 Y축지지대와; 상기 제1 및 제2 Y축지지대에 마련되는 제1 및 제2 Y축레일부와; 일단은 상기 제1 및 제2 Y축레일부에 슬라이딩 이동가능하게 결합되고 타단은 상기 프루브유니트에 결합되는 Y축레일블럭과; 상기 Y축레일블럭을 상기 제1 및 제2 Y축레일부 상에서 슬라이딩 이동시키는 Y축구동부를 포함한다.The Y-axis moving unit includes: a first and second Y-axis supporters for interconnecting the pair of X-axis rail blocks corresponding to each other; First and second Y-axis rail parts provided on the first and second Y-axis supports; A Y-axis rail block, one end of which is slidably coupled to the first and second Y-axis rails and the other end of which is coupled to the probe unit; And a Y-axis driving part configured to slide the Y-axis rail block on the first and second Y-axis rail parts.
이 때, 상기 Y축레일블럭은 상기 제1 및 제2 Y축레일부에 각각 한 쌍씩 마련되는 것이 유리하다.In this case, it is advantageous that the pair of Y-axis rails are provided in pairs of the first and second Y-axis rails, respectively.
상기 Z축이동부는, 상기 Y축레일블럭에 결합되는 고정유니트와; 상기 고정유니트에 대해 승강가능하게 결합되는 가동유니트와; 상기 가동유니트를 상기 고정유니트에 대해 승강시키는 Z축구동부를 포함한다.The Z-axis moving unit, the fixed unit is coupled to the Y-axis rail block; A movable unit coupled to the fixed unit in a liftable manner; And a Z-axis driving unit for elevating the movable unit with respect to the fixed unit.
상기 가동유니트에는 상기 모니터부로 상기 LCD를 촬상하는 적어도 하나의 카메라가 장착되어 있다.The movable unit is equipped with at least one camera for imaging the LCD with the monitor unit.
상기 가동유니트와 상기 카메라 사이에 개재되어 상기 카메라를 상기 가동유니트의 승강방향에 가로방향으로 위치이동시키는 카메라이동부를 더 포함하는 것이 보다 효과적이다.It is more effective to further include a camera moving portion interposed between the movable unit and the camera to move the camera in the horizontal direction in the lifting direction of the movable unit.
한편, 상기 프루브팁은 상기 가동유니트의 하단에 착탈가능하게 결합되는 프루브카드에 마련되어 있으며, 상기 프루브카드는 상기 프루브유니트의 하단에 서로 다른 배열방향을 가지고 한 쌍으로 결합되어 있다.On the other hand, the probe tip is provided on the probe card detachably coupled to the lower end of the movable unit, the probe card is coupled to the lower end of the probe unit in a pair having a different arrangement direction.
이 때, 상기 프루브유니트의 하단에 마련된 한 쌍의 프루브카드는 제1 및 제2프루브카드이며, 상기 제1 및 제2프루브카드에 형성된 제1 및 제2프루브팁은 단부가 상기 LCD를 향해 절곡되고 상호 교호되게 배치되어 있는 것이 바람직하다.At this time, the pair of probe cards provided at the bottom of the probe unit are first and second probe cards, and the first and second probe tips formed on the first and second probe cards are bent toward the LCD. It is preferable to be alternately arranged.
상기 제1 및 제2프루브카드는 상기 가동유니트 상에서 상호 독립적으로 승강가능하다.The first and second probe cards are independently liftable on the movable unit.
상기 스테이지, 상기 프루브유니트, 상기 프루브이동수단 및 상기 카메라를 제어하는 컨트롤부를 더 포함하는 것이 유리하다. 그리고, 상기 검사테이블의 외측을 커버링하여 장치의 외관을 형성하는 캐비넷을 더 마련할 수 있다.It is advantageous to further include a control unit for controlling the stage, the probe unit, the probe moving means and the camera. The cabinet may further be provided to cover the outside of the examination table to form an exterior of the apparatus.
이하에서는 첨부도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명하며, 앞서 설명한 도 1 내지 도 3의 내용 중, 본 발명의 설명에서 필요한 구성에 대해서는 상기의 도면을 인용하고 그에 따른 동일한 참조부호를 부여하도록 한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, and for the necessary components in the description of the present invention described above with reference to the above drawings, the same reference numerals will be given accordingly. .
본 발명에 따른 평면디스플레이 검사장치는 도 2에 도시된 LCD(1)에 마련된 전기적 신호를 포함한 소정의 좌표정보가 입력된 접점패드군(2a~2d)으로부터의 정보를 검출하여 LCD(1)의 양부를 판별하기 위해 사용된다.The flat display inspection apparatus according to the present invention detects information from the contact pad group 2a to 2d to which predetermined coordinate information including an electrical signal provided in the LCD 1 shown in FIG. It is used to determine the status.
