KR100664342B1 - 전기 광학 장치용 기판의 제조 방법, 전기 광학 장치의제조 방법, 전기 광학 장치용 기판, 전기 광학 장치 및전자기기 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 요철부에 있어서는 감광성 수지의 막 두께보다 얕은 깊이로 감광성 수지를 제거하고, 요철부 이외의 부분에 있어서는 감광성 수지를 남기지 않고 전기 광학 장치용 기판을 제조하는 것으로, 전기 광학 장치용 기판의 제조 공정에 있어서, 우선, 도 5(a)에 나타내는 바와 같이, 제 2 기판(120) 상에 감광성 수지(132)를 도포한다. 계속해서, 요철부를 형성하도록, 도 5(b)에 나타내는 바와 같이, 제 1 레티클(145)로써 1회 째의 노광을 행한다. 이 후, 요철부 이외의 부분에서 감광성 수지를 막 두께의 깊이까지 제거해야 하고, 도 5(c)에 나타내는 바와 같이, 제 2 레티클(148)로써 2회 째의 노광을 행한다. 두 번의 노광을 행한 후, 현상을 행하여 하지층(130)을 형성한다.

Description

전기 광학 장치용 기판의 제조 방법, 전기 광학 장치의 제조 방법, 전기 광학 장치용 기판, 전기 광학 장치 및 전자기기{MANUFACTURING METHOD OF ELECTRO-OPTICAL APPARATUS SUBSTRATE, MANUFACTURING METHOD OF ELECTRO-OPTICAL APPARATUS, ELECTRO-OPTICAL APPARATUS SUBSTRATE, ELECTRO-OPTICAL APPARATUS, AND ELECTRONIC INSTRUMENT}
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 액정 장치의 단면도,
도 2는 동 액정 장치의 분해 사시도,
도 3은 동 액정 장치에 포함되는 전기 광학 장치용 기판의 평면 및 단면을 나타내는 도면,
도 4는 동 전기 광학 장치용 기판의 제조 방법을 나타내는 공정도,
도 5는 동 제조 방법에 있어서의 각 공정의 상태를 나타내는 도면,
도 6은 동 제조 방법에 있어서의 각 공정의 상태를 나타내는 도면,
도 7은 동 전기 광학 장치용 기판의 제조에 이용되는 레티클을 나타내는 평면도,
도 8은 동 전기 광학 장치용 기판의 제조에 이용되는 레티클을 나타내는 평면도,
도 9는 동 실시예의 변형예에 따른 제조 방법의 공정의 상태를 나타내는 도면,
도 10은 동 변형예에 따른 제조 방법에 이용되는 레티클을 나타내는 평면도,
도 11은 동 변형예에 따른 제조 방법에 이용되는 레티클을 나타내는 평면도,
도 12는 동 변형예에 따른 제조 방법에 이용되는 일괄 노광용 대형 마스크(a large mask)를 나타내는 평면도,
도 13은 동 액정 장치를 탑재한 전자기기의 일례를 나타내는 도면,
도 14는 종래의 전기 광학 장치용 기판의 제조 공정에 있어서의 각 공정의 상태를 나타내는 도면이다.
도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
100 : 액정 장치(전기 광학 장치) 102 : 액정 패널
104 : 백 라이트 유닛 110 : 제 1 기판
114 : 화소 전극 115 : TFD 소자
116 : 주사선 118, 154 : 배향막
120 : 제 2 기판 124 : 전기 광학 장치용 기판
125 : 개구부 130 : 하지층
130a : 측단면 130b : 요철면
140 : 반투과 반사층 145, 145A, 148, 148A : 레티클
146b : 요철용 투광부 147, 147c : 차광층
147b : 요철용 차광부 149a : 개구용 투광부
150R, 150G, 150B : 컬러 필터 152 : 데이터선
160 : 도트 180 : 액정
300 : 휴대 전화기
본 발명은 전기 광학 장치에 관한 것으로, 특히, 관찰 측으로부터의 입사광을 반사시켜 화상 표시를 행하는 반사형 표시와, 배면측으로부터의 입사광을 관찰 측에 투과시켜 화상 표시를 행하는 투과형 표시가 가능한 반투과 반사형 전기 광학 장치에 관한 것이다.
전기 광학 장치의 일종인 반투과 반사형 액정 장치는 액정층과 백 라이트 유닛 사이에, 백 라이트 유닛의 광을 투과시키고, 또한 외광을 반사시키는 반투과 반사층을 갖고 있다. 이 반투과 반사층은 백 라이트의 광을 투과시키기 위한 개구부를 갖는 한편, 관찰자가 시인(視認)하는 화면에 비침이 발생하는 것을 막기 위해, 외광을 산란시키기 위한 요철 형상의 반사면을 갖고 있다.
이 요철 형상의 반사면을 형성하는 방법으로는, 예컨대, 특허 문헌 1에 기재되어 있는 방법이 있다. 이 방법은, 도 14(a)에 나타내는 바와 같이, 기판(500) 상에 포지티브형 감광성 수지(510)를 도포하고, 도포된 감광성 재료를 포토 마스크 (520)를 이용하여 노광한다. 이 포토 마스크(520) 중 랜덤하게 배치된 투광부(530)는 하지층(540a)의 요철면을 형성하기 위한 것이다. 이러한 포토 마스크(520)로써 감광성 수지를 노광한 후, 현상 처리를 실시하면, 도 14(c)에 나타내는 바와 같은 요철면을 갖는 하지층(540a)이 형성된다. 다음에, 이 하지층(540a)에 대하여 포스트베이크(post-baked)를 행한 후, 형성된 요철면 및 기판(500) 상에, 포지티브형 감광성 수지를 재차 도포하고, 패널 표시 영역 주변의 실장 영역을 노광한다. 감광성 수지를 노광한 후, 현상 처리를 실시하면, 도 14(d)에 나타내는 바와 같은 요철면을 갖는 하지층(540b)이 형성된다. 하지층(540a)과 하지층(540b)을 포스트 베이크한 후, 하지층의 요철면에만, 알루미늄 등의 광 반사성을 갖는 재료를 적층하여, 반사층(560)을 형성한다.
