KR101049445B1 - Probe unit for display panel inspection - Google Patents
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Abstract
본 발명의 프로브 유닛은 메인 바디; 상기 메인 바디에 설치되고, 디스플레이 패널의 짝수열 전극패드들과 홀수열 전극패드들 중 어느 한 열의 전극패드들로 전기적 신호를 전달하는 제1조립체; 상기 디스플레이 패널의 나머지 한 열의 전극패드들로 전기적 신호를 전달하는 그리고 상기 제1조립체와는 겹쳐지지 않도록 상기 메인 바디에 착탈 가능하게 설치되는 제2조립체를 포함한다. Probe unit of the present invention main body; A first assembly installed on the main body and transferring an electrical signal to electrode pads of any one row of even-numbered electrode pads and odd-numbered electrode pads of a display panel; And a second assembly detachably installed on the main body to transmit an electrical signal to electrode pads of the other row of the display panel and not overlap with the first assembly.
프로브, 디스플레이,검사 Probe, display, inspection
Description
본 발명은 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛에 관한 것이다.The present invention relates to a probe unit for display panel inspection.
일반적으로 TFT-LCD(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display)는 평판디스플레이의 일종으로써, 다수의 박막트랜지스터(TFT)와 화소전극이 배열되어 소정의 크기를 갖는 하판과, 색상을 나타내기 위한 컬러 필터 및 공통전극이 순차적으로 형성되어 하판과 소정 이격되어 있는 상판과, 상기 상판과 하판 사이의 이격공간에 채워져 있는 액정을 가지고 있다.In general, TFT-LCD (Thin Film Transistor Liquid Crystal Display) is a kind of flat panel display. A plurality of thin film transistors (TFTs) and pixel electrodes are arranged to have a lower plate having a predetermined size, a color filter for displaying color, and a common The electrodes are sequentially formed to have a top plate spaced apart from the bottom plate by a predetermined distance, and a liquid crystal filled in a space between the top plate and the bottom plate.
이와 같은 TFT-LCD는 스위칭소자인 TFT와 상.하판 전극 사이에 있는 액정으로 인해 형성되는 충전영역(Capacitor region) 및 보조충전영역과 상기 TFT의 온-오프를 구동하는 게이트 구동전극과 외부의 영상신호를 인가하는 영상신호전극 등에 의해서 소정의 화면을 점등시키게 된다.Such a TFT-LCD includes a capacitor region and an auxiliary charge region formed by a liquid crystal between a TFT, which is a switching element, and an upper / lower electrode, and a gate driving electrode for driving on / off of the TFT and an external image. The predetermined screen is turned on by an image signal electrode or the like to which a signal is applied.
그리고, 이와 같은 TFT-LCD 등의 평판표시소자는 제조를 완료한 후, 평판표시소자의 패드전극에 프로브 장치의 검사팁을 접촉하여 전기신호를 인가함으로써 평판표시소자의 정상 유무를 확인하여 불량 표시소자를 조기에 제거하는 테스트 공 정을 진행하고 있다.After the manufacturing of such a flat panel display device such as TFT-LCD is completed, the test tip of the probe device is applied to the pad electrode of the flat panel display device to apply an electrical signal to check whether the flat panel display device is normal or not. Test procedures are underway to remove the device prematurely.
본 발명의 목적은 조립 및 분해가 가능한 개별 분리 구조에 의해 유닛 전체를 모두 해체하지 않고서도 프로브의 교체 및 수리가 용이한 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛을 제공하는데 있다.It is an object of the present invention to provide a probe unit for inspecting a display panel that is easy to replace and repair a probe without disassembling the entire unit by an individual separation structure that can be assembled and disassembled.
또한, 본 발명의 목적은 프로브가 디스플레이 패널의 패드전극과 접촉시 오버드라이브(O/D;over drive)로 인한 스크라이빙을 최소화하고, 디스플레이 패널의 패드전극 손상을 최소화할 수 있는 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛을 제공하는데 있다. In addition, an object of the present invention is to inspect the display panel to minimize scribing due to the overdrive (O / D;) when the probe contacts the pad electrode of the display panel, and to minimize the pad electrode damage of the display panel To provide a probe unit for.
또한, 본 발명의 목적은 패턴글라스와 프로브의 접촉 압력을 조절하여 컨텍 안정성을 확보할 수 있는 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛을 제공하는데 있다.In addition, an object of the present invention is to provide a probe unit for inspecting a display panel that can ensure the contact stability by adjusting the contact pressure between the patterned glass and the probe.
또한, 본 발명의 목적은 패턴글라스의 프로브의 접촉 상태를 육안으로 확인할 수 있는 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛을 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to provide a probe unit for inspecting a display panel that can visually confirm the contact state of the probe of the patterned glass.
또한, 본 발명의 목적은 프로브들이 정해진 위치에 자동 정렬될 수 있는 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛을 제공하는데 있다.It is also an object of the present invention to provide a probe unit for inspecting a display panel in which the probes can be automatically aligned in a predetermined position.
또한, 본 발명의 목적은 프로브들 간의 극미세 피치를 구현할 수 있는 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 유닛을 제공하는데 있다.It is also an object of the present invention to provide a probe unit for inspecting a display panel that can implement an ultra fine pitch between probes.
본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The object of the present invention is not limited thereto, and other objects not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.