이러한 평면디스플레이 검사장치는 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 장치의 외관을 형성하는 캐비넷(10)과, 캐비넷(10) 내에 마련되는 검사테이블(12)과, 검사테이블(12) 상에 마련되며 검사 대상의 LCD(1)가 안착되는 스테이지(16)와, 스테이지(16)의 상부에 배치되는 프루브유니트(20)와, 프루브유니트(20)를 적어도 일방향으로 위치이동시키는 프루브이동수단과, 프루브유니트(20)의 프루브팁(21a,22a)에 의한 검사 결과값을 출력하는 모니터부(32)를 포함한다.4 and 5, the planar display inspection apparatus includes a cabinet 10 forming an exterior of the apparatus, an inspection table 12 provided in the cabinet 10, and an inspection table 12. A stage 16 on which the LCD 1 to be inspected is mounted, a probe unit 20 disposed on the stage 16, and a probe moving means for moving the probe unit 20 in at least one direction; And a monitor unit 32 for outputting a test result value by the probe tips 21a and 22a of the probe unit 20.
캐비넷(10)은 도 4에 도시된 바와 같이, 복수의 단위측벽부(10a)들로 이루어져 검사테이블(12) 및 프루브유니트(20)를 외부에서 보호한다. 만일, 평면디스플레이 검사장치가 사용되지 않는다면 캐비넷(10)을 폐쇄할 수 있다.As shown in FIG. 4, the cabinet 10 includes a plurality of unit side wall portions 10a to externally protect the inspection table 12 and the probe unit 20. If the flat display inspection apparatus is not used, the cabinet 10 may be closed.
검사테이블(12)은 캐비넷(10)의 내부에 마련되며 정반으로 제조된다. 이러한 검사테이블(12) 내에는 도시하고 있지는 않으나 외부 및 내부에서 발생할 수 있는 진동을 제거하기 위한 제진수단이 마련되어 있다.The inspection table 12 is provided inside the cabinet 10 and is manufactured in a surface plate. Although not shown in the inspection table 12, vibration damping means for removing vibrations that may occur from outside and inside are provided.
검사테이블(12)의 하부 네 모서리 영역에는 검사테이블(12)을 지지하는 복수의 수평조절자(14)가 마련되어 있다. 이 수평조절자(14)는 검사테이블(12)을 수평으로 지지하는 한편 검사테이블(12)의 수평상태를 조절하기 위해 높이조절볼트(14a)를 가지고 있다.A plurality of horizontal adjusters 14 supporting the examination table 12 are provided in the lower four corner regions of the examination table 12. The horizontal adjuster 14 supports the examination table 12 horizontally and has a height adjusting bolt 14a for adjusting the horizontal state of the examination table 12.
검사 대상의 LCD(1)가 안착되는 스테이지(16)는 검사테이블(12)의 상면 수평방향에 대해 소정 각도로 요동가능하게 마련된다. 이처럼 스테이지(16)를 소정 각도 요동가능하게 마련하고 있는 이유는 검사되는 LCD(1)의 로딩 위치를 보다 확실하고 빠르게 보정하기 위함이다.The stage 16 on which the inspection object LCD 1 is seated is provided to be swingable at a predetermined angle with respect to the horizontal direction of the upper surface of the inspection table 12. The reason why the stage 16 is provided to be able to swing at a predetermined angle is to correct the loading position of the LCD 1 to be inspected more reliably and quickly.
따라서, 본 발명의 검사장치로 LCD(1)를 로딩하는 로봇의 로딩각도가 정밀하게 제어될 수만 있다면 스테이지(16)를 요동가능하게 마련할 필요는 없는 것이다. 요동수단에 대해서는 도시하고 있지는 않으나 진동소자 등을 적용할 수 있을 것이다.Therefore, if the loading angle of the robot loading the LCD 1 with the inspection apparatus of the present invention can be precisely controlled, it is not necessary to provide the stage 16 in a swingable manner. Although not shown, the oscillation means may be a vibrating element or the like.
프루브이동수단은 검사테이블(12)에 마련되며, 후술할 프루브유니트(20)에 마련된 프루브팁(21a,22a)이 검사 대상의 LCD(1)에 형성된 접점패드군(2a~2d, 도 2 참조)에 접촉될 수 있도록 프루브유니트(20)를 적어도 일방향으로 위치이동시킨다. 여기서, 일방향이란 후술하는 바와 같이, X축, Y축 및 Z축을 가리킨다.The probe moving means is provided in the inspection table 12, and the contact pad groups 2a to 2d formed on the LCD 1 of the inspection target with the probe tips 21a and 22a provided in the probe unit 20 to be described later, see FIG. The probe unit 20 is moved in at least one direction so that the probe unit 20 can be contacted. Here, one direction refers to the X-axis, Y-axis, and Z-axis as mentioned later.
프루브이동수단은, 스테이지(16) 상으로 로딩되는 검사 대상의 LCD(1)의 로딩방향에 대해 나란하게 프루브유니트(20)를 이동시키는 X축이동부(40)와, X축이동부(40)에 대해 가로방향을 따라 프루브유니트(20)를 이동시키는 Y축이동부(50)와, 프루브유니트(20)에 마련되어 Y축이동부(50) 상에서 프루브팁(21a,22a)을 승강시키는 Z축이동부(60)를 포함한다.The probe moving means includes an X-axis moving unit 40 and an X-axis moving unit 40 for moving the probe unit 20 side by side with respect to the loading direction of the LCD 1 to be loaded onto the stage 16. Z to move the probe unit 20 in the transverse direction with respect to the Y), and the Z to move the probe tips (21a, 22a) provided on the probe unit 20 on the Y-axis moving unit (50) It includes a shaft moving unit (60).
