KR20100083087A - Probe unit for inspecting display panel - Google Patents

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KR20100083087A
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Abstract

PURPOSE: A probe unit for display panel inspection which facilitates the exchange and repair of probes is provided to improve the simplicity, speediness and efficiency of work. CONSTITUTION: A first assembly(200) is installed in a main body and has a first probe. The first probes are touched with the electrode pads of the display panel. An electric signal is transferred. A second assembly(300) has second probes. The second probes are detachably installed in the main body in order not to put one upon another with second probe first probes. A pattern glass(400) is connected to a drive sheet equipped with a TAB IC(Tape Automated Bonding Integrated Circuit) and have a pattern terminal.

Description

디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛{Probe unit for inspecting display panel}Probe unit for inspecting display panel

본 발명은 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛에 관한 것이다.The present invention relates to a probe unit for display panel inspection.

일반적으로 TFT-LCD(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display)는 평판디스플레이의 일종으로써, 다수의 박막트랜지스터(TFT)와 화소전극이 배열되어 소정의 크기를 갖는 하판과, 색상을 나타내기 위한 컬러 필터 및 공통전극이 순차적으로 형성되어 하판과 소정 이격되어 있는 상판과, 상기 상판과 하판 사이의 이격공간에 채워져 있는 액정을 가지고 있다.In general, TFT-LCD (Thin Film Transistor Liquid Crystal Display) is a kind of flat panel display. A plurality of thin film transistors (TFTs) and pixel electrodes are arranged to have a lower plate having a predetermined size, a color filter for displaying color, and a common The electrodes are sequentially formed to have a top plate spaced apart from the bottom plate by a predetermined distance, and a liquid crystal filled in a space between the top plate and the bottom plate.

이와 같은 TFT-LCD는 스위칭소자인 TFT와 상.하판 전극 사이에 있는 액정으로 인해 형성되는 충전영역(Capacitor region) 및 보조충전영역과 상기 TFT의 온-오프를 구동하는 게이트 구동전극과 외부의 영상신호를 인가하는 영상신호전극 등에 의해서 소정의 화면을 점등시키게 된다.Such a TFT-LCD includes a capacitor region and an auxiliary charge region formed by a liquid crystal between a TFT, which is a switching element, and an upper / lower electrode, and a gate driving electrode for driving on / off of the TFT and an external image. The predetermined screen is turned on by an image signal electrode or the like to which a signal is applied.

그리고, 이와 같은 TFT-LCD 등의 평판표시소자는 제조를 완료한 후, 평판표시소자의 패드전극에 프로브 장치의 검사팁을 접촉하여 전기신호를 인가함으로써 평판표시소자의 정상 유무를 확인하여 불량 표시소자를 조기에 제거하는 테스트 공 정을 진행하고 있다.After the manufacturing of such a flat panel display device such as TFT-LCD is completed, the test tip of the probe device is applied to the pad electrode of the flat panel display device to apply an electrical signal to check whether the flat panel display device is normal or not. Test procedures are underway to remove the device prematurely.

본 발명의 목적은 조립 및 분해가 가능한 개별 분리 구조에 의해 유닛 전체를 모두 해체하지 않고서도 프로브의 교체 및 수리가 용이한 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛을 제공하는데 있다.It is an object of the present invention to provide a probe unit for inspecting a display panel that is easy to replace and repair a probe without disassembling the entire unit by an individual separation structure that can be assembled and disassembled.

또한, 본 발명의 목적은 프로브가 디스플레이 패널의 패드전극과 접촉시 오버드라이브(O/D;over drive)로 인한 스크라이빙을 최소화하고, 디스플레이 패널의 패드전극 손상을 최소화할 수 있는 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛을 제공하는데 있다. In addition, an object of the present invention is to inspect the display panel to minimize scribing due to the overdrive (O / D;) when the probe contacts the pad electrode of the display panel, and to minimize the pad electrode damage of the display panel To provide a probe unit for.

또한, 본 발명의 목적은 패턴글라스와 프로브의 접촉 압력을 조절하여 컨텍 안정성을 확보할 수 있는 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛을 제공하는데 있다.In addition, an object of the present invention is to provide a probe unit for inspecting a display panel that can ensure the contact stability by adjusting the contact pressure between the patterned glass and the probe.

또한, 본 발명의 목적은 패턴글라스의 프로브의 접촉 상태를 육안으로 확인할 수 있는 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛을 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to provide a probe unit for inspecting a display panel that can visually confirm the contact state of the probe of the patterned glass.

또한, 본 발명의 목적은 프로브들이 정해진 위치에 자동 정렬될 수 있는 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛을 제공하는데 있다.It is also an object of the present invention to provide a probe unit for inspecting a display panel in which the probes can be automatically aligned in a predetermined position.

또한, 본 발명의 목적은 프로브들 간의 극미세 피치를 구현할 수 있는 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛을 제공하는데 있다.It is also an object of the present invention to provide a probe unit for inspecting a display panel that can implement an ultra fine pitch between probes.

본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The object of the present invention is not limited thereto, and other objects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기한 과제를 달성하기 위한 본 발명의 프로브 유닛은 메인 바디; 상기 메인 바디에 설치되고, 디스플레이 패널의 전극패드들에 접촉되어 전기적 신호를 전달하는 제1프로브들을 갖는 제1조립체; 제2프로브들을 갖고, 상기 제2프로브들이 상기 제1프로브들과 겹쳐지지 않도록 상기 메인바디에 착탈 가능하게 설치되는 제2조립체; 및 탭IC(Tape Automated Bonding Integrated Circuit)를 구비한 구동시트와 연결되고 상기 제1,2프로브들이 접속되는 패턴단자(접속패드)들을 갖는 패턴글라스를 포함한다.Probe unit of the present invention for achieving the above object is a main body; A first assembly installed on the main body and having first probes contacting electrode pads of a display panel to transmit an electrical signal; A second assembly having second probes and detachably installed on the main body such that the second probes do not overlap with the first probes; And a patterned glass having pattern terminals (connection pads) connected to a driving sheet having a tape automated bonding integrated circuit (TAP) and connected to the first and second probes.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제1조립체는 상기 제1프로브들의 선단과 후단이 위치되는 슬롯들을 갖는 제1,2지지블록; 상기 제1지지블록과 상기 제1프로브들 사이 그리고 상기 제2지지블록과 상기 제1프로브들 사이에 끼워져서 상기 제1프로브들이 상기 제1,2지지블록으로부터 이탈되는 것을 방지하는 제1위치고정바들; 및 상기 제1,2지지블록에 의해 일정간격으로 배열된 상기 제1프로브들에 형성된 관통공에 삽입되는 제1위치정렬바를 포함한다.According to an embodiment of the present invention, the first assembly includes: first and second support blocks having slots in which front and rear ends of the first probes are positioned; A first position lock interposed between the first support block and the first probes and between the second support block and the first probes to prevent the first probes from being separated from the first and second support blocks Bars; And a first position alignment bar inserted into the through hole formed in the first probes arranged at a predetermined interval by the first and second support blocks.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제1프로브는 블레이드 형상의 중앙 몸체; 상기 제1지지블록의 슬롯에 끼워지도록 상기 중앙 몸체의 일측으로부터 경사지게 연장되고, 디스플레이 패널의 전극패드와 접촉되는 제1팁을 갖는 제1경사진 텐션암; 및 상기 제2지지블록의 슬롯에 끼워지도록 상기 중앙 몸체의 타측으로부터 경사지게 연장되고, 상기 패턴 글라스의 패턴단자(접속패드)와 접촉되는 제2팁을 갖 는 제2경사진 텐션암을 포함한다.According to an embodiment of the present invention, the first probe has a blade-shaped central body; A first inclined tension arm extending obliquely from one side of the central body to be inserted into the slot of the first support block, the first inclined tension arm having a first tip contacting the electrode pad of the display panel; And a second inclined tension arm extending obliquely from the other side of the central body to be inserted into the slot of the second support block and having a second tip contacting the pattern terminal (connection pad) of the patterned glass.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제1경사진 텐션암은 디스플레이 패널의 전극패드와 접촉시 오버드라이브(O/D;over drive)로 인한 스크라이빙 방지를 위한 굴곡진 텐션부를 더 포함한다.According to an embodiment of the present invention, the first inclined tension arm further includes a curved tension portion for preventing scribing due to an overdrive (O / D) when contacting the electrode pad of the display panel.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제2조립체는 상기 제2프로브들의 선단과 후단이 위치되는 슬롯들을 갖는 제3,4지지블록; 상기 제3지지블록과 상기 제2프로브들 사이에 끼워져서 상기 제2프로브들이 상기 제3,4지지블록으로부터 이탈되는 것을 방지하는 제2위치고정바; 상기 제3,4지지블록이 고정되는 그리고 상기 메인 바디의 양측면에 볼트 체결로 고정되는 한쌍의 사이드 커버; 및 상기 제3,4지지블록에 의해 일정간격으로 배열된 상기 제2프로브들에 형성된 관통공에 삽입되는 제2위치정렬바를 포함한다.According to an embodiment of the present invention, the second assembly includes: third and fourth support blocks having slots in which front and rear ends of the second probes are positioned; A second position fixing bar inserted between the third support block and the second probes to prevent the second probes from being separated from the third and fourth support blocks; A pair of side covers to which the third and fourth support blocks are fixed and bolted to both sides of the main body; And a second position alignment bar inserted into the through hole formed in the second probes arranged at a predetermined interval by the third and fourth support blocks.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제2프로브는 블레이드 형상의 중앙 몸체; 상기 제3지지블록의 슬롯에 끼워지도록 상기 중앙 몸체의 일측으로부터 수평한 방향으로 연장되고, 디스플레이 패널의 전극패드와 접촉되는 제1팁을 갖는 제1수평한텐션암; 및 상기 제4지지블록의 슬롯에 끼워지도록 상기 중앙 몸체의 타측으로부터 수평한 방향으로 연장되고, 상기 패턴 글라스의 패턴단자(접속패드)와 접촉되는 제2팁을 갖는 제2수평한 텐션암을 포함한다.According to an embodiment of the present invention, the second probe has a blade-shaped central body; A first horizontal tension arm extending in a horizontal direction from one side of the central body to be inserted into the slot of the third support block, the first horizontal tension arm having a first tip contacting the electrode pad of the display panel; And a second horizontal tension arm extending in a horizontal direction from the other side of the central body to be inserted into the slot of the fourth support block, and having a second tip contacting the pattern terminal (connection pad) of the patterned glass. do.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제1,2수평한 텐션암은 디스플레이 패널의 전극패드에 대해 수평하다.According to an embodiment of the present invention, the first and second horizontal tension arms are horizontal with respect to the electrode pads of the display panel.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제1조립체의 제1프로브핀들과 상기 제2조 립체의 제2프로브핀들은 전후 2열로 교호되게 배치된다.According to an embodiment of the present invention, the first probe pins of the first assembly and the second probe pins of the second assembly are alternately arranged in two rows before and after.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 프로브 유닛은 상기 메인 바디에 장착되되; 상기 패턴글라스의 패턴단자들이 상기 제1,2프로브들과 접촉되도록 상기 패턴글라스를 가압하는 패턴글라스 커버를 더 포함한다.According to an embodiment of the invention, the probe unit is mounted to the main body; The pattern glass cover further includes a pattern glass cover for pressing the pattern glass so that the pattern terminals of the pattern glass are in contact with the first and second probes.

