KR100674302B1 - 광 기록 매체, 광 기록 매체의 제조 방법 및 광 기록 매체의 재생 방법 - Google Patents

광 기록 매체, 광 기록 매체의 제조 방법 및 광 기록 매체의 재생 방법 Download PDF

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Abstract

광 기록 매체는, 주 데이터로서 피트열이 형성된 기판 상에 금속 반사막을 형성한 주 정보 영역과, 상기 금속 반사막을 부분적으로 제거하여 반사막 제거 영역을 복수개 형성함으로써 광 기록 매체를 개별적으로 식별하기 위한 매체 식별 정보를 기록한 부 정보 영역을 갖고, 상기 금속 반사막에 대하여 광 빔을 조사함으로써 정보를 재생하는 광 기록 매체로서, 상기 부 정보 영역에서 상기 기판 상에 피트열 또는 안내홈이 형성되고, 상기 피트열 또는 안내홈의 트랙 피치는 0.24㎛ 이상 0.45㎛ 이하이다.

Description

광 기록 매체, 광 기록 매체의 제조 방법 및 광 기록 매체의 재생 방법{OPTICAL RECORDING MEDIUM, OPTICAL RECORDING MEDIUM MANUFACTURING METHOD, AND OPTICAL RECORDING MEDIUM REPRODUCING METHOD}
본 발명은 광 기록 매체에 관한 것으로, 특히, 정보의 재생에 이용되는 원반 형상의 광 디스크에 관한 것이다.
종래의 광 기록 매체로서는, 예컨대, CD-ROM, DVD-ROM 등의 광 디스크가 있다. 이들 광 디스크에서는, 폴리카보네이트 등으로 이루어지는 투명한 기판 상에 요철로 이루어지는 피트열이 형성되고, 그 위에 Al 등으로 이루어지는 금속 반사막이 형성된다. 이 금속 반사막이 형성되어 있는 면과 반대측의 표면측으로부터 정보 기록면으로 되는 금속 반사막에 광 빔이 조사되어, 정보의 재생이 행해진다.
또한, 광 빔을 조사하여 정보의 기록 재생을 행하는 광 기록 매체는 폭넓게 이용되고 있고, 앞으로도 그 기록 밀도의 향상에 기대가 모아지고 있다. 최근에는, 대용량의 화상·음성 데이터나 디지털 데이터를 재생 가능한 여러 가지의 광 디스크가 개발되고, 예컨대, 직경 12㎝의 광 디스크의 기억 용량을 23.3∼30GB로 고밀도화하는 고밀도 재생 전용 광 디스크의 연구 개발이 진행되고 있다.
한편, DVD 재생 전용 기록 매체에서는, 기록한 정보의 부정사용 및 부정복사 등의 방지 기술, 이른바 안전 기술로서, 각 기록 매체를 개별적으로 식별 가능한 매체 식별 정보를 바코드 패턴으로 겹쳐 쓴 영역인 BCA(Burst Cutting Area) 영역을 마련하는 것이 행해지고 있다. 이 BCA 영역에는, 광 기록 매체 제조시에 광 기록 매체마다 다른 매체 식별 정보가 기록되거나, 필요에 따라 암호키나 복호키가 기록된다.
예컨대, 일본 특허 공개 평성 제10-233019호 공보에는, 주(主) 데이터로서 피트열이 형성된 광 디스크의 금속 반사막을 레이저 트리밍에 의해 부분적으로 제거하고, 변조한 데이터를 개별적으로 기록함으로써, 부정사용 및 부정복사 등을 방지하기 위한 매체 식별 정보를 기록하는 것이 개시되어 있다.
그러나, 상기와 같이 고밀도화를 달성하기 위해서는, 트랙 피치가 협소해지거나, 최단 피트 길이가 미소화되기 때문에, 직경 12㎝의 디스크에 23.3GB 이상의 데이터가 기록된 고밀도 광 디스크용 기판에, DVD 재생 전용 광 디스크에 이용되고 있는 막두께 50∼70nm의 Al 합금으로 이루어지는 금속 반사막을 형성하면, 재생 신호의 품질이 악화하는 것을 찾아내었다.
이것은, 0.2㎛ 정도의 미소한 피트의 바닥부에는 금속 반사막이 형성되기 어렵기 때문에, 작은 피트일수록 피트 깊이가 깊어지고, 피트의 크기도 작아지는 경향이 있기 때문이라고 생각된다. 따라서, 상기의 고밀도 재생 전용 광 디스크의 금속 반사막으로서, DVD 재생 전용 광 디스크에 사용되고 있는 금속 반사막을 그대로 전용(轉用)하는 것은 할 수 없었다.
또한, DVD 재생 전용 광 디스크의 제조에는, YAG(Yttrium Aluminum Garnet) 레이저를 구비한 매체 식별 정보 기록 장치를 이용하여 매체 식별 정보가 기록된다. 그러나, 이 매체 식별 정보 기록 장치를 이용하여, 고밀도 재생 전용 광 디스크의 피트가 형성되어 있지 않은 영역이나 DVD 재생 전용 광 디스크와 같은 트랙 피치 0.74㎛에서 기록한 피트열 상에, 매체 식별 정보를 바코드 패턴으로 기록해도, 패턴을 형성할 수가 없거나, 매체 식별 정보의 재생 노이즈가 높아져 충분한 디포커스 마진을 확보할 수가 없었다.
이것은, 고밀도 재생 전용 광 디스크에서는, DVD 재생 전용 광 디스크에 비하여 금속 반사막의 막두께가 얇거나, 사용하는 금속 반사막의 재료가 다르기 때문에, 금속 반사막이 융점에 도달하기까지의 열 용량이 크게 다르기 때문이라고 생각된다. 따라서, 종래의 YAG 레이저를 구비한 매체 식별 정보 기록 장치를 그대로 고밀도 재생 전용 광 디스크의 제조에 이용할 수 없었다.
본 발명의 목적은, DVD 재생 전용 광 디스크보다 고밀도로 데이터를 기록할 수 있고, 또한, 종래의 매체 식별 정보 기록 장치를 이용하여 충분한 디포커스 마진을 확보 가능한 매체 식별 정보를 기록할 수 있는 광 기록 매체를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 국면에 따른 광 기록 매체는, 주 데이터로서 피트열이 형성된 기판 상에 금속 반사막을 형성한 주 정보(主情報) 영역과, 상기 금속 반사막을 부분적으로 제거하여 반사막 제거 영역을 복수개 형성함으로써 광 기록 매체를 개별적으로 식별하기 위한 매체 식별 정보를 기록한 부 정보(副情報) 영역을 갖고, 상기 금속 반사막에 대하여 광 빔을 조사함으로써 정보를 재생하는 광 기록 매체로서, 상기 부 정보 영역에서 상기 기판 상에 피트열 또는 안내홈이 형성되고, 상기 피트열 또는 안내홈의 트랙 피치가 0.24㎛ 이상 0.45㎛ 이하인 것이다.
