KR100669827B1 - Probe assembly - Google Patents

Probe assembly Download PDF

Info

Publication number
KR100669827B1
KR100669827B1 KR1020050073316A KR20050073316A KR100669827B1 KR 100669827 B1 KR100669827 B1 KR 100669827B1 KR 1020050073316 A KR1020050073316 A KR 1020050073316A KR 20050073316 A KR20050073316 A KR 20050073316A KR 100669827 B1 KR100669827 B1 KR 100669827B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
probe
guide block
elastic beam
beam part
probes
Prior art date
Application number
KR1020050073316A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
신동원
김석중
Original Assignee
주식회사 파이컴
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 파이컴 filed Critical 주식회사 파이컴
Priority to KR1020050073316A priority Critical patent/KR100669827B1/en
Application granted granted Critical
Publication of KR100669827B1 publication Critical patent/KR100669827B1/en

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02General constructional details
    • G01R1/06Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067Measuring probes
    • G01R1/073Multiple probes
    • G01R1/07307Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2801Testing of printed circuits, backplanes, motherboards, hybrid circuits or carriers for multichip packages [MCP]

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)

Abstract

A probe assembly is provided to effectively install probes to a guide block by using self-elastic force of the probe and to improve reliability in inspecting a display panel by minimizing leak current by increasing signal transfer efficiency. A probe block for inspecting a flat panel display includes: a guide block(132) having slots formed on the upper and lower sides at a predetermined width and probes(150) positioned at the lateral side of the guide block and composed of a connecting beam unit(154); a first elastic beam unit(152) bent and extended from one end of the connecting beam unit, fitted and fixed to the slot formed at the lower side of the guide block, and provided with a first contact end(152b) contacted with a pattern of an object; and a second elastic beam unit(156) bent and extended from the other end of the connecting beam unit in parallel with the first elastic beam unit and fitted and fixed to the slot formed on the upper side of the guide block.

Description

프로브 어셈블리{PROBE ASSEMBLY} Probe Assembly {PROBE ASSEMBLY}

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 프로브 어셈블리의 사시도이다. 1 is a perspective view of a probe assembly according to a first embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 프로브 어셈블리의 측면도이다. 2 is a side view of the probe assembly according to the first embodiment of the present invention.

도 3a 및 도 3b는 본 발명의 제1실시예에 따른 프로브 어셈블리의 주요부 확대도이다. 3A and 3B are enlarged views of main parts of a probe assembly according to a first embodiment of the present invention.

도 4는 본 발명의 제1실시예에 따른 프로브 블록의 사시도이다. 4 is a perspective view of a probe block according to a first embodiment of the present invention.

도 5는 본 발명의 제1실시예에 따른 프로브 블록의 분해 사시도이다. 5 is an exploded perspective view of a probe block according to a first embodiment of the present invention.

도 6은 본 발명의 제1실시예에 따른 프로브 블록의 단면도이다. 6 is a cross-sectional view of the probe block according to the first embodiment of the present invention.

도 7은 본 발명의 제1실시예에 따른 프로브 블록에서 프로브와 가이드 블록을 보여주는 사시도이다. 7 is a perspective view illustrating a probe and a guide block in the probe block according to the first embodiment of the present invention.

도 8은 본 발명의 제1실시예에 따른 프로브를 보여주는 정면도이다. 8 is a front view showing a probe according to a first embodiment of the present invention.

도 9는 본 발명의 제2실시예에 따른 프로브 어셈블리의 사시도이다. 9 is a perspective view of a probe assembly according to a second embodiment of the present invention.

도 10은 본 발명의 제2실시예에 따른 프로브 어셈블리의 측면도이다. 10 is a side view of a probe assembly according to a second embodiment of the present invention.

도 11은 본 발명의 제2실시예에 따른 프로브 블록의 분해 사시도이다. 11 is an exploded perspective view of a probe block according to a second embodiment of the present invention.

도 12는 본 발명의 제2실시예에 따른 프로브 블록의 단면도이다. 12 is a cross-sectional view of a probe block according to a second embodiment of the present invention.

도 13은 본 발명의 제2실시예에 따른 프로브 블록의 평면도이다. 13 is a plan view of a probe block according to a second embodiment of the present invention.

도 14는 본 발명의 제2실시예에 따른 프로브의 정면도이다. 14 is a front view of a probe according to a second embodiment of the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호 설명 * Explanation of symbols on the main parts of the drawings

102 : 아암 102: arm

104 : 헤드 104: head

110 : 고정 플레이트 110: fixed plate

120 : 기판 홀더 120: substrate holder

130 : 프로브 블록 130: probe block

132 : 가이드 블록 132: guide block

150 : 프로브 150 probe

본 발명은 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 어셈블리에 관한 것이다. The present invention relates to a probe assembly for display panel inspection.

일반적으로 액정표시장치(TFT-LCD)와 같은 평판 디스플레이(flat panel display)는 양산기술 확보와 연구개발의 성과로 대형화와 고해상도화가 급속도로 진전되어 노트북 컴퓨터(computer)용 뿐만 아니라 대형 모니터(monitor) 응용 제품으로도 개발되어 기존의 CRT(cathode ray tube) 제품을 점진적으로 대체하고 있어 디스플레이 산업에서의 그 비중이 점차 증대되고 있다. In general, flat panel displays such as liquid crystal displays (TFT-LCDs) are rapidly progressing in size and resolution due to mass production technology and achievements in R & D, resulting in not only notebook computers but also large monitors. It is also developed as an application product and gradually replaces existing cathode ray tube (CRT) products, and its weight in the display industry is gradually increasing.

이와 같은 평판 디스플레이(flat panel display)는 제조라인의 최종 단계에서 평판 디스플레이의 패드전극에 전기신호를 인가함으로써 평판표시소자의 정상 유무를 확인하여 불량 표시소자를 검사하는 테스트(Test)공정을 진행하고 있다.이와 같은 평판 디스플레이의 테스트는, 프로브 블록을 구비한 프로브 어셈블리를 이용하여 이루어지고, 이와 같은 프로브 어셈블리의 프로브 블록은, 니들(Needle)형, 블레이드(Blade)형 및 필름(Film)형 등과 같이 다양한 형태로 개발 사용되고 있다. Such a flat panel display performs a test process that checks whether a flat panel display device is normal by applying an electrical signal to a pad electrode of the flat panel display at the final stage of a manufacturing line and inspects a defective display device. The flat panel display is tested using a probe assembly having a probe block, and the probe block of the probe assembly is a needle type, a blade type, a film type, or the like. As it is developed and used in various forms.