상기 패턴글라스 커버는 상기 패턴글라스의 패턴단자들과 상기 제1,2프로브들간의 접촉상태를 육안으로 확인할 수 있는 투시창 및 상기 패턴글라스의 패턴단자들과 상기 제1,2프로브들 간의 접촉 압력을 조절할 수 있는 가압볼트들을 더 포함한다.The pattern glass cover may be provided with a viewing window for visually confirming a contact state between the pattern terminals of the pattern glass and the first and second probes and the contact pressure between the pattern terminals of the pattern glass and the first and second probes. It further includes adjustable pressure bolts.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 프로브 유닛은 상기 제2위치정렬바의 양단에 위치되도록 상기 메인 바디에 체결되고, 상기 제2프로브들의 자동 정렬을 위해 상기 제2위치정렬바를 정위치 방향으로 밀어 이동시키는 경사진 누름면을 갖는 푸시블록을 더 포함한다.According to an embodiment of the present invention, the probe unit is fastened to the main body so as to be positioned at both ends of the second alignment bar, and pushes the second alignment bar in the correct position to automatically align the second probes. It further includes a pushblock having an inclined push surface to move.

본 발명에 의하면, 메인 바디에 2단으로 구비된 제1조립체와 제2조립체를 서로 개별 분리할 수 있기 때문에 유닛 전체를 모두 해체하지 않고서도 프로브의 교체 및 수리가 용이하게 이루어질 수 있어 작업의 간편성 및 신속성은 물론 작업의 효율성 증대에 따른 생산성 향상을 기할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, since the first assembly and the second assembly, which are provided in two stages in the main body, can be separated from each other, the probe can be easily replaced and repaired without disassembling the entire unit. And it is possible to improve productivity by increasing the efficiency of the work as well as speed.

또한, 본 발명에 의하면 위치정렬바 및 푸시 블록에 의해서 제1조립체의 제1프로브들과 제2조립체의 제2프로브들이 자동으로 정렬될 수 있도록 함으로써 이 또한 작업의 간편성 및 신속성 확보는 물론 생산성 향상을 기할 수 있는 효과가 있 다. Further, according to the present invention, the first probes of the first assembly and the second probes of the second assembly can be automatically aligned by the alignment bar and the push block. It can be effective.

또한, 본 발명에 의하면 디스플레이 패널의 전극패드들에 제1프로브의 제1팁이 접촉될 때 그 접촉압력을 굴곡진 텐션부가 흡수함으로써 점차 길이가 작아지고 박막전도층으로 형성되는 전극패드에 스크래치가 발생하지 않게 됨은 물론 전극패드를 벗어나지 않게 되어 접촉 불량을 최소화하여 안정된 접속력을 유지할 수 있고, 검사의 신뢰성을 높일 수 있다.In addition, according to the present invention, when the first tip of the first probe contacts the electrode pads of the display panel, the curved pressure portion absorbs the contact pressure, thereby gradually reducing the length of the scratches on the electrode pad formed of the thin film conductive layer. Of course, it does not occur, of course, does not leave the electrode pad, thereby minimizing contact failure, thereby maintaining a stable connection force, and increasing the reliability of inspection.

또한, 본 발명에 의하면 제1프로브들과 제2프로브들이 전.후 2열로 교호 배치함으로써 정해진 범위내에서 점차 간격, 즉 피치가 작아지고 있는 피검사소자의 검사단자에 대응할 수 있게 되고, 이로 인하여 제품을 한층 업그레이드시킬 수 있는 효과를 갖게 된다.In addition, according to the present invention, the first probes and the second probes are alternately arranged in two rows before and after, so that the inspection terminals of the device under inspection gradually decrease in pitch, that is, the pitch, within a predetermined range. This will have the effect of further upgrading the product.

또한, 본 발명에 의하면 패턴글라스 커버에 투시창이 형성됨에 따라 패턴글라스의 패턴단자들과 제1,2프로브들간의 접촉상태를 육안으로 식별이 가능해 불량 검출의 신속성 및 간편성을 확보할 수 있는 이점도 있다.In addition, according to the present invention, as the see-through window is formed on the patterned glass cover, the contact state between the pattern terminals of the patterned glass and the first and second probes can be visually identified, thereby ensuring the rapidity and simplicity of defect detection. .

또한, 본 발명에 의하면 패턴 글라스에 대한 제1,2프로브들의 접촉 상태가 불안정할 때 패턴글라스 커버에 설치된 가압볼트의 조절을 통해 보다 신속하면서도 간편하게 컨텍의 안전성을 확보할 수 있는 이점도 갖게 된다. In addition, according to the present invention, when the contact state of the first and second probes to the pattern glass is unstable, there is also an advantage that the safety of the contact can be secured more quickly and simply by adjusting the pressure bolt installed on the pattern glass cover.

이하 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 프로브 유닛을 상세히 설명하기로 한다. 우선 각 도면의 구성 요소들에 참조 부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가 능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, a probe unit according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. First of all, in adding reference numerals to the components of each drawing, it should be noted that the same reference numerals have the same reference numerals as much as possible even if displayed on different drawings. In the following description of the present invention, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear.