상기한 과제를 달성하기 위한 본 발명의 프로브 유닛은 메인 바디; 상기 메인 바디에 설치되고, 디스플레이 패널의 전극패드들에 접촉되어 전기적 신호를 전달하는 제1프로브들을 갖는 제1조립체; 제2프로브들을 갖고, 상기 제2프로브들이 상기 제1프로브들과 겹쳐지지 않도록 상기 메인바디에 착탈 가능하게 설치되는 제2조립체; 및 탭IC(Tape Automated Bonding Integrated Circuit)를 구비한 구동시트와 연결되고 상기 제1,2프로브들이 접속되는 패턴단자(접속패드)들을 갖는 패턴글라스를 포함한다.Probe unit of the present invention for achieving the above object is a main body; A first assembly installed on the main body and having first probes contacting electrode pads of a display panel to transmit an electrical signal; A second assembly having second probes and detachably installed on the main body such that the second probes do not overlap with the first probes; And a patterned glass having pattern terminals (connection pads) connected to a driving sheet having a tape automated bonding integrated circuit (TAP) and connected to the first and second probes.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제1조립체는 상기 제1프로브들의 선단과 후단이 위치되는 슬롯들을 갖는 제1,2지지블록; 상기 제1지지블록과 상기 제1프로브들 사이 그리고 상기 제2지지블록과 상기 제1프로브들 사이에 끼워져서 상기 제1프로브들이 상기 제1,2지지블록으로부터 이탈되는 것을 방지하는 제1위치고정바들; 및 상기 제1,2지지블록에 의해 일정간격으로 배열된 상기 제1프로브들에 형성된 관통공에 삽입되는 제1위치정렬바를 포함한다.According to an embodiment of the present invention, the first assembly includes: first and second support blocks having slots in which front and rear ends of the first probes are positioned; A first position lock interposed between the first support block and the first probes and between the second support block and the first probes to prevent the first probes from being separated from the first and second support blocks Bars; And a first position alignment bar inserted into the through hole formed in the first probes arranged at a predetermined interval by the first and second support blocks.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제1프로브는 블레이드 형상의 중앙 몸체; 상기 제1지지블록의 슬롯에 끼워지도록 상기 중앙 몸체의 일측으로부터 경사지게 연장되고, 디스플레이 패널의 전극패드와 접촉되는 제1팁을 갖는 제1경사진 텐션암; 및 상기 제2지지블록의 슬롯에 끼워지도록 상기 중앙 몸체의 타측으로부터 경사지게 연장되고, 상기 패턴 글라스의 패턴단자(접속패드)와 접촉되는 제2팁을 갖 는 제2경사진 텐션암을 포함한다.According to an embodiment of the present invention, the first probe has a blade-shaped central body; A first inclined tension arm extending obliquely from one side of the central body to be inserted into the slot of the first support block, the first inclined tension arm having a first tip contacting the electrode pad of the display panel; And a second inclined tension arm extending obliquely from the other side of the central body to be inserted into the slot of the second support block and having a second tip contacting the pattern terminal (connection pad) of the patterned glass.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제1경사진 텐션암은 디스플레이 패널의 전극패드와 접촉시 오버드라이브(O/D;over drive)로 인한 스크라이빙 방지를 위한 굴곡진 텐션부를 더 포함한다.According to an embodiment of the present invention, the first inclined tension arm further includes a curved tension portion for preventing scribing due to an overdrive (O / D) when contacting the electrode pad of the display panel.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제2조립체는 상기 제2프로브들의 선단과 후단이 위치되는 슬롯들을 갖는 제3,4지지블록; 상기 제3지지블록과 상기 제2프로브들 사이에 끼워져서 상기 제2프로브들이 상기 제3,4지지블록으로부터 이탈되는 것을 방지하는 제2위치고정바; 상기 제3,4지지블록이 고정되는 그리고 상기 메인 바디의 양측면에 볼트 체결로 고정되는 한쌍의 사이드 커버; 및 상기 제3,4지지블록에 의해 일정간격으로 배열된 상기 제2프로브들에 형성된 관통공에 삽입되는 제2위치정렬바를 포함한다.According to an embodiment of the present invention, the second assembly includes: third and fourth support blocks having slots in which front and rear ends of the second probes are positioned; A second position fixing bar inserted between the third support block and the second probes to prevent the second probes from being separated from the third and fourth support blocks; A pair of side covers to which the third and fourth support blocks are fixed and bolted to both sides of the main body; And a second position alignment bar inserted into the through hole formed in the second probes arranged at a predetermined interval by the third and fourth support blocks.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제2프로브는 블레이드 형상의 중앙 몸체; 상기 제3지지블록의 슬롯에 끼워지도록 상기 중앙 몸체의 일측으로부터 수평한 방향으로 연장되고, 디스플레이 패널의 전극패드와 접촉되는 제1팁을 갖는 제1수평한텐션암; 및 상기 제4지지블록의 슬롯에 끼워지도록 상기 중앙 몸체의 타측으로부터 수평한 방향으로 연장되고, 상기 패턴 글라스의 패턴단자(접속패드)와 접촉되는 제2팁을 갖는 제2수평한 텐션암을 포함한다.According to an embodiment of the present invention, the second probe has a blade-shaped central body; A first horizontal tension arm extending in a horizontal direction from one side of the central body to be inserted into the slot of the third support block, the first horizontal tension arm having a first tip contacting the electrode pad of the display panel; And a second horizontal tension arm extending in a horizontal direction from the other side of the central body to be inserted into the slot of the fourth support block, and having a second tip contacting the pattern terminal (connection pad) of the patterned glass. do.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제1,2수평한 텐션암은 디스플레이 패널의 전극패드에 대해 수평하다.According to an embodiment of the present invention, the first and second horizontal tension arms are horizontal with respect to the electrode pads of the display panel.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 제1조립체의 제1프로브핀들과 상기 제2조 립체의 제2프로브핀들은 전후 2열로 교호되게 배치된다.According to an embodiment of the present invention, the first probe pins of the first assembly and the second probe pins of the second assembly are alternately arranged in two rows before and after.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 프로브 유닛은 상기 메인 바디에 장착되되; 상기 패턴글라스의 패턴단자들이 상기 제1,2프로브들과 접촉되도록 상기 패턴글라스를 가압하는 패턴글라스 커버를 더 포함한다.According to an embodiment of the invention, the probe unit is mounted to the main body; The pattern glass cover further includes a pattern glass cover for pressing the pattern glass so that the pattern terminals of the pattern glass are in contact with the first and second probes.