이하에서는, 프루브이동수단에 대한 도면에 참조부호의 표기가 곤란한 관계로 프루브이동수단에 대한 참조부호는 생략하기로 한다. 그리고, 프루브이동수단인 X축, Y축 및 Z축으로의 이동은 모터에 의해 회전하는 볼스크루가 장착되어 이동되는 엘엠가이드(LM Guide) 구조를 채용하고 있는 바, 이에 대한 자세한 설명은 생략하기로 한다.In the following, reference numerals for the probe moving means will be omitted since it is difficult to designate reference numerals in the drawings of the probe moving means. In addition, the movement of the probe moving means in the X-axis, Y-axis and Z-axis adopts an LM Guide structure in which a ball screw that is rotated by a motor is mounted to move the detailed description thereof. Shall be.
X축이동부(40)는, 스테이지(16)에 로딩되는 LCD(1)의 로딩방향에 대해 가로방향을 따라 상호 이격배치되고 검사테이블(12)의 상면으로부터 기립되게 마련되는 제1 및 제2 X축지지대(41a,41b)와, 제1 및 제2 X축지지대(41a,41b)의 상단에 마련되는 제1 및 제2 X축레일부(42a,42b)와, 제1 및 제2 X축레일부(42a,42b)에 상호 도브테일 형상으로 슬라이딩 이동가능하게 마련되는 적어도 한 쌍의 X축레일블럭(43)과, X축레일블럭(43)을 제1 및 제2 X축레일부(42a,42b) 상에서 슬라이딩 이동시키는 X축구동부(44)를 포함한다.The first and second X-axis moving parts 40 are spaced apart from each other along the horizontal direction with respect to the loading direction of the LCD 1 loaded on the stage 16 and stand up from the upper surface of the inspection table 12. X-axis support members 41a and 41b, first and second X-axis rail portions 42a and 42b provided at upper ends of the first and second X-axis support members 41a and 41b, and first and second X-axis rails. At least one pair of X-axis rail blocks 43 and X-axis rail blocks 43 provided on the portions 42a and 42b to be slidably movable in a mutual dovetail shape, and the first and second X-axis rail parts 42a and 42b. It includes an X-axis drive unit 44 to slide on.
이 때, X축레일블럭(43)은 한 쌍으로 마련될 수도 있으나, 본 실시예에서는 검사시간을 단축시키면서도 검사의 정밀도를 높여 검사의 신뢰성을 향상시키기 위해 X축레일블럭(43)을 스테이지(16)를 중심으로 사각구도 배치하고 있다.At this time, the X-axis rail block 43 may be provided as a pair, but in this embodiment, the X-axis rail block 43 is staged to improve inspection reliability while reducing inspection time while improving inspection accuracy. The ball is also placed around the square.
Y축이동부(50)는, 상호 대응되는 한 쌍의 X축레일블럭(43)을 상호 연결하는 제1 및 제2 Y축지지대(51a,51b)와, 제1 및 제2 Y축지지대(51a,51b)에 마련되는 제1 및 제2 Y축레일부(52a,52b)와, 일단은 제1 및 제2 Y축레일부(52a,52b)에 슬라이딩 이동가능하게 결합되고 타단은 프루브유니트(20)에 결합되는 Y축레일블럭(53)과, Y축레일블럭(53)을 제1 및 제2 Y축레일부(52a,52b) 상에서 슬라이딩 이동시키는 Y축구동부(54)를 포함한다.The Y-axis moving unit 50 includes first and second Y-axis supports 51a and 51b for interconnecting a pair of X-axis rail blocks 43 corresponding to each other, and first and second Y-axis supports ( First and second Y-axis rail portions 52a and 52b provided at 51a and 51b and one end thereof are slidably coupled to the first and second Y-axis rail portions 52a and 52b, and the other end thereof is a probe unit 20. Y-axis rail block 53 coupled to the Y, and Y-axis driving unit 54 for sliding the Y-axis rail block 53 on the first and second Y-axis rail portions (52a, 52b).
이 때, Y축레일블럭(53)은 제1 및 제2 Y축레일부(52a,52b)에 각각 한 쌍씩 마련된다. 따라서, Y축레일블럭(53)에 결합되는 프루브유니트(20)는 총 4개가 된다.At this time, one pair of Y-axis rail blocks 53 are provided in the first and second Y-axis rail portions 52a and 52b, respectively. Accordingly, there are four probe units 20 coupled to the Y-axis rail block 53.
Z축이동부(60)는, Y축레일블럭(53)에 결합되는 고정유니트(62)와, 고정유니트(62)에 대해 승강가능하게 결합되는 가동유니트(64)와, 가동유니트(64)를 고정유니트(62)에 대해 승강시키는 Z축구동부(66)를 포함한다.The Z-axis moving unit 60 includes a stationary unit 62 coupled to the Y-axis rail block 53, a movable unit 64 coupled to the stationary unit 62 so as to be movable up and down, and a movable unit 64. It includes a Z-axis driving unit 66 for elevating the fixed unit 62.