( 실시 예 )(Example)

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 프로브 유닛이 설치된 프로브 어셈블리를 보여주는 도면이다.1 is a view showing a probe assembly provided with a probe unit according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 프로브 어셈블리(1)는 프로브 유닛(10)과, 프로브 유닛(10)을 지지하는 매니퓰레이터(20,manipulator)를 포함한다. 메니퓰레이터(20)는 베이스 플레이트(미도시됨)에 고정 배치되는 아암(22)과, 아암(22)의 선단에 고정볼트에 의해 서로 체결되는 헤드(24), 헤드(24)의 저면에 착탈 가능하게 설치되고 프로브 유닛(10)이 설치되는 고정 플레이트(26) 그리고 헤드(24)와 아암(22) 사이에 설치되는 리니어 가이드(28)를 포함한다.Referring to FIG. 1, the probe assembly 1 includes a probe unit 10 and a manipulator 20 supporting the probe unit 10. The manipulator 20 has an arm 22 fixed to a base plate (not shown), and a head 24 and a bottom surface of the head 24 fastened to each other by a fixing bolt at the tip of the arm 22. A fixing plate 26 detachably installed and a probe plate 10 installed thereon, and a linear guide 28 installed between the head 24 and the arm 22.

도 2 및 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 프로브 유닛의 사시도 및 분해 사시도이다. 도 4는 도 2에 도시된 프로브 유닛의 단면도이다. 2 and 3 are a perspective view and an exploded perspective view of a probe unit according to an embodiment of the present invention. 4 is a cross-sectional view of the probe unit shown in FIG. 2.

도 2 내지 도 4를 참조하면, 프로브 유닛(10)은 크게 메인바디(100), 제1조립체(200), 제2조립체(300), 패턴글라스(400), 패턴글라스 커버(500), 푸시블록(600)를 포함한다. 2 to 4, the probe unit 10 includes a main body 100, a first assembly 200, a second assembly 300, a pattern glass 400, a pattern glass cover 500, and a push. Block 600.

(메인 바디)(Main body)

메인 바디(100)는 볼트에 의해 매니퓰레이터에 고정 설치된다. 메인 바디(100)의 저면은 오목한 공간부를 제공하는 제1저면(102)과, 평평한 제2저면(104) 으로 구분될 수 있는데, 제1저면(102)에는 제1조립체(200)와 제2조립체(300)가 설치되고, 제2저면(104)에는 패턴 글라스(400)가 위치된다. 제2저면(104)에는 패턴 글라스(400)를 안정적으로 받쳐주는 고무패드(106)가 제공된다. 제1조립체와 제2조립체는 메인 바디의 하부에 2단 구조로 위치된다.The main body 100 is fixed to the manipulator by bolts. The bottom surface of the main body 100 may be divided into a first bottom surface 102 that provides a concave space and a second flat bottom surface 104. The first bottom surface 102 may include a first assembly 200 and a second body. The assembly 300 is installed, and the pattern glass 400 is positioned on the second bottom surface 104. The second bottom 104 is provided with a rubber pad 106 to stably support the patterned glass 400. The first assembly and the second assembly are located in a two-stage structure at the bottom of the main body.

그리고, 메인 바디(100)는 사이드 커버(380)와 푸시 블록(600)이 조립에 의해 외부로 돌출되지 않도록 푸시 블록이 체결되는 블록 장착홈(110)과, 사이드 커버가 체결되는 사이드 장착면(120)이 단턱지게 형성된다. 그리고 메인 바디(100)에는 가압 볼트(520)가 삽입되는 관통공(109)이 형성된다. 참고로, 가압볼트(520)는 메인 바디(100)의 관통공(109)을 통해 삽입되어 패턴 글라스 커버(500)의 나사홀(502)에 체결된다. In addition, the main body 100 has a block mounting groove 110 to which the push block is fastened so that the side cover 380 and the push block 600 do not protrude to the outside by assembly, and a side mounting surface to which the side cover is fastened ( 120 is formed stepwise. In addition, a through hole 109 into which the pressure bolt 520 is inserted is formed in the main body 100. For reference, the pressure bolt 520 is inserted through the through hole 109 of the main body 100 and fastened to the screw hole 502 of the pattern glass cover 500.

(제1조립체)(First assembly)

도 5A는 제1조립체의 사시도이고, 도 5B 및 도 5C는 제1프로브와 제1,2지지블록의 결합 전 상태와 결합후 상태를 보여주는 단면도이다. 5A is a perspective view of the first assembly, and FIGS. 5B and 5C are cross-sectional views illustrating states before and after coupling of the first probe and the first and second support blocks.

제1조립체(200)는 제1프로브(210)들과 제1,2지지블록(230,240), 제1위치고정바들(250) 그리고 제1위치정렬바(260)를 포함한다. The first assembly 200 includes first probes 210, first and second support blocks 230 and 240, first position fixing bars 250, and a first position alignment bar 260.

제1조립체(200)의 구조적인 특징을 좀 더 자세히 살펴보면, 제1프로브(210)는 얇은 전도성 금속판으로 이루어지는 블레이드 타입으로 이루어진다. 제1프로브(210)는 제1지지블록(230)과 제2지지블록(240) 사이에 위치되는 중앙 몸체(212)와, 제1경사진 텐션암(214) 그리고 제2경사진 텐션암(216)을 포함한다. 중앙 몸 체(212)는 제1위치정렬바(260)가 끼워지는 관통공(213)을 갖는다. Looking at the structural features of the first assembly 200 in more detail, the first probe 210 is made of a blade type made of a thin conductive metal plate. The first probe 210 has a central body 212 positioned between the first support block 230 and the second support block 240, a first inclined tension arm 214 and a second inclined tension arm ( 216). The central body 212 has a through hole 213 into which the first alignment bar 260 is fitted.

제1경사진 텐션암(214)은 중앙 몸체(212)의 일측으로부터 경사지게 연장되며 제1지지블록(230)의 슬롯(232)에 끼워진다. 제1경사진 텐션암(214)의 끝단에는 제1팁(215)이 형성되는데, 이 제1팁(215)은 제1지지블록(230)의 슬롯(232)으로부터 노출되도록 제1경사진 텐션암(214)의 끝단으로부터 하향 절곡된 구조를 갖는다. 제1팁(215)은 피검사체인 디스플레이 패널(S)의 전극패드(P1)(짝수열 전극패드들과 홀수열 전극패드들 중 어느 한 열의 전극패드)에 접촉되는 부분이다(도 7A 및 도 8 참조).The first inclined tension arm 214 extends obliquely from one side of the central body 212 and is fitted into the slot 232 of the first support block 230. A first tip 215 is formed at an end of the first inclined tension arm 214, and the first tip 215 is first inclined tension to be exposed from the slot 232 of the first support block 230. It has a structure bent downward from the end of the arm (214). The first tip 215 is a portion in contact with the electrode pad P1 (the electrode pad of any row of even-numbered electrode pads and odd-numbered electrode pads) of the display panel S, which is the object to be inspected (FIGS. 7A and FIG. 8).

특히, 제1경사진 텐션암(214)은 중간 지점에 "U"자 형상으로 굴곡진 텐션부(218)를 갖는다. 이 굴곡진 텐션부(218)는 디스플레이 패널(S)의 전극패드(P1)와 접촉시 오버드라이브(O/D;over drive)로 인한 스크라이빙 방지를 위한 것이다. 제1경사진 텐션암(214)에 형성된 굴곡진 텐션부(218)로 인해 제1팁(215)은 디스플레이 패널의 전극패드(P1)와 탄력적으로 접촉된다. In particular, the first inclined tension arm 214 has a tension portion 218 bent in a "U" shape at the intermediate point. The curved tension portion 218 is for preventing scribing due to an overdrive (O / D) when contacting the electrode pad P1 of the display panel S. The first tip 215 is in elastic contact with the electrode pad P1 of the display panel due to the curved tension portion 218 formed in the first inclined tension arm 214.