이 광 기록 매체에 있어서는, 기판 상의 부 정보 영역에서 피트열 또는 안내홈을 형성하고, 이 피트열 또는 안내홈의 트랙 피치를 0.24㎛ 이상 0.45㎛ 이하로 설정하고 있기 때문에, 보다 단파장의 재생용 광 빔으로 또한 보다 높은 개구수의 광학계를 이용하여, DVD 재생 전용 광 디스크보다 고밀도로 데이터를 기록할 수 있고, 또한, 금속 반사막의 고유값인 열전도도나 융점이 달라도, 종래의 매체 식별 정보 기록 장치를 이용하여 충분한 디포커스 마진을 확보 가능한 매체 식별 정보를 기록할 수 있다.
본 발명의 다른 국면에 따른 광 기록 매체의 제조 방법은, 주 정보 영역에 주 데이터로서 피트열이 형성되고, 부 정보 영역에 트랙 피치가 0.24㎛ 이상 0.45㎛ 이하인 피트열 또는 안내홈이 형성된 기판을 준비하는 제 1 단계와, 상기 기판 상에 금속 반사막을 형성하는 제 2 단계와, 상기 금속 반사막 상에 수지층을 형성하는 제 3 단계와, 상기 부 정보 영역의 금속 반사막을 부분적으로 제거하여 반사막 제거 영역을 복수개 형성함으로써 광 기록 매체를 개별적으로 식별하기 위한 매체 식별 정보를 기록하는 제 4 단계를 포함하는 것이다.
이 광 기록 매체의 제조 방법에 의해, 기판 상의 부 정보 영역에서 피트열 또는 안내홈이 형성되고, 이 피트열 또는 안내홈의 트랙 피치가 0.24㎛ 이상 0.45㎛ 이하로 설정되기 때문에, 보다 단파장의 재생용 광 빔으로 또한 보다 높은 개구수의 광학계를 이용하여, DVD 재생 전용 광 디스크보다 고밀도로 데이터를 기록할 수 있고, 또한, 금속 반사막의 고유값인 열전도도나 융점이 달라도, 종래의 매체 식별 정보 기록 장치를 이용하여 충분한 디포커스 마진을 확보 가능한 매체 식별 정보를 기록할 수 있다.
본 발명의 또 다른 국면에 따른 광 기록 매체의 재생 방법은, 주 데이터로서 피트열이 형성된 기판 상에 금속 반사막을 형성한 주 정보 영역과, 상기 기판 상에 트랙 피치가 0.24㎛ 이상 0.45㎛ 이하인 피트열 또는 안내홈이 형성되고, 상기 금속 반사막을 부분적으로 제거하여 반사막 제거 영역을 복수개 형성함으로써 광 기록 매체를 개별적으로 식별하기 위한 매체 식별 정보를 기록한 부 정보 영역을 갖는 광 기록 매체의 상기 금속 반사막에 대하여 광 빔을 조사함으로써 정보를 재생하는 것이다.
이 광 기록 매체의 재생 방법에 의해, 기판 상의 부 정보 영역에서 피트열 또는 안내홈이 형성되고, 이 피트열 또는 안내홈의 트랙 피치가 0.24㎛ 이상 0.45㎛ 이하로 설정된 부 정보 영역을 갖는 광 기록 매체의 금속 반사막에 대하여 광 빔을 조사함으로써 정보를 재생하고 있기 때문에, 보다 단파장의 재생용 광 빔으로 또한 보다 높은 개구수의 광학계를 이용하여 DVD 재생 전용 광 디스크보다 고밀도로 기록한 데이터를 재생하여 양호한 재생 신호를 얻을 수 있고, 또한, 금속 반사 막의 고유값인 열전도도나 융점이 달라도 종래의 매체 식별 정보 기록 장치를 이용하여 충분한 디포커스 마진으로 기록된 매체 식별 정보를 안정적으로 재생할 수 있다.
도 1은 피트 깊이에 대한 지터값의 측정 결과를 나타내는 도면,
도 2는 AgPdCu 합금으로 이루어지는 금속 반사막의 막두께에 대한 지터값의 측정 결과를 나타내는 도면,
도 3은 Al 합금으로 이루어지는 금속 반사막의 막두께에 대한 지터값의 측정 결과를 나타내는 도면,
도 4는 피트를 형성한 기판 상에 AgPdCu 합금으로 이루어지는 막두께 100㎚의 금속 반사막을 형성한 광 디스크의 단면도,
도 5는 AgPdCu 합금으로 이루어지는 금속 반사막의 막두께에 대한 반사율의 측정 결과를 나타내는 도면,
도 6은 Al 합금으로 이루어지는 금속 반사막의 막두께에 대한 반사율의 측정 결과를 나타내는 도면,
도 7은 광 디스크의 주 정보 영역 및 부 정보 영역의 일례를 나타내는 도면,
도 8은 BCA 영역에 매체 식별 정보를 기록하는 매체 식별 정보 기록 장치의 구성을 나타내는 블록도,
도 9는 피트를 형성한 기판 상에 금속 반사막을 형성하고, 또한 금속 반사막 상에 수지층을 형성한 광 디스크의 단면도,
도 10은 AgPdCu 합금으로 이루어지는 50㎚의 금속 반사막을 갖는 광 디스크에 형성된 피트열의 트랙 피치에 대한 BCA 기록 파워의 디포커스 마진의 측정 결과를 나타내는 도면,
도 11은 막두께 30㎚의 Al 반사막을 갖는 광 디스크에 형성된 피트열의 트랙 피치에 대한 BCA 기록 파워의 디포커스 마진의 측정 결과를 나타내는 도면이다.
이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 광 디스크로서 ROM형 광 디스크를 예로 설명한다. 또, 본 발명이 적용되는 광 기록 매체는 이 예에 특별히 한정되지 않고, 예컨대, 광 자기 디스크, 상변화 디스크 등의 미세한 요철을 정보 기록층에 갖는 각종 광학 기록 매체에도 본 발명을 마찬가지로 적용할 수 있다.
본 ROM형 광 디스크는, 요철로 이루어지는 피트열이 주 데이터로서 형성된 기판 상에 금속 반사막을 형성한 주 정보 영역과, 금속 반사막을 부분적으로 제거하여 반사막 제거 영역을 복수개 형성함으로써 광 디스크를 개별적으로 식별하기 위한 매체 식별 정보를 기록한 부 정보 영역을 갖고, 금속 반사막에 대하여 광 빔을 조사함으로써 정보가 재생되는 것이다.
일반적으로, ROM형 광 디스크의 고밀도화에는, 트랙의 협피치화 및 최단 피트 길이(최단 마크 길이)의 미소화가 필요하지만, 트랙 피치를 지나치게 좁게 하면, RF 신호 특성에서의 크로스토크(crosstalk)가 커져, 충분한 시스템 마진을 확 보할 수 없고, 또한, 최단 피트 길이를 지나치게 작게 하면, 재생 신호의 분해능이 저하하여 재생 신호의 지터값이 악화한다.
이 때문에, 재생용 광 빔의 광원의 파장 λ가 405㎚, 대물 렌즈의 개구수 NA가 0.85인 정보 재생 장치를 이용하여 최적의 트랙 피치의 검토를 거듭한다. 검토 결과, 아래 표의 측정 결과가 얻어지고, 트랙 피치가 0.24㎛ 이상이면, 크로스토크 신호가 메인 신호에 대하여 실용상 문제가 되지 않는 것이 밝혀졌다.