프루브유니트(20)의 가동유니트(64)에는 카메라(70)가 장착되어 있다. 카메라(70)는 모니터부(32)와 전기적으로 연결되어 LCD(1)를 촬상한 촬상 신호를 모니터부(32)로 전송한다. 이에, 작업자는 카메라(70)에 의해 촬상된 LCD(1)의 부분 적인 영상을 확인하면서 컨트롤부(34, 도 8 참조)를 통해 스테이지(16)를 소정 각도 요동시키거나, 혹은 프루브이동수단을 통해 프루브유니트(20)의 위치를 제어하는 등의 작업을 수행한다.The camera 70 is attached to the movable unit 64 of the probe unit 20. The camera 70 is electrically connected to the monitor unit 32 and transmits an image pickup signal of the LCD 1 to the monitor unit 32. Accordingly, the operator swings the stage 16 by a predetermined angle through the control unit 34 (see FIG. 8) while checking the partial image of the LCD 1 captured by the camera 70, or moves the probe moving means. Through such operations to control the position of the probe unit 20 through.
이처럼 LCD(1)의 로딩으로부터 스테이지(16)의 요동, 그리고 프루브이동수단에 의한 프루브유니트(20)의 위치 제어 등은 작업자가 모니터부(32)를 확인하면서 컨트롤부(34)를 제어하여 수행한다. 그러나, 이러한 작업 행위의 일체는 소정의 제어프로그램에 의해 전자동으로 수행되도록 될 수도 있을 것이다.As described above, the rocking of the stage 16 from the loading of the LCD 1 and the position control of the probe unit 20 by the probe moving means are performed by controlling the control unit 34 while the operator checks the monitor unit 32. do. However, all of these work actions may be made to be performed automatically by a predetermined control program.
가동유니트(64)와 카메라(70) 사이에는 카메라(70)를 가동유니트(64)의 승강방향에 가로방향으로 위치이동시키는 카메라이동부(72)가 마련되어 있다. 카메라이동부(72)는 도 6에 도시된 바와 같이, 가동유니트(64)에 고정된 가로고정블럭(72a)과, 카메라(70)가 결합되고 가로고정블럭(72a)과 도브테일 형상으로 맞물리며 가로고정블럭(72a)에 대해 횡방향으로 이동가능한 가로가동블럭(72b)과, 가로가동블럭(72b)을 구동시키는 카메라구동모터(72c)를 갖는다. 이 때, 카메라구동모터(72c) 역시, 컨트롤부(34)에 의해 제어된다.Between the movable unit 64 and the camera 70, the camera moving part 72 which moves the camera 70 horizontally to the lifting direction of the movable unit 64 is provided. As shown in FIG. 6, the camera moving part 72 is coupled to the horizontal fixing block 72a fixed to the movable unit 64 and the camera 70 and is engaged with the horizontal fixing block 72a in a dovetail shape and then horizontally fixed. A horizontally movable block 72b movable laterally with respect to the block 72a, and a camera driving motor 72c for driving the horizontally movable block 72b. At this time, the camera driving motor 72c is also controlled by the control unit 34.
한편, 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 프루브유니트(20)의 하부에는 제1 및 제2프루브카드(21,22)가 착탈가능하게 결합되어 있다. 그리고, 이들 제1 및 제2프루브카드(21,22)에는 LCD(1)의 접점패드군(2a~2d, 도 2 참조)에 접촉되어 접점패드군(2a~2d, 도 2 참조)에 입력된 소정의 정보를 검출하는 제1 및 제2프루브팁(21a,22a)이 마련되어 있다.6 and 7, the first and second probe cards 21 and 22 are detachably coupled to the lower part of the probe unit 20. The first and second probe cards 21 and 22 are in contact with the contact pad groups 2a to 2d (see FIG. 2) of the LCD 1 and input to the contact pad groups 2a to 2d (see FIG. 2). First and second probe tips 21a and 22a for detecting the predetermined information are provided.
전술한 도 2에서와 같이, LCD(1)의 접점패드군(2a~2d, 도 2 참조)은 서로 다른 배열방향을 가지고 있다. 이에, 접점패드군(2a~2d, 도 2 참조)의 서로 다른 배열방향에 대응하기 위해 제1 및 제2프루브카드(21,22) 역시, 프루브유니트(20)의 하단에서 서로 다른 배열방향(직교방향)을 갖도록 배치되어 있다. 제1 및 제2프루브카드(21,22)는 각각 클램프(21d,22d)에 의해 지지되어 있다.As in FIG. 2 described above, the contact pad groups 2a to 2d of the LCD 1 have different arrangement directions. Accordingly, in order to correspond to different arrangement directions of the contact pad groups 2a to 2d (refer to FIG. 2), the first and second probe cards 21 and 22 may also be arranged in different arrangement directions at the bottom of the probe unit 20. Orthogonal direction). The first and second probe cards 21 and 22 are supported by clamps 21d and 22d, respectively.