(특허 문헌 1) 일본 특허 공개 제2003-75987호 공보
특허 문헌 1에 개시되어 있는 방법에 있어서는, 「감광성 수지의 도포-노광-현상-포스트베이크」라고 하는 일련의 공정이 반사층(560)을 형성할 때까지 2회 행해지지만, 이와 같이 공정수가 많고 제조에 시간이 걸려, 그 만큼, 제조 비용에도 영향을 미치고 있다. 제조 시간이나 비용을 삭감하기 위해, 2회 째의 공정을 생략하고, 기판(500)과, 1회 째의 공정에서 형성된 하지층(540a) 상에 반사층(560)을 형성하는 방법이 생각된다. 그러나, 1회의 공정만으로는, 도 14(c)에 나타내는 바와 같이, 하지층(540a)의 오목부의 바닥이 기판에 이르기 때문에, 이대로 반사층을 형성하면, 오목부의 바닥에 형성되는 반사층이 평탄하게 되어, 양호한 산란 특성을 얻을 수 없게 된다. 이와 같이, 오목부의 바닥에 형성되는 반사면이 평탄해지지 않도록 하기 위해, 오목부의 바닥이 기판에 도달하지 않도록, 노광을 행하는 방법이 있다. 구체적으로는, 감광성 재료에 작용하는 광의 깊이가 감광성 재료의 막 두께의 깊이보다 얕은 깊이로 되도록, 노광 공정에서 조사하는 광을 제어한다. 이러한 노광을 행한 후, 현상을 행하면, 요철부의 오목부의 깊이가 감광성 수지의 막 두께보다 얕은 깊이의 하지층이 형성된다. 그러나, 이러한 태양에 따르면, 감광성 재료에 작용하는 광은 기판의 깊이까지 작용하지 않기 때문에, 요철부 이외의 부분, 즉, 패널 표시 영역 외의 부분에 감광성 수지가 남겨진다. 이와 같이 패널 표시 영역 외의 실장 영역에 대응하는 부분에 수지가 남겨지면, 이 영역에 배치되는 ITO(Indium Tin Oxide) 등의 광 투과성 도전 재료에 의해 형성되는 데이터선이 끊어진다고 하는 문제가 발생한다.
본 발명은 상술한 배경 하에 행해진 것으로서, 요철부에서는 감광성 수지의 막 두께보다 얕은 깊이로 감광성 수지를 제거하고, 요철부 이외의 부분에 있어서는 감광성 수지를 잔류시키지 않는 것을 가능하게 하는 전기 광학 장치용 기판의 제조 방법, 해당 전기 광학 장치용 기판의 제조 방법을 포함하는 전기 광학 장치의 제조 방법, 전기 광학 장치용 기판, 해당 전기 광학 장치용 기판을 이용한 전기 광학 장치 및 전자기기를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명에 관계되는 전기 광학 장치용 기판의 제조 방법은 요철 형상의 광 반사부를 갖는 전기 광학 장치용 기판의 제조 방법으로서, 기판에 포지티브형 감광성 재료를 도포하는 도포 공정과, 상기 도포 공정에 의해 도포된 감광성 재료에, 상기 광 반사부에서의 볼록부에 대응한 영역을 형성하도록, 상기 감광성 재료의 막 두께의 깊이보다 얕은 깊이까지 광이 작용하도록 노광하는 요철 형성용 노광 공정과, 상기 전기 광학 장치용 기판으로 이루어지는 영역을 형성하도록, 상기 전기 광학 장치용 기판으로 이루어지는 영역 외에 대하여, 상기 도포 공정에 의해 도포된 감광성 재료의 막 두께의 깊이 이상으로 광이 작용하도록 노광하는 기판 노광 공정과, 노광이 행해진 상기 감광성 재료를 현상하고, 노광 시에 감광된 영역을 제거하는 현상 공정과, 상기 현상 공정에 의해 상기 감광성 재료에 형성된 요철면 상에, 광 반사성을 갖는 반사층을 형성하는 반사층 형성 공정을 갖는 것을 특징으로 한다.
이 전기 광학 장치용 기판의 제조 방법에 따르면, 감광성 재료에 형성되는 요철면의 오목부의 깊이가 감광성 재료의 막 두께의 깊이보다 얕게 되고, 전기 광학 장치용 기판으로 되는 영역 이외의 부분의 감광성 재료가 제거되어, 전기 광학 장치용 기판의 측단면이 평탄해진다. 요철부의 오목부가 감광성 재료의 막 두께의 깊이로 되지 않기 때문에, 오목부의 바닥에 형성되는 반사층이 평탄해지지 않고, 양호한 산란 특성을 얻을 수 있다. 또한, 전기 광학 장치용 기판의 측단면이 평탄해지기 때문에, 이 측단면을 넘어 마련되는 전극이 끊어진다고 하는 불량이 해소된 다.
또, 이 제조 방법에 있어서는, 상기 기판 노광 공정에서는, 광을 투과시키기 위한 개구부를 상기 전기 광학 장치용 기판으로 되는 영역 내에 형성하도록, 상기 전기 광학 장치용 기판으로 이루어지는 영역 외에 더하고, 상기 전기 광학 장치용 기판으로 이루어지는 영역 내에서 개구부에 대응하는 영역을 노광하도록 하여도 좋다.
상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명에 관계되는 전기 광학 장치용 기판의 제조 방법은 요철 형상의 광 반사부를 갖는 전기 광학 장치용 기판의 제조 방법으로서, 기판에 네거티브형 감광성 재료를 도포하는 도포 공정과, 상기 도포 공정에 의해 도포된 감광성 재료에, 상기 광 반사부에서의 볼록부에 대응한 영역을 형성하도록, 상기 감광성 재료의 막 두께의 깊이보다 얕은 깊이까지 광이 작용하게 노광하는 요철 형성용 노광 공정과, 상기 전기 광학 장치용 기판으로 이루어지는 영역을 형성하도록, 상기 전기 광학 장치용 기판으로 되는 영역 외를 차광하고, 상기 도포 공정에 의해 도포된 감광성 재료의 막 두께의 깊이 이상으로 광이 작용하도록 노광하는 기판 노광 공정과, 노광이 행해진 상기 감광성 재료를 현상하고, 노광 시에 차광된 영역을 제거하는 현상 공정과, 상기 현상 공정에 의해 상기 감광성 재료에 형성된 요철면 상에, 광 반사성을 갖는 반사층을 형성하는 반사층 형성 공정을 갖는 것을 특징으로 한다.
이 전기 광학 장치용 기판의 제조 방법에 따르면, 감광성 재료에 형성되는 요철면의 오목부의 깊이가 감광성 재료의 막 두께의 깊이보다 얕게 되고, 전기 광 학 장치용 기판으로 되는 영역 이외의 부분의 감광성 재료가 제거되어, 전기 광학 장치용 기판의 측단면이 평탄해진다. 요철부의 오목부가 감광성 재료의 막 두께의 깊이로 되지 않기 때문에, 오목부의 바닥에 형성되는 반사층이 평탄해지지 않아, 양호한 산란 특성을 얻을 수 있다. 또한, 전기 광학 장치용 기판의 측단면이 평탄해지기 때문에, 이 측단면을 넘어 마련되는 전극이 끊어진다고 하는 불량이 해소된다.