이중에서 니들형의 프로브 블록은 니들형의 프로브들을 고정하는데 에폭시 수지를 사용하기 때문에, 프로브들이 에폭시 수지의 변형에 의하여 틀어지는 문제를 갖고 있다. 특히, 니들형의 프로브 블록은 프로브들의 외경 축소의 한계가 있고, 따라서 프로브 홀더의 한정된 장착면에 길이방향으로 필요로 하는 수만큼의 프로브들을 일렬로 배열시키기가 도저히 불가능한 폐단이 있어 최근패턴의 고집적화 추세에 적절히 대응하지 못하고 있다. Of these, since the needle-type probe block uses an epoxy resin to fix the needle-type probes, the probes have a problem of being distorted by deformation of the epoxy resin. In particular, the needle-type probe block has a limitation of reducing the outer diameter of the probes, and thus, there is a closed end where it is hardly possible to arrange as many probes as needed in the longitudinal direction on the limited mounting surface of the probe holder. It is not responding properly to the trend.

이를 해결하기 위해서 블레이드형의 프로브 블록이 제안되었으나, 블레이드형의 프로브 블록은 외부로 노출되는 부분이 많아서 신호 전달에 불안전성을 갖고 있을 뿐만 아니라, 프로브들(블레이드형)을 고정하기 위한 별도의 고정구조물이 필요했기 때문에, 조립 작업이 어렵고 힘든 단점이 있으며 그로 인해 조립작업 시간이 지연되고 생산성이 떨어지는 문제점까지 발생되고 있다. 특히, 블레이드형의 프로브 블록은 프로브들이 고정구조물에 의해 프로브 홀더에 고정되기 때문에, 고정구조물을 제거해야만 프로브를 교체할 수 있어 유지 보수성이 낮다는 단점이 있다.In order to solve this problem, a blade-type probe block has been proposed, but the blade-type probe block has a large portion exposed to the outside and thus has instability in signal transmission, and a separate fixing structure for fixing the probes (blade type). Since this was necessary, the assembly work is difficult and difficult disadvantages, which causes delays in assembly work time and productivity problems. In particular, the blade type probe block is fixed to the probe holder by the fixing structure, so that the probe can be replaced only by removing the fixing structure.

본 발명의 목적은 조립 과정이 단순한 새로운 형태의 프로브 블록 및 프로브 어셈블리를 제공하는데 있다. It is an object of the present invention to provide a novel type of probe block and probe assembly with a simple assembly process.

본 발명의 다른 목적은 프로브의 교체가 용이한 새로운 형태의 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 블록 및 프로브 어셈블리를 제공하는데 있다. Another object of the present invention is to provide a probe block and a probe assembly for inspecting a display panel of a new type that can be easily replaced.

본 발명의 또 다른 목적은 자체 탄성을 이용하여 가이드 블록에 고정 가능한 프로브가 구비된 프로브 블록 및 프로브 어셈블리를 제공하는데 있다.Still another object of the present invention is to provide a probe block and a probe assembly having a probe that can be fixed to a guide block using its elasticity.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 평판 디스플레이 검사를 위한 프로브 블록은 프로브들과, 상면과 저면에 상기 프로브들이 삽입되는 슬롯들을 갖는 가이드블록을 포함하되 상기 프로브는 상기 가이드블록의 저면에 형성된 슬롯에 끼워져 고정되는 그리고 피검사체의 패턴과 접촉되는 제1접촉단을 갖는 제1탄성빔부, 상기 가이드블록의 상면에 형성된 슬롯에 끼워져 고정되는 제2탄성빔부, 그리고 상기 제1탄성빔부와 제2탄성빔부를 연결하는 연결빔부를 포함한다. Probe block for inspecting a flat panel display of the present invention for achieving the above object includes a guide block having a probe, and a slot into which the probe is inserted into the top and bottom surfaces, the probe is a slot formed on the bottom of the guide block A first elastic beam portion having a first contact end inserted into and fixed to the pattern of the object under test, a second elastic beam portion inserted into and fixed to a slot formed on the upper surface of the guide block, and the first elastic beam portion and the second elasticity It includes a connecting beam portion for connecting the beam portion.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 프로브는 제1탄성빔부와 제2탄성빔부에 형성되는 걸림후크를 더 포함하고, 상기 베이스블록은 저면과 상면에 형성되는 그리고 상기 걸림후크가 걸려 결합되는 걸림홈을 더 포함할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the probe further includes a hook hook formed on the first elastic beam part and the second elastic beam part, and the base block is formed on the bottom and top surfaces of the hook groove and is engaged with the hook hook. It may further include.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 평판 디스플레이 검사를 위한 프로브 블록은 상면과 하면에 일정한 폭으로 슬롯들이 형성된 가이드 블록과 상기 가이드 블록의 하면에 형성된 슬롯에 끼워져 고정되는 그리고 피검사체의 패턴과 접촉되는 제1접촉단을 갖는 제1탄성빔부, 상기 제1탄성빔부의 일단으로부터 절곡되어 연장되는(절곡 형성되는) 연결빔부, 상기 제1탄성빔부와 나란한 방향으로 상기 연결빔부로부터 절곡되어 연장되는 그리고 상기 가이드 블록의 상면에 형성된 슬롯에 끼워져 고정되는 제2탄성빔부를 갖는 프로브들을 포함할 수 있다. The probe block for inspecting the flat panel display of the present invention for achieving the above object is inserted into and fixed to the guide block and the slot formed on the lower surface of the guide block and the guide block formed with a predetermined width on the upper and lower surfaces, and contact with the pattern of the subject A first elastic beam portion having a first contact end, a connecting beam portion bent and extending from one end of the first elastic beam portion, bent from the connecting beam portion in a direction parallel to the first elastic beam portion, and It may include a probe having a second elastic beam portion is inserted into a slot formed on the upper surface of the guide block.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 가이드블록은 상기 상면과 상기 하면에 각각 상기 슬롯들을 가로지르는 방향으로 형성된 걸림홈을 더 포함하고, 상기 프로브는 상기 제1탄성빔부와 제2탄성빔부가 각각 상기 가이드 블록의 하면과 상면에 형성된 걸림홈에 끼워져 고정되도록 상기 제1탄성빔부와 제2탄성빔부에 형성되는 걸림후크를 더 포함할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the guide block further includes a locking groove formed in a direction crossing the slots on the upper surface and the lower surface, respectively, and the probe is the first elastic beam portion and the second elastic beam portion respectively; It may further include a hook hook formed on the first elastic beam portion and the second elastic beam portion to be fixed to the locking groove formed on the lower surface and the upper surface of the guide block.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 프로브는 상기 연결빔부로부터 상기 제2탄성빔부와 반대방향으로 절곡되어 형성되는 그리고 상기 피검사체의 패턴으로 제공될 전기적 신호를 전달받기 위해 회로기판의 패턴과 접촉되는 제2접촉단을 갖는 제3탄성빔부를 더 포함할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the probe is bent from the connecting beam part in a direction opposite to the second elastic beam part and contacted with a pattern of a circuit board to receive an electrical signal to be provided in a pattern of the object under test. It may further include a third elastic beam portion having a second contact end.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 프로브는 상기 피검사체의 패턴으로 제공될 전기적 신호를 전달받기 위해 회로기판의 패턴과 접촉되는 제2접촉단을 더 포함하되, 상기 제2접촉단은 상기 제2탄성빔부에 형성될 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the probe further includes a second contact end in contact with the pattern of the circuit board to receive the electrical signal to be provided in the pattern of the test subject, the second contact end is the second It may be formed in the elastic beam portion.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 프로브들은 상기 슬롯들 중 짝수열에 끼워지는 제1그룹의 프로브들과, 상기 슬롯들 중 홀수열에 끼워지는 제2그룹의 프로브들로 구분되되, 상기 제1그룹의 프로브들은 상기 가이드 블록의 일측방향으로부터 삽입되어 상기 가이드 블록에 고정되고, 상기 제2그룹의 프로브들은 상기 가이드 블록의 타측방향으로부터 삽입되어 상기 가이드 블록에 고정될 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the probes may be classified into a first group of probes inserted into an even row of the slots, and a second group of probes inserted into an odd row of the slots. Probes may be inserted from one direction of the guide block and fixed to the guide block, and the second group of probes may be inserted from the other direction of the guide block and fixed to the guide block.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 프로브들은 짝수열의 제1그룹과 홀수열의 제2그룹으로 구분되고, 상기 가이드 블록은 상기 제1그룹의 프로브들이 일측방향으 로부터 삽입되어 고정되는 제1장착부와, 상기 제2그룹의 프로브들이 타측방향으로부터 삽입되어 고정되는 제2장착부로 이루어질 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the probes are divided into a first group of even rows and a second group of odd rows, and the guide block may include a first mounting part in which the probes of the first group are inserted and fixed from one side direction; The second group of probes may be formed as a second mounting part which is inserted and fixed from the other direction.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 가이드 블록은 짝수열의 프로브들이 일측방향으로부터 삽입되어 고정되는 제1장착부와, 홀수열의 프로브들이 타측방향으로부터 삽입되어 고정되는 제2장착부로 이루어지며, 상기 제1장착부와 상기 제2장착부에는 상기 폭의 2배 간격으로 슬롯들이 형성될 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the guide block includes a first mounting portion in which even-numbered probes are inserted and fixed from one direction, and a second mounting portion in which odd-numbered probes are inserted and fixed from the other direction. Slots may be formed in the second mounting part at intervals twice the width.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 평판 디스플레이 검사를 위한 프로브 어셈블리는 검사 장비의 프로브 아암부에 결합되는 고정 플레이트 상기 고정 플레이트의 저면 일측에 결합되는 프로브 홀더 상기 프로브 홀더의 저면에 장착되는 가이드 블록 상기 가이드 블록의 상면과 저면에 삽입되어 탄력적으로 고정되는 제1탄성빔부와 제2탄성빔부를 갖는 프로브들 상기 고정 플레이트의 저면 타측에 결합되는 기판 홀더 및 상기 기판 홀더의 저면에 장착되는 그리고 상기 프로브들로 피검사체로 제공될 전기적 신호를 제공하는 회로기판을 포함할 수 있다. Probe assembly for inspection of the flat panel display of the present invention for achieving the above object is a fixing plate coupled to the probe arm portion of the inspection equipment probe holder coupled to one side of the bottom of the fixing plate guide block mounted to the bottom surface of the probe holder Probes having a first elastic beam portion and a second elastic beam portion inserted into the upper surface and the bottom surface of the guide block elastically fixed to the substrate holder coupled to the other side of the bottom of the fixing plate and mounted on the bottom surface of the substrate holder and the probe The circuit board may include a circuit board that provides an electrical signal to be provided to the object under test.