제2경사진 텐션암(216)은 중앙 몸체(212)의 타측으로부터 경사지게 연장되며 제2지지블록(240)의 슬롯(242)에 끼워진다. 제2경사진 텐션암(216)의 끝단에는 제2팁(217)이 형성되는데, 제2팁(217)은 제2지지블록(240)의 슬롯(242)으로부터 노출되도록 제2경사진 텐션암(216)의 끝단으로부터 하향 절곡된 구조를 갖는다. 제2팁(217)은 전기적 신호를 전달하기 위해 형성된 패턴 글라스(400)의 패턴단자(402)에 접촉되는 부분이다. The second inclined tension arm 216 extends obliquely from the other side of the central body 212 and is fitted into the slot 242 of the second support block 240. A second tip 217 is formed at an end of the second inclined tension arm 216, and the second tip 217 is exposed from the slot 242 of the second support block 240 to the second inclined tension arm. It has a structure bent downward from the end of (216). The second tip 217 is in contact with the pattern terminal 402 of the pattern glass 400 formed to transmit an electrical signal.

제1지지블록(230)은 세라믹 재질의 소정길이를 갖는 블록으로, 제1프로 브(210)의 제1경사진 텐션암(214)이 끼워질 수 있도록 일정간격으로 형성된 경사진 슬롯(232)들을 갖는다. 제2지지블록(240) 역시 제1지지블록(230)과 동일한 세라믹 재질의 블록으로, 제1프로브(210)의 제2경사진 텐션암(216)이 끼워질 수 있도록 일정간격으로 형성된 경사진 슬롯(242)들을 갖는다. 제1프로브(210)들은 제1지지블록(230)과 제2지지블록(240)에 의해 일정한 간격으로 정렬된다. 제1,2지지블록(230,240)은 메인 바디(100)의 저면에 에폭시 등과 같은 접착제로 본딩된다. The first support block 230 is a block having a predetermined length of a ceramic material, the inclined slot 232 formed at a predetermined interval so that the first inclined tension arm 214 of the first probe 210 can be fitted. Have them. The second support block 240 is also a block made of the same ceramic material as the first support block 230, and is inclined at regular intervals so that the second inclined tension arm 216 of the first probe 210 can be fitted thereto. With slots 242. The first probes 210 are aligned at regular intervals by the first support block 230 and the second support block 240. The first and second support blocks 230 and 240 are bonded to the bottom of the main body 100 with an adhesive such as epoxy.

제1위치고정바(250)는 직사각형의 단면을 갖는 세라믹 재질의 막대 형상으로 이루어진다. 제1위치고정바(250) 중 하나는 제1지지블록(230)과 제1프로브(210)들 사이에 끼워지고, 다른 하나는 제2지지블록(240)과 제1프로브(210)들 사이에 끼워져서 제1프로브(210)들이 제1,2지지블록(230,240)으로부터 이탈되는 것을 방지한다. The first position fixing bar 250 has a rod shape made of ceramic material having a rectangular cross section. One of the first position fixing bar 250 is sandwiched between the first support block 230 and the first probe 210, and the other is between the second support block 240 and the first probe 210. Is inserted into the first probe 210 to prevent the first and second support blocks 230 and 240 from being separated.

제1위치정렬바(260)는 원형의 단면을 갖는 세라믹 재질의 막대 형상으로 이루어진다. 제1위치정렬바(260)는 제1,2지지블록(230,240)에 의해 일정간격으로 배열된 제1프로브(210)들에 형성된 원형의 관통공(213)에 삽입되는 것으로, 제1프로브들의 위치를 정렬해준다.The first alignment bar 260 has a rod shape made of ceramic material having a circular cross section. The first position alignment bar 260 is inserted into the circular through hole 213 formed in the first probes 210 arranged at regular intervals by the first and second support blocks 230 and 240, and the first probes Align the position.

(제2조립체)(Second assembly)

도 6A는 제2조립체의 사시도이고, 도 6B 및 도 6C는 제2프로브와 제3,4지지블록의 결합 전 상태와 결합후 상태를 보여주는 단면도이다. 6A is a perspective view of the second assembly, and FIGS. 6B and 6C are cross-sectional views illustrating states before and after coupling of the second probe and the third and fourth support blocks.

도 6A 내지 도 6C를 참조하면, 제2조립체(300)는 제2프로브(310)들과 제3,4지지블록(330,340), 한 쌍의 사이드 커버(380), 제2위치고정바(350)들 그리고 제2 위치정렬바(360)를 포함한다. 6A to 6C, the second assembly 300 includes second probes 310, third and fourth support blocks 330 and 340, a pair of side covers 380, and a second position fixing bar 350. ) And a second alignment bar 360.

제2조립체(300)의 구조적인 특징을 좀 더 자세히 살펴보면, 제2프로브(310)는 제1프로브(210)와 마찬가지로 얇은 전도성 금속판으로 이루어지는 블레이드 타입으로 이루어진다. 제2프로브(310)는 제3지지블록(330)과 제4지지블록(340) 사이에 위치되는 중앙 몸체(312)와, 제1수평한 텐션암(314) 그리고 제2수평한 텐션암(316)을 포함한다. 중앙 몸체(312)는 제2위치정렬바(360)가 끼워지는 관통공(313)을 갖는다. Looking at the structural features of the second assembly 300 in more detail, the second probe 310 is made of a blade type made of a thin conductive metal plate like the first probe (210). The second probe 310 has a central body 312 positioned between the third support block 330 and the fourth support block 340, the first horizontal tension arm 314 and the second horizontal tension arm ( 316). The central body 312 has a through hole 313 into which the second alignment bar 360 is fitted.

제1수평한 텐션암(314)은 중앙 몸체(312)의 일측으로부터 수평한 방향으로 연장되며 제3지지블록(330)의 슬롯(332)에 끼워진다. 제1수평한 텐션암(314)의 끝단에는 제1팁(315)이 형성되는데, 이 제1팁(315)은 제3지지블록(330)의 슬롯(332)으로부터 노출되도록 제1수평한 텐션암(314)의 끝단으로부터 하향 절곡된 구조를 갖는다. 제1팁(315)은 피검사체인 디스플레이 패널(S)의 전극패드(P2)(짝수열 전극패드들과 홀수열 전극패드들 중 어느 한 열의 전극패드)에 접촉되는 부분이다(도 7A 및 도 8 참조).The first horizontal tension arm 314 extends in a horizontal direction from one side of the central body 312 and is fitted into the slot 332 of the third support block 330. A first tip 315 is formed at the end of the first horizontal tension arm 314, the first horizontal tip 315 being exposed from the slot 332 of the third support block 330. It has a structure bent downward from the end of the arm 314. The first tip 315 is a part in contact with the electrode pad P2 (the electrode pad of any row of even-numbered electrode pads and odd-numbered electrode pads) of the display panel S, which is the object to be inspected (FIGS. 7A and FIG. 8).

제2수평한 텐션암(316)은 중앙 몸체(312)의 타측으로부터 경사지게 연장되며 제4지지블록(340)의 슬롯(342)에 끼워진다. 제2수평한 텐션암(316)의 끝단에는 제2팁(317)이 형성되는데, 제2팁(317)은 제4지지블록(340)의 슬롯(342)으로부터 노출되도록 제2수평한 텐션암(316)의 끝단으로부터 하향 절곡된 구조를 갖는다. 제2팁(317)은 전기적 신호를 전달하기 위해 형성된 패턴 글라스(400)의 패턴단자(402)에 접촉되는 부분이다. The second horizontal tension arm 316 extends inclined from the other side of the central body 312 and is fitted into the slot 342 of the fourth support block 340. A second tip 317 is formed at an end of the second horizontal tension arm 316, and the second tip 317 is exposed from the slot 342 of the fourth support block 340. It has a structure bent downward from the end of 316. The second tip 317 is in contact with the pattern terminal 402 of the pattern glass 400 formed to transmit an electrical signal.