또, 이 제조 방법에 있어서는, 상기 기판 노광 공정에서는, 광을 투과시키기 위한 개구부를 상기 전기 광학 장치용 기판으로 이루어지는 영역 내에 형성하도록, 상기 전기 광학 장치용 기판으로 이루어지는 영역 외에 부가하여, 상기 전기 광학 장치용 기판으로 이루어지는 영역 내에서 개구부에 대응하는 영역을 차광하도록 하여도 좋다.
또한, 상기 전기 광학 장치용 기판의 제조 방법에 있어서는, 상기 요철 형성용 노광 공정에서는 스텝퍼 노광(stepper exposure)에 의해 노광을 행하고, 상기 기판 노광 공정에서는 스텝퍼 노광 또는 일괄 노광(full plate exposure)에 의해 노광을 행하도록 하여도 좋다.
또한, 본 발명은 상기 전기 광학 장치용 기판의 제조 방법을 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치의 제조 방법을 제공한다. 이 전기 광학 장치의 제조 방법에 따르면, 그 제조 공정에 있어서, 요철부의 오목부가 감광성 재료의 막 두께의 깊이로 되지 않기 때문에, 오목부의 바닥에 형성되는 반사층이 평탄해지지 않아, 양호한 산란 특성을 얻을 수 있다. 또한, 전기 광학 장치용 기판의 측단면 이 평탄해지기 때문에, 이 측단면을 넘어 마련되는 전극이 끊어진다고 하는 불량이 해소된다.
또한, 본 발명은 요철면을 갖는 하지층과, 광 반사성을 갖는 광 반사층을 갖는 전기 광학 장치용 기판으로서, 상기 광 반사층은 상기 하지층 중 상기 요철면 상에 위치하도록 마련되고, 상기 하지층은 그 측단면이 평탄하며, 상기 요철면의 오목부의 깊이가 상기 하지층의 막 두께보다 얇은 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치용 기판을 제공한다. 이러한 전기 광학 장치용 기판에 따르면, 요철부의 오목부가 감광성 재료의 막 두께의 깊이보다 얕기 때문에, 오목부의 바닥에 형성되는 반사층이 평탄해지지 않아, 양호한 산란 특성을 얻을 수 있다. 또한, 전기 광학 장치용 기판의 측단면이 평탄해지기 때문에, 이 측단면을 넘어 마련되는 전극이 끊어진다고 하는 불량이 해소된다.
바람직한 태양에 있어서, 전기 광학 장치용 기판은 광을 차광하는 차광층으로서 흑색 수지 재료로 형성된 차광층을, 상기 하지층 중 상기 요철면의 소정 영역에 구비하도록 하여도 좋다.
또한, 바람직한 태양에 있어서, 전기 광학 장치용 기판은, 광을 차광하는 차광층으로서, 금속 재료로 형성된 차광층을 상기 하지층 중 상기 요철면의 소정의 영역에 구비하도록 하여도 좋다.
또한, 바람직한 태양에 있어서는, 전기 광학 장치용 기판은, 광을 차광하는 차광층으로서, 착색된 수지 재료를 적층하여 형성된 차광층을 상기 하지층 중 상기 요철면의 소정 영역에 구비하도록 하여도 좋다.
또한, 바람직한 태양에 있어서는, 전기 광학 장치용 기판의 하지층은 포지티브형 감광성 재료인 것이 바람직하다.
또한, 바람직한 태양에 있어서는, 전기 광학 장치용 기판의 하지층은 네거티브형 감광성 재료인 것이 바람직하다.
또한, 본 발명은 상기 전기 광학 장치용 기판을 포함하는 전기 광학 장치, 및 해당 전기 광학 장치를 표시 장치로서 구비하는 것을 특징으로 하는 전자기기를 제공한다. 상술한 전기 광학 장치용 기판은, 그 제조 공정에 있어, 전기 광학 장치용 기판의 측단면이 평탄하게 되고, 이 측단면을 넘어 마련되는 전극이 끊어진다고 하는 불량이 발생하지 않기 때문에, 양품률이 우수하고, 제조 비용이 저렴하게 된다. 이에 따라, 이 전기 광학 장치용 기판을 포함하는 전기 광학 장치 및 해당전기 광학 장치를 표시 장치로서 구비하는 전자기기의 제조 비용을 저렴하게 할 수 있게 된다.
이하, 도면을 참조하여, 본 발명의 실시예에 대하여 설명한다. 또, 이하에 나타내는 각 도면에 있어서는, 각 구성 요소를 도면 상에서 인식될 수 있을 정도의 크기로 하기 위해, 각 구성 요소의 치수나 비율을 실제와는 적당히 다르게 하고 있다.
(액정 장치의 구성)
우선, 본 발명의 실시예에 관한 액정 장치(100)의 구성에 대해 설명한다. 도 1은 본 실시예에 관계되는 액정 장치(100)의 단면도이며, 도 2는 동 액정 장치(100)의 대략 구성을 나타내는 분해 사시도이다. 또, 도 1은 도 2에서의 A-A'선으로부터 본 단면에 상당한다. 도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 액정 장치(100)는 전기 광학 물질의 일종인 액정(180)(도 2에 있어서는 도시 생략)을 제 1 기판(110) 및 제 2 기판(120) 사이에 유지하는 액정 패널(102)과, 해당 액정 패널(102)의 제 2 기판 측에 배치된 백 라이트 유닛(104)을 구비하고 있다. 또, 이하의 설명에 있어서는, 편의상, 도 1에 나타내는 바와 같이, 액정(180)에 대하여 제 1 기판(110) 측을, 액정 장치(100)에 의한 표시 화상을 시인하는 관찰자가 위치하는 쪽이라는 의미로 「관찰측」이라 표기하고, 액정(180)으로부터 보아 제 2 기판(120) 측을 「배면측」이라고 표기한다.
백 라이트 유닛(104)은, 예컨대, 도광판(106)과, 냉음극관 등의 광원(105)을 구비하고 있고, 이 광원(105)은 판 형상 부재인 도광판(106)의 측단면에 대하여 광을 조사한다. 도광판(106) 중 액정 패널(102)과 대향하는 면에는, 도광판(106)으로부터의 광을 액정 패널(102)에 대하여 똑같이 확산시키는 확산판(도시 생략)이 점착되어 있다. 또한, 이 반대측의 면에는, 도광판(106)으로부터 배면측으로 출사하고자 하는 광을 액정 패널(102) 측으로 반사시키는 반사판(도시 생략)이 점착되어 있고, 그 측단면으로부터 입사된 광을 액정 패널(102)의 제 2 기판(120)에 대하여 똑같이 유도한다.