상기 패턴글라스 커버는 상기 패턴글라스의 패턴단자들과 상기 제1,2프로브들간의 접촉상태를 육안으로 확인할 수 있는 투시창 및 상기 패턴글라스의 패턴단자들과 상기 제1,2프로브들 간의 접촉 압력을 조절할 수 있는 가압볼트들을 더 포함한다.The pattern glass cover may be provided with a viewing window for visually confirming a contact state between the pattern terminals of the pattern glass and the first and second probes and the contact pressure between the pattern terminals of the pattern glass and the first and second probes. It further includes adjustable pressure bolts.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 프로브 유닛은 상기 제2위치정렬바의 양단에 위치되도록 상기 메인 바디에 체결되고, 상기 제2프로브들의 자동 정렬을 위해 상기 제2위치정렬바를 정위치 방향으로 밀어 이동시키는 경사진 누름면을 갖는 푸시블록을 더 포함한다.According to an embodiment of the present invention, the probe unit is fastened to the main body so as to be positioned at both ends of the second alignment bar, and pushes the second alignment bar in the correct position to automatically align the second probes. It further includes a pushblock having an inclined push surface to move.
본 발명에 의하면, 메인 바디에 2단으로 구비된 제1조립체와 제2조립체를 서로 개별 분리할 수 있기 때문에 유닛 전체를 모두 해체하지 않고서도 프로브의 교체 및 수리가 용이하게 이루어질 수 있어 작업의 간편성 및 신속성은 물론 작업의 효율성 증대에 따른 생산성 향상을 기할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, since the first assembly and the second assembly, which are provided in two stages in the main body, can be separated from each other, the probe can be easily replaced and repaired without disassembling the entire unit. And it is possible to improve productivity by increasing the efficiency of the work as well as speed.
또한, 본 발명에 의하면 위치정렬바 및 푸시 블록에 의해서 제1조립체의 제1프로브들과 제2조립체의 제2프로브들이 자동으로 정렬될 수 있도록 함으로써 이 또한 작업의 간편성 및 신속성 확보는 물론 생산성 향상을 기할 수 있는 효과가 있 다. Further, according to the present invention, the first probes of the first assembly and the second probes of the second assembly can be automatically aligned by the alignment bar and the push block. It can be effective.
또한, 본 발명에 의하면 디스플레이 패널의 전극패드들에 제1프로브의 제1팁이 접촉될 때 그 접촉압력을 굴곡진 텐션부가 흡수함으로써 점차 길이가 작아지고 박막전도층으로 형성되는 전극패드에 스크래치가 발생하지 않게 됨은 물론 전극패드를 벗어나지 않게 되어 접촉 불량을 최소화하여 안정된 접속력을 유지할 수 있고, 검사의 신뢰성을 높일 수 있다.In addition, according to the present invention, when the first tip of the first probe contacts the electrode pads of the display panel, the curved pressure portion absorbs the contact pressure, thereby gradually reducing the length of the scratches on the electrode pad formed of the thin film conductive layer. Of course, it does not occur, of course, does not leave the electrode pad, thereby minimizing contact failure, thereby maintaining a stable connection force, and increasing the reliability of inspection.
또한, 본 발명에 의하면 제1프로브들과 제2프로브들이 전.후 2열로 교호 배치함으로써 정해진 범위내에서 점차 간격, 즉 피치가 작아지고 있는 피검사소자의 검사단자에 대응할 수 있게 되고, 이로 인하여 제품을 한층 업그레이드시킬 수 있는 효과를 갖게 된다.In addition, according to the present invention, the first probes and the second probes are alternately arranged in two rows before and after, so that the inspection terminals of the device under inspection gradually decrease in pitch, that is, the pitch, within a predetermined range. This will have the effect of further upgrading the product.
또한, 본 발명에 의하면 패턴글라스 커버에 투시창이 형성됨에 따라 패턴글라스의 패턴단자들과 제1,2프로브들간의 접촉상태를 육안으로 식별이 가능해 불량 검출의 신속성 및 간편성을 확보할 수 있는 이점도 있다.In addition, according to the present invention, as the see-through window is formed on the patterned glass cover, the contact state between the pattern terminals of the patterned glass and the first and second probes can be visually identified, thereby ensuring the rapidity and simplicity of defect detection. .