Figure 112004039725802-pct00001
또한, 상기의 정보 재생 장치를 이용하여, 최적의 최단 피트 길이를 검토하고, 양호한 재생 신호를 얻을 수 있는 분해능을 조사한 결과, 하기표의 측정 결과가 얻어지고, 최단 피트 길이가 0.12㎛ 이상이면, 재생 신호의 분해능을 충분히 확보할 수 있는 것이 밝혀졌다.
Figure 112004039725802-pct00002
또, 광 디스크, 드라이브의 여러 가지 마진을 고려하면, 광 디스크의 특성을 나타내는 지터값은 6.5% 이하인 것이 필요하다.
여기서, 상기의 정보 재생 장치를 이용해서 직경 12㎝의 광 디스크를 재생하여 당해 광 디스크의 기억 용량을 23.3GB 이상으로 하기 위해서는, (최단 피트 길이)×(트랙 피치)≤0.0512㎛2라는 관계식을 만족해야만 한다. 예컨대, 기록 용량을 23.3GB, 최단 피트 길이를 0.12㎛로 한 경우, 트랙 피치의 상한은 대략 0.43㎛로 된다. 마찬가지로, 기록 용량을 23.3GB, 트랙 피치를 0.24㎛로 한 경우, 최단 피트 길이의 상한은 대략 0.21㎛로 된다.
다음에, 23.3GB 이상의 기록 용량을 갖는 직경 12㎝의 광 디스크의 제조 방법에 대하여 설명한다. 상기와 같이, 23.3GB 이상의 기록 용량을 갖는 직경 12㎝의 광 디스크를 작성하기 위해서는, 트랙 피치가 0.24㎛ 이상 0.43㎛ 이하, 최단 피트 길이가 0.12㎛ 이상 0.21㎛ 이하인 기판을 이용해야 한다.
예컨대, 25GB의 기록 용량을 갖는 직경 12㎝의 광 디스크를 작성하기 위해, 우선, 최단 피트 길이가 0.149㎛, 트랙 피치가 0.32㎛의 피트열이 형성된 기판을 준비했다. 이 기판으로서는, 예컨대, 사출 성형기에 의해서 작성된 폴리카보네이트 재료로 이루어지는 기판을 이용할 수 있다.
다음에, 이 기판에 금속 반사막을 성막 장치에 의해서 형성했다. 성막 장치로서는, 마그네트론 스퍼터링 장치, 증착 장치 등의 균일하게 금속 반사막을 형성할 수 있는 것을 이용할 수 있고, 예컨대, 마그네트론 스퍼터링 장치를 이용하여, 성막 시간을 변화시키는 것에 의해 금속 반사막의 막두께를 제어할 수 있다. 또, 금속 반사막의 재질 및 막두께 등에 대해서는 후술한다.
다음에, 금속 반사막이 위로 되도록 광 디스크를 스핀코터(spin coater)에 설치하여, 자외선 경화 수지를 적하하고, 그 위에 폴리카보네이트로 이루어지는 두께 88㎛의 투명한 시트를 실었다. 이 상태에서 스핀코터에 의해 광 디스크를 회전시키면서, 자외선 경화수지에 자외선을 조사하고, 자외선 경화수지의 경화 후의 두께가 12㎛로 되도록 스핀코터의 회전수를 제어하여 금속 반사막 상에 막두께 100㎛의 투명한 수지층을 형성했다. 이 자외선 경화 수지로서는, 예컨대, 아크릴계 수지를 이용할 수 있다.
상기와 같이 하여, 최단 피트 길이가 0.149㎛, 트랙 피치가 0.32㎛인 피트열이 형성된 기판 상에 금속 반사막이 형성되고, 그 위에 막두께 100㎛의 수지층이 형성된 광 디스크를 제조했다.
다음에, 상기와 같이 하여 제조한 광 디스크에 대하여, 재생 신호의 품질에 대한 피트 깊이, 금속 반사막의 재료 및 막두께 등을 검토했다. 구체적으로는, 제조한 광 디스크를 상기의 정보 재생 장치에 세트하고, 이 정보 재생 장치에 의해 두께 100㎛의 수지층을 거쳐서 금속 반사막에 광 빔을 입사하며, 광 디스크로부터 얻어지는 재생 신호를 평가했다.
우선, 피트 깊이에 대한 재생 신호의 품질 의존성에 대하여 검토했다. 상기와 같이 하여 제조한 광 디스크의 피트 깊이를 변화시켜 재생 신호의 편차를 나타내는 지터값을 측정했다. 도 1은 피트 깊이에 대한 지터값의 측정 결과를 나타내는 도면이고, 가로축이 피트 깊이(nm)이며, 세로축이 지터값(%)이다. 또, 도 1에서는, 금속 반사막으로서 막두께 25㎚의 순도 99wt%의 Al 합금으로 이루어지는 것 을 이용했지만, 금속 반사막으로서 Ag98Pd1Cu1(wt%)(이하, AgPdCu 합금이라고 함)로 이루어지는 것을 이용해도 이하와 동일한 결과가 얻어졌다.
일반적으로, 충분한 시스템 마진을 확보하기 위해서는, 지터값을 6.5% 이하로 해야 하고, 도 1로부터 피트 깊이가 44㎚ 이상 88㎚ 이하인 경우에, 지터값을 6.5% 이하로 할 수 있는 것을 알았다. 작성한 수지층의 굴절률 n은 1.53이며, 광 빔의 파장 λ는 405㎚이기 때문에, 상기의 측정 결과로부터, 양질의 재생 신호가 얻어지는 피트 깊이 D는, λ/(6×n) 이상 λ/(3×n) 이하인 것을 알았다.
이것은 이하의 이유에 의한 것이라고 생각된다. 즉, 피트 깊이는 재생 신호의 진폭에 영향을 미치고, 광학 계산상으로는, 피트 깊이가 λ/(4×n)일 때에 진폭이 최대로 되고, 수지층의 굴절률 n이 1.53, 광 빔의 파장 λ가 405㎚인 경우, 피트 깊이가 66㎚ 부근에서 최대가 되지만, 다소 진폭이 작아져도, 재생 신호의 지터값은 거의 변하지 않는다. 그러나, 피트 깊이가 λ/(6×n)보다 얕은 경우나, λ/(3×n)보다 깊은 경우는, 충분한 신호 대 노이즈비(이하, S/N비라고 기재함)를 얻을 수 없어서, 재생 신호의 지터값이 악화하기 때문이다.
다음에, 금속 반사막의 적절한 막두께에 대하여 검토했다. 우선, 피트 깊이가 λ/(4×n)인 기판을 준비하고, 금속 반사막으로서, AgPdCu 합금으로 이루어지는 금속 반사막과 순도 99wt%의 Al 합금으로 이루어지는 금속 반사막의 두 종류에 대하여 그 막두께를 변화시켜 지터값을 측정했다. 도 2는 AgPdCu 합금으로 이루어지는 금속 반사막의 막두께에 대한 지터값의 측정 결과를 나타내는 도면이며, 도 3은 Al 합금으로 이루어지는 금속 반사막의 막두께에 대한 지터값의 측정 결과를 나타 내는 도면이고, 각각 가로축이 금속 반사막의 막두께(nm)이며, 세로축이 지터값(%)이다.