액정 패널(102)의 제 1 기판(110)은 유리 등의 광 투과성 재료로 이루어지는 판 형상 부재이다. 제 1 기판(110)의 관찰측의 면에는, 계조를 개선하기 위한 위 상차판(111)(도 2에서는 도시 생략)과, 입사광을 편광시키기 위한 편광판(112)(도 2에서는 도시 생략)이 제 1 기판(110) 측으로부터 이 순서로 적층되어 있고, 제 1 기판(110)의 액정(180) 측(배면측)의 면에는, ITO(Indium Tin Oxide)막 등의 화소 전극(114)이 매트릭스 형상으로 배치되어 있다. 이 각 화소 전극(114)의 간격에는, 한 방향(도 2에 나타내는 Y 방향)으로 연장하는 복수의 주사선(116)이 형성되어 있고, 각 화소 전극(114)과 각 화소 전극에 인접하는 주사선(116)은 비선형인 전류-전압 특성을 갖는 2단자형 스위칭 소자인 TFD(Thin Film Diode) 소자(115)를 거쳐 접속되어 있다. 그리고, 도 1에 나타내는 바와 같이, 화소 전극(114), 주사선(116) 및 TFD 소자(115)가 형성된 제 1 기판(110)의 표면은 배향막(118)(도 2에서는 도시 생략)에 의해 덮여 있다. 이 배향막(118)은 폴리이미드 등의 유기박막이며, 전압이 인가되어 있을 때의 액정(180)의 배향 상태를 규정하기 위한 연마 처리가 실시되어 있다.
제 2 기판(120)은 유리 등의 광 투과성 재료로 이루어지는 판 형상 부재이며, 그 배면측의 면에는, 제 1 기판(110)과 마찬가지로, 위상차판(121)(도 2에서는 도시 생략) 및 편광판(122)(도 2에서는 도시 생략)이 제 2 기판측으로부터 이 순서로 적층되어 있다. 한편, 제 2 기판(120)의 액정(180)측(관찰측)의 면에는, 하지층(130)과, 반투과 반사층(140)과, 3색의 컬러 필터(150R, 150G, 150B)와, 데이터선(152)과, 배향막(154)(도 2에서는 도시 생략)이 제 2 기판측으로부터 이 순서로 적층되어 있다. 이 중 배향막(154)은 배향막(118)과 마찬가지의 유기 박막이며, 러빙 처리가 실시되어 있다.
하지층(130)은 감광성 재료를 노광·현상 처리함으로써 조형된 것으로, 그 측단면(130a)은 평탄하게 되어있다. 하지층(130)은 도트(160)의 중앙 부근에 위치하는 광투과용 개구부(125)와, 관찰측에 마련된 매끄러운 요철 형상의 면(130b)(이하, 「요철면」이라 함)을 갖고 있다.
반투과 반사층(140)은, 예컨대, 알루미늄 또는 은 등의 광 반사성을 갖는 재료가, 도 3의 평면도 및 단면도에 나타내는 바와 같이, 하지층(130) 중 관찰측의 면상에 대략 일정한 막 두께로써 박막 형성된 것이고, 반투과 반사층(140)의 표면 형상은 하지층(130)의 요철 형상의 표면 형상이 반영된 것으로 되어 있다(이하, 이 요철 형상의 표면 형상을 갖는 면을 「산란 반사면」이라 함). 또, 설명의 편의상, 이후의 설명에 있어서는, 제 2 기판(120)과, 하지층(130)과, 반투과 반사층(140)을 포함하는 반투과 반사성을 갖는 기능성 기판을 「전기 광학 장치용 기판(124)」이라 한다.
컬러 필터(150R, 150G, 150B)는 각 도트(160)에 대응하여 마련된 수지층이다. 각 컬러 필터는 안료 등에 의해 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B) 중 어느 하나에 각각 착색되어 있고, 그 색에 대응하는 파장의 광을 선택적으로 투과시킨다. 또, 도 2에 있어서의 「R」, 「G」 및 「B」는 도트(160)의 각각이 어느 쪽의 컬러 필터(150R, 150G, 150B)가 배치되는 도트(160)인지를 나타내고 있다.
차광층(151)은, 예컨대, 카본 블랙이 분산된 흑색 수지 재료나, 크롬(Cr)과 같은 금속 재료 등에 의해 형성되어 있고, 인접하는 컬러 필터(150R, 150G, 150B)의 측면을 차광하도록, 각 컬러 필터(150R, 150G, 150B)의 간격을 매립하도록 격자 형상으로 형성되어 있다. 또, 차광층(151)은 특정 재료에 의해 형성되는 것에 한정되지 않고, 예컨대, 착색층을 구성하는 컬러 필터(150R, 150G, 150B)의 각 착색층을 2색 또는 3색 겹치는 것, 즉 적층함으로써도 형성할 수 있다.
복수의 데이터선(152)의 각각은 ITO 등의 광 투과성 도전 재료에 의해 형성된 띠형 전극이다. 도 2에 나타내는 바와 같이, 데이터선(152)은 컬러 필터(150R, 150G, 150B)의 면 상에 형성되어 있고, 상술한 주사선(116)과 교차하는 방향(도 2 중 X방향)으로 연장하고, 제 1 기판(110) 상에 열을 이루는 복수의 화소 전극(114)과 대향하도록 위치한다. 그리고, 데이터선(152)은, 도 1에 나타내는 바와 같이, 전기 광학 장치용 기판(124)의 측단면에 있어서는, 그 측단면을 넘어 위치하고, 제 2 기판(120) 상에 있어서는, 관찰측의 면 상에 위치한다.
이상 설명한 구성의 제 1 기판(110) 및 제 2 기판(120)은, 도 1에 나타내는 바와 같이, 밀봉재(170)를 거쳐 접합할 수 있고, 또한 양 기판 상의 구조물과, 밀봉재(170)를 따라 둘러싸인 영역에, 예컨대, TN(Twisted Nematic)형 등의 액정(180)이 밀봉된다. 이러한 구성 하에, 제 1 기판(110)과 제 2 기판(120) 사이에 유지된 액정(180)은 화소 전극(114)과 이것에 대향하는 데이터선(152) 사이에 전압이 인가됨으로써, 그 배향 방향이 변화된다. 도 2에 나타내는 바와 같이, 이 인가 전압에 따라 액정(180)의 배향 방향이 변화되는 영역의 최소 단위(160)는 매트릭스형상으로 배열되어 있고, 그 각각이 서브 화소(도트)로서 기능한다. 이 액정 패널(102)에 관찰측으로부터 외광이 입사되면, 외광은 전기 광학 장치용 기판(124)에 의해 관찰측을 향해서 산란 반사하고, 그에 따라 반사형 표시가 실현된다. 한편, 액정 패널(102)의 배면측으로부터 백 라이트 유닛(104)의 광이 입사되면, 입사된 광은 하지층(130) 및 반투과 반사층(140)의 개구부(125)를 통과하여 관찰측으로 출사되고, 이에 따라 투과형 표시가 실현된다.