또한, 본 발명에 의하면 패턴 글라스에 대한 제1,2프로브들의 접촉 상태가 불안정할 때 패턴글라스 커버에 설치된 가압볼트의 조절을 통해 보다 신속하면서도 간편하게 컨텍의 안전성을 확보할 수 있는 이점도 갖게 된다. In addition, according to the present invention, when the contact state of the first and second probes to the pattern glass is unstable, there is also an advantage that the safety of the contact can be secured more quickly and simply by adjusting the pressure bolt installed on the pattern glass cover.
이하 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 프로브 유닛을 상세히 설명하기로 한다. 우선 각 도면의 구성 요소들에 참조 부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가 능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, a probe unit according to a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. First of all, in adding reference numerals to the components of each drawing, it should be noted that the same reference numerals have the same reference numerals as much as possible even if displayed on different drawings. In the following description of the present invention, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear.
( 실시 예 )(Example)
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 프로브 유닛이 설치된 프로브 어셈블리를 보여주는 도면이다.1 is a view showing a probe assembly provided with a probe unit according to an embodiment of the present invention.
도 1을 참조하면, 프로브 어셈블리(1)는 프로브 유닛(10)과, 프로브 유닛(10)을 지지하는 매니퓰레이터(20,manipulator)를 포함한다. 메니퓰레이터(20)는 베이스 플레이트(미도시됨)에 고정 배치되는 아암(22)과, 아암(22)의 선단에 고정볼트에 의해 서로 체결되는 헤드(24), 헤드(24)의 저면에 착탈 가능하게 설치되고 프로브 유닛(10)이 설치되는 고정 플레이트(26) 그리고 헤드(24)와 아암(22) 사이에 설치되는 리니어 가이드(28)를 포함한다.Referring to FIG. 1, the
도 2 및 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 프로브 유닛의 사시도 및 분해 사시도이다. 도 4는 도 2에 도시된 프로브 유닛의 단면도이다. 2 and 3 are a perspective view and an exploded perspective view of a probe unit according to an embodiment of the present invention. 4 is a cross-sectional view of the probe unit shown in FIG. 2.
도 2 내지 도 4를 참조하면, 프로브 유닛(10)은 크게 메인바디(100), 제1조립체(200), 제2조립체(300), 패턴글라스(400), 패턴글라스 커버(500), 푸시블록(600)를 포함한다. 2 to 4, the
(메인 바디)(Main body)
메인 바디(100)는 볼트에 의해 매니퓰레이터에 고정 설치된다. 메인 바디(100)의 저면은 오목한 공간부를 제공하는 제1저면(102)과, 평평한 제2저면(104) 으로 구분될 수 있는데, 제1저면(102)에는 제1조립체(200)와 제2조립체(300)가 설치되고, 제2저면(104)에는 패턴 글라스(400)가 위치된다. 제2저면(104)에는 패턴 글라스(400)를 안정적으로 받쳐주는 고무패드(106)가 제공된다. 제1조립체와 제2조립체는 메인 바디의 하부에 2단 구조로 위치된다.The
그리고, 메인 바디(100)는 사이드 커버(380)와 푸시 블록(600)이 조립에 의해 외부로 돌출되지 않도록 푸시 블록이 체결되는 블록 장착홈(110)과, 사이드 커버가 체결되는 사이드 장착면(120)이 단턱지게 형성된다. 그리고 메인 바디(100)에는 가압 볼트(520)가 삽입되는 관통공(109)이 형성된다. 참고로, 가압볼트(520)는 메인 바디(100)의 관통공(109)을 통해 삽입되어 패턴 글라스 커버(500)의 나사홀(502)에 체결된다. In addition, the
(제1조립체)(First assembly)
도 5A는 제1조립체의 사시도이고, 도 5B 및 도 5C는 제1프로브와 제1,2지지블록의 결합 전 상태와 결합후 상태를 보여주는 단면도이다. 5A is a perspective view of the first assembly, and FIGS. 5B and 5C are cross-sectional views illustrating states before and after coupling of the first probe and the first and second support blocks.