도 2로부터 AgPdCu 합금의 금속 반사막의 경우, 막두께가 25㎚ 이상 70㎚ 이하일 때, 지터값을 6.5% 이하로 할 수 있고, 또한, 도 3으로부터 Al 합금의 금속 반사막의 경우, 막두께가 15㎚ 이상 40㎚ 이하일 때, 지터값을 6.5% 이하로 할 수 있는 것을 알았다. 또, 금속 반사막의 재질은 상기의 예에 특별히 한정되지 않고, 높은 반사율을 얻을 수 있고, 성막 장치에 의해서 기판에 균일하게 형성할 수 있는 것이면, 다른 재질을 이용해도 좋고, 또한, 내 부식성을 향상시키기 위해서, Nd 등의 희토류 금속원소나 Ti나 Cr 등의 전이 금속원소를 Ag나 Al의 반사막 재료에 소량 첨가해도 좋다.
다음에, 금속 반사막의 반사율에 대하여 검토했다. 금속 반사막이 얇아지면 반사광량이 작아지고, 반사광량이 작아지면, 매체 노이즈도 그에 비례하여 작아지기 때문에 S/N비는 변하지 않는다. 한편, 시스템 노이즈나 레이저 노이즈는 반사광량에 의존하지 않고, 시스템 노이즈나 레이저 노이즈가 매체 노이즈에 비해 무시할 수 있을 정도의 낮은 레벨이면, 반사광량이 작아져도 재생 신호의 품질에 영향을 주지 않는다.
그러나, 반사광량이 작아져 시스템 노이즈나 레이저 노이즈가 매체 노이즈와 같은 정도로 되면, 반사광량의 감소는 재생 신호의 품질을 악화시킨다. 또한, 금속 반사막의 막두께가 동일해도 그 재질이 다른 경우, 반사율이 다르기 때문에, 신호 품질이 악화하는 막두께가 다르다. 또한, 금속 반사막의 막두께가 두꺼워지면, 재생 신호가 악화한다. 예컨대, 마그네트론 스퍼터링 장치에서는 Ar 이온에 의해 튀어나온 타겟 상의 금속 원자가 기판 상에 비래(飛來)하여 금속 반사막이 형성되고, 이 금속 원자의 크기는 성막 장치의 구조나 성막 조건에도 의존하지만, 최단 피트의 바닥부에는 성막되기 어려운 경향이 있다.
도 4는, 피트를 형성한 기판 상에 AgPdCu 합금으로 이루어지는 막두께 100㎚의 금속 반사막을 형성한 광 디스크의 단면도이다. 도 4에 나타내는 바와 같이, 최단 피트(11)와, 최단 피트(11)보다 긴 장 피트(12)가 기판(1) 상에 형성되어 있는 경우, 장 피트(12)보다 최단 피트(11) 쪽이 그 바닥부에 금속 반사막(2)이 성막되기 어렵기 때문에, 최단 피트(11)에서는, 기판(1) 상의 피트 형상보다도 금속 반사막(2)을 성막한 후의 피트 형상 쪽이 작아져, 피트 깊이도 깊어지는 현상이 발생한다.
이 현상을 예상하여, 최단 피트(11)를 크게 기록하기 위해 기록 파워를 크게 하면, 최단 피트(11)의 신호 품질은 개선되지만, 기록 파워를 크게 함으로써 장 피트(12)의 폭도 커지고, 인접 트랙으로부터의 크로스토크가 증대하여 지터값이 악화한다. 양자의 신호 품질의 악화 요인을 고려하여, Al 합금 및 AgPdCu 합금의 금속 반사막에 적당한 기판을 작성한 결과, 지터값이 악화하지 않는 Al 합금의 금속 반사막의 최대 막두께는 40㎚이며, AgPdCu 합금의 금속 반사막의 최대 막두께는 70㎚였다.
상기의 검토를 기초로, 도 2에 나타내는 AgPdCu 합금의 금속 반사막 및 도 3에 나타내는 Al 합금의 금속 반사막의 각 막두께에 대한 반사율을 측정했다. 도 5 는 AgPdCu 합금으로 이루어지는 금속 반사막의 막두께에 대한 반사율의 측정 결과를 나타내는 도면이며, 도 6은 Al 합금으로 이루어지는 금속 반사막의 막두께에 대한 반사율의 측정 결과를 나타내는 도면이고, 각각 가로축이 금속 반사막의 막두께(nm)이며, 세로축이 반사율(%)이다. 또, 측정에 사용한 수지층의 굴절률 n은 1.53이며, 광 빔의 파장 λ는 405㎚이다.
도 5로부터 AgPdCu 합금의 금속 반사막의 경우, 양호한 지터값을 얻을 수 있는 막두께 25㎚∼70nm의 범위에 대하여 반사율은 35%∼70%가 되고, 도 6으로부터 Al 합금의 금속 반사막의 경우, 양호한 지터값을 얻을 수 있는 막두께 15㎚∼40nm의 범위에 대하여 반사율은 35%∼70%가 되었다. 이 결과, 각각의 재생 신호의 품질을 보장할 수 있는 금속 반사막의 반사율은 35% 이상 70% 이하인 것을 알았다.
다음에, 상기와 같이 하여 지터값이 양호한 재생 신호를 얻을 수 있도록, 주 정보 영역에 요철로 이루어지는 피트열이 주 데이터로서 형성된 광 디스크의 부 정보 영역에 형성되는 매체 식별 정보에 대하여 상세히 설명한다. 도 7은 광 디스크의 주 정보 영역 및 부 정보 영역의 일례를 나타내는 도면이다.
도 7에 나타내는 예에서는, 광 디스크의 외주부에 주 정보 영역(21)(도면 중의 해칭(hatching) 부분)이 설정되고, 그 내측의 둥근 고리형 부분에 부 정보 영역인 BCA 영역(22)(도면 중의 파선으로 나타내는 2개의 원 사이의 영역)이 설정되며, BCA 영역(22)에 매체 식별 정보(23)가 바코드 패턴으로 기록된다. 매체 식별 정보(23)는 폴리카보네이트 등의 투명한 수지층을 금속 반사막 상에 형성한 후에, 광 디스크의 표면으로부터 0.1mm의 깊이에 있는 금속 반사막에 펄스레이저(예컨대, YAG 레이저)를 조사하여 기록된다. 이 때, 금속 반사막이 용융하여 표면 장력에 의해 양측의 경계부에 축적되는 현상이 일어나고 있다고 생각된다. 이렇게 하여, 금속 반사막을 부분적으로 제거하여 반사막 제거 영역을 복수개 형성함으로써 광 디스크를 개별적으로 식별하기 위한 매체 식별 정보를 기록한 BCA 영역이 작성된다.
다음에, 광 디스크의 BCA 영역에 매체 식별 정보를 기록하는 방법에 대하여 상세히 설명한다. 또, 이하의 예에서는, 금속 반사막으로서 Ag98Pd1Cu1(wt%) 또는 Al99Cr1(wt%)로 이루어지는 금속 반사막에 대한 BCA 영역의 기록 방법을 설명하지만, 동일한 효과를 얻을 수 있으면, 다른 금속 반사막, 상변화막, 또는 광자기 기록막에도 본 발명을 마찬가지로 적응할 수 있다.