(제조 방법)
다음에, 본 발명의 실시예에 관한 전기 광학 장치용 기판(124)의 제조 방법에 대하여 설명한다. 도 4는 전기 광학 장치용 기판(124)의 제조 공정을 나타내는 흐름도이며, 도 5 및 도 6은 동 제조 공정에 있어서의 제 2 기판(120)의 부분단면도이다. 또, 도 5 및 도 6에 있어서는 제 2 기판(120) 중 하나의 도트(160)에 대응하는 부분과, 패널 표시 영역 외와 패널 표시 영역 내의 경계로 되는 부분이 표시되어 있다.
이 제조 공정에 있어서는, 우선, 제 2 기판(120)을 세정한 후, 세정한 기판을 건조시킨다(도 4 : 프로세스 P1). 다음에, 도 5(a)에 나타내는 바와 같이, 제 2 기판(120) 중 관찰측으로 되는 면에, 예컨대, 스핀코트법 등에 의해, 감광성 재료의 일종인 포지티브형 감광성 수지(132)를 도포한다(도 4 : 프로세스 P2). 이 감광성 수지(132)로는, 예컨대, PC405G(JSR 주식회사제) 등을 이용할 수 있다. 그 후, 제 2 기판(120)에 도포한 감광성 수지(132)를 감압 환경 하에서 건조시키고(도 4 : 프로세스 P3), 건조한 감광성 수지(132)를 85℃ 내지 105℃의 범위로 대략 120초간 프리베이크한다(도 4 : 프로세스 P4).
다음에, 프리베이크한 감광성 수지(132)를, 스텝퍼에 의해, 도 7에 나타내는 패턴의 레티클(145)을 이용하여 노광한다(도 4 : 프로세스 P5). 도 7에 나타내는 바와 같이, 레티클(145)은 유리 등의 광 투과성을 갖는 기판에, 크롬 등의 차광층(도면 중 사선으로 나타냄)이 마련된 것이다. 도 7의 확대 도면에 표시되도록, 레티클(145)에는, 하지층(130)의 요철면(130b)을 형성하기 위한 미소한 차광 영역인 요철용 차광부(147b)가 복수 마련된다. 또, 감광성 수지(132)는 포지티브형이기 때문에, 광이 조사되면, 그 부분은 후술하는 현상 공정에서 현상액으로 용해하여 제거된다.
이러한 레티클(145)로써, 예컨대, 노광 시간을 1,600msec로 해서 노광하면, 레티클(145)을 투과한 광은, 도 5(b)에 나타내는 바와 같이, 감광성 수지(132) 상면 중 도면 중 파선으로 표시되는 면까지 작용한다. 또, 감광성 수지(132)에 있어, 레티클(145)을 투과한 광이 작용하는 깊이는 감광성 수지(132)의 재질이나, 노광 시의 광의 강도에 따라 다르기 때문에, 노광 시간을 변경하는 것에 의해 제어할 수 있다.
스텝퍼에 의해, 이상과 같은 레티클(145)을 순차적으로 어긋나게 하고, 반복해서 노광 처리를 행하여 기판(120) 전체의 노광 처리를 행한 후, 다음에, 레티클(148)을 이용하여 노광을 행한다(도 4 : 프로세스 P6). 도 8은 이 2회 째의 노광에 이용되는 레티클(148)의 패턴을 나타내는 도면이다. 이 도면에 나타내는 바와 같이, 레티클(148)에는, 유리 등의 광 투과성을 갖는 기판에, 차광층(147)(도면 중 사선으로 나타냄)이 마련된다.
이 레티클(148)에 있어서는, 패널 표시 영역 내에 상당하는 부분이 차광되어 있고, 액정 패널(102)에 있어서의 도트(160)의 각각에 대응하여, 동일한 패턴이 매트릭스 형상으로 마련되어 있다. 그리고, 도 8의 확대도로 나타내는 바와 같이, 레티클(148) 중 하나의 도트(160)에 대응하는 영역에는, 개구부(125)를 형성하기 위한 개구용 투광부(149a)가 마련되어 있다. 이러한 레티클(148)로써, 1회 째의 노광 시간과 노광 시간을 다르게 하고, 예컨대, 노광 시간을 4,000msec로 하여 2회 째의 노광을 행하면, 레티클(148)의 차광되어 있지 않은 부분을 투과한 광, 즉, 개구용 투광부(149a)와, 패널 표시 영역 외에 상당하는 부분을 투과한 광은 감광성 수지(132)의 최하부에까지 작용한다. 스텝퍼에 의해, 이상과 같은 레티클(148)을 순차적으로 어긋나게 해 두고, 반복해서 노광 처리를 행하여 기판(120) 전체의 노광 처리를 행한 후, 감광성 수지(132)에 현상 처리를 실시하면(도 4 : 프로세스 P7), 도 5(d)에 나타내는 바와 같이, 노광 공정에서 광이 작용한 깊이 만큼, 요철면의 오목 부분과, 개구부(125)의 부분과, 패널 표시 영역 외로 되는 부분의 감광성 수지가 제거되고, 요철을 갖는 요철면(130b)을 갖고, 측단면(130a)이 평탄한 하지층(130)이 형성된다.
그런데, 감광성 수지(132)의 현상 공정이 종료하면, 이어서, 감광성 수지(132)에, 예컨대, i선 등의 자외선(ultraviolet rays: 이하, UV라고 함)을 조사한다. 본 실시예에서 이용한 감광성 수지(132 : PC405G)는, 엷은 황색를 띠고 있고, UV를 조사함으로써 엷은 황색이 제거되어 광 투과성이 향상된다. 이것은 가령 하지층(130)이 착색되어 있었다고 하면, 전기 광학 장치용 기판(124)에 있어서의 외광의 반사 시에, 그 색이 반사광에 반영되기 때문에, 그 개선을 목적으로 하고 있 다. 또, 이 공정은 본 실시예에서 이용한 감광성 수지(132)에 대한 특유의 공정이며, 전기 광학 장치용 기판(124)의 제조에서 필수적인 공정은 아니다. 이 후, 감광성 수지(132)를, 예컨대, 「220℃」에서 50분간 소성한다(도 4 : 프로세스 P8).