본 발명의 실시예에 따르면,상기 가이드 블록은 저면과 상면에 상기 프로브의 제1탄성빔부가 끼워져 고정되는 슬롯들과 상기 프로브의 제2탄성빔부가 끼워져 고정되는 슬롯들이 형성될 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the guide block may have slots in which the first elastic beam part of the probe is inserted and fixed and the slots in which the second elastic beam part of the probe is fitted.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 프로브는 상기 제1탄성빔부와 상기 제2탄성빔부를 탄력적으로 연결하는 연결빔부를 더 포함할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the probe may further include a connecting beam part for elastically connecting the first elastic beam part and the second elastic beam part.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 프로브는 상기 연결빔부로부터 상기 제2탄성빔부와는 반대방향으로 절곡되어 형성되는 제3탄성빔부를 더 포함할 수 있다. According to the exemplary embodiment of the present invention, the probe may further include a third elastic beam part which is bent from the connecting beam part in a direction opposite to the second elastic beam part.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 프로브는 피검사체의 패턴과 접촉되는 제1접촉단과, 상기 피검사체의 패턴으로 제공될 전기적 신호를 전달받기 위해 회로기판의 패턴과 접촉되는 제2접촉단을 갖되 상기 프로브의 제1접촉단은 제1탄성빔부의 끝단부에 위치되고, 상기 프로브의 제2접촉단은 제3탄성빔부의 끝단부에 위치될 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the probe has a first contact end in contact with the pattern of the inspected object and a second contact end in contact with the pattern of the circuit board to receive an electrical signal to be provided in the pattern of the inspected object. The first contact end of the probe may be located at the end of the first elastic beam part, and the second contact end of the probe may be located at the end of the third elastic beam part.

예컨대, 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어지는 것으로 해석되어져서는 안 된다.본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다.따라서, 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다. For example, the embodiments of the present invention may be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited by the embodiments described below. It is provided to those skilled in the art to more fully describe the present invention. Thus, the shape of the elements in the drawings and the like are exaggerated to emphasize a more clear description.

본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 1 내지 도 14에 의거하여 상세히 설명한다.또, 상기 도면들에서 동일한 기능을 수행하는 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 번호를 병기한다.Exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, FIGS. 1 to 14. In addition, like reference numerals denote like elements that perform the same functions in the above drawings.

본 발명의 기본적인 의도는 프로브(150)들과 가이드 블록(132)의 고정을 보다 용이하게 하기 위한 것으로, 이를 달성하기 위하여 본 발명의 프로브 어셈블리(100)는 자체 탄성을 이용하여 가이드 블록(132)에 고정될 수 있도록 하는 구조를 갖는 프로브(150)를 갖는데 그 특징이 있다. The basic intention of the present invention is to facilitate the fixing of the probes 150 and the guide block 132, in order to achieve this, the probe assembly 100 of the present invention uses a guide block 132 using its own elasticity It is characterized by having a probe 150 having a structure that can be fixed to.

일반적으로, 디스플레이 패널 검사를 위한 장치는 다수개의 프로브 어셈블리(100)들이 베이스 플레이트(미도시됨)상에 고정 배치되어 디스플레이 패널(이하 LCD 패널)을 검사하게 된다.In general, the apparatus for inspecting the display panel is a plurality of probe assembly 100 is fixedly placed on the base plate (not shown) to inspect the display panel (hereinafter LCD panel).