제1 및 제2프루브카드(21,22)가 상호 직교방향으로 배치됨으로써 제1 및 제2프루브카드(21,22)에 마련된 제1 및 제2프루브팁(21a,22a) 역시 상호 교호적으로 배치되어 서로 다른 배열방향을 갖는다. 제1 및 제2프루브팁(21a,22a)의 단부는 접점패드군(2a~2d, 도 2 참조)으로의 접촉을 위해 절곡되어 있다.By arranging the first and second probe cards 21 and 22 in a direction perpendicular to each other, the first and second probe tips 21a and 22a provided on the first and second probe cards 21 and 22 are also alternated with each other. Arranged to have different alignment directions. End portions of the first and second probe tips 21a and 22a are bent for contact with the contact pad groups 2a to 2d (see FIG. 2).
서로 직교방향으로 배치된 제1 및 제2프루브카드(21,22)는 가동유니트(64) 상에서 상호 독립적으로 승강가능하다. 즉, 도 7에 도시된 바와 같이, 제1프루브카드(21)는 제1프루브승강부(21b)에 의해 독립적으로 승강되고, 제2프루브카드(22)는 제2프루부승강부에 의해 역시 독립적으로 승강된다.The first and second probe cards 21 and 22 arranged in the orthogonal direction to each other can be independently lifted up and down on the movable unit 64. That is, as shown in Fig. 7, the first probe card 21 is independently lifted by the first probe lifter 21b, and the second probe card 22 is also lifted by the second probe lifter. It is lifted independently.
따라서, 도 2에 도시된 복수의 접점패드군(2a~2d, 도 2 참조) 중, 어느 하나의 접점패드군(2a, 도 2 참조)은 예를 들어, 제1프루브승강부(21b)에 의한 제1프루브카드(21)의 제1프루브팁(21a)에 의해 검사되고, 다른 하나의 접점패드군(2b, 도 2 참조)은 예를 들어, 제2프루브승강부(22b)에 의한 제2프루브카드(22)의 제2프루브팁(22a)에 의해 검사될 수 있다. 물론, 제1 및 제2프루브팁(21a,22a)에 의해 검사된 결과값은 모두 모니터부(32)로 출력된다.Therefore, any one of the contact pad groups 2a (see FIG. 2) among the plurality of contact pad groups 2a-2d (see FIG. 2) shown in FIG. 2 is connected to the first probe elevating unit 21b, for example. Is inspected by the first probe tip 21a of the first probe card 21, and the other contact pad group 2b (see FIG. 2) is, for example, the first by the second probe elevating portion 22b. It can be inspected by the second probe tip 22a of the two probe card 22. Of course, the result values inspected by the first and second probe tips 21a and 22a are all output to the monitor unit 32.
이 때, 제1 및 제2프루브승강부(21b,22b)는 전술한 모터 및 볼스크루의 구조와는 달리 엘엠가이드와 함께 승강실린더(21c,22c)를 채용하고 있다. 이는, 제1 및 제2프루브팁(21a,22a)이 시작위치와 종료위치의 양끝 위치만을 왕복이동하는 바, 전술한 모터 제어에 비해 승강실린더(21c,22c)의 제어가 유리하기 때문이다.At this time, unlike the structures of the motor and the ball screw described above, the first and second probe elevating portions 21b and 22b employ elevating cylinders 21c and 22c together with the L guide. This is because the first and second probe tips 21a and 22a reciprocate only at both end positions of the start position and the end position, so that the control of the lift cylinders 21c and 22c is advantageous compared to the motor control described above.
이러한 구성을 갖는 평면디스플레이 검사장치의 검사과정을 설명하면 다음과 같다.Referring to the inspection process of the flat display inspection apparatus having such a configuration as follows.
복수의 LCD(1)가 수납된 카세트(미도시)로부터 임의로 샘플 추출된 LCD(1)가 이송로봇에 의해 취출되어 검사테이블(12) 상의 스테이지(16) 상부로 로딩된다.The LCD 1 arbitrarily sampled from the cassette (not shown) in which the plurality of LCDs 1 are stored is taken out by the transfer robot and loaded onto the stage 16 on the inspection table 12.
검사 대상의 LCD(1)가 스테이지(16) 상부에 안착되면 컨트롤부(34)에 의해 카메라(70)가 구동되어 LCD(1)에 형성된 소정의 로딩좌표를 모니터로 출력한다. 출력된 로딩좌표가 설정된 상태로 배치되도록 스테이지(16)가 수평방향에서 소정 각도 요동되면서 검사 대상의 LCD(1)의 검사 위치가 설정된다.When the LCD 1 to be inspected is seated on the upper stage 16, the camera 70 is driven by the control unit 34 to output a predetermined loading coordinate formed on the LCD 1 to the monitor. The stage 16 is oscillated a predetermined angle in the horizontal direction so that the output loading coordinate is arranged in a set state, and the inspection position of the LCD 1 to be inspected is set.
LCD(1)가 스테이지(16) 상에서 위치 설정되면, 프루브이동수단이 구동된다. 즉, X축구동부(44)에 의해 4개의 X축레일블럭(43)이 제1 및 제2 X축레일부(42a,42b) 상에서 X축 방향으로 위치 이동됨과 동시에, Y축구동부(54)에 의해 4개의 Y축레일블럭(53)이 제1 및 제2 Y축레일부(52a,52b) 상에서 각기 Y축 방향으로 위치 이동된다.When the LCD 1 is positioned on the stage 16, the probe moving means is driven. That is, the four X-axis rail blocks 43 are moved on the first and second X-axis rail portions 42a and 42b in the X-axis direction by the X-axis driving portion 44, and the Y-axis driving portion 54 The four Y-axis rail blocks 53 are moved in the Y-axis direction on the first and second Y-axis rail portions 52a and 52b, respectively.