도 8은 BCA 영역에 매체 식별 정보를 기록하는 매체 식별 정보 기록 장치의 구성을 나타내는 블록도이다. 도 8에 나타내는 매체 식별 정보 기록 장치는 DVD-ROM에 BCA 영역을 작성하기 위해 이용되고 있는 BCA 패턴 기록 장치이며, 모터(101), 회전 제어부(102), 광 픽업(103), 레이저 구동부(104), 파형 설정부(105), BCA 신호 생성부(106), 포커스 제어부(107), 프리앰프(108) 및 시스템 제어부(109)를 구비한다.
회전 제어부(102)는 모터(101)의 회전을 제어한다. 모터(101)는 광 디스크(100)를 소정의 회전수로 회전시킨다. BCA 신호 생성부(106)는 광 디스크(100)에 기록하는 매체 식별 정보를 변조하여 BCA 신호를 작성한다. 파형 설정부(105)는 BCA 신호를 기초로 레이저 변조 파형을 성형한다. 레이저 구동부(104)는 레이저 변조 파형에 따라 광 픽업(103) 내의 고출력 레이저를 구동한다. 광 픽업(103)은, 고출력 레이저로부터 발생하는 광 빔을 내부의 광학계를 통해서 광 디스크(100) 상에 집광시킨다. 프리앰프(108)는 광 픽업(103)으로부터의 재생 신호를 증폭하여 포커스 제어부(107)로 출력한다. 포커스 제어부(107)는, 광 디스크(100)의 금속 반사막 상에 광 빔을 집광시키기 위해서, 프리앰프(108)로부터의 증폭 신호를 이용하여 광 픽업(103) 내의 대물 렌즈를 제어한다. 시스템 제어부(109)는, 회전 제어부(102), 레이저 구동부(104), 파형 설정부(105), BCA 신호 생성부(106) 및 포커스 제어부(107)의 동작을 종합적으로 제어한다.
다음에, 상기와 같이 구성된 매체 식별 정보 기록 장치의 기록시의 동작에 대하여 설명한다. 우선, 시스템 제어부(109)로부터의 지시에 근거하여, 회전 제어부(102)는 모터(101)를 구동하여 광 디스크(100)를 회전시킨다. 레이저 구동부(104)는 광원으로서 고출력 레이저를 구동하고, 고출력 레이저로부터 출사된 광 빔이 광 픽업(103)으로부터 광 디스크(100)에 조사된다. 이 때, 포커스 제어부(107)에 의해 포커스 제어가 행해지고, 고출력 레이저로부터 출사된 광 빔을 광 디스크(100)의 금속 반사막 상에 집광시킨다.
여기서, 광 디스크(100)로부터의 반사광은 광 픽업(103) 내의 광 검출기에 의해 검출되고, 광 검출기로부터 전기 신호로서 재생 신호가 출력된다. 이 재생 신호는 프리앰프(108)를 통하여 증폭되고, 포커스 제어부(107)에 입력된다. 포커스 제어부(107)는, 증폭된 재생 신호에 따라 광 픽업(103)의 대물 렌즈를 구동하여 광 디스크(100)의 포커스 방향으로 미동시킴으로써, 광 빔이 광 디스크(100)의 금속 반사막 상에 집광하도록 광 픽업(103)을 제어한다.
다음에, 시스템 제어부(109)는 위치 검출기(도시 생략)에 의해 광 픽업(103)의 트래킹 방향의 위치를 검출하고, 검출된 위치 정보를 기초로 광 픽업(103)이 부 정보 기록 개시 위치에 있는 것을 인식한다. 다음에, 시스템 제어부(109)는, BCA 신호 생성부(106)에 BCA 신호를 생성하도록 지시하고, 파형 설정부(105)로부터 BCA 신호가 출력되며, BCA 기록 시퀀스가 개시되고, BCA 영역에 매체 식별 정보가 기록된다.
상기의 매체 식별 정보 기록 장치를 이용하여, AgPdCu 합금으로 이루어지는 막두께 50㎚의 금속 반사막을 형성한 광 디스크의 피트열이나 안내홈을 형성하지 않는 부분에 BCA 패턴(바코드 패턴)의 기록을 시도했다. 그러나, 레이저의 출력 파워를 크게 해도 금속 반사막을 제거한 반사막 제거 영역을 제작할 수 없었다.
이것은, Al의 융점이 660℃인 데 비하여, Ag의 융점이 960℃로 높기 때문에, AgPdCu 합금의 금속 반사막이 용융하기 위해 큰 에너지를 필요로 하기 때문이다. 또한, Al의 열전도도가 237W/(m·K)인 데 비하여, Ag의 열전도도가 427W/(m·K)로 크기 때문에, AgPdCu 합금의 금속 반사막에 레이저광을 조사해도 열전도에 의해 주위에 확산해 버리는 열량이 크기 때문이다. 또, 일반적으로, 금속의 융점을 낮추기 위해서는, 다른 금속을 혼입하여 융점을 낮출 수 있지만, 충분한 반사율을 확보할 목적 및 부식을 방지할 목적으로, 금속 반사막에서의 Ag의 wt%를 97% 이하로 낮출 수는 없다.
다음에, AgPdCu 합금으로 이루어지는 막두께 50㎚의 금속 반사막을 형성한 광 디스크에 있어서, DVD-ROM의 BCA 영역에 이용되고 있는 트랙 피치 0.74㎛에서 피트열을 형성하고, 그 부분에 BCA 패턴을 기록했다. 이 때, 소망의 폭으로 BCA 패턴을 기록할 수가 없었기 때문에, 정보를 재생할 수는 없었지만, AgPdCu 합금의 금속 반사막의 일부가 용융하여, 작은 반사막 제거부를 형성할 수 있었다. 이것은, 요철이 있는 기판 상의 사면(斜面)에는 금속 반사막이 형성되기 어려운 경향이 있기 때문에, 피트 사면부의 금속 반사막의 막두께가 국부적으로 얇아져, 열전도가 방해되기 때문이다.
도 9는 피트를 형성한 기판 상에 금속 반사막을 형성하고, 또한 금속 반사막 상에 수지층을 형성한 광 디스크의 단면도이다. 도 9에 도시하는 바와 같이 피트(12)를 형성한 기판(1) 상에 금속 반사막(2)을 형성하고, 또한 금속 반사막(2) 상에 수지층(3)을 형성하면, 사면부(4)에 형성되는 금속 반사막(2)의 막두께는 피트 바닥부(5) 및 평판부(6)에 형성되는 금속 반사막(2)의 막두께보다 얇아지기 때문에, 주위로의 열전도가 작아진다. 이 때문에, 피트열의 트랙 피치를 작게 하여 사면부(4)의 면적을 크게 할수록, 주위로의 열전도가 커진다. 또한, 사면부(4)에서는 다른 장소에 비해서, 금속 반사막(2)의 단위 부피가 작기 때문에, 융점에 달하기까지의 열 용량이 작아져, 낮은 조사 파워로 융점에 도달한다.
상기의 지견에 근거하여, 피트열을 여러 가지의 트랙 피치로 형성한 기판 상에 AgPdCu 합금으로 이루어지는 막두께 50㎚의 금속 반사막을 형성한 광 디스크를 준비하고, BCA 패턴을 기록했다. 도 10은 AgPdCu 합금으로 이루어지는 막두께 50㎚의 금속 반사막을 갖는 광 디스크에 형성된 피트열의 트랙 피치에 대한 BCA 기록 파워의 디포커스 마진의 측정 결과를 나타내는 도면이고, 그 가로축이 피트열의 트랙 피치(㎛)이며, 세로축이 디포커스 마진(%)이다.