이어서, 도 6(a)에 나타내는 바와 같이, 반투과 반사층(140)으로 되는 알루미늄 또는 알루미늄 합금을 대략 일정한 두께로 해서, 예컨대 스퍼터링 등에 의해, 하지층(130)을 피복하도록 형성한다(도 4 : 프로세스 P9). 여기서, 본 실시예에 있어서는, 하지층(130)에 형성된 요철면의 오목부가 제 2 기판에 도달하지 않기 때문에, 요철면(130b)의 오목부가 평탄해지지 않는다. 다음에, 도 6(b)에 나타내는 바와 같이, 알루미늄층 중 요철면(130b) 이외의 부분을 제거해야 하는, 마스크(142)를 형성한다. 구체적으로는, 하지층(130)의 요철면(130b)에 대응하는 부분을 마스크(142)로 피복한다. 그리고, 알루미늄층 중 마스크(142)로 덮여 있지 않은 부분을 에칭한 후, 마스크(142)를 제거하면, 도 6(c)에 나타내는 바와 같이, 개구부(125)와, 요철 형상의 반투과 반사층(140)을 갖는 산란 반사형 전기 광학 장치용 기판(124)이 제조된다.
계속해서, 반투과 반사층(140)이 형성된 제 2 기판(120) 상에 구조물을 형성하는 방법에 대하여 전술한 도 1을 참조하여 설명한다. 이상과 같이 하여 반투과 반사층(140)이 형성되면, 계속해서, 제 2 기판(120)의 반사면 측(관찰측)에, 예컨대, 크롬으로 이루어지는 박막을, 예컨대, 스퍼터링법 등에 의해 형성한다. 이 후, 포토리소그래피 기술 및 에칭 기술을 이용하여 당해 박막을 패터닝함으로써, 격자 형상의 차광층(151)을 얻는다. 또한, 차광층(151)은 특정한 재료로 형성되는 것에 한정되지 않고, 예컨대, 착색층을 구성하는 컬러 필터(150R, 150G, 150B)의 각 착색층을 2색 또는 3색 겹치는 것, 즉 적층함으로써도 형성할 수 있다.
계속해서, 제 2 기판(120)에 있어서의 반투과 반사층(140) 상에 적색, 녹색 및 청색의 컬러 필터(150R, 150G, 150B) 각각을 매트릭스 형상으로 형성한다. 이들 컬러 필터(150R, 150G, 150B)의 형성 방법으로는, 예컨대, 안료에 의해 착색된 감광성 수지에 의해 형성할 수 있다. 다음에, 컬러 필터(150R, 150G, 150B) 및 차광층(151)을 피복하도록 ITO로 이루어지는 박막을 형성하고, 이것을 패터닝함으로써 데이터선(152)을 형성한다. 여기서, 전기 광학 장치용 기판(124)은 현상 공정에 의해, 패널 표시 영역 외에 상당하는 부분의 감광성 수지가 제거되어 측단면(130a)이 평탄하게 되어있기 때문에, 측단면(130a)을 넘어 패널 표시 영역 외에 배치되는 데이터선이 끊어진다고 하는 문제가 발생하지 않는다. 따라서, 전기 광학 장치용 기판(124)의 품질이 향상되고, 나아가서는 액정 장치(100)의 품질이 향상된다. 그리고, 데이터선을 형성한 후, 이들 데이터선(152)을 피복하도록 배향막(154)을 형성하고, 배향막(154) 표면에 러빙 처리를 실시한다.
이상이 제 2 기판(120) 상에 마련되는 각 구조물의 제조 방법이다. 이 제조 방법에 의해 얻어진 제 2 기판(120)과, 화소 전극(114), 주사선(116), TFD 소자(115) 및 배향막(118)이 형성된 제 1 기판(110)을 서로의 배향막(118)과 배향막(154)을 대향시킨 상태로 밀봉재(170)를 거쳐 접합한다. 이어서, 기판(110)과 기판(120)과 밀봉재(170)에 의해 둘러싸인 공간에 액정(180)을 주입하고, 그 후, 도시하지 않은 밀봉재에 의해 액정(180)이 주입된 공간을 밀봉하여 막는다. 그리고, 일체화된 제 1 기판(110) 및 제 2 기판(120) 각각의 외측면에, 위상차판(111, 121)과 편광판(112, 122)을 점착함으로써, 액정 표시 패널이 완성된다.
이상 설명한 바와 같이, 본 실시예에 관한 제조 방법에 따르면, 하지층(130)에 형성된 요철면의 오목부가 제 2 기판에 도달하지 않기 때문에, 반투과 반사층(140)의 오목부가 평탄해지지 않는다. 이 때문에, 반투과 반사층(140)에 있어서는, 경면 반사로 되는 부분이 없어져, 양호한 산란 특성을 얻는 것이 가능해진다. 또한, 패널 표시 영역 외로 되는 부분의 감광성 수지가 제거되고, 전기 광학 장치용 기판(124)의 측단면(130a)이 평탄해지기 때문에, 측단면(130a)을 넘어 위치하는 데이터선(152)이 끊어진다고 하는 문제가 발생하지 않는다.
(변형예)
이상, 본 발명의 실시예에 대해 설명했지만, 본 발명은 상술한 실시예에 한정되지 않고, 다른 여러 가지 형태로 실시 가능하다. 예컨대, 상술한 실시예를 아래와 같이 변형하여 본 발명을 실시하여도 좋다.
상술한 실시예에 있어서는, 노광에 의해 용화(溶化)하는 포지티브형 감광성 재료를 이용하여 전기 광학 장치용 기판(124)을 제조했지만, 노광에 의해 용화되지 않는 네거티브형 감광성 재료를 이용하는 것도 가능하다. 도 9는 네거티브형 감광성 재료를 이용한 경우의, 전기 광학 장치용 기판의 제조 공정에 있어서의 제 2 기판(120)의 부분 단면도이다. 또, 도 9에 있어서는 제 2 기판(120) 중 하나의 도트(160)에 대응하는 부분과, 패널 표시 영역 외와 패널 표시 영역 내의 경계로 되는 부분이 표시되어 있다. 우선, 도 9(a)에 나타내는 바와 같이, 감광성 재료의 일종인 네거티브형 감광성 수지(132A)가 도포된 제 2 기판(120)을, 도 9(b)에 나타내는 바와 같이, 스텝퍼에 의해, 레티클(145A)을 이용하여 노광한다. 도 10은 이 노광에 이용되는 레티클(145A)의 패턴을 나타내는 도면이다. 네거티브형 감광성 수지에 있어서는, 노광된 부분이 패턴으로 남기 때문에, 도 10의 확대도로 나타내는 바와 같이, 요철면의 볼록부가 남도록, 즉, 볼록부에 상당하는 부분에 광이 닿도록, 요철용 투광부(146b)를 마련하여, 수지를 제거하고자 하는 부분을 차광한다. 이 레티클(145A)을 이용하여 1회 째의 노광을 행하면, 도 9(b)에 나타내는 바와 같이, 차광되어 있지 않은 부분을 투과한 광은 감광성 수지(132A)의 상면 중 도면 중 파선으로 표시되는 면까지 작용한다.