이처럼 X축이동부(40) 및 Y축이동부(50)에 의해 4개의 프루브유니트(20)가 각기 복수의 접점패드군(2a~2d, 도 2 참조) 상으로 위치이동되면 Z축이동부(60)가 작동한다. 즉, Z축구동부(66)에 의해 고정유니트(62)에 대해 가동유니트(64)가 검사 대상의 LCD(1)를 향해 소정 거리 하향 이동한다.As such, when the four probe units 20 are moved on the plurality of contact pad groups 2a to 2d (see FIG. 2) by the X-axis moving unit 40 and the Y-axis moving unit 50, the Z-axis moving unit 40 is moved. 60 works. That is, the movable unit 64 is moved downward by a predetermined distance toward the LCD 1 to be inspected by the Z-axis driving unit 66 with respect to the fixed unit 62.
어는 정도 하향 이동되면, 제1 및 제2프루브승강부(21b,22b) 중 어느 하나의 작동에 의해 제1 및 제2프루브카드(21,22) 중 어느 하나가 하강되어 이에 해당하는 프루브팁이 접점패드군에 접촉되도록 한다. 프루브팁이 접점패드군에 접촉되어 접점패드군에 입력된 소정의 정보를 검출하면 검출된 결과값은 모니터부(32)로 출력되어 검사 대상의 LCD(1)의 양부가 판별된다.When it is moved downwardly, either one of the first and second probe cards 21 and 22 is lowered by the operation of any one of the first and second probe lifting portions 21b and 22b, and the corresponding probe tip is lowered. Make contact with the contact pad group. When the probe tip is in contact with the contact pad group and detects predetermined information input to the contact pad group, the detected result value is output to the monitor unit 32 to determine whether the LCD 1 to be inspected is good or bad.
이와 같이, 본 발명에서는, LCD(1)에 대해 프루브유니트(20)가 위치 이동되도록 구성함으로써, 소비 전력을 줄이고 검사시간을 단축시키면서도 검사의 정밀도를 높여 검사의 신뢰성을 향상시킬 수 있게 된다. 또한, 장치의 소형화를 추구하여 클린룸(Clean Room)을 크게 축조하는데 따른 설비투자를 현격하게 저감시킬 수 있다.As described above, in the present invention, by configuring the probe unit 20 to be moved relative to the LCD 1, it is possible to improve the reliability of the inspection by increasing the accuracy of the inspection while reducing the power consumption and the inspection time. In addition, it is possible to drastically reduce the equipment investment due to the construction of a large clean room in pursuit of miniaturization of the device.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 소비 전력을 줄이고 검사시간을 단축시키면서도 검사의 정밀도를 높여 검사의 신뢰성을 향상시킬 수 있도록 한 평면디스플레이 검사장치가 제공된다.As described above, according to the present invention, there is provided a planar display inspection apparatus that can improve the reliability of the inspection by increasing the accuracy of the inspection while reducing the power consumption and the inspection time.
또한, 본 발명의 검사장치에 의하면, 장치의 소형화를 추구하여 클린룸(Clean Room)을 크게 축조하는데 따른 설비투자를 현격하게 저감시킬 수 있게 된다.In addition, according to the inspection apparatus of the present invention, it is possible to drastically reduce the equipment investment due to the construction of a large clean room in pursuit of miniaturization of the apparatus.
도 1은 LCD가 적용된 일반적인 컴퓨터의 대한 사시도,1 is a perspective view of a general computer to which the LCD is applied;
도 2는 전기적 신호를 포함한 소정의 좌표정보가 각각 입력된 접점패드군이 복수개로 형성된 LCD의 개략적인 평면도,FIG. 2 is a schematic plan view of an LCD in which a plurality of contact pad groups to which predetermined coordinate information including an electrical signal is input are formed;
도 3은 종래의 평면디스플레이 검사장치의 개략적인 사시도,3 is a schematic perspective view of a conventional flat display inspection apparatus,
도 4는 본 발명에 따른 평면디스플레이 검사장치의 사시도,4 is a perspective view of a flat display inspection apparatus according to the present invention,
도 5는 도 4의 부분 확대 사시도,5 is a partially enlarged perspective view of FIG. 4;
도 6은 도 5의 부분 확대 사시도,6 is a partially enlarged perspective view of FIG. 5;
도 7은 도 4에 도시된 프루브유니트 하부 영역의 확대 사시도,7 is an enlarged perspective view of the probe unit lower region illustrated in FIG. 4;
도 8은 본 발명에 따른 평면디스플레이 검사장치의 제어블럭도이다.8 is a control block diagram of a flat display inspection apparatus according to the present invention.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings
1 : LCD 10 : 캐비넷 1: LCD 10: Cabinet
12 : 검사테이블 14 : 수평조절자12: inspection table 14: horizontal adjuster
16 : 스테이지 20 : 프루브유니트16: stage 20: probe unit
21 : 제1프루브카드 21a : 제1프루브팁21: first probe card 21a: first probe tip
22 : 제2프루브카드 22a : 제2프루브팁22: second probe card 22a: second probe tip
32 : 모니터부 34 : 컨트롤부32: monitor 34: control
40 : X축이동부 50 : Y축이동부40: X axis moving part 50: Y axis moving part
60 : Z축이동부 70 : 카메라60: Z axis moving part 70: camera

Claims (17)

  1. 전기적 신호를 포함한 소정의 좌표정보가 입력된 접점패드군이 복수개로 형성된 LCD를 검사하는 평면디스플레이 검사장치로써,A flat panel display inspection device for inspecting an LCD formed of a plurality of contact pad groups in which predetermined coordinate information including an electrical signal is input.