제3지지블록(330)은 세라믹 재질의 소정길이를 갖는 블록으로, 제2프로브(310)의 제1수평한 텐션암(314)이 끼워질 수 있도록 일정 간격으로 형성된 수평한 슬롯(332)들을 갖는다. 제4지지블록(340) 역시 제3지지블록(330)과 동일한 세라믹 재질의 블록으로, 제2프로브(310)의 제2수평한 텐션암(316)이 끼워질 수 있도록 일정간격으로 형성된 수평한 슬롯(342)들을 갖는다. 제2프로브(310)들은 제3,4지지블록(330,340)에 의해 일정한 간격으로 정렬된다. 제3,4지지블록(330,340)은 한쌍의 사이드 커버(380)에 에폭시 등과 같은 접착제로 본딩된다. The third support block 330 is a block having a predetermined length of ceramic material, and the horizontal slots 332 formed at regular intervals so that the first horizontal tension arm 314 of the second probe 310 can be fitted thereto. Have The fourth support block 340 is also a block made of the same ceramic material as the third support block 330, and is formed at a predetermined interval so that the second horizontal tension arm 316 of the second probe 310 can be fitted thereto. With slots 342. The second probes 310 are aligned at regular intervals by the third and fourth support blocks 330 and 340. The third and fourth support blocks 330 and 340 are bonded to the pair of side covers 380 with an adhesive such as epoxy.

사이드 커버(380)는 메인 바디(100)의 양측면에 형성된 사이드 장착면(120)에 볼트 체결된다. The side cover 380 is bolted to side mounting surfaces 120 formed on both side surfaces of the main body 100.

제2위치고정바(350)는 직사각형의 단면을 갖는 막대 형상으로 이루어진다. 제2위치고정바(350)는 제3지지블록(330)과 제2프로브(310)들 사이에 끼워져서 푸시블록(600)과 연동되어 제2프로브(310)들이 제3,4지지블록(330,340)으로부터 이탈되는 것을 방지한다. The second position fixing bar 350 has a rod shape having a rectangular cross section. The second position fixing bar 350 is interposed between the third support block 330 and the second probe 310 to interlock with the push block 600 so that the second probes 310 may be connected to the third and fourth support blocks. Prevent deviation from 330,340.

제2위치정렬바(360)는 원형의 단면을 갖는 막대 형상으로 이루어진다. 제2위치정렬바(360)는 제3,4지지블록(330,340)에 의해 일정간격으로 배열된 제2프로브(310)들에 형성된 원형의 관통공(313)에 삽입되는 것으로, 제2프로브(310)들의 위치를 정렬해준다.The second alignment bar 360 has a rod shape having a circular cross section. The second position alignment bar 360 is inserted into a circular through hole 313 formed in the second probes 310 arranged at regular intervals by the third and fourth support blocks 330 and 340, and the second probe ( 310 to align the position.

(패턴 글라스)(Pattern glass)

패턴 글라스(400)는 메인 바디(100)의 평평한 제2저면(104)에 위치된다. 패턴 글라스(400)는 소정의 두께를 갖는 투명한 글라스 재질의 플레이트로 이루어지 며, 일면에는 제1,2프로브(210,310)들이 접속되는 패턴단자(접속패드)(402)들이 형성된다. 패턴단자(402)들은 반도체 제조에 사용되는 금속 증착 공정(sputtering)을 이용하여 글라스의 일면에 미세하게 돌출되도록 형성하게 된다. 패턴 글라스(400)에는 검사하고자 하는 대상물인 디스플레이 패널에 부착되는 구동 IC와 동일한 탭IC(Tape Automated Bonding Integrated Circuit)(430)가 단자간 접속이 이루어지도록 본딩접합에 의해 연결되고 또한 탭IC(430)와 구동시트(420)가 본딩접하에 의해서 연결된다. 구동시트(420)는 플렉시블한 기판으로 되어 있다.The pattern glass 400 is positioned on the second flat bottom surface 104 of the main body 100. The pattern glass 400 is made of a transparent glass plate having a predetermined thickness, and pattern terminals (connection pads) 402 to which the first and second probes 210 and 310 are connected are formed on one surface thereof. The pattern terminals 402 are formed to be minutely protruded on one surface of the glass by using a metal deposition process (sputtering) used in the semiconductor manufacturing. The pattern glass 400 is connected to the tab IC (Tape Automated Bonding Integrated Circuit) 430, which is the same as the driving IC attached to the display panel to be inspected, by bonding bonding so as to connect terminals. ) And the driving seat 420 are connected by a bonding contact. The drive sheet 420 is a flexible substrate.

(패턴 글라스 커버)(Pattern glass cover)

패턴 글라스 커버(500)는 메인 바디(100)의 저면에 볼트 결합된다. 패턴 글라스 커버(500)는 패턴글라스(400)의 패턴단자(402)들이 제1,2프로브(210,310)들의 제2팁(217,317)들과 접촉되도록 패턴글라스(400)를 가압한다. 특히, 도 4에서와 보여주는 바와 같이 패턴글라스 커버(500)는 패턴글라스(400)의 패턴단자(402)들과 제1,2프로브들의 제2팁(217,317)들 간의 접촉상태를 육안으로 확인할 수 있는 투시창(510)과, 패턴글라스(40))의 패턴단자(402)들과 제1,2프로브들의 제2팁(217,317)들 간의 접촉 압력을 조절할 수 있는 가압볼트(520)들을 포함한다. 가압볼트(520)는 메인 바디(100)의 관통공(109)을 통해 패턴 글라스 커버(500)에 형성된 나사홀(502)에 체결된다. 가압볼트(520)를 조이면 패턴 글라스 커버(500)가 메인 바디(100)를 향해 당겨짐에 따라 패턴 글라스(400)과 제1,2프로브들의 제2팁(217,317) 간의 접촉 압력이 증가하게 된다. The pattern glass cover 500 is bolted to the bottom of the main body 100. The pattern glass cover 500 presses the pattern glass 400 such that the pattern terminals 402 of the pattern glass 400 contact the second tips 217 and 317 of the first and second probes 210 and 310. In particular, as shown in FIG. 4, the pattern glass cover 500 may visually check the contact state between the pattern terminals 402 of the pattern glass 400 and the second tips 217 and 317 of the first and second probes. And a pressurizing bolt 520 capable of adjusting a contact pressure between the viewing window 510 and the pattern terminals 402 of the pattern glass 40 and the second tips 217 and 317 of the first and second probes. The pressure bolt 520 is fastened to the screw hole 502 formed in the pattern glass cover 500 through the through hole 109 of the main body 100. When the pressure bolt 520 is tightened, the contact pressure between the pattern glass 400 and the second tips 217 and 317 of the first and second probes increases as the pattern glass cover 500 is pulled toward the main body 100.

(푸시 블록)(Push block)

한 쌍의 푸시 블록(600)은 제2위치정렬바(360)의 양단에 위치되도록 메인 바디(100)에 수직한 방향으로 볼트 체결된다. 예컨대, 푸시 블록(600)은 메인 바디(100)의 측방향으로 볼트 체결될 수도 있다. 도 9A 및 도 9B에는 푸시 블록에 의해 제2위치정렬바가 정렬된 상태를 보여준다. 푸시 블록(600)은 제2프로브(310)들의 자동 정렬 및 아래로 내려주는 것과 위로 뜨는 것을 방지하기 위해 제2위치정렬바(360)를 정위치 방향으로 밀어 이동시키는 경사진 누름면(610)을 갖는다. The pair of push blocks 600 are bolted in a direction perpendicular to the main body 100 to be located at both ends of the second position alignment bar 360. For example, the push block 600 may be bolted in the lateral direction of the main body 100. 9A and 9B show a state in which the second position alignment bar is aligned by the push block. Push block 600 is inclined pressing surface 610 for pushing the second position alignment bar 360 in the correct direction to prevent the automatic alignment and the down and falling of the second probe (310). Has

(제1프로브들과 제2프로브들의 배치구조)Arrangement structure of the first and second probes

도 7A 및 도 7B 그리고 도 8은 프로브들의 전후 2열로 교호되게 배치된 상태를 보여주는 도면들이다.7A, 7B and 8 are views showing a state in which the probes are alternately arranged in front and rear two columns.

도 7A 및 도 7B 그리고 도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명의 프로브 유닛(10)은 제1.2프로브(210,310)들이 전후 2열로 교호되게 배치됨으로써 프로브들 간의 극미세 피치를 구현할 수 있고, 특히 정해진 범위 내에서 점차 증가하고 있는 디스플레이 패널(S)의 전극패드(P1,P2)들, 검사 단자 피치(pitch)에 대응할 수 있는 각별한 효과를 갖는다.As shown in FIGS. 7A and 7B and 8, the probe unit 10 of the present invention may implement the ultra-fine pitch between the probes by arranging the 1.2 probes 210 and 310 alternately in front and rear rows. The electrode pads P1 and P2 of the display panel S which are gradually increasing within the range have a special effect that can correspond to the test terminal pitch.