다음에, 레티클(148A)을 이용하여 2회 째의 노광을 행한다. 도 11은 이 2회 째의 노광에 이용되는 레티클(148A)의 패턴을 나타내는 도면이다. 이 도면에 나타내는 바와 같이, 레티클(148A)에는, 패널 표시 영역 외의 부분의 감광성 수지를 제거하기 위한 차광층(147c)이 마련되어 있다. 이러한 레티클(148A)에서, 1회 째의 노광 시간과 노광 시간을 다르게 하고, 2회 째의 노광을 행하면, 도 9(c)에 나타내는 바와 같이, 개구부와 패널 표시 영역 외에 상당하는 부분이 차광되어, 요철면이 형성되는 영역에 광이 작용한다. 이상과 같은 레티클(145A)과 레티클(148A)을 이용한 노광 처리 후, 감광성 수지(132A)에 현상 처리를 실시하면, 도 9(d)에 나타내는 바와 같은 개구부(125)와, 요철을 갖는 요철면(130b)을 갖고, 측단면(130a)이 평탄한 감광성 수지(132A)(하지층(130))가 형성된다. 이와 같이, 네거티브형 감광 성 수지를 이용한 태양에서도, 하지층(130)에 형성된 요철면의 오목부가 제 2 기판에 도달하지 않기 때문에, 반투과 반사층(140)의 오목부가 평탄해지지 않는다. 이 때문에, 반투과 반사층(140)에 있어서는, 경면 반사로 되는 부분이 없어져, 양호한 산란 특성을 얻는 것이 가능해진다. 또한, 패널 표시 영역 외로 되는 부분의 감광성 수지가 제거되고, 전기 광학 장치용 기판(124)의 측단면(130a)이 평탄해지기 때문에, 데이터선(152)이 끊어진다고 하는 문제가 발생하지 않는다.
상술한 실시예에서는, 노광 시간에 의해, 광이 감광성 재료에 작용하는 깊이를 제어하고 있지만, 광의 강도를 변경하여 광이 감광성 재료에 작용하는 깊이를 제어하도록 하여도 좋다.
또한, 상술한 실시예에서는, 레티클(145) 및 레티클(148)을 순차적으로 어긋나게 하여 노광을 행하는 스텝퍼 노광에 의해 감광성 재료의 노광을 행하고 있지만, 기판(120) 전체를 커버하고, 요철면(130b)을 형성하기 위한 마스크와, 기판(120) 전체를 커버하고, 개구부(125) 및 패널 표시 영역 외의 부분을 형성하기 위한 마스크를 준비하고, 제 1 노광 공정 및 제 2 노광 공정에서, 각각 한 장의 마스크로 기판(120) 전체를 노광하는 일괄 노광에 의해, 노광 처리를 행하도록 하여도 좋다. 또한, 제 1 노광 공정에서는, 상술한 실시예와 같이 스텝퍼 노광에 의해 노광을 행하고, 제 2 노광 공정에서는, 도 12에 나타내는 바와 같이, 한 장의 대형 마스크(one large mask)로 기판(120) 전체를 노광하는 일괄 노광에 의해 노광을 행하도록 하여도 좋다. 또, 2회 째의 노광을 일괄 노광으로 실행하는 경우, 1회 째의 노광이 완료한 후, 80∼160mJ에서 노광 시간을 2000msec∼4000msec로 해서 2회 째의 노광을 행하도록 하여도 좋다. 또한, 상술한 실시예에 있어서는, 현상 공정 후, 가열 처리를 행함으로써, 열에 의해 요철 형상을 매끄러운 형상으로 변형시키도록 하여도 좋다.
상술한 제조 방법에 있어서는, 1회 째의 노광에 있어서 레티클(148)을 이용하여 노광 시간을 4000msec로 해서 노광을 행하고, 2회 째의 노광에서 레티클(145)을 이용하여 노광 시간을 1600msec로 해서 노광을 행하도록 하여도 좋다. 또한, 상술한 제조 방법에 있어서는, 레티클(148)에 개구용 투광부(149a)를 마련하고 있었지만, 레티클(148)에 개구용 투광부(149a)를 마련하지 않는 태양이더라도 좋다. 또한, 이와 같이 하여 제조된 기판에 있어서, 반사층의 막 두께를, 백 라이트 유닛(104)의 광이 투과하는 두께로 되도록 하여도 좋다.
다음에, 이상 설명한 액정 장치(100)를 탑재한 전자기기에 대해 설명한다. 도 13은 액정 장치(100)를 표시부로서 갖는 휴대 전화기(300)의 외관도이다. 이 도면에 있어, 휴대 전화기(300)는 복수의 조작 버튼(310) 외에, 수화구(320), 송화구(330)와 함께, 전화번호 등의 각종 정보를 표시하는 표시부로서, 상기 액정 장치(100)를 구비하고 있다. 또한, 휴대 전화기(300) 이외에도, 액정 장치(100)(전기 광학 장치)는 컴퓨터나, 프로젝터, 디지털 카메라, 무비 카메라, 차량 탑재기기, 복사기, 오디오기기 등의 각종 전자기기의 표시부로서 이용할 수 있다.
본 발명에 의하면, 요철부에서는 감광성 수지의 막 두께보다 얕은 깊이로 감 광성 수지를 제거하고, 요철부 이외의 부분에서는 감광성 수지를 잔류시키지 않게 할 수 있는 전기 광학 장치용 기판의 제조 방법, 해당 전기 광학 장치용 기판의 제조 방법을 포함하는 전기 광학 장치의 제조 방법, 전기 광학 장치용 기판, 해당 전기 광학 장치용 기판을 이용한 전기 광학 장치 및 전자기기를 제공할 수 있다.

Claims (14)

  1. 요철 형상의 광 반사부를 갖는 전기 광학 장치용 기판의 제조 방법으로서,
    기판에 포지티브형 감광성 재료를 도포하는 도포 공정과,
    상기 도포 공정에 의해 도포된 감광성 재료에, 상기 광 반사부에 있어서의 볼록부에 대응한 영역을 형성하도록, 상기 감광성 재료의 막 두께의 깊이보다 얕은 깊이까지 광이 작용하도록 노광하는 요철 형성용 노광 공정과,
    상기 전기 광학 장치용 기판으로 되는 영역을 형성하도록, 상기 전기 광학 장치용 기판으로 되는 영역의 외측에 대하여, 상기 도포 공정에 의해 도포된 감광성 재료의 막 두께의 깊이 이상으로 광이 작용하도록 노광하는 기판 노광 공정과,
    노광이 행해진 상기 감광성 재료를 현상하고, 노광 시에 감광된 영역을 제거하는 현상 공정과,
    상기 현상 공정에 의해 상기 감광성 재료에 형성된 요철면 상에, 광 반사성을 갖는 반사층을 형성하는 반사층 형성 공정
    을 갖는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치용 기판의 제조 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판 노광 공정에서는, 광을 투과시키기 위한 개구부를 상기 전기 광학 장치용 기판으로 되는 영역 내에 형성하도록, 상기 전기 광학 장치용 기판으로 되 는 영역의 외측에 부가하여, 상기 전기 광학 장치용 기판으로 되는 영역 내의, 개구부에 대응하는 영역을 노광시키는 것
    을 특징으로 하는 전기 광학 장치용 기판의 제조 방법.