도 10에 도시하는 바와 같이, 0.54㎛ 이하의 트랙 피치로 피트열을 형성한 영역에서는, BCA 패턴을 기록할 수 있어, 매체 식별 정보를 재생할 수는 있었지만, 0.54㎛를 초과하는 트랙 피치로 피트열을 형성한 영역에서는, 디포커스 마진을 확보할 수가 없었다. 여기서, BCA 패턴을 기록할 수 있었다고 하는 판단은, 작성한 광 디스크를 평가기에 세트하여 재생하고, BCA 영역에 기록된 매체 식별 정보가 정확히 재생 가능한지 여부를 기준으로 행했다. 평가기에는, 재생용 광 빔의 파장 λ가 405㎚, 대물 렌즈의 개구수 NA가 0.85인 재생 장치를 이용했다.
여기서, 광 디스크의 양산성을 고려한 경우, 금속 반사막의 막두께의 편차, BCA 기록 파워의 변동 등이 생각되기 때문에, 충분한 디포커스 마진은 20% 이상 필요하다. 도 10으로부터, 20% 이상의 디포커스 마진을 얻을 수 있는 트랙 피치는 0.24㎛ 이상 0.45㎛ 이하인 것을 알았다. 이와 같이, BCA 영역에 기록한 피트열의 트랙 피치가 0.24㎛ 이상 0.45㎛ 이하의 범위에서 충분한 디포커스 마진을 확보할 수 있어, 매체 식별 정보가 기록 가능한 이유는 아래와 같이 추정된다.
즉, BCA 영역에 기록한 피트열의 트랙 피치가 0.45㎛를 초과하는 경우는, 단위 면적에 차지하는 피트수가 적기 때문에, 피트의 사면부의 면적도 작아져, 열전도의 차단이 충분히 행해지지 않는다. 이 때문에, 디포커스에 의해서 금속 반사막에 흡수되는 열 용량이 변동하면, 노이즈가 작은 BCA 패턴을 기록할 수 없기 때문이다.
한편, 트랙 피치가 0.24㎛보다 좁은 경우, 피트와 피트가 지나치게 가까워져, 피트간의 랜드 부분의 형성이 불충분해지고, 피트의 사면부의 각도가 작아진다. 이 때문에, 피트의 사면부에도 금속 반사막이 형성되기 쉬워져, 피트의 형성에 의한 열전도의 차단 효과가 작아지기 때문이다. 또, 도 10에서는, 트랙 피치가 0.22㎛까지 BCA 패턴을 기록 및 재생할 수 있었지만, 0.22㎛보다 좁은 트랙 피치에서는, BCA 패턴을 기록할 수가 없기 때문에, 도 10에 나타낸 0.22㎛ 이하의 점선은 예상선이다.
또한, 도 10에서는 AgPdCu 합금으로 이루어지는 막두께 50㎚의 금속 반사막이 형성된 광 디스크에서의 디포커스 마진의 트랙 피치 의존성을 나타냈지만, 양호한 지터값을 얻을 수 있는 광 디스크에서는 Ag 또는 Ag 합금으로 이루어지는 금속 반사막의 막두께가 25㎚ 이상 70㎚ 이하이면, BCA 영역에 기록된 피트열의 트랙 피치가 0.24㎛ 이상 0.45㎛ 이하의 범위에서, 상기와 같은 정도의 디포커스 마진을 얻을 수 있었다.
마찬가지로, 피트열의 대신에, 안내홈을 형성한 광 디스크라도 상기와 동일한 실험을 했지만, 안내홈의 경우에도 안내홈의 사면부에 금속 반사막이 형성되기 어려운 경향은 피트열과 마찬가지이기 때문에, BCA 영역에 기록된 안내홈의 트랙 피치가 0.24㎛ 이상 0.45㎛ 이하의 범위에서, 상기와 같은 정도의 디포커스 마진을 얻을 수 있었다.
따라서, 양호한 지터값을 얻을 수 있는 광 디스크에서는 Ag 또는 Ag 합금으로 이루어지는 금속 반사막의 막두께가 25㎚ 이상 70㎚ 이하인 경우, BCA부에 기록 하는 피트열 또는 안내홈의 트랙 피치가 0.24㎛ 이상 0.45㎛ 이하이면, 디포커스 마진을 충분히 확보할 수 있었다.
다음에, 금속 반사막으로서 Al99Cr1(wt%)로 이루어지는 금속 반사막(이하, Al 반사막이라고 함)을 이용하여 작성한 광 디스크에 대하여 설명한다. 우선, 막두께 30㎚의 Al 반사막을 형성한 광 디스크를 준비하고, 상기의 매체 식별 정보 기록 장치를 이용하여, 피트열이나 안내홈을 형성하지 않는 부분에 BCA 패턴의 기록을 시도했다. 이 경우, Al 반사막을 제거한 부분을 형성할 수 있고, 또한, BCA 패턴으로서 기록한 매체 식별 정보도 재생할 수 있었다. 그러나, Al 반사막의 막두께가 DVD-ROM에 이용되고 있는 막두께(50∼70nm)보다도 얇기 때문에, 충분한 디포커스 마진을 얻을 수 없었다. 또한, 막두께 30㎚의 Al 반사막을 형성한 광 디스크에 있어서, DVD-ROM의 BCA 영역에 이용되고 있는 트랙 피치 0.74㎛에서 피트열을 형성한 영역에 BCA 패턴을 기록했지만, 상기와 동일한 결과였다.
이 때문에, 피트열을 여러 가지의 트랙 피치로 형성한 기판 상에 막두께 30㎚의 Al 반사막을 형성한 광 디스크를 준비하고, BCA 패턴을 기록했다. 도 11은 막두께 30㎚의 Al 반사막을 갖는 광 디스크에 형성된 피트열의 트랙 피치에 대한 BCA 기록 파워의 디포커스 마진의 측정 결과를 나타내는 도면이고, 그 가로축이 피트열의 트랙 피치(㎛)이며, 세로축이 디포커스 마진(%)이다.
Al 반사막의 경우에도, 상기와 마찬가지로 BCA 기록시의 디포커스 마진은 20% 이상 필요하기 때문에, 도 11로부터, 20% 이상의 디포커스 마진을 얻을 수 있는 트랙 피치는 0.24㎛ 이상 0.45㎛ 이하인 것을 알았다. 이와 같이, DVD-ROM에 비하여 얇은 막두께의 Al 반사막을 형성한 광 디스크에서도, BCA 영역에 기록한 피트의 트랙 피치가 0.24㎛ 이상 0.45㎛ 이하인 범위에서 충분한 디포커스 마진을 확보할 수 있어, 매체 식별 정보가 기록 가능한 이유는 아래와 같이 추정된다.
즉, BCA 영역에 기록한 피트열의 트랙 피치가 0.45㎛를 초과하는 경우는, Al 반사막의 막두께가 얇기 때문에, 융점에 도달하는 열 용량이 매우 작아지고, BCA 패턴의 에지 부분이 양호하게 형성되지 않아, BCA 재생 신호의 노이즈가 높아지기 때문이다.