다음은 상기한 바와 같이 구성된 본 발명의 실시예에 따른 프로브 유닛의 조립 및 분해 과정을 설명하면 다음과 같다. 프로브 유닛의 조립 및 분해는 유닛을 뒤집은 상태에서 이루어지게 된다. Next will be described the assembly and disassembly process of the probe unit according to an embodiment of the present invention configured as described above. Assembly and disassembly of the probe unit is performed while the unit is turned upside down.

(프로브 유닛의 조립 과정)(Assembling process of probe unit)

조립 과정은 제1조립체 조립-> 제2조립체 조립-> 푸시블록 조립-> 패턴 글라스 위치 고정-> 패턴 글라스 커버 조립 순으로 이루어진다.The assembly process consists of assembling the first assembly-> assembling the second assembly-> assembling the push block-> fixing the position of the pattern glass-> assembling the pattern glass cover.

먼저, 제1조립체(200)의 조립과정은 메인 바디(100)의 제1저면에 제1지지블록(230)과 제2지지블록(240)을 에폭시로 고정하고, 제1지지블록(230)과 제2지지블록(240)의 경사진 슬롯들에 제1프로브(210)들의 제1,2경사진 텐션암(214,216)을 삽입한다. 그리고 제1지지블록(230)과 제1프로브(210)들 사이와 제2지지블록(240)과 제1프로브(210)들 사이에 제1위치고정바(250)를 끼워서 제1프로브(210)들이 제1,2지지블록(230,240)으로부터 이탈되는 것을 방지하고, 제1프로브(210)들의 관통(213)공에 제1위치정렬바(260)를 삽입하여 제1조립체의 조립을 완료한다.First, in the assembling process of the first assembly 200, the first support block 230 and the second support block 240 are fixed with epoxy on the first bottom of the main body 100, and the first support block 230 The first and second inclined tension arms 214 and 216 of the first probes 210 are inserted into the inclined slots of the second support block 240. And the first probe 210 by inserting the first position fixing bar 250 between the first support block 230 and the first probe 210 and between the second support block 240 and the first probe 210. ) To prevent the first and second support blocks 230 and 240 from being separated, and inserting the first alignment bar 260 into the through 213 hole of the first probes 210 to complete the assembly of the first assembly. .

제2조립체(300)의 조립 과정은, 메인 바디(100)의 사이드 안착면에 사이드 커버(380)를 볼트 체결하고, 제3지지블록(330)과 제4지지블록(340)을 사이드 커버(380)에 에폭시로 고정한다. 그리고 제2프로브(310)들의 제1,2수평한 텐션암(314,316)을 제3지지블록(330)과 제4지지블록(340)의 슬롯(332,342)에 삽입한다. 그리고 제3지지블록(330)과 제2프로브(310)들 사이에 제2위치고정바(350)를 끼우고 제2프로브(310)들의 관통공(313)에 제2위치정렬바(360)를 삽입하여 메인바디(100)의 블록 장착홈에 푸시블록(600)을 볼트 체결하게 되는데, 이때 제2프로브(310)들을 관통하여 설치된 제2위치정렬바(360)의 양단부는 푸시블록(600)의 경사면(610)을 따라 넓은 상부측의 정해진 위치로 이동하면서 자동으로 정렬되고 제2조립체(300)의 조립을 완료한다. 이때, 제2위치정렬바(360)는 푸시 블록(600)에 의해 위치 정렬되도록 제1위치정렬바(260) 보다 길게 형성된 것이 특징이다. In the assembling process of the second assembly 300, the side cover 380 is bolted to the side seating surface of the main body 100, and the third support block 330 and the fourth support block 340 are attached to the side cover ( 380) with epoxy. The first and second horizontal tension arms 314 and 316 of the second probes 310 are inserted into the slots 332 and 342 of the third support block 330 and the fourth support block 340. The second position fixing bar 350 is inserted between the third support block 330 and the second probe 310 and the second position alignment bar 360 is inserted into the through hole 313 of the second probe 310. Insert the bolts to fasten the push block 600 to the block mounting groove of the main body 100, wherein both ends of the second position alignment bar 360 installed through the second probe 310 is push block 600 Along the inclined surface 610 of the) is moved to a predetermined position of the wide upper side is automatically aligned and completes the assembly of the second assembly 300. In this case, the second position alignment bar 360 may be formed longer than the first position alignment bar 260 to be aligned by the push block 600.

제1,2조립체(200,300)의 조립이 완료되면, 메인 바디(100)의 블록 장착홈에 푸시블록(600)을 볼트 체결하게 되는데, 이때 제2프로브(310)들을 관통하여 설치된 제2위치정렬바(360)의 양단부는 푸시블록(600)의 경사면(610)을 따라 넓은 상부측의 정해진 위치로 이동하면서 자동으로 정렬된다. When the assembly of the first and second assemblies 200 and 300 is completed, the push block 600 is bolted to the block mounting groove of the main body 100, wherein the second position alignment is installed through the second probes 310. Both ends of the bar 360 are automatically aligned while moving to a predetermined position on the wide upper side along the inclined surface 610 of the push block 600.

푸시 블록(600)의 조립이 완료되면, 패턴 글라스(400)를 메인 바디(100)의 제2저면에 올려놓고, 패턴 글라스 커버(500)를 체결볼트와 가압볼트(520)로 메인바디(100)의 저면에 고정 및 결합시킨다. 여기서, 패턴글라스(400)의 패턴단자(402)들과 제1,2프로브(210,310)들의 제2팁(215,315)들 간의 컨텍(contact)이 불안정할 경우에는 가압 볼트(520)를 조여서 해결할 수 있다. 이처럼, 가압볼트(520)의 조임 및 풀림에 의해 패턴글라스(400)의 패턴단자(402)들과 제1,2프로브들의 제2팁(215,315)들 간의 접촉 압력을 조절할 수 있다.When the assembly of the push block 600 is completed, the pattern glass 400 is placed on the second bottom of the main body 100, and the pattern glass cover 500 is fastened to the main body 100 using the fastening bolt and the pressure bolt 520. Fix and join to the bottom of). Here, when contact between the pattern terminals 402 of the pattern glass 400 and the second tips 215 and 315 of the first and second probes 210 and 310 is unstable, the pressing bolt 520 may be solved. have. As such, the contact pressure between the pattern terminals 402 of the pattern glass 400 and the second tips 215 and 315 of the first and second probes may be adjusted by tightening and loosening the pressure bolt 520.

(제1,2프로브의 유지 보수를 위한 분해 과정)(Disassembly process for maintenance of the first and second probes)

도 10A를 참조하면, 체결볼트와 가압볼트(520)를 풀어 패턴 글라스 커버(500)를 분리하면 제2프로브(310)들의 유지 보수를 위한 교체가 가능하다. Referring to FIG. 10A, when the fastening bolt and the pressure bolt 520 are released to separate the pattern glass cover 500, the replacement for maintenance of the second probes 310 may be performed.

도 10B에 도시된 바와 같이, 제1프로브(210)들의 유지 보수는 사이드 커버(380)를 고정하고 있는 볼트를 풀고 제2조립체(300)를 메인 바디(100)로부터 분리함으로써 가능하다. 이때, 제2프로브(310)들을 지지하고 있는 제3,4지지블록(330,340)이 사이드 커버(380)에 고정되어 있기 때문에 사이드 커버(380)를 메인 바디(100)로부터 분리하게 되면 제2조립체(300) 전체가 메인 바디(100)로부터 분리된다. 이렇게, 제2조립체(300)가 분리되면 제1프로브(210)들이 외부로 노출됨으로 써 손상된 제1프로브(210)의 유지 보수를 위한 교체 작업 등이 가능하다. As shown in FIG. 10B, maintenance of the first probes 210 is possible by loosening the bolts securing the side cover 380 and separating the second assembly 300 from the main body 100. In this case, since the third and fourth support blocks 330 and 340 supporting the second probes 310 are fixed to the side cover 380, when the side cover 380 is separated from the main body 100, the second assembly is installed. The whole 300 is separated from the main body 100. As such, when the second assembly 300 is separated, the first probes 210 may be exposed to the outside, and thus a replacement operation for the maintenance of the damaged first probes 210 may be performed.