제1조립체(200)는 제1프로브(210)들과 제1,2지지블록(230,240), 제1위치고정바들(250) 그리고 제1위치정렬바(260)를 포함한다. The
제1조립체(200)의 구조적인 특징을 좀 더 자세히 살펴보면, 제1프로브(210)는 얇은 전도성 금속판으로 이루어지는 블레이드 타입으로 이루어진다. 제1프로브(210)는 제1지지블록(230)과 제2지지블록(240) 사이에 위치되는 중앙 몸체(212)와, 제1경사진 텐션암(214) 그리고 제2경사진 텐션암(216)을 포함한다. 중앙 몸 체(212)는 제1위치정렬바(260)가 끼워지는 관통공(213)을 갖는다. Looking at the structural features of the
제1경사진 텐션암(214)은 중앙 몸체(212)의 일측으로부터 경사지게 연장되며 제1지지블록(230)의 슬롯(232)에 끼워진다. 제1경사진 텐션암(214)의 끝단에는 제1팁(215)이 형성되는데, 이 제1팁(215)은 제1지지블록(230)의 슬롯(232)으로부터 노출되도록 제1경사진 텐션암(214)의 끝단으로부터 하향 절곡된 구조를 갖는다. 제1팁(215)은 피검사체인 디스플레이 패널(S)의 전극패드(P1)(짝수열 전극패드들과 홀수열 전극패드들 중 어느 한 열의 전극패드)에 접촉되는 부분이다(도 7A 및 도 8 참조).The first
특히, 제1경사진 텐션암(214)은 중간 지점에 "U"자 형상으로 굴곡진 텐션부(218)를 갖는다. 이 굴곡진 텐션부(218)는 디스플레이 패널(S)의 전극패드(P1)와 접촉시 오버드라이브(O/D;over drive)로 인한 스크라이빙 방지를 위한 것이다. 제1경사진 텐션암(214)에 형성된 굴곡진 텐션부(218)로 인해 제1팁(215)은 디스플레이 패널의 전극패드(P1)와 탄력적으로 접촉된다. In particular, the first
제2경사진 텐션암(216)은 중앙 몸체(212)의 타측으로부터 경사지게 연장되며 제2지지블록(240)의 슬롯(242)에 끼워진다. 제2경사진 텐션암(216)의 끝단에는 제2팁(217)이 형성되는데, 제2팁(217)은 제2지지블록(240)의 슬롯(242)으로부터 노출되도록 제2경사진 텐션암(216)의 끝단으로부터 하향 절곡된 구조를 갖는다. 제2팁(217)은 전기적 신호를 전달하기 위해 형성된 패턴 글라스(400)의 패턴단자(402)에 접촉되는 부분이다. The second
제1지지블록(230)은 세라믹 재질의 소정길이를 갖는 블록으로, 제1프로 브(210)의 제1경사진 텐션암(214)이 끼워질 수 있도록 일정간격으로 형성된 경사진 슬롯(232)들을 갖는다. 제2지지블록(240) 역시 제1지지블록(230)과 동일한 세라믹 재질의 블록으로, 제1프로브(210)의 제2경사진 텐션암(216)이 끼워질 수 있도록 일정간격으로 형성된 경사진 슬롯(242)들을 갖는다. 제1프로브(210)들은 제1지지블록(230)과 제2지지블록(240)에 의해 일정한 간격으로 정렬된다. 제1,2지지블록(230,240)은 메인 바디(100)의 저면에 에폭시 등과 같은 접착제로 본딩된다. The
제1위치고정바(250)는 직사각형의 단면을 갖는 세라믹 재질의 막대 형상으로 이루어진다. 제1위치고정바(250) 중 하나는 제1지지블록(230)과 제1프로브(210)들 사이에 끼워지고, 다른 하나는 제2지지블록(240)과 제1프로브(210)들 사이에 끼워져서 제1프로브(210)들이 제1,2지지블록(230,240)으로부터 이탈되는 것을 방지한다. The first
제1위치정렬바(260)는 원형의 단면을 갖는 세라믹 재질의 막대 형상으로 이루어진다. 제1위치정렬바(260)는 제1,2지지블록(230,240)에 의해 일정간격으로 배열된 제1프로브(210)들에 형성된 원형의 관통공(213)에 삽입되는 것으로, 제1프로브들의 위치를 정렬해준다.The
(제2조립체)(Second assembly)
도 6A는 제2조립체의 사시도이고, 도 6B 및 도 6C는 제2프로브와 제3,4지지블록의 결합 전 상태와 결합후 상태를 보여주는 단면도이다. 6A is a perspective view of the second assembly, and FIGS. 6B and 6C are cross-sectional views illustrating states before and after coupling of the second probe and the third and fourth support blocks.
도 6A 내지 도 6C를 참조하면, 제2조립체(300)는 제2프로브(310)들과 제3,4지지블록(330,340), 한 쌍의 사이드 커버(380), 제2위치고정바(350)들 그리고 제2 위치정렬바(360)를 포함한다. 6A to 6C, the
제2조립체(300)의 구조적인 특징을 좀 더 자세히 살펴보면, 제2프로브(310)는 제1프로브(210)와 마찬가지로 얇은 전도성 금속판으로 이루어지는 블레이드 타입으로 이루어진다. 제2프로브(310)는 제3지지블록(330)과 제4지지블록(340) 사이에 위치되는 중앙 몸체(312)와, 제1수평한 텐션암(314) 그리고 제2수평한 텐션암(316)을 포함한다. 중앙 몸체(312)는 제2위치정렬바(360)가 끼워지는 관통공(313)을 갖는다. Looking at the structural features of the
제1수평한 텐션암(314)은 중앙 몸체(312)의 일측으로부터 수평한 방향으로 연장되며 제3지지블록(330)의 슬롯(332)에 끼워진다. 제1수평한 텐션암(314)의 끝단에는 제1팁(315)이 형성되는데, 이 제1팁(315)은 제3지지블록(330)의 슬롯(332)으로부터 노출되도록 제1수평한 텐션암(314)의 끝단으로부터 하향 절곡된 구조를 갖는다. 제1팁(315)은 피검사체인 디스플레이 패널(S)의 전극패드(P2)(짝수열 전극패드들과 홀수열 전극패드들 중 어느 한 열의 전극패드)에 접촉되는 부분이다(도 7A 및 도 8 참조).The first