  3. 요철 형상의 광 반사부를 갖는 전기 광학 장치용 기판의 제조 방법으로서,
    기판에 네거티브형 감광성 재료를 도포하는 도포 공정과,
    상기 도포 공정에 의해 도포된 감광성 재료에, 상기 광 반사부에 있어서의 볼록부에 대응한 영역을 형성하도록, 상기 감광성 재료의 막 두께의 깊이보다 얕은 깊이까지 광이 작용하도록 노광하는 요철 형성용 노광 공정과,
    상기 전기 광학 장치용 기판으로 되는 영역을 형성하도록, 상기 전기 광학 장치용 기판으로 되는 영역의 외측을 차광하고, 상기 도포 공정에 의해 도포된 감광성 재료의 막 두께의 깊이 이상으로 광이 작용하도록 노광하는 기판 노광 공정과,
    노광이 행해진 상기 감광성 재료를 현상하고, 노광 시에 차광된 영역을 제거하는 현상 공정과,
    상기 현상 공정에 의해 상기 감광성 재료에 형성된 요철면 상에, 광 반사성을 갖는 반사층을 형성하는 반사층 형성 공정
    을 갖는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치용 기판의 제조 방법.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 기판 노광 공정에서는, 광을 투과시키기 위한 개구부를 상기 전기 광학 장치용 기판으로 되는 영역 내에 형성하도록, 상기 전기 광학 장치용 기판으로 되는 영역의 외측에 부가하여, 상기 전기 광학 장치용 기판으로 되는 영역 내로서 개구부에 대응하는 영역을 차광하는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치용 기판의 제조 방법.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 요철 형성용 노광 공정에서는 스테퍼 노광에 의해 노광을 행하고,
    상기 기판 노광 공정에서는 스테퍼 노광 또는 일괄 노광에 의해 노광을 행하는 것
    을 특징으로 하는 전기 광학 장치용 기판의 제조 방법.
  6. 청구항 1 내지 4 중 어느 한 항에 기재된 전기 광학 장치용 기판의 제조 방법을 포함하는 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치의 제조 방법.
  7. 요철면을 갖는 하지층과, 광 반사성을 갖는 광 반사층을 갖는 전기 광학 장치용 기판으로서,
    상기 광 반사층은 상기 하지층 중 상기 요철면 상에 위치하도록 마련되고,
    상기 하지층은, 그 측단면이 평탄하며, 상기 요철면의 오목부의 깊이가 상기 하지층의 막 두께보다 얇은 것
    을 특징으로 하는 전기 광학 장치용 기판.
  8. 요철면을 갖는 하지층과, 광 반사성을 갖는 광 반사층과, 광을 차광하는 차광층을 갖는 전기 광학 장치용 기판으로서,
    상기 차광층은 흑색 수지 재료로 형성되고 상기 하지층 중 상기 요철면의 소정 영역에 마련되고,
    상기 광 반사층은 상기 하지층 중 상기 요철면 상에 위치하도록 마련되며,
    상기 하지층은, 그 측단면이 평탄하고, 상기 요철면의 오목부의 깊이가 상기 하지층의 막 두께보다 얇은 것
    을 특징으로 하는 전기 광학 장치용 기판.
  9. 요철면을 갖는 하지층과, 광 반사성을 갖는 광 반사층과, 광을 차광하는 차 광층을 갖는 전기 광학 장치용 기판으로서,
    상기 차광층은 금속 재료로 형성되고 상기 하지층 중 상기 요철면의 소정 영역에 마련되고,
    상기 광 반사층은 상기 하지층 중 상기 요철면 상에 위치하도록 마련되며,
    상기 하지층은, 그 측단면이 평탄하고, 상기 요철면의 오목부의 깊이가 상기 하지층의 막 두께보다 얇은 것
    을 특징으로 하는 전기 광학 장치용 기판.
  10. 요철면을 갖는 하지층과, 광 반사성을 갖는 광 반사층과, 광을 차광하는 차광층을 갖는 전기 광학 장치용 기판으로서,
    상기 차광층은 착색된 수지를 적층하여 형성되고 상기 하지층 중 상기 요철면의 소정 영역에 마련되고,
    상기 광 반사층은 상기 하지층 중 상기 요철면 상에 위치하도록 마련되며,
    상기 하지층은, 그 측단면이 평탄하고, 상기 요철면의 오목부의 깊이가 상기 하지층의 막 두께보다 얇은 것
    을 특징으로 하는 전기 광학 장치용 기판.
  11. 요철면을 갖는 하지층과, 광 반사성을 갖는 광 반사층을 갖는 전기 광학 장 치용 기판으로서,
    상기 광 반사층은 상기 하지층 중 상기 요철면 상에 위치하도록 마련되고,
    상기 하지층은, 포지티브형 감광성 재료로 이루어지고, 그 측단면이 평탄하며, 상기 요철면의 오목부의 깊이가 상기 하지층의 막 두께보다 얇은 것
    을 특징으로 하는 전기 광학 장치용 기판.
  12. 요철면을 갖는 하지층과, 광 반사성을 갖는 광 반사층을 갖는 전기 광학 장치용 기판으로서,
    상기 광 반사층은 상기 하지층 중 상기 요철면 상에 위치하도록 마련되고,
    상기 하지층은, 네거티브형 감광성 재료로 이루어지고, 그 측단면이 평탄하며, 상기 요철면의 오목부의 깊이가 상기 하지층의 막 두께보다 얇은 것
    을 특징으로 하는 전기 광학 장치용 기판.
  13. 서로 대향하여 전기 광학 물질을 사이에 유지하는 한 쌍의 기판과, 상기 한 쌍의 기판 중 한쪽 기판에 마련되고, 대향하는 기판 측으로부터의 입사광을 반사하는 전기 광학 장치용 기판과, 상기 전기 광학 장치용 기판의 측단면에 걸쳐서 위치하고, 상기 액정에 전압을 인가하기 위한 전극을 갖는 전기 광학 장치로서,
    상기 전기 광학 장치용 기판은 청구항 7 내지 12 중 어느 한 항에 기재된 전 기 광학 장치용 기판인 것을 특징으로 하는 전기 광학 장치.
  14. 청구항 13에 기재된 전기 광학 장치를 표시 장치로서 구비하는 것을 특징으로 하는 전자기기.
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