이와 같이, 본 발명의 프로브 유닛(10)은 프로브들이 전후 2열로 교호되게 배치되고, 제1프로브(210)들과 제2프로브(310)들의 개별 분리가 가능함으로써 손상된 프로브의 교체 작업이 보다 용이하게 이루어질 수 있다. 또한, 제2조립체를 조립할 때 제2프로브들이 자동으로 정렬될 수 있어 조립의 간편성 및 신속성을 확보할 수 있다. As described above, the probe unit 10 of the present invention is arranged in alternating two front and rear rows of probes, and separate separation of the first probes 210 and the second probes 310 makes it easier to replace damaged probes. Can be done. In addition, when assembling the second assembly, the second probes may be automatically aligned, thereby ensuring ease and speed of assembly.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The foregoing description is merely illustrative of the technical idea of the present invention, and various changes and modifications may be made by those skilled in the art without departing from the essential characteristics of the present invention. Therefore, the embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the technical idea of the present invention but to describe the present invention, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments. The protection scope of the present invention should be interpreted by the following claims, and all technical ideas within the equivalent scope should be interpreted as being included in the scope of the present invention.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 프로브 유닛이 설치된 프로브 어셈블리를 보여주는 도면이다.1 is a view showing a probe assembly provided with a probe unit according to an embodiment of the present invention.

도 2 및 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 프로브 유닛의 사시도 및 분해 사시도이다. 2 and 3 are a perspective view and an exploded perspective view of a probe unit according to an embodiment of the present invention.

도 4는 도 2에 도시된 프로브 유닛의 단면도이다. 4 is a cross-sectional view of the probe unit shown in FIG. 2.

도 5A는 제1조립체의 사시도이다.5A is a perspective view of the first assembly.

도 5B 및 도 5C는 제1프로브와 제1,2지지블록의 결합 전 상태와 결합후 상태를 보여주는 단면도이다. 5B and 5C are cross-sectional views illustrating states before and after coupling of the first probe and the first and second support blocks.

도 6A는 제2조립체의 사시도이다.6A is a perspective view of a second assembly.

도 6B 및 도 6C는 제2프로브와 제3,4지지블록의 결합 전 상태와 결합후 상태를 보여주는 단면도이다. 6B and 6C are cross-sectional views illustrating states before and after coupling of the second probe and the third and fourth support blocks.

도 7a 및 도 7b 그리고 도 8은 프로브들의 전후 2열로 교호되게 배치된 상태를 보여주는 도면들이다.7A, 7B, and 8 are views showing a state in which the probes are alternately arranged in two columns before and after.

도 9A 및 도 9B는 푸시 블록에 의해 제2위치정렬바가 정렬된 상태를 보여주는 도면들이다. 9A and 9B are views illustrating a state in which the second alignment bar is aligned by a push block.

도 10A 및 도 10B는 제1,2프로브의 유지 보수를 위한 분해 과정을 설명하기 위한 도면들이다. 10A and 10B are diagrams for describing a disassembly process for maintenance of the first and second probes.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>

100 : 메인바디100: main body

200 : 제1조립체200: first assembly

300 : 제2조립체300: second assembly

400 : 패턴글라스400: patterned glass

500 : 패턴글라스 커버500: patterned glass cover

600 : 푸시 블록600: Push Block

Claims (19)