제2수평한 텐션암(316)은 중앙 몸체(312)의 타측으로부터 경사지게 연장되며 제4지지블록(340)의 슬롯(342)에 끼워진다. 제2수평한 텐션암(316)의 끝단에는 제2팁(317)이 형성되는데, 제2팁(317)은 제4지지블록(340)의 슬롯(342)으로부터 노출되도록 제2수평한 텐션암(316)의 끝단으로부터 하향 절곡된 구조를 갖는다. 제2팁(317)은 전기적 신호를 전달하기 위해 형성된 패턴 글라스(400)의 패턴단자(402)에 접촉되는 부분이다. The second
제3지지블록(330)은 세라믹 재질의 소정길이를 갖는 블록으로, 제2프로브(310)의 제1수평한 텐션암(314)이 끼워질 수 있도록 일정 간격으로 형성된 수평한 슬롯(332)들을 갖는다. 제4지지블록(340) 역시 제3지지블록(330)과 동일한 세라믹 재질의 블록으로, 제2프로브(310)의 제2수평한 텐션암(316)이 끼워질 수 있도록 일정간격으로 형성된 수평한 슬롯(342)들을 갖는다. 제2프로브(310)들은 제3,4지지블록(330,340)에 의해 일정한 간격으로 정렬된다. 제3,4지지블록(330,340)은 한쌍의 사이드 커버(380)에 에폭시 등과 같은 접착제로 본딩된다. The
사이드 커버(380)는 메인 바디(100)의 양측면에 형성된 사이드 장착면(120)에 볼트 체결된다. The
제2위치고정바(350)는 직사각형의 단면을 갖는 막대 형상으로 이루어진다. 제2위치고정바(350)는 제3지지블록(330)과 제2프로브(310)들 사이에 끼워져서 푸시블록(600)과 연동되어 제2프로브(310)들이 제3,4지지블록(330,340)으로부터 이탈되는 것을 방지한다. The second
제2위치정렬바(360)는 원형의 단면을 갖는 막대 형상으로 이루어진다. 제2위치정렬바(360)는 제3,4지지블록(330,340)에 의해 일정간격으로 배열된 제2프로브(310)들에 형성된 원형의 관통공(313)에 삽입되는 것으로, 제2프로브(310)들의 위치를 정렬해준다.The
(패턴 글라스)(Pattern glass)
패턴 글라스(400)는 메인 바디(100)의 평평한 제2저면(104)에 위치된다. 패턴 글라스(400)는 소정의 두께를 갖는 투명한 글라스 재질의 플레이트로 이루어지 며, 일면에는 제1,2프로브(210,310)들이 접속되는 패턴단자(접속패드)(402)들이 형성된다. 패턴단자(402)들은 반도체 제조에 사용되는 금속 증착 공정(sputtering)을 이용하여 글라스의 일면에 미세하게 돌출되도록 형성하게 된다. 패턴 글라스(400)에는 검사하고자 하는 대상물인 디스플레이 패널에 부착되는 구동 IC와 동일한 탭IC(Tape Automated Bonding Integrated Circuit)(430)가 단자간 접속이 이루어지도록 본딩접합에 의해 연결되고 또한 탭IC(430)와 구동시트(420)가 본딩접하에 의해서 연결된다. 구동시트(420)는 플렉시블한 기판으로 되어 있다.The
(패턴 글라스 커버)(Pattern glass cover)
패턴 글라스 커버(500)는 메인 바디(100)의 저면에 볼트 결합된다. 패턴 글라스 커버(500)는 패턴글라스(400)의 패턴단자(402)들이 제1,2프로브(210,310)들의 제2팁(217,317)들과 접촉되도록 패턴글라스(400)를 가압한다. 특히, 도 4에서와 보여주는 바와 같이 패턴글라스 커버(500)는 패턴글라스(400)의 패턴단자(402)들과 제1,2프로브들의 제2팁(217,317)들 간의 접촉상태를 육안으로 확인할 수 있는 투시창(510)과, 패턴글라스(40))의 패턴단자(402)들과 제1,2프로브들의 제2팁(217,317)들 간의 접촉 압력을 조절할 수 있는 가압볼트(520)들을 포함한다. 가압볼트(520)는 메인 바디(100)의 관통공(109)을 통해 패턴 글라스 커버(500)에 형성된 나사홀(502)에 체결된다. 가압볼트(520)를 조이면 패턴 글라스 커버(500)가 메인 바디(100)를 향해 당겨짐에 따라 패턴 글라스(400)과 제1,2프로브들의 제2팁(217,317) 간의 접촉 압력이 증가하게 된다. The
(푸시 블록)(Push block)
한 쌍의 푸시 블록(600)은 제2위치정렬바(360)의 양단에 위치되도록 메인 바디(100)에 수직한 방향으로 볼트 체결된다. 예컨대, 푸시 블록(600)은 메인 바디(100)의 측방향으로 볼트 체결될 수도 있다. 도 9A 및 도 9B에는 푸시 블록에 의해 제2위치정렬바가 정렬된 상태를 보여준다. 푸시 블록(600)은 제2프로브(310)들의 자동 정렬 및 아래로 내려주는 것과 위로 뜨는 것을 방지하기 위해 제2위치정렬바(360)를 정위치 방향으로 밀어 이동시키는 경사진 누름면(610)을 갖는다. The pair of push blocks 600 are bolted in a direction perpendicular to the
(제1프로브들과 제2프로브들의 배치구조)Arrangement structure of the first and second probes
도 7A 및 도 7B 그리고 도 8은 프로브들의 전후 2열로 교호되게 배치된 상태를 보여주는 도면들이다.7A, 7B and 8 are views showing a state in which the probes are alternately arranged in front and rear two columns.