도 1 내지 도 3b를 참조하면, 본 발명의 프로브 어셈블리(100)는 베이스 플레이트(미도시됨)에 고정 배치되는 아암(102)과, 아암(102)의 선단에 고정볼트에 의해 서로 체결되는 헤드(104)를 포함하며, 이 헤드(104)는 LCD 패널 검사 과정에서 상하로 유동이 발생할 수 있도록 헤드(104)와 아암(102) 사이에는 리니어 가이드(106)가 설치된다. 헤드(104)의 저면에는 고정 플레이트(110)가 착탈 가능하게 결합되는데, 이 고정플레이트(110)에는 프로브 블록(130)과, 기판 홀더(120)가 설치된다. 1 to 3B, the probe assembly 100 of the present invention includes an arm 102 fixed to a base plate (not shown) and a head fastened to each other by a fixing bolt at the tip of the arm 102. The head 104 is provided with a linear guide 106 between the head 104 and the arm 102 so that the flow up and down during the LCD panel inspection process. The fixing plate 110 is detachably coupled to the bottom of the head 104, and the fixing plate 110 is provided with a probe block 130 and a substrate holder 120.

도 4 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 프로브 어셈블리(100)에서 가장 중요한 구성요소인 프로브 블록(130)은 가이드 블록(132)과 이 가이드 블록(132)에 클립(clip)방식으로 탈부착되는 다수의 프로브(150)들을 포함한다. As shown in FIGS. 4 to 7, the probe block 130, which is the most important component of the probe assembly 100, includes a guide block 132 and a plurality of clips detachably attached to the guide block 132. Of probes 150.

프로브(150)는 가이드 블록(132)에 결합될 때 제1,2탄성빔부(152,156)가 약간 벌어지면서 슬롯(136)에 끼워지게 되고, 끼워진 후에는 탄성력에 의해 가이드 블록(132)에 고정된다. 프로브(150)의 제1탄성빔부(152)와 제2탄성빔부(156)는 가이드 블록(132)의 상면과 저면에 억지 끼워 맞춤으로 고정되는 것이다.When the probe 150 is coupled to the guide block 132, the first and second elastic beam parts 152 and 156 may be slightly inserted into the slot 136, and after the probe 150 is inserted into the guide block 132, the probe 150 may be fixed to the guide block 132 by an elastic force. . The first elastic beam part 152 and the second elastic beam part 156 of the probe 150 are fixed to the top and bottom surfaces of the guide block 132 by interference fit.

도 6 및 도 8을 참조하면, 프로브(150)는 얇은 도전성 금속판으로 이루어지는 블레이드 타입으로, 가이드 블록(132)에 탄력적으로 끼워져 결합될 수 있는 구조적인 특징을 갖는다. 6 and 8, the probe 150 is a blade type made of a thin conductive metal plate, and has a structural feature that may be elastically fitted and coupled to the guide block 132.

프로브(150)의 구조적인 특징을 좀더 자세히 살펴보면, 프로브(150)는 가이드 블록(132)의 저면에 형성된 슬롯(136)에 끼워져 고정되는 제1탄성빔부(152)를 갖는다. 프로브(150)의 제1탄성빔부(152)는 가이드 블록(132)의 슬롯(136)속에 은 폐되기 때문에 별도의 절연이 필요 없을 뿐만 아니라 안정적인 신호 전달이 가능한 각별한 효과를 갖는다. 제1탄성빔부(152)는 가이드 블록(132)의 저면쪽으로 향해 돌출된 걸림후크(152a)와, 제1탄성빔부(152)의 끝단에 하향 절곡되어 가이드 블록(132)의 슬롯(136)으로부터 노출되는 제1접촉단(152b)을 갖는다. 이 제1접촉단(152b)은 피검사체인 LCD 패널(10)의 패턴에 접촉되는 부분이며, 걸림후크(152a)는 가이드 블록(132)의 저면에 형성된 걸림홈(134)에 걸리는 부분이다. 도 3a 및 도3b에 도시된 바와 같이, 제1접촉단(152b)은 LCD 패널(10)의 패턴과 접촉될 때 슬롯(136) 속에서 안정적인 업-다운(휘어짐)이 가능한 것을 확인할 수 있다. Looking at the structural features of the probe 150 in more detail, the probe 150 has a first elastic beam portion 152 is fitted into the slot 136 formed on the bottom surface of the guide block 132 is fixed. Since the first elastic beam part 152 of the probe 150 is concealed in the slot 136 of the guide block 132, there is no need for separate insulation and has a special effect that enables stable signal transmission. The first elastic beam portion 152 is bent toward the bottom of the guide block 132, the hook hook 152a, and bent downward at the end of the first elastic beam portion 152, from the slot 136 of the guide block 132 The first contact end 152b is exposed. The first contact end 152b is a part which is in contact with the pattern of the LCD panel 10 as the object to be inspected, and the hook hook 152a is a part which is caught by the locking groove 134 formed at the bottom of the guide block 132. As shown in FIGS. 3A and 3B, it can be seen that the first contact end 152b is capable of stable up-down (bending) in the slot 136 when contacted with the pattern of the LCD panel 10.

프로브(150)는 제1탄성빔부(152)의 일단으로부터 절곡되어 형성된 연결빔부(154)와 연결빔부(154)의 끝단으로부터 절곡되어 형성되는 제2탄성빔부(156)와 제3탄성빔부(158)를 갖는다. 제2탄성빔부(156)는 제1탄성빔부(152)와 나란한 방향으로 형성되며, 가이드 블록(132)의 상면에 형성된 슬롯(136)에 끼워져 고정된다. 제2탄성빔부(156) 역시 제1탄성빔부(152)와 마찬가지로 걸림후크(156a)를 갖고 있는데, 제2탄성빔부(156)는 제1탄성빔부(152)보다는 길이가 짧은 것이 특징이다.제3탄성빔부(159)는 제2탄성빔부(156)와는 반대 방향으로 연결빔부(134)에 절곡되어 형성되는데, 제3탄성빔부(158)에는 상향 절곡된 제2접촉단(158a)을 갖는다. 제2접촉단(158a)은 LCD 패널(10)의 패턴으로 제공될 전기적 신호를 전달받기 위해 회로기판(122)의 패턴과 접촉되는 부분이다. 여기서, 회로기판(122)은 검사장치의 테스트 신호를 받아서 LCD 패널(10)로 보내주기 위한 것으로, 이 회로기판(122)은 LCD 패널(10)에 부착되는 구동 IC와 동일한 구동 IC(124)를 갖는다.회로기판(122)은 기판 홀더(120) 저면에 설치되며 일단은 가이드 블록(132)과 프로브 홀더(140) 사이에 삽입된다. 한편, 기판 홀더(120)에는 구동IC(124)가 위치되는 홈(120a)이 형성되어 있다. 이러한 회로기판(122)은 플렉시블 기판을 사용하는 것이 바람직하다. The probe 150 may include a connecting beam part 154 formed by bending from one end of the first elastic beam part 152 and a second elastic beam part 156 and a third elastic beam part 158 formed by being bent from an end of the connecting beam part 154. Has The second elastic beam part 156 is formed in a direction parallel to the first elastic beam part 152 and is inserted into and fixed to the slot 136 formed on the upper surface of the guide block 132. Like the first elastic beam unit 152, the second elastic beam unit 156 also has a hook hook 156a, and the second elastic beam unit 156 is shorter in length than the first elastic beam unit 152. The third elastic beam part 159 is bent to the connection beam part 134 in a direction opposite to the second elastic beam part 156, and the third elastic beam part 158 has a second contact end 158a bent upwardly. The second contact end 158a is a part in contact with the pattern of the circuit board 122 to receive an electrical signal to be provided in the pattern of the LCD panel 10. Here, the circuit board 122 is for receiving a test signal from the inspection apparatus and sending the test signal to the LCD panel 10. The circuit board 122 is the same driving IC 124 as the driving IC attached to the LCD panel 10. The circuit board 122 is installed on the bottom surface of the substrate holder 120, and one end of the circuit board 122 is inserted between the guide block 132 and the probe holder 140. On the other hand, the substrate holder 120 is formed with a groove 120a in which the driving IC 124 is located. The circuit board 122 preferably uses a flexible substrate.