    검사 대상의 상기 LCD가 안착되는 스테이지를 갖는 검사테이블과;An inspection table having a stage on which the LCD to be inspected is seated;
    상기 접점패드군의 배열방향에 대응하도록 서로 다른 배열방향을 가지고 한 쌍으로 마련되는 제1 및 제2프루브카드와, 상기 제1 및 제2프루브카드에 마련되어 상기 접점패드군에 접촉함으로써 상기 접점패드군에 입력된 소정의 정보를 검출하는 제1 및 제2프루브팁을 갖는 프루브유니트와;The contact pads are provided in a pair of first and second probe cards having different arrangement directions so as to correspond to the arrangement direction of the contact pad group, and provided in the first and second probe cards to contact the contact pad group. A probe unit having first and second probe tips for detecting predetermined information input to the group;
    상기 제1 및 제2프루브팁이 상기 검사 대상의 LCD에 형성된 접점패드군에 접촉될 수 있도록 상기 프루브유니트를 적어도 X축, Y축 및 Z축 중 적어도 어느 일방향으로 위치이동시키는 프루브이동수단과;Probe moving means for moving the probe unit in at least one of at least one of an X axis, a Y axis, and a Z axis such that the first and second probe tips are in contact with a group of contact pads formed on the LCD of the test object;
    검사 결과값을 출력하는 모니터부를 포함하되;A monitor unit for outputting a test result value;
    상기 제1 및 제2프루브카드는 상기 프루브이동수단에 의한 상기 프루브유니트의 위치 이동에 대해 독립적으로 승강가능한 것을 특징으로 하는 평면디스플레이 검사장치.And the first and second probe cards are independently liftable with respect to the positional movement of the probe unit by the probe moving means.
  2. 제1항에 있어서,The method of claim 1,
    상기 스테이지는 상기 검사테이블의 상면 수평방향에 대해 소정 각도 요동가능하게 마련되는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이 검사장치.And said stage is provided to be able to swing at an angle with respect to the horizontal direction of the upper surface of said inspection table.
  3. 제1항에 있어서,The method of claim 1,
    상기 검사테이블의 하부 네 모서리 영역에 마련되어 상기 검사테이블을 지지하는 한편 상기 검사테이블의 수평상태를 조절하는 복수의 수평조절자를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이 검사장치.And a plurality of horizontal adjusters provided at four lower corners of the test table to support the test table and to adjust a horizontal state of the test table.
  4. 제3항에 있어서,The method of claim 3,
    상기 검사테이블에 마련되어 상기 검사테이블에 발생가능한 진동을 제거하는 제진수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이 검사장치.And a vibration damping means provided in the inspection table to remove vibrations that may occur in the inspection table.
  5. 제1항에 있어서,The method of claim 1,
    상기 프루브유니트는 상기 스테이지에 대해 적어도 사각구도 배치되도록 복수개로 마련되고 상호 상대적으로 이동가능하되;The probe unit is provided in plurality and at least relatively movable to each other so that at least a square sphere with respect to the stage is arranged;
    상기 프루브유니트를 위치이동시키는 상기 프루브이동수단은,The probe moving means for moving the probe unit,
    상기 스테이지 상으로 로딩되는 상기 LCD의 로딩방향에 대해 나란하게 상기 프루브유니트를 이동시키는 X축이동부와;An X-axis moving unit which moves the probe unit in parallel with the loading direction of the LCD loaded onto the stage;
    상기 X축이동부에 대해 가로방향을 따라 상기 프루브유니트를 이동시키는 Y축이동부와;A Y-axis moving unit for moving the probe unit along the transverse direction with respect to the X-axis moving unit;
    상기 프루브유니트에 마련되어 상기 Y축이동부 상에서 상기 프루브팁을 승강시키는 Z축이동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이 검사장치.And a Z-axis moving unit provided in the probe unit to move the probe tip on the Y-axis moving unit.