도 7A 및 도 7B 그리고 도 8에 도시된 바와 같이, 본 발명의 프로브 유닛(10)은 제1.2프로브(210,310)들이 전후 2열로 교호되게 배치됨으로써 프로브들 간의 극미세 피치를 구현할 수 있고, 특히 정해진 범위 내에서 점차 증가하고 있는 디스플레이 패널(S)의 전극패드(P1,P2)들, 검사 단자 피치(pitch)에 대응할 수 있는 각별한 효과를 갖는다.As shown in FIGS. 7A and 7B and 8, the
다음은 상기한 바와 같이 구성된 본 발명의 실시예에 따른 프로브 유닛의 조립 및 분해 과정을 설명하면 다음과 같다. 프로브 유닛의 조립 및 분해는 유닛을 뒤집은 상태에서 이루어지게 된다. Next will be described the assembly and disassembly process of the probe unit according to an embodiment of the present invention configured as described above. Assembly and disassembly of the probe unit is performed while the unit is turned upside down.
(프로브 유닛의 조립 과정)(Assembling process of probe unit)
조립 과정은 제1조립체 조립-> 제2조립체 조립-> 푸시블록 조립-> 패턴 글라스 위치 고정-> 패턴 글라스 커버 조립 순으로 이루어진다.The assembly process consists of assembling the first assembly-> assembling the second assembly-> assembling the push block-> fixing the position of the pattern glass-> assembling the pattern glass cover.
먼저, 제1조립체(200)의 조립과정은 메인 바디(100)의 제1저면에 제1지지블록(230)과 제2지지블록(240)을 에폭시로 고정하고, 제1지지블록(230)과 제2지지블록(240)의 경사진 슬롯들에 제1프로브(210)들의 제1,2경사진 텐션암(214,216)을 삽입한다. 그리고 제1지지블록(230)과 제1프로브(210)들 사이와 제2지지블록(240)과 제1프로브(210)들 사이에 제1위치고정바(250)를 끼워서 제1프로브(210)들이 제1,2지지블록(230,240)으로부터 이탈되는 것을 방지하고, 제1프로브(210)들의 관통(213)공에 제1위치정렬바(260)를 삽입하여 제1조립체의 조립을 완료한다.First, in the assembling process of the
제2조립체(300)의 조립 과정은, 메인 바디(100)의 사이드 안착면에 사이드 커버(380)를 볼트 체결하고, 제3지지블록(330)과 제4지지블록(340)을 사이드 커버(380)에 에폭시로 고정한다. 그리고 제2프로브(310)들의 제1,2수평한 텐션암(314,316)을 제3지지블록(330)과 제4지지블록(340)의 슬롯(332,342)에 삽입한다. 그리고 제3지지블록(330)과 제2프로브(310)들 사이에 제2위치고정바(350)를 끼우고 제2프로브(310)들의 관통공(313)에 제2위치정렬바(360)를 삽입하여 메인바디(100)의 블록 장착홈에 푸시블록(600)을 볼트 체결하게 되는데, 이때 제2프로브(310)들을 관통하여 설치된 제2위치정렬바(360)의 양단부는 푸시블록(600)의 경사면(610)을 따라 넓은 상부측의 정해진 위치로 이동하면서 자동으로 정렬되고 제2조립체(300)의 조립을 완료한다. 이때, 제2위치정렬바(360)는 푸시 블록(600)에 의해 위치 정렬되도록 제1위치정렬바(260) 보다 길게 형성된 것이 특징이다. In the assembling process of the
제1,2조립체(200,300)의 조립이 완료되면, 메인 바디(100)의 블록 장착홈에 푸시블록(600)을 볼트 체결하게 되는데, 이때 제2프로브(310)들을 관통하여 설치된 제2위치정렬바(360)의 양단부는 푸시블록(600)의 경사면(610)을 따라 넓은 상부측의 정해진 위치로 이동하면서 자동으로 정렬된다. When the assembly of the first and
푸시 블록(600)의 조립이 완료되면, 패턴 글라스(400)를 메인 바디(100)의 제2저면에 올려놓고, 패턴 글라스 커버(500)를 체결볼트와 가압볼트(520)로 메인바디(100)의 저면에 고정 및 결합시킨다. 여기서, 패턴글라스(400)의 패턴단자(402)들과 제1,2프로브(210,310)들의 제2팁(215,315)들 간의 컨텍(contact)이 불안정할 경우에는 가압 볼트(520)를 조여서 해결할 수 있다. 이처럼, 가압볼트(520)의 조임 및 풀림에 의해 패턴글라스(400)의 패턴단자(402)들과 제1,2프로브들의 제2팁(215,315)들 간의 접촉 압력을 조절할 수 있다.When the assembly of the
(제1,2프로브의 유지 보수를 위한 분해 과정)(Disassembly process for maintenance of the first and second probes)
도 10A를 참조하면, 체결볼트와 가압볼트(520)를 풀어 패턴 글라스 커버(500)를 분리하면 제2프로브(310)들의 유지 보수를 위한 교체가 가능하다. Referring to FIG. 10A, when the fastening bolt and the
도 10B에 도시된 바와 같이, 제1프로브(210)들의 유지 보수는 사이드 커버(380)를 고정하고 있는 볼트를 풀고 제2조립체(300)를 메인 바디(100)로부터 분리함으로써 가능하다. 이때, 제2프로브(310)들을 지지하고 있는 제3,4지지블록(330,340)이 사이드 커버(380)에 고정되어 있기 때문에 사이드 커버(380)를 메인 바디(100)로부터 분리하게 되면 제2조립체(300) 전체가 메인 바디(100)로부터 분리된다. 이렇게, 제2조립체(300)가 분리되면 제1프로브(210)들이 외부로 노출됨으로 써 손상된 제1프로브(210)의 유지 보수를 위한 교체 작업 등이 가능하다. As shown in FIG. 10B, maintenance of the
이와 같이, 본 발명의 프로브 유닛(10)은 프로브들이 전후 2열로 교호되게 배치되고, 제1프로브(210)들과 제2프로브(310)들의 개별 분리가 가능함으로써 손상된 프로브의 교체 작업이 보다 용이하게 이루어질 수 있다. 또한, 제2조립체를 조립할 때 제2프로브들이 자동으로 정렬될 수 있어 조립의 간편성 및 신속성을 확보할 수 있다. As described above, the
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The foregoing description is merely illustrative of the technical idea of the present invention, and various changes and modifications may be made by those skilled in the art without departing from the essential characteristics of the present invention. Therefore, the embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the technical idea of the present invention but to describe the present invention, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments. The protection scope of the present invention should be interpreted by the following claims, and all technical ideas within the equivalent scope should be interpreted as being included in the scope of the present invention.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 프로브 유닛이 설치된 프로브 어셈블리를 보여주는 도면이다.1 is a view showing a probe assembly provided with a probe unit according to an embodiment of the present invention.