디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛은:The probe unit for display panel inspection is: 메인 바디;Main body; 상기 메인 바디에 설치되고, 디스플레이 패널의 전극패드들에 접촉되어 전기적 신호를 전달하는 제1프로브들을 갖는 제1조립체; A first assembly installed on the main body and having first probes contacting electrode pads of a display panel to transmit an electrical signal; 제2프로브들을 갖고, 상기 제2프로브들이 상기 제1프로브들과 겹쳐지지 않도록 상기 메인바디에 착탈 가능하게 설치되는 제2조립체; 및A second assembly having second probes and detachably installed on the main body such that the second probes do not overlap with the first probes; And 탭IC(Tape Automated Bonding Integrated Circuit)를 구비한 구동시트와 연결되고 상기 제1,2프로브들이 접속되는 패턴단자들을 갖는 패턴글라스를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛.And a pattern glass having a pattern terminal connected to a driving sheet having a tape automated bonding integrated circuit (TAP) and connected to the first and second probes. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제1조립체는 The first assembly is 상기 제1프로브들의 선단과 후단이 위치되는 슬롯들을 갖는 제1,2지지블록; First and second support blocks having slots in which leading and trailing ends of the first probes are positioned; 상기 제1지지블록과 상기 제1프로브들 사이 그리고 상기 제2지지블록과 상기 제1프로브들 사이에 끼워져서 상기 제1프로브들이 상기 제1,2지지블록으로부터 이탈되는 것을 방지하는 제1위치고정바들; 및A first position lock interposed between the first support block and the first probes and between the second support block and the first probes to prevent the first probes from being separated from the first and second support blocks Bars; And 상기 제1,2지지블록에 의해 일정간격으로 배열된 상기 제1프로브들에 형성된 관통공에 삽입되는 제1위치정렬바를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛. And a first position alignment bar inserted into a through hole formed in the first probes arranged at predetermined intervals by the first and second support blocks. 제 2 항에 있어서,The method of claim 2, 상기 제1프로브는The first probe is 블레이드 형상의 중앙 몸체; A central body of blade shape; 상기 제1지지블록의 슬롯에 끼워지도록 상기 중앙 몸체의 일측으로부터 경사지게 연장되고, 디스플레이 패널의 전극패드와 접촉되는 제1팁을 갖는 제1경사진 텐션암; 및A first inclined tension arm extending obliquely from one side of the central body to be inserted into the slot of the first support block, the first inclined tension arm having a first tip contacting the electrode pad of the display panel; And 상기 제2지지블록의 슬롯에 끼워지도록 상기 중앙 몸체의 타측으로부터 경사지게 연장되고, 상기 패턴 글라스의 패턴단자와 접촉되는 제2팁을 갖는 제2경사진 텐션암을 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛. And a second inclined tension arm extending inclined from the other side of the central body to be inserted into the slot of the second support block and having a second tip contacting the pattern terminal of the pattern glass. Probe unit for 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 제1경사진 텐션암은 The first inclined tension arm is 디스플레이 패널의 전극패드와 접촉시 오버드라이브(O/D;over drive)로 인한 스크라이빙 방지를 위한 굴곡진 텐션부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛. And a curved tension unit for preventing scribing due to an overdrive (O / D) when contacting an electrode pad of the display panel. 제 1 항에 있어서, The method of claim 1, 상기 제1프로브는The first probe is 상기 디스플레이 패널의 전극패드에 대해 경사지도록 디스플레이 패널의 전극패드와 접촉되는 제1팁을 갖으며, 상기 디스플레이 패널의 전극패드에 대해 경사지는 제1경사진 텐션암을 포함하되; A first inclined tension arm having a first tip in contact with an electrode pad of the display panel to be inclined with respect to the electrode pad of the display panel, the first inclined tension arm inclined with respect to the electrode pad of the display panel; 상기 제1경사진 텐션암은 The first inclined tension arm is 상기 제1팁이 탄성을 갖도록 굴곡진 텐션부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛. The probe unit for a display panel inspection, characterized in that the first tip further comprises a curved tension portion to have elasticity. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제2조립체는The second assembly is 상기 제2프로브들의 선단과 후단이 위치되는 슬롯들을 갖는 제3,4지지블록; Third and fourth support blocks having slots in which front and rear ends of the second probes are positioned; 상기 제3지지블록과 상기 제2프로브들 사이에 끼워져서 상기 제2프로브들이 상기 제3,4지지블록으로부터 이탈되는 것을 방지하는 제2위치고정바; A second position fixing bar inserted between the third support block and the second probes to prevent the second probes from being separated from the third and fourth support blocks; 상기 제3,4지지블록이 고정되는 그리고 상기 메인 바디의 양측면에 볼트 체결로 고정되는 한쌍의 사이드 커버; 및A pair of side covers to which the third and fourth support blocks are fixed and bolted to both sides of the main body; And 상기 제3,4지지블록에 의해 일정간격으로 배열된 상기 제2프로브들에 형성된 관통공에 삽입되는 제2위치정렬바를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛. And a second position alignment bar inserted into a through hole formed in the second probes arranged at predetermined intervals by the third and fourth support blocks. 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 제2프로브는The second probe is 블레이드 형상의 중앙 몸체; A central body of blade shape; 상기 제3지지블록의 슬롯에 끼워지도록 상기 중앙 몸체의 일측으로부터 수평한 방향으로 연장되고, 디스플레이 패널의 전극패드와 접촉되는 제1팁을 갖는 제1수평한텐션암; 및A first horizontal tension arm extending in a horizontal direction from one side of the central body to be inserted into the slot of the third support block, the first horizontal tension arm having a first tip contacting the electrode pad of the display panel; And 상기 제4지지블록의 슬롯에 끼워지도록 상기 중앙 몸체의 타측으로부터 수평한 방향으로 연장되고, 상기 패턴 글라스의 패턴단자와 접촉되는 제2팁을 갖는 제2수평한 텐션암을 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛. And a second horizontal tension arm extending in a horizontal direction from the other side of the central body to be inserted into the slot of the fourth support block and having a second tip contacting the pattern terminal of the patterned glass. Probe unit for display panel inspection. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 제1,2수평한 텐션암은 디스플레이 패널의 전극패드에 대해 수평한 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛. And the first and second horizontal tension arms are horizontal with respect to the electrode pads of the display panel. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제1조립체의 제1프로브핀들과 상기 제2조립체의 제2프로브핀들은 전후 2열로 교호되게 배치되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛. The probe unit of claim 1, wherein the first probe pins of the first assembly and the second probe pins of the second assembly are alternately arranged in two rows. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 프로브 유닛은The probe unit 상기 메인 바디에 장착되되; 상기 패턴글라스의 패턴단자들이 상기 제1,2프로브들과 접촉되도록 상기 패턴글라스를 가압하는 패턴글라스 커버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛. Mounted to the main body; And a pattern glass cover for pressing the pattern glass so that the pattern terminals of the pattern glass are in contact with the first and second probes. 제 10 항에 있어서,The method of claim 10, 상기 패턴글라스 커버는 The pattern glass cover 상기 패턴글라스의 패턴단자들과 상기 제1,2프로브들간의 접촉상태를 육안으로 확인할 수 있는 투시창을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛. And a viewing window for visually confirming a contact state between the pattern terminals of the pattern glass and the first and second probes. 제 10 항 또는 제11항에 있어서,The method according to claim 10 or 11, 상기 패턴글라스 커버는 The pattern glass cover 상기 패턴글라스의 패턴단자들과 상기 제1,2프로브들 간의 접촉 압력을 조절할 수 있는 가압볼트들을 더 포함하며,Further comprising pressure bolts for adjusting the contact pressure between the pattern terminal of the pattern glass and the first and second probes, 상기 가압볼트는 상기 메인바디에 형성된 관통공을 통해 상기 패턴글라스에 형성된 나사홀에 체결되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛. The pressing bolt is a probe unit for inspecting the display panel, characterized in that fastening to the screw hole formed in the pattern glass through the through-hole formed in the main body. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 프로브 유닛은The probe unit 상기 제2위치정렬바의 양단에 위치되도록 상기 메인 바디에 체결되고, 상기 제2프로브들의 자동 정렬을 위해 상기 제2위치정렬바를 정위치 방향으로 밀어 이동시키는 경사진 누름면을 갖는 푸시블록을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛. A push block which is fastened to the main body so as to be positioned at both ends of the second alignment bar, and has an inclined push surface for pushing the second alignment bar in the correct direction for automatic alignment of the second probes; Probe unit for inspecting the display panel comprising a. 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛은:The probe unit for display panel inspection is: 메인 바디;Main body; 상기 메인 바디에 설치되고, 디스플레이 패널의 짝수열 전극패드들과 홀수열 전극패드들 중 어느 한 열의 전극패드들로 전기적 신호를 전달하는 제1조립체; A first assembly installed on the main body and transferring an electrical signal to electrode pads of any one row of even-numbered electrode pads and odd-numbered electrode pads of a display panel; 상기 디스플레이 패널의 나머지 한 열의 전극패드들로 전기적 신호를 전달하는 그리고 상기 제1조립체와는 겹쳐지지 않도록 상기 메인 바디에 착탈 가능하게 설치되는 제2조립체를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛. And a second assembly that transmits an electrical signal to electrode pads of the other row of the display panel and is detachably installed on the main body so as not to overlap with the first assembly. Probe unit. 제 14 항에 있어서,The method of claim 14, 상기 프로브 유닛은The probe unit 탭IC(Tape Automated Bonding Integrated Circuit)를 구비한 구동시트와 연결되고 상기 제1,2조립체로 전기적인 신호를 전달하는 패턴단자들을 갖는 패턴글라스; 및A patterned glass having a pattern terminal connected to a driving sheet having a tape automated bonding integrated circuit (IC) and transferring electrical signals to the first and second assemblies; And 상기 메인 바디에 장착되되; 상기 패턴글라스의 패턴단자들이 상기 제1,2조 립체들과 접촉되도록 상기 패턴글라스를 가압하는 패턴글라스 커버를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛. Mounted to the main body; And a pattern glass cover for pressing the pattern glass so that the pattern terminals of the pattern glass are in contact with the first and second assemblies. 제 15 항에 있어서,The method of claim 15, 상기 패턴글라스 커버는 The pattern glass cover 상기 패턴글라스의 패턴단자들과 상기 제1,2조립체들간의 접촉상태를 육안으로 확인할 수 있는 투시창; 및 A viewing window for visually confirming a contact state between the pattern terminals of the pattern glass and the first and second assemblies; And 상기 패턴글라스의 패턴단자들과 상기 제1,2조립체들간의 접촉 압력을 조절할 수 있는 가압볼트들을 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛. Probe unit for inspecting a display panel, characterized in that it comprises a pressing bolt for adjusting the contact pressure between the pattern terminal of the pattern glass and the first and second assemblies. 제 14 항 또는 제 15 항에 있어서,The method according to claim 14 or 15, 상기 제1조립체는 The first assembly is 제1팁을 갖는 제1경사진 텐션암과, 제2팁을 갖는 제2경사진 텐션암을 포함하는 제1프로브들; 상기 제1프로브의 제1경사진 텐션암이 끼워지는 경사진 슬롯들을 갖는 제1지지블록; 및 상기 제1프로브의 제2경사진 텐션암이 끼워지는 경사진 슬롯들을 갖는 제2지지블록을 포함하며, First probes comprising a first inclined tension arm having a first tip and a second inclined tension arm having a second tip; A first support block having inclined slots into which the first inclined tension arm of the first probe is fitted; And a second support block having inclined slots into which the second inclined tension arm of the first probe is fitted. 상기 제2조립체는 The second assembly is 제1팁을 갖는 제1수평한 텐션암과, 제2팁을 갖는 제2수평한 텐션암을 포함하는 제2프로브들; 상기 제2프로브의 제1수평한 텐션암이 끼워지는 수평한 슬롯들을 갖는 제3지지블록; 및 상기 제2프로브의 제2수평한 텐션암이 끼워지는 수평한 슬롯들을 갖는 제4지지블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛. Second probes comprising a first horizontal tension arm having a first tip and a second horizontal tension arm having a second tip; A third support block having horizontal slots into which the first horizontal tension arm of the second probe is fitted; And a fourth support block having horizontal slots into which the second horizontal tension arm of the second probe is fitted. 제 17 항에 있어서,The method of claim 17, 상기 제1경사진 텐션암은 The first inclined tension arm is 상기 제1팁이 탄성을 갖도록 굴곡진 텐션부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛. The probe unit for a display panel inspection, characterized in that the first tip further comprises a curved tension portion to have elasticity. 제 17 항에 있어서,The method of claim 17, 상기 프로브 유닛은The probe unit 상기 메인 바디에 체결되고, 상기 제2프로브들의 자동 정렬을 위해 상기 제2프로브들에 끼워져 있는 제1위치정렬바를 정위치 방향으로 밀어 이동시키는 경사진 누름면을 갖는 푸시블록을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛. And a push block coupled to the main body and having an inclined push surface for pushing and moving the first alignment bar fitted in the second probes in the correct direction for automatic alignment of the second probes. Probe unit for display panel inspection.
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