프로브(150)는 제1탄성빔부(152)와 제2탄성빔부(156)가 가이드 블록(132)의 저면과 상면의 슬롯(136)에 삽입되면서 프로브(150)들 간의 간격이 유지되게 되고, 제1탄성빔부(152)와 제2탄성빔부(156)의 걸림후크(152a,156a)가 가이드 블록(132)의 걸림홈(134)에 끼워지면서 프로브(150)가 가이드 블록(132)으로부터 빠지지 않도록 잡아주게 된다. Probe 150 is the first elastic beam portion 152 and the second elastic beam portion 156 is inserted into the slot 136 of the bottom and top of the guide block 132, the gap between the probes 150 is maintained, The locking hooks 152a and 156a of the first elastic beam part 152 and the second elastic beam part 156 are fitted into the locking grooves 134 of the guide block 132 so that the probe 150 is removed from the guide block 132. I will hold it.

가이드 블록(132)은 세라믹 재질의 소정길이를 갖는 사각 블록으로, 상면과 저면에는 수개의 슬롯(136)들이 일정간격으로 형성되어 있어 프로브(150)들이 일정한 간격으로 정렬되며, 슬롯(136)들을 가로질러 걸림홈(134)이 형성되어 있어 프로브(150)의 걸림후크(152a,156a)가 끼워지면서 고정이 된다.가이드 블록(132)은 상면에 프로브 홀더(140)와의 결합을 위한 2개의 고정핀(139)을 갖는다. 가이드 블록(132)과 프로브 홀더(140)의 결합은 측면에 형성된 나사홀(142;도 5에 도시됨)들에 나사 결합되는 측면 고정판(144)들에 의해 이루어진다. The guide block 132 is a rectangular block having a predetermined length of ceramic material. The slots 136 are formed at regular intervals on the top and bottom surfaces thereof, so that the probes 150 are aligned at regular intervals. The locking grooves 134 are formed across the locking grooves 152a and 156a of the probe 150 to be fixed. The guide block 132 has two fixing members for coupling with the probe holder 140 on an upper surface thereof. Has a pin 139. The coupling of the guide block 132 and the probe holder 140 is made by side fixing plates 144 that are screwed into the screw holes 142 (shown in FIG. 5) formed on the side.

프로브 블록(130)이 결합된 프로브 홀더(140)는 고정 플레이트(110)의 저면 일측에 나사 결합되며, 그 옆으로는 기판 홀더(120)가 고정 플레이트(110)에 결합된다.The probe holder 140 to which the probe block 130 is coupled is screwed to one side of the bottom surface of the fixing plate 110, and the substrate holder 120 is coupled to the fixing plate 110 beside the probe holder 130.

상술한 바와 같이, 본 발명의 프로브 어셈블리(100)는 프로브(150)가 가이드 블록(132)에 고정되는 구조 방식 자체가 프로브(150)의 자체 탄성력을 이용하기 때 문에 별도의 프로브(150) 고정을 위한 부품이 필요치 않다는데 그 특징이 있다.특히, 프로브(150)는 제1접촉단(152b)과 제2접촉단(158a) 사이 길이를 짧게 구현할 수 있고, 단순한 형상이기 때문에 신호 전달과정에서의 누설 전류를 최소화할 수 있다.그리고, 프로브 블록(130)은 가이드 블록(132)에서 프로브(150)의 분리 교체가 선택적으로 가능하기 때문에 프로브(150)의 교체 작업이 용이할 수 있다. As described above, the probe assembly 100 of the present invention is a separate probe 150 because the probe 150 is fixed to the guide block 132 itself using the elastic force of the probe 150. In particular, the probe 150 can shorten the length between the first contact end 152b and the second contact end 158a and has a simple shape. In addition, since the probe block 130 may selectively remove and replace the probe 150 in the guide block 132, the probe 150 may be easily replaced.

(프로브 어셈블리의 다른 실시예) (Other Embodiments of Probe Assembly)

도 9 내지 도 14는 프로브 어셈블리의 다른 실시예를 보여주는 도면들이다. 9-14 illustrate another embodiment of a probe assembly.

도 9 내지 도 10을 참조하면, 프로브 어셈블리(100')는 앞에서 설명한 첫 번째 실시예에 따른 프로브 어셈블리(100)와 동일한 구성과 기능을 갖는 아암(102), 헤드(104), 리니어 가이드(106), 고정 플레이트(110), 프로브 블록(130'), 기판 홀더(120) 등을 포함하여, 이들에 대한 설명은 첫 번째 실시예에서 상세하게 설명하였기에 본 실시예에서는 생략하기로 한다.다만, 본 실시예에서는 첫 번째 실시예의 프로브(150)보다 단순한 형상의 프로브(150')과, 프로브(150')들이 좌우에 서로 교대로 배열되어 설치되는 가이드 블록(132')을 갖는데 그 특징이 있다. 9 to 10, the probe assembly 100 ′ has an arm 102, a head 104, and a linear guide 106 having the same configuration and function as the probe assembly 100 according to the first embodiment described above. ), Including the fixing plate 110, the probe block 130 ′, the substrate holder 120, and the like, are described in detail in the first embodiment, and thus will be omitted in the present embodiment. In the present embodiment, a probe 150 'having a simpler shape than the probe 150 of the first embodiment and a guide block 132' having the probes 150 'arranged alternately on the left and right are characterized by their characteristics. .