도 2 및 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 프로브 유닛의 사시도 및 분해 사시도이다. 2 and 3 are a perspective view and an exploded perspective view of a probe unit according to an embodiment of the present invention.
도 4는 도 2에 도시된 프로브 유닛의 단면도이다. 4 is a cross-sectional view of the probe unit shown in FIG. 2.
도 5A는 제1조립체의 사시도이다.5A is a perspective view of the first assembly.
도 5B 및 도 5C는 제1프로브와 제1,2지지블록의 결합 전 상태와 결합후 상태를 보여주는 단면도이다. 5B and 5C are cross-sectional views illustrating states before and after coupling of the first probe and the first and second support blocks.
도 6A는 제2조립체의 사시도이다.6A is a perspective view of a second assembly.
도 6B 및 도 6C는 제2프로브와 제3,4지지블록의 결합 전 상태와 결합후 상태를 보여주는 단면도이다. 6B and 6C are cross-sectional views illustrating states before and after coupling of the second probe and the third and fourth support blocks.
도 7a 및 도 7b 그리고 도 8은 프로브들의 전후 2열로 교호되게 배치된 상태를 보여주는 도면들이다.7A, 7B, and 8 are views showing a state in which the probes are alternately arranged in two columns before and after.
도 9A 및 도 9B는 푸시 블록에 의해 제2위치정렬바가 정렬된 상태를 보여주는 도면들이다. 9A and 9B are views illustrating a state in which the second alignment bar is aligned by a push block.
도 10A 및 도 10B는 제1,2프로브의 유지 보수를 위한 분해 과정을 설명하기 위한 도면들이다. 10A and 10B are diagrams for describing a disassembly process for maintenance of the first and second probes.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 ><Description of Symbols for Main Parts of Drawings>
100 : 메인바디100: main body
200 : 제1조립체200: first assembly
300 : 제2조립체300: second assembly
400 : 패턴글라스400: patterned glass
500 : 패턴글라스 커버500: patterned glass cover
600 : 푸시 블록600: Push Block
Claims (19)
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN200910134456A CN101776700A (en) | 2009-01-12 | 2009-04-15 | Probe unit for inspecting display panel |
TW098208302U TWM375884U (en) | 2009-01-12 | 2009-05-13 | Probe unit for inspecting display panel |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR20090002407 | 2009-01-12 | ||
KR1020090002407 | 2009-01-12 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20100083087A KR20100083087A (en) | 2010-07-21 |
KR101049445B1 true KR101049445B1 (en) | 2011-07-15 |
Family
ID=42642956
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020090014134A KR101049445B1 (en) | 2009-01-12 | 2009-02-20 | Probe unit for display panel inspection |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101049445B1 (en) |
TW (1) | TWM375884U (en) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103630712B (en) * | 2012-08-23 | 2016-01-27 | 技鼎股份有限公司 | Blade-like microprobe structure and preparation method thereof |
KR101408326B1 (en) * | 2013-04-25 | 2014-06-17 | 주식회사 케이엘티 | Urethane-type probe block for checking lcd |
KR101449728B1 (en) * | 2013-05-22 | 2014-10-17 | 주식회사 나노리퀴드디바이시스코리아 | Base film for lcd panel test, probe block, probe unit comprising the same |
KR101558256B1 (en) * | 2015-05-18 | 2015-10-12 | 주식회사 기가레인 | A probe pin and assembly for fixing the probe pin |
JP7237470B2 (en) * | 2018-06-07 | 2023-03-13 | 株式会社日本マイクロニクス | probe assembly |
JP7154835B2 (en) * | 2018-06-22 | 2022-10-18 | 株式会社日本マイクロニクス | probe assembly |
KR102241061B1 (en) * | 2020-01-14 | 2021-04-16 | (주)위드멤스 | Probe block assembly |
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---|---|
TWM375884U (en) | 2010-03-11 |
KR20100083087A (en) | 2010-07-21 |
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Legal Events
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