  6. 제5항에 있어서,The method of claim 5,
    상기 X축이동부는,The X-axis moving unit,
    상기 스테이지에 로딩되는 상기 LCD의 로딩방향에 대해 가로방향을 따라 상호 이격배치되고 상기 검사테이블의 상면으로부터 기립되게 마련되는 제1 및 제2 X축지지대와;First and second X-axis supports spaced apart from each other along a horizontal direction with respect to the loading direction of the LCD loaded on the stage and provided to stand up from an upper surface of the inspection table;
    상기 제1 및 제2 X축지지대의 상단에 마련되는 제1 및 제2 X축레일부와;First and second X-axis rail parts provided on upper ends of the first and second X-axis supports;
    상기 제1 및 제2 X축레일부에 상호 도브테일 형상으로 슬라이딩 이동가능하게 마련되는 적어도 한 쌍의 X축레일블럭과;At least one pair of X-axis rail blocks provided in the first and second X-axis rail portions to be slidably moved in a mutual dovetail shape;
    상기 X축레일블럭을 상기 제1 및 제2 X축레일부 상에서 슬라이딩 이동시키는 X축구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이 검사장치.And a X-axis driving unit for slidingly moving the X-axis rail block on the first and second X-axis rail portions.
  7. 제6항에 있어서,The method of claim 6,
    상기 X축레일블럭은 상기 스테이지를 중심으로 사각구도 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이 검사장치.The X-axis rail block is a flat display inspection device, characterized in that the rectangular sphere is also arranged around the stage.
  8. 제7항에 있어서,The method of claim 7, wherein
    상기 Y축이동부는,The Y-axis moving unit,
    상호 대응되는 상기 한 쌍의 X축레일블럭을 상호 연결하는 제1 및 제2 Y축지지대와;First and second Y-axis supports interconnecting the pair of X-axis rail blocks corresponding to each other;
    상기 제1 및 제2 Y축지지대에 마련되는 제1 및 제2 Y축레일부와;First and second Y-axis rail parts provided on the first and second Y-axis supports;
    일단은 상기 제1 및 제2 Y축레일부에 슬라이딩 이동가능하게 결합되고 타단은 상기 프루브유니트에 결합되는 Y축레일블럭과;A Y-axis rail block, one end of which is slidably coupled to the first and second Y-axis rails and the other end of which is coupled to the probe unit;
    상기 Y축레일블럭을 상기 제1 및 제2 Y축레일부 상에서 슬라이딩 이동시키는 Y축구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이 검사장치.And a Y-axis driving unit configured to slide the Y-axis rail block on the first and second Y-axis rails.
  9. 제8항에 있어서,The method of claim 8,
    상기 Y축레일블럭은 상기 제1 및 제2 Y축레일부에 각각 한 쌍씩 마련되는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이 검사장치.And a pair of the Y-axis rail blocks are provided in pairs of the first and second Y-axis rails, respectively.
  10. 제9항에 있어서,The method of claim 9,
    상기 Z축이동부는,The Z-axis moving unit,
    상기 Y축레일블럭에 결합되는 고정유니트와;A fixed unit coupled to the Y-axis rail block;
    상기 고정유니트에 대해 승강가능하게 결합되는 가동유니트와;A movable unit coupled to the fixed unit in a liftable manner;
    상기 가동유니트를 상기 고정유니트에 대해 승강시키는 Z축구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이 검사장치.And a Z-axis driving unit for elevating the movable unit with respect to the fixed unit.
  11. 제10항에 있어서,The method of claim 10,
    상기 가동유니트에는 상기 모니터부로 상기 LCD를 촬상하는 적어도 하나의 카메라가 장착되어 있는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이 검사장치.And said at least one camera is mounted to said movable unit for imaging said LCD by said monitor unit.
  12. 제10항에 있어서,The method of claim 10,
    상기 가동유니트와 상기 카메라 사이에 개재되어 상기 카메라를 상기 가동유니트의 승강방향에 가로방향으로 위치이동시키는 카메라이동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이 검사장치.And a camera moving part interposed between the movable unit and the camera to move the camera in a horizontal direction in a lifting direction of the movable unit.
  13. 제1항에 있어서,The method of claim 1,
    상기 제1 및 제2프루브카드는 상기 가동유니트의 하단에 착탈가능하게 결합되어 있는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이 검사장치.And the first and second probe cards are detachably coupled to a lower end of the movable unit.
  14. 제1항에 있어서,The method of claim 1,
    상기 제1 및 제2프루브팁은 그 단부가 상기 LCD를 향해 절곡되고 상호 교호되게 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이 검사장치.And the first and second probe tips are bent toward the LCD and are alternately arranged.
  15. 제1항에 있어서,The method of claim 1,
    상기 제1 및 제2프루브카드는 상기 프루브유니트에 부속되어 있는 제1 및 제2프루브승강부에 의해 상호 독립적으로 승강가능한 것을 특징으로 하는 평면디스플레이 검사장치.And the first and second probe cards are independently liftable by the first and second probe lifters attached to the probe unit.
  16. 제1항 내지 제15항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 15,
    상기 스테이지, 상기 프루브유니트, 상기 프루브이동수단 및 상기 카메라를 제어하는 컨트롤부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이 검사장치.And a control unit for controlling the stage, the probe unit, the probe moving means, and the camera.
  17. 제1항에 있어서,The method of claim 1,
    상기 검사테이블의 외측을 커버링하여 장치의 외관을 형성하는 캐비넷을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 평면디스플레이 검사장치.And a cabinet covering the outside of the inspection table to form an exterior of the apparatus.
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