도 12 및 도 14에 도시된 바와 같이, 프로브(150')는 제2접촉단(156b)이 제2탄성빔부(156)의 끝단부에 형성된 것이 특징이다.이처럼, 제2접촉단(156b)이 제2탄성빔부(156)의 끝단부에 형성된 프로브(150')를 적용하는 경우에는 회로기판(122)과 기판 홀더(120)의 위치가 다소 변경될 수 있다. 즉, 회로기판(122)은 가이드 블록(132')과 프로브 홀더(140) 사이에 배치되고, 그 회로기판(122) 위에 기판 홀더 (120)가 배치되며, 그 기판 홀더(120) 위에 프로브 홀더(140)가 배치되게 된다. 12 and 14, the probe 150 ′ is characterized in that the second contact end 156b is formed at the end of the second elastic beam part 156. As such, the second contact end 156b is used. When the probe 150 ′ formed at the end of the second elastic beam part 156 is applied, the positions of the circuit board 122 and the substrate holder 120 may be slightly changed. That is, the circuit board 122 is disposed between the guide block 132 ′ and the probe holder 140, and the substrate holder 120 is disposed on the circuit board 122, and the probe holder is placed on the substrate holder 120. 140 is arranged.

도 11 내지 도 13을 참조하면, 프로브(150')들은 가이드 블록(132')의 좌우 방향에서 서로 교대로 배열되어 설치된다. 이를 위해 가이드 블록(132')은 상면과 저면에 슬롯(136)들이 서로 교대로 배열되어 형성된다. 즉, 가이드 블록(132')은 제1그룹의 프로브들(150')이 삽입되는 짝수열의 슬롯들을 갖는 제1장착부(132a)와, 제2그룹의 프로브들(150')이 삽입되는 홀수열의 슬롯들을 갖는 제2장착부(132b)로 구분되며, 제1장착부(132a)와 제2장착부(132b)를 이루는 가이드 블록(132')의 상면과 저면에는 프로브(150')의 걸림후크(152a,156a)가 결합되는 걸림홈(134)이 형성되어 있다. 11 to 13, the probes 150 ′ are alternately arranged in the left and right directions of the guide block 132 ′. To this end, the guide block 132 ′ is formed by alternately arranging slots 136 on the top and bottom surfaces thereof. That is, the guide block 132 ′ may include a first mounting portion 132 a having an even number of slots into which the first group of probes 150 ′ are inserted, and an odd number of rows in which the second group of probes 150 ′ are inserted. It is divided into a second mounting portion 132b having slots, and a hook hook 152a of the probe 150 'is formed on the top and bottom surfaces of the guide block 132' forming the first mounting portion 132a and the second mounting portion 132b. A locking groove 134 is formed to which the 156a is coupled.

그리고, 프로브(150')들이 제1장착부(132a)의 슬롯(136)들과 제2장착부(132b)의 슬롯(136)들에 서로 교대로 배열되어 삽입됨으로써 서로 이웃하는 프로브(150')들의 제1접촉단(152b)측 피치(L1)가 첫 번째 실시예보다 좁게 형성할 수 있는 것이다. 여기서, 제1그룹의 프로브(150')들과 제2그룹의 프로브(150')들은 서로 반대 방향에서 가이드 블록(132')의 제1장착부(132a)와 제2장착부(132b)에 끼워져 고정되더라도, LCD 패널(도 10에 표시됨 10)의 패턴과 접촉되는 제1접촉단(152b)들과 회로기판(122)의 패턴들과 접촉되는 제2접촉단(156b)의 위치는 거의 동일선상에 위치되는 것이 바람직하다. Further, the probes 150 'are alternately arranged and inserted into the slots 136 of the first mounting portion 132a and the slots 136 of the second mounting portion 132b so that the probes 150' are adjacent to each other. The pitch L1 of the first contact end 152b may be narrower than that of the first embodiment. Here, the first group of probes 150 ′ and the second group of probes 150 ′ are fixed to the first mounting portion 132a and the second mounting portion 132b of the guide block 132 ′ in opposite directions. However, the positions of the first contact ends 152b in contact with the pattern of the LCD panel (shown in FIG. 10) and the second contact ends 156b in contact with the patterns of the circuit board 122 are almost on the same line. It is preferred to be located.

보다 자세히 설명하자면, 본 발명의 가이드 블록(132')은 양측에 일정한 폭(L)으로 슬롯(136)들이 각각 형성되되 가이드 블록(132')의 내측으로 슬롯(136)의 양 끝단부가 서로 교대로 배열되어 형성된다. 그리고, 프로브(150')들은 가이드 블 록(132')의 일측에 형성된 슬롯(136)들에 제 1 그룹의 프로브(150')들이 결합됨과 아울러 가이드 블록(132') 타측에 형성된 슬롯(136)들에 제 2 그룹의 프로브(150')들이 결합되어 상기 가이드 블록(132')의 양측의 슬롯(136)들에 결합되는 제 1, 2프로브(150')들의 제 1 접촉단(152b)들이 서로 엇갈려 위치된다. More specifically, in the guide block 132 ′ of the present invention, slots 136 are formed on both sides with a constant width L, respectively, and both ends of the slots 136 alternate with each other inside the guide block 132 ′. Are arranged to form. In addition, the probes 150 'are coupled to the slots 136 formed on one side of the guide block 132' and the first group of probes 150 'coupled to the slots 136 formed on the other side of the guide block 132'. The first contact end 152b of the first and second probes 150 'coupled to the slots 136 on both sides of the guide block 132' are coupled to the second group of probes 150 '. Are staggered with each other.

따라서, 프로브 블록(130')의 외측에 형성할 슬롯(136)의 간격(L)이 제 1 실시예와 동일한 폭으로 가공되어 제작하는데 큰 어려움이 없고, 양측 슬롯(136)들에 결합되는 제 1 및 2 그룹의 프로브(150')들의 제 1 접촉단(152b)이 엇갈려 위치되므로 이웃하는 제 1 접촉단(152b)의 간격(L1)이 슬롯(136)의 간격(L)에 대하여 반으로 줄일 수 있어 조밀한 간격을 갖는 lcd 패널(10)의 패턴에 대응이 가능하다.Therefore, the gap L of the slot 136 to be formed outside the probe block 130 'is processed to the same width as in the first embodiment, and there is no great difficulty in manufacturing. Since the first contact ends 152b of the first and second groups of probes 150 ′ are staggered, the spacing L1 of the neighboring first contact ends 152b is halved with the spacing L of the slot 136. Since it can be reduced, it is possible to cope with the pattern of the LCD panel 10 having a compact spacing.

한편, 본 발명은 상기의 구성으로 이루어진 프로브 어셈블리에 있어 다양하게 변형될 수 있고 여러 가지 형태를 취할 수 있다. 하지만, 본 발명은 상기의 상세한 설명에서 언급되는 특별한 형태로 한정되는 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 오히려 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. On the other hand, the present invention can be variously modified and take various forms in the probe assembly consisting of the above configuration. It is to be understood, however, that the present invention is not limited to the specific forms referred to in the above description, but rather includes all modifications, equivalents and substitutions within the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. It should be understood to do.

상술한 바와 같이, 본 발명의 프로브 어셈블리는 프로브의 자체 탄성력을 이용하기 때문에 가이드 블록에 프로브들을 장착하는 조립성이 뛰어나다.As described above, the probe assembly of the present invention utilizes the self-elastic force of the probe, so that the probe assembly is excellent in assembling the probes to the guide block.

또한, 발명의 프로브 어셈블리는 프로브를 통한 신호 전달 효율을 증대시키게 되어 신호 전달 과정에서의 누설 전류를 최소화함으로써 디스플레이 패널 검사에 대한 신뢰성을 향상시킬 수 있다.In addition, the probe assembly of the present invention can increase the signal transmission efficiency through the probe to minimize the leakage current in the signal transmission process can improve the reliability of the display panel inspection.

또한, 발명의 프로브 어셈블리는 가이드 블록에서 프로브의 분리 교체가 선택적으로 가능하여 교체 작업 등이 용이하다. In addition, the probe assembly of the present invention can easily replace the replacement of the probe in the guide block, it is easy to replace.

그리고, 발명의 프로브 어셈블리는 프로브 블록의 양측 슬롯에 각각 결합되는 프로브들의 제 1 접촉단이 엇갈려 위치되어 이웃하는 제 1 접촉단의 거리가 상기 슬롯의 간격에 대하여 반으로 줄일 수 있어 파인피치에 대응이 가능하다.In addition, the probe assembly of the invention corresponds to the fine pitch since the first contact ends of the probes respectively coupled to the slots on both sides of the probe block are alternately positioned so that the distance between neighboring first contact ends can be reduced by half with respect to the spacing of the slots. This is possible.

Claims (12)

평판 디스플레이 검사를 위한 프로브 블록에 있어서: Probe block for flat panel display inspection: 상면과 하면에 일정한 폭으로 슬롯들이 형성된 가이드 블록과;A guide block having slots formed on the upper and lower surfaces with a predetermined width; 상기 가이드 블록의 측면에 위치되며 연결빔부, 상기 연결빔부의 일단으로부터 절곡되어 연장되며 상기 가이드 블록의 하면에 형성된 슬롯에 끼워져 밀착 고정되는 그리고 피검사체의 패턴과 접촉되는 제1접촉단을 갖는 제1탄성빔부, 상기 탄성빔부와 나란한 방향으로 상기 연결빔부의 타단으로부터 절곡되어 연장되며 상기 가이드 블록의 상면에 형성된 슬롯에 끼워져 밀착 고정되는 제 2 탄성빔부를 갖는 프로브들을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 블록.A first contact end positioned at a side surface of the guide block and having a first contact end bent from and extending from one end of the connection beam part and fitted into a slot formed on a lower surface of the guide block to be tightly contacted and in contact with a pattern of an object under test; And a probe having an elastic beam part and a second elastic beam part which is bent and extended from the other end of the connection beam part in a direction parallel to the elastic beam part and fitted into a slot formed on an upper surface of the guide block. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 가이드블록은 상기 상면과 상기 하면에 각각 상기 슬롯들을 가로지르는 방향으로 형성된 걸림홈을 더 포함하고, The guide block further comprises a locking groove formed in a direction crossing the slots on the upper surface and the lower surface, respectively, 상기 프로브는 상기 제 1탄성빔부와 제2탄성빔부가 각각 상기 가이드 블록의 하면과 상면에 형성된 걸림홈에 끼워져 고정되도록 상기 제1탄성빔부와 제2탄성빔부에 형성되는 걸림후크를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 블록. The probe may further include a hook formed in the first elastic beam part and the second elastic beam part such that the first elastic beam part and the second elastic beam part are fitted into and secured to the locking grooves formed on the lower surface and the upper surface of the guide block, respectively. Probe block characterized in that. 제1항 또는 제2항에 있어서, The method according to claim 1 or 2, 상기 프로브는 The probe is 상기 연결빔부로부터 상기 제2탄성빔부와 반대방향으로 절곡되어 형성되되 상기 피검사체의 패턴으로 제공될 전기적 신호를 전달받기 위해 회로기판의 패턴과 접촉되는 제2접촉단을 갖는 제3탄성빔부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 블록. A third elastic beam part bent from the connecting beam part in the opposite direction to the second elastic beam part and having a second contact end contacting the pattern of the circuit board to receive an electrical signal to be provided in the pattern of the test object; Probe block comprising a. 제1항 또는 제2항에 있어서, The method according to claim 1 or 2, 상기 프로브는 상기 피검사체의 패턴으로 제공될 전기적 신호를 전달받기 위해 회로기판의 패턴과 접촉되는 제2접촉단을 더 포함하되, The probe further includes a second contact end in contact with the pattern of the circuit board to receive the electrical signal to be provided in the pattern of the test object, 상기 제2접촉단은 상기 제 2 탄성빔부에 형성되는 것을 특징으로 하는 프로브 블록. The second contact end is a probe block, characterized in that formed in the second elastic beam portion. 제1항 또는 제2항에 있어서, The method according to claim 1 or 2, 상기 가이드 블록은 양측에 슬롯들이 각각 구비되되 가이드 블록의 내측으로 상기 슬롯의 양 끝단부가 교대로 배열되어 형성되고, The guide block is provided with slots on both sides, respectively, and both ends of the slot are alternately arranged inside the guide block. 상기 가이드 블록의 일측에 형성된 슬롯들에 제 1 그룹의 프로브들이 결합됨과 아울러 상기 가이드 블록 타측에 형성된 슬롯들에 제 2 그룹의 프로브들이 결합되어 상기 가이드 블록의 양측의 슬롯들에 결합되는 제 1, 2프로브들의 제 1 접촉단들이 서로 엇갈려 위치되는 것을 특징으로 하는 프로브 블록.A first group of probes coupled to slots formed on one side of the guide block, and a second group of probes coupled to slots formed on the other side of the guide block and coupled to slots on both sides of the guide block; And the first contact ends of the two probes are staggered from each other. 평판 디스플레이 검사를 위한 프로브 어셈블리에 있어서: In probe assembly for flat panel display inspection: 검사 장비의 프로브 아암부에 결합되는 고정 플레이트 ;A fixed plate coupled to the probe arm portion of the inspection equipment; 상기 고정 플레이트 하부에 구비되는 가이드 블록; A guide block provided below the fixing plate; 상기 가이드 블록의 측면에 위치되는 연결빔부와, 상기 가이드 블록의 상면과 저면에 탄력적으로 고정되도록 상기 연결빔부 양단으로부터 각각 절곡되어 연장되는 제1탄성빔부와 제2탄성빔부를 갖는 프로브들; 및Probes having a connecting beam part positioned at a side of the guide block, a first elastic beam part and a second elastic beam part bent and extended from both ends of the connecting beam part so as to be elastically fixed to the upper and lower surfaces of the guide block; And 상기 프로브들에 피검사체로 제공될 전기적 신호를 제공하도록 상기 고정 플레이트의 하부에 설치되는 회로기판을 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 어셈블리. And a circuit board installed below the fixing plate to provide the probes with an electrical signal to be provided to the object under test. 제6항에 있어서, The method of claim 6, 상기 고정 플레이트의 하부면과 상기 가이드 블록 상부면 사이에 설치되는 프로브 홀더가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 프로브 어셈블리.And a probe holder provided between the lower surface of the fixing plate and the upper surface of the guide block. 제6항에 있어서The method of claim 6 상기 고정 플레이트의 하부면과 상기 회로기판 상부면 사이에 구비되어 상기 회로기판을 고정하는 기판 홀더가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 프로브 어셈블리.And a substrate holder provided between the lower surface of the fixing plate and the upper surface of the circuit board to fix the circuit board. 제6항에 있어서The method of claim 6 상기 가이드 블록은 저면과 상면에 상기 프로브의 제1탄성빔부가 끼워져 고 정되는 슬롯들과 상기 프로브의 제2탄성빔부가 끼워져 고정되는 슬롯들이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 프로브 어셈블리. The guide block is a probe assembly, characterized in that the bottom surface and the upper surface is formed with slots fixed to the first elastic beam portion of the probe is fixed and the second elastic beam portion of the probe is fitted into the fixed. 삭제delete 제6항에 있어서, The method of claim 6, 상기 프로브는 The probe is 상기 연결빔부로부터 상기 제2탄성빔부와 반대방향으로 절곡되어 형성되는 제 3 탄성빔부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 프로브 어셈블리. And a third elastic beam part bent from the connecting beam part in a direction opposite to the second elastic beam part. 제11항에 있어서, The method of claim 11, 상기 프로브는 피검사체의 패턴과 접촉되는 제1접촉단과, 상기 피검사체의 패턴으로 제공될 전기적 신호를 전달받기 위해 회로기판의 패턴과 접촉되는 제2접촉단을 갖되 The probe has a first contact end in contact with the pattern of the inspected object and a second contact end in contact with the pattern of the circuit board to receive an electrical signal to be provided in the pattern of the inspected object. 상기 프로브의 제 1 접촉단은 제 1 탄성빔부의 끝단부에 위치되고,The first contact end of the probe is located at the end of the first elastic beam portion, 상기 프로브의 제2접촉단은 제 3 탄성빔부의 끝단부에 위치되는 것을 특징으로 하는 프로브 어셈블리.And a second contact end of the probe is positioned at an end of the third elastic beam part.
KR1020050073316A 2005-08-10 2005-08-10 Probe assembly KR100669827B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050073316A KR100669827B1 (en) 2005-08-10 2005-08-10 Probe assembly