한편, 0.45㎛ 이하의 트랙 피치로 피트열을 형성하면, 트랙 피치가 작아짐에 따라 BCA 패턴의 에지 부분에 피트가 형성되어 있을 확률이 높아지고, 용융한 Al 반사막은 피트가 형성되어 있는 부분에서 유동이 억제된다. 이 때문에, 작은 트랙 피치로 피트가 형성되어 있는 영역쪽이 BCA 패턴의 노이즈가 작아진다. 이 결과, 0.45㎛ 이하의 트랙 피치로 피트열을 형성하면, 충분한 디포커스 마진을 실현 가능한 BCA 패턴을 기록할 수 있다.
그러나, 트랙 피치가 0.24㎛보다 좁게 되면, 형성되는 피트의 사면의 각도가 작아지고, Al 반사막의 유동을 방해하는 힘이 약해져, 충분한 디포커스 마진을 얻을 수 없게 되기 때문이다.
따라서, 0.24㎛ 이상 0.45㎛ 이하의 트랙 피치로 피트열을 기판 상에 형성함으로써, 막두께가 얇은 Al 반사막이라도 열적 제어가 용이하게 되어, Al 반사막을 거의 완전히 제거하여 양호한 BCA 패턴을 기록할 수 있었다.
또, 도 11에서는 Al99Cr1(wt%)로 이루어지는 막두께 30㎚의 금속 반사막이 형성된 광 디스크에서의 디포커스 마진의 트랙 피치 의존성을 나타냈지만, 양호한 지터값을 얻을 수 있는 광 디스크에서는 Al 또는 Al 합금으로 이루어지는 금속 반사막의 막두께가 15㎚ 이상 40㎚ 이하이면, BCA 영역에 기록된 피트열의 트랙 피치가 0.24㎛ 이상 0.45㎛ 이하의 범위에서, 상기와 같은 정도의 디포커스 마진을 얻을 수 있었다.
마찬가지로, 피트열의 대신에, 안내홈을 형성한 광 디스크라도 상기와 마찬가지의 실험을 했지만, 안내홈의 경우라도 마찬가지의 효과가 발생하기 때문에, BCA 영역에 기록된 안내홈의 트랙 피치가 0.24㎛ 이상 0.45㎛ 이하의 범위에서는, 같은 정도의 디포커스 마진을 얻을 수 있었다.
다음에, 정보 기록층으로서 복수의 금속 반사막이 적층되어 형성된 다층 광학 기록 매체인 다층 광 디스크에 대하여 설명한다. 예컨대, 피트열을 형성한 두께 1.1mm의 제 1 폴리카보네이트 기판 상에, 상술한 마그네트론 스퍼터링 장치에 의해 Al로 이루어지는 막두께 45㎚의 제 1 금속 반사막을 형성하고, 그 위에 피트를 형성한 두께 15㎛의 제 2 폴리카보네이트 기판을 당해 기판의 피트를 형성하지 않는 측이 접하도록 접합한다. 이 접착에는, 예컨대, 접착성이 강한 광경화성 수지 등을 이용할 수 있다. 또한, 상기와 같이 하여 대항시킨 제 2 폴리카보네이트 기판 상에 AgPdCu로 이루어지는 막두께 28㎚의 금속 반사막을 형성하고, 그 위에 두께 70㎛의 투명한 수지층을 접착시킨다. 이 접착에는, 예컨대, 감압성 접착 시트 등을 이용할 수 있다.
상기와 같이 하여 작성된 2층의 광 디스크에서도, BCA 영역에 기록된 피트열 의 트랙 피치가 0.24㎛ 이상 0.45㎛ 이하이면, BCA 기록시의 포커스를 맞추는 것에 의해 2층 중 어느 쪽에도 BCA 패턴을 기록할 수 있어, 상기와 같은 정도의 디포커스 마진을 얻을 수 있었다.
또, 다층 광 디스크의 작성 방법은, 상기의 예에 특별히 한정되지 않고, 투명한 수지층을 접합하기 전에, 복수의 기판을 형성함으로써 광 디스크를 다층화해도 좋다. 이 경우, 광 디스크가 다층화되더라도 BCA 기록시에 포커스를 맞추는 것에 의해, 소망의 층에 BCA 패턴을 기록할 수 있다. 또한, 투명한 수지층의 접합 및 폴리카보네이트 기판의 접착에, 광경화성 수지 및 감압성 접착 시트 대신에, 건식 포토폴리머(photo-polymer) 등의 접착성을 갖고 또한 투명한 매체를 이용해도 좋고, 또는, 투명한 수지층을 접합하는 일없이, 감압성 접착 시트만 또는 광경화성 수지만으로 투명한 수지층을 형성해도 좋다.
상기와 같이, 본 다층 광 디스크에서는, 복수의 층을 접합하는 것에 의해 기록 밀도를 향상시킬 수 있고, 또한, BCA 영역에 형성된 피트열 또는 안내홈의 트랙 피치를 0.24㎛ 이상 0.45㎛ 이하로 설정함으로써, BCA 패턴의 기록시에 레이저광의 포커스를 피트열 또는 안내홈이 형성된 금속 반사막에 초점을 맞추어 적절한 레이저 파워를 가하여, 노이즈가 낮고 또한 소망의 폭의 BCA 패턴을 기록할 수 있었다.
또, 재생 전용 광 디스크에서는, 광 디스크의 기록 시간이 짧을수록 비용을 삭감할 수 있으므로, 상기의 각 예에서, BCA 영역의 피트열 또는 안내홈과 주 정보 영역의 피트열은 동시에 형성되는 것이 바람직하다. 또한, BCA 영역의 피트열 또는 안내홈의 트랙 피치와 주 정보 영역의 피트열의 트랙 피치가 크게 다르면, 원반 제조시의 디스크 회전수를 불연속으로 크게 변화시키거나, 또는, 주 정보 영역과 BCA 영역이 인접하고 있기 때문에, 가능한 한 단시간에 디스크 회전수를 소망의 회전수로 제어해야만 하기 때문에, 선속도가 항상 일정하게 되도록, 주 정보 영역의 피트열의 트랙 피치와 BCA 영역의 피트열 또는 안내홈의 트랙 피치는 같은 것이 바람직하다.
상기와 같이, 본 발명에 의하면, 보다 단파장의 재생용 광 빔으로 또한 보다 높은 개구수의 광학계를 이용하여, DVD 재생 전용 광 디스크보다 고밀도로 데이터를 기록할 수 있고, 또한, 금속 반사막의 고유값인 열전도도나 융점이 달라도, 종래의 매체 식별 정보 기록 장치를 이용하여 충분한 디포커스 마진을 확보 가능한 매체 식별 정보를 기록할 수 있어, 광 기록 매체, 예컨대, 정보의 재생에 이용되는 원반 형상의 광 디스크 등에 적합하게 이용할 수 있다.