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050073316A KR100669827B1 (en) 2005-08-10 2005-08-10 Probe assembly

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR100669827B1 true KR100669827B1 (en) 2007-01-16

Family

ID=38013879

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020050073316A KR100669827B1 (en) 2005-08-10 2005-08-10 Probe assembly

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100669827B1 (en)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100911650B1 (en) 2009-01-05 2009-08-10 (주)에이원메카 Probe unit block and manufacturing method of the same
KR100966285B1 (en) 2009-07-31 2010-06-28 (주)에이원메카 Probe unit block and manufacturing method thereof
KR102265103B1 (en) * 2020-02-07 2021-06-15 (주)위드멤스 Probe block assembly

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06317624A (en) * 1993-05-10 1994-11-15 Hitachi Ltd Connecting device for electrode
JPH07115110A (en) * 1993-08-24 1995-05-02 Nobuaki Suzuki Circuit substrate inspection/testing probe and its mounting structure
KR19980032242A (en) * 1996-10-28 1998-07-25 하세가와 요시에이 Probe Assemblies and Probes
KR20010010503A (en) * 1999-07-21 2001-02-15 이석행 Thin probe unit for testing on wafer
KR200254022Y1 (en) * 2001-08-29 2001-11-23 윤수 Probe card for testing LCD
KR200262944Y1 (en) 2001-11-01 2002-03-18 윤수 Probe card for testing LCD
JP2002365308A (en) * 2001-06-08 2002-12-18 Japan Electronic Materials Corp Vertical blade type probe, vertical blade type probe unit and vertical blade type probe card using the same

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06317624A (en) * 1993-05-10 1994-11-15 Hitachi Ltd Connecting device for electrode
JPH07115110A (en) * 1993-08-24 1995-05-02 Nobuaki Suzuki Circuit substrate inspection/testing probe and its mounting structure
KR19980032242A (en) * 1996-10-28 1998-07-25 하세가와 요시에이 Probe Assemblies and Probes
KR20010010503A (en) * 1999-07-21 2001-02-15 이석행 Thin probe unit for testing on wafer
JP2002365308A (en) * 2001-06-08 2002-12-18 Japan Electronic Materials Corp Vertical blade type probe, vertical blade type probe unit and vertical blade type probe card using the same
KR200254022Y1 (en) * 2001-08-29 2001-11-23 윤수 Probe card for testing LCD
KR200262944Y1 (en) 2001-11-01 2002-03-18 윤수 Probe card for testing LCD

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100911650B1 (en) 2009-01-05 2009-08-10 (주)에이원메카 Probe unit block and manufacturing method of the same
KR100966285B1 (en) 2009-07-31 2010-06-28 (주)에이원메카 Probe unit block and manufacturing method thereof
KR102265103B1 (en) * 2020-02-07 2021-06-15 (주)위드멤스 Probe block assembly

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100600700B1 (en) Probe unit for testing plat display panel
EP2209010A1 (en) Probe card
KR100602154B1 (en) Probe unit for testing flat display panel
KR100684045B1 (en) Probe assembly for a tester of the liquid crystal display
KR100854757B1 (en) The Probe Device and Probe Block for Display Panel Test using the Device
KR100615907B1 (en) Probe unit for testing flat display panel
KR101000418B1 (en) Blade type probe block
JP2021512283A (en) Cantilever probe head and corresponding contact probe
KR100669827B1 (en) Probe assembly
KR20050016101A (en) Probe unit for examination of flat panel display
KR20080090282A (en) Probe assembly
KR100670557B1 (en) Probe assembly
KR101311441B1 (en) probe block
JP2011133354A (en) Contact probe and probe unit
KR200368230Y1 (en) Probe unit for testing liquid crystal display
KR100657768B1 (en) Unit for connecting circuit board and apparatus for testing plat display panel having the unit
KR100600701B1 (en) Probe unit for testing plat display panel
CN1256594C (en) Receiver used in electronic testing equpment of printed circuit board
JP2010160083A (en) Probe assembly
KR100647816B1 (en) Probe unit for testing flat display panel
KR100673286B1 (en) Probe card of semiconductor device test apparatus and porbe block using the probe card
KR100911649B1 (en) Probe block
KR200444681Y1 (en) Probe Unit
KR200399963Y1 (en) Probe assembly for a tester of the liquid crystal display
JPH04297876A (en) Probe for display panel

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20120106

Year of fee payment: 6

LAPS Lapse due to unpaid annual fee