Claims (21)

  1. 주 데이터로서 피트열이 형성된 기판 상에 금속 반사막을 형성한 주 정보 영역을 구비하고, 상기 금속 반사막에 대하여 광 빔을 조사함으로써 정보를 재생하는 광 기록 매체로서,
    광 기록 매체를 개별적으로 식별하기 위한 매체 식별 정보를 기록한 부 정보 영역이, 상기 금속 반사막을 부분적으로 제거하여 반사막 제거 영역을 복수개 형성함으로써 형성되고,
    상기 부 정보 영역에서 상기 기판 상에 피트열 또는 안내홈이 형성되고, 상기 피트열 또는 안내홈의 트랙 피치가 0.24㎛ 이상 0.45㎛ 이하인
    것을 특징으로 하는 광 기록 매체.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 금속 반사막의 반사율은, 파장 405㎚의 광 빔에 대하여 35% 이상 70% 이하인 것을 특징으로 하는 광 기록 매체.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 금속 반사막은 Ag 또는 Ag 합금 재료로 이루어지고, 상기 금속 반사막 의 막두께는 25㎚ 이상 70㎚ 이하인 것을 특징으로 하는 광 기록 매체.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 금속 반사막은 Al 또는 Al 합금 재료로 이루어지고, 상기 금속 반사막의 막두께는 15㎚ 이상 40㎚ 이하인 것을 특징으로 하는 광 기록 매체.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 광 빔의 광원의 파장을 λ, 상기 금속 반사막 상에 형성된 수지층의 굴절률을 n으로 했을 때에, 상기 부 정보 영역에서 상기 기판 상에 형성된 피트열 또는 안내홈의 깊이 D는, λ/(6×n)≤D≤λ/(3×n)의 관계식을 만족시키는 것을 특징으로 하는 광 기록 매체.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 주 정보 영역에서 상기 기판 상에 형성된 피트열의 깊이는 상기 부 정보 영역에서 상기 기판 상에 형성된 피트열 또는 안내홈의 깊이와 같은 것을 특징으로 하는 광 기록 매체.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 주 정보 영역에서 상기 기판 상에 형성된 피트열의 트랙 피치는 0.24㎛ 이상 0.43㎛ 이하이며, 상기 주 정보 영역에서 상기 기판 상에 형성된 피트열의 최단 피트 길이는 0.12㎛ 이상 0.21㎛ 이하인 것을 특징으로 하는 광 기록 매체.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 주 정보 영역에서 상기 기판 상에 형성된 피트열의 트랙 피치는 상기 부 정보 영역에서 상기 기판 상에 형성된 피트열 또는 안내홈의 트랙 피치와 같은 것을 특징으로 하는 광 기록 매체.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 주 정보 영역에서 상기 기판 상에 형성된 피트열의 트랙 피치 및 상기 부 정보 영역에서 상기 기판 상에 형성된 피트열 또는 안내홈의 트랙 피치는 0.24㎛ 이상 0.43㎛ 이하인 것을 특징으로 하는 광 기록 매체.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 금속 반사막으로서 복수의 금속 반사막이 적층되어 형성된 다층 광학 기록 매체인 것을 특징으로 하는 광 기록 매체.
  11. 주 정보 영역에 주 데이터로서 피트열이 형성되고, 부 정보 영역에 트랙 피치가 0.24㎛ 이상 0.45㎛ 이하인 피트열 또는 안내홈이 형성된 기판을 준비하는 제 1 단계와,
    상기 기판 상에 금속 반사막을 형성하는 제 2 단계와,
    상기 금속 반사막 상에 수지층을 형성하는 제 3 단계와,
    상기 부 정보 영역의 금속 반사막을 부분적으로 제거하여 반사막 제거 영역을 복수개 형성함으로써 광 기록 매체를 개별적으로 식별하기 위한 매체 식별 정보를 기록하는 제 4 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는
    광 기록 매체의 제조 방법.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 제 2 단계는, 파장 405㎚의 광 빔에 대하여 반사율이 35% 이상 70% 이하인 금속 반사막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광 기록 매체의 제조 방법.
  13. 제 11 항에 있어서,
    상기 제 2 단계는, Ag 또는 Ag 합금 재료로 이루어지는 금속 반사막을, 그 막두께가 25㎚ 이상 70㎚ 이하가 되도록 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광 기록 매체의 제조 방법.
  14. 제 11 항에 있어서,
    상기 제 2 단계는, Al 또는 Al 합금 재료로 이루어지는 금속 반사막을, 그 막두께가 15㎚ 이상 40㎚ 이하가 되도록 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광 기록 매체의 제조 방법.
  15. 제 11 항에 있어서,
    상기 제 1 단계는, 상기 광 빔의 광원의 파장을 λ, 상기 금속 반사막 상에 형성된 수지층의 굴절률을 n으로 했을 때에, 상기 부 정보 영역에서 상기 기판 상에 형성된 피트열 또는 안내홈의 깊이 D가, λ/(6×n)≤D≤λ/(3×n)의 관계식을 만족시키도록, 상기 부 정보 영역의 피트열 또는 안내홈을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광 기록 매체의 제조 방법.
  16. 제 11 항에 있어서,
    상기 제 1 단계는, 상기 주 정보 영역에서 상기 기판 상에 형성된 피트열의 깊이가, 상기 부 정보 영역에서 상기 기판 상에 형성된 피트열 또는 안내홈의 깊이와 같게 되도록, 상기 주 정보 영역에 피트열을 형성하고, 또한, 상기 부 정보 영역에 피트열 또는 안내홈을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광 기록 매체의 제조 방법.
  17. 제 11 항에 있어서,
    상기 제 1 단계는, 상기 주 정보 영역에서 상기 기판 상에 형성된 피트열의 트랙 피치가 0.24㎛ 이상 0.43㎛ 이하가 되고, 또한 상기 주 정보 영역에서 상기 기판 상에 형성된 피트열의 최단 피트 길이가 0.12㎛ 이상 0.21㎛ 이하가 되도록, 상기 주 정보 영역에 피트열을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광 기록 매체의 제조 방법.
  18. 제 11 항에 있어서,
    상기 제 1 단계는, 상기 주 정보 영역에서 상기 기판 상에 형성된 피트열의 트랙 피치가, 상기 부 정보 영역에서 상기 기판 상에 형성된 피트열 또는 안내홈의 트랙 피치와 같게 되도록, 상기 주 정보 영역에 피트열을 형성하고, 또한, 상기 부 정보 영역에 피트열 또는 안내홈을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광 기록 매체의 제조 방법.
  19. 제 11 항에 있어서,
    상기 제 1 단계는, 상기 주 정보 영역의 피트열과 상기 부 정보 영역의 피트열 또는 안내홈을 동시에 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광 기록 매체의 제조 방법.
  20. 주 데이터로서 피트열이 형성된 기판 상에 금속 반사막을 형성한 주 정보 영역과, 상기 기판 상에 트랙 피치가 0.24㎛ 이상 0.45㎛ 이하인 피트열 또는 안내홈이 형성되고, 상기 금속 반사막을 부분적으로 제거하여 반사막 제거 영역을 복수개 형성함으로써 광 기록 매체를 개별적으로 식별하기 위한 매체 식별 정보를 기록한 부 정보 영역을 갖는 광 기록 매체의 상기 금속 반사막에 대하여 광 빔을 조사함으로써 정보를 재생하는 것을 특징으로 하는 광 기록 매체의 재생 방법.
  21. 제 1 항에 있어서,
    상기 부 정보 영역에서의 상기 피트열 혹은 상기 안내홈의 상기 트랙 피치가 0.30㎛ 이상 0.40㎛ 이하인 것을 특징으로 하는 광 기록 